质谱计分压力测量

赛默飞新一代 253 Plus 是经典 MAT 253 系列质谱仪的全新升级版。它再一次重新定义了高性能同位素比质谱仪。只有 Thermo Scientific 10 kV IRMS 技术才能体现真正意义的稳定性、线性和灵敏度。253 Plus 技术创新保证了高样品利用率、高稳定性，极低本底以及高信噪比，保证了最小样品量条件下前所未有的高精度。 与经典 MAT 253 系列相比，它的创新性体现在： l 全新的1013欧姆放大器技术，为极小信号离子束（例如 m/z 47、48 和 49）和极低丰度样品提供了强大技术支撑，特别适用于二元（clumped）同位素分析。 l 新型的接收器排布，使得在最高强度的离子源负载下，也可有效降低散射离子背景；同时采用半质量检测器定位，进行基线监测 l 新型的磁铁设计，改善了峰形和稳定性的同时，也确保了极低信号强度下的长积分时间和最高分析精度。 l 全新内置的 LIDI（长积分双路进样）工作流程，使得样品利用率提高 3 倍， 样品量降低 3 倍，更节省测量时间，保证了终极的高精度

Thermo Scientific Prima BT致力于实验室过程实验装置或小型过程的在线监测，能够对浓度在20ppm-100%范围内的气体进行精确测量。同时，可选的微通道板倍增检测器可用于检测低于ppm级的气体浓度。Prima PRO 是一款专门用于在线分析的质谱仪，几乎可以配置在任何种类的工业环境中，并都能可靠的运行。Prima BT使用了与Prima PRO完全一样的质谱分析技术，但是它被定义应用于小型工业环境和一般环境（环境温度得到控制），并且能够提供最好的分析性能。如果您为大型的工业在线检测寻求分析仪，Prima PRO能够提供最好的应用测量品质。相对而言，如果您需要分析最多不超过15个监测点，且需要同样的性能，但是应用于您的过程开发实验室或是一般环境下的小型工业装置检测，Prima BT同样能够提供完美的分析方案。工作原理磁扇质谱仪是根据离子化的样品分子（离子）和磁场之间的相互作用，实现了对组成样品的各个独立质量组份的分离和测量。在离子化腔，离子由一束具有一定能量的电子与中性气态样气分子相互作用而形成。新生成的离子立即被电场加速，使其向着垂直于磁场方向运动。每一个带电粒子在磁场内受到一个横向力，该力的大小正比于磁场的强度、粒子的速度和它所携带的电荷大小。根据磁场强度预设值来确定选择需要分析的离子，每一个适合的离子被依次选中后通过前方的接收狭峰到达检测器。在这里，检测器测量到的信号正比于被选中的样气分子的浓度。通过测量这些预先定了的离子数量，一个完整组份分析得以呈现。样品导入Prima BT采用著名的快速多流路进样器（RMS）将样气导入分析仪。这种高可靠性的设备能够实现样气流路的切换同时不影响分析仪内部样气的品质。RMS具有长期的优良使用记录，其坚如磐石的可靠性，每年执行多达六百万次的流路切换，而只需很少甚至根本不需要维护的能力已经被实践检验过。它确保Prima BT能够监测多达15个流路。步进电机驱动的快速多流路进样器在一定的时间依次切换至每个流路，将样品导入质谱仪并且记录每一个流路的流量。该快速多流路进样器能够被加热到80℃，它能够确保对诸如甲醇、乙醇和氨等极性分子的快速响应。注意：由于RMS不是旋转阀，而是一个样品连续流动的进样选择器，因此，我们必须为标气设置控制阀，它们位于快速多流路进样器的下方。Prima BT的进样流量通常为大气压下0.1-1升/分钟， 标准的流量为0.2升/分钟，该流量值可以通过转子流量计来调节。所需要的样品压力与排放总管有关，该压力应能确保一定流量的样气通过快速多流路进样器（RMS）,并克服 RMS 管路内径和长度相关的管道压降，通常该值小于100毫巴(1.5psi)。当样品进样量为0.1升/分钟时，RMS压降为1.5毫巴(0.2psi)。RMS管道产生的压降可以用下面的公式表示：C = 0.006D4P/L， 这里 C是样品的流速，单位升/分钟；D是样品管道的内径 单位毫米；P是样品管道内的压降，单位毫巴；L是样品管道的长度，单位米； 例如： D = 3 毫米 L = 10 米,当流量为0.2 升/分钟,差压 P 为4 毫巴。 分析仪控制架构分析仪的控制架构由高度集成的电路板与内部链接网线组成。基于RS-485通讯标准，它提供了安全、准确的控制和分析仪所有功能的监测，并且允许不需要切断整个分析仪的电源，就可以更换单独的系统模块。VGiNet是Prima PRO内部的网络通讯协议，它具备分布式控制引擎的协助能力。该内部协议增强了内外部通讯的速度和安全性。最先进的即插即用的电子部件、卓越的分析功能和工业级标准的通讯工具的集合，提供了灵活的平台，能够适用于非常宽泛的气体分析应用。计算机控制作为控制电路核心的是基于Freescale的控制器，它通过快速逻辑运行工业级实时操作系统（RTOS）。拥有超过十亿的应用，RTOS被证明是最可靠的。该控制器是赛默飞世尔科技设计的，拥有数以万计的使用量和牢靠的可靠性记录。处理器的母板是专为Prima BT而特殊设计的，它提供了一系列灵活的通讯选项。三个串口中的一个被保留与远程安装有GasWorks的PC进行通讯，该PC用于分析仪组态和数据显示（当需要时）。处理器的独立设计确保了当PC被锁定或崩溃时不会对分析仪的性能产生冲击，该分析仪的数据通过其他两个串口直接传输至LIMS，DCS，SCAD， PLC总线或上位主机。这些接口可以单独按照各种通讯协议配置。这些协议包括标准的配置Modbus和OPC。该模板同时提供15针的插头，用于连接一定数量的数字输入和输出信号，该信号可根据多种不同应用被组态。历史数据存贮分析仪本地的历史数据存贮器首先用于记录分析仪整个生命周期内的诊断信息。这里被采集的数据被设计成用以提供系统全面的健康状况。它为维护工程师提供了识别导致故障发生根本原因的最大可能性。如果需要，该存储器也可以用于分析数据的存储。系统维护标准的服务组件。这是一个可选项。一旦客户购买，可以随Prima BT一起运输。该组件包括了完成固定维护的所有的部件和工具。该组件能够最大限度方便客户，简化维护步骤。例如：客户如今仅需简单的更换整个离子源，而不是更换灯丝或是清洗离子源,经过测试的部件完全可以替代。对于真空计也是一样，不需要拆解清洗真空计，使用服务组件中的备件方便的替换该真空计。一旦服务结束，简单的将替换下来的部件寄给最近的服务中心做清洗。由于精心设计，“百宝箱”将服务间隔扩展至3年。仅有的必要性预防维护是对处于机箱外部的二级真空泵的固定维护。该维护间隔与具体的应用有关，而维护步骤仅需要花费很少的几分钟。世界级的服务与支持我们提供的服务和支持确保了仪表运行的优化，并能减小其停运的时间。由于每个客户和每个仪表的需求不同，我们将根据他们独特的需求提供与之一致的服务服务合同备件技术支持现场安装与服务产品培训技术规格表离子源封闭型，电子轰击式，双灯丝，温度控制（可在120-200。C范围内设定，精度为±0.1。C）。分析原理层叠式扫描磁扇，半径6cm，80度偏转角。质量范围可调整。离子加速电压为1000V时，质量范围1-150amu（标准）；离子加速电压为750V时，质量范围1-200amu。分辨率可通过两个收集解析狭缝进行切换，标准配置为60/20，1mm狭缝为60，4mm狭缝为20；也可以选择其他组合，140/81(0.36mm/0.69mm),100/45(0.56mm/1.45mm),140/45(0.36mm/1.45mm)。质量稳定性质量数为28时，0.013amu，24小时测量。峰形平顶峰，分辨率为60时，峰顶（99%峰高处的宽度）与峰底（5%峰高处的宽度）的比值为0.5。丰度灵敏度250ppm, 27/28检测器法拉第检测器。可选法拉第检测器/微通道板倍增检测器进样类型带分子渗漏和旁路（标准配置)的毛细管真空系统涡轮分子泵和外部旋转机械泵，可选涡轮分子泵和内部膜片泵样品流速对每个流路进行数字测量并记录精度0.1%，相对精度（典型值，根据实际应用）线性度1%相对精度，浓度变化超过10%动态范围10 ppb–100%（理论值，根据实际应用）稳定性1%相对值，超过一周，（典型值，根据实际应用）

TM-200型薄层色谱质谱接口----专为薄层板样品提取而打造TM-200工作原理：将薄层板放置在提取平台上，用激光定位选择好需要提取的物质斑点，压下提取头，打开连接管路开关，则洗脱液会对薄层板上物质斑点进行提取，并可直接注入到质谱或收集到样品瓶中1、薄层板经分离的样品可直接提取，不需要后续处理；2、洗脱提取快速、几分钟即可完成斑点洗脱；3、不需要手动刮板，操作快速、灵活、简单、方便；4、可在线与质谱或HPLC系统联用，直接将提取物进行传输到质谱进行检测；5、可离线提取薄层板上样品到收集容器，便于进行后续检测；6、可用于薄层板样品上的制备；7、效率高，使用洗脱溶剂少；8、适用于条带、原点样品的萃取；1、薄层板尺寸：最大可放置200×200mm的薄层板；2、气源：氮气或压缩空气；3、激光：5mW，寿命长；4、密封力：最大500N；5、溶剂流速：0.05-0.3ml/min；6、萃取头：直径4mm、5mm圆形萃取头，4×2mm椭圆形萃取头； 薄层分离物质的提取由于技术不断进步，本公司保留设计更改之权利，更改恕不通知，敬请谅解。

AMD10（GC / MS）建立在经典的单四极杆质谱技术原理的基础上，结合了电子学和新材料的新进展，从而获得了更好的性能和高效率特征。 仪器检出限和信噪比名列前茅 业界先进的线性动态范围 惰性陶瓷制成的等温离子源专为生物样品和植物提取物的高基质提取物而设计！ 长寿命电子倍增器 人体工学设计，便于检修的离子源和电子倍增器 内置的UPS，一个自我保护模块，保护仪器不受电源不稳定、中断、激增和峰值的影响 自带方法设置向导的单窗口用户界面软件性能指标1.离子源离子化模式：EI 离子化电压：5 eV ～ 100 eV离子源温度：150–350 °C灯丝：双灯丝结构惰性等温陶瓷离子源维护简单，清洗离子源，只需从真空腔体前抽出，而且离子源上接线数量少（3根）。可直接更换灯丝，无需拆解离子源。2.质谱质量分析器：S型预过滤器完全消除光子和中子，并且引导离子无损失地进入四极杆。先进设计的高精度四极杆质量过滤器根据它们的质／荷比有效地分离离子。m/z范围：2-1200 amu灵敏度：EI 全扫描，进1-μL 1 pg/μL OFN，扫描范围为50-300，质荷比为272.S/N信噪比80 L/sec涡轮分子泵1500:1或者更高300 L/sec 涡轮分子泵1500:1或者更高仪器检出限（IDL）: 仪器检出限（IDL）EI选择离子扫描，质荷比为272，进1-μL 100fg/μL OFN80 L/sec涡轮分子泵10 fg300 L/sec 涡轮分子泵10 fg 质量轴稳定性：优于0.10amu /48h最大扫描速度：可达20,000 amu/s传输线温度：最高温度350℃射频电源:1.0MHz电路板模块的互换性。3.检测器拥有在低电压下工作的高能打拿极和长寿命电子倍增器的三轴检测器。线性动态范围 5*10^64.真空系统分子涡轮泵：涡轮分子泵，抽速85L/s、300L/s可选前级机械泵：Edwards机械泵,抽速1.5 m3 /h5.数据系统软件：PANNA Maestro操作分析软件，中/英文可选。模式：SCAN、SIM。应用调谐：一键式自动调谐（BFB、DFTPP）。谱库：NIST, Wiley/NIST, Maurer/Pfleger/Weber, Rosner。解卷积：复杂基质中的痕量化合物的定性与定量的专有集成解卷积算法。数据资源管理工具：一组测量数据快速浏览，手动提取谱图和离子色谱图。测量数据批量处理：多个实验数据的批处理，用户自定义批处理。自动积分工具-解卷积工具：从质谱图中提取化合物谱的列表。导出工具：数据转换为AMDIS可读的格式（“全扫描”模式的质谱图）。iDwell 时间工具：在SIM模式下自动分配驻留时间, 在SIM离子测量速率和灵敏度之间提供更佳的平衡点, 而不需考虑每个时间段的离子质量数量。SIM库：专门选用 SIM 离子质量的内置库, 具有参考强度和化学化合物 IDs (CAS 号)。该库可由用户编辑。对于给定的目标化合物, 可以通过几下鼠标点击从库中搜索数据。智能检测测量方法：一些参数检查有助于在创建方法的过程中，防止用户设置不正确或不兼容的参数。SIM向导：一个强大的工具，从标准样品“全扫描”模式下测量的数据一步一步自动建立SIM方法。6.安装要求运行环境15–35℃ , 40–80%相对湿度-非冷凝(操作)–40–70℃ , 0–95%相对湿度-非冷凝(储存)电力220–240 V, 50/60 Hz 7.体积和重量尺寸（质谱）41.6 cm (w) × 59.0 cm(d) × 41.2 cm (h)自动进样器、样品盘、数据系统和打印机应增加额外的空间重量（质谱）30 to 35 kg（取决于配置）

