高精度闭环旋转台

RAuK20-100，是卓立汉光在RAK系列高精度旋转台基础上，新研制出的超高精度闭环电控旋转台。该转台采用进口圆光栅，可实现超高精度旋转定位。RAuK还秉承了RAK的诸多优点，采用进口交叉滚柱轴环，大幅提升了各项技术指标。 型 号RAuK20-100台面直径（mm）100主体材料合金铝传动比180:1开环分辨率 (° ，&Prime )0.00125° (4.5&Prime )闭环分辨率 (° ，&Prime )0.0005° （ 1.8&Prime ）最大速度 (Deg./sec.)25重复定位精度 （° ）0.0005° 径向跳动(&mu m)15轴向跳动(&mu m)15步进电机(步距角° )42(1.8° )工作电流 (A)1.7中心负载 (Kg)30圆光栅规格：解 析 度：36000PPR（Pulses Per Revolution）；扫描频率：400kHz；输出信号：正弦信号1Vpp，11&mu App / RS422 方波信号输出，建议使用卓立汉光公司的MC600 型控制器，同时实现闭环信号反馈和运动控制；应用方向：金属加工设备、半导体设备、半导体设备、生物、医疗设备及各种高精度旋转要求；

RAK系列高精度电控旋转台采用新结构、新工艺，经过严格检测，关键指标达到国际同类产品水平。该系列产品主要应用于激光精密加工、三维扫描测量系统等应用领域■步进电机驱动，实现角度调整自动化■蜗轮、蜗杆采用耐磨材料，并采用特殊工艺处理，因而其耐磨性高，旋转台的精度可靠性高■进口高精密高刚性轴系使得旋转精度高,承载大,运行平稳■旋转台面外圈有刻度，直观方便，有物理零位■标准接口，方便信号传输■可加装圆光栅和编码器，配合我们自主开发的MC系列控制箱可以实现闭环控制 ■技术规格 型 号RAK100RAK200RAK350主体材料合金铝传动比180:1180:1320:18细分下分辨率(Deg.)0.00125° 0.00125° 0.0007° 最大速度 (Deg./sec.)2514重复定位精度0.005° 0.003° 径向跳动(")151020轴向跳动(")151020步进电机(步距角)42(1.8° )57(1.8° )工作电流 (A)1.72.4中心负载 (Kg) 3050100

RAuK系列超高精密电控旋转台 RAuK系列超高精密电控旋转台是我公司在RAK系列旋转台的基础上，内置了进口圆光栅，实现了360° 全闭环的超高精密旋转台，闭环分辨率可达1.8&Prime （RAuK100）或1.2&Prime （RAuK200）。该系列产品已通过多方用户的测试（如哈工大、北航等），主要应用于需要超高角度定位的应用领域，如：卫星定位跟踪系统、超高精密多维扫描测量、超精密的激光加工等。 ■ 产品特点：◆内置进口超高精度圆光栅，配合MC600系列控制器，实现了360° 全闭环，闭环分辨率可达1.8&Prime （RAuK100）或1.2&Prime （RAuK200）◆精研蜗轮蜗杆采用耐磨材料并通过特殊工艺处理，可实现超高定位精度和更好的耐用性和精度保持性◆采用高刚性的进口超高等级交叉滚柱轴环，配合我公司特有的精密磨削工艺，能有效保证旋转台的端跳、径跳等各项指标，而且具有较高的负载能力，可用于竖直使用甚至倒置使用◆严格的装配工艺和高于国标要求的检验方法，保证每一台产品，出厂时具有最优性能◆电机接口和圆光栅信号接口分开设计，可以根据要求灵活使用◆具有零位开关（反向旋转时遇零位开关停止），可以方便的进行绝对定位◆使用三相步进电机和伺服电机的该系列产品以及其他规格尺寸的产品，也在规划中，敬请期待！■产品一览表型号RAuK100RAuK2008细分开环分辨率(° )0.001250.00125闭环分辨率(＂)1.81.2传动比180:1180:1最大速度（Deg./sec.）2525重复定位精度(° )0.0050.005径向跳动(&mu m)1510轴向跳动(&mu m)1510步进电机（步距角）42（1.8° ）57（1.8° ）工作电流（A）1.72.4中心负载（Kg）3050 ■关联产品◆ 42、57步进电机◆ 专用数据连接线◆ 电控位移台控制箱

RAuK系列超高精密电动旋转台说明：RAuK 系列超高精密电动旋转台是卓立汉光在RAK 系列旋转台的基础上，内置了进口圆光栅，实现了360°全闭环的超高精密旋转台，闭环分辨率可达1.8″ (RAuK100) 或1.2″ (RAuK200)。该系列产品已通过多方用户的测试( 如哈工大、北航等)，主要应用于需要超高角度定位的应用领域，如：卫星定位跟踪系统、超高精密多维扫描测量、超精密的激光加工等。特点：● 内置进口超高精密圆光栅，提供超高闭环分辨率● 使用精研蜗轮蜗杆传动，实现超高定位性能● 采用进口超高等级交叉滚柱轴环，具有超高运动性能● 标配二相步进电机，稳定、可靠光栅尺接线图接线图接线图：配套产品：TMC全功能运动控制系统MC6003P系列控制器应用案例：选型表：型号RAuK100RAuK2008细分开环分辨率(°)0.00125闭环分辨率(″)1.81.2传动比180:1最大速度(°/s)25重复定位精度(°)﹤0.005径向跳动((μm)﹤15﹤10轴向跳动((μm)﹤15﹤10步进电机(步距角)42(1.8°)57(1.8°)工作电流(A)1.72.4中心负载(Kg)3050

