质谱抽真空涡轮泵

p 　　2020年12月10日，上海——普发真空推出全新 HiPace 350 和 450 涡轮分子泵，该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛，除了用于分析、真空工艺和半导体技术外，还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 413px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/fed32ea3-dd7b-4c7d-9d8a-9720ddfe6ae2.jpg" title=" 图片 1.png" alt=" 图片 1.png" width=" 400" height=" 413" border=" 0" vspace=" 0" / /p p /p p style=" text-align: center " 图：普发真空 涡轮分子泵HiPace 450& nbsp /p p 　　HiPace 350 和 450 性能强大、重量轻且占地面积小。凭借由前级真空侧陶瓷球轴承和高真空侧永磁径向轴承所组成的混合轴承，HiPace 系列涡轮分子泵的轴承非常坚固，确保了最佳的可靠性。 /p p 　　创新性的转子结构设计赋予了该涡轮分子泵诸多优点：对小分子气体的抽吸能力更大、前级真空泵兼容性广泛、气流量高以及对小分子气体的压缩比极佳。由于可以安装在任意所需方向，该系列泵具有极佳的性价比和灵活性。 /p p 　　“该系列涡轮分子泵具有理想的尺寸功率比。HiPace 350 和 450 是 300 至 700 l/s 吸力级别中结构紧凑的大功率涡轮分子泵，针对小分子气体具有绝佳的抽吸能力。”普发真空涡轮分子泵产品经理 Florian Henss 说道。 /p p 　　HiPace 内置的驱动电子设备在不增加体积尺寸的情况下，提供了包括 ProfiNet 和 EtherCat 在内的大量通讯接口。通过遥控和传感器元件可以对泵数据进行分析，实现在运行过程中进行理想的工艺监控。它的运行噪音低，气体流量大，为真空行业树立了新的标准。该系列的各款泵均已获得 Semi S2、UL、CSA 和 Nema 12 认证。& nbsp /p p 　　此外，该系列各款泵均可以在客户现场进行轴承维护和轴承更换，并且均可免维护运行 4 年。 /p

完美适用于高真空和超高真空 针对小分子气体的极高压缩比 残余气体谱极低2016 年 6 月可靠的高真空或超高真空在研发、分析仪器以及工业领域的大量应用中必不可少。普发真空推向市场的新型涡轮分子泵 HiPace 300 H 是目前抽速级别为 300 l/s 的分子泵中压缩比最高的。高达 107 的氢气压缩比使其适用于高真空和超高真空的获取。 腔体中的残余气体谱因该涡轮分子泵的高压缩比而变得极低，所以适用于例如质谱法应用。除了其他众多应用之外，HiPace 300 H 也特别适合用于粒子加速器。此外，还可选择带有外部电子设备的抗辐射版真空泵。得益于精密的转子设计，HiPace 300 H 具有高达 30 hPa 的前级泵兼容性。因此，在预真空压力较高的运行中，例如连接隔膜泵时，也能达到超高真空。HiPace 300 H 具有“间歇运行”功能，只有当预真空压力不够时，才接通前级泵。这使得整个真空系统的能耗降低了百分之九十。 HiPace 300 H 搭载了复合轴承。预真空端的陶瓷球轴承与高真空端的永磁径向轴承组合是十分牢固的轴承方案。这进而实现了更高的可靠性和更长的使用寿命。同时，启动时间也大大提速。因此，能使设备更为快速地准备好运行。远程控制功能和传感功能实现了对例如温度等泵运行数据的评估。

安捷伦科技推出涡轮分子真空泵系列 2010 年 8 月 26 日，北京&mdash &mdash 安捷伦科技公司（纽约证交所：A）今日宣布推出全新的涡轮分子高真空泵系列，特别适合需要对氢气有极高压缩比的超高真空（ultra-high vacuum，UHV）应用。 使用已获专利的 TwisTorr 分子拖动技术，安捷伦已经开发出 Turbo-V 750 TwisTorr、Turbo-V 850 TwisTorr 和 Turbo-V 2300 TwisTorr。新型涡轮分子泵体积非常紧凑，同时极大地提高了抽气效果，显著改善了性能。涡轮分子泵可用于多种应用，包括分析仪器、薄膜沉积、空间模拟、核聚变研究、粒子加速器和同步辐射光源，以及其它工业应用。 &ldquo TwisTorr 技术的诞生代表复合式涡轮分子泵的发展向前迈进了一大步，&rdquo 安捷伦真空产品部副总裁兼总经理 Giampaolo Levi 说，&ldquo 安捷伦致力于提供创新的真空解决方案，在最紧凑的体积范围内，呈现无与伦比的性能和高压缩比。&rdquo 创新的 TwisTorr 技术通过非常紧凑的转子设计获得高抽速，降低了能耗和节省了空间。较高的前级压力耐受使 TwisTorr 系统可以使用更小巧、成本更低的前级泵，进一步减小了系统体积。TwisTorr 泵的特点还在于采用了独一无二的轴承和干式润滑悬挂系统，无需维护，消除了润滑油带来的污染风险，并且可以安装在任何方向。 此外，Turbo-V 2300 TwisTorr 泵具有专用的机架控制装置，使其成为加速器和同步加速器光源以及其它放射性应用的理想选择。 Turbo-V 750 TwisTorr 和 Turbo-V 850 TwisTorr 配有全内置48V 直流控制器，因而自成独立的抽气系统，也可以是配备通用电压机架控制装置的独立泵。Turbo-V 750 TwisTorr 和 Turbo-V 850 TwisTorr 的高性能使其应用范围非常广泛。需要系统集成的 OEM 客户可以通过内置式的控制器把真空泵集成到系统中，诸如分析仪器、薄膜沉积和表面分析。需要手动操作的研究机构和大学实验室可以使用全机架控制器解决方案。 TwisTorr 系列将于九月面世。 关于安捷伦科技公司 安捷伦科技（NYSE: A）是全球领先的测试测量公司，是化学分析、生命科学、电子和通信领域的技术领导者。公司18,500名员工为世界上100多个国家的客户提供服务。安捷伦2009财政年度的业务净收入为45亿美元。了解有关安捷伦科技的详细信息，请访问：www.agilent.com.cn 。

2021 年 8月5日，上海——近日，普发真空推出了寿命更长、振动更小、噪声更低的新型 HiPace 80 Neo 涡轮分子泵，同时问世的还有普发真空专为涡轮泵转子开发的 Laser Balancing™ 激光平衡技术。采用这项专利技术的相关真空泵特别适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。 高度可靠的新型涡轮分子泵：安全、耐用、抗老化、体积小巧 在控温方面，HiPace 涡轮分子泵配备集成传感器，集成的转子温度测量功能可确保 HiPace 80 Neo 始终发挥最佳性能，保障其最高运行安全性。 在轴承方面，HiPace 80 Neo 的混合轴承由两部分组成：前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承，而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固耐用的轴承材料让 HiPace 系列涡轮分子泵的具备更高可靠性。 此外，相较于其他涡轮泵，HiPace 80 Neo体型更加小巧紧凑，可集成到各种便携式和移动式应用中。同时，该泵还具备自动配件检测功能的 Micro-USB 接口，在短短几步之内即可投入使用，为用户带来便捷和高效的使用体验。 在润滑方面，HiPace 80 Neo 配备一种新型高性能润滑剂，具备更高的抗老化性、更优化的润滑性能和更强的耐热性，进一步提升真空泵组的安全性能，而且各款 HiPace 80 Neo 泵均可免维护运行 5 年。 普发真空的 HiPace 80 Neo

广州绿百草推出全新连载短篇小说【阿蛋学仪器】, 不定期的跟大家讲述关于学渣阿蛋在工作后不得不学习仪器知识的苦逼经历。夸张的剧情下都是以现实为原型，记得准时关注哦！ 阿蛋学渣，毕业于某大学化学院。屌丝男一枚，无才无貌，不文艺也不爱运动，五音不全，唯一的爱好是LOL。 百草阿蛋的师姐，学霸。标准白富美，善良、有爱心。娇滴滴的外表下有着一颗女汉子的心。质谱的分子涡轮泵坏了怎么办？阿蛋是个标准的学渣，走的后门才找到的某出入境的检测工作。老板让他管理API4000三重四极杆液质联用仪 (老板心真大) 。阿蛋看到这台大家伙也惊到了，“太高大上了，这东西即使在一线城市也可以换套房啦，装逼神器啊，够我玩好几年拉！”老板眼一瞪：“认真点，以后别整天就撸啊撸的，跟着你百草师姐好好学！”阿蛋赶脚这是要走上人生巅峰的节奏啊，“老板，我一定跟师̷̷姐好好学！”阿蛋拿起了天天撸的劲头，努力学习《仪器人的自我修养》，24小时不停的操机，结果........几个月后仪器基本没有维护挂了!仪器无法启动？？！！！阿蛋彻底懵逼，赶紧找师姐救命，师姐也很紧张，“你也太会玩了，挑这么贵的坏，先找一下AB维修工程师看一下能否修好，一定要尽力减少损失，咱们单位是要做成本核算的，仪器坏了要扣你工资的！”“What？扣工资？要扣我几年吗？”“你算错了，就你那点工资，扣到你退休都不够”阿蛋顿时胸口浪潮翻涌，当场吐血三升！联系上了AB的王工程师，上门一通检测后.....“这仪器十几年了，可以考虑换新的了！” 阿蛋再吐血̷̷“让我去屎吧”好在师姐见过世面 “王̷哥̷，您再看看，您是我见过的技术最牛掰的工程师啦，您一定能修的好嘛！人家都没钱买化妆品拉，L”王工 “那是，你王哥修不好就没人能修好了，质谱没有坏，问题是出在分子涡轮泵负荷过热，泵油也没及时更换，烧坏了，我们厂家是不修泵的，消耗件而已，你只要买个新的就行啦，很便宜的！”（据说因为离子源设计导致AB的真空负荷相比其他品牌更大，AB的分子泵相对其他品牌更容易坏！）“那得多少钱呢？”“分子泵18万不打折，安装调试费3万，一共21万，货期6周”师姐：“那比整台仪器还是便宜很多，谢谢王哥，我先跟老板商量一下，到时再给你消息！”听到这里阿蛋又活过来了：“师姐，那我们赶紧跟老板申请费用吧”师姐小声回复“不要捉急，我听朋友说广州绿百草公司能修分子泵，就是做色谱耗材和仪器很知名的那家。”“广州绿百草吗？和你名字好像哦，师姐，不会是你开的吧？”“滚粗̷̷”阿蛋马上联系上广州绿百草公司，内外兼修的技术专家了解情况后给了两个方案“方案一、换新泵，这个分子泵型号是Varian TV801NAV，现在属于Agilent公司，我们打完折12万，包安装调试费。方案二、修泵，如果没有配件更换，维修费3万即可，1-2周搞定，质保期一年，如果需要更换配件，按照实际配件价格收费，大概5千-2万不等。”阿蛋把几个方案详细情况汇报给了老板，经过爱抠鼻和抠门的老板再三思虑后决定：“让广州绿百草修吧，跟他们耗材仪器合作的挺好的，售后一直很靠谱。”阿蛋主动要求将功折罪，陪同监督修理，作为随行记者，做了记录，并拍了照片。拆卸过程：分子泵标准维修项目：＊超声波全面清洗转/定子叶片及腔体 并烘干 ＊马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量＊更换全套原装进口陶瓷轴承,密封件等损耗品 ＊6000-39000rpm／分钟全速动平衡分析及校准＊根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.１6标准＊测试极限真空值＊氦质谱检漏仪检漏，保证分子泵渗漏率小于2.0*10-9mbar*L/S＊0-20KHz震动频谱加速度分析安装方式为：垂直90度异常更换部件：无分子泵TV801 SN：207962真空度5.40*10-7mbar隔膜泵测试分子泵对应电流为917mA分子泵渗漏率为9.0*10-10mbar*1/s结论：分子泵TV801SN：207962，启动时间，分子泵电流，分子泵0-20KHz振动频谱，极限真空值等都在标准范围；维修测试项目全部通过，特批准出厂。最终，阿蛋在广州绿百草公司的帮助下花了3万元修好了质谱，他又可以开心的玩耍了！想知道阿蛋好不容易修好仪器后又有怎样的遭遇？记得持续关注广州绿百草微信公众号~我们会不定期推出续集哦~关注广州绿百草微信公众号，获取更多资讯！

