全自动扫描显微镜

AFM5500M II全自动扫描探针显微镜除了配置高精度平板扫描器和各种测量自动化功能，还有两种共享坐标样品台功能。通过多种设备的关联解析，实现了单个设备无法实现的多维缺陷评价和故障解析。主要特点1. AFM自动化测量&bull 通过自动化控制大大提高效率，自动探针安装，自动光轴调整，自动参数优化；&bull 排除人为操作失误导致的测量误差，一键自动测量/处理/分析（提高整体测试效率） 2. 可靠性排除机械原因造成的误差大范围水平扫描采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。AFM5500M搭载了全新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。 样品 ：硅片上的非晶硅薄膜高精角度测量普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。样品 : 太阳能电池(由于其晶体取向具有对称结构)* 使用AFM5100N（开环控制）时 3. 利用探针评价功能进行探针尖端直径管理4. SIS模式可有效提高数据可靠性 SIS（Sampling Intelligent Scan）样品智能扫描模式只有在需要测量样品形貌和物性信息时才靠近测量点，自动控制探针位置，完全消除对测量不利的水平力，可测量吸附力较大或粗糙的样品，同时可大幅降低对探针的磨损和对样品的损伤，有效提高数据的可靠性。5. 支持机械物性/电磁物性等广泛的物性测量扫描探针显微镜是一种不仅可以测量形貌，还支持各种物性检测的显微镜。AFM5500MⅡ支持可同时获取弹性模量、形变、吸附力和摩擦力等各种机械物性的SIS-ACCESS/SIS-QuantiMech功能、以及导电性、压电分布和表面电位等各种电磁物性测量。6. 新的表面电位势测量模式 AM-KFM/FM-KFM（可用于定量和灵敏度等不同场景）除调幅开尔文力显微镜(AM-KFM)外，AFM5500MⅡ还新增了调频开尔文力显微镜(FM-KFM)。FM-KFM与AM-KFM相比，信号主要来自于探针的尖端，电位检测灵敏度更高，在电位的定量分析上更胜一筹。AM-KFM适用于单一材料间的电位和功函数对比等，FM-KFM适用于测量需要进行精细周期结构和海岛结构量化的复合材料，两种模式通过点击即可自由切换。7. 使用AFM、SEM、CSI等不同显微镜观察同一位置，实现多维度解析通过SEM、AFM、CSI等进行样品的同一位置测试，可以对目标视野进行多维度解析，实现数据的参照对比。日立高新可以提供特有的SEM/AFM/CSI同视野观察，实现联动分析。使用共享样品台进行坐标联动，或通过全新的AFM标记功能，可以在AFM、SEM、CSI之间快速、轻松地锁定同一视野，进一步扩大了联动分析的应用范围。

国仪量子高速扫描电子显微镜HEM6000HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了高速图像采集和成像，同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。 产品优势 高速自动化 全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的5倍大场低畸变跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变低压高分辨 样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率应用领域应用案例大规模成像规格书 关键参数 分辨率 1.3nm @ 3 kV，SE；2.2 nm @ 1 kV，SE； 1.9nm @ 3 kV，BSE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；加速电压 100 V~6 kV(减速模式) 6 kV~30 kV(非减速模式) 放大倍率 66~1,000,000x 电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪 物镜类型 浸没式电磁复合物镜 样品装载系统 真空系统 全自动控制，无油真空系统 样品监控 样品仓监控水平摄像头 ； 换样仓监控垂直摄像头样品最大尺寸 直径4英寸 样品台 类型 电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台） 行程 X、Y轴：110mm；Z轴：28mm；重复定位精度 X轴：±0.6 um；Y轴：±0.3 um 换样方式 全自动控制 换样时间 ＜15 min 换样仓清洗 全自动控制等离子清洗系统 图像采集与处理 驻点时间 10 ns/pixel 图像采集速度 2*100 M pixel/s 图像大小 8K*8K 探测器和扩展 标配 镜筒内混合电子探测器 选配低角度背散射电子探测器 镜筒内高角度背散射电子探测器 压电驱动样品台 高分辨大场模式样品仓等离子清洗系统 6英寸样品装载系统主动减震台 AI降噪；大图拼接；三维重构 软件 语言 中文 操作系统 Windows 导航 光学导航、手势快捷导航 自动功能 自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散服务扫描电子显微镜实验室 我们在合肥、无锡、广州和上海设有扫描电子显微镜实验室，实验室配备多名电镜技术专家和高级电镜应用工程师，提供包含电 镜应用技术开发、样品拍摄在内的多种服务。主要应用领域有锂电池、新型纳米材料、半导体材料、矿物冶金、地质勘探、生物医药等。 实验室依托国仪量子电镜产品，在电镜应用领域开展具有自主知识产权的科研项目，致力于实现科学研究和人才培养的目标。与此同时，实验室也为有电镜应用需求的科研院所、大专院校、企事业单位提供优质的服务。

ECHO Pro 全自动超声波扫描显微镜美 Sonix 全自动超声波扫描显微镜ECHO Pro , 批量 Tray盘和框架直接扫瞄, 编程自动判别缺陷, 高产量,无需人员重复设置, 自动烘干.美 Sonix 全自动超声波扫描显微镜ECHO Pro 全自动生产型:● 批量 Tray盘和框架直接扫瞄● 编程自动判别缺陷● 高产量,无需人员重复设置● 自动烘干

技术参数：测量模式： STM/ AFM (接触 + 轻敲+非接触)/ 横向力/ 相位/ 力调制/力谱/粘附力/ 磁力/静电力/ 开尔文/ 扩展电阻/纳米压痕/纳米刻蚀: AFM (电压刻蚀 + 力刻蚀) 扫描方式：样品扫描测量头部：AFM和SPM（全内置自动切换），可选配液相模式和纳米压痕测量头最大样品尺寸：直径20mm，厚度10mmXY样品定位装置：移动范围5×5um，软件控制电动定位XY样品定位装置最小步进：0.3um扫描范围：100×100×10um（三维全量程闭环控制扫描器），3×3×2um（低电流模式扫描器）XY方向非线性度：≤0.1%（闭环控制扫描器）Z方向噪音水平（带宽10~1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.03nm，最大0.04nm），低电流模式扫描器（0.02nm）激光光路系统：电动调节，全自动准直视频显微系统：软件控制电动变焦和连续变倍，软件控制变换视野，分辨率2um样品温度控制：室温~150℃主要特点：全自动化桌面型SPM直观易用的软件界面全自动切换AFM和STM扫描头自动调整激光光路（悬臂—激光—四象限光电探测器）软件控制的电动样品定位平台视频显微镜系统软件控制电动聚焦和变倍视频显微镜系统软件控制定位样品观察视野电动开关样品室门切换不同的测量模式，软件自动调节最优参数人体工程学设计

n主要用途：测试被测4,6寸wafer与LEDwafer产品的内部缺陷，如空洞、分层、裂缝、异物等；n优势简介：- 可用于4”,6”wafer SAM-CYGNUS LED测试- 带有全自动机械臂，可进行自动取片自动检测- 配置Wafer Map, BCR reader, Wafer Pre Aligner, Spin Coater System等全自动系统- 可用于测量材料表面与内部缺陷的位置与尺寸大小（Debonding, Delamination, Crack）- 可用于测量材料的厚度- 带Water jet 扫描系统- 带安全锁及报警系统- 噪声低：采用高精度linear-servo电机- 成像质量高，速度快，扫描精度高- 支持A, C, T 扫描模式n产品特色SAM-CYGNUS是一款全自动的wafer缺陷测试声学显微镜，可以对4,6寸wafer进行全自动无损检测，分析器件内部之分层、裂缝、空洞等缺陷。X轴和Y轴均是新型高速线性伺服电机，扫描速度快，同时经久耐用。能对器件作多种扫描模式，如点扫描(A-)、纵剖扫描（B-）、横剖扫描（C-）、多层横剖扫描(X-）等。n主要参数- 超声波测量探头频率范围 : 1-500MHz- A/D 换能器：2GHz 取样频率, 1GHz带宽- 适合wafer尺寸：4”与6”- XY方向重复定位精度：±2μm- Z方向扫描范围：70mm- Z方向扫描分辨率：2.5μmn产品应用：wafer与LED芯片

