氦质谱检漏仪 PECVD 检漏
上海伯东代理德国 Pfeiffer 多功能多用途氦质谱检漏仪 ASM 340 成功应用于 PECVD 设备检漏PECVD: ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等离子体增强化学气相沉积法 )是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离, 在局部形成等离子体, 而等离子体化学活性很强, 很容易发生反应, 在基片上沉积出所期望的薄膜. 为了使化学反应能在较低的温度下进行, 利用了等离子体的活性来促进反应, 因而这种 CVD 称为等离子体增强化学气相沉积 (PECVD).