URE-2000 系列紫外单面光刻机此系列包含六种型号:URE-2000A,URE-2000B,URE-2000/35,URE-2000/35A,URE-2000/25,URE-2000/17 URE-2000/600 紫外光刻机 1、设备主要技术指标:(1)光束口径: 650mm×650mm(2)有效曝光面积:600mm×600mm(3)分辨力:≤3μm(4)对准精度:±1.5μm(5)对准显微镜中心距:75mm-600mm 可调(6)掩模尺寸:650mm×650mm(7)样片尺寸:可适应Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 300mm×300mm;450mm×450mm;600mm×600mm,厚度为 0.2mm~20mm 的多种规格样片;(8)光源不均匀性:≥ 95%(Ф600mm)(9)掩模相对于样片运动行程:X: ±15mm Y: ±15mm Z:15mm Φ: ±10o(10)曝光面光强:15mW/cm2(i、g、h 线)(11)汞灯功率:2500W(直流)(12)曝光量设定方式:定时(倒计时方式 0.1s-9999.9s,设定精度 0.1s) 2.技术主要组成部分大面积精细胶模图形结构成型机组成主要由:高均匀照明曝光系统、对准工件台系统、CCD 对准系统、计算机控制系统、气动控制系统及辅助设备构成。各系统构成与配置如下: (1)高均匀照明系统包括:。冷光椭球镜;。2500W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)。 XYZ 汞灯调节台;。光学系统:椭球反射镜、光栏、快门、平面冷光反射镜 1、平面冷光反射镜 ,2、蝇眼透镜组、抛物面冷光反射镜;。冷却风扇;。循环水冷系统。 (2)对准工件台系统包括:? 掩模样片相对运动台;? 转动台;? 样片调平机构,自动完成;? 样片调焦机构,自动调整;? 承片台 10 个:Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 及 300mm×300mm;450mm×450mm;600mm×600mm;? 掩模夹 1 个:650mm×650mm;? 抽拉式上下片机构。 (3)CCD 对准系统包括:? 光源、电源;? 显微镜工作台;? 成像光学系统(两套);? 数据采集卡;? CCD 图像处理部件(两套)。 (4)电控系统包括:? 大功率汞灯触发电源;? 单片机控制系统;? 薄膜开关面板;? 控制柜桌; (5)气动系统包括:? 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等;? 电磁阀驱动部件;? 气动显示仪表。 (6)其他配套附件? 真空泵一台(无油泵、SK-65C 型);? 空压机一台(静音型、YB-W30 型);? 水冷机一台(H35W 型);? 配套接口管道 二、URE-2000/A12 紫外光刻机 1、设备主要技术指标: (1) 曝光面积: 300mm×300mm;(2)分辨力: ±2μm;(3)对准精度:±2μm;(4)掩模尺寸: 7 英寸、9 英寸、13 英寸;(5)样片尺寸: 6 英寸、8 英寸、12 英寸;(6)wafer chuck 表面:防止光反射涂层;(7)掩模样片整体运动范围:X:10mm Y:10mm;(8)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm Y: ±5mm Ф : ±6°;(9)汞灯功率:1000W(直流);(10)曝光能量密度:≥ 10mW/cm 2 ;(11)曝光峰值波长:365nm;(12)光源平行度:<2°;(13)曝光方式:定时(倒计时方式 0.1s—9999.9s);(14)光刻版夹具兼容性 2.技术主要组成部分 (1)曝光头系统包括:? 冷光椭球镜;? 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯;? XYZ 汞灯调节台;? 光学系统(冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜);? 冷却风扇。 (2)对准工件台系统包括:? 掩模样片相对运动台;?(XY),转动台;? 样片调平机构;? 样片调焦机构;? 承片台 3 个: 6 英寸、8 英寸、12 英寸;? 掩模夹 3 个: 7 英寸、9 英寸、13 英寸。 (3)CCD 对准显微镜系统包括:?4 倍显微镜 2 只;?照明光源 2 套;? CCD 相机 2 只;?22 英寸液晶显示器。 (5)电控系统:? 汞灯触发电源(1000W);? 单片机控制系统;? 控制柜桌。 (6)气动系统系统包括:? 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关,电磁阀驱动,气动仪表等 (7)其他配置与附件?真空泵一台;?空压机一台;? 配套气管 10m; 三、URE-2000/A8 紫外光刻机 1、设备主要技术指标: (1) 曝光面积: 200mm×200mm;(2)分辨力:±2 μm;(3)对准精度:±2 μm;(4)掩模尺寸:5 英寸、7 英寸、9 英寸;(5)样片尺寸:4 英寸、6 英寸、8 英寸;(6)wafer chuck 表面:防止光反射涂层;(7)掩模样片整体运动范围:X:10mm Y:10mm;(8)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm Y: ±5mm Φ: ±6°;(9)汞灯功率:1000W(直流);(10)曝光能量密度:≥ 15mW/cm 2 ;(11)曝光峰值波长:365nm;(12)曝光方式:定时(倒计时方式 0.1s—999.9s);(13)调平接触压力通过传感器保证重复(14)数字设定对准间隙和曝光间隙(15)具备压印模块接口,也具备接近模块接口 2.技术主要组成部分 (1)曝光头系统包括:? 冷光椭球镜;? 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯;? XYZ 汞灯调节台;? 