美 Sonix 全自动超声波扫描显微镜ECHO Pro全自动生产型:● 批量 Tray盘和框架直接扫瞄● 编程自动判别缺陷● 高产量,无需人员重复设置● 自动烘干Sonix 非破坏超声波扫描是一款提高生产、简化测试、改进生产率和提高产能的生产和实验室设备。无论是失效分析实验室的详细分析还是生产线检测，Sonix 都能提供一个易于操作的软件解决方案。﹡WinIC Lab （详细失效分析工具）﹡WinIC Production （易于操作的、新型的生产工具，专门用于生产的大量分析）SONIX Automatic Ultrasonic Scanning Microscope Echo ProFully automatic production type:● Batch Tray Tray and frame can be directly scanned● Programming to automatically identify defects● High output, no need for repeated personnel Settings● Automatic dryingSONIX Nondestructive Ultrasonic Scanning is a production and laboratory device that enhances production, simplifies testing, improves productivity and increases productivity.Whether it' s detailed analysis in the failure analysis lab or inspection on the production line, Sonix provides an easy-to-use software solution.* WinIC Lab (detailed failure analysis tool)* WinIC Production (easy-to-use, new Production tools, designed for Production of large volumes of analysis)

Bruker 全自动原子力显微镜 InSight AFP——第五代AFP具有业界高的分辨率、快的成型速度和快速的3D模具映射InSight AFP是世上性能*高、行业首-选的先进技术节点CMP轮廓和蚀刻深度计量系统。将其现代尖-端扫描仪与固有的稳定电容式压力计和精确的空气轴承定位系统相结合，可以在模具的活动区域进行非破坏性的直接测量。 0.3纳米长期稳定提供NIST可追踪的参考计量，并在一年内保持测量的稳定性260-340个站点/小时内联应用程序的*高生产效率减少MAM时间和优化的晶圆处理可保持高达50个晶圆/小时的吞吐量高达36000微米/秒仿形速度通过热点识别提供高分辨率3D特征*高分辨率，尖-端寿命长InSight AFP的TrueSense技术，具有原子力分析器经验证的长扫描能力。亚微米特征的蚀刻深度、凹陷和侵蚀可以完全自动化地监控，具有无与伦比的可重复性，无需依赖测试键或模型。-----蚀刻和CMP晶片的全自动在线过程控制Insight AFP结合了原子力显微镜的新创新，包括Bruker的专有CDMode，用于表征侧壁特征和粗糙度。CDmode减少了所需的横截面数量，实现了显著的成本节约。此外，AFP数据提供了无法通过其他技术获得的直接侧壁粗糙度测量。自动缺陷审查和分类当今集成电路的器件缺陷比以往任何时候都小，需要快速解决HVM需求。InSight AFP提供了有关半导体晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息，使制造商能够快速识别缺陷源并消除其对生产的影响。100倍高分辨率配准光学元件和AFM全局对准可使图案化晶圆和掩模的原始图像放置精度低于±250 nm，确保感兴趣的缺陷是测量的缺陷。该系统与KLARITY和大多数其他YMS系统完全兼容。3D模具映射和HyperMap&trade 分析速度高达36000μm/sec，能够对33mm x 26mm及更大的闪光场进行快速、完整的3D CMP后表征和检查。超2纳米的平面外运动，实现真正的大规模地形和全自动抛光后热点检测。在本例中，在24小时内以1微米x 1微米像素大小获得了完整的标准26毫米x 33毫米十字线场扫描。然后可以使用Bruker的热点检测和审查功能自动检测和重新扫描热点。售后服务Bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP——紧凑型高性能剖面仪和AFMBruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。 0.5 nm长期动态再现性用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量 亚纳米CMP自动计量的灵敏度，专用碟形和腐蚀计量包，用于无与伦比的过程控制和开发 20nm仿形平面度大于26mm针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量 在线计量结果以分钟为单位，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制在高级技术节点，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求，以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕新一代AFM扫描仪构建，在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度，小于10纳米。该系统的NanoScopeV 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度，以提高生产效率，所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项先进功能，可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。售后服

简单介绍：该产品可快速对焦拍摄，确保每一张照片清晰度，多用于浮游生物样品高倍显微图像采集。详情介绍：藻类全自动显微扫描系统麦特微薄片扫描，水质检测，AI自动识别扫描显微镜，扫描薄片显微镜，生物扫描显微镜，生物细胞检测，水质检测显微镜，水厂分析显微镜，AI识别扫描显微镜1. 显微镜本体：亮度可调明场LED，成像光路，非成品显微镜改造2. 载物台：位移分辨率0.1μm，重复定位精度±5μm3. Z轴：位移分辨率0.1μm，重复定位精度±1μm4. 五孔物镜切换器，配平场半复消色差物镜20X 0.5N.A和40X 0.75N.A5. 扫描模式：面阵连续飞行扫描6. 配套扫描软件：全局扫描拼接，全局景深融合，单视野景深融合，单视野实时预览，切片全局预览7. 扫描速度：30s@20X，90s@40X，15*15mm范围8. 提供C++、C#、Python、LabView等多种语言开发包。9. 原始数据生成，可选择保存Tiff/SVS等通用格式 10. *大扫描片数：611. 指定视野个数扫描/景深融合扫描水藻、海藻、水处理、污水处理、扫描显微镜、显微镜、藻类、水草等扫描

SD-3000A全自动显微图像扫描系统技术参数 *1.研究级电动型正置显微镜，XYZ三轴电动，平行无限远复消色差校准光路，大限度地消除杂散光等干扰因素,提供高衬度、高分辩率的图像质量2.观察方式：具备明场、暗场、偏光观察方式。3.偏光观察：专业偏光观察，起偏镜可至少360度旋转检偏。4.放大倍数：50X~500X。5.光源：采用科勒式高亮度LED照明，色温（颜色）恒定于4500K，无闪烁。使用寿命超过30000小时。光源由主机直接供电，无外置电源，保证显微镜的一体性。*6．三目观察筒：具备三档分光（100:0/50%-50%/0:100）,避免采集图像的干扰，采集的图像亮度高。目镜筒瞳距55~75mm可调。观察筒视场数不低于25。*7．目镜10x一对：超宽视野目镜，视场数 25，目镜屈光度可调节，适合不同视力人员观察。*8.物镜：5X、10X、20X、50X，APO复消色差物镜。*9．载物台：电动扫描平台，步进电机驱动，X行程不小于75mm，Y行程不小于50mm，分辨率： 0.05 um。*10. 电动Z轴：配备光栅编码器，确保位置准确，分辨率 0.02 um，具有光电限位开关。*11. 数码摄像头：高帧率相机：快门模式：：Sony芯片，全局快门；35.7fps@2448 × 2048动态范围75dB； USB3.0（USB3.1 GEN1）数据传输。*12. 扫描软件：拼图增强模块具备高速扫描拼图功能，描整个标本或选择一个特定的感兴趣区域，然后对其进行高速扫描，然后组合形成一个无缝的大视野图像，可以在任何缩放级别快速查看，此外，您可以使用简单直观的“浏览”工具缩放、平移和处理整个数字化的大视野图像。13. 控制器：XYZ三轴一体化手控盒，可4挡调速，可扩展第4轴功能。14.计算机：DELL商用台式机，配置不低于：i7处理器 16G内存 256SDD+2T 4G独显 27寸显示