timsTOF fleX 实现 MALDI 引导的空间定位组学高灵敏度：timsTOF fleX 空间定位组学方案，结合特征区域 MALDI 成像和 PASEF 组学分析，能从有限样本中获得高鉴定率。空间分辨率：高空间分辨率的 MALDI 源和平台机械设计获得分子分布图，增加组学空间维度信息。多功能：双离子源设计使您在同一个质谱平台上完成分子空间分布和 ESI 多组学鉴定。microGRID -- 精准、可靠的硬件升级，使高空间分辨成像实验唾手可得实现高空间分辨的成像实验并不是一件容易的工作。布鲁克推出了全新 microGRID 技术 -- 整合了 MALDI 机械平台和 smartbeam 3D 激光器的光束定位系统，进一步提升了质谱成像实验的图像质量，可获得 5 μm 的超高空间分辨率。microGRID 是一款适用于所有 timsTOF fleX 系列质谱仪的选配功能模块，将它整合进布鲁克现有的质谱成像工作流程中，展现出了突破极限的超高空间分辨率。该技术与布鲁克的自动一体化的成像数据采集流程 SCiLS™ autopilot 无缝衔接，使它不仅适用于成像专家，也同样适用于新购入成像仪器的用户及常规的成像数据采集应用。该技术与布鲁克的 SCiLS™ Lab 软件配合使用，可实现对于高分辨成像数据的深度挖掘。从 4D-组学到分子成像的无折中解决方案双离子源设计将无标记分子定位与 PASEF LC-MS/MS 鉴定匹配，解析生物样本的分子变化。 建立在 shotgun 蛋白组学标准上的 timsTOF fleX 将布鲁克一流的 4D-组学分析与尖端的 MALDI 成像技术整合于一个平台，包括高频率的 smartbeam 3D 激光器。配置有双离子源的 timsTOF fleX，把持久稳定的 ESI 分析和组织分子空间分布集成于一体，是进行空间定位组学研究的理想平台。在此之前，没有质谱仪能为组学研究者同时提供这两种能力。 ESI 和 MALDI 的切换操作，只需在软件中开启 smartbeam 3D 激光源，仅需几秒即可完成。简单的切换操作意味着从组学深度鉴定和定量流程到组织高清成像的方便转换，又不影响效率和功能，从而发现真正有用的信息。增加 MALDI 成像新维度，挖掘更多信息由 MALDI 和 ESI 产生的离子，经过同一路径从离子源到达探测器，因此 MALDI 工作流程可以利用 timsTOF HT 的主要优势，包括根据分子碰撞截面 ( CCS ) 来进行捕集离子淌度分离（ trapped ion mobility separation，TIMS ）。调谐和校准可在 ESI 模式下进行，并用于 MALDI 模式，方便了仪器的优化。TIMS 允许根据离子形状分离分子。离子与气流一起进入双 TIMS 装置，在第一个TIMS 分析器通过电场进行累积。实际分离发生在第二个 TIMS 分离器。通过降低电位以时间和空间的方式释放离子。可变扫描速度和淌度范围适应性可对不同种类分子优化，为用户带来更多灵活性。为组学增加空间维度信息将特征区域 MALDI 成像和深度多组学分析结合现在变得容易可行。MALDI 成像适用于类型广泛的分析物，包括代谢物、脂类或聚糖，并与显微工作流程无缝衔接。针对空间定位组学，MALDI 成像可识别特征区域化合物分布。timsTOF fleX 采用双离子源设计，与可靠的高品质消耗品和用户友好软件一起使用，方便了研究工作，节省了研究人员的时间。使用布鲁克 IntelliSlides™ 预制玻片，使 MALDI 成像和空间定位组学流程在 timsTOF fleX 上完全自动化。分离相近质量或同分异构体离子捕集离子淌度谱（ TIMS ）有助于复杂样品（ 如组织切片 ）的分析。通过分离近质量或同分异构的代谢物、脂质、肽段或糖苷，以获得分析物的真实空间定位。高质量分辨率无助于这些问题的解决，timsTOF fleX 提供了唯一的机会来区分同分异构体的分布。碰撞横截面（ CCS ）是 TIMS 给出的测量结果，提供了从另一角度来验证质谱分析结果。CCS 关联软件智能地将空间 MALDI-TIMS 成像数据与多组学结果相匹配，并使鉴定结果与重要的形态学内容相关联。从色谱分离技术到在像素点的原位分析，一切变得触手可得 … … timsTOF fleX 是一台多功能的质谱仪，用于测量样品的分子情况。timsTOF fleX 建立在布鲁克开创性 timsTOF HT 平台上，功能齐全、速度快、灵敏度高的 ESI 质谱，可用于所有 多组学分析。结合了高空间分辨率的 MALDI 源和平台机械专业设计，用于解析分子分布和带来组学分析的空间维度。将蛋白质组学分析转换为空间蛋白质组学，将脂质组学转换为空间脂质组学，将代谢组学转换为空间代谢组学，并获取数据的组织学背景。与其它学科相结合，从你的分析数据中获取更多信息以达到科研目标。为质谱成像初学者量身打造的自动一体化成像数据采集流程 SCiLS™ autopilot我们提供 “ 购入即用 ” 的成像耗材和软件产品，帮您迅速采集数据，并随后挖掘出组织的分子表型信息。我们推出了基于 IntelliSlides 预制载玻片的自动一体化成像数据采集流程，不仅大大减少了对用户输入的操作要求，还能确保所采集数据的高品质和可重现性。我司还推出了预制的 fleXmatrix 基质，高品质的基质可以保证实验效果并简化基质施加过程。作为质谱成像数据处理的 “ 行业金标准 ”，SCiLS™ Lab 软件可以实现原始数据的可视化以及后续的数据统计分析操作。此外，SCiLS™ Lab 可以与 MetaboScape 软件联用，实现了通过数据库检索信息或 LC/MS 实验结果直接对高分辨的 MALDI 成像热图进行快速分子注释的功能。将这种联用机制应用于空间定位组学工作流程中，可实现生物背景信息与整体组学或单细胞组学信息的有效整合。多组学性能和高灵敏度 MALDI 的结合timsTOF fleX 实现 SpatialOMx无论蛋白组学、脂质组学、糖组学还是代谢组学，timsTOF fleX 都是空间定位组学分析的理想平台。使用专利的smartbeam 3D 技术进行快速、无标记的 MALDI 成像，以绘制样品的分子分布图，并鉴定感兴趣的区域，对它们进一步深入分析。由 PASEF 技术支持的 LC-MS/MS 分析可以进行最高水平的鉴定并得到最可靠的结果。肿瘤远比看到的还复杂癌症的微环境是由健康细胞、肿瘤细胞、结缔组织、血管和炎症在不同时间点以不同的比例组合而成。每一种成分都有其独特的化合物分子标记。研究人员对疾病状态的判断在很大程度上依赖于组织病理学的解释，并在生物分子的背景下创建这些图谱，从而在传统的组学和理解疾病之间架起了桥梁。CCS 关联空间多组学发现差异癌细胞和其它疾病状态具有显著的遗传和表观遗传修饰，影响基因组表达层次。无论你观察的是蛋白质组、脂质组还是代谢组，化合物的空间分布都包含了有价值的解释信息。要了解复杂的样品，除了质量和电荷外，还需要有 timsTOF fleX 的离子淌度功能提供无与伦比的分析深度。近质量干扰可被区分，同分异构体可被分离。这有助于组织中近质量脂质的准确定位。原位 MS/MS 以及 PASEF 技术支持的 4D 多组学研究方案使您能够识别更多感兴趣的分析物。SpatialOMx 的自动分子注释工作流程布鲁克的业界领先的应用软件，现在可以直接对组织中的目标分子注释。只需将数据导入到 SCiLS™ Lab 软件，定义感兴趣的区域，并将峰列表数据导出到 MetaboScape。使用 LC-MS/MS 建立的数据库或成分列表对各个峰进行注释，然后导出注释表并送回到 SCiLS™ Lab 进行可视化。从 SCiLS™ Lab 软件中，可以使用通路和熟悉的命名法而不是分子量可视化实验结果，从而缩短从数据到最终结果的时间。

Prima PRO质谱仪a）工作原理：Prima PRO质谱仪是非常强大的在线分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图：质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：? 石化、化工行业l 烯烃生产l 裂解炉优化l 环氧乙烷/ 乙烯乙二醇l 聚烯烃生产l 合成氨l 煤气化l 甲醇l 醋酸l 天然气处理l 有毒挥发性有机化合物（VOC）的泄漏? 钢铁行业：l 高炉尾气分析l 转炉尾气分析l RH和VOD精炼炉尾气分析l 直接脱碳（DRI）炼铁尾气分析l 煤气回收、燃料气和混气分析? 发酵、生物制药行业：l 生物能源l 工业酶l 生物材料l 生物量l 食品添加剂l 维生素l 药物l 预防药l 疫苗l 生长激素l 单克隆抗体l 激素l 融合蛋白l 细胞活素l 抗生素l 胰岛素l 溶栓 c)特点：●分析速快，可以实现实时、高速的在线分析●分析原理简单，方便使用者和维护人员快速掌握相关的信息●能够同时分析多个组分●能够实现多达32或更多流路同时分析●采用可靠地扫描磁扇技术●无需载气和助燃气，降低运行和维护成本 ●高精度、高重复性●非常可靠（超过99%正常工作时间） ●软件功能强大 d）技术指标：Prima Pro性能指标分析原理扫描磁扇，半径150px，80度偏转角。扫描磁扇质谱具有精度高，稳定性好，可靠性高，抗污染能力强，标定及其他日常维护间隔长，并且维护工作极其简单。质量范围可调整。离子加速电压为1000V时，质量范围1-150amu；离子加速电压为750V时，质量范围1-200amu。分辨率可通过两个收集解析狭缝进行切换，标准配置为60/40，1mm狭缝为60，4mm狭缝为20；也可以选择其他组合，如140/85，100/45，140/45。质量稳定性质量数为28时，0.013amu，24小时测量。峰形平顶峰，分辨率为60时，峰顶（99%峰高处的宽度）与峰底（5%峰高处的宽度）的比值为0.5。平顶峰使得质谱的分析精度和抗漂移能力都有极大提高。离子源封闭型，电子轰击式，氧化釷灯丝，温度控制（可在120-200 degrees C范围内设定，精度为± 0.1 degrees C）。检测器法拉第杯电荷计数器。进样阀32路快速旋转进样阀RMS，1/4”卡套接口。RMS切换迅速，死体积极小，可以加热至120摄氏度。内置进样流量测量元件，可对低流量报警。进样类型毛细管+分子渗漏，带旁路（标准配置）标定方式手动标定接口12个，1/4”卡套，可根据应用选择更多真空系统初级真空泵：旋转机械泵高级真空泵：涡轮分子泵样品流速对每个流路进行数字测量并记录精度0.1%，相对精度线性度1%相对精度动态范围10 ppb – 100%（理论值，根据实际应用）稳定性1%控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz数字输出1个，干接点，可根据应用选择更多。通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.机箱温度控制质谱分析仪机箱侧面配有一个空调，压缩制冷方式，温度控制精度为+/- 0.5 deg C。安装方式壁挂式。仪表风300Nl/min = 18Nm3/h，压力为4-10barG，接口为1/2”。 Prima BT过程开发质谱仪a）工作原理：Prima BT是Prima PRO的小型化，其在基本原理和内部构造上基本与Prima PRO完全一致，是Prima PRO在小型试验装置或实验室开发过程应用的缩小版。它的分析性能指标几乎与Prima PRO完全一致，既可以作为实验室质谱仪使用，也可以作为小型在线分析仪使用。Prima BT过程开发质谱仪是非常强大的连续分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图： 质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：l 发酵研发 l 生物燃料研发 l 催化剂研发 l 热分析 l 人类热量研究 l 实验装置气体分析 l 析出气体分析 c)特点：l 最好的在线测量精度 l 最号的测量稳定性 l 界面有好的软件能够灵活设定分析方法 l 容错设计能够确保达到99.9%的运行时间 l 延长的预防性维护时间间隔 l 高度简单化的维护步骤l 出色的“分析仪到分析仪”重复性d）技术指标 Prima BT性能指标离子源 封闭式电子轰击源，双灯丝，带精密温度控制（120-200℃±0.1℃） 质量分析器 层叠式扫描电磁铁，150px半径，80°偏转 质量范围 1-150 amu 在1000 eV 离子能 (1-200 amu 在750 ev 离子能) 分辨率在两个分辨狭缝之间切换，分辨率60/20（标准）；可选140/85, 100/45 重量刻度稳定性 0.013 amu 在 28 amu 超过 24 hours 峰形 在分辨率60时，顶部宽度为底部宽度的一半 丰度灵敏度 250 ppm 以27/28为准检测器 法拉第检测器或法拉第和SEM双检测器（可选） 进样口16个，15个用于分析，另外1用于与标定口连接标定口6个，1/4”卡套进样类型 毛细管，带分子渗漏和旁路（标准） 真空系统 涡轮分子泵和旋转泵；可替换为涡轮分子泵和内部膜片泵 进样流量 数字测量和记录每一流路流量 精度 0.1% 相对 (典型, 依据应用) 线性 1%，样气浓度变化超过10倍 (典型, 依据应用) 动态范围 10 ppb – 100% (理论l, 依据应用，使用外部旋转泵）稳定性 1% 相对，超过1 周 (典型, 依据应用) 控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.安装方式桌面放置