光学系统(冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜);? 冷却风扇。 (2)对准工件台系统包括:? 掩模样片相对运动台;?(XY),转动台;? 样片调平机构;? 样片调焦机构;? 承片台 3 个: 4 英寸、6 英寸、8 英寸;? 掩模夹 3 个:5 英寸、7 英寸、9 英寸。 (3)CCD 对准显微镜系统包括:?4 倍显微镜 2 只;?照明光源 2 套;? CCD 相机 2 只;?22 英寸液晶显示器。 (5)电控系统:? 汞灯触发电源(1000W);? 单片机控制系统;? 控制柜桌。 (6)气动系统系统包括:? 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关,电磁阀驱动,气动仪表等 (7)其他配置与附件?真空泵一台;?空压机一台;? 配套气管 10m; 四、URE-2000A 型光刻机 1.技术参数?曝光面积:150mmX150mm?曝光波长:365nm?分辨力:0.8-1μm(胶厚 2 μm 的正胶)?对准精度:±0. 6μm?掩模样片整体运动范围:X:15mm Y:15mm?掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸?样片尺寸:直径 ±15mm-- ±150mm(各种不规则片)厚度 0.1mm--5mm(可拓展至 15mm)?曝光方式:定时(倒计时方式),0.1s-9999s?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能?照明不均匀性: 2.5%( ±100mm 范围),5%(±150mm 范围)?双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍?调平接触压力通过传感器保证重复?数字设定对准间隙和曝光间隙?具备压印模块接口,也具备接近模块接口?掩模相对于样片运动行程: X: ±5mm Y: ±5mm Φ: ±6 度?最大胶厚:500 μm(SU8 胶)?光源平行性:1.2°?曝光能量密度:18mW/cm2?冷却方式:循环水+风冷?曝光面温度:30°C?汞灯功率:1000W(直流,进口 2.外形尺寸:1400mm(长)?1200mm(宽) ?1950mm(高) 3.配置 (1)曝光头?冷光椭球镜?1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)?XYZ 汞灯调节台?冷却风扇?光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(109 个透镜)、i 线滤光片、场镜1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2?循环水冷系统 (2)对准工件台?掩模样片整体运动台?掩模样片相对运动台?转动台?样片调平机构,自动完成?样片调焦机构,自动调?承片台 4 个(2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸)?掩模夹 4 个(3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸)?基片抽拉式上下片机构 (3)对准显微镜?光源(配备品 2 只)、电源?双目双视场对准显微镜主体?目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)?物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个) (4)CCD 对准系统(选配)?光源(配备品 3 只)、电源?成像光学系统(两套)?数据采集卡?三维工件台(两套)?CCD(2 只) (5)电控系统?汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)?单片机控制系统?控制柜桌?计算机系统及液晶显示器 (6)气动系统?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等?电磁阀驱动?气动仪表 (7)其他附件?真空泵一台(无油泵)?空压机一台(静音泵) 五、URE-2000B 型光刻机 1.技术参数?曝光面积:100mmX100mm?曝光波长:365nm?分辨力:0.8μm(胶厚 2μm 的正胶)?对准精度:±0.6μm?掩模样片整体运动范围:X:15mm Y:15mm?掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸?样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm(各种不规则片)厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)?曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能?照明不均匀性: 2.5%(±100mm 范围)?双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜 3 对:4 倍、10 倍、20 倍; 目镜 3 对:10 倍、16 倍、20 倍?调平接触压力通过传感器保证重复?数字设定对准间隙和曝光间隙?具备压印模块接口,也具备接近模块接口?掩模相对于样片运动行程: X: ±5mm Y: ±5mm Ф: ±6 度?最大焦厚:600 μm(SU8 胶,用户提供检测条件)?光源平行度:1.2o?曝光能量密度:20mW/cm ?汞灯功率:1000W(直流,进口) 2.外形尺寸:1400mm(长)?1200mm(宽) ?1950mm(高) 3.配置 (1)曝光头?冷光椭球镜?XYZ 汞灯调节台?冷却风扇?1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)?