p & nbsp 　　2020 年 5 月 13 日，上海——普发真空宣布，从法国大型研究机构 GANIL (国家大型重离子加速器) 获得了涡轮分子泵与特制真空腔室的大批量供货订单。 /p p 　　位于诺曼底的法国国家研究中心 GANIL自1983年开始投入运行。与德国GSI亥姆霍兹重离子研究中心一样，它也是全球最大的重离子加速器研究机构之一。GANIL广泛开展了诸多国际合作，特别是与位于达姆施塔特的GSI共同开发的德国FAIR项目和法国SPIRAL2-DESIR项目。 /p p 　　位于该研究中心的粒子加速器可产生大范围的离子束，专用于生成超重原子核。这些奇异核由高能粒子的碰撞而产生，在正常的自然条件下不会出现。加速器中生成的离子束用于聚变研究、天体物理学、材料科学、放射治疗、放射生物学以及原子和核物理领域内的基础性研究。 /p p 　　DESIR设施将生成的离子束引导到各个试验中，这种离子束引导需要使用静电导向器和四极杆。为了使加速粒子能够在束流引导管 (beam lines) 中尽可能自由地移动，纯净的超高真空 (UHV) 必不可少。保持这种低压环境则必须依靠极其强大而可靠的真空获得技术。 /p p 　　GANIL最终决定采用普发真空的 HiPace 700 M涡轮分子泵和真空腔体。普发真空科研市场经理Dirk Budelmann博士表示：“GANIL在未来研究计划中选择了我们的尖端技术，我们为此深感自豪。我们的涡轮分子泵将与特制真空腔体一起应用于 SPIRAL2-DESIR 新式直线加速器。” /p p 　　此次项目中所采用的HiPace M涡轮分子泵具有结构紧凑、高气流量和低能耗的突出特点。其磁悬浮轴承也被称为“主动式电磁轴承”，因为转子位置一直处在持续监控和实时调整之下。同时，自动不平衡补偿功能确保转子保持连续稳定的无磨损和低振动运行。此外，采用可靠的轴承技术，无需维护或油润滑。随着粒子加速器技术要求的不断提高，涡轮分子泵也得到了不间断的开发，从而使得各类应用都可找到与之匹配的普发真空定制产品型号。 /p p /p p style=" text-align: center " & nbsp img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202005/uepic/c551fa41-f520-4a91-8778-f306fd1fbec0.jpg" title=" 图片 1.png" alt=" 图片 1.png" / /p p style=" text-align: center " 图片说明： /p p style=" text-align: center " SPIRAL2：GANIL 超导直线加速器 (& copy P.Stroppa/CEA) /p

p 　　近日，安捷伦发布了全新一代高真空涡轮分子泵 TwisTorr 704FS。作为一款加持了诸多“黑科技”的全新产品，TwisTorr 704 FS 高真空涡轮分子泵在具有高性能、高可靠性的同时，还能做到更经济。 /p p 　 span style=" color: rgb(0, 112, 192) " 　 strong 首先，高真空涡轮分子泵是什么? /strong /span /p p 　　涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空 span style=" color: rgb(0, 112, 192) " /span 泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa(大气压的十万亿分之一)的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪(比如 GC/MS、LC/MS、ICP/MS、TOF)、镀膜机、电子显微镜(SEM、TEM)、聚焦离子束系统(FIB)、表面分析仪器，高能物理实验装置、粒子加速器、高真空实验装置等诸多应用。 /p p style=" text-align: center " img title=" 001.png" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201801/insimg/5cf204ae-44d7-41a5-8c28-e1b39ec0a091.jpg" / /p p 　　高真空涡轮分子泵内有一个高速旋转(每分钟几万转)的转子，转子上有涡轮和拖动级进行抽气。随着技术的不断进步，市场不仅对泵性能的要求越来越高，更对其小型化、高可靠性、维护方便性及灵活易用性等都提出了更高的要求。下面就来看看，为了满足这些要求，安捷伦最新的高真空涡轮分子泵都“加持”了哪些“黑科技”吧。 /p p span style=" color: rgb(0, 112, 192) " 　 strong 　“黑科技” No.1 TwisTorr 拖动技术 /strong /span /p p style=" text-align: center " img title=" 002.png" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201801/insimg/3d0d4557-01c6-4d6c-962c-ba1f517321e6.jpg" / /p p 　　通常的分子泵拖动级采用圆柱螺旋形的沟槽，而安捷伦 TwisTorr 技术把拖动级放在了薄薄的圆盘上，这样就可以在有限的空间内集成多对拖动级转子盘和定子盘，节省空间的同时又能提高效率和性能。 /p p 　　采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑，并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比(特别是对小分子气体的高压缩比)可以带来更好的极限真空，而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵，从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。 /p p 　 strong 　 span style=" color: rgb(0, 112, 192) " “黑科技” No.2 AFS 安捷伦悬浮轴承技术 /span /strong /p p 　　一般的涡轮分子泵的设计，泵的轴承是通过过盈配合与转子及泵体轴承座紧密连接的，一旦泵体有振动或冲击，这些振动就会传递到轴承，并且通过轴承传递到转子。由于涡轮分子泵的轴承和转子都在高速转动，对振动特别敏感，传递到轴承的振动会影响轴承的寿命，传递到转子的振动会造成转子发生位移，甚至会与泵体或定子接触。而一旦高速转动的转子与其它静止的部分接触，巨大的冲击力会立即造成转子叶片的破碎，整泵也随之报废。 /p p style=" text-align: center " img title=" 003.png" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201801/insimg/2f765696-2dde-49f1-8545-db3da932f3ae.jpg" / /p p 　　安捷伦 AFS 悬浮轴承系统，采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体，避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击 并且由于弹性材料的阻尼效应，可以吸收各种振动的能量，降低整泵的噪音和振动，保证最佳的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，最大程度减少系统停机时间，确保长时间工作的稳定性。 /p p 　 span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong 　“黑科技” No.3 特殊润滑剂永久润滑轴承 /strong /span /p p 　　使用涡轮分子泵的高真空环境对润滑油或润滑脂非常敏感，因为在高真空环境下，润滑油或润滑脂非常容易汽化。一方面，这些油脂类的蒸气会形成一种气源，影响系统的真空度和纯净度 另一方面，这些蒸气进入到真空腔体后，会冷凝附着在其它零件上，影响高真空系统内相关设备的工作。 /p p style=" text-align: center " img title=" 004.png" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201801/insimg/b09d5b2c-57ba-4769-bc01-8eb95b90c17c.jpg" / /p p 　　TwisTorr 704 FS 采用安捷伦与轴承厂家合作研发的特制轴承，能够任意方向安装 并且，由于其使用的特殊润滑剂饱和蒸汽压极低，正常使用时几乎没有损耗，使得该泵在整个寿命周期内都无需进行加注润滑脂、更换油棉等维护。 /p p 　 span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong 　“黑科技” No.4 分子泵控制器 “3D” 控制软件 /strong /span /p p 　　早期的分子泵控制器又叫分子泵电源，其最重要的功能是向分子泵供电 后来，改进型的控制器具备了一定的保护功能，可以监控分子泵的功率和温度，相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线，分子泵只能在这条线以下工作(2D)，若超过这条线控制器就会报警停机。 /p p style=" text-align: center " img title=" 005.png" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201801/insimg/89e6022e-5292-4b51-853e-d51b24d18729.jpg" / /p p 　　与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器，变被动保护为主动调整，可以根据不同的工艺条件，自动调整输出功率和转速，使泵在保证自身安全的同时，始终工作在一个达到最优性能的曲面上(3D)，达到最佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行，可以延长其使用寿命。 /p p 　　与 704FS 同时发布的还有 804FS 和 404FS，加上之前的 84FS 和 304FS，形成了一个完整的系列。 /p p style=" text-align: center " img title=" 006.png" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201801/insimg/60488220-3a68-4e89-be10-6dc30b3ebf90.jpg" / /p

nEXT 730 和nEXT 930是EDWARDS全球销量超过8万台的明星产品——涡轮分子泵nEXT系列的新成员。nEXT 730和nEXT 930将为您带来如下收益：- 更高抽速（氮气）——730 l/s、925 l/s- 360° 任意角度安装- TIC 控制器可同时控制分子泵和三路真空规管- 维护间隔长，用户可自主维护- 设计灵活，满足OEM定制需求更多信息请见下：抽速：尺寸：创新点：更高抽速：730 L/s、925 L/s (N2) 可360° 任意角度安装 TIC控制器可同时控制分子泵和三路真空规管 EDWARDS涡轮分子泵nEXT 730 & 930

安捷伦科技公司推出紧凑、可靠、高性能的真空泵换代产品 TwisTorr 84 FS 涡轮分子泵不仅满足大负载需求，且最大程度减小振动和噪音 2015 年 3 月 26 日，北京 — 安捷伦科技公司（纽约证交所：A）今日宣布推出一款小抽速涡轮分子泵的换代型号TwisTorr84FS。 TwisTorr 84 FS 融合一系列技术创新，显著提升性能表现和可靠性，尤其适合于更加严苛的学术应用和产业应用，诸如对振动要求苛刻的高分辨电子显微镜以及气载负荷有更高要求的气相色谱/质谱系统等一系列科学仪器。 这款全新涡轮分子泵的关键创新点之一是采用TwisTorr拖动级，使氢气和氦气等小质量气体的抽速和压缩比均有显著提升；同时也使分子泵可以实现高气体通量、高前级耐压、低功耗以及低运行温度。 此款分子泵的另一创新之处是采用全新的阻尼悬浮轴承技术，可在提升轴承可靠性、延长分子泵使用寿命的同时最大程度减小振动和噪声。这一全新轴承技术的突破性进展不但能够造就TwisTorr84FS分子泵卓越的可靠性，而且也树立了低振动的行业新标杆，因此亦可作为扫描电子显微镜等相关应用的不二选择。 安捷伦公司副总裁、真空产品部总经理 Giampaolo Levi 先生满怀信心地向业界宣布：“世界级的仪器需要高度可靠、高效节能的创新型高性能真空设备，而 TwisTorr 系列高真空涡轮分子泵恰恰能够满足这些要求。” 全新的TwisTorr 84 FS 分子泵将同时应用于安捷伦TPS-Compact以及Mini-Task分子泵机组中。 有关安捷伦真空产品的更多动态和解决方案，请访问真空产品门户网站：http://www.vacuum-choice.com 关于安捷伦科技公司 安捷伦科技公司（纽约证交所：A）是生命科学、诊断和应用化学市场领域的全球领导者，是致力打造美好世界的顶级实验室合作伙伴。安捷伦与全球 100 多个国家的客户进行合作，提供仪器、软件、服务和消耗品，产品可覆盖到整个实验室工作流程。在 2014 财年，安捷伦的净收入为 40 亿美元。全球员工数约为 12000 人。如需了解安捷伦科技公司的详细信息，请访问 www.agilent.com。 编者注：更多有关安捷伦科技公司的技术、企业社会责任和行政新闻，请访问安捷伦新闻网站：www.agilent.com.cn/go/news。