压电 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)室温 压电运动解决⽅ 案 —“.Lab 系列“ 良好封装的位移台外形紧凑，动⼒ 性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。压电 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)产品特⾊ &bull 超安静运动， 20 kHz驱动频率&bull 65 mm × 65 mm × 12 mm极紧凑外形设计&bull 闭环控制 位置传感⽀ 持电阻型(.R) 和光学型(.O)&bull ⾼ 精度 空间传感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可选&bull 经济型 空间传感分辨率(.R) 100-200nm&bull 最⼩ 步伐优于 10 nm&bull 可提供多轴堆叠安装转接件&bull 控制器兼容旋转台，摇摆台&bull ⽀ 持⽆ 磁( .NM)、⾼ 真空( .HV)和超⾼ 真空 ( .UHV)选件2D 尺⼨ 图LS65x.Lab.O / .R 压电线性台 — 技术参数可选版本 ⇨ 正常版本.NM.HV.UHV.NM 绝对⽆ 磁版本；.HV， ⾼ 真空版本 .UHV ，超⾼ 真空版本；1 底⾯ 尺⼨ *⾼ 度65 × 65 mm × 12 mm2 主体材料不锈钢纯钛不锈钢不锈钢3 线缆 & 接头标准屏蔽线缆DSub9 接头kapton漆包线，PEEK-2mm插针运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)4 运动⾏ 程30 mm5 最⼤ 速度~ 20 mm/s6 最⼩ 步伐~ 10 nm7 驱动频率Max. 20 kHz (超安静运动)8 最⼤ ⽔ 平推⼒ 2 N9 保持⼒ 5 N0.3 mrad / 0.2 mrad10 全⾏ 程俯仰/偏摆运动参数-空间推荐安装形式 II. (下列性质均在推荐安装形式下测得)11最⼤ 垂直负载2 N12保持⼒ 5 N传感精度13 位置传感类型- 电阻型传感( .R )- 光栅尺传感( .O )14 位置传感量程30 mm15 位置传感分辨率- 电阻型传感( .R )， 100-200 nm- 光栅尺传感( .O )， 10 nm， 1nm可选(默认 10nm)

外形紧凑，动⼒ 性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。压电 线性位移台— LS25x.Lab.R (闭环)产品特⾊ &bull 超安静运动，20 kHz驱动频率&bull 25 × 25 mm × 8 mm极紧凑外形设计&bull 闭环控制 位置传感⽀ 持电阻型(.R)&bull 经济型 空间传感分辨率(.R) 150 nm&bull 最⼩ 步伐优于 15 nm&bull 可提供多轴堆叠安装转接件&bull 控制器兼容旋转台，摇摆台&bull ⽀ 持⽆ 磁（.NM）、⾼ 真空（.HV）和超⾼ 真空（.UHV）选件2D 尺⼨ 图LS25x.Lab.R 压电线性台 — 技术参数可选版本 ⇨ 正常版本.NM.HV.UHVNM， 绝对⽆ 磁版本；.HV， ⾼ 真空版本 .UHV ，超⾼ 真空版本；1 底⾯ 尺⼨ *⾼ 度25 × 25 mm × 8 mm2 主体材料不锈钢纯钛不锈钢不锈钢3 线缆 & 接头标准屏蔽线缆DSub9 接头kapton漆包线，PEEK-2mm插针运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)4 运动⾏ 程8 mm5 最⼤ 速度~ 20 mm/s6 最⼩ 步伐⼩ 于 15 nm7 驱动频率Max. 20 kHz (超安静运动)8 最⼤ ⽔ 平推⼒ 2 N9 保持⼒ 5 N0.3 mrad / 0.2 mrad10 全⾏ 程俯仰/偏摆运动参数-空间推荐安装形式 II. (下列性质均在推荐安装形式下测得)11最⼤ 垂直负载2 N12保持⼒ 5 N传感精度13位置传感类型- 电阻型传感( .R )14位置传感量程8 mm15位置传感分辨率~ 150 nm

KSMR系列高精密手动旋转台 KSMR系列是采用交叉滚柱轴环的高精密手动旋转台。该系列旋转台具有大角度粗调和小角度精密调整两种功能。采用分厘卡或超细牙螺纹副驱动，灵敏度高。交叉滚柱轴环保证了台面在旋转时，有很好的运动特性，端跳等关键指标，可达国际同类产品水平。尺寸较多，分为带通光孔和不带通光孔的产品，可以根据需要灵活选择，适合于对于手动角度调整有较高要求的领域。■ 产品特点：◆导向机构采用高精度的交叉滚柱轴环，端跳等关键性指标，达到国际水平◆分厘卡或超细牙螺纹副驱动，可提供很高的灵敏度◆负载能力较强，超薄结构，小尺寸◆可以同其他KSMx系列产品组合使用 ■ 产品一览表：型号KSMR5A-100KSMR5A-120主体材料合金铝台面直径( mm)100120粗调角度范围（° ）360精调角度范围（° ）± 5灵敏度（&Prime ）4最小读数（&prime ）5驱动方式分厘卡台面跳动(µ m)30中心负载(水平)10kg