仪器简介：Nanite 原子力显微镜系统是纳米测量和成像的完美工具。该系统提供三维数据。原子力显微镜测量是非破坏性的，无需制备样品。此外，机械运动平台允许批量的，预编程测量，使用大型花岗岩自动X/Y/Z样品台可测试尺寸达180mm样品的不同区域，用户甚至可以定制更大的移动样品台。Nanite设计灵活、操作简单，是您理想的全自动研究级AFM系统。瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针原子力显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针原子力显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针原子力显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。技术参数：原子力显微镜测量模式: 接触式原子力显微镜，真正非接触式原子力显微镜，横向力/摩擦力显微镜（LFM），导电原子力显微镜，磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe），扫描热原子力显微镜（SThM），电容和静电力显微镜（EFM），高级的纳米光刻和纳米操作能力，音叉原子力显微镜，三维扫描成像。 ● 原子力显微镜扫描器最大测量范围：110um X & Y range，22um Z range ● 大尺寸样品台，全自动测量最大直径为160mm样品。 ● PZT/Voice Coil双模式技术AFM ● 全自动运动平台，马达驱动 ● 专利批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像 ● 先进的32-bit DSP控制器，专利反馈技术(扫描范围10um时最高扫描20 Hz,消除爬行现象) ● 可以进行纳米压痕和划痕实验 ● 专利光学系统， XY闭环扫描技术 ● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发主要特点：● 原子力显微镜扫描器最大测量范围：110um X & Y range，22um Z range● 大尺寸样品台，全自动测量最大直径为160mm样品。● PZT/Voice Coil双模式技术AFM● 全自动运动平台，马达驱动● 专利批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像● 先进的32-bit DSP控制器，专利反馈技术(扫描范围10um时最高扫描20 Hz,消除爬行现象)● 可以进行纳米压痕和划痕实验● 专利光学系统， XY闭环扫描技术● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发

仪器简介：高精度扫描载物台精确定位 自动调焦装置精确的z-轴方向定位 闭合环路系统 高精度调焦 触控屏关键信息一览无遗 控制面板可自由放置技术参数：光学系统：ICCS 光学系统 镜体：FEM 设计，ACR 位置编码 1、ICCS物镜：5X、10X、20X、50X、100X2、目镜：10X3、物镜转盘：研究级7孔明暗场自动物镜转盘 4、光 源：12V100W卤素灯，智能化光路管理器，光强色温自动可调 5、光学附件：目镜测微尺，台尺，各种滤色片 6、Z轴聚焦：自动聚焦 7、数字化平台：可配数字相机，计算机，图像分析软件 8、可配热台 9、可配自动扫描台，实现多视场自动扫描。 10、可配激光共聚焦附件（蔡司独有技术）主要特点： 全新一代全自动材料显微镜Axio Imager M2m是蔡司获得良好口碑的Axio Imager M1m产品的全新升级。通过AxioVision软件或自动控制显微镜动作的全自动系统。操作菜单和所采集的图像及显微镜功能控制同界面，即由AxioVision 4软件控制自动调焦、自动物镜切换、自动功能转换（明场、暗场、偏光、微分干涉相衬等观察方法）、自动扫描载物台、自动调光、自动采集图像等。实现多个特征位置记忆，操作者可精确地对前几次或几十次的位置快速定位，可实现多视野的拼接和观察，再根据实际需要灵活进行图象处理分析等。脱机可电动、手动操作。计算机通过AxioVision软件自动控制显微镜动作的全自动系统，操作菜单和所采集的图象及显微镜功能控制同界面，即由AxioVision 4软件控制自动调焦、自动物镜切换、自动功能转换（明场、暗场、偏光、微分干涉相衬等观察方法）、自动扫描载物台、自动调光、自动采集图像等。实现多个特征位置记忆，操作者可精确地对前几次或几十次的位置快速定位可实现多视野的拼接和观察，再根据实际需要灵活进行图象处理分析等。

AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。特点1. 自动化功能高度集成自动化功能追求高效率检测，降低检测中的人为操作误差2. 可靠性排除机械原因造成的误差，大范围水平扫描采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。AFM5500M搭载了新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。高精角度测量普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。3. 融合性亲密融合其他检测分析方式通过SEM－AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等。上图是AFM5500M拍摄的形貌像（AFM像）和电位像（KFM像）分别和SEM图像叠加的应用数据。 通过分析AFM图像可以判断，SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。 石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差。 SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。与其他显微镜以及分析仪器联用正在不断开发中。

Park FX40纳米科学研发界应运而生的的新型全自动原子力显微镜该产品可以通过多样化的应用程序，不费吹灰之力即可获得敏锐、清晰、高分辨率的扫描图像。通过前所未有的速度和精度，推动您研发进步并助力您的科学新发现——FX40将人工智能运用得淋漓尽致，全自动化的过程能实现用户纳米级显微镜的需求。额外的轴向自动激光校准、早期预警系统和故障自动保险、同步化信息提取和存储，让即便是未经原子力显微镜专业培训的研究科学家们也可以轻松快速地获得最满意的扫描结果。纳米级的显微镜 硬核级的科技进步- 鼎力相助时代前沿的科技研发- 研究型AFM中首次采用的双摄像头系统- 能全自动化实时更新海量数据实现全自动技术的智能原子力显微镜Park FX只需鼠标一键操作，就能实现自动换针，以避免探针被污染或因操作不当而导致的探针损坏等问题。用户还可以根据提示，选择不同的探针类型，应用类型和使用信息等。 通过自动换针方式，用户可轻松安全地进行自动换针。利用装有8个针盒和磁控机制的便利性，用户无需操作便可安装探针。探针识别摄像头可以加载探针芯片载体上的二维码，提取并显示每个可用探针的探针类型，应用类型和使用信息等全部相关信息。自动激光校准功能将SLD光定位到悬臂梁的适当位置，并进一步分别优化PSPD的垂直和横向位置。用户只需简单点击，移动X,Y和Z轴便可得到毫不失真的高清扫描图。 双摄像头系统自动校准探针和样品位置 样品摄像头样品台上最多可以同时放置四个不同量级的样品。即便如此，样品摄像头也可以毫不费力地定位到相关位置进行精确扫描。 探针识别摄像头探针识别系统可以帮助用户搜索相关探针的全部信息（包括探针类型，应用类型和使用信息等）使研究工作事半功倍。只需一键便可轻松选择您所需要的探针。智能自动化FX40拥有智能视觉系统，能自动检测探针是否正确定位。软件界面通过定位加载探针的位置至纳米级别，并在必要时生成错误状态报告，同时将这些数据与成千上万个可能发生的模拟问题进行比较，以此不断更新升级软件。 原子力显微镜中最快速精确的真正非接触模式对于针尖样品，非接触模式展现了其强大的控制力，距离达到了亚纳米级别。Park FX40拥有快速且精确的非接触模式。环境传感器智能扫描仪显示并储存传感器的测量。传感器主要测量基本的环境条件，如温度，湿度，水平和振动。由此帮助用户在不同环境条件下扫描图像，为您筛选环境指标。 安全的探针安装系统用户可以自选手动或自动探针安装功能，同时内置的智能系统会自动检测并在用户错误安装探针时发出警告，从而有效提高测量准确度。极好的AFM体验——专为FX设计的Park OS SmartScan简易单击成像设置自动探针检测，自动激光校准简要的教学动画分分钟让您学会如何进行样品放置以及仪器成像设置1. 准确定位定位样品位置AFM自动执行悬臂的频率性扫描，接近样品的Z移动台, 然后自动聚焦，帮助您扫描任何您想要的区域。 2. 高清成像自动识别探针完成定位之后，系统会设置理想的参数，连接悬臂并扫描样品，直到为您扫出高解析度高分辨率的图像。