APIX超高纯电子气质谱分析仪 结合了工艺先进的电子电路和功能强大的过程分析软件的、性能卓越 的大气压离子化质谱仪 (API-MS)使得 Thermo Scientific APIX 生产线提供的分析仪系统成为半导体和电子工业大宗气体连续质量控制的选择。 API-MS 为传统质量控制技术提供了一个成本-效益的替代方案，允许每种大宗气体中一系列潜在污染物浓度监测能够达到很低的测量下限；相较于其他技术，甚至能够优于100倍。 APIX产品线提供了更多完整的杂质分析，包括： H2、CO、CO2、H2O、O2、CH4 、Kr和 Xe ，以及其他需要测量的杂质。随着 300 mm 晶圆生产者发布更严格污染物控制气体质量标准，这种技术将持续的成为ppt级杂质测量下限的首选技术。 特点： 快速在线测量（典型＜5秒）确保 了立即响应供气的波动状况 完全集成的多分析器分析方案提 供了污染物的快速检测 超高的灵敏度和10ppm的测量下限满足当下以及未来的严格的气体分析要求 备份能力在单个大气压离子化分 析器（API）在维护时，允许每 一台大气压离子化质谱仪（APIMS）支持多流路分析 针对于工厂控制和数据集中的标准 化工业通讯协议 (OPC, DDE, Modbus, Siemens 3964R, PROFIBUS, 等等)应用 超高纯氮气（UHP N2） 超高纯氩气（UHP Ar） 超高纯氦气（UHP He） 超高纯氢气（UHP H2） 运行原理APIX δQ 和APIX Quattro 采用阳离子大气压离子化质谱仪 （ API-MS）技术, 该技术被电子工业广泛用于检测超纯气体中的污染物。进样时，样气以大气压或略高于大气压的压力进入离子源。 金属针设置在靠近由孔板行成的通向棱镜组的入口附近。它带有高的电压，能够产生电晕放电。这就产生了从孔板到针头的电子流。电子与离子源中 大量样气发生反应，从而导致大量样气气体分子的电离。 幸运的是，相对于氮气、氢气、氦气和氩气而言，这些出现在样气中浓度很低的污染物需要很少的能量就可以产生 电离。正是因为如此，任何污染物分子出现在样气中，它们与样气离子发生反应的几率就非常高。 这种反应发生时，电荷转移至污染物气体分子，这就形成了再次电离。 这个电荷转移导致非常高比例的污染物气体分子被电离。 事实上，这个效率比其他使用真空腔电离技术的质谱仪， 其效率要高1000倍。 部份样品、完全电离的污染物，经过一系列的减压透镜后，进入三重四级杆质谱仪。一个测量质量数达到300道尔顿（原子质量单位）三重四级杆能够确保实现所有污染物的精确测量。脉冲计数放大器的噪声等级仅为10个脉冲，每106个脉冲, 与大气压离子源配合后, 能够确保12数量级的测量下限，它可以低1012之一 (即1 ppt). 配置：APIX δQ的标准配置为一个单一机箱，它里面配置了1个大气压离子化质谱仪（API-MS）和 一个Air Liquide 气体处理单元，它能够用于ppb或ppt级自动校准。标准机箱是为 相对空气洁净且有温度控制的环境而配置；如果需要，一定数量的冷却降温和吹扫选项也可以满足更多环境需求。 APIX Quattro 标准配置使用了三个机箱，两个配置了4 个大气压离子化质谱仪（API-MS）独立机箱，和第三个装有一个Air Liquide 气体处理单元机箱。 四个质谱仪中的每一个都安装在滑轨上，以便向前拖出，便于维护。 顶部安装的机箱盖包含流路切换阀组， 用于采样气体连接。它允许多个流路连接到每个独立的 散装气体分析器。这种流路选择可以是手动或完全自动完成。每一个大气压离子化质谱仪（ API-MS ）都是独立的，并且都具备多流路切换功能。当一台质谱仪进行年度固定维护时，可以使用其余三台质谱仪监测四个散装气体。 在这两种配置的机箱盖组件包含一个氢安全系统，以确保质谱仪在氢气泄漏时安全关闭。这个安全设备使用独立于质谱仪供电。如果需要有限的机动性，可以提供一组车轮，使该质谱仪能够安全地从一个测试点推送到另一个测试点。 每一个质谱仪通过使用后备电池闪存、运行实时的操作系统的处理器控制。这个处理器作为一系列内部控制器的主人，它们之间的通过以太电缆实现互联。 这些微处理器中的每一个都能作为一个独立部件单独运行，例如气体处理器和多流路进样系统。气体处理器仅需要一个单独的校准气瓶并结合了来自渗透管装置的湿度校准。 内部配电装置通过内部分析仪网络进行监测和控制。 这一设计拓展了 GasWorks 软件的诊断能力。每一个多处理器网络提供了冗余的通讯渠道，允许质谱仪可靠、不需要电脑工作站独立运行，直接传送样品流路数据和诊断信息至DCS或SCADA系统。每一个通讯渠道都可被配置为点对点的 光纤通讯或是硬接线的电流回路、多点连接 。每个分析器都可以配置一个嵌入式opc服务器，与 Microsoft 主机或多种工艺网关协议(Modbus, Siemens, Allen-Bradley, 等.)实现无缝通信 。如果需要质谱仪提供硬接线模拟检测和数字报警输出， OPTO 22 SNAP 和 OPTOMIX 协议将被完全支持，一系列硬件卡件能够使用。 Thermo Scientific GasWorks 软件 Thermo Scientific GasWorks 软件包为质谱仪操作提供了一个直观的、信息丰富且灵活的窗口。使用安装了Gasworks软件的一台电脑可以完成初始设置，过程数据和诊断信息的显示。我们也可以断开电脑与APIX的连接；APIX能够脱离与电脑的连接而独立运行于无人值守模式。 从设计概念到数代产品，完全认可的ISO 9001质量程序得到了软件团队的严格执行。 软件安装可以随时检查，以确保其可验证的完整性和正确性。软件更新可以远程上传。 技术参数测量方式APIX δQ: 1x 三重四级杆质谱分析器 APIX Quattro: 4x 三重四级杆质谱分析器质量范围1-300 AMU离子源类型大气压离子化离子源背景＜1 ppt放大器和动态测量范围100 MHz脉冲计数型检测器脉冲计数通道电子倍增器检测噪声每106 有10个数检测下限 10 ppt (根据组份变化)分析时间（典型） 1s每个组份流路切换时间（典型）15分钟至 1 ppb适合的大宗气体H2 , N2 , Ar, He串口连接类型RS232, RS422, RS485检测的污染物H02 , He, CO, CO2 , O2 , CH4 , Kr 和 Xe (其他污染物也可检测)外形尺寸APIX δQ: 1.9 m (H) x 0.7 m (W) x 0.65 m (D) APIX Quattro: 1.9 m (H) x 2.1 m (W) x 0.65 m (D)

QGA配有专业版定量气体分析软件，提供了多种气体实时定量分析的功能。操作界面简单方便，使得用户非常容易去设置，减少了编辑程序的麻烦。应用： 催化研究反应动力学热分析质谱气体纯度分析多组分气体分析 环境气体分析 燃烧研究 CVD / MOCVD 发酵过程分析 氢气在线监测技术规格： 质量数范围：1～200 amu(标准配置) 1-300amu可选 响应速度： 300毫秒内对于气体浓度的变化做出反映 取样压力：100mbar～2bar 标准配置；1mbar～30bar 选配 检测浓度： 1 ppm～100% QGA专业定量分析软件 多种气体或蒸汽的定量气体分析 智能谱库扫描功能 建立气体/蒸汽谱分析计算并自动减去重叠谱 谱图模拟器动态快速显示用户控制的变化 可从外部输入触发信号，自动开始分析 能够读取多种输入，如温度和压力 数据输入外部气体分析器，例如一个CO分析器，能自动积分分析质谱数据 多路气体分析可自动顺序测量能连接多达80路气流（需选配多路取样阀）