RSA系列电控旋转台RSA系列电控旋转台通过步进电机驱动，实现角度调整自动化。精加工蜗轮蜗杆传动，精密轴系设计，保证调整精度高，承载大。步进电机与传动件通过进口高品质弹性联轴器连接，排除空回和加工形位误差。旋转台面外圈刻度直观。标准接口，方便信号传输。手动手轮配置，电控手动均可。可换装伺服电机。 ■技术规格型 号RSA60RSA100RSA200RSA400传动比90:1180:1720:18细分下分辨率0.0025° 0.00125° 0.0003125° 最大速度(Deg./sec)5025 5重复定位精度＜0.01° ＜0.005° ＜0.003° 步进电机(步距角)42(1.8° )57(1.8° )工作电流（A）1.72.4中心负载(kg)30506080自重(kg)11.547.719.75

RSM56-1/73-1精密旋转台RSM56-1与RSM73-1精密旋转台均采用粗微调设计，圆周360° 刻划，游标读数。采用精密轴系设计，M6x0.25超细牙螺杆驱动，精度高，稳定性好。中心有26mm直径的通孔，可通光，还可装配附件，连接固定多种物品或其它调整架。上下均有标准孔距螺纹孔，适配性强。■技术指标 RSM56-1RSM73-1台面直径（mm）5673粗调范围360° 360° 微调范围± 3° ± 2.5° 最小刻划2° 1° 最小读数0.2° 5´ 中心通光孔直径26mmM27X1负载（kg）25自重（kg）0.150.35

RAK系列高精度电控旋转台采用新结构、新工艺，经过严格检测，关键指标达到国际同类产品水平。该系列产品主要应用于激光精密加工、三维扫描测量系统等应用领域■步进电机驱动，实现角度调整自动化■蜗轮、蜗杆采用耐磨材料，并采用特殊工艺处理，因而其耐磨性高，旋转台的精度可靠性高■进口高精密高刚性轴系使得旋转精度高,承载大,运行平稳■旋转台面外圈有刻度，直观方便，有物理零位■标准接口，方便信号传输■可加装圆光栅和编码器，配合我们自主开发的MC系列控制箱可以实现闭环控制 ■技术规格 型 号RAK100RAK200RAK350主体材料合金铝传动比180:1180:1320:18细分下分辨率(Deg.)0.00125° 0.00125° 0.0007° 最大速度 (Deg./sec.)2514重复定位精度0.005° 0.003° 径向跳动(")151020轴向跳动(")151020步进电机(步距角)42(1.8° )57(1.8° )工作电流 (A)1.72.4中心负载 (Kg) 3050100

高精度纳米转台基于压电惯性驱动原理，提供无限行程的同时保证纳米级分辨率，借助独特的硬件及控制算法，可以在高频电压驱动下实现高速运动。纳米转台拥有极高的可拓展性和可集成性。支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。技术特点：高精度、高稳定性、高运动速度轴心误差和晃动补偿与抑制支持开环/闭环运动模式超高真空兼容性轻量化设计，结构紧凑模块化设计，摩擦单元可替换应用领域：样品检验精密微组装光路切换显微CT机器视觉半导体检测机械参数：型号RP-50CRP-100C转动行程360°（θZ）360°（θZ）几何尺寸60*60*14.5mm100*17mm竖直最大负载2kg4kg重量180g400g精度参数：转动重复精度200µ rad最小转动分辨率 20µ rad工作环境：支持真空环境1x10-6 Pa

RAuK系列超高精密电控旋转台 RAuK系列超高精密电控旋转台是我公司在RAK系列旋转台的基础上，内置了进口圆光栅，实现了360° 全闭环的超高精密旋转台，闭环分辨率可达1.8&Prime （RAuK100）或1.2&Prime （RAuK200）。该系列产品已通过多方用户的测试（如哈工大、北航等），主要应用于需要超高角度定位的应用领域，如：卫星定位跟踪系统、超高精密多维扫描测量、超精密的激光加工等。 ■ 产品特点：◆内置进口超高精度圆光栅，配合MC600系列控制器，实现了360° 全闭环，闭环分辨率可达1.8&Prime （RAuK100）或1.2&Prime （RAuK200）◆精研蜗轮蜗杆采用耐磨材料并通过特殊工艺处理，可实现超高定位精度和更好的耐用性和精度保持性◆采用高刚性的进口超高等级交叉滚柱轴环，配合我公司特有的精密磨削工艺，能有效保证旋转台的端跳、径跳等各项指标，而且具有较高的负载能力，可用于竖直使用甚至倒置使用◆严格的装配工艺和高于国标要求的检验方法，保证每一台产品，出厂时具有最优性能◆电机接口和圆光栅信号接口分开设计，可以根据要求灵活使用◆具有零位开关（反向旋转时遇零位开关停止），可以方便的进行绝对定位◆使用三相步进电机和伺服电机的该系列产品以及其他规格尺寸的产品，也在规划中，敬请期待！■产品一览表型号RAuK100RAuK2008细分开环分辨率(° )0.001250.00125闭环分辨率(＂)1.81.2传动比180:1180:1最大速度（Deg./sec.）2525重复定位精度(° )0.0050.005径向跳动(&mu m)1510轴向跳动(&mu m)1510步进电机（步距角）42（1.8° ）57（1.8° ）工作电流（A）1.72.4中心负载（Kg）3050 ■关联产品◆ 42、57步进电机◆ 专用数据连接线◆ 电控位移台控制箱