光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(109 个透镜)、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2 (2)对准工件台?掩模样片整体运动台?掩模样片相对运动台?转动台?样片调平机构,自动完成?样片自动调焦机构?承片台 4 个(?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸)?掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)?基片抽拉式上下机构 (3)对准显微镜及 CCD 对准系统?光源、电源?双目双视场对准显微镜主体?目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)?物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)?CCD?21 英寸液晶显示器 (4)电控系统?汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)?单片机控制系统?控制柜桌 (5)气动系统?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等?电磁阀驱动?气动仪 (6)其他附件?真空泵一台(无油泵)?空压机一台(静音泵)?管道 (7)技术资料?使用维修说明书。? 显微镜使用说明书 六、URE-2000/35 型光刻机 1.技术特征——非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,自动化程度高)和高校教学科研(可靠性好,演示方便)采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除曝光间隙,采用 350W 进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度。设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程度很高,操作十分方便。 2.技术参数?曝光面积:4 英寸?曝光波长:365nm?分辨力:0.8?m?对准精度:?0. 8?m?掩模样片整体运动范围:X:15mm Y:15mm?掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸?样片尺寸:直径 ?10mm-- ?100mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--5mm(可扩展为 15mm)?曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能?照明不均匀性: 3%(?100mm 范围)?双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍?调平接触压力通过传感器保证重复?数字设定对准间隙和曝光间隙?具备压印模块接口,也具备接近模块接口?掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm Y: ±5mm Ф : ±6o?最大焦厚:400 μm(SU8 胶,用户提供检测条件)?光源平行性:3.5 o?曝光能量密度:20mW/cm2,照明面温度35 o?单层曝光一键完成?采用球气浮自动找平?汞灯功率:350W(直流,进口汞灯) 3.外形尺寸:1200mm(长)±900mm(宽) ±1750mm(高) 4.配置 (1)曝光头?冷光椭球镜?350W 进口直流高压汞灯(进口)?XYZ 汞灯调节台?冷却风扇?光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜1、冷光反射镜 1、反射镜 2 (2)对准工件台?掩模样片整体运动台?掩模样片相对运动台?转动台?样片调平机构,自动完成?基片抽拉式上下机构?样片调焦机构,电机自动调?承片台 4 个:±15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸(可按用户要求增减)?掩模夹 4 个:3 英寸、4 英寸、5 英寸(可按用户要求增减) (3)对准显微镜?光源(配备品 2 只)、 电源?双目双视场对准显微镜主体?目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)?物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)?CCD 对准系统,21 寸液晶显示器 (4)电控系统?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)?单片机控制系统?控制柜桌 (5)气动系统?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等?电磁阀驱动?气动仪表 (6)其他附件?真空泵一台?空压机一台?管道 七、URE-2000/35A 型光刻机 1.技术特征——非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,全自动)和高校教学科研(可靠性好,演示方便)采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除曝光间隙,采用 350W 进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度。设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程度很高,操作十分方便。 2.技术参数?曝光面积:6 英寸?曝光波长:365nm?分辨力:1-1.2μm(胶厚 2 μm的正胶)?