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪无等离子体设计,可以实现快速, 化学特定的原位定量气体分析, 与光学发射光谱 OES 对比, Aston™ 质谱仪 的 OA% 灵敏度显示为 0.25%, 适用于半导体工艺中蚀刻计量控制, ALD, 3D-NAND 和新兴的堆叠式 DRAM.半导体蚀刻工艺挑战日益增加蚀刻是半导体制造中常用的工艺之一. 介电蚀刻用于形成绝缘结构, 触点和通孔, 多晶硅蚀刻用于在晶体管中创建栅极, 金属蚀刻去除材料以显示电路连接图案并钻穿硬掩模.连续蚀刻铝 Al, 钨, 铜 Cu,钛 Ti 和氮化钛 TiN 等工艺金属具有挑战性, 因为许多金属会形成非挥发性金属卤化物副产品（例如六氯化钨 WCl6）, 这些副产品会重新沉积在蚀刻侧壁上, 导致成品率降低（通过微粒污染或沉积材料导致短路）.随着半导体行业不断缩小关键特征尺寸并采用垂直扩展 (如 3D-NAND 存储器和全环绕栅极先进技术节点), 各种新的蚀刻挑战已经出现. 这些包括在晶圆上蚀刻更小的特征, 高展弦比 HAR 沟槽蚀刻 (具有小的开放面积百分比- OA%), 以及在新兴的非挥发性存储器和高 k介质中蚀刻金属闸极, 稀土金属等新材料. 对于先进的纳米级工艺, 如蚀刻到硅介质和金属薄膜, 选择性处理, 如原子层蚀刻 ALE 一次去除材料的几个原子层. ALE 提供了比传统蚀刻技术更多的控制. 对于 3D-NAND 和先进 DRAM 来说, 向批量生产过渡的重大挑战包括解决导体蚀刻困难的要求, 满足积极的生产斜坡和实现所需的吞吐量, 以推动成本效益.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪提供高性能, 嵌入式和可靠的原位定量分子气体计量已经成为验证工艺室和持续监测工艺化学过程的关键工具, 确保生产环境中的高产率和更大吞吐量.Aston™ 质谱分析仪提供全腔室解决方案使用上海伯东 Atonarp Aston™ 质谱仪通过实时, 定量和精确的分子传感器来解决半导体新兴蚀刻工艺技术相关的关键挑战. 通过解决传感器耐久性, 灵敏度, 匹配, 系统集成和易用性等方面的挑战, 日本 Atonarp Aston™ 质谱仪升级了传统的气体分析计量方法. Aston 是一种全室解决方案, 用于在各种工艺步骤中实时监测前体, 反应物和副产物.这些包括基准室和过程指证, 腔室清洁, 过程监测 (包括存在腐蚀性气体), 颗粒沉积和气体污染物凝结. 小的占地面积和灵活的通信接口允许在室内安装和集成到过程设备控制系统. 为了集成到半导体工艺工具中, Aston 质谱分析仪的高性能和可靠性设计用于生产晶圆的大批量生产过程控制.Aston™ 质谱分析仪半导体蚀刻计量控制半导体行业正从二维结构的扩展转向复杂三维结构的挑战性要求. 传统的离线晶圆测量已不足以实现性能和良率目标, 原位蚀刻测量传统上缺乏生产所需的鲁棒性和可重复性. Aston™ 质谱分析仪的结构中嵌入了专利技术, 使其具有卓越的分析和操作性能. 为了满足过程控制和跨工厂生产工具匹配的严格要求, Aston 从头开始设计, 高运行时间和低维护的吞吐量, 长期信号稳定性和可重复性.为了承受腐蚀和沉积过程的恶劣环境, Aston™ 引入了两个的功能: 等离子电离和自清洁 (ReGen™模式). 等离子体电离消除了由于与腐蚀性气体(如NF3, CF4, Cl2)的反应而导致的灯丝降解. 此外, 除去(正硅酸四乙酯) TEOS 等颗粒和蒸汽污染物沉积, 同时定期进行室内清洁循环, 延长了 Aston™ 质谱仪的使用寿命. ReGenTM 模式使仪器能够使用高能等离子离子清洗自身, 通过去除在膜沉积过程中可能发生在传感器和腔室壁上的沉积. 结合这两个功能, 传感器的灵敏度可维持在数百个RF(射频)小时的操作. Aston质谱仪支持的基于测量的控制, 有可能延长清洗间隔 MTBC 的平均时间. MTBC 的增加意味着工具可用性和长期吞吐量的增加. 除了等离子电离器(用于工艺), 传感器还配备了传统的电子冲击 EI 灯丝电离器, 用于基线和校准.分子传感器的分析级是使用微米级精密双曲电极的四极杆. 由高度线性射频(RF)电路驱动, Aston 质谱的HyperQuad 传感器在 2到300 amu的质量范围内具有更高的分析性能.Aston™ 质谱分析仪技术参数参数值质量分辨率0.8u质量数稳定性0.1u灵敏度(FC / SEM)5x10-6 / 5x10-4 A/Torr最低可检测的部分压力(FC / SEM)10-9 / 10-11 Torr检测极限10 ppb最大工作压力1X10-3 Torr每 u 停留时间40 ms每u扫描更新率37 ms发射电流0.4 mA发射电流精度0.05 %启动时间5mins离子电流稳定 ±1%浓度的准确性 1%浓度稳定±0.5%电力消耗350w重量13.7kg尺寸400 x 297 x 341mm高展弦比 HAR 3D 蚀刻随着多模式技术和 3D器件结构的出现, 高度密集的蚀刻和沉积过程驱动了计量需求. 3D多层膜栈, 如 NAND 存储架构, 代表复杂的, 具有挑战性的蚀刻过程, 具有关键的蚀刻角度, 统一的通道直径和形状要求, 尽管高蚀刻纵横比通道 100:1 是常见的. 对于 3D-NAND, 关键导体蚀刻过程包括阶梯蚀刻(下图)和用于垂直通道和狭缝的 HAR 掩模打开. 通过硝酸硅和氧化硅交替层蚀刻需要高速定量终点检测. 对于 DRAM, 蚀刻过程包括 HAR 门, HAR 沟槽和金属隐窝. 对于阶梯蚀刻, 关键是在整个 3D堆栈的每个介质膜对的边缘创建等宽的“步骤”, 以形成阶梯形状的结构. 在器件加工过程中, 这些步骤的大量重复要求蚀刻高吞吐量和严格的过程控制.多功能现场气体计量需要在一个工具中执行多种监测功能:• 检测和量化污染, 交叉污染, 气体杂质和工艺室内的工艺化学• 评估已开发的蚀刻过程在生产工具 / 运行的复杂功能上的性能• 测量刻蚀后的清洁 (包括先进的无晶圆自动清洁 WAC) 作为腔条件对于消除工艺漂移和确保可重复性性能是至关重要的• 快速准确的蚀刻端点检测 EPD, 通过等离子体或气体监测, 因为这是一个关键的控制功能. 举例包括一氧化碳 CO 副产物在介电蚀刻中下降或氯 Cl 反应物在多晶硅和金属蚀刻端点上升.• 全面的实时计量数据, 允许过程等离子体和反应物的动态腐蚀控制, 以管理要求的腐蚀剖面Aston™ 质谱分析仪无等离子体终点检测虽然光学发射光谱 OES 已被广泛用于蚀刻 EPD, 但低开放面积 OA 和 HAR 设计的趋势使其在许多蚀刻任务中无效. OES 技术需要等离子体'开'和发光物种. 随着昏暗和远程等离子体越来越多地用于 3D设备和原子水平蚀刻 ALE 工艺, 需要更多敏感的数据和分析技术来实现迅速和确定的 EPD. 此外, 脉冲等离子体通常用于管理 HAR 和 低 OA% 工艺的蚀刻剖面, 这使得 OES 对于 EPD 来说是一个不切实际的解决方案. 在3D 结构中, 多层薄膜和多个接触深度阻碍了每一行触点到达底部时端点的光学发射信号的急剧步进变化其他 OES 限制包括:• 在电介质蚀刻中, 在 OA 5% 的模式上进行 EPD一直具有挑战性, 因为 OES 在低浓度下具有低信噪比.在高压Si深蚀刻(例如博世工艺)中, 要求 OA% 的 EPD低于 0.3%, OES 中较大的背景噪声水平抑制了对发射种数量的任何变化的检测.• 在金属蚀刻中, OA% 可能低于10%, 这取决于所涉及的互连尺寸. 对于接触和通过蚀刻, OA 可以在0.1-0.5%之间或更低, 这取决于所涉及的特征的大小. 在钨 W 蚀刻的情况下, 随着 OA的减小, 氯 Cl 反应物的消耗减少, 由于材料运输到 HAR 蚀刻特征, 蚀刻趋于放缓. 这两个因素都降低了反应气的消耗率. 因此, 由于等离子体中反应物的耗尽, 很难看到在终点处 OES信号的显著变化.Aston™ 质谱仪可以利用蚀刻反应物和 EPD 的副产物. 此外, Aston 能够在小的, 有限体积的传感器上运行周期性清洗, 以保持其性能(灵敏度), 在延长晶圆运行次数的情况下获得更大的正常运行时间. 然而, OES 要求在腔室上有一个需要保持清洁的访问窗口，以获得足够强度的稳定信号。通常，加热石英窗用于减缓工艺产品的堆积. 使用 Aston™质谱分析仪，在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱的影响, 也不受射频功率脉冲期间等离子体强度波动的影响.图 3a/3b 显示了 CO+和 SiF3 +的副产物 OA%下降到0.25%的电介质腐蚀EPD数据数据清楚地显示了线性行为和在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱影响. Aston 质谱的 ppb 灵敏度是针对 0.1%以下的 OA性能.原子级蚀刻 ALE在三维结构中, ALE 过程中的逐层去除需要脉冲射频电源来控制自由基密度和较低的离子能量, 以减少表面损伤和保持方向性. 在这样的光源中, 等离子体的整体光强较低, 并表现出波动幅度. 通常等离子体离晶圆区很远(距晶圆区25厘米), 而且等离子体激发的副产物很少, 使得光学测量不切实际.在 ALE中, 由于每个周期都是自我限制的, 端点检测可能不那么重要. 然而, 在缺乏气体分析的情况下, 工艺工程师对监测腔室和工艺健康状况“视而不见”, 因为无法看到化学状态, 特别是在工艺步骤 (吸附/净化/反应/净化) 之间过渡时的动态状态, ALE 的自限性并不能使它不受过程漂移的影响. 此外, 由于 ALE 不是基于等离子体的, 因此过程中的化学变化不一定可以通过等离子体监测检测到.有一种误解, 认为 ALE 技术实际上是一次一个原子层 相反, 它们每循环的去除/沉积量可能比单分子膜多一点(或少一点). 由于真空泵性能, 晶圆温度或离子轰击能量 (电压) 的变化分别导致表面饱和度和表面反应性的变化, 工艺移位(Å/周期的变化)可能发生.在 ALE (下图)中,由于等离子体的使用不一致, 化学监测方面的差距就不那么明显了. 在这种情况下, Aston™ 质谱仪具有以下优点:• 在每个工艺步骤中建立一个腔室化学状态的指证. 这可以参照其自身的正常行为, 也可以参照标准腔• 描述和监控与化学变化相关的动态过程中, 从一个步骤过渡到下一个步骤• 监测在 ALE 循环第一步之后从系统中清除吸附物质的时间. 等离子体通常用于产生吸附物质(自由基), 但它是在远离晶圆片的地方产生的• 监测 ALE 循环第二步反应产物的变化. 等离子体光强通常较低, 因为它使用了低占空比的脉冲射频• 监测反应产物和反应物在ALE循环第二步后被净化的时间结论原子级蚀刻只能使用像上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱仪这样的分子传感器进行真正的测量和监测. 它的高灵敏度, 速度和对等离子体强度变化的低敏感性产生可靠的定量测量, 即使在低浓度的反应物和副产物, 具有低于1% 水平的高精度, 可以监测微妙的过程漂移和过程变化效应, 提供了可用于机器学习模型的见解.利用其高扫描速度, 通过监测反应产物减少的时间来实现步进时间优化, 因为它是表面反应活性变化的指示, 增加了总体吞吐量.ALE 是先进的蚀刻技术, 上海伯东 Aston 质谱仪为 ALE 提供了先进的化学计量技术, 可以测量和控制反应及其持续时间, 为大批量生产提供了可靠的解决方案.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

Kore高质量分辨率飞行时间质谱仪EI-TOF-MS 提供实时、高时间分辨率、高灵敏度的所有气体种类并行检测。 所有的质量都被收集起来，并限度地保留所有的信息。双进样系统包括用于无机气体进样的加热毛细管进样系统以及用于挥发性有机化合物的可渗透膜浓缩进样系统。如果需要，Kore 高质量分辨率飞行时间质谱仪EI-TOF-MS能够产生从＜ 0.5秒到几分钟的单个质谱。 在“色谱”模式下，数据的采集周期长达几分钟。在这段时间内，数据被流式传输到磁盘上，并且可以在短至100ms的时间间隔内进行回顾性检查。 “过程监控”模式适用于数小时或数天的长期监控。用户可以看到一个更新图，其中包含多达16个事先选定的种类。每次测量的光谱都保存在磁盘上，用户可以返回数据，对任何种类进行回顾性绘图。该软件允许用户长时间监测多种气体的趋势。HR EI-TOF-MS 能够在毫巴至10 bar 的压力下分析无机气体以及识别和分析挥发性有机物，使得该设备非常适用于过程监测、催化研究和燃烧或热解反应研究。 这款机架式仪器具有防震悬架，便于在不同地点之间安全运输。HR EI-TOF-MS产品特点：配备毛细管进样和膜进样双进样系统；质量分辨率高达≥8000 m/δm (FWHM)；可以快速采集谱图，生成0.5秒至数分钟内的质谱图；在几分钟内的采集中，可以对数据可溯源性查看，时间间隔短至100ms；过程监测模式可以进行数小时或数天的长时间监测。HR EI-TOF-MS 应用领域：过程监控催化剂研究燃烧/热解反应研究VOC监测洁净室空气质量监测呼气分析国土安全气味识别栅栏监测

英国Hiden公司的QGA定量气体分析质谱仪是为在常压附近连续定量分析气体/蒸气的而设计。QGA配有专业版定量气体分析软件，提供了多种气体实时定量分析的功能。操作界面简单方便，使得用户非常容易去设置，减少了编辑程序的麻烦。设置简单、操作方便 图形、数据实时显示 本底自动校正 16种气体的定量分析 数据以原始数据、%或ppm形式输出 智能谱库扫描功能 准确的碎片峰形记录 自动减去重叠谱 数据输入外部气体分析器，例如一个CO分析器，能自动积分分析质谱数据 多路气体分析可自动顺序测量能连接多达80路气流（需选配多路取样阀）

技术参数 1、锥型接口，安装在电炉内喷射分离器，石英型 2、温度范围，室温到1100度3、质谱范围，m/z 1~410 主要特点 1、采用光离子化原理是无碎片的软离子方法（理学专利）2、选择电子碰撞电离模式和光离子化模式3、通过双孔结构锥形分离器实现高灵敏度高活性气体捕获4、测量范围从氢m/z1到m/z4105、在高灵敏度下检测逸出气体6、通过动态TG和MS调试测量分离复杂反应 应用：1、储氢合金分析2、催化相关的无机气体分析3、先进材料微量逸出气体的检测，以及密封环氧树脂、电子聚合物薄膜的检测4、塑料微量逸出气体分析，用于食品和医疗目的或加热时的安全确认测试5、聚合物的热降解特征6、药品安全性评价 仪器介绍 该仪器是世界唯一，采用锥形TG-DTA-MS无碎片光电子离子技术实现高精度逸出气体分析。可以准确测量微量的氢。是支持新材料发展，建立制造技术，质量控制以及基础研究必不可少的工具。*价格范围仅供参考，实际价格与配置等若干因素有关。如有需要，请向当地销售咨询。我们讲竭尽全力为您制定完善的解决方案。

心室压力测量-心室容积分析测试系统-血流动力学与SIGMA-M，世界名产品Sigma-5DF的升级产品，心室压力容积记录与分析的新时代。SIGMA-M建立在一个新颖的“艺术状态”平台上，为用户提供了一个实时分析动物心脏功能的完整解决方案。Sigma-M实时分析，提高研究效率和（成本）效益集成化解决方案，在一个经济实惠的包中提供硬件、软件和导管面向未来构建-通过减少成本硬件由软件控制平台支持使用Sigma-5DF和CFL-512收集的所有数据，从而防止数据偏倚导管：更可靠、更具成本效益报告重复使用多达80次（动物实验）全桥固态传感器保证最少的漂移SIGMA-M© 是基于SMD技术的模块化电子信号调节器处理器，可通过电导导管结合实时压力测量来连续校准心室容积；一个通过ANIMALS中的压力-体积环分析（PV环）研究心脏功能的完整系统。》一套完整的集成系统，以实惠的价格提供硬件，软件和导管》可模块化扩展》实时分析，以进行更多（成本）高效和有效的研究》硬件由软件控制》该平台支持使用Sigma-5DF和CFL-512收集的所有数据，从而防止数据偏差》16通道模拟输出（可选）》Sigma-1SA是为动物研究而设计的，即插即用，软件控制的压力体积（PV-loop）测量设备。》与传统的固态压力传感器导管不同，CD Leycom导管配备了全桥式硅微芯片换能器，使它们更加稳定且不易漂移。我们的导管系列拥有压力容积（4F，7F）组合导管和仅压力导管（6F），非常适合血管造影研究技术参数SIGMA-M-心内压容积模块监视器模块化平台，可扩展至8个模块容积/压力/辅助软件控制鼠-牛动物频道V/P模块）7通道（音量段)1个通道，来自导管的心电图1通道压力输入（Aux）4通道，范围外壳ABS（UL94-V0）电源插座（115/230伏）保修期三年质保期内无限制A/D转换器采样率250-2000个样本/秒分辨率16位UTP接口频道13数字滤波软件Windows-Conduct-NT接口导出逗号分隔值（.csv）索引60实时显示用户可定义与采样率无关的时间缩放自动/完全/用户定义导管-固态传感器-全桥（少操作）自动校准 尺寸1.9F压力容积，4F压力容积6/10 mm分裂，无流明，仅6F压力，流明7F压力容积，8/10/12 mm分裂，流明/无流明双压力传感器可选