精密电动旋转台MERA系列产品特点：材质：6061T4 铝合金；精加工蜗轮蜗杆传动，角度全圆无极限调整；可设零位光电开关；可换装伺服电机；更换运动部件和电机，核心零件经特殊处理后，可应用于真空环境中。 产品介绍：OMTOOLS精密电动旋转台MERA系列具有较高精度、价位适中的产品，采用精研蜗轮蜗杆，保证了高旋转精度，端跳、径跳等关键指标达到同行先进水平。该产品具有较高的负载能力，可用于竖直使用甚至倒置使用，可组合多维使用。旋转轴系采用多道工艺精密加工而成，配合精度高，承载大，寿命长。精密蜗轮蜗杆传动和转轴系设计，调整精度高，空回小，消空回结构可调整使用造成的空回间隙。旋转台面的端跳和偏心低，旋转运动平稳。旋台中心通孔与旋转中心严格同轴，中心孔径严格配合公差限制，方便精密定位。进电机和蜗杆通过进口高品质弹性联轴节连接，传动同步，消偏性能号，排除空回和形位误差。提供步进与伺服的电气配件，可提供相关技术支持，接受产品的改制和量身定制。 选型表：型号MERA60MERA100MERA200MERA300台面直径60mm100mm200mm300mm传动比90：1180：1180：1270：1驱动方式蜗轮蜗杆导轨形式轴承主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑自重1.2kg1.9kg7.2kg13.5kg水平最大中心承载 10204060分辨率（无细分）0.02°0.01°0.01°0.0067°最大速度13°/sec6.5°/sec6.5°/sec4.3°/sec重复定位精度0.01°端跳精度50u50u80u80u平行度80u80u80u100u

产品说明结构紧凑、高刚性；零间隙，高精度柔性铰链导向系统；常温和超低温均能使用，超高真空兼容；压电陶瓷促进器具有超长使用寿命；带位移传感器，提供位置和速度闭环控制； OMTOOLS提供的OMZF系列压电旋转台，采用压电陶瓷驱动器直接驱动，具有更快的加速度和更高的带宽、零摩擦和零粘力的铰链导向，并且导向精确性优良。采用传感器的闭环系统，具有谐振频率，扫描角度小、分辨率高、线性度好。一般应用于自适应光学、光束跟踪和稳定等需要快速响应和小角度偏转的领域，多用于图象处理/稳定、激光扫描、通信、光线偏转、光束偏转/稳定等系统。 具有定位精准，位置保持性好，自带自锁，能360°无限旋转等优点。在增加位置反馈模块后，可实现高精度及高分辨率的开环/闭环控制，适用于常规环境以及真空环境。

精密微调手动旋转台OMXE系列产品介绍：OMTOOLS精密微调手动旋转台OMXE系列采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。并采用蜗轮蜗杆结构驱动，旋转手轮可进行高分辨率的精密角度调整，操作方便，承载能力较好，适合需要精密旋转角度的场合使用。旋转台高度低，适合负载较重、水平旋转的场合使用； 产品底部有安装螺孔，可以直接连接到其他台面或标准光学平台、平板上。旋转台台面上有安装孔，可供客户安装物件。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■进口精密轴承导向，端跳等关键指标达到国内先进水平；■使用精研涡轮蜗杆传动，实现高定位性能；■超薄结构，紧凑精巧；■可以同其它系列产品组维使用 选型表：型号OMXE40ROMXE60ROMXE100R行程（°）360台面直径(mm)Φ40Φ60Φ100导轨球轴承驱动方式蜗轮蜗杆传动比1:621:901:160主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）0.20.51.3游标刻度分辨率5 arcmin静态平行度(mm)≦0.05端面跳动（μm）≦50径向跳动（μm）≦50中心负载（Kg）51015

RAuK系列超高精密电动旋转台说明：RAuK 系列超高精密电动旋转台是卓立汉光在RAK 系列旋转台的基础上，内置了进口圆光栅，实现了360°全闭环的超高精密旋转台，闭环分辨率可达1.8″ (RAuK100) 或1.2″ (RAuK200)。该系列产品已通过多方用户的测试( 如哈工大、北航等)，主要应用于需要超高角度定位的应用领域，如：卫星定位跟踪系统、超高精密多维扫描测量、超精密的激光加工等。特点：● 内置进口超高精密圆光栅，提供超高闭环分辨率● 使用精研蜗轮蜗杆传动，实现超高定位性能● 采用进口超高等级交叉滚柱轴环，具有超高运动性能● 标配二相步进电机，稳定、可靠光栅尺接线图接线图接线图：配套产品：TMC全功能运动控制系统MC6003P系列控制器应用案例：选型表：型号RAuK100RAuK2008细分开环分辨率(°)0.00125闭环分辨率(″)1.81.2传动比180:1最大速度(°/s)25重复定位精度(°)﹤0.005径向跳动((μm)﹤15﹤10轴向跳动((μm)﹤15﹤10步进电机(步距角)42(1.8°)57(1.8°)工作电流(A)1.72.4中心负载(Kg)3050