岛津制作所(SSI)宣布发布新型高分辨气相色谱质谱联用仪GCMS-QP2020。该仪器的创新之处在于配备了专用多功能离子源、专利高速扫描控制和新超快分子涡轮泵。集这些创新点与综合数据库、多功能样品进样装置于一体的整体系统能够为环境、食品和法医等领域的实验室提供卓越的仪器性能和量身定做的配置需求。　　GCMS-QP2020的质谱配备的新型大容量分子涡轮泵能实现更高效的抽真空功能。这一特点显著提升氦气、氢气、甚至是氮气作为载气时的仪器性能。泵的微分排气系统能在使用任何载气时实现分别排空离子源和四极杆系统以达到最佳仪器条件。　　专利离子源技术使得GCMS-QP2020获得了稳定的高灵敏度分析能力。此技术为离子产生提供了稳定的空间，防止离子源交互带来的污染，并能够在不卸真空的情况下实现离子源模式切换。操作人员可在不浪费卸真空和换源时间的情况下做快速化学源分析(Quick-CI)。Quick-CI 功能使操作者在使用EI源时可通过引入试剂气体找到分子离子。另外，智能SIM(选择离子监测)功能可自动生成高灵敏度的多组分交互SIM分析程序。　　“此系统的创新为研究者们带来了更多方便。在智能SIM功能提高了灵敏度的同时，Quick-CI给操作者带来了更长的运行时间。” 岛津制作所市场副总裁Terry Adams说。“系统不仅具有智能SIM、节能模式等特点，还结合有能配合各类载气的强劲新型分子涡轮泵、卓越的系统稳定性。用户可以通过使用此系统有效的节省资金并提高实验室效率。”　　改进后的GCMS解决方案软件为GCMS-QP2020提供了更加直观的操控系统。专业并可供选择的数据库能够为大多数的色谱柱提供附加的保留指数。这些保留指数能够支持高精度的定性分析、定量方法开发和筛查。用户可根据需要选择进样设备来满足特定的分析需求。　　编译：郭浩楠

p style=" line-height: 1.5em text-align: justify " 　　近日，安捷伦推出两款新型的创新的的涡轮分子泵——TwisTorr 305 FS和TwisTorr 305 IC，它们均具有更紧凑的设计和更智能的功能。 /p p style=" line-height: 1.5em text-align: justify " 　　新款分子泵都具有智能连接功能，这是安捷伦涡轮分子泵的新功能。可以在手机上安装的名为Vacuum Link的应用程序使用户可以与泵进行远程通信，因此用户可以通过手机快速键入命令以及修改参数来控制泵。 /p p style=" line-height: 1.5em text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 450px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/74dbac4d-83df-424c-9b83-6d2b41dd9170.jpg" title=" TwisTorr_305_FS_Turbo_Pump_1600px.jpg" alt=" TwisTorr_305_FS_Turbo_Pump_1600px.jpg" width=" 450" height=" 450" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" line-height: 1.5em text-align: justify " 　　TwisTorr 305 FS泵是独立设备，带有一个外部遥控器。TwisTorr 305 IC泵具有集成控制器，并且占地面积更小，因此适合原始设备制造商以及其他需要将泵集成到仪器中的用户。这些泵的紧凑设计意味着它们可以安装在较小的空间中并可以安装在任何位置。 /p p style=" line-height: 1.5em text-align: justify " 　　同时，新的产品具有一项高级功能，使用户可以提取日志文件，以便他们更便捷地共享泵的运行数据，还可以与安捷伦服务和支持团队进行快速沟通，从而缩短公司的响应时间。 /p p style=" line-height: 1.5em text-align: justify " 　　“将智能连接纳入这一新系列的涡轮泵是一个非常独特的创新，这意味着用户可以随时关注他们的实验，这些泵将为实验室数字化提供支持。”安捷伦真空产品部副总裁兼总经理Giampaolo Levi说。 /p p 　 /p

安捷伦科技公司推出了采用独特悬浮轴承技术的小型高真空泵 新系统的可靠性、轻质气体压缩比和能源效率在多种应用中都有大幅度的提高 2012 年 12 月 26 日，北京&mdash &mdash 安捷伦科技公司（纽约证交所：A）今日宣布推出 TwisTorr 304 FS 高性能涡轮分子真空泵，这是全新高真空泵系列中的第一款高真空泵，其采用了安捷伦新型悬浮轴承技术。 这项技术广泛应用于各种应用和市场，包括学术研究和政府科研，以及分析、工业、纳米科技/半导体等多个产业。泵的转速达到 60,000 rpm 时N2抽速可达250升/秒。此外还大大提高了可靠性，并使轻质气体的压缩比增加 100 倍。 &ldquo 新型 TwisTorr 304 FS 是当今体积最小、最可靠的高效节能型高真空泵&rdquo ，安捷伦真空产品部副总裁兼总经理 Giampaolo Levi 说，&ldquo 目前我们正在将这项新技术及其优势集成到安捷伦下一代液相色谱/质谱系统中，未来我们还将继续保持与客户的积极合作，不断挖掘出他们更多的需求，促进涡轮泵在设计方面取得新的进展&rdquo 。 TwisTorr 分子拖动技术对氢气和氦气提供高抽速和高压缩比。此外，该泵还提供无以伦比的高通量和高前级耐压，以及具有低能耗和低操作温度的特点。 结合公司现有专利的 TwisTorr 系列解决方案的超群性能，新系统突破性悬浮轴承技术确保轴承的低震动、低噪音，使其处于最佳工况，在仪器（如扫描电子显微镜）或其它要求严苛的应用中仍能保持较长的使用寿命和出色的稳定性。另外，该产品的转子设计非常紧凑，因此降低了能耗和系统占地面积。其特点还在于采用了独一无二的轴承和干式润滑悬挂系统，无需维护，消除了润滑油带来的污染风险，并且可以安装在任何方向。 新型 TwisTorr 304 FS 将于一月份面世。安捷伦计划提供具有多种抽速的全新悬浮轴承真空泵。 关于安捷伦科技 安捷伦科技 (NYSE:A）是全球领先的测试测量公司，同时也是化学分析、生命科学、诊断、电子和通信领域的技术领导者。公司拥有 20,500 名员工，遍及全球 100 多个国家，为客户提供卓越服务。在 2012 财政年度，安捷伦的业务收入为 69 亿美元。有关安捷伦科技的更多信息，请访问：www.agilent.com.cn. 编者注：更多有关安捷伦科技公司的技术、企业社会责任和行政新闻，请访问安捷伦新闻网站：www.agilent.com.cn/go/news。

仪器信息网讯 2024年4月18日，“大型质谱仪真空系统全新组合，革新质谱仪的节能之道”普发真空SmartVane产品推介会成功举办。该活动线上线下同步举行，整场活动精彩纷呈，高潮迭起，吸引了众多行业内外人士的目光，反响热烈。普发真空作为全球领先的真空技术解决方案的供应商之一，从1958年发明涡轮分子泵至今，在全球分析仪器、科研探索、真空镀膜、半导体制造以及尖端工业等领域。真空系统是质谱仪的主要组成部分，在质谱测定过程中，凡是有样品分子和离子通过以及存在的地方都必须抽成高真空。在本次推介会上，普发真空中国技术支持马良详细介绍了实验室中理想的无漏油真空解决方案以及SplitFlow + SmartVane 真空系统组合产品在大型质谱领域的应用。SmartVane作为一款密封的旋片泵，摒弃了传统轴封设计，避免漏油问题，特别适用于质谱分析。其出色的低噪音特性，为实验室提供了一个更为安静的工作环境，特别是在低于10 hPA的压力环境下，其静音效果更为显著。紧凑而精巧的设计，不仅简化了安装流程，更使得与其他设备的连接变得轻而易举。更值得一提的是，SmartVane还搭载了集成的节能IPM电机，有效降低了运行成本，同时大幅减少了维护成本，延长维护周期，极大地提升了使用效率。此外，它还配备了智能通信选项，为用户提供了更加便捷、智能的操作体验。而与SmartVane搭配使用的SplitFlow 350，则是一款炮筒式多口分子泵，其多抽口设计使得在差分系统中，仅凭一台泵即可实现多台泵的效果。SplitFlow 350不仅功耗低（功耗降低10-30%）、抽气速度快、气体压缩比高，还配备了优化的操控系统、集成的分子泵控制器，防护等级高达IP 44/NEMA 12，并通过了UL/CSA认证。此外，采用集成的转子温度测量功能，确保了分子泵的稳定性和安全性，为用户提供了更加安心、高效的使用体验。在直播过程中，普发真空中国分析仪器行业经理黄杰以及普发真空德国分析仪器行业经理Eduard Weber均亲临现场，为观众答疑解惑，分享产品使用的经验与心得。同时，众多行业专家、以及新老客户也都积极参与。普发真空中国技术支持马良（左二）、普发真空德国分析仪器行业经理Eduard Weber（右二）和普发真空中国分析仪器行业经理黄杰（右一）现场答疑现场演示为了感谢广大网友的积极参与，直播活动还特别设置了现场抽奖环节。此次普发真空SmartVane产品推介会的成功举办，不仅为广大用户提供了优质的解决方案分享，还生动的展示了普发真空在分析技术领域的创新实力。关于普发真空普发真空- (Stock Exchange Symbol PFV, ISIN DE0006916604)-作为全球领先的真空技术解决方案的供应商之一。我们不仅拥有全系列的复合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵, 同时还拥有各种前级真空泵，检漏仪，真空计， 质谱仪以及真空管件腔体和系统解决方案。 从普发真空发明涡轮分子泵至今, 我们在全球分析仪器、工业、科研、镀膜和半导体领域，始终代表着创新的解决方案和高品质的产品。公司自1890年创立至今百余年始终走在世界前沿， 在全球拥有 4,000 多名员工和20 多家分公司。普发真空是Busch Group的一员，Busch Group 是全球最大的真空泵、真空系统、鼓风机、压缩机和废气净化系统制造商之一。Busch Group 旗下拥有普旭真空解决方案(Busch Vacuum Solutions)、普发真空(Pfeiffer Vacuum)及商先创环保科技(centrotherm clean solutions)三大知名品牌。

普发真空推出新型隔膜泵 MVP 030-3 C DC对化学品和冷凝液具有高耐受性运行噪音低、振动小智能界面接口德国阿斯拉尔，2021 年 5 月 7 日。隔膜泵是一款完全无油运行的真空泵，因此适用于需要洁净干燥真空的众多应用领域，例如实验室、分析仪器、泄漏检测和科研。普发真空推出了耐腐蚀性气体的隔膜泵 MVP 030-3 C DC。该版本配备气镇阀，具有良好的化学品和冷凝液耐受性。特殊材质的选用确保产品耐用坚固，能够适用于更多的工艺。 隔膜泵不仅运行可靠，而且安静、振动小。其噪声水平低于 45dB(A)。凭借紧凑的结构和超轻的重量，该泵特别适用于小型分析系统、质谱仪和涡轮分子泵组。作为前级泵，它们是普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的完美组合。通过相互可控性，智能运行状态可以参数化，从而降低能耗和磨损。只需通过一个普发真空电子驱动单元，即可对隔膜泵和涡轮分子泵进行控制，而且仅通过同一根电缆供电即可实现。这样可以减少布线需求，降低成本。此外，还可以读取多个数据和传感器，例如温度，运行小时计数器和电源使用情况，使您能够针对智能工业4.0环境监控泵的状态。 无刷直流驱动系统可以改变转速，从而有效满足不同应用的特殊要求。自动升压模式下，隔膜泵超速启动。这样可以缩短所连接系统的启动时间，使用户能够更快地调试系统。只要达到一定真空度或经过一定时间间隔，转速就会降低。由此实现高性能和超长的维护间隔。此外，由于该系列隔膜泵与涡轮分子泵一起待机和间隔运行，从而使得能源效率极高。24V 直流供电意味着电气设计和相关安全措施复杂度较低，从而可进一步降低成本。 膜片的使用寿命长使这款真空泵特别值得考虑MVP 030-3 C DC 三级式隔膜泵配备磁性气镇阀。通过定期打开气镇阀，可以防止隔膜泵内积聚冷凝水，从而提高了过程安全性和使用寿命。 此外，隔膜泵的维护也十分简便。膜片和阀门都可以轻松更换，省时省力，免去繁琐工作。通过可切换电压的电机或直流驱动，保证了泵在全球范围内均可使用。 普发真空还提供多种附属配件。针对特殊应用，有时需要额外的功能部件或组件。如特殊的电源线、管接、气体洗涤喷嘴或继电器箱，均可提供。