1.ChemPattern简介 ChemPattern先进化学计量学系统解决方案软件通过仪器分析与化学计量学大数据分析的紧密融合，为复杂体系解析提供一站式解决方案，可用于基于各类色谱、质谱、光谱、核磁共振数据的指纹图谱分析、代谢组学分析、非目标分析及在线过程控制等。作为目前唯一的跨分析仪器平台的增强型工作站与大数据分析系统，ChemPattern通过标准数据接口技术提供针对各类高维、高分辨分析仪器大数据的前处理及定性、定量分析功能，特别是基于海量数据可视化的多元校正、多元统计分析、回归建模、模式识别、数据挖掘及人工智能等化学计量学算法的支持。ChemPattern 2017所支持的分析仪器解决方案类型ChemPattern系统由仪器数据处理子系统、分析化学数据处理子系统、化学计量学及大数据分析子系统、大规模数据可视化表达子系统、实验室信息管理系统子系统、以及分析系统管理子系统等6部分组成。并全面符合实验室信息管理系统（LIMS）及电子数据和电子签名法案（FDA 21 CFR part 11）的规范要求。软件中各个分析仪器模块所集成的功能均颇具特色，如LC/GC模块的保留时间自动校正和数字定量勾兑系统，MS模块的质谱解卷积、DART/MS指纹图谱分析及质谱成像系统等。该套系统目前已广泛应用于临床医药、食品安全、烟草白酒、石油化工、检验检疫、环境监测、国土安全以及司法鉴定等复杂体系相关的分析领域，并为用户的生产和科研活动创造了高附加值。以新药研发领域为例，代表性客户包括中国医学科学院药物所、药用植物研究所、中国中医科学院中药研究所、中科院上海药物所等。2.分析仪器数据处理模块简介 ChemPattern所拥有的跨仪器种类的分析化学数据共平台定量分析技术，可提供包括色谱、质谱及光谱等仪器种类在内的分析化学数据的一站式处理与分析解决方案。该系统通过通用数据接口技术实现了仪器分析的湿法实验环节与数据分析的干法实验环节的无缝联接，并针对不同分析仪器的特点分别提供相应的信号处理、校正等工作站软件功能。该系统的应用同时解决了如何对分析仪器所获取的持续呈几何级增长的高维高分辨海量数据进行高效分析处理，以及不同类型及型号的分析仪器所测得数据、模型的迁移和共平台综合比对分析这两个化学计量学所关心的核心问题，并采用标准化的操作方式对各类分析仪器的复杂体系数据处理和分析全过程加以规范。2.1 ChemPattern 2017支持的分析仪器厂家及数据类型ChemPattern解决方案所支持的数据类型及仪器厂家2.2 质谱法系统解决方案质谱法特别是色谱－质谱联用技术是开展复杂体系样本分析不可或缺的重要手段，所获取的高维高分辨数据对于复杂体系质量控制与研究都极具价值。ChemPattern对不同离子源的质谱联用技术如ESI-MS, DART-MS及ICP-MS等所代表的各型数据提供广泛和深入的数据处理支持，其部分特点如下： ● 质谱解卷积。该功能将GC-MS的解卷积功能扩展到信息更为复杂的LC-MS应用中。经过高度优化的快速解卷积算法可兼容各种质量的质谱数据（不同分辨率和采样频率等）。 ● 分子特征匹配。其综合采用化合物的质谱与色谱信息对解卷积色谱峰进行样品间的自动对齐，从而实现化合物的快速精确匹配。 ● 质谱共有模式。根据代表性样品质谱图生成的共有模式可进行基于质谱图的精确匹配，适用于DART-MS及ICP-MS等数据的深入分析。由上至下，由左至右：1、MS Profiler质谱总离子流色谱图视图；2-3、MS Profiler质谱解卷积结果示意图（显示各峰置信度以及右图的数据平滑后的校正保留时间）；4、MS Profiler质谱解卷积分子特征匹配视图；5、MS Profiler解卷积质谱共有模式示意图；6、MS Profiler的DART及ICP质谱样品匹配视图化学计量学算法简介 ChemPattern的化学计量学解析过程与仪器分析步骤密切相关，并完全满足开展定量分析的要求。分析过程系统集成了包括自变量筛选、数据预处理、数据降维，以及交叉验证等在内的一系列数据解析流程。各类核心算法均经过参数优化设计，易于操作掌握，通常只需点击几下鼠标即可获得详尽的交互式图表计算结果。具体功能组成如下: ● 数据预处理（自变量标准化、因变量标准化，数据降维等） ● 多元统计分析（PCA, PLS, PLS-DA, OPLS-DA, SIMCA, MANOVA等） ● 聚类分析（HCA, HCA heat-map等） ● 相似度分析（相关系数，夹角余弦，马氏距离，欧氏距离等） ● 回归建模化学模式识别（kNN, SIMCA, PLS-DA, OPLS-DA, SVM, SOM等） ● 支持向量机与人工神经网络（SVM）与人工神经网络（ANN, SOM） ● 高通量、高内涵人工智能分析与数据挖掘策略由上至下，由左至右：1、ChemPattern系统聚类分析图；2、ChemPattern自组织映射聚类图；3、ChemPattern双向系统聚类分析二维图由上至下，由左至右：1、相似度分析柱状图；2、PCA（主成分分析）得分与载荷三维散点图；3、PLS-DA(偏最小二乘判别)得分与载荷散点图；4、自变量箱状统计图；5、SIMCA（簇类独立软模式法）子模型判定限对数散点图；6、SIMCA子模型投影散点图由上至下，由左至右：1、自变量相关性趋势图；2、SOM（自组织映射人工神经网络）组分权重热图；3、SVM（支持向量机）子分类器支持向量散点图；4、SVM参数网格优化搜索结果等高线图科迈恩（北京）科技有限公司

GCMS-QP 2010 Ultra性能指标1. 离子源离子化模式：EI （标准）；PCI（选项）；EI,PCI和NCI复合源（选项）离子化电压：10 eV ～ 200 eV发射电流：5 uA ～250 uA灯丝：双灯丝结构离子源温度：140 °C～300 °C前端打开方便维护2．质谱m/z范围：1.5～1090 amu质量分析器：带前置预四极杆过滤器的金属四极杆灵敏度：EI全扫描，1pg 八氟萘m/z 272信噪比 S/N 500:1PCI扫描灵敏度，100 pg 二苯酮 m/z 183信噪比 S/N 500:1NCI扫描灵敏度，100 fg八氟萘 m/z 272 信噪比 S/N 500:1分辨率：2M 单位质量分质量稳定性：±0.1 u/48 小时先进扫描速度协议ASSP：降低高速扫描时对高质量的歧视，提高灵敏度扫描速度：20,000 u/秒测量间隔/谱图采集速度：0.01 秒（最快100 Hz）色质谱接口温度：50 °C ～ 350 °C 3．气相色谱GC-2010 Plus柱箱操作温度：4℃~ 450℃程序升温的阶数：20阶进样口温度：极限到450℃AFC压力控制范围：0 ~ 970 kPa电子压力流量控制：压力、流量和分流比可通过先进的电子流量控制系统数字化设定进样口：具备一体化的程序升温和冷柱头进样功能4．检测器检测单元：二级电子倍增管，带专利偏转透镜（降低噪音）和转换打拿极检测器：专利活性膜倍增器ACTIVE FILM Multiplier?动态范围：8 x 1065．真空系统分子涡轮泵：差分双泵系统： (179 L/sec + 185 L/sec, He)前级机械泵：30 L/min (60Hz)柱流速：允许色谱柱载气流量: 15ml/min（He）6．直接进样杆（选项）温度范围：室温～500 °C加热速率：5, 10, 20, 40, 80 °C/min. (在输出时)程序升温：5阶程序升温样品管尺寸：1.9 mm内径 x 8 mm 深7．软件（GCMSsolution 2.6版本）模式：全扫描、SIM和FASST（快速切换Scan测定和SIM测定采集数据，可同时获得扫描法和SIM法的谱图）SIM模式：64 通道 x 128组节能：生态模式插入替换：Easy sTop大幅缩短装置的维护时间，可在维护进样口、更换玻璃衬管、隔垫时无需停真空泵，极大限度减少仪器停机时间方法： COAST模式创建自动的SIM列表；AART（Automatic Adjustment of Retention Time）功能，从保留指数与正构烷烃实测值对化合物的保留时间进行校正，不必担心切短色谱柱或使用批号不同的色谱柱所带来的保留时间的变化谱图检索：相似度检索，带保留时间指数索引的相似度检索仪器调谐：所有离子化模式（EI、PCI和NCI）的自动调谐质谱库（选项）：NIST，Wiley，农药库，香精香料库，药物库数据库（选项）：方法开发包（食品中农药残留，EPA 524，EPA 525）；用于同时分析的化合物组成数据库软件；EPA可选软件；VOC分析软件；GC/MS代谢组学数据库质量控制功能：用于精确控制的QA/QC功能；用于仪器管理的系统检查；用于用户管理的安全功能文件格式：为GLP优化的化合物结构格式报告格式：非常灵活的报告创建和模版功能8．安装要求供电：50/60 Hz；功率：气相部分2600 VA（230 VAC）；质谱部分1000 VA（100 ~230 VAC）环境温度：18 ~ 28℃环境湿度：40 ~ 70%9．体积和重量（不包括计算机和打印机）GC/MS：74 kg机械泵：10 kg二手岛津QP2010气相色谱质谱联用仪，二手质谱仪，进口岛津质谱仪

GC-MS 6800是天瑞仪器精心打造的一款高性价比气相色谱质谱联用仪，具有完全的自主知识产权，拥有多项专利技术，可广泛应用于工业生产、实验室检测、食品安全、环境保护等众多领域。本仪器完全能够满足 GB 36246-2018 《中小学合成材料面层运动场地》塑胶跑道新国标，上海团体标准 T/310101002—C003—2016《学校运动场地塑胶面层有害物质限量》，GBT 14833-2011 合成材料跑道面层等相关标准要求。本仪器完全适用于塑胶跑道合成材料面层成品中有害物质含量的测定、合成材料面层原料中有害物质限量值的测量等试验。GC-MS 6800是天瑞仪器精心打造的一款高性价比气相色谱质谱联用仪，具有完全的自主知识产权，拥有多项专利技术，可广泛应用于工业检测、食品安全、环境保护等众多领域。技术优势硬件自主研发的GC系统，带电子流量和电子压力控制（EFC、EPC）自主研发高效灯丝，电子发射效率高，最大可达350μA带预四极的单四极杆质量分析器，有效减少测样过程对四极杆的污染；带高能转换打拿极的电子倍增器提供优秀的灵敏度；进口机械泵和分子泵组成优异的真空系统，保证系统的高稳定性和可靠性；配备全量程真空规，实时监测真空状况；完善的保护系统，保证仪器出现异常状况时保护系统关键部件，延长仪器使用寿命；先进的RF电源数字补偿技术，可以使全质量范围内的质谱峰都达到较高的灵敏度和分辨率；GC-MS 6800是天瑞仪器精心打造的一款高性价比气相色谱质谱联用仪，具有完全的自主知识产权，拥有多项专利技术，可广泛应用于工业检测、食品安全、环境保护等众多领域。技术优势硬件自主研发的GC系统，带电子流量和电子压力控制（EFC、EPC）自主研发高效灯丝，电子发射效率高，最大可达350μA带预四极的单四极杆质量分析器，有效减少测样过程对四极杆的污染；带高能转换打拿极的电子倍增器提供优秀的灵敏度；进口机械泵和分子泵组成优异的真空系统，保证系统的高稳定性和可靠性；配备全量程真空规，实时监测真空状况；完善的保护系统，保证仪器出现异常状况时保护系统关键部件，延长仪器使用寿命；先进的RF电源数字补偿技术，可以使全质量范围内的质谱峰都达到较高的灵敏度和分辨率；软件工作站软件可同时控制气相色谱仪、自动进样器和质谱仪，通过高速网卡实现数据采集与传输；支持全扫描（FULL SCAN）和选择离子扫描（SIM）模式；可实现FULL SCAN、SIM扫描；支持手动调谐和自动调谐；实时显示总离子流谱和质谱图谱；可快速提取离子和全扫描图谱；天瑞仪器是NIST授权的国内唯一合法分销商，可以保证用户得到最新的NIST谱库数据和谱库升级功能；数据处理软件可依据样品的质谱图在NIST2011谱库中进行目标化合物自动搜寻,并显示搜寻结果。搜寻结果显示每个化合物的实测保留时间、分子结构式与标准图谱,确认离子之间的标准丰度比与实测丰度比等以供使用者准确定性、定量分析；国际级的品质：核心部件与国际主流产品保持一致，保证了GC-MS6800具备与国外仪器同样的性能品质满足更多需求:天瑞仪器为客户提供多种性能优良的选配件,满足不同领域不同客户的多种需求人性化设计: 整机的人性化设计,不仅方便操作,也为让日常维护更加轻松离子化效率更高:整机模块化设计,并采用天瑞专利-新型离子源,离子化效率更高，达到整机灵敏度大大提高Chem Analyst色质联用工作站：实现高效、快速、多功能仪器控制、数据采集、数据处理超高的性价比：在满足全部应用需求的情况下，天瑞为客户带来了更多的实惠科学的解决方案：天瑞仪器强大的应用研发中心为客户提供全面的应用分析解决方案,让客户体验到量身打造的舒适优惠的耗材价格：灯丝等耗材和配件自主研发，客户在享受高端性能的同时，还可以在仪器维护上节省一笔不小的开支完善的售后服务：天瑞仪器对客户需求响应快速，专业技术人员24小时全天候服务主要技术参数 GC技术指标 进样口温度： 450℃，温度点可控 压力控制范围： 0-100psi , 控制精度0.002psi 压力控制模式： 电子压力控制，支持恒压,恒流 分流模式： 分流与不分流进样口，分流比1000:1 柱温箱操作温度： 室温+4℃～450℃ 柱箱升温速率： 120℃/min（柱箱） 平台升温： 7阶8平台程序升温 自动进样器： 选配 MS技术指标 离子化(EI源)： 5 eV ---250 eV（可调） 质量范围： 1.5---1000 amu 分辨率： 单位质量分辨 离子源温度： 100---350℃ 灯丝发射电流： 0-350uA 气质接口温度： 高450℃ 质量轴稳定性： +/-0.10 amu/48 hrs 灵敏度： 全扫描，1pg八氟萘（OFN）在m/z 272amu， 信噪比（S/N）≥30：1 （RMS） 扫描速率： 10000 amu/s 真空系统： 涡轮分子泵（67 L/s） 检测器： 带高能打拿极（HED）的电子增器应用领域1、工业领域:纺织,电子电器,塑胶,化妆品2、食品安全:农药残留,香精香料,添加剂,包装材料3、环境保护:大气,水质,土壤,固体废弃物4、生物医药:制药厂,药物检测5、石油化工:炼油厂,化工厂6、公检法系统:刑侦,爆炸物,鉴定物证技术优势硬件自主研发的GC系统，带电子流量和电子压力控制（EFC、EPC）自主研发高效灯丝，电子发射效率高，最大可达350μA带预四极的单四极杆质量分析器，有效减少测样过程对四极杆的污染；带高能转换打拿极的电子倍增器提供优秀的灵敏度；进口机械泵和分子泵组成优异的真空系统，保证系统的高稳定性和可靠性；配备全量程真空规，实时监测真空状况；完善的保护系统，保证仪器出现异常状况时保护系统关键部件，延长仪器使用寿命；先进的RF电源数字补偿技术，可以使全质量范围内的质谱峰都达到较高的灵敏度和分辨率；软件工作站软件可同时控制气相色谱仪、自动进样器和质谱仪，通过高速网卡实现数据采集与传输；支持全扫描（FULL SCAN）和选择离子扫描（SIM）模式；可实现FULL SCAN、SIM扫描；支持手动调谐和自动调谐；实时显示总离子流谱和质谱图谱；可快速提取离子和全扫描图谱；天瑞仪器是NIST授权的国内唯一合法分销商，可以保证用户得到最新的NIST谱库数据和谱库升级功能；数据处理软件可依据样品的质谱图在NIST2011谱库中进行目标化合物自动搜寻,并显示搜寻结果。搜寻结果显示每个化合物的实测保留时间、分子结构式与标准图谱,确认离子之间的标准丰度比与实测丰度比等以供使用者准确定性、定量分析；国际级的品质：核心部件与国际主流产品保持一致，保证了GC-MS6800具备与国外仪器同样的性能品质满足更多需求:天瑞仪器为客户提供多种性能优良的选配件,满足不同领域不同客户的多种需求人性化设计: 整机的人性化设计,不仅方便操作,也为让日常维护更加轻松离子化效率更高:整机模块化设计,并采用天瑞专利-新型离子源,离子化效率更高，达到整机灵敏度大大提高Chem Analyst色质联用工作站：实现高效、快速、多功能仪器控制、数据采集、数据处理超高的性价比：在满足全部应用需求的情况下，天瑞为客户带来了更多的实惠科学的解决方案：天瑞仪器强大的应用研发中心为客户提供全面的应用分析解决方案,让客户体验到量身打造的舒适优惠的耗材价格：灯丝等耗材和配件自主研发，客户在享受高端性能的同时，还可以在仪器维护上节省一笔不小的开支完善的售后服务：天瑞仪器对客户需求响应快速，专业技术人员24小时全天候服务应用领域满足 GB 36246-2018 《中小学合成材料面层运动场地》塑胶跑道新国标，上海团体标准 T/310101002—C003—2016《学校运动场地塑胶面层有害物质限量》，GBT 14833-2011 合成材料跑道面层等相关标准要求。1、工业领域:纺织,电子电器,塑胶,化妆品2、食品安全:农药残留,香精香料,添加剂,包装材料3、环境保护:大气,水质,土壤,固体废弃物4、生物医药:制药厂,药物检测5、石油化工:炼油厂,化工厂6、公检法系统:刑侦,爆炸物,鉴定物证