压电 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)室温 压电运动解决⽅ 案 —“.Lab 系列“ 良好封装的位移台外形紧凑，动⼒ 性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。压电 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)产品特⾊ &bull 超安静运动， 20 kHz驱动频率&bull 65 mm × 65 mm × 12 mm极紧凑外形设计&bull 闭环控制 位置传感⽀ 持电阻型(.R) 和光学型(.O)&bull ⾼ 精度 空间传感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可选&bull 经济型 空间传感分辨率(.R) 100-200nm&bull 最⼩ 步伐优于 10 nm&bull 可提供多轴堆叠安装转接件&bull 控制器兼容旋转台，摇摆台&bull ⽀ 持⽆ 磁( .NM)、⾼ 真空( .HV)和超⾼ 真空 ( .UHV)选件2D 尺⼨ 图LS65x.Lab.O / .R 压电线性台 — 技术参数可选版本 ⇨ 正常版本.NM.HV.UHV.NM 绝对⽆ 磁版本；.HV， ⾼ 真空版本 .UHV ，超⾼ 真空版本；1 底⾯ 尺⼨ *⾼ 度65 × 65 mm × 12 mm2 主体材料不锈钢纯钛不锈钢不锈钢3 线缆 & 接头标准屏蔽线缆DSub9 接头kapton漆包线，PEEK-2mm插针运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)4 运动⾏ 程30 mm5 最⼤ 速度~ 20 mm/s6 最⼩ 步伐~ 10 nm7 驱动频率Max. 20 kHz (超安静运动)8 最⼤ ⽔ 平推⼒ 2 N9 保持⼒ 5 N0.3 mrad / 0.2 mrad10 全⾏ 程俯仰/偏摆运动参数-空间推荐安装形式 II. (下列性质均在推荐安装形式下测得)11最⼤ 垂直负载2 N12保持⼒ 5 N传感精度13 位置传感类型- 电阻型传感( .R )- 光栅尺传感( .O )14 位置传感量程30 mm15 位置传感分辨率- 电阻型传感( .R )， 100-200 nm- 光栅尺传感( .O )， 10 nm， 1nm可选(默认 10nm)

外形紧凑，动⼒ 性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。压电 线性位移台— LS25x.Lab.R (闭环)产品特⾊ &bull 超安静运动，20 kHz驱动频率&bull 25 × 25 mm × 8 mm极紧凑外形设计&bull 闭环控制 位置传感⽀ 持电阻型(.R)&bull 经济型 空间传感分辨率(.R) 150 nm&bull 最⼩ 步伐优于 15 nm&bull 可提供多轴堆叠安装转接件&bull 控制器兼容旋转台，摇摆台&bull ⽀ 持⽆ 磁（.NM）、⾼ 真空（.HV）和超⾼ 真空（.UHV）选件2D 尺⼨ 图LS25x.Lab.R 压电线性台 — 技术参数可选版本 ⇨ 正常版本.NM.HV.UHVNM， 绝对⽆ 磁版本；.HV， ⾼ 真空版本 .UHV ，超⾼ 真空版本；1 底⾯ 尺⼨ *⾼ 度25 × 25 mm × 8 mm2 主体材料不锈钢纯钛不锈钢不锈钢3 线缆 & 接头标准屏蔽线缆DSub9 接头kapton漆包线，PEEK-2mm插针运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)4 运动⾏ 程8 mm5 最⼤ 速度~ 20 mm/s6 最⼩ 步伐⼩ 于 15 nm7 驱动频率Max. 20 kHz (超安静运动)8 最⼤ ⽔ 平推⼒ 2 N9 保持⼒ 5 N0.3 mrad / 0.2 mrad10 全⾏ 程俯仰/偏摆运动参数-空间推荐安装形式 II. (下列性质均在推荐安装形式下测得)11最⼤ 垂直负载2 N12保持⼒ 5 N传感精度13位置传感类型- 电阻型传感( .R )14位置传感量程8 mm15位置传感分辨率~ 150 nm

RT100S多功能高精度空气轴承旋转平台，完美适用于小型测量设备，可作为多轴系统的最终?轴。轻巧紧凑的结构是各种应用中高动态和精确定位任务的理想选择。RT100S：小型封装中最高精度的体现！大通孔便于滑环集成，光学或其他馈通。应用领域：• 计算机断层扫描• X-射线• 超精密加工• 激光加工• 光学检查• 半导体应用• 医疗行业的测试系统• 用于尺寸测量系统的运动轴• 惯性导航• 精密重力测量产品规格Rotary Stage RT100SMax. axial load 最大轴负载206 NMax. radial load 最大侧向负载78 NAxial stiffness 轴刚性103 N/μmRadial stiffness 侧向刚性39 N/μmTilt stiffness 摇摆刚性90 Nm/mradRadial error motion 端跳误差 100 nm LSCAxial error motion 轴误差 50 nm LSCResolution分辨率0.1arcsec，取决于细分比（4× ~ 20000×）Repeatability重复精度0.5 arcsec 或者2倍分辨率Air consumption 耗气量 8 Nl/minTotal mass 重量1,6 kgEncoder 编码器15744 periodsNominal torque 标称扭矩0,13 NmPeak torque 峰值扭矩0,4 NmMax. speed 最大速度200-1200 rpmAngular accuracy 角精度10,3 arcsecMaterial 材料coated aluminium尺寸图运动控制该旋转台可配备运动驱动器和软件。该软件提供易于编程的定位循环，自动归位程序以及与机器接口的通信。集成了压力供应失败时产生安全停止的紧急程序。此外，图形用户界面将设置时间降至最低。