p & nbsp & nbsp & nbsp 2019年8月13日，中国上海——德国普发真空宣布，从9月1日起全新HiLobe& reg 系列罗茨泵将在中国市场正式上市。相比传统罗茨泵，该产品可节省20%的抽真空时间，并将维护和能耗成本降低 50％以上，从而为真空镀膜、电子束焊接、真空炉和冷冻干燥等众多工业真空领域的用户带来更可靠、更高性价比的创新型应用。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 399px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201908/uepic/deccd72e-79b0-445c-8661-2a50f39f9b5e.jpg" title=" 图片 1.png" alt=" 图片 1.png" width=" 600" height=" 399" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 普发真空的 HiLobe& reg 系列罗茨泵设定了新的标准。图片提供：普发真空 /p p & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp 此款紧凑型罗茨泵采用了全新的驱动设计与变频器，额定抽速范围可达 520 - 2,100 m³ /h。一方面，其独特的转速控制器功能使这款泵能够满足不同客户的具体要求。另一方面，强大的驱动设计也让HiLobe& reg 罗茨泵比传统罗茨泵节省大约 20％的抽真空时间。更短的泵抽时间不仅降低了成本，还能有效提高生产设备的效率。 /p p & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp 与传统罗茨泵相比，HiLobe& reg 罗茨泵能将维护和能耗成本降低 50％以上。这要得益于能效等级为 IE4 的驱动器、精密的密封设计和泵的特殊转子形状。此款罗茨泵最大整体泄漏率为 1 · 10-6 Pa m³ /s，极好的密封性使其不再需要动态密封，仅需每四年维护一次，从而降低维护成本。近气口腔中的创新密封设计，使其在大多数应用中不再需要使用密封气体, 这也降低了运营成本。 由于HiLobe& reg 罗茨泵即使在40° C 以上的高温环境下也可以灵活使用空气冷却，所以无需进行水冷却。 /p p & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp 另外，控制和通信是提高设备可用性的关键因素。HiLobe& reg 罗茨泵的智能接口技术可以非常好地适应和监控工艺，因此可以提高工作的前瞻性和效率。通过集成“状态监控（Condition Monitoring）”，用户能够实时获得有关真空系统状态的信息，从而做到合理并有预见性地规划维护措施，有效避免设备报废随之带来的高昂成本，在提高设备可靠性和操作安全性的同时延长产品寿命。此外，HiLobe& reg 罗茨泵可以垂直或水平安装，做到最大限度地提高泵送速度，并且更实际、更有效地利用生产空间。 /p p & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp HiLobe& reg 罗茨泵是普发真空研发历程中一座重要的里程碑。早在2004年，要开发一种全新高性能罗茨泵的想法就已经在研发者的脑海中诞生。经过多年细致研发和实验，HiLobe& reg 开发项目于2016年获得原型批准，进行可重复的耐久性测试，并在2017年被批准试行批量生产，生产基地得以建成。2019年4月，HiLobe & reg 罗茨泵作为普发真空解决方案中的最新成果亮相于德国汉诺威工业展（ComVac），并向全世界进行了展示。 /p p & nbsp & nbsp & nbsp strong & nbsp 关于普发真空 /strong /p p & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp 普发真空（Pfeiffer Vacuum）作为全球领先的真空技术解决方案的供应商之一。我们不仅拥有全系列的混合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵, 同时还拥有各种旋片泵，多级罗茨泵，罗茨泵，气体检漏仪，真空计，气体质谱仪等产品以及真空管件、腔体、泵组和高度定制化的真空系统。 从普发1958年发明涡轮分子泵至今, 我们在全球分析仪器、科研、真空镀膜、半导体和尖端工业领域，始终代表着创新的解决方案、高品质、稳定可靠的产品和一流的服务。公司自1890年创立至今百余年，现有3000余名员工，20多家分公司遍布全球，并且在德国、法国、罗马尼亚、韩国、美国等地设有生产制造基地。 /p

双级直联旋片式真空泵（旋片泵）是真空应用领域中常用的真空获得设备之一，广泛用于需要获得高、低真空环境的场合，旋片泵可单独使用，也可作为扩散泵、罗茨泵、分子泵等高真空获得泵的前级泵配套使用。中科科仪RV系列旋片泵具有极限真空度高、震动噪音小、外型美观大方等优点，内置快关型防返油止逆阀系统、压力油循环系统、油泵增压系统、前级保压系统等多种独特结构及关键核心技术，产品整体性能优异、质量稳定可靠。全系列旋片泵产品共计7种型号，抽速涵盖2 L/S到24 L/S，能够满足真空行业的绝大多数应用场景。经过多年产品技术研究，可根据客户工况进行产品的特殊化定制。下面就跟着小编一起了解一下RV系列旋片泵的产品特点、技术亮点、行业应用以及主要技术参数吧。1、产品特点极限真空度高、抽气速率稳定。泵体温度低，温升小。震动噪音小。维修保养简便。 2、技术亮点快关型防返油系统，降低泵停机后泵油对真空系统的污染。保压性能优异且稳定，保护前级分子泵免受高大气压力瞬间冲击。低泵体泄漏率，带负载能力强、抽气效率快。独特的油润滑系统及压力油调节系统，泵体温升小、运行噪音小。3、行业应用RV系列双级旋片泵广泛应用于材料制备、表面工程、能源科技、分析仪器、生物医药、电子工业等领域，可根据实际工况环境提供产品定制化方案。 4、主要技术参数如您有任何疑问和需求，可通过以下方式联系我们，我们会在第一时间给您满意答复。北京销售公司：18611455301西安销售公司：18611455311深圳销售公司：18611455320苏州科仪：18611455317关于中科科仪中科科仪始建于1958年，是中国电子光学和真空技术领域领军企业，曾研制出我国第一台扫描电子显微镜、第一台涡轮分子泵和第一台商用氦质谱检漏仪。近年来，成功研制出国内首台场发射枪扫描电子显微镜、首台磁悬浮分子泵，均达到国际一流水平。2008年被评为国家级高新技术企业，2014年被评为国家级企业技术中心，2021年获评国家级“专精特新”小巨人企业称号，并获重点支持。中科科仪产品广泛应用于科学研究、航空航天、半导体、汽车工业、新能源、新材料、节能环保等前沿科学研究和高端装备制造领域。

WELCHLAB APPLICATION某客户致力于材料表面处理和真空薄膜仪器的研发，在竞争方面，直接对标国外知名产品。有别于其他同类产品的国产厂家，该客户产品定位高端，在国内市场有较好的口碑，其对配套的旋片真空泵（油泵）要求，无论是在真空度、噪音、外观、售后服务等，还是在品牌知名度方面，都有非常高的要求，为保证离子镀膜仪真空度的稳定性和工作效率，已标配选用了某原装进口品牌的旋片泵，且销售了数年时间，但此品牌的旋片泵价格高昂，货期不稳定，售后服务有着很大的提升空间。此时，我们针对性的向该客户介绍了Welch品牌CRVpro2旋片真空泵。CRVpro2外观设计美观，真空度高，泵体小巧，运行非常安静，泵体内部做PTFE防腐处理，能够明显提高其使用寿命，完全适合配套客户的离子镀膜仪设备。且因CRVpro2旋片真空泵性价比高，售后服务完善，能瞬间提升客户产品的受关注度和整体竞争力。当然，对于临阵换将，任何人都会有所犹豫，为打消客户疑虑，我们及时提供了一台全新的 CRVpro2旋片真空泵，进行现场测试。CRVpro2的安装非常简单，加注真空油、安装转接头、连接不锈钢波纹管，一气呵成。开机运行！在寂静的实验室里，CRVpro2安静的运行着。时间一秒一秒得飞逝，镀膜仪操作面板上的真空度数值飞速变化，结果仅仅用了不到3分钟，就达到了镀膜仪恒定工作压力以下，即1-2Pa。同时，由于Welch研发工程师对CRVpro2的排气端进行了优化设计，其排气口几乎无油雾排出，非常有利于实验室环境，该公司的测试人员对此结果非常满意。随即，设备配套顺理成章，双方打开双赢的合作局面̷̷CRVpro实验室旋片真空泵的优点：　　1、泵体运行温度低，能有效减低泵被化学腐蚀风险。　　2、油箱和泵体都有抗化学腐蚀涂层，能够保护泵不被化学物质侵蚀。　　3、油箱容量大，能够稀释吸入真空油里的化学物质，降低了化学腐蚀的风险和油被污染的程度。　　4、低噪音：运行特别安静，不干扰工作。　　5、自润滑功能：确保所有运动部件浸润在新鲜的油里，平衡温度，减少油染，延长机械寿命。　　6、防倒吸阀：防止在停机时油被倒吸进真空容器　　7、气压载阀：减少化学蒸汽被夹带进入泵油；保护泵不被可凝性流体如水，乙酰腈等的影响。　　8、cUL和CE认证：具有各国的安全认证，满足官方的3安全标准。　　9、满足各种应用的外形尺寸：现代和紧凑的外形设计，满足各种应用场合的要求。　　10、双电压电机：IP44 电机，可在115V 和240V之间切换，并可配置各种相应的电源插头，使CRVpro可使用。CRVpro实验室旋片真空泵的应用： 1、双排管 2、冷冻干燥 3、真空浓缩 4、采暖通风、空调 5、真空干燥箱 6、手套箱 7、质谱仪 8、工业应用关于威伊（Welch）威伊真空设备（上海）有限公司WELCH是提供优质耐用真空泵产品的专家。我们的丰富产品线涵盖了实验室和工业用真空泵，包括真空活塞泵，真空隔膜泵，真空旋片泵，螺旋泵，涡轮分子泵，液体输送泵等，还有各种真空测量仪，真空控制器，真空蒸馏装置，真空浓缩设备，真空抽吸设备等。关于英格索兰英格索兰（纽交所代码：IR），以企业家精神和主人翁意识为动力，致力于创造美好生活。我们通过旗下备受赞誉的40余个品牌，在工业、能源、医疗和特种多功能车领域提供关键和创新的产品与服务，涵盖空气压缩机、泵、鼓风机，以及流体管理、装载、动力工具和物料吊装系统以及知名的Club Car品牌多功能车。在极其复杂和严苛的工况下，亦能确保优越的性能。我们在世界各地的16,000多名员工将持之以恒地为客户提供可靠的专业知识，帮助客户提高生产力并提升效率，与客户建立终身连接。

p & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp strong 2020年3月20日，上海 /strong ——今天，普发真空正式发布了新系列无油密封涡旋真空泵HiScroll。HiScroll新系列涡旋泵抽速范围为6 m³ /h至 20 m³ /h，在效率上有较大提升。同时，该系列具备设计紧凑、及低振动静音运行的突出优势，是普发真空最新开发成果的体现。 /p p & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp HiScroll系列是分析仪器、生物医学、制药行业和科研院所等诸多行业中的理想选择。得益于其双级气镇阀设计，HiScroll系列涡旋真空泵具有高蒸汽耐受性，能够避免真空泵内形成冷凝，因此不仅适用于质谱分析、电子显微镜、表面分析以及加速器和实验室等常规应用范围，还能满足半导体技术、真空镀膜和气体回收等多方面应用的需求。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/5ce27f22-5cee-40b1-a888-01c600705e81.jpg" title=" 7932d2b27bd90e3d63a523aef654db1ff5f7affdf3a4d39c1f6203cf8077f14cb81b73b24ac53af4bd46ca178542f979cb974c2c8d0d8a2d8ec69ddbe7ba3034.jpeg" alt=" 7932d2b27bd90e3d63a523aef654db1ff5f7affdf3a4d39c1f6203cf8077f14cb81b73b24ac53af4bd46ca178542f979cb974c2c8d0d8a2d8ec69ddbe7ba3034.jpeg" / /p p style=" text-align: center " 普发真空新款HiScroll 系列无油密封涡旋真空泵& nbsp /p p & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp HiScroll 系列的主动温控系统能在不同的运行环境下对泵的温度进行最优化的冷却；同时其振动频率较低，在工作模式下声音小于46 dB[A]，待机模式下小于42 dB[A]，确保能将整体的噪音水平降到最低。 /p p & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp 普发真空分析仪器行业全球市场负责人 Jü rgen Keller 表示：“相较于其他同级别产品，HiScroll新系列涡旋泵能将噪音降低到最低水平，为此我们感到非常自豪。该系列干泵还可通过 RS-485 或 ProfiNet 接口进行通讯，与普发真空的其他产品相连极为简便，可以直接连接涡轮分子泵、或使用上级控制器来运行。此外，普发真空一直致力于推动可持续的解决方案，此次新型涡轮泵的电机设计也能在一定程度上减少碳足迹，帮助缓解环境负担。” /p p & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp 在耐用性方面，HiScroll系列有极其优异的表现。该系列配备的智能界面可自定义压力范围或转速控制模式，使产品最大程度地配合应用，最大程度减少泵的磨损，从而延长维护周期。经过重重验证的普发真空产品，搭配高品质、经久耐用的零部件，能够确保更为长久的产品使用寿命、更低的运营成本以及最小限度的环境污染。不仅如此，HiScroll新系列无油密封涡旋真空泵维护极为方便，能有效缩短维修服务时间，实现极高可靠性。内置的安全阀和泵的自动控制运行模式亦可确保使用安全。 /p p & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp HiScroll新系列涡旋泵具有强大的高性能电机，与传统装置相比，效率提升最高可达15%。这意味着该产品在较低温度下即能够发挥最高性能，从而简化系统和设备冷却的过程。& nbsp /p p style=" text-align: center " img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/5e51b99c-b5be-4621-ab3b-618e8ebd7fac.jpg" title=" 30d235816deaf602d013f47be797d6904e449d5dd966402a01933279279916df2eb159c04793055224cb228fda3d948e86751ab5b611c93a4fde1c4522ed9d9f.png" alt=" 30d235816deaf602d013f47be797d6904e449d5dd966402a01933279279916df2eb159c04793055224cb228fda3d948e86751ab5b611c93a4fde1c4522ed9d9f.png" / /p p style=" text-align: center " 普发真空HiScroll系列真空泵系统的涡旋线 /p

安捷伦科技公司隆重推出可独立调节四台泵的新型离子泵控制器 2011 年9 月20 日，北京— 安捷伦科技公司（纽约证交所：A）隆重推出4UHV 离子泵控制器，本产品的灵活设计使其能够为最多4 台离子泵供电，并对各泵进行控制和独立监测，每个泵的抽速范围可达20 到500 升/秒。 安捷伦真空产品部副总裁兼总经理Giampaolo Levi 表示：“该控制器采用低电路噪音设计，原始设备制造商们无需针对重要应用使用静噪滤波器，可大幅节省成本。此外，我们新推出的这款控制器还与用于涡轮分子泵和前级泵的其他控制器共享通信协议，因此客户无需再进行繁琐的工程设置”。 安捷伦为各种工业和科研应用提供了全系列真空泵及真空系统，包括旋片泵、干式涡旋泵、扩散泵、涡轮分子泵、离子泵及涡轮分子泵机组，可建立从大气压降至10-12 mbar 的真空度。 4UHV 是安捷伦VacIon Plus 产品系列的最新成员，该系列包括完备的离子泵、控制器、各种选件和附件，专门用于建立超高真空(UHV)。应用领域包括高能物理、研发以及纳米技术（特别应用于扫描电子显微镜）。 要了解更多信息，请访问www.chem.agilent.com/en-US/Products/Instruments/vacuum/pumps。 关于安捷伦科技 安捷伦科技公司（纽约证交所：A）是全球领先的测量公司，同时也是通信、电子、生命科学和化学分析领域的技术领导者。公司的18500 名员工为100 多个国家的客户提供服务。在2010 财政年度，安捷伦的业务净收入为54 亿美元。要了解安捷伦科技的信息，请访问：www.agilent.com.cn。 编者注：更多有关安捷伦科技公司的技术、企业社会责任和行政新闻，请访问安捷伦新闻网站www.agilent.com/go/news。

7700高性能双腔双泵单四极杆气质联用仪采用离子源和四极杆质量分析器独立排气的双涡轮分子泵设计，离子源和四极杆质量分析器分别处于两个独立真空腔室，形成高效的真空系统。此优化设计能够保证质谱的高真空度，降低离子源污染，减少离子源的维护频率；在开机半小时内即可进行样品分析，提高仪器的稳定性。7700具有以下优势：①高真空保证：离子源和四极杆双腔双分子泵设计，90L/s+90L/s进口高性能双涡轮分子泵，为质谱提供极好的真空环境；允许色谱柱流量上限10ml/min，可以安装内径为0.53mm的宽口径毛细管柱，实现大体积进样等高要求的分析；②超高灵敏度：气相色谱进样，10fg/μl八氟萘信噪比良好；③长效高能电子倍增器：采用非连续离散打拿极电子倍增器，超大倍增面积，是通道型电子倍增器寿命的3倍以上，低噪声，超高灵敏度；④宽温射频电源能更好的适应各种实验室环境，提供更好的稳定性；⑤带预四极的四极杆质量分析器，减少对四极杆污染，优化离子源与四极杆过渡电场，预四极上的电压随分析器电压进行同步扫描，能够将离子信号集中聚焦到四极杆场的中心；⑥高温惰性陶瓷离子源：高效电离、减少污染，配备两根长寿命惰性材料制成的灯丝，提供双倍的使用时间，离子源陶瓷设计，所有透镜温度稳定，清洗离子源方便；⑦质谱检测动态范围大于6个数量级。 7700气质联用仪参数气质接口质谱独立控温，不占用色谱资源，温度范围50℃-350℃，精度0.1℃离子源高温惰性陶瓷离子源，双灯丝，长寿命，由惰性材料制成离子化能量10eV-100eV可调离子源温度精确控温±0.1℃，50℃-350℃质量分析器表面钝化，高精度全金属四极杆，预四极与主四极杆一体化装配,热稳定性良好，无需加热即可保证质量数高度稳定和重现性前级真空泵机械泵，抽速4.0m3/h后级真空泵高性能双涡轮分子泵，90L/s+90L/s，采用离子源和四极杆质量分析器独立排气的双涡轮分子泵设计，为质谱提供极好的真空环境；允许色谱柱流量上限10ml/min检测器采用13极非连续离散打拿极电子倍增器，超大倍增面积，是通道型电子倍增器寿命的3倍以上，低噪声，超高灵敏度质量数范围1.5-1250amu质量精度±0.1amu质量稳定性±0.1amu/48h分辨率单位质量分辨率信噪比GC进样1pg八氟萘m/z272信噪比≥1500:1（RMS） IDL宽温度范围射频电源扫描速度10000amu/s，全程可调控制方式网口控制气相色谱参数进样口类型毛细管柱带EPC，分流/不分流进样口，分流比1000:1，压力设定0~100psi柱箱温度室温以上4℃~450℃；设定值分辨率1℃；室温每变化1℃，柱温变化0.01℃升温阶梯6阶梯，7平台，可梯度降温。升温速率120℃/min；可运行时间999.99min；降温速率450℃~50℃，4min压力精度0.01psi创新点：7700高性能双腔双泵单四极杆气质联用仪采用离子源和四极杆独立排气的双涡轮分子泵设计，离子源和四极杆质量分析器分别处于两个独立真空腔室，形成高效的真空系统。双腔体双涡轮分子泵设计能够保证质谱的高真空度，降低离子源污染，减少四级杆和电子倍增器污染，延长灯丝和电子倍增器使用寿命，降低背景噪声，提高仪器的灵敏度和稳定性。优化设计使7700具备10fg检出限，峰面积重复性优于1%RSD，国内一流，国际领先。 安益谱7700气相色谱质谱联用仪

p 　　 strong 仪器信息网 /strong 2020年4月17号，上海——近日，普发真空推出全新单级油封式旋片泵Hena 50 和 Hena 70。这两款泵专为质谱仪系统的高要求而设计，根据尺寸和转速的变化，抽速在 32 m³ /h和 59 m³ /h 之间，其集成的油雾分离器可确保排气清洁。泵本身同时配备变频器，能够在全球范围内以单相输入和相同的50和60 Hz额定功率使用。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202004/uepic/63eb4489-ba8f-4181-97e9-95e712987da1.jpg" title=" 图片 1.png" alt=" 图片 1.png" / /p p /p p style=" text-align: center " 图片说明：Hena 普发真空旋片泵 /p p 　　Hena系列真空泵性能高且极为可靠，这源自于其在目标压力范围内的恒定的高流量、可调节抽速和低末端真空度。另外，泵中的高油量及低油温的运行方式也确保了较长的维护间隔和运行时间。 /p p 　　凭借自身出色的牢固性和可靠性，Hena 50 和 Hena 70 可以提高整体可利用性。同时，由于它们较低的噪声水平和高效的油分离器，也能轻松进行集成。Hena 50 和 Hena 70 已通过 UL（美国保险商试验所） & nbsp 和 IEC（国际电工委员会） 61010 认证，多个世界化标准组织的认可表明了普发真空Hena 50和Hena 70单级油封式旋片泵的安全与可靠，是各类实验室的理想之选。 /p