飞纳高分辨率专业版 Phenom Pro 是飞纳电镜系列中最先进的产品，第四代 Phenom Pro 放大倍数提升为 130,000 倍，分辨率优于 14 nm，30 秒快速得到表面细节丰富的高质量图像，是目前世界上分辨率最高的台式扫描电镜，可用于测量亚微米或纳米尺度的样品；飞纳高分辨率专业版 Phenom Pro 继承了飞纳电镜系列高分辨率、15 秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、全自动操作、2-3 年更换灯丝及防震设计等优点。飞纳高分辨率专业版 Phenom Pro 可选配丰富的拓展功能选件，如 3D 粗糙度重建（3D Roughness Reconstruction）、纤维统计分析测量系统（FiberMetric）、孔径统计分析测量系统（PoreMetric）、颗粒统计分析测量系统（ParticleMetric）、超大视野拼图（Auto Image Mapping）、远程操作等。软件可以自动采集数据、处理图片。比如，纤维统计测量系统可以自动识别、测量纤维样品，而大视野拼图 则自动采集生成高分辨、大视野的样品全景照片，等等…除此之外，还有各种各样的样品杯可供选择，这些样品杯使得样品的装载更加便利。无论是对于长轴状样品，还是生物材料，或者其它种类的材料，总有一款合适的样品杯可以提供完美的解决方案。Phenom Pro 主要技术参数光学放大20 - 135 X电子放大80 - 130,000 X分辨率优于 14 nm数字放大Max. 12 X光学导航相机彩色加速电压5 Kv - 10 Kv 连续可调真空模式标准模式降低荷电效应模式探测器背散射电子探测器样品尺寸最大直径 32 mm 样品高度最高 100 mm

AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。特点 1. 自动化功能 高度集成自动化功能追求高效率检测 降低检测中的人为操作误差 ? 4英寸自动马达台 自动更换悬臂功能2. 可靠性排除机械原因造成的误差大范围水平扫描 采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。AFM5500M搭载了最新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。 样品 ：硅片上的非晶硅薄膜高精角度测量 普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。 样品 : 太阳能电池(由于其晶体取向具有对称结构) * 使用AFM5100N（开环控制）时 3. 融合性亲密融合其他检测分析方式通过SEM－AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等。 SEM-AFM在同一视野观察实例（样品：石墨烯/SiO2） 上图是AFM5500M拍摄的形貌像（AFM像）和电位像（KFM像）分别和SEM图像叠加的应用数据。 通过分析AFM图像可以判断，SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。 石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差。 SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。 与其他显微镜以及分析仪器联用正在不断开发中。

数字扫描显微镜OSTEOIMAGER采用2/3英寸制冷CCD，14bit输出；采用标准精度达20nm的XYZ三轴电动平台；创建0.5μm解析度的1000万像素图片；可设置固定时间间隔自动采集图像；可自动对焦自动校正焦距已获取最优图像；可扫描明场、暗场、荧光、偏振光图像；可在4X、10X、20X、40X实时放大倍率下进行自动化扫描；用户可根据扫描需求，利用配套软件全自动切换物镜镜头；最多可一次扫描4张病理切片的8个样本。可以扫描多种规格的病理切片。可扫描培养皿和96孔板；多种格式的图像输出保存。还可保存为内含矫正信息的BIF图像，直接用于分析研究，无需额外校正设置；支持图像的实时分析，同时查看镜下组织切片，提高研究工作的效率。

公司情况简介北京麦特微科技科技有限公司是一家专门从事生命科学、生物检测、生物工程、药物研发、临床检验、环境监测、食品检测等领域提供先进的实验室仪器设备及多元化服务的高科技公司。公司拥有一支由专业技术人员、营销人员和维修人员组成的强大队伍，竭诚为广大用户提供包括技术咨询、产品选配、安装调试、应用指导、维护保养在内的整套细致入微的服务。本着“推荐优秀产品，提供卓越服务”的精神，北京麦特微科技科技有限公司必将成为您最信赖的伙伴！。全自动薄片扫描显微镜、地质薄片显微镜、矿物分析显微镜、荧光显微镜、包裹体显微镜、生物显微镜、电动显微镜、超景深显微镜、体视显微镜、视频显微镜Mineral flakeScanning systemSD3000A矿物光薄片扫描系统公司情况简介北京麦特微科技科技有限公司是一家专门从事生命科学、生物检测、生物工程、药物研发、临床检验、环境监测、食品检测等领域提供先进的实验室仪器设备及多元化服务的高科技公司。公司拥有一支由专业技术人员、营销人员和维修人员组成的强大队伍，竭诚为广大用户提供包括技术咨询、产品选配、安装调试、应用指导、维护保养在内的整套细致入微的服务。本着“推荐优秀产品，提供卓越服务”的精神，北京麦特微科技科技有限公司必将成为您最信赖的伙伴！。基于创立品牌和可持续发展的战略，麦特微愿与业内同行和广大用户一起成长，依托我们在产品资源和技术服务方面的突出优势，服务众多的客户在新技术、新方法、新仪器的应用中受益。品质优先：“质量产生效益，质量赢得市场”。产品质量在我们每一名麦特微人的心中。以质量诚信为荣，树立质量法制观念。“品质第一，客户至上”是我们的理念，让我们携手并进，共创繁荣。服务至上：真诚赢得信任，耐心获取理解；细节决定成败，服务创造价值。不只诚信服务，更是优良服务，不只优良服务，更要惊喜服务，不只惊喜服务，更要完美服务。科学技术：让科技行业带来我们的新生，让我们在科技中提升技术。依托科技与技术让技术更好的服务科技。让科技给技术提供原动力。主要优点1.扫描速度快，每秒3到4张照片的速度进行扫描。2.有全景预览相机，可以快速定位扫描区域，并可以多区域分割扫描。3.高精度Z轴，具备自动对焦功能，快速对焦，光栅闭环回馈，确保全片扫描无虚焦。4.进口核心偏光附件，确保偏光效果，效果不输于进口4大品牌。5.复消色差高分率物镜，确保颜色无偏差，显示更多细节。6.LED冷光源，使用寿命长，可在高亮度下持续工作。7.绿版扫描软件，可随意拷贝，不受限制。产品特点高质量的照明系统：极度明亮的大功率 LED 照明为明场、暗场、偏振光4500°K的恒定色温。它为所有亮度级提供了真正的彩色图像。由于 LED 寿命长、耗能低，因此节省能源的潜能极大。薄片（光片）数字化：将传统地质类薄片（光片）数字化，进行储存管理与分析，最终数据便于宏观与微观观察，脱离时间、空间限制。全自动高速成像：一键操作，自动扫描，搭载高速扫描台，高精度、高重复的Z轴对焦，内置光栅编码器，确保每个视场的对焦精度，图像质量优异。部件介绍本产品由扫描仪主机、控制箱、计算机、扫描及浏览软件组成。其中扫描仪主机的配置包括：显微镜 （含机架、物镜、目镜、光源等） 、电动 XY 平台、电动 Z 轴、相机、 物镜转换器、全局预览模块。 技术参数此段文字只用作占位符，您可以根据您的实际情况，添加、修改、替换此段文字的文本内容，语言描述尽量简洁精炼。文档由稻壳儿耗崽原创设计。主机 高钢性的T形镜体结构，极高的稳定性及系统灵活性。光学系统 光学系统无限远色差校正光学系统。三目镜筒 三档分光（100:0/50%-50%/0:100）,高眼点大视野平场目镜PL10X25mm，视度可调。机架 低手位粗微同轴调焦机构。最大行程30mm 微调精度1微米。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-220V 宽电压系统, 双路电源输出，采用数字调光，具有光强强度显示、透射光切换开关, 内置透射光滤色镜。载物台 步进电机XY平台，行程：80 mm （X轴）x 60 mm （Y轴），最小细分：0,05 μm，单向重复定位精度：≤ 1um（测试标准ISO230-2）电动Z轴 分辨率： 0.02 um，内置光栅编码器，光电限位开关，单向重复精度≤ 0.1 μm聚光镜 阿贝聚光镜NA0.9 上下可升降 可调孔径光阑物镜 复消色差高分辨率APO物镜：10X/0.42 20X/0.75灯室 科勒式高亮度LED照明，透、反射通用，预定中心相机 快门模式：全局快门；Sony芯片，35.7fps@2448 × 2048；动态范围75dB； USB3.0（USB3.1 GEN1）数据传输图像处理器处理器：i7；内存：32G 硬盘：256SDD+2T；显卡：独立 4G；显示器： 27寸产品衍生业务本产品可以衍生的显微镜应用，显微清洁度，显微阴极发光，显微热台 该系统能自动识别、并判定杂质的三种类型：金属颗粒、非金属颗粒、纤维。 能自动计算金属颗粒、非金属颗粒的数量并按长度等级依据ISO16232进行归类和判定等级，和计算滤膜上纤维的总长度。 该系统还能自动测量并计算出单个颗粒的长度、宽度等尺寸。 具备能够通过自动调整偏振光的硬件支持功能准确区分金属和非金属颗粒，能够将金属和非金属颗粒区分正确以便有标准的数据依据进行判定阴极发光是由电子束轰击样品时产生的可见光，不同矿物由于含有不同的激活剂元素而产生不同的阴极发光，用来激发并产生阴极发光的装置叫做阴极发光装置，把这种阴极发光装置装在显微镜上则成为阴极发光显微镜。阴极发光显微镜可以广泛地应用于岩石、矿物的鉴定以及成岩作用的研究。 业务三 简称热台。根据不同用途，热台有多种型号。有可安装在偏光显微镜 ，金相显微镜的载物台 上的，有直接取代载物台的，一般用电阻丝作为加热元件，用热电偶 测量样品加热温度。温度范围由室温至750℃，高者达2000℃左右，低者达-55℃，可用于测定矿物中各种包裹体 的均匀化温度，以确定矿物 或矿床 形成时的温度和压力。用于双变油浸法 中测定矿物的折射率；也可测定矿物脱水时的温度；测定矿物多形结构的转变温度；观察加热时矿物光性的变化等产品拍摄样片