7SRA1100A电动旋转台产品特点：1、轴系设计更具特点，除了适合水平使用外，同样适合垂直或倒置使用； 2、巧妙设计，使得磨损间隙调整更加方便，只需要一把扳手； 3、日常维护更方便简单，有效延长使用寿命；4、可以在内部加装光栅盘，实现闭环定位精度3″。技术参数：产品型号7SRA1100A台面直径（mm）Ф100台面端跳（mm）0.04台面孔同轴度公差0.04传动比180：1重复定位精度（mm）0.004°标配电机42步进电机（1.8°） zui da静转矩（N.m）0.4额定工作电流1.7Azui da速度（2细分）25°/s 分辨率（8细分）0.00125°标配零位有中心zui da负载（Kg）50 自重（Kg）2.1 产品图纸：配套产品：

压电偏摆/旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整，内部采用无回差柔性铰链并联结构设计，产品较高的偏转精度和高的稳定性且响应速度快，是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择。P21系列压电旋转台为一维θz旋转台，产品体积小巧，P21系列旋转角度可达8.5mrad，承载能力达2kg。 特性 • θz旋转，角度位移达8.5mrad • 承载可达2kg • 闭环定位精度高 • 响应速度快 • 体积小巧

基于自主研发的高精度密珠轴系技术，负载能力20kg； 先进的制造装调工艺，轴跳和端跳均优于0.7um，机械性能优异；配置高精度圆光栅，通过多读数头实现自校准，优于0.5”定位精度；高可靠性驱动控制系统，控制最小步进分辨率0.01”；无框力矩电机直驱，无齿轮间隙，360度连续回转；各项参数可根据用户需求定制；本单位承接0.1角秒至10角秒级各类高精度转台的定制开发。高精度机械转台三维模型0.01角秒最小步进测试在位稳定性测试优于0.01角秒典型参数值台面直径300mm承载能力20kg最大转速200rpm回转精度0.7um控制分辨率0.01角秒有效行程360度定位精度0.5角秒

高精度气浮旋转平台采用闭式气浮结构设计,直驱电机驱动,圆光栅闭环反馈,实现高分辨率、高精度运动控制。技术特点：直接驱动无槽,无刷伺服马达高速、高稳定性极佳的误差运动与偏转特性负载:2kg运动模式:支持开环与闭环轻量化、结构紧凑,高可靠性模块化设计,摩擦单元可替换超高真空兼容性 应用领域：工业机器人 纳米表面测量晶圆检测 光纤光学和光子学航空电子设备 精密扫描硅片检查 半导体设备智能制造 超精密微细加工规格参数：型号RAF-85C* 运动轴θX传感器类型光栅传感器行程（°） 360定位重复性（μrad） ≤5（带载750g）定位精度（μrad）≤10（带载750g）30°闭环响应时间（ms）≤10（带载750g）最大负载 (kg) 5 轴向跳动（nm）50径向跳动（nm）50平行度 (μm)40旋转惯量 (kg*m² )11.2x10-4抵抗过载冲击（带载750g）4g(四倍重力加速度)轴向与径向过载冲击自重（g）1544尺寸（mm）150x150x96材料铝合金/钛合金纳米定位平台

专为动静态角度测量设计，主要用于产生高精度角度和高稳定性角速度；转台采用超精密气浮轴承，提高了运动精度和超平滑率；配置高精度圆光栅，通过多读数头实现自校准，实现高空间定位精度；高可靠线性驱动控制系统，超高运动精度和运动速率稳定性；实现深亚秒级静态角度和1ppm 稳定角速度生成；各项参数可根据用户需求定制；本单位承接0.1角秒至10角秒级各类高精度转台的定制开发。典型参数值回转精度0.05um定位精度0.1角秒角位置重复定位精度0.1角秒倾斜回转误差0.5角秒速率稳定性高速（≥50°/s，360°范围）：0.0001%；中速（5°/s～50°/s，10°范围）：0.001%；低速（≤5°/s，1°范围）：0.02%。速度范围±500°/s安装台面尺寸φ300mm承载能力≥30kg

自主研发气浮轴承，运行无摩擦、无需润滑，高使用寿命 高承载和高刚度，负载能力45kg 先进的制造装调工艺，轴跳和端跳均优于0.05um，机械性能突出 配置高精度圆光栅，通过多读数头实现自校准，高达0.2”定位精度 高可靠性驱动控制系统，控制最小步进分辨率0.01” 无框力矩电机直驱，无齿轮间隙，360度连续回转；各项参数可根据用户需求定制；本单位承接0.1角秒至10角秒级各类高精度转台的定制开发。高精度气浮转台三维模型0.01角秒最小步进测试在位稳定性测试优于0.01角秒参数值台面直径300mm承载能力45kg最大转速400rpm回转精度50nm控制分辨率0.01角秒有效行程360度定位精度0.2角秒