仪器信息网讯 2021年4月22日，中国科学仪器行业 “达沃斯论坛”第十五届中国科学仪器发展年会（ACCSI2021）在无锡盛大开幕，吸引了1400位各界代表参会。普兰德（上海）贸易有限公司作为知名科学仪器企业参加本次年会。在同期举办的“2020年度仪器及检测3i奖颁奖盛典”上，普兰德旗下VACUUBRAND品牌最新推出的VACUUPURE 10C实验室螺杆泵荣获 “2020科学仪器行业绿色仪器”称号，受到场内外用户的广泛关注。会议期间，仪器信息网采访了普兰德（上海）贸易有限公司产品经理张婉思，就普兰德实验室真空产品的技术发展及市场推广等方面进行了深入交流。颁奖嘉宾（左）：中国电子节能技术协会副理事长王锦兵、获奖代表（右）：普兰德（上海）贸易有限公司产品经理张婉思仪器信息网：普兰德近两年来在实验室真空领域主要力推哪些系列的产品？有哪些新产品或新的解决方案推出？张婉思：普兰德上海是德国BRAND集团在中国的子公司，其在实验室真空领域的产品线品牌为VACUUBRAND，主推的产品系列主要有四大类，分别是耐腐蚀化学隔膜泵系列、旋片泵和杂交泵系列、无油螺杆泵系列以及真空表和真空控制器系列。除此之外，我们还提供实验室局域真空网方案、真空吸液系统以及相关的零配件等。VACUUBRAND致力于做实验室真空科技的创新先锋。据我所知，上世纪80年代，VACUUBRAND首家在市场上推出化学耐腐蚀隔膜泵，而到了90年代，VACUUBRAND也是第一家在市场上推出化学真空系统和变频泵产品的企业。自我16年加入普兰德至今，亲自见证了VACUUBRAND最近的两次技术革新，一次是2018年全新升级的SELECT真空控制器系列，新的控制器在用户友好度方面做了全新升级，个性化应用的创建，数据存储、系统集成和远程控制都更加智能化，操作更便捷，更加贴合年轻科研工作者的操作习惯。另一次就是2020年底推出的VACUUPURE 10C无油螺杆泵，这款产品在实验室真空领域可以称得上是独一无二，也就是本次绿色仪器的获奖产品。VACUUPURE 10C 无油螺杆泵仪器信息网：此次获奖的新产品VACUUPURE 10C实验室螺杆泵的主要特色有哪些？主要针对哪些具体应用？其绿色节能之处主要体现在哪里？张婉思：VACUUPURE 10C的设计主旨是“Pure Vacuum nothing else”，它的特色非常鲜明，主要包括以下四点：首先是秉承VACUUBRAND产品的一贯优势，即耐化学腐蚀；其次是压力更低，从常压到10-3mbar的粗真空和中真空范围内，均可连续运行；第三是其独特的磁性驱动方式结合悬臂式螺杆设计塑造了它100%无油和无磨损和运行方式；第四是无磨损运行的原理使其内部没有易损件。VACUUBRAND经典隔膜泵产品是在实验室粗真空领域替代水泵解决客户的痛点问题，而这款新产品则是在实验室中真空领域解决客户使用油泵或其他类型机械泵所遇到的困扰。它的应用领域非常广泛，比如化学应用方向的减压反应过程、减压蒸馏提纯浓缩过程、真空干燥等；物理材料方向的真空镀膜、掺杂沉积过程；质谱电镜等精密分析仪器高真空系统的前级泵；生物方向的冷冻干燥等。VACUUPURE 10C的绿色节能主要体现在这几个方面：首先是100%干式无油，运行过程中不需要消耗任何介质，因此也不会产生或排放废弃介质，直接降低用户在废弃物方面的能耗。其次是它的无摩擦运行，相对于目前实验室中真空领域的油泵技术，它不会因为倒吸或返油等污染用户的实验过程，而相对于罗茨泵、涡轮泵等机械泵，它没有摩擦，不会产生颗粒性污染物影响实验过程和结果，因此可以使用户的实验过程和结果更加洁净，提高实验成功率和产品纯度，相应地节省了失败实验过程中对于试剂、耗材等能源的消耗。另一点则是这款泵独特的设计原理和再生模式，使它对化学蒸汽的耐受性很强，可以长时间无磨损运行，因此可以提供长期稳定高效的工作压力，有效地缩短用户单次实验的时间，提高实验的重复率，大量节省了用户的时间和精力。最后，正如以上所说，这款泵无油，不需要像油泵一样经常换油，且没有任何易损件，可以长时间稳定运行，大大降低了维护频率，且依据VACUUBRAND一贯以来对品质和质量的严格追求，这款产品的使用周期预计会比较久，我们经常看到客户实验室堆砌着很多用坏的油泵，从对损耗设备更换的时间和精力，以及用户实验室空间的占据这点来看，这也是它节能的一个体现。VACUUPURE 10C 无油螺杆泵仪器信息网：请问VACUUPURE 10C螺杆泵发布之后的市场反应如何？有哪些重要的用户反馈？张婉思：市场反馈非常好，这款产品从2020年11月发布至今收到了很多来自用户的试用申请，目前公司的投放样机处于不够用的状态。这款泵能够切实解决客户实际使用中的一些痛点 ，尤其是在耐腐蚀和洁净无油方面的评价特别高。譬如，我们有一位做减压蒸馏实验的用户，由于实验过程中涉及酸性介质，基本上两天就会用坏一台油泵，这款泵解决了客户实验过程中多年来存在的困扰，因此客户对于其耐化学腐蚀这点的评价非常高。另一位用户是做生物疫苗方面的，主要用这款泵搭配中试型冻干机，由于其工作区域属于洁净区，对油泵产生的油污非常介意，因此他在试用这款产品时对干式无油及洁净度方面的评价很高。 最后，张婉思提到，在国家政策（比如碳中和等）的驱动引领下，仪器行业正朝着更加环保节能的方向发展，而用户对于设备的操作便捷性、智能性和环保的要求也越来越高，VACUUBRAND在实验室真空领域也会不断地关注市场变化，希望给用户带来更好的实验室真空解决方案。从左到右分别为：曹阳（普兰德销售经理，负责苏南地区销售），王兴龙（普兰德销售经理，负责南区大区销售），张婉思（普兰德产品经理），许晶晶（普兰德市场经理）

安捷伦科技发布新版真空产品目录 2011 年8 月9 日，北京&mdash &mdash 安捷伦科技公司（纽约证交所：A）发布了其新版真空产品目录。该目录共520页，涵盖了3850种产品和附件，还包括应用简报和技术说明。 安捷伦真空产品部（前瓦里安公司的一部分）主要为从事研发的客户、粒子加速器、质谱等科研仪器，以及纳米技术和工业真空处理提供真空系统。产品包括前级真空泵（旋片、高性能旋片和干式涡旋泵）、高真空泵（扩散泵、涡轮分子泵）、超高真空泵（离子/钛升华复合泵）、一体式真空泵机组、真空测量和控制仪器以及检漏仪。 安捷伦科技副总裁真空产品事业部总经理Giampaolo Levi 表示：&ldquo 这本目录包含了安捷伦50多年来最丰富的真空产品。我们相信凭借这一不可或缺的工具，科研和工业客户将能够量身定制完全满足自己需要的真空系统。 本目录以印刷品和光碟两种形式免费提供，您也可以从安捷伦网站免费下载。 关于安捷伦科技 安捷伦科技公司（纽约证交所：A）是全球领先的测量公司，同时也是通信、电子、生命科学和化学分析领域的技术领导者。公司的18500 名员工为100 多个国家的客户提供服务。在2010 财政年度，安捷伦的业务净收入为54 亿美元。要了解安捷伦科技的信息，请访问：www.agilent.com.cn。

p & nbsp & nbsp AnalyticaChina2020进入到第二天，笔者也开始在展馆里“走马观花”。作为一个以分析和生化为主题的博览会，却也能在这里发现不少环境监测相关的仪器厂商，且不乏一些涉及当前环境监测热点的产品。譬如由北京博赛德科技有限公司（以下简称：博赛德）和INFICON（英福康）与去年年底合作推出的VOC走航监测产品。 /p p & nbsp & nbsp 据笔者了解，当下，国家相关政府机构对于VOC走航监测已给予了不少政策上的肯定和支持。这也导致目前国内不少仪器厂商已经在相关走航产品方面开始布局，只不过大家所走的技术路线有所不同。博赛德此次展出的走航产品的核心技术是与其多年的合作伙伴——INFICON（英福康）联合研发的一款多功能便携式四极杆气质联用仪——HAPLINE，这与目前大多数实验室VOC分析所采用的质谱技术是一致的，并且也完全符合即将正式发布的《环境空气 挥发性有机物的测定 便携式气相色谱-质谱法》这一国家环境保护标准。 br/ /p p style=" text-align: center" img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/df695ad3-6da6-42db-aa0d-7c2588c20e95.jpg" title=" DSC03478_meitu_1.jpg" alt=" DSC03478_meitu_1.jpg" / /p p style=" text-align: center " strong HAPLINE 便携式GC-MS /strong /p p & nbsp & nbsp 相关资料显示，这款便携式气质的最大特点是具有双重工作模式，即单质谱Survey走测模式和GCMS全分析模式。前者用于快速查找污染源范围，后者则可以对划定的污染源范围进行定量分析。也就是说，这个产品基于精典的四极杆技术，同时实现了走航监测和定点监测。 br/ /p p & nbsp & nbsp 而之所以能够做到这一点，据博赛德公司的资深人士透露，这要得益于INFICON（英福康）在真空技术方面的深厚底蕴。在单四极杆质谱模式下，如何能够保证其真空度不受损失是第一个要解决的问题；第二，一旦真空度下降，要能够让其尽快恢复。为了解决上述问题，在HAPLINE这款产品里，没有采用传统的分子涡轮泵，而是采用了一种称之为离子泵的非机械泵。 br/ /p p & nbsp & nbsp 不可否认，当前的VOC走航监测技术市场正在呈现出一种“百家争鸣”的态势。不过，对于笔者而言，感触更深的则是真空技术对于科学仪器的重要性。真空技术看似不太起眼，但真空环境却是众多科学研究、工业制造的基础性条件，从智能手机屏幕镀膜、芯片制造，再到精密仪器检测，都离不开真空技术。难怪曾有专家就表示，尖端真空技术也可以看作是一国科技和产业实力的象征。 /p p style=" text-align: center" img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/2d9c845d-9792-4dd8-8c6e-c7fa8ce8d9e7.jpg" title=" DSC03482_meitu_2.jpg" alt=" DSC03482_meitu_2.jpg" / /p p style=" text-align: center " strong INFICON-博赛德联合展台 /strong /p

2021 年 3 月17日，上海——为期3天的全球半导体年度盛会SEMICON China 2021在上海隆重开幕，作为全球真空技术和泄漏检测解决方案的供应商之一，普发真空在展会上亮相了其在半导体以及其他先进制造业和科研领域的整体解决方案。 半导体器件的生产离不开洁净的真空环境。普发真空在展会现场展示了其明星产品，包括ASM 392检漏仪、A 3004多级罗茨泵、A 200L多级罗茨泵以及HiPace 2300涡轮分子泵，与全球半导体领域的友商及媒体朋友们深度交流，共同探讨普发真空如何在中国助力未来半导体行业发展。普发真空展台 普发真空总经理Julien Valentin表示：“尽管受到新冠疫情的影响，中国的半导体行业仍呈现出逆势增长趋势。中国市场位列普发真空增长战略支柱之一，成为促进我们全球业务发展的强劲动力。未来，我们将继续因地制宜，持续深耕中国市场，更好地服务本土客户，推动中国第三代半导体产业腾飞。” 节能高效灵敏，满足严苛的半导体制造应用 半导体和平板显示器行业对于真空生产环境要求极为严苛，这些应用要求真空仪器具备快速的抽空时间和高灵敏度。 普发真空的ASM 392检漏仪无与伦比的灵敏度和精确度恰好能够满足这一需求。除了检漏仪都会配备的干式非接触式前级真空泵和高真空涡轮分子泵之外，它装有一台额外的涡轮分子泵，能缩短泄漏检测时间，同时不会在尺寸和可操作性方面有任何妥协，人机工学设计独特，可操作性强，可用于各种测试场地，即使狭小的空间也应对自如，这都使其成为清洁环境下各种组件泄漏测试的理想工具。 对于半导体晶圆、显示屏及太阳能电池等严苛型应用，普发真空展示了A 3004多级罗茨泵。它的抽速高达3,000 m3/h，工艺寿命延长，能耗降低，是市场上运营维护成本最低的产品之一。除此以外，该系列泵还配备了一个扩展的温度管理，扩大了工作温度范围，提高了工艺可靠性。 高能效A 3004多级罗茨泵，抽速可达3000m3/h。 作为能适应高吞吐量应用和频繁抽空循环的全新 200 m3/h 级别产品，A 200L多级罗茨泵更是展示出了普发真空在集成干式泵市场中的全球领导地位。A 100 L 泵对于半导体行业生产设施的泵集成有革命性的意义——这种泵以干式多级罗茨泵技术为基础，尽管尺寸小，却依然具有高抽速和短抽空时间。如今，普发真空A 200系列在全世界范围内众多 300 mm 半导体晶圆工厂都已安装。 此外，普发真空还重点展示了能够应用于侵蚀性气体环境的HiPace 2300涡轮分子泵。这款紧凑且性能卓越的涡轮分子泵具有高性价比和安装角度的灵活性，革命性的转子设计为其带来更出色的抽速，更好的前级泵兼容性和更大的气流量，对于小分子气体具有更高的压缩比。紧凑的复合轴承HiPace 2300涡轮分子泵。 普发真空高度重视半导体领域的业务发展。2019年在无锡扩建的新工厂更是增加了干泵生产、全新泄漏测试系统ATC的生产以及泵站组装等业务能力，更好服务中国本土客户需求的同时，还能够促进公司在真空镀膜、半导体等市场的战略增长。自1890年创立以来，普发真空不断树立真空技术的新标准，并通过持续开发创新成果并成功推向市场，帮助科学界与工业界从中受益。未来，普发真空期盼以创造出最先进的真空技术解决方案作为源动力，以最高标准要求自身，不断地创新，为中国客户提供更丰富的灵感和更多样的产品组合。