对准精度:±0.8μm?掩模样片整体运动范围:X:15mm Y:15mm?掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸?样片尺寸:直径 ±15mm-- ±150mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--6mm?曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能?照明不均匀性: 6%(±150mm 范围)?双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍?调平接触压力通过传感器保证重复?数字设定对准间隙和曝光间隙?具备压印模块接口,也具备接近模块接口?掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm Y: ±5mm Ф : ±6o?最大焦厚:350μm(SU8 胶,用户提供检测条件)?光源平行性:3.5 o?曝光能量密度:15mW/cm2,照明面温度35 o?单层曝光一键完成?采用球气浮自动找平?汞灯功率:350W(直流,进口) 3.外形尺寸:1200mm(长)?900mm(宽) ?1750mm(高) 4.配置 (1)曝光头?冷光椭球镜?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)?XYZ 汞灯调节台?冷却风扇?光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2 (2)对准工件台?掩模样片整体运动台?掩模样片相对运动台?转动台?样片调平机构,三点自动完成?样片调焦机构,电机自动调?基片抽拉式上下机构?承片台 4 个:?15mm 、3 英寸、4 英寸、6 英寸(可按用户要求增减)?掩模夹 4 个:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸(可按用户要求增减) (3)对准显微镜?光源(配备品 2 只)、 电源?双目双视场对准显微镜主体?目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)?物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)?CCD 对准系统,21 寸液晶显示器 (4)电控系统?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)?单片机控制系统?控制柜桌 (5)气动系统?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等?电磁阀驱动?气动仪表 (6)其他附件?真空泵一台?空压机一台?管道 八、URE-2000/35L 型光刻机 一、 主要技术参数: (1)曝光面积:100mm×100mm;(2)照明不均匀性: ±3%( ±100mm 范围);(3)分辨力:1.0μm(胶厚 2.0 μm 的正胶,365nm 波长)(4)对准精度:≤±0.8μm;(5)掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸;(6)样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm、厚度 0.1mm--6mm;(7)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm Y: ±5mm Ф:±6°;(8)掩模样片整体运动范围:X:6mm Y:6mm(9)曝光光源:紫外 LED(进口);(10)曝光波长:365nm;(11)曝光强度:≥20mW/cm2;(12)曝光定时:倒计时方式(0.1s—9999.9s 任意设定).(13)调平接触压力通过传感器保证重复(14)数字设定对准间隙和曝光间隙(15)具备压印模块接口,也具备接近模块接口 二、技术构成与配置设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、气动系统等部分构成。 (1)曝光头系统包括:◆ 进口紫外 LED 光源模块;◆ LED 光源整形模块;◆ XYZ 光源位置调节台;◆ 光学系统(含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组(79 个透镜)、场镜组、反射镜组);◆ 冷却风扇。 (2)对准工件台系统包括:◆ 掩模样片相对运动台(XY);◆ 转动台;◆ 样片调平机构,采用三爪加球气浮自动调平方式;◆ 样片调焦机构,采用电机加传感器方式,可数字分离曝光间隙;◆ 承片台 4 个(?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸各 1 个);◆ 掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸各 1 个)。 (3)CCD 对准显微镜系统包括:◆ 对准光源 LED 灯;◆ 双目双视场对准显微镜主体;◆ 目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个);◆ 物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个);◆ CCD 部件;◆ 22 英寸宽屏液晶显示器。 (4)电控系统包括:◆ 单片机控制系统;◆ 紫外 LED 电源模块;◆ 控制柜桌。 (5)气动系统包括:◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。 (6).辅助设备配置:◆ 真空泵 1 台(干泵);◆ 静音空气压缩机 1 台;◆ 配套接管 10m; (7).