KSMR系列高精密手动旋转台 KSMR系列是采用交叉滚柱轴环的高精密手动旋转台。该系列旋转台具有大角度粗调和小角度精密调整两种功能。采用分厘卡或超细牙螺纹副驱动，灵敏度高。交叉滚柱轴环保证了台面在旋转时，有很好的运动特性，端跳等关键指标，可达国际同类产品水平。尺寸较多，分为带通光孔和不带通光孔的产品，可以根据需要灵活选择，适合于对于手动角度调整有较高要求的领域。■ 产品特点：◆导向机构采用高精度的交叉滚柱轴环，端跳等关键性指标，达到国际水平◆分厘卡或超细牙螺纹副驱动，可提供很高的灵敏度◆负载能力较强，超薄结构，小尺寸◆可以同其他KSMx系列产品组合使用 ■ 产品一览表：型号KSMR5A-100KSMR5A-120主体材料合金铝台面直径( mm)100120粗调角度范围（° ）360精调角度范围（° ）± 5灵敏度（&Prime ）4最小读数（&prime ）5驱动方式分厘卡台面跳动(µ m)30中心负载(水平)10kg

具有自主知识产权的真空预载气浮支承技术，能获得稳定的气膜间隙 高承载和刚度，负载能力80kg 先进的制造装调工艺，轴跳和端跳均优于0.05um，机械性能突出 多读数头误差反馈补偿技术，获得稳定的0.1”分度精度；采用压电马达驱动，实现纳米级控制，驱动分辨率0.001”，能实现任意角度分度；高可靠性驱动控制系统，稳定运行的保证 各项参数可根据用户需求定制。ZT320型高精度转台实物使用全组合法测试转台角定位精度角定位精度测试数据，优于0.1角秒参数值台面直径320mm承载能力80kg最大转速3rpm回转精度50nm控制分辨率0.001角秒有效行程360度定位精度0.1角秒

低温双轴旋转台-atto3DR德国attocube公司是著名的端环境纳米精度位移器制造商。公司推出的atto3DR低温双轴旋转台，将施加在样品上固定方向的单一磁场（垂直或水平方向）改变为三维矢量磁场。通过这种方式，在任何其他方向上也可立即获得非常高的一维磁场（例如9 T或12 T）。因此，它提供了相当于9T-9T-9T矢量磁铁的等效系统，而目前尚无法制造出9T-9T-9T矢量磁场。此外，与常规矢量磁铁（如5T-2T-2T）只能在旋转中提供大2T的磁场相比，此解决方案的成本也非常低。另外，双旋转轴的应用保证了样品上磁场方向任意变化和灵活性，兼容2英寸样品空间和He气氛，配备Chip carrier，提供多达20个电信号接入。 更为重要的是，atto3DR通过水平固定轴的旋转，控制样品表面与外界磁场的倾角（+/- 90°）；而沿面内固定轴的旋转提供了另外+/- 90°的运动，从而实现样品与磁场形成任意相对方向。应用领域半导体纳米器件的量子输运测量、量子Hall效应、磁各向异性现象研究与表征、稀释制冷机中专用......量子输运测量量子Hall效应磁各向异性研究稀释制冷机专用atto3DR双轴旋转台特点+ 原位双轴旋转+ 集成了Chip carrier接口，提供多达20个的样品电接触+ 电阻式解码器，实现闭环控制操作+ 软件控制（GUI&LabVIEW）+ 在三维方向上，样品均可接受到高强度的磁场+ Plug & Play接口模块，安装使用其简单+ 通过PC自动远程控制atto3DR双轴旋转台构造atto3DR双轴旋转台基本参数大样品尺寸：4.9 mm x 4.9 mm x 1.2 mm样品电接触数量：20行程（step mode）：+/- 90° for both rotators (reserve: +/-10°)典型小步长：1 m°@300 K；0.5 m° @ 4K大速度：approx. 30°/s@300K反馈控制：resistive sensor解码器行程：315° (both rotators)传感器精度：approx. 6 m°传感器重复性：approx. 50 m°传感器线性度：approx. 1 %应用案例◆ mK环境下适用的超高角度分辨样品旋转台北京大学量子材料科学中心(ICQM)林熙课题组成功研制出基于attocube低温mK位移台研制的低温强磁场下的样品旋转台，用于测量材料的输运性质随磁场角度的变化研究。基本参数：旋转台型号: Attocube ANR101/RES系统环境温度: 20 mK电学测量温度: 22 mK旋转角度范围: -10°~90°实现角度分辨率:0.1°该系统是基于Leiden CF-CS81-600稀释制冷机系统的一个插杆，插杆的直径为81mm，attocube的mK位移台通过一个自制的转接片连接到插杆上，如图一所示，位于磁场中心的样品台的尺寸为5mm*5mm，系统磁场强度为10T。系统的制冷功率为340uW@120mK，得益于attocube低温位移台低的发热功率及工作时非常小的漏电流，使得旋转台能够很好的在＜200mK的温度下工作（工作参数：60V，4Hz, 300nF）。图一：实现的旋转示意图和ANR101装配好的实物图图二：侧视图，电学测量的12对双绞线从旋转台的中心孔穿过图三是GaAs/AlGaAs样品在不同角度下的测试结果，每一个出现小电导率的点，代表着不同的填充因子。很好的验证了其实验方案的可行性和稳定性。图三： Shubnikov–de Haas Oscillation at T = 100 mK 原文链接：Rev. Sci. Instrum. 90, 023905 (2019)◆ 范德华异质结器件在低温40mK中旋转高温超导物理机制的理解是一个凝聚态物理领域世纪性的课题。范德华异质结为量子现象提供了新的材料作为模型系统。近日，国际合作团队（团队成员来自美国伯克利大学，斯坦福大学，中国上海南京以及日本韩国等课题组）研究石墨烯/氮化硼范德华异质结具有可调控超导性质的工作发表在《自然》杂志上。在温度低于1K的时候，该异质结的超导的特特性开始出现，电阻出现一个明显的降低，出现一个I-V电学曲线的平台。图1. 图左低温双轴旋转台；图右下：石墨烯/氮化硼异质结器件，图右上，电输运测试结果，样品通过旋转后的方向与与磁场方向平行。电学输运工作的测量是在进行仔细的信号筛选后，在本底温度为40mK的稀释制冷剂内进行的。样品的面内测量需要保证样品方向与磁场方向平行，因而使用了德国attocube公司的atto3DR低温双轴旋转台。该atto3DR低温双轴旋转台可以使样品与单轴线管的超导磁场方向的夹角调整为任意角度。通过电学输运结果，证实了样品中存在的超导与Mott缘体与金属态的转变，证明了三层石墨烯/氮化硼的超晶格为超导理论模型（Habbard model）以及与之相关的反常超导性质与新奇电子态的研究提供了模型系统。参考文献：[1] Guorui CHEN et al, “Signatures of tunable superconductivity in a trilayer graphene moiré superlattice” Nature, 572, 215-219 (2019)。部分发表文章[1] L.C. Camenzind et al., Phys. Rev. Lett. 127, 057701 (2021) [2] A.L. Sharpe et al., Nano Lett 2021, 21, 10, 4299 – 4304 (2021)[3] G. Chen et al., Nature 572, 215 (2019)[4] P. Wang et al., Rev. Sci. Instrum. 90, 023905 (2019)[5] L.C. Camenzind et al. Nat Commun 9, 3454 (2018)[6] A.M. Nikitin et al., Phys. Rev. B 95, 115151 (2017)[7] Y. Pan et al., Sci. Rep. 6, 28632 (2016)[8] U. Zeitler et al., attocube Application Note CI04 (2014)[9] P.J.W. Moll et al., Nature Mater. 12, 134 (2013)[10] C. Butschkow et al., Phys. Rev. B 87, 245303 (2013)[11] L. A. Yeoh et al., Rev. Sci. Instrum. 81, 113905 (2010)