前记：近五年来，在政策支持下，中国电镜产业化发展之路上多点开花，电镜、电镜功能附件装置与设备、电镜制样等方面不断有新的产业化技术涌现。其中不仅包含扫描透射电镜、场发射扫描电镜、聚焦离子束显微镜、透射电镜原位研究系统等重要技术的商品化，也不乏场发射枪、高压电源、光阑等电镜关键部件的攻克。在中国电镜技术产业化呈现百花齐放、国家对电镜设备产业化问题高度重视背景下，仪器信息网也别策划电镜技术系列征稿活动，共同探讨中国电镜产业技术、市场的机遇与挑战。相关投稿将整理至对应专题展示，并在仪器信息网相关渠道推广，欢迎大家投稿，电镜技术、市场相关均可（投稿邮箱：yanglz@instrument.com.cn，关于征稿内容要求也可邮件咨询或电话联系：15311451191，同微信）。本期主题为“电镜核心部件技术”，对应专题如下（点击图片进入专题），相关约稿将陆续上线，欢迎关注。以下为安捷伦科技（中国）有限公司真空事业部供稿，安捷伦科技（中国）有限公司真空部门的前身——创建于1948年的瓦里安（Varian）在1957年发明了第一台溅射离子泵（SIP），大大拓展了当时的技术所能达到的真空度，使超高真空成为可能，因此安捷伦对于真空技术有着丰富的经验和深刻的理解。安捷伦为了满足电子显微镜系统高真空、低电磁噪声和低振动的要求，基于Varian Vacuum 产品的基础，开发了一系列的真空系统。以下，安捷伦分享了对真空技术的看法及面向电子显微镜领域的真空系统整体解决方案。--------------------电子显微镜的真空系统介绍供稿：安捷伦科技（中国）有限公司真空事业部1.引言在上个世纪二三十年代，为了看到有机细胞（细胞核、线粒体等）内部的细微结构（无论是透射电子显微镜还是扫描电子显微镜，都是靠电子束照射样品来获取图像，其主要部分包含电子源（电子枪）、电子透镜、扫描线圈、检测器等，这些部件通常自上而下地装在一个高真空的腔室（镜筒）内。图1 电子显微镜的系统结构电子枪（也被称为电子源）：一般位于镜筒的顶部，它能发射电子并形成速度均匀的电子束。电子束向下通过电子透镜来聚焦。电子透镜：电子显微镜镜筒中最重要的部件之一，它用一个对称于镜筒轴线的空间电场或磁场使电子轨迹向轴线偏转以形成聚焦，其作用与玻璃凸透镜使光束聚焦的作用相似，所以称为电子透镜。现代电子显微镜大多采用电磁透镜，由很稳定的直流励磁电流通过带极靴的线圈产生的强磁场使电子聚焦。扫描线圈：控制和微调光束位置的电磁线圈。检测器：聚焦的电子束照射样品台上的样品并产生信号，这些信号被检测器检测到，然后被转换成图像。3.真空对于电子显微镜的重要性真空对电子显微镜有非常重要的作用。电子显微镜工作时，整个电子束路径与待分析的样品一起都会置于高真空的环境，如果真空度不够高，电子枪的栅极与阳极间可能会产生极间放电进而烧断灯丝，电子束与残留空气粒子发生碰撞还会导致散射，这种散射会导致电子束中的电子无法到达样品，或者分析失真。4.电子显微镜对真空的要求为了使电子束中的电子尽量不受阻碍地移动，电子显微镜的真空度通常需要达到1E-7mbar量级的高真空，甚至1E-10mbar量级的超高真空；除了真空度，真空泵工作时的振动水平也非常关键。由于电子束的截面小，在样品上的定位精度很高，只有处于振动水平极低的环境中，才能保持这种精度；另外，为了避免油蒸汽污染样品或显微镜内部元件，最好采用无油干式的真空泵。5.典型的真空系统配置下图是一个扫描电子显微镜系统的示例。左侧从上往下分别是装有电子枪和电子透镜的镜筒和放置样品的样品腔，样品腔的右边是一个进出样室（LoadLock）。待分析的样品被放置于进出样室内，进出样室被抽到一定的真空度后再把样品转移到样品腔中进行分析。有进出样室的电子显微镜可以将样品腔一直维持在高真空，从而缩短每次检测的准备时间，提高样品吞吐量，降低单次检测成本。图2 典型的真空系统配置该扫描电子显微镜的镜筒上配置有两台离子泵（IonPump），在样品腔和进出样室还配置了两套分子泵（TurboPump）机组和多个阀门（Valve），并配置了多个真空计以检测不同位置的真空度。6.安捷伦真空：提供适合电子显微镜的全套真空产品安捷伦真空部门的前身、创建于1948年的瓦里安（Varian）在1957年发明了第一台溅射离子泵（SIP）。离子泵的发明大大拓展了当时的技术所能达到的真空度，使超高真空成为可能。安捷伦真空对聚束系统真空应用有着非常丰富的经验，为了满足电子显微镜系统高真空、低电磁噪声和低振动的要求，开发了一系列的产品。离子泵：作为离子泵的发明者，安捷伦真空可以生产多种类型的离子泵。采用专利设计的安捷伦扫描电子显微镜专用离子泵，具有更加稳定和精准的压力读数，以及更少的粒子产生，特别适合安装于电子枪处（电子枪处对温度、磁场的要求都比较高，一般的冷阴极或热阴极真空计对其正常工作会有影响，而普通的离子泵测量的压力偏差又比较大）。安捷伦真空独有的StarCell离子泵在保留较高活性气体抽速的同时，还具有相当高的惰性气体抽速，一般将其安装于镜筒的下部，与电子枪上的SEM离子泵相结合，为电子显微镜提供一个强大的高真空抽气组合。图3 安捷伦SEM专用离子泵分子泵：安捷伦TwisTorr涡轮分子泵采用独有的AFS悬浮轴承技术，工作时振动非常低，被广泛地应用在世界各地的众多电子显微镜上。一个位于日本的业界领袖，从2015年起，在其生产的电子显微镜上使用了1000多台安捷伦分子泵，泵的可靠性非常接近100%，实测的振动水平低于0.01米/秒2，噪声等级更是只有40dB(A)。图4 安捷伦TwisTorr涡轮分子泵阻尼减振器：为了进一步减小分子泵振动对电子显微镜等高灵敏度分析仪器的影响，安捷伦真空专门开发了一款阻尼减震器，该减震器可以将涡轮分子泵在满转速时的振动减小到原来的1/40左右（CF法兰）。图5 阻尼减振器除此之外，安捷伦真空可以提供各种抽速的涡旋干泵、各种类型的真空计、电磁噪声几乎为零的各种真空泵控制器等，另外，基于其在聚束系统广泛的知识和灵活的制造能力，还可以为特定系统定制特殊的离子泵，还可以为敏感的显微镜应用提供最先进的振动模拟和测试。