氦质谱检漏仪科隆流量计检漏 上海伯东代理德国 Pfeiffer 新款氦质谱检漏仪 ASM 340 应用于科隆流量计检漏。流量计分为有差压式流量计、转子流量计、节流式流量计、细缝流量计、容积流量计、电磁流量计、超声波流量计等。按介质分类：液体流量计和气体流量计。 流量计需要检漏原因：流量计主体是金属外壳，外壳焊缝和接头部位需要进行检漏，若漏律值较大会影响测量精度，因此高端流量计一般采用氦质谱检漏仪进行检漏已提高产品的附加值。 流量计检漏客户案例：上海伯东客户科隆流量计是业内著名的流量计生产企业，采用德国 Pfeiffer HLT 560 和 ASM 340 进行流量计的出厂检漏。 上海伯东流量计检漏方法：采用真空法检漏，鉴于信息保密，详细的流量计检漏应用案例，欢迎拨打客服热线：021-5046-3511 伯东公司代理 Pfeiffer 产品已有40余年，年营业额超过13亿美金，在中国上海、台湾、日本、泰国等国家和地区建有维修据点。拥有一套完善的维修设备和备品配件，提供快速维修服务。

Thermo Scientific Prima BT致力于实验室过程实验装置或小型过程的在线监测，能够对浓度在20ppm-100%范围内的气体进行精确测量。同时，可选的微通道板倍增检测器可用于检测低于ppm级的气体浓度。Prima PRO 是一款专门用于在线分析的质谱仪，几乎可以配置在任何种类的工业环境中，并都能可靠的运行。Prima BT使用了与Prima PRO完全一样的质谱分析技术，但是它被定义应用于小型工业环境和一般环境（环境温度得到控制），并且能够提供最好的分析性能。如果您为大型的工业在线检测寻求分析仪，Prima PRO能够提供最好的应用测量品质。相对而言，如果您需要分析最多不超过15个监测点，且需要同样的性能，但是应用于您的过程开发实验室或是一般环境下的小型工业装置检测，Prima BT同样能够提供完美的分析方案。工作原理磁扇质谱仪是根据离子化的样品分子（离子）和磁场之间的相互作用，实现了对组成样品的各个独立质量组份的分离和测量。在离子化腔，离子由一束具有一定能量的电子与中性气态样气分子相互作用而形成。新生成的离子立即被电场加速，使其向着垂直于磁场方向运动。每一个带电粒子在磁场内受到一个横向力，该力的大小正比于磁场的强度、粒子的速度和它所携带的电荷大小。根据磁场强度预设值来确定选择需要分析的离子，每一个适合的离子被依次选中后通过前方的接收狭峰到达检测器。在这里，检测器测量到的信号正比于被选中的样气分子的浓度。通过测量这些预先定了的离子数量，一个完整组份分析得以呈现。样品导入Prima BT采用著名的快速多流路进样器（RMS）将样气导入分析仪。这种高可靠性的设备能够实现样气流路的切换同时不影响分析仪内部样气的品质。RMS具有长期的优良使用记录，其坚如磐石的可靠性，每年执行多达六百万次的流路切换，而只需很少甚至根本不需要维护的能力已经被实践检验过。它确保Prima BT能够监测多达15个流路。步进电机驱动的快速多流路进样器在一定的时间依次切换至每个流路，将样品导入质谱仪并且记录每一个流路的流量。该快速多流路进样器能够被加热到80℃，它能够确保对诸如甲醇、乙醇和氨等极性分子的快速响应。注意：由于RMS不是旋转阀，而是一个样品连续流动的进样选择器，因此，我们必须为标气设置控制阀，它们位于快速多流路进样器的下方。Prima BT的进样流量通常为大气压下0.1-1升/分钟， 标准的流量为0.2升/分钟，该流量值可以通过转子流量计来调节。所需要的样品压力与排放总管有关，该压力应能确保一定流量的样气通过快速多流路进样器（RMS）,并克服 RMS 管路内径和长度相关的管道压降，通常该值小于100毫巴(1.5psi)。当样品进样量为0.1升/分钟时，RMS压降为1.5毫巴(0.2psi)。RMS管道产生的压降可以用下面的公式表示：C = 0.006D4P/L， 这里 C是样品的流速，单位升/分钟；D是样品管道的内径 单位毫米；P是样品管道内的压降，单位毫巴；L是样品管道的长度，单位米； 例如： D = 3 毫米 L = 10 米,当流量为0.2 升/分钟,差压 P 为4 毫巴。 分析仪控制架构分析仪的控制架构由高度集成的电路板与内部链接网线组成。基于RS-485通讯标准，它提供了安全、准确的控制和分析仪所有功能的监测，并且允许不需要切断整个分析仪的电源，就可以更换单独的系统模块。VGiNet是Prima PRO内部的网络通讯协议，它具备分布式控制引擎的协助能力。该内部协议增强了内外部通讯的速度和安全性。最先进的即插即用的电子部件、卓越的分析功能和工业级标准的通讯工具的集合，提供了灵活的平台，能够适用于非常宽泛的气体分析应用。计算机控制作为控制电路核心的是基于Freescale的控制器，它通过快速逻辑运行工业级实时操作系统（RTOS）。拥有超过十亿的应用，RTOS被证明是最可靠的。该控制器是赛默飞世尔科技设计的，拥有数以万计的使用量和牢靠的可靠性记录。处理器的母板是专为Prima BT而特殊设计的，它提供了一系列灵活的通讯选项。三个串口中的一个被保留与远程安装有GasWorks的PC进行通讯，该PC用于分析仪组态和数据显示（当需要时）。处理器的独立设计确保了当PC被锁定或崩溃时不会对分析仪的性能产生冲击，该分析仪的数据通过其他两个串口直接传输至LIMS，DCS，SCAD， PLC总线或上位主机。这些接口可以单独按照各种通讯协议配置。这些协议包括标准的配置Modbus和OPC。该模板同时提供15针的插头，用于连接一定数量的数字输入和输出信号，该信号可根据多种不同应用被组态。历史数据存贮分析仪本地的历史数据存贮器首先用于记录分析仪整个生命周期内的诊断信息。这里被采集的数据被设计成用以提供系统全面的健康状况。它为维护工程师提供了识别导致故障发生根本原因的最大可能性。如果需要，该存储器也可以用于分析数据的存储。系统维护标准的服务组件。这是一个可选项。一旦客户购买，可以随Prima BT一起运输。该组件包括了完成固定维护的所有的部件和工具。该组件能够最大限度方便客户，简化维护步骤。例如：客户如今仅需简单的更换整个离子源，而不是更换灯丝或是清洗离子源,经过测试的部件完全可以替代。对于真空计也是一样，不需要拆解清洗真空计，使用服务组件中的备件方便的替换该真空计。一旦服务结束，简单的将替换下来的部件寄给最近的服务中心做清洗。由于精心设计，“百宝箱”将服务间隔扩展至3年。仅有的必要性预防维护是对处于机箱外部的二级真空泵的固定维护。该维护间隔与具体的应用有关，而维护步骤仅需要花费很少的几分钟。世界级的服务与支持我们提供的服务和支持确保了仪表运行的优化，并能减小其停运的时间。由于每个客户和每个仪表的需求不同，我们将根据他们独特的需求提供与之一致的服务服务合同备件技术支持现场安装与服务产品培训技术规格表离子源封闭型，电子轰击式，双灯丝，温度控制（可在120-200。C范围内设定，精度为±0.1。C）。分析原理层叠式扫描磁扇，半径6cm，80度偏转角。质量范围可调整。离子加速电压为1000V时，质量范围1-150amu（标准）；离子加速电压为750V时，质量范围1-200amu。分辨率可通过两个收集解析狭缝进行切换，标准配置为60/20，1mm狭缝为60，4mm狭缝为20；也可以选择其他组合，140/81(0.36mm/0.69mm),100/45(0.56mm/1.45mm),140/45(0.36mm/1.45mm)。质量稳定性质量数为28时，0.013amu，24小时测量。峰形平顶峰，分辨率为60时，峰顶（99%峰高处的宽度）与峰底（5%峰高处的宽度）的比值为0.5。丰度灵敏度250ppm, 27/28检测器法拉第检测器。可选法拉第检测器/微通道板倍增检测器进样类型带分子渗漏和旁路（标准配置)的毛细管真空系统涡轮分子泵和外部旋转机械泵，可选涡轮分子泵和内部膜片泵样品流速对每个流路进行数字测量并记录精度0.1%，相对精度（典型值，根据实际应用）线性度1%相对精度，浓度变化超过10%动态范围10 ppb–100%（理论值，根据实际应用）稳定性1%相对值，超过一周，（典型值，根据实际应用）