产品描述显微镜自动平台控制系统自动平台主要技术指标一）X，Y方向自动平台1．外形尺寸： 191mmx164mm2．X方向行程：≥40mm3．Y方向行程：≥30mm4．重复定位精度：≤3um5．最小步距： ≤2um6．限位开关X，Y标准（四个）7．手动控制支持8．移动速度五档可调二）Z方向调焦机构9．调焦步距（分辨率）：0.25um10．手动控制支持三）自动平台控制器 11．通讯方式RS232串口通讯12．电动控制操纵杆控制13．电源交流220V自动平台控制及大图拼接软件主要功能定位移动：平台直接移动到指定位置全景扫描：沿试样表面平移，浏览试样全景定点拍照：按设定轨迹移动平台，同时拍摄镜下图像自动回位：多点位置记忆功能，精确快速回位大图拼接：定点拍照，同步拼接，自动生成大视野全景图片自动聚焦：控制Z轴上下移动，自动找到最佳焦面

国仪量子高速扫描电子显微镜HEM6000HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了高速图像采集和成像，同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。 产品优势 高速自动化 全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的5倍大场低畸变跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变低压高分辨 样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率应用领域应用案例大规模成像规格书 关键参数 分辨率 1.3nm @ 3 kV，SE；2.2 nm @ 1 kV，SE； 1.9nm @ 3 kV，BSE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；加速电压 100 V~6 kV(减速模式) 6 kV~30 kV(非减速模式) 放大倍率 66~1,000,000x 电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪 物镜类型 浸没式电磁复合物镜 样品装载系统 真空系统 全自动控制，无油真空系统 样品监控 样品仓监控水平摄像头 ； 换样仓监控垂直摄像头样品最大尺寸 直径4英寸 样品台 类型 电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台） 行程 X、Y轴：110mm；Z轴：28mm；重复定位精度 X轴：±0.6 um；Y轴：±0.3 um 换样方式 全自动控制 换样时间 ＜15 min 换样仓清洗 全自动控制等离子清洗系统 图像采集与处理 驻点时间 10 ns/pixel 图像采集速度 2*100 M pixel/s 图像大小 8K*8K 探测器和扩展 标配 镜筒内混合电子探测器 选配低角度背散射电子探测器 镜筒内高角度背散射电子探测器 压电驱动样品台 高分辨大场模式样品仓等离子清洗系统 6英寸样品装载系统主动减震台 AI降噪；大图拼接；三维重构 软件 语言 中文 操作系统 Windows 导航 光学导航、手势快捷导航 自动功能 自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散服务扫描电子显微镜实验室 我们在合肥、无锡、广州和上海设有扫描电子显微镜实验室，实验室配备多名电镜技术专家和高级电镜应用工程师，提供包含电 镜应用技术开发、样品拍摄在内的多种服务。主要应用领域有锂电池、新型纳米材料、半导体材料、矿物冶金、地质勘探、生物医药等。 实验室依托国仪量子电镜产品，在电镜应用领域开展具有自主知识产权的科研项目，致力于实现科学研究和人才培养的目标。与此同时，实验室也为有电镜应用需求的科研院所、大专院校、企事业单位提供优质的服务。