备品备件◆ 对准光源灯 4 只(LED-1W,不包括机器自带的两只); 九、URE-2000/35AL 型光刻机 一、 主要技术参数:(1)曝光面积:150mm×150mm;(2)照明不均匀性: ±4%( ±150mm 范围);(3)分辨力:1.0μm(365nm 波长)(4)对准精度:≤±0.8μm;(5)掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸;(6)样片尺寸:直径 ±15mm-- ±150mm、厚度 0.1mm--6mm;(7)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm Y: ±5mm Ф:±6°;(8)掩模样片整体运动范围:X:6mm Y:6mm(9)曝光光源:紫外 LED(进口);(10)曝光波长:365nm;(11)曝光强度:≥15mW/cm2 ;(12)曝光定时:倒计时方式(0.1s—9999.9s 任意设定).(13)调平接触压力通过传感器保证重复(14)数字设定对准间隙和曝光间隙(15)具备压印模块接口,也具备接近模块接口 二、技术构成与配置设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、气动系统等部分构成。 (1)曝光头系统包括:◆ 进口紫外 LED 光源模块;◆ LED 光源整形模块;◆ XYZ 光源位置调节台;◆ 光学系统(含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组(79 个透镜)、场镜组、反射镜组);◆ 冷却风扇。 (2)对准工件台系统包括:◆ 掩模样片相对运动台(XY);◆ 转动台;◆ 样片调平机构,采用三爪加球气浮自动调平方式;◆ 样片调焦机构,采用电机加传感器方式,可数字分离曝光间隙;◆ 承片台 4 个(2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸各 1 个);◆ 掩模夹 4 个(3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸各 1 个)。 (3)CCD 对准显微镜系统包括:◆ 对准光源 LED 灯;◆ 双目双视场对准显微镜主体;◆ 目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个);◆ 物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个);◆ CCD 部件;◆ 22 英寸宽屏液晶显示器。(4)电控系统包括:◆ 单片机控制系统;◆ 紫外 LED 电源模块;◆ 控制柜桌。 (5)气动系统包括:◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。 (6).辅助设备配置:◆ 真空泵 1 台(干泵);◆ 静音空气压缩机 1 台;◆ 配套接管 10m; (7).备品备件◆ 对准光源灯 4 只(LED-1W,不包括机器自带的两只); 十、URE-2000/30 型光刻机 1.技术特征?高倍率双目双视场显微镜和 22 英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程,并提供 USB 输出;既满足高精度对准,又可用于检测曝光结果,且曝光结果和方便存储?采用倒置式照明,更换汞灯更方便,散热和防漏光效果更好?对准位和曝光位双工位工作,双工位自动切换?采用嵌入式计算机+触摸屏操作,操作更方便,更时尚?上下片、版十分方便,自动化程度高,操作简便。对高校教学科研(可靠性好,演示方便)及工厂(效率高)尤为适宜 2.技术参数?曝光面积:100mm×100mm(可升级为 6 英寸)?曝光波长:365nm?分辨力:≤1 μm(胶厚 1.5 μm 的正胶)?对准精度:±0.6 μm?显微镜扫描台运动范围:X:10mm Y:10mm?掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸?样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--6mm?曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能30?照明不均匀性: 3%(±100mm 范围)?双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍?曝光对准双工位自动切换?调平接触压力通过传感器保证重复?数字设定对准间隙和间隙?具备压印模块接口,也具备接近模块接口?掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm Y: ±5mm Ф: ±6o?最大焦厚:400 μm(SU8 胶,用户提供检测条件)?光源平行性:3 o?曝光能量密度:25mW/cm2,照明面温度35 oC?单层曝光一键完成?采用球气浮+三爪找平?汞灯功率:350W(直流,进口) 3.外形尺寸:1400mm(长)±900mm(宽) ±1500mm(高) 4.配置 (1)曝光头?冷光椭球镜?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)?XYZ 汞灯调节台?冷却风扇?光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2 (2)对准工件台?光刻机底座?工位切换台(气缸)?掩模样片整体运动台?掩模样片相对运动台?转动台?样片调平机构,三点自动完成?样片调焦机构,电机自动调?基片抽拉式上下机构?承片台 4 个:?15mm 、?40mm、?60mm、?100mm(可按用户要求增减)?掩模夹 4 个:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸(可按用户要求增减)?样片抽拉式上下机构 (3)对准显微镜?光源、 电源?双目双视场对准显微镜主体?目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)?