AMD10（GC / MS）建立在经典的单四极杆质谱技术原理的基础上，结合了电子学和新材料的新进展，从而获得了更好的性能和高效率特征。 仪器检出限和信噪比名列前茅 业界先进的线性动态范围 惰性陶瓷制成的等温离子源专为生物样品和植物提取物的高基质提取物而设计！ 长寿命电子倍增器 人体工学设计，便于检修的离子源和电子倍增器 内置的UPS，一个自我保护模块，保护仪器不受电源不稳定、中断、激增和峰值的影响 自带方法设置向导的单窗口用户界面软件性能指标1.离子源离子化模式：EI 离子化电压：5 eV ～ 100 eV离子源温度：150–350 °C灯丝：双灯丝结构惰性等温陶瓷离子源维护简单，清洗离子源，只需从真空腔体前抽出，而且离子源上接线数量少（3根）。可直接更换灯丝，无需拆解离子源。2.质谱质量分析器：S型预过滤器完全消除光子和中子，并且引导离子无损失地进入四极杆。先进设计的高精度四极杆质量过滤器根据它们的质／荷比有效地分离离子。m/z范围：2-1200 amu灵敏度：EI 全扫描，进1-μL 1 pg/μL OFN，扫描范围为50-300，质荷比为272.S/N信噪比80 L/sec涡轮分子泵1500:1或者更高300 L/sec 涡轮分子泵1500:1或者更高仪器检出限（IDL）: 仪器检出限（IDL）EI选择离子扫描，质荷比为272，进1-μL 100fg/μL OFN80 L/sec涡轮分子泵10 fg300 L/sec 涡轮分子泵10 fg 质量轴稳定性：优于0.10amu /48h最大扫描速度：可达20,000 amu/s传输线温度：最高温度350℃射频电源:1.0MHz电路板模块的互换性。3.检测器拥有在低电压下工作的高能打拿极和长寿命电子倍增器的三轴检测器。线性动态范围 5*10^64.真空系统分子涡轮泵：涡轮分子泵，抽速85L/s、300L/s可选前级机械泵：Edwards机械泵,抽速1.5 m3 /h5.数据系统软件：PANNA Maestro操作分析软件，中/英文可选。模式：SCAN、SIM。应用调谐：一键式自动调谐（BFB、DFTPP）。谱库：NIST, Wiley/NIST, Maurer/Pfleger/Weber, Rosner。解卷积：复杂基质中的痕量化合物的定性与定量的专有集成解卷积算法。数据资源管理工具：一组测量数据快速浏览，手动提取谱图和离子色谱图。测量数据批量处理：多个实验数据的批处理，用户自定义批处理。自动积分工具-解卷积工具：从质谱图中提取化合物谱的列表。导出工具：数据转换为AMDIS可读的格式（“全扫描”模式的质谱图）。iDwell 时间工具：在SIM模式下自动分配驻留时间, 在SIM离子测量速率和灵敏度之间提供更佳的平衡点, 而不需考虑每个时间段的离子质量数量。SIM库：专门选用 SIM 离子质量的内置库, 具有参考强度和化学化合物 IDs (CAS 号)。该库可由用户编辑。对于给定的目标化合物, 可以通过几下鼠标点击从库中搜索数据。智能检测测量方法：一些参数检查有助于在创建方法的过程中，防止用户设置不正确或不兼容的参数。SIM向导：一个强大的工具，从标准样品“全扫描”模式下测量的数据一步一步自动建立SIM方法。6.安装要求运行环境15–35℃ , 40–80%相对湿度-非冷凝(操作)–40–70℃ , 0–95%相对湿度-非冷凝(储存)电力220–240 V, 50/60 Hz 7.体积和重量尺寸（质谱）41.6 cm (w) × 59.0 cm(d) × 41.2 cm (h)自动进样器、样品盘、数据系统和打印机应增加额外的空间重量（质谱）30 to 35 kg（取决于配置）

激光功率测量积分球 Labsphere（蓝菲光学）的激光功率测量积分球是测量高度分散的光源如激光二极管、激光平行光束的总辐射功率的理想选择，不需要复杂的定位和校准程序即可进行快速、精确、重复性测量，同样也可以通过过滤器衰减技术消除极化效应。 水冷激光功率测量积分球包括三种尺寸，集成了高功率脉冲测量和连续波激光器功率测量积分球。采用labsphere的Infragold® 高反射率漫反射涂料，可测量波长范围从700nm到20&mu m，Infragold® 涂料的水冷设计能测量最大功率密度为2KW/㎝² ，大大降低了由于积分球自身未冷却而引起的功率流失。 Labsphere（蓝菲光学）的激光功率测量积分球可应用于紫外-可见-近红外-中红外波长范围内的测量。每一个激光功率测量积分球都能够满足蓝菲光学的探测器组件。积分球含有两个静态的探测口，用户也可以同时增加两个探测器用以测量不同光源的波长输出。也可以通过在一端增加一个光电探测器、在另一端增加一个光谱仪来做激光特性鉴定。激光目标板正对着入射光束放入一端口，设计用于接收激光的第一次轰击，分散能量到积分球内。水冷激光功率能量测试积分球的每一部分都由两个0.25英寸的螺纹来密封与水冷系统的接触面。正常的自来水或冷冻的冷却剂如乙二醇都可以作冷却剂。如果使用了再循环装置，可以咨询厂商如何选择冷却剂，理想的测量设计师输出CO2, Nd:YAG和其他功率小于2kw/㎝² 的红外线激光。冷却剂的最大压力是15psi，安全阀门升程的压力是35psi,在选择冷却剂时压力限制和冷却剂出口温度都要考虑到。特点测量结果与光束几何无关（最高可达40° 半角） 有效收集高度分散的光源 可以同时安装两个不同的探测器或光谱仪 衰减信号以避免探测器饱和 水冷激光功率测量积分球 高功率激光功率测量系统带有高效的散热系统 积分球包括一块激光目标板来分散激光源能量 用户可以自行选择冷却器种类 应用 激光功率测量积分球 激光和半导体激光器的输出特性 水冷激光功率测量系统 高功率红外激光器 CO2激光器和Nd:YAG激光器输出特性 高功率激光二极管测量 测试

HPR60 常压分子束取样质谱(Molecular Beam Sampling Mass Spectrometer)是完备的气体分析质谱仪系统，监测复杂反应过程。用于大气压下的高速度、无碰撞的分子束分析。 自由基通过多级采样差式泵进入分离器入口并无碰撞的转移到质谱仪的离子源。可定制的接口允许连接到许多不同的反应器系统，包括大气等离子体、分离器系统，结合三重过滤四极质谱仪提供了超快速响应和高精度的采样系统。 常压分子束取样 低、高能量分析选项，分析中性粒子、离子、自由基 软离子化技术，分析复杂有机物、表观电势MS 内置断路器，信号选通1μs，用于质量或能量的时间分辨分析 Penning规和互锁装置可提供过压保护 内置真空歧管, 附独立泵，便于经轴向排列孔直接取样，可以使离子、自由基的扰动降至最小 离子源液氮低温板，可使真空最优化和图谱干扰的最小化水冷的、低温面板可选 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件MASsoft控制 质量数范围： 1～2500 amu 响应速度： 300毫秒内对于气体浓度的变化做出反映 取样压力： 20mbar～1bar 检测浓度： 5ppb～100% 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 测量速度： 500点/秒 电子能量： 100eV～1000eV 脉冲离子记数器，可检测连续7个数量级的动态范围 HPR-60 Molecular Beam Mass Spectrometer (670 KB) Mass Spectrometers for Gas Analysis Applications (2.79 MB)

伯东公司授权销售维修德国普发高压质谱分析仪 Pfeiffer HPA 220，可协助客户选型并提供售后服务。质谱分析仪新款上市，适合于所有的应用特别是高压应用。德国普发高压质谱分析仪 Pfeiffer HPA 220 组成：l 四级质谱分析仪l 手动或自动控制进样阀门l 分子泵 HiPace 80 和控制器 TC 110 RSl 前级泵 MVP 020-3l 标准真空腔体l 全量程真空计 PKR 251l 阀门控制单元 VCU 220l 分子泵显示器l 软体：Quadera + HPA Add-Inl 连接法兰 DN 40 CF-Fl 电源：115 – 230 V AC, 50/60 Hz可选的附加组件：1.腔体加热装置 2.分子泵控制单元 DCU 002 3.定制软体 4.其他全量程真空规 德国普发高压质谱分析仪 Pfeiffer HPA 220 优点：l 此款质谱分析仪操作组装灵活，适用各种压力范围l 简单的系统集成 模组式组装l 高灵敏度 多路传输操作l 操作直观 提供广泛的应用德国普发高压质谱分析仪 Pfeiffer HPA 220 应用行业：在一个压力范围内（1 x 10-7到50 hPa）进行过程分析、监控1.真空镀膜行业 2.半导体行业 3.光刻行业 4.冶金行业 5.真空炉 6.实验研究质谱分析仪 技术参数：质量数（可选）1-100 amu1-200 amu1-300 amu质谱分析仪QMA 220前级泵MVP 020-3电源线长度（可选）3m10m检测C-SEM/FaradayC-SEM 最小检测极限1X10-14 hPaFaraday 最小检测极限5X10-12hPa压缩空气5-7 bar进气法兰DN 40 CF-F工作压力（可选）1 hPa8hpa50hpa四级杆直径/长度6 mm/ 100 mmC-SEM 精度200 A/hPaFaraday 精度5X10-4 A/hPa电源115-230 V重量15 kg质谱分析仪 尺寸图：质谱分析仪 订购选型：伯东公司 主要经营产品 德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵 应用于各种条件下的 真空测量(真空计, 真空规管) 氦质谱检漏仪；质谱分析仪；真空系统以及 Cryopump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源. 若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请查看官网或咨询叶女士上海伯东版权所有, 翻拷必究！

主要参数 / Main Parameters: ◆ 四极质谱：德国英福康（INFICON）在线质谱（产地：美国，提供原产地证书及原厂校准测试证书）； ◆ 质量数：默认1-100amu；选配1-200amu或1-300amu； ◆ 灯丝：镀铱灯丝，2套，一用一备，软件切换； ◆ 分辨率：优于0.5ppm（40amu）； ◆ 扫描速度：可达1.8毫秒/amu，扫描步阶0.1amu； ◆ 最小可检测分压：2E-15Torr （4s停留时间） ◆ 气体采样流量：默认可低达2SCCM的微流量采样，可至0.2SCCM的超微采样量；（相比其它国际品牌，完全避免了大流量采样吸入空气的弊端） ◆ 响应速度：可在低达＜2SCCM的微流量采样量下，仍然保持超快速的响应，响应时间＜1秒；（无需大流量采样来提高响应速度） ◆ 分流系统：具有，高精度分流系统是快速灵敏响应速度的保证。 ◆ 软离子化功能：离子源电子能量软件可调，提供更高分辨率。 ◆ 涡轮分子泵：爱德华，抽速85L/s，100KRPM，极限真空1*10E-12mbar； ◆ 干泵：涡旋干泵，抽速20L/S，极限真空1*10E-1mbar； ◆ 质谱腔体：一体式腔体，非焊接式，含加热烘烤，烘烤温度150℃； ◆ 进样接口：1.2米内洁净钝化不锈钢毛细管进样装置，防冷凝防堵塞保护结构；采样压力默认100±10kpa，负压或高压采样可定制； ◆ 软件分析系统：德国英福康（INFICON），英文；通讯接口TCP/IP。 ◆ 规格：H510mm*L520mm*W225mm，Weight30kg，高集成度。测试报告 / Test report其它功能 / Other functions ◆ 零焊缝超高真空质谱腔体技术（将传统的4焊缝降低到0焊缝）； ◆ 分子泵高真空大流导MAX接口技术（将流导面积增加3倍以上，流导长度缩短5倍以上），从而获得极限灵敏度； ◆ 分子泵电流电压监测，质谱腔体温度监测； ◆ 采样管线防蒸汽凝结技术；采样口防堵技术；高温变压高湿气体在线质谱分析系统BSD用户论文 / BSD User Paper

提升您的期望 — 新型 Agilent 7900 电感耦合等离子体质谱仪开启了 ICP-MS 的新纪元。新型 Agilent 7900 电感耦合等离子体质谱仪将再次重新定义 ICP-MS：与世界上最畅销的 7700 ICP-MS 系列相比，其高盐基质耐受能力增强了 10 倍，动态范围扩展了 10 倍，信噪比提高了 10 倍 ，而且功能强大的软件还可帮您编写方法。全球最强大的全自动 ICP-MS 具备业内最高效的氦气碰撞模式，具有无与伦比的干扰消除能力，无论什么样的应用，都能为您提供最优异的数据质量。Agilent 7900 电感耦合等离子体质谱仪的每个组件都经过精心设计，造就了卓越的性能和可靠性，为您开辟成功之路。特性1. 史无前例的高盐基质耐受能力 — Agilent 7900 电感耦合等离子体质谱仪的稳定等离子体和可选的超耐高盐进样系统（UHMI）可帮助您对高达 25% 总溶解固体（TDS）含量的样品进行常规测量，其高盐基质耐受能力比传统 ICP-MS 限量高 100 倍，远远超出了其他任何 ICP-MS。2. 最宽的动态范围 — 新型正交检测器系统（ODS）可提供高达 11 个数量级的动态范围，从亚 ppt 级到百分级浓度，用户可在同一次运行中同时测量痕量与常量元素。3. 痕量物质检测更胜一筹 — 新型的接口设计和优化的扩展级真空系统提高了离子传输效率，在 2% CeO 的条件下可提供 109 cps/ppm 的灵敏度，ODS 则可提高增益并降低背景，进而提高信噪比。4. 更快的瞬时信号分析 — Agilent 7900 电感耦合等离子体质谱仪每秒可完成 10000 次独立测量，可为瞬时信号的准确分析提供极短的积分时间5. 无可比拟的易用性 — 最新一代 ICP-MS MassHunter 软件提供了直观的控制面板设计，配备的小工具可指导您完成每一步分析。只需简单回答几个应用问题，或者对一个典型的样品进行分析，创新的方法设置向导即可自动为您创建方法。您还可以使用远程监控应用程序随时随地监测与控制您的 ICP-MS 仪器，增强了灵活性。6. 更高的分析效率 — 超耐高盐进样系统（UHMI）技术结合可选的集成样品引入系统 （ISIS 3）以及 ODS，可以在最宽的动态范围内分析并定量几乎任何样品，避免了因产生量程外结果而不得不重新分析所耗费的额外时间及成本。