高精度嵌套式双轴气浮转台，专为角度测量设计；转台双轴采用超精密气浮轴承，提高了运动精度和超平滑率；通过内、外轴同步运动与独立运动的组合，构成转台内部交叉自校准所需的所有运动模式，主要用于产生高精度角度与高稳定性角速度；采用三组高精度光栅采集角度，每个光栅配多个读数头实现自校准，提高测角精度；高可靠驱动控制系统，超高运动精度和运动速率稳定性；实现深亚秒级静态角度和1ppm 稳定角速度生成；各项参数可根据用户需求定制；本单位承接0.1角秒至10角秒级各类高精度转台的定制开发。序号指标名称技术要求1负载能力内轴：10 kg、外轴：50 kg2角位移误差(PV)内轴：0.2″、外轴：0.1″3角位移重复定位精度内轴：0.1″、外轴：0.05″4回零误差内轴：0.05″、外轴：0.03″5速率范围内轴：0-100 r/min、外轴：0-2 r/min6速率稳定性优于0.1%（1°范围内）优于0.01%（10°范围内）优于0.001%（100°范围内）优于0.0001%（360°范围内）7安装台面尺寸476mm×476mm8径向回转误差内轴：50 nm、外轴：50 nm10位置稳定时间内轴：≤2s、外轴：≤2s11转台台面内轴：φ155 mm、外轴：φ320 mm12安装方式法兰安装或直接放置13选配环境适应性设计

RT250S具有超高的速度稳定性，是您寻找的具有卓越的运动性能、高刚度和高承载能力的旋转空气轴承平台的首选！RT-S系列的设计包含顶级空气轴承，电机和编码器，可实现出色的角度定位和速度稳定性。高分辨率编码器系统可实现最终稳定的定位和速度跟踪。大通孔便于滑环集成，光学或其他馈通。应用领域：• 计算机断层扫描• X-射线• 超精密加工• 激光加工• 光学检查• 半导体应用• 医疗行业的测试系统• 用于尺寸测量系统的运动轴• 惯性导航• 精密重力测量产品规格Rotary Stage RT250SMax. axial load 最大轴负载804 NMax. radial load 最大侧向负载452 NAxial stiffness 轴刚性402 N/μmRadial stiffness 侧向刚性226 N/μmTilt stiffness 摇摆刚性2380 Nm/mradRadial error motion 端跳误差 100 nm LSCAxial error motion 轴误差 50 nm LSCResolution分辨率0.1arcsec，取决于细分比（4× ~ 20000×）Repeatability重复精度0.5 arcsec 或者2倍分辨率Air consumption 耗气量 15 Nl/minTotal mass 重量16,5 kgEncoder 编码器40000 periodsNominal torque 标称扭矩1,5 NmPeak torque 峰值扭矩4,5 NmMax. speed 最大速度120 rpmAngular accuracy 角精度4,0 arcsecMaterial 材料coated aluminium尺寸图运动控制该旋转台可配备运动驱动器和软件。该软件提供易于编程的定位循环，自动归位程序以及与机器接口的通信。集成了压力供应失败时产生安全停止的紧急程序。此外，图形用户界面将设置时间降至最低。