产品优势徕科光学研发的LK-PCYG系列全自动倒置荧光生物显微镜采用短曝光高速推扫、自适应连续对焦技术，实现完整病理切片的高质量、高速度显微扫描与无缝拼接，适用于组织切片、细胞涂片和免疫组化切片等高倍显微成像。LK-PCYG系列全自动倒置荧光生物显微镜的精密运动与光学成像均自主可控，软硬件结合，提高扫描速度和精度。LK-PCYG系列全自动倒置荧光生物显微镜采用自研短曝光高速精准扫描，双层异构线磁驱动，大孔径低畸变光学设计，亚微米全闭环多轴同步控制，高动态磁浮对焦系统。这是一款性能突出卓越且稳定的全自动数字病理扫描仪。在国货崛起的今天，徕科光学研发的LK-PCYG系列全自动倒置荧光生物显微镜已经被越来越多的高校、研究所、科研单位、企业所运用，并且已成为各客户在研究工作中的主流设备产品，其所呈现出的效果与进口设备的毫无差别，但其价格仅为进口设备的三分之一左右，依靠着科技感和创新感双强的研发力量，可以根据不同客户的需求定制出高性价比的产品方案；作为业内唯一的质保期两年的服务保障团队，具备内核稳定的售后方案，7*24小时响应，提供安装培训 一体化互动，更加直接且高效地为客户做好售前、售中、售后服务保障。经过十余年的研发服务，已积累千万客户，并在多地区投建服务部方便与客户的沟通互动。为此，本产品已经成为了当下最流行且性能稳定的国际大品牌“平替天花板”。LK-PCYG型号全自动倒置荧光生物显微镜实景图：应用图：下图为现场安装、培训实景图：下图为合作伙伴情况：下图为服务站分布图：产品介绍一、系统优势：1、高速实时自动对焦图像清晰连续推扫，4K高清显示观察范围更大浏览切片更快画面保存更真，配备柔性三片切片夹。2、一键高速飞行扫描、自动识别扫描区域自动识别切片信息、自动对焦清晰成像。二、系统应用：1、硬件自动对焦技术，图像清晰度更高（下图从左至右分别是无对焦、自动对焦、局部放大） 2、精准扫描多种类型切片图例1：组织切片图例2：血液涂片图例3：芯片组织图例4：液基细胞三、系统拓展：可实现数字病理扫描软件与远程会诊平台无缝对接，数字病理图像可在手机、平板和电脑端流畅预览，可为全国基层医疗机构提供在线病理会诊咨询、培训和读片质控。数字病理扫描软件支持同步阅片和实时标注，一键上传云端。四、应用拓展：1、可实现宫颈癌早期筛查、全程无人工干预；可对大数据留存归档、无损耗长期保存；可进行Al人工智能分析、超过60%排阴率。可真正意义上高效的人工智能诊断一键扫描，一分钟出报告。2、染色体核型分析系统：具备百万级染色体数据支撑；具备万例异常染色体数据库；具备高精度在线扫描与分析；具备高性能软硬件深度融合。产品参数产品型号LK-PCYGP3LK-PCYGP3P30/60/120产品名称全自动倒置荧光生物显微镜全自动倒置荧光生物显微镜适用载玻片25mmx75mm25mmx75mm装载数量3片 30/60/120片扫描速度50s@20x,80s@40x(15mmx15m)50s@20x,80s@40x (15mmx15m)扫描方式连续面扫描连续面扫描物镜单物镜配置：20x单物镜配置：20x(可选配)40x,电动物镜转换器可选配)40x,电动物镜转换器载物台双层异构载物台双层异构载物台运动精度XYZ三轴：0.1μmXYZ三轴：0.1μm配套软件全局扫描拼接，景深融合扫描全局扫描拼接，景深融合扫描玻片预览无极缩放、标注、截图等功能无极缩放、标注、截图等功能扫描模式自动扫描自动/手动扫描紧急加塞无有数据格式原始数据可选择保存TIFF/SVS等通用格式原始数据可选择保存TIFF/SVS等通用格式电源AC 220 V±10%AC 220 V±10%工作温度5°℃-40℃5°℃-40℃

bruker 全自动原子力显微镜 InSight AFP——第五代AFP具有业界高的分辨率、快的成型速度和快速的3D模具映射InSight AFP是世上性能*高、行业首-选的先进技术节点CMP轮廓和蚀刻深度计量系统。将其现代尖-端扫描仪与固有的稳定电容式压力计和精确的空气轴承定位系统相结合，可以在模具的活动区域进行非破坏性的直接测量。 0.3纳米长期稳定提供NIST可追踪的参考计量，并在一年内保持测量的稳定性260-340个站点/小时内联应用程序的*高生产效率减少MAM时间和优化的晶圆处理可保持高达50个晶圆/小时的吞吐量高达36000微米/秒仿形速度通过热点识别提供高分辨率3D特征*高分辨率，尖-端寿命长InSight AFP的TrueSense技术，具有原子力分析器经验证的长扫描能力。亚微米特征的蚀刻深度、凹陷和侵蚀可以完全自动化地监控，具有无与伦比的可重复性，无需依赖测试键或模型。-----蚀刻和CMP晶片的全自动在线过程控制Insight AFP结合了原子力显微镜的新创新，包括Bruker的专有CDMode，用于表征侧壁特征和粗糙度。CDmode减少了所需的横截面数量，实现了显著的成本节约。此外，AFP数据提供了无法通过其他技术获得的直接侧壁粗糙度测量。自动缺陷审查和分类当今集成电路的器件缺陷比以往任何时候都小，需要快速解决HVM需求。InSight AFP提供了有关半导体晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息，使制造商能够快速识别缺陷源并消除其对生产的影响。100倍高分辨率配准光学元件和AFM全局对准可使图案化晶圆和掩模的原始图像放置精度低于±250 nm，确保感兴趣的缺陷是测量的缺陷。该系统与KLARITY和大多数其他YMS系统完全兼容。3D模具映射和HyperMap™ 分析速度高达36000μm/sec，能够对33mm x 26mm及更大的闪光场进行快速、完整的3D CMP后表征和检查。超2纳米的平面外运动，实现真正的大规模地形和全自动抛光后热点检测。在本例中，在24小时内以1微米x 1微米像素大小获得了完整的标准26毫米x 33毫米十字线场扫描。然后可以使用Bruker的热点检测和审查功能自动检测和重新扫描热点。

美国 SONIX 超声波扫描显微镜:ECHO-VS, ECHO Pro™ 全自动超声波扫瞄显微镜, 晶圆检测设备 AutoWafe Pro, 封装检测设备ECHO-LS: SONIX™ 公司是世界500强丹纳赫集团(NYSE: DHR)下的全资子公司，是全球超声波扫描检测仪和无损检测设备的领先制造商。 自1986年成立以来，SONIX™ 在无损检测领域中不断改革创新，是第一家基于微机平台，提供全数字化成像方案的公司。 SONIX™ 一直致力于技术革新，提供给客户最领先的声学检测技术。SONIX™ 设备被广泛应用于各种材料的无损检测，包括半导体，汽车零件和其他先进元件。 拥有独立开发的软件，硬件和专利技术，这么多年来通过和客户的不断合作，实现了SAM技术的持续改进。 SONIX™ 努力提供最准确的数据，完美的图像质量，非凡的操作性和设备的高可靠性，从而为客户提高效率，节约成本。 SONIX 软件优势● 可编程扫描，自动分析 定制扫描程序，一键开始扫描，自动完成分析，生成数据 ● FSF表面跟踪线 样品置于不平的情况下，自动跟踪平面，获取同一层面图片 ● ICEBERG离线分析 存储数据后，可在个人电脑上进行再次分析 ● TAMI断层显微成象扫描 无需精确选择波形，可任意设定扫描深度及等分厚度，一次扫描可获得200张图片，最快速完成分析。 SONIX 软件 - 应用于塑封FlipChip和Stacked Die产品的成像功能 SONIXTM 的Flexible TAMITM设计 专为需要检测由不同层厚和材料组成的多层封装产品,例如:● 3-D架构● Stacked Die● Bonded wafers● Wafer 级封装 (WLP)● 塑封Flip Chips SONIX 硬件优势 ● 紧凑、稳定的结构设计 模块化设计使得结构简单、稳定，易于维护 ● 高速、稳定的马达设计 扫描轴采用最先进的线性伺服马达，提供高速、稳定、无磨损的扫描 ● 专利的超声波探头/透镜 提供精确的缺陷检验，最小能探测到仅0.1微米厚度的分层。 ● PETT技术 反射及透射同时扫描，有效提高元器件分析效率 封装检测设备晶圆夹具 (与可调的托盘夹具搭配使用) (NEW !!)