伯东公司授权代理德国普发Pfeiffer氦质谱检漏仪 Adixen ASM 340 D无油干式氦质谱检漏仪，清洁无油的设计满足更严苛的环境。氦质谱检漏仪 ASM 340 D主要特点：1.前级泵配备无油干泵，抽速3.4 m3/h 2.对氦气抽速可达 2.5l/s3.氦质谱检漏仪 ASM 340 D 对氦气的最小检测漏率： 真空模式：5 10-13 Pa m3/s 吸枪模式：5 10-10 Pa m3/s4.可定制和可拆卸的操作介面5.集成SD卡，方便资料处理6.配件可选有线/无线遥控器/吸枪氦质谱检漏仪 ASM 340 D 技术参数：氦质谱检漏仪ASM 340 D对氦气的最小检测漏率5 10-13 Pa m3/s检测模式真空模式和吸枪模式检测气体4He, 3He, H2启动时间约3 min对氦气的抽气速度2.5 l/s进气口最大压力25 hPa前级泵抽速（无油干泵）3.4 m3/h重量45 kg氦质谱检漏仪 ASM 340 D 尺寸图： 伯东公司 主要经营产品 德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵 应用于各种条件下的 真空测量(真空计, 真空规管) 氦质谱检漏仪；质谱分析仪；真空系统以及 Cryopump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源. 若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :上海伯东 : 罗女士

介绍 AMS加速器质谱提供了高精度同位素组成，从克级样品到半克级样品， 通过直接的测量同位素比值。 传统的闪烁计数法 基于放射性衰变和从样品中发射的β粒子的测量， 来提供同位素比例的浓度信息， 而AMS可以在同位素离子分离之后直接各个计数。 AMS超越闪烁计数法，在于AMS需要远少的样品量，并且提供了更高的样品信号由于更高的计数速率。 精度和重复性HVE加速器质谱最重要的特点是“艺术设计”的加速器阵列，其特点就是高度可靠性，突出的低噪音水文，高电压稳定性，低端子电压纹波。 HVE阵列配备一个电子的高压电源，无运动部件。其结果是没有振动，而振动可能会导致终端电压波动。此外，纹波和稳定值和动态行为可提供多年的稳定操作，维护的压力罐中的组件很少，如果需要的话。 AMS使得很多测量成为可能：当样品不能够被通过其他计数技术进行测量时，比如因为没有足够的样品材料或样品数量太高。 对在考古学中最初的应用是在考古学中测量14C ， 现在测量众多元素包括Al、Cl、Ca 和U同位素比。AMS技术被广泛应用在应用地球物理，海洋环境和古气候研究、水文、生物医药、生化反应动力学、材料研究、核不扩散的维护和监测，核和原子物理、核天体物理学和微量元素分析等领域。 灵敏度AMS的绝对灵敏度不是常规质谱能够得到的。AMS解决了干扰问题：源自于分子和分子离子同样的质荷比，当同位素被检测时。典型的最小浓度比，可以被AMS检测到的在10-15 由于精确和重复性是AMS的关键问题，所以稳定性对于加速器质谱而言是非常重要的因素。在实验核物理环境中可以容忍的终端电压瞬变在AMS中是绝对不可接受的，因为它可以破坏从可能不可替代的样品中获得的数据。 同样，终端电压的微小波动也会引起光束通过加速器的变化，从而降低结果的再现性。 单或多元素系统这取决于HVE串列加速器质谱在应用上的两个不同版本： 对应单一元素的专用系统， 或者对应多元素的多元素系统。对应离子束技术的系统扩展性包括离子注入， RBS-C,PIXE,ERD 和 NRA都是一样可以的。 固态以及气态样品HVE串列AMS系统可以配置50（200可选）样品溅射源，可以接受固体或者气体（CO2）进样，这里CO2可以通过地电压导入，使得可以与GC或元素分析仪联用。 HVE的混合AMS离子源的独特特征是离子源本体接地电位。这样非常有利于离子进入，避免了大型高压保护笼的必要性，保证安全无辐射运行。 待分析的样品通过样品盘进入离子源内部，避免了样品与样品在溅射工艺会发生的交叉污染。真空泵直接坐落在附近的离子源体确保最佳的抽速，和在CO2样本的低记忆效应。 离子源和样品盘的气动阀允许离子保持在延长寿命的温度，避免样品盘交换破坏真空。以精确和可重复的方式横向插入源头，使得源维护容易且快速。 精确同位素通过加速器传送的时间。 它消除了从相对稳定时间长的保镖电压产生的不确定性和允许更高的弹跳频率，从而减少源故障从而优化精度的不利影响。 而同时注射是一种直流操作，顺序注射循环通过其中几个数量级之间的同位素强度差异通常与长期使用的放射性同位素的元素的同位素在AMS。这将导致加速器不同的束流加载，从而导致可能影响精度的小端电压波动。 因此，同步注射是高精度AMS测量的首选方法。然而，而同时注射hevier元素的仪器是不切实际的大型和昂贵的，顺序注射可覆盖整个元素周期表。 同时和顺序进样 两个不同的进样概念都可以进行: 同时进样和顺序进样。同时注入不同同位素，分离、分析、重组，同时注入加速器。HVE同时进样器是基于专利的四磁结构，固有的设计，确保重组相同的轨迹和参数设置的独立性。顺序注射不同的同位素分析在HVE时间序列连续注射器注入加速器一个装有光束消隐单元定义纳秒。-------------------更为详细的资料可下载仪器样本。

仪器简介：这套仪器是催化剂表征系统，由两部分组成：催化微反应器CATLAB和气体分析质谱QIC20（Microreactor－Mass Spectrometers）。真正一体化的软件可以真正做到实时记录反应情况，可自动分析得到实验结果。应用： 催化剂表征 金属表面区域 动力学和热力学的测量 活性表面区域 TPD, TPO, TPR, TPRx 反应动力学 催化剂筛选 表面反应机理研究 在线连续的产物分析 吸附/共吸附热技术参数：反应器： 温度范围：－196℃～500℃，800℃,1000℃ 加热速率：1～20 ℃/min 压力范围：常压 气体流量：3～100 ml/min，500ml/min质谱仪： 质量数1～200amu（300amu选配） 进样响应时间小于500ms 定量数据输出PPM, PPB 或 %单位 快速扫描100amu/s，用于瞬时分析主要特点： 快速响应，低热量损失炉子 独特的可互换的催化剂套管系统 底座热电偶，直接测量催化剂温度 自动/手动操作4气流管路（可选配至8路） 质谱与反应器连接紧密，无死体积，方便蒸气分析 操作软件自动控制仪器，同步获得、显示质谱数据 抗腐蚀管路结构（选配）

Aston™ 质谱分析仪安全地减少设备停机时间预防性维护是良好晶圆厂管理与安全第一的理念支柱. 刻蚀和沉积设备需要定期脱机进行深度清洁和/或打开工艺室进行部件更换. 考虑到沉积或蚀刻工艺设备的每小时折旧和生产损失可能轻易超过 1000美元/小时, 减少设备停机时间是至关重要的. 但是, 考虑到许多工具都有高度腐蚀性的清洁气体或工艺副产物气体, 如 HCl, NF3, HBr, HF, F, Cl, 如何安全地停机维护是一个挑战.问题在打开腔室进行日常维护之前, 需要安全地清除腔室内的工艺副产品或清洁循环中的残留工艺气体, 然而,挑战在于如何确保腔室在打开之前是安全的并且没有有害残留气体. 已知的一个方法, 确保工艺室不含有害残留气体（包括由表面去吸收产生的残留气体）的方法是运行（过长）长压力循环吹扫气体. 在没有计量或反馈的情况下, 吹扫周期需要足够长以确保腔室没有有害物质, 这会导致效率低下, 周期长和设备停机时间长. 由于灵敏度和等离子体可用性的问题, 不能使用常见的计量解决方案, 例如光学发射光谱. 传统的残余气体分析仪在腐蚀性气体环境中工作时面临挑战, 这可能导致电子冲击灯丝在长吹扫周期中腐蚀和故障.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪减少设备停机时间解决方案Aston 原位质谱仪可以进行快速, 化学特异性原位定量气体分析, 以实现准确和快速的腔室吹扫终点检测. 与典型的基于时间的清洗程序相比, 这可以节省大量的设备停机时间。 由于 Aston™ 质谱分析仪可用于加速泄漏检测和腔室老化到已知良好腔室化学指征, 因此可以实现清洁后的进一步停机.在不需要等离子体的情况下, 每秒可以采集数十个样本, 灵敏度低至 100 PPB（十亿分之几）水平. 除了基于灯丝的电子碰撞电离源外, Aston Plasma 还提供内部等离子电离能力. 双电离源支持较宽的工艺压力范围, 等离子电离允许分析较高压力下的苛刻气体, 而不会出现残留气体分析仪中常见的灯丝腐蚀问题.通过减少设备停机时间和重新调试, 可以在不到 12 个月内实现回报, 此外, Aston™ 质谱分析仪还为现场过程监控和管理提供了价值优势.Aston™ 质谱分析仪是一种具有成本效益的解决方案, 可在日常维护和后续维护后投产调试前实现快速, 安全的腔室清洗. 除了 Aston ™ 在沉积和蚀刻过程控制中提供的过程监控优势外, 还可以通过原位测量灵敏度和速度来显着减少设备停机时间.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

新一代紧凑型质谱仪——PrismaPro模块化设计。强大的软件支持。低检测限。PrismaPro 集高灵敏度、高稳定性和智能操作于一体，是质谱技术的完美解决方案。用途广泛其模块化设计为您提供多种应用选项，可用于工业和分析仪器、研发、半导体生产和真空镀膜领域。PrismaPro 是一种理想的解决方案，可用于从质量控制、泄漏检测和对复杂的残余气体的分析定性定量的工作。新一代软件新开发的 PV MassSpec 软件是另外一个加分项。除了特别易于操作，它还可以用作转移所有测量数据的易于读取的平台。开放式编程界面除了 PV MassSpec，已经发布的 PrismaPro 的 JSON 编程界面也可以直接访问。通过多种选择的接口，如数字和模拟输入和输出或以太网，可以轻松地集成到您的系统。我们遍布全球的产品和服务专家随时准备着为您提供 PrismaPro方面的应用服务。普发真空拥有十多年的客户积淀和应用经验，是您理想的合作伙伴。应用领域加速器 真空镀膜 工业应用 产品优势一览尺寸紧凑性能卓越多种接口易于系统集成可通过以太网进行联网高测量速度、稳定性和高分辨率分析仪器和电子单元可灵活互换双灯丝延长工作时间最低可检测分压 3 10-15 hPa (mbar)可直接连接真空计，易于测量总压力PV MassSpec 软件操作直观，节省时间一流的的技术支持和全球统一的现场服务JSON 编程界面易于系统集成PV MassSpec – 用于 PrismaPro 的新软件PV MassSpec 软件专门为 PrismaPro 开发，为测量数据和参数记录的获取和可视化提供了一种易于读取、用户友好的平台。可以对全套测量程序进行编程。图片说明：PV MassSpec 测量程序■ 用户友好、操作直观■ 通过内置程序自动进行测量■ 只需单击即可进行泄漏检测和真空诊断■ 自动校准和调整■ 简单定义的测量方式■ 质谱仪数据可以链接外部信号■ 与 PrismaPlus 兼容技术概述偏压电离腔电离腔上加偏压可以大大的降低噪音信号。发射电子的灯丝相对于地面是正电位。这种设计避免了气体粒子从壁室的脱附，因此避免了电子诱导脱附产生不需要的背景信号。场轴技术质谱仪一个很重要的性能是离子从离子源到四极杆的透过率。通过场轴线技术的辅助，离子能够穿过分离系统的边缘领域而不引起任何的干扰。这样能够不需要前置过滤器和后置过滤器即实现高灵敏度 (A/hPa) 。尺寸QMG 250 F 0° (Faraday)QMG 250 M 0° (C-SEM/Faraday)连接选项标准扩展

Master 400是Altamira Instruments（美国AMI仪器）公司于2022年全新推出的一款台式气体分析系统。可以实现和气体相 关的线上或离线气体成分定性或定量分析。它具有直观的设计、精确的测量、快速的结果，适用于当今许多应用领域的要 求。可联用于化学吸附仪、微反装置、竞争性吸附仪、热重分析仪等多种表征分析仪器。 结构组成进样系统：不锈钢或者石英玻璃毛细管以及对应的过滤 膜组成，采用二级降压，毛细管外面配加热 套，加热温度度从常温到200℃。 真空系统：涡轮分子泵以及无油隔膜干泵，配套全量程 真空计，控制和监测质谱室的压力，保证质 谱仪的正常运行，质谱室材料为不锈钢，外配加热套，最大可烘烤温度可达200℃，可 定期烘烤除气，质谱室加热套以及进样管加 热套由两个独立的温控仪控制。四级杆系统：电子轰击离子源，四级杆质量分离器以及 检测器组成。数据处理系统：多通道检测气体软件，可实现定性和定 量分析，适用于Windows 7/10系统。技术参数仪器特点可控温的进气管路，有效防止进样气体在进样过程中冷凝可烘烤的质谱室，有效降低背景气体的干扰 多路输入输出信号，可跟外部仪器实现自动化控制；自带的灯丝压力保护设置，延长灯丝使用寿命； 毫秒量级的响应时间，毫秒量级的扫描速度，实现快速在线分析；法拉第杯/电子倍增器双检测器，灵敏度高，实现从100%到ppb的宽范围检测； 专业的分析软件，多组分采样，实现气体的定性和定量分析； 可定制化的进样系统，根据需求实现进样气体前处理和多通道采样检测；