物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)?CCD 对准系统,22 寸液晶显示器 (4)电控系统?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)?单片机控制系统?控制面板?控制柜桌 (5)气动系统?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等?电磁阀驱动?气动仪表 (6)其他附件?真空泵一台?空压机一台?配套接口管道 十一、URE-2000/25 型光刻机 1.技术参数?曝光面积:4 英寸?曝光波长:365nm?分辨力:1 μm(胶厚 2 μm 的正胶)?对准精度:±0.8μm?掩模样片整体运动范围:X:15mm Y:15mm?掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸?样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--6mm?曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量?照明不均匀性: 3%( ±100mm 范围)?双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍目镜三对:4 倍、10 倍、20 倍?掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm Y: ±5mm Ф : ±6o?最大焦厚:350μm(SU8 胶,用户提供检测条件)?光源平行性:3.5 o?曝光能量密度:20mW/cm2,照明面温度35 o?汞灯功率:350W(直流,进口) 2.外形尺寸:1200mm(长)?900mm(宽) ?1750mm(高) 3.配置(1)曝光头?冷光椭球镜?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)?XYZ 汞灯调节台?冷却风扇?光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2 (2)对准工件台?掩模样片整体运动台?掩模样片相对运动台?转动台?样片调平机构, 手动?样片调焦机构,手动?承片台 3 个(?50mm 、?75mm 、 ?100mm)?掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)?基片抽拉式上下机构 (3)对准显微镜?光源(配备品 2 只)、 电源?双目双视场对准显微镜主体?目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)?CCD 及 21 英寸液晶显示器?物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个) (4)电控系统?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)?单片机控制系统?控制箱 (5)气动系统?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等?电磁阀驱动?气动仪表 (6)其他附件?真空泵一台?空压机一台?管道 十二、URE-2000/17 型光刻机(台式) 1.技术参数?曝光面积:4 英寸?曝光波长:365nm?分辨力:1.5μm(胶厚 2 μm 的正胶)?对准精度:±1μm?掩模样片整体运动范围:X:15mm Y:15mm?掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸?样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm,厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)?曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量?照明不均匀性: 5%(±100mm 范围)?双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍?掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm Y: ±5mm Ф: ±6 度?汞灯功率:200W(直流)?曝光能量密度:6mW/cm 2.外形尺寸:650mm(长)±600mm(宽) ±900mm(高)36 3.配置 (1)曝光头?200W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)?XYZ 汞灯调节台?光学系统?冷却风扇 (2)对准工件台?掩模样片整体运动台?掩模样片相对运动台?转动台?样片调平机构,手动?样片调焦机构,手动?承片台 3 个(?50mm 、?75mm 、 ?100mm )?掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)?掩模抽拉式上下机构 (3)对准显微镜?光源(配备品 2 只)、电源?双目双视场对准显微镜主体?目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)?物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)?CCD(台湾)?21 寸液晶显示器 (4)电控系统?汞灯触发电源(200W 直流汞灯)?单片机控制系统?控制机箱 (5)气动系统?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等?电磁阀驱动?气动仪表 (6)其他附件?真空泵一台?管道
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