1. 产品说明　　采用进口品牌金相显微镜及配套金相扫描平台，扫描精度更高，成像效果更好，效果更准确。　　通过清洁度检测分析软件控制电子影像设备和光学放大设备，对清洗萃取后的滤纸或滤膜样本进行高精度扫描，将扫描数据传回至计算机分析软件，分析软件自动识别金属、非金属、纤维颗粒等，生成清洁度检测报告。　　检测分析过程可自动进行，亦可手动控制，支持用户自定义。　　检测分析过程可全部按照ISO16232、VDA19、ISO4406、GBT14039、NSA1638等标准执行，满足大众、宝马、通用、福特等各大汽车制造厂清洁度检测标准。　　检测流程： 　　1. 参数指标　　测试范围：1-10000μm　　放大倍数：30-1000倍　　重复性误差：≤1%（国标样D50偏差）　　准确性误差：≤1%（国标样D50偏差）　　颗粒识别速率：≥10000个/分钟　　扫描范围：φ55mm　　测量时间：＜10分钟　　漏检率：≤3%（10μm以上颗粒无漏检）　　进口高速CCD速率：120帧/秒　　金属颗粒识别率：＞92%　　纤维颗粒识别准确率：＞95%　　2. 系统特点　　（1）流程化设计，操作顺畅 　　智能化的全自动清洁度分析软件自动拍照、对焦、控制扫描、识别分析　　智能化的全自动清洁度分析软件自动拍照、对焦、控制扫描、识别分析，不漏判和误判,检测效率高。　　（2）自动化集成度高，操作更简便　　全自动的检验分析过程：自动扫描整个试样（通常是滤纸）、自动拍照，颗粒自动识别、分析、统计，自动检查清洁度、自动生成专业分析报告。　　（3）支持多种扫描方式：矩形、圆形、环形、扇形等，支持多种扫描路径。　　（4）检测样本多样化，可测量零件清洁度、油液清洁度等。　　（5）满足多种检测标准　　支持多种国标及国际标准：包括ISO4406、ISO4407、ISO16232、NAS1638、VDA19、GB/T 20082、GB/T 14039等；可以输入标准进行清洁度、颗粒度的全自动检测；可以对纤维进行统计；系统定期更新*新标准。　　（6）智能聚焦　　支持多种聚焦模式：补偿聚焦、跟踪聚焦、手动聚焦、EFI聚焦等。　　（7）自动拍照、定位，并可回溯重拍　　扫描过程自动拍照、自动保存，进度实时可见；照片信息存入数据库，方便查询。提供视场图片浏览检查功能，可以实现每个视场定位回溯、重新拍照等功能　　（8）自动识别反光颗粒、不反光颗粒、纤维　　系统自动识别颗粒，可以同时检查出不反光颗粒和反光颗粒（一般为金属颗粒）、纤维。　　自动对三种颗粒进行检查分类。 支持设置各种颗粒的合格区间。支持自定义三种颗粒的区分设置。 　　（9）支持跨视野超大颗粒、自动校正偏移，使图片可以进行无缝拼接。 　　（10）统计与分析　　系统自动识别颗粒、自动分析颗粒类别、自动统计颗粒参数。同时支持修改颗粒。提供多种统计分析工具：MAP图、颗粒列表、统计结果等。 　　（11）专业清洁度报告　　支持模板化报告生成模式，包含统计数据、评级、滤片全貌图、*大颗粒照片等信息；可选择多种报告模式。

日立高新扫描电子显微镜S-3700N适合用于研究大件，较重，较高的样品。 ▲最大样品直径达300mm。▲可观察范围直径达203mm。▲可对高达110mm的样品进行观察和能谱分析。▲通用型接口布局满足各种分析用途。 特点特大型的样品室可装载最大直径达300 mm的样品，还可同时安装EDX/WDX/EBSD等配件。其可载样品高度可达110 mm。5轴马达驱动优中心倾斜、旋转、图像导航系统、样品台追踪、轨迹存储与中心复位等样品台的马达控制功能一应俱全。S-4800，SU-70及S-3400N均具有用户友好的GUI设计，这使得操作者经过简单培训即可操作。显示系统有全屏显示，无闪烁，高像素和实时图像显示等优异的性能，它还可以实时信号混合并同时显示两个不同的检测器观测到的互不相同的样品信息。可变压模式不需要金属喷涂，可以直接观察不导电样品。高灵敏度半导体背散射电子检测器可以在快速扫描模式下运行，这使得寻找大尺寸样品中感兴趣的区域更为简单和便利。标准配备涡轮分子泵(TMP)，其清洁和干燥的真空条件最大限度地减少了样品污染。区别于传统的扩散泵扫描电子显微镜，此款产品不需较大的加热功率或循环水箱，从而使得它成为一款节能，生态环保的扫描电子显微镜。规格项目描述分辨率二次电子分辨率30kV时，3.0nm(高真空模式)3kV时，10nm(高真空模式)背散射电子分辨率30kV时，340nm(低真空模式)放大倍率×5-×300，000加速电压0.3-30KV低真空范围6-270pa图形菜单图像移动±50μm（WD=10mm）最大样品尺寸Ф300mm样品台X150mmY110mmZ5-65mmR360°T-20°-90°观测区域Ф203mm（可旋转）最大高度110mm（WD=10mm）样品台控制计算机控制5轴马达驱动优中心电子光学电子枪预对中钨灯丝物镜光阑可移动式4孔物镜光阑枪偏压带可控4偏压检测器埃弗哈特 索恩利二次电子检测器高灵敏度半导体背散射电子探测器，五分割分析位置WD=10mm 取出角=35°显示器自动合轴自动设定束流，自动合轴自动图像调整自动聚焦，自动消像散/聚焦，自动调整亮度和对比度存储图像精度640×480像素，1280×960像素，2560×1920像素，5120×3840像素图像文件格式BMP，TIFF，JPEG图像显示模式全屏显示1280×960像素，小屏显示640×480像素，双屏显示640×480像素×2，信号混合模式真空系统操作全自动程序涡轮分子泵210L/sec.×1机械泵135L/min.(162L/min.60Hz)×1安全措施断电保护，漏电保护辅助功能光栅旋转，动态消像散动态聚焦/倾斜补偿功能自由排版打印功能，字母/数字功能三维动画维修指南导航，测量方便，倾斜画面

仪器简介：高精度扫描载物台精确定位 自动调焦装置精确的z-轴方向定位 闭合环路系统 高精度调焦 触控屏关键信息一览无遗 控制面板可自由放置技术参数：光学系统：ICCS 光学系统 镜体：FEM 设计，ACR 位置编码 1、ICCS物镜：5X、10X、20X、50X、100X2、目镜：10X3、物镜转盘：研究级7孔明暗场自动物镜转盘 4、光 源：12V100W卤素灯，智能化光路管理器，光强色温自动可调 5、光学附件：目镜测微尺，台尺，各种滤色片 6、Z轴聚焦：自动聚焦 7、数字化平台：可配数字相机，计算机，图像分析软件 8、可配热台 9、可配自动扫描台，实现多视场自动扫描。 10、可配激光共聚焦附件（蔡司独有技术）主要特点：全新一代全自动材料显微镜Axio Imager M2m是蔡司获得良好口碑的Axio Imager M1m产品的全新升级。通过AxioVision软件或自动控制显微镜动作的全自动系统。操作菜单和所采集的图像及显微镜功能控制同界面，即由AxioVision 4软件控制自动调焦、自动物镜切换、自动功能转换（明场、暗场、偏光、微分干涉相衬等观察方法）、自动扫描载物台、自动调光、自动采集图像等。实现多个特征位置记忆，操作者可精确地对前几次或几十次的位置快速定位，可实现多视野的拼接和观察，再根据实际需要灵活进行图象处理分析等。脱机可电动、手动操作。计算机通过AxioVision软件自动控制显微镜动作的全自动系统，操作菜单和所采集的图象及显微镜功能控制同界面，即由AxioVision 4软件控制自动调焦、自动物镜切换、自动功能转换（明场、暗场、偏光、微分干涉相衬等观察方法）、自动扫描载物台、自动调光、自动采集图像等。实现多个特征位置记忆，操作者可精确地对前几次或几十次的位置快速定位可实现多视野的拼接和观察，再根据实际需要灵活进行图象处理分析等。

bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP——紧凑型高性能剖面仪和AFMBruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。 0.5 nm长期动态再现性用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量 亚纳米CMP自动计量的灵敏度，专用碟形和腐蚀计量包，用于无与伦比的过程控制和开发 20nm仿形平面度大于26mm针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量 在线计量结果以分钟为单位，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制在高级技术节点，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求，以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕新一代AFM扫描仪构建，在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度，小于10纳米。该系统的NanoScopeV 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度，以提高生产效率，所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项先进功能，可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。

Bruker 全自动原子力显微镜 InSight AFP——第五代AFP具有业界高的分辨率、快的成型速度和快速的3D模具映射InSight AFP是世上性能*高、行业首-选的先进技术节点CMP轮廓和蚀刻深度计量系统。将其现代尖-端扫描仪与固有的稳定电容式压力计和精确的空气轴承定位系统相结合，可以在模具的活动区域进行非破坏性的直接测量。 0.3纳米长期稳定提供NIST可追踪的参考计量，并在一年内保持测量的稳定性260-340个站点/小时内联应用程序的*高生产效率减少MAM时间和优化的晶圆处理可保持高达50个晶圆/小时的吞吐量高达36000微米/秒仿形速度通过热点识别提供高分辨率3D特征*高分辨率，尖-端寿命长InSight AFP的TrueSense技术，具有原子力分析器经验证的长扫描能力。亚微米特征的蚀刻深度、凹陷和侵蚀可以完全自动化地监控，具有无与伦比的可重复性，无需依赖测试键或模型。-----蚀刻和CMP晶片的全自动在线过程控制Insight AFP结合了原子力显微镜的新创新，包括Bruker的专有CDMode，用于表征侧壁特征和粗糙度。CDmode减少了所需的横截面数量，实现了显著的成本节约。此外，AFP数据提供了无法通过其他技术获得的直接侧壁粗糙度测量。自动缺陷审查和分类当今集成电路的器件缺陷比以往任何时候都小，需要快速解决HVM需求。InSight AFP提供了有关半导体晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息，使制造商能够快速识别缺陷源并消除其对生产的影响。100倍高分辨率配准光学元件和AFM全局对准可使图案化晶圆和掩模的原始图像放置精度低于±250 nm，确保感兴趣的缺陷是测量的缺陷。该系统与KLARITY和大多数其他YMS系统完全兼容。3D模具映射和HyperMap&trade 分析速度高达36000μm/sec，能够对33mm x 26mm及更大的闪光场进行快速、完整的3D CMP后表征和检查。超2纳米的平面外运动，实现真正的大规模地形和全自动抛光后热点检测。在本例中，在24小时内以1微米x 1微米像素大小获得了完整的标准26毫米x 33毫米十字线场扫描。然后可以使用Bruker的热点检测和审查功能自动检测和重新扫描热点。售后服务Bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP——紧凑型高性能剖面仪和AFMBruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。 0.5 nm长期动态再现性用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量 亚纳米CMP自动计量的灵敏度，专用碟形和腐蚀计量包，用于无与伦比的过程控制和开发 20nm仿形平面度大于26mm针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量 在线计量结果以分钟为单位，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制在高级技术节点，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求，以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕新一代AFM扫描仪构建，在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度，小于10纳米。该系统的NanoScopeV 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度，以提高生产效率，所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项先进功能，可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。售后服

泽攸科技 自主研发的台式扫描电子显微镜来了，众所周知以前购买台式扫描电子显微镜，都是向国外采购，现在不同了，我们国家越来越强大，科研力量越来越强，我们有能力自己研发国产台式扫描电子显微镜，我们有很强的研发团队做支撑，只要你需要我们都能够实现。ZEM台式扫描电子显微镜已服务各大高校，下面给大家看看ZEM15台式扫描电子显微镜产品及参数安徽泽攸科技有限公司是台式扫描电子显微镜生产厂家，关于台式扫描电子显微镜价格请联系(微信同号)原文：安徽泽攸科技有限公司，是一家具有完全自主知识产权的先进装备制造公司。公司集研发、生产和销售业务于一体，向客户提供原位电镜解决方案、扫描电子显微镜等设备，立志成为具有国际先进水平的电子显微镜及附件制造商。 　　公司有精通机械、光学、超高真空、电子技术、微纳加工技术、软件技术的团队，我们为纳米科学的研究提供的设备。公司团队于20世纪90年代投入电镜及相关附件研发中，现有两个系列核心产品： 　　　 （1）PicoFemto系列原位TEM/SEM测量系统； 　　　 （2）ZEM15台式扫描电子显微镜。 　　　 PicoFemto系列原位TEM/SEM测量系统自问世以来，获得了国内外研究者的高度关注，并且已外销至澳洲、美国、欧洲等地。我们协助用户做出大量研究成果，相关成果发表在Nature及其子刊/JACS/AM/Nano. Lett./Joule/Nano. Energy/APL/Angewandte/Inorg. Chem.等高水平刊物上。 目前在国内使用我公司产品的课题组/实验平台多达八十余个，遍布五十余所大学/研究机构，包括中科院过程所、北京大学、清华大学、浙江大学、中科院硅酸盐研究所、厦门大学、电子科大、苏州大学、西安交通大学、武汉理工大学、上海大学、中科院大连化物所等等。国外用户包括澳洲昆士兰科技大学、英国利物浦大学、美国休斯顿大学、美国莱斯大学等。安徽泽攸科技有限公司为您提供PicoFemto扫描电镜原位高温拉伸台的参数、价格、型号、原理等信息，PicoFemto扫描电镜原位高温拉伸台产地为安徽、品牌为泽攸科技，型号为高温拉伸台，价格为面议，更多相关信息可来电咨询，公司客服电话7*24小时为您服务

NANOS是一款全面且高性价比的台式扫描电子显微镜（SEM）。它采用最新技术进行设计，提供快速高质量的SEM成像和元素分析。它的设计先进且现代，非常适合科学研究、产品研发和工业用户使用。主要技术特色：标配高性能二次电子及4分割背散射探头一体集成式EDS探头，成像同时采集EDS结果标配低真空模式成像功能全自动马达控制及优中心倾转设计样品台配备性能优化灯丝直观友好用户界面设计低维护成本

ECHO Pro™ 全自动超声波扫描显微镜全自动生产型:● 批量 Tray盘和框架直接扫瞄● 编程自动判别缺陷● 高产量,无需人员重复设置● 自动烘干SONIX 硬件优势● 紧凑、稳定的结构设计 模块化设计使得结构简单、稳定，易于维护● 高速、稳定的马达设计 扫描轴采用最先进的线性伺服马达，提供高速、稳定、无磨损的扫描● 专利的超声波探头/透镜 提供精确的缺陷检验，最小能探测到仅0.1微米厚度的分层。● PETT技术 反射及透射同时扫描，有效提高元器件分析效率