Peter Girguis既不是质谱学家也不是化学家。他是一名微生物的生理学家，他所感兴趣的是深海中的生物地球化学。 　　&ldquo 我们的整个生物圈都由微生物所运转。&rdquo 哈佛大学John Loeb自然科学教授Girguis表示，&ldquo 这算是一切的出发点。&rdquo 　　但是大多数的微生物并不能在实验室培养，难以进行常规的分析。Girguis想要理解这些微生物，他开始研究这些微生物对海底化学组分的影响，并将这些数据与基因表达分析相关联，希望能够理解那些微生物在做什么。 　　&ldquo 我认为，这就是为什么质谱成为最有用的工具之一，因为只要有一个分析器，你就可以检测到大量的化合物。&rdquo Girguis表示。 　　毫无疑问，质谱具有难以置信的能力。研究人员通过使用这些仪器，可以区分开只有一个化学修饰差别的蛋白和多肽。这些仪器可以扫描复杂的生物流体，并能定位出造成差异的几个分子上。它们也可以一次性检视成百上千个化合物的样品。 　　然而，进行这样的研究需要相当多的专业技能。而且所使用的仪器几乎都是实验室专用的，普渡大学Henry Bohn Hass化学教授R. Graham Cooks说，他也是推动质谱技术小型化的引路者。 　　Cooks说，台式仪器&ldquo 重达数百磅&rdquo 。它们昂贵、耗能，连接着输气管道和强力真空泵，并且经常需要前端的分离系统。而在分析的角度，它们产生了难以置信的复杂光谱，需要专业的软件进行解读。所有这些都使它很难成为潜在受益者的掌中之物，如临床医生，焚烧厂的消防队员，甚至是仓库的食品安全检查员。 　　&ldquo 质谱仪的缩小，关键是要做原位、现场的测量。&rdquo Cooks说，&ldquo 这就需要仪器足够轻便&hellip &hellip 能够随心所欲地移动。&rdquo 　　&ldquo 变小&rdquo 或&ldquo 被淘汰&rdquo 　　为了让质谱仪变得更小、更好用，研究人员授权了大规模的用户进行使用。德克萨斯州韦伯斯特的1st Detect公司总裁和首席技术官David Rafferty，将这种大众化的结果比作是个人电脑的革命。&ldquo 过去，只有大型机构、高校和公司拥有电脑，但现在随着个人电脑的出现，它可以被大量的民众所使用。可以说，我们也想在质谱仪中做同样的事情。&rdquo Rafferty说。 　　1st Detect公司雇佣了大量的航空航天工程海外专家，打算将其MMS-1000系统用于工业质量控制、食品安全检测，以及国土安全。相反，908 Devices公司则将其3.75磅的&ldquo 高压质谱仪&rdquo 聚焦于安全和保障市场上的急救人员，该公司商业发展和市场部副总裁Chris Petty说。而位于英国萨里的Microsaic系统公司则将其单四线4000 MiD定位在从事药物研发的有机化学家身上。 　　Girguis的需求则更加难以理解。他的研究需要量化在海底及海底之下的溶解气体，如甲烷、氢气和氧气。当然，这些通过在船上装一个台式质谱仪就可以做到，收集深海样品并在甲板上进行分析。然而，由于压力和温度的差异，位于海平面下1千米深的水样比海平面的水样保留的气体要多得多。&ldquo 甲烷在5℃、一个大气压下的溶解度大约是2毫摩尔。而在海底，甲烷的溶解性则要高很多。&rdquo 　　他意识到，需要一台能够在现场使用的质谱仪。作为一名&ldquo 设备发烧友&rdquo ，他决定自己造一台。 　　Girguis最初接触高压质谱技术是在加州大学圣芭芭拉分校做研究生的时候，当时他对能够在热液喷口聚居的动物及其共生物感兴趣。他开始在压力仓中进行研究。随后，作为一名博士后，他想要探索微生物对海洋中甲烷和氢气含量的影响。此时，他意识到自己需要一台特殊的仪器。然而，如何将质谱仪做到又小、又能够在水下操作呢? 　　&ldquo 真正灵感迸发的时刻来源于有些公司开始制造小型涡轮泵的时候。&rdquo 他说。(其中一家公司&mdash &mdash Alcatel Vacuum公司，随后被另一家Pfeiffer Vacuum德国公司收购。) 　　为了制造质谱仪，他与一位机械工程师联手，将一台斯坦福研究系统公司的商业化四极质谱分析器、一台Pfeiffer公司的HiPace80涡轮泵，和一台定制的气体抽取机一起装配到一个25厘米宽，90厘米长的柱形容器中。结果就是&ldquo 原位质谱仪(in situ mass spectrometer，ISMS)&rdquo ，这台重约25千克的装配物类似于一个经过钛包裹的水箱，他说道。 　　抽取机是核心部件，Girguis说。本质上，金属熔块在高真空环境下为一个10微米厚的特富龙膜提供结构支持，这个结构在450个大气压力下，对质谱进样的水分进行抽气处理。得到的水汽被压入仪器中，被电离装置离子化并进行质谱分析，这就类似于一种没有气相质谱的气相色谱耦合质谱仪。 　　原位质谱仪已经造访了一些令人羡慕的场所。通过将它搭载在遥控潜器或载人深潜器(像伍兹霍尔海洋研究所的&ldquo 阿尔文&rdquo 号)，这种质谱仪已经游览了墨西哥湾，华盛顿州、亚述尔群岛(在北大西洋的大西洋中脊)和南太平洋的热液口。&ldquo 我可以肯定，我们此时已进行了超过100次的深潜。&rdquo Girguis说。 　　利用这台仪器，他已经完成了他所谓的热液口溶解气体&ldquo 地球化学地图&rdquo ，收集到了成百上千项来自不同深度的海底沉积物和海底数据。在一项研究中，令他吃惊的一项发现是 ，有时被称为黑烟囱的神奇深海热液口喷出的气体，实际上往往要少于海底不远处的&ldquo 扩散流&rdquo 。&ldquo 这也证明了，你的眼睛在欺骗你。&rdquo 他说。 　　Girguis在他的网页上发布了原位质谱仪的详细方案和每部分清单，任何人都可以造出一台这样的仪器。总花费大约是15000美元。然而外壳则是另一大麻烦。一个为相对较浅的浮潜(达到50米左右)所配备的简单的聚氯乙烯外壳大约要花费1000美元，但是，&ldquo 如果你想要一个钛的，下潜到4000米深度，那就必须要为外壳单独支付2万美元。&rdquo 　　亲，我把质谱仪缩小了! 　　小型化质谱仪在其他奇异的领域也具有潜力。据Rafferty说，一家博物馆接洽了他的公司(尽管在成文时尚未达成交易)，他们在寻找检测防腐剂泄漏的方法，这款防腐剂正用于保护一只经过防腐处理的大王乌贼。美国北德克萨斯州大学副教授Guido Verbeck正在实验室研究小型化质谱仪。他预想，他的设计能应用在国土安全和军队中，例如能够向着火的工厂中&ldquo 投掷&rdquo 一台质谱仪，并发回燃烧物的报告。&ldquo 但是这样会损坏设备，因此你必须造出便宜、小型而又轻便的设备，没有移动部件。&rdquo 　　对于Cooks来说，他将目光瞄准在外科装置上。他与波士顿的布莱罕妇女医院同事Nathalie Agar一起，展示了在他们制造的质谱仪中使用血脂检查来进行脑肿瘤分级的可行性(参见《质谱成像技术&mdash &mdash 从实验台到临床》)。但是这一实验只涉及到相对简单的台式仪器，Cooks说，也就是配备了Bruker公司和Thermo Fisher公司的离子阱，装配了Prosolia公司的电喷雾解析电离技术。 　　合乎常理的下一步，他说，是将离子阱的尺寸(还有成本)缩小，使其可以成为各地手术室中一个实用的组件。 　　事实证明，缩小质谱仪最大的一个挑战在于真空泵，Cooks说。质谱在真空泵中的作用是消除背景信号，防止分子间的碰撞事件。但是真空系统又大又笨，而这些参数是与所需的压力成比例的。Thermo Fisher公司的代表表示，该公司的Orbitrap轨道离子阱需要在液质联用模式下使用三个涡轮泵以900升/秒的速度运作，才能达到低于10-10托的真空泵。 　　飞行时间质谱分析器也需要高真空环境。因此，大多数的小型质谱仪都来自于容许差异的质谱仪，如离子阱和四极质谱，尽管至少有两位研究者都成功地对飞行时间质谱分析器进行了小型化，包括Verbeck。Verbeck制造了一台基于反射器的小型飞行时间质谱仪，使用了微机电系统或MEMS技术，使用掺入硼的硅晶片，将这些部件组装起来，就像老式的卡槽纸模型。该分析器只能检测到2厘米× 5厘米，通过将离子在延伸的时间中前后移动，来延伸离子的有效路径长度。 　　Cooks(与他在普渡大学的合伙人Zheng Ouyang)用一个线性(或四极的)离子阱制造了他的小型化质谱仪，可以在大约10-3托的情况下工作。 　　为了创造真空环境，他和Ouyang获取了能找到的最小的商业化涡旋泵，能达到大约每秒10升。&ldquo 你必须有一种能使用小型真空泵的方式。&rdquo 他说，&ldquo 这是最难的部分，许多人都被这个环节难倒了。&rdquo 　　这种泵太小了，以至于无法进行连续的样品引入。因此该团队开发了一种非连续的样品引入系统，被称为非连续大气压引入(DAPI，discontinuous atmospheric pressure introduction)，能够从系统的电离源中(在此例中是电喷雾解析电离技术)获得离子，并将其控制在夹管阀的一端，周期性地开启，以将其一起引入质谱分析仪中。 　　Cooks说，结果就制成了一个完全自持的装置Mini-11，仅重8.5千克，在一个便携装置中就包括了真空泵、泵(涡轮泵和支持泵)、离子化系统、电池、电子器件和通讯部件。另外还有一种背负式的、25公斤Mini-12。而且Cooks也暗示，还有一种甚至更小的装置，可能是由苹果手机供电，可以用在室内的诊断工作。 　　然而不管这些仪器的尺寸有多小，它们却有惊人的强大力量。Mini-11和-12提供的单位分辨率质谱能够达到600质荷比，这一范围已经可以适用于进行代谢、脂类和其他小分子研究。 　　小质谱，大问题 　　除了真空泵外，小型化质谱仪也存在其他的困难。例如，离子阱的中心电极传统上是弧形的，就象一个中间被捏扁的铝罐。当它变小时，这一形状变得越来越难以达到制造的精度，产生的瑕疵可能会对离子运动产生负面的影响。 　　1st Detect公司绕开了这个问题，它们将传统的&ldquo 双曲线&rdquo 设计替换为更易于制造的圆筒形装置，基本上就是在电极中钻穿一个光滑的小孔。&ldquo 你可以更容易地将它变小，而不用依照精密的曲线。&rdquo Rafferty说。 　　在Torion技术公司研发部主任Stephen Lammert看来，另一个问题是当捕获器变小时，将同样数目的离子挤压进去变得越来越难。&ldquo 小型化质谱的重要挑战就是：你如何能在将捕获器变小的同时不损失离子的能力?特别是离子捕获。&rdquo 　　Torion的解决方案是环形离子阱，体现在它的Tridion-9质谱仪中。它将传统捕获器的捕获特性转移至一个甜甜圈形状的容器中，能够保留高达400倍的更多离子。&ldquo 我们在仪器中采用的环形离子阱，只有我们常见的实验室离子阱半径的五分之一，但由于具有了延伸的几何存储形状，它仍具备传统捕获器的能力。&rdquo 它使用的电压也降低了25倍，总功率降低了125倍。 　　对于Verbeck来说，制造小型质谱仪的最主要挑战在于电气化。 　　他说，&ldquo 我们当前遇到的问题是仪器太小了，以至于线缆一个挨着一个，会有相互干扰。&rdquo 他的团队不得不重新开始，再设计电子系统，&ldquo 在传导垫之间做出更整洁的通道，并使其变得更宽&rdquo 等等。 　　在质谱设备小型化中，最大的问题可能在于它需要在效能和灵活性中权衡。例如，离子阱是小型化中最招人喜爱的候选者，不仅因为其简易性，而且因为它们具有串联质谱分析的嵌入功能，可以使复杂的结构分析变得可能。 　　但是针对士兵、消防员和医生的质谱仪则必须够简单，尽管使用者并不懂其中的细微差别。并且在数据有需求时，具有自动转换为串联模式的嵌入式智能。 　　这一系统必须足够高效，能够由电池带动，并且能够将质谱的复杂性隐藏在友好的用户界面下，让质谱仪的新手可以轻松上手。不要做成需要用户指令的仪器，正如Rafferty所表达的，要成为扫描一个样品就直接报告&ldquo 哔哔，杀虫剂&rdquo 的仪器。 　　这并不是说迷你质谱仪在实验室中没有空间。一台价格不高、能够放入通风柜的质谱仪，将会成为任何有机化学家工具盒中受欢迎的组件，至少Microsaic系统公司的4000 MiD完全吻合这一目的。但是迷你质谱仪最令人兴奋的应用无疑还是在实验室之外。 　　&ldquo 我们甚至不希望这种装置被称作质谱仪。&rdquo 提起MMS-1000时，Rafferty表示，&ldquo 我们更希望将它看做是一个感应器或化学检测器。&rdquo 诚然，当你褪去所有的浮华外表时，难道不就是质谱本来的样子吗? 　　原文检索： 　　Jeffrey M. Perkel. Miniaturizing Mass Spectrometry. Science, 21 February 2014 DOI: 10.1126/science.opms.p1400081

p strong 仪器信息网讯 /strong 2017年10月10日，第十七届北京分析测试学术报告会暨展览会(BCEIA 2017)在北京国家会议中心开幕。中科科仪（KYKY）携四款分子泵亮相BCEIA2017。仪器信息网编辑借此机会对中科科仪区域销售经理进行了采访。 /p p 　　众所周知，我国高端分析仪器市场长期被国外企业所垄断，尤其是质谱分析仪器领域，国内企业起步一般比较晚，而且具备研发能力的分析仪器厂商也往往会采用国外企业提供的关键零部件，比如说分子泵......当然，不具备核心技术就缺少竞争力。长此以往，这将阻碍我们国家的科技水平提升与相关工业产业的发展。 /p p 　　有鉴于此，中科科仪很早就推出了国内首台涡轮分子泵，并且不断革新技术与产品，解决了很多科研中的实际问题。在分析仪器领域，中科科仪目前已经和一批国内先进的质谱分析仪器厂商合作，打破了国外企业对于分子泵的垄断，推动了高端分析仪器的国产化进程。 /p p 　　这次BCEIA展会上中科科仪展出了四款分子泵，最小的抽速是25L/s，最大抽速到300L/s。最小的口径是40mm，最大的口径是100mm。中科科仪分子泵型号分别以这两个参数命名。 /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/fe05f3b3-3523-4e0c-8904-b98fed685d43.jpg" title=" 1.jpg" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong FF-40/25型仪器专用分子泵 /strong /span /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/35934048-0bc6-4f63-8c1f-2c59ba6bf5e3.jpg" title=" 2.jpg" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong FF-100/300型仪器专用分子泵 /strong /span /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/28afd8da-2cff-45eb-95dd-d8ed2e35e050.jpg" title=" 3.jpg" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong FF-63/80型仪器专用分子泵 /strong /span /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/68b6e290-7073-4581-a4c9-fb8b1a7f0224.jpg" title=" 4.jpg" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong FF-100/150型仪器专用分子泵 /strong /span /p p 　　据介绍，这四款专用分子泵几乎能够满足国内大多数质谱分析仪器对于真空度的要求。并且根据与国内分析仪器厂商合作的应用实验验证，结果显示：中科科仪仪器分子泵替换某国外品牌后，仪器灵敏度等关键指标均满足要求，目前单台无故障运行已超过两年。综合多家用户反馈数据，平均无故障运行时间（MTBF）已达6万小时。此外最重要的一点，它们在这种极端的情况下还能保持抽速的稳定性。 /p p 　　目前，中科科仪的分子泵已经广泛地应用在科学仪器行业，包括为数不多的国产质谱联用仪，中科科仪也利用FF-40/25型仪器专用分子泵开发了氦质谱检漏仪，FF-63/80型仪器专用分子泵也经常会被设计添加一些新的功能模块，然后应用到很多行业内，比如：半导体镀膜、真空绝热、真空检漏、等离子体清洗等领域。 /p p strong 一体化分子泵系列产品简介 /strong /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/ebf6954c-30eb-4c75-8ce8-899013d1a2a2.jpg" style=" " title=" 5.jpg" / /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/3e8a6aac-13c8-4a93-ac50-00a1be6780d4.jpg" style=" " title=" 6.jpg" / /p p strong 中科科仪分子泵发展历程 /strong /p p 1977年：研制成功国内第一台立式F-160/450涡轮分子泵，通过科学院鉴定。 /p p 1983年：研制成功F-100/110涡轮分子泵通过中科院鉴定，首批应用于正负电子对撞机。 /p p 1986年：研制成功FF-160/500复合型分子泵。 /p p 1993年：研制成功F-250/1500涡轮分子泵，研制成功F-100/150检漏仪用涡轮分子泵。 /p p 1999年：研制成功F-400/3500涡轮分子泵，并通过省部级鉴定。 /p p 2000年：研制成功FF-160/620复合分子泵进入市场。 /p p 2002年：研制成功FF-200/1200复合分子泵。 /p p 2005年：研制成功FF-160/700任意角度安装分子泵，并通过国家省部级鉴定。 /p p 2006年：研制成功FF-200/1300任意角度安装分子泵，并通过省部级鉴定。 /p p 研制成功FF-250/1600型复合分子泵；研制成功FD-II控制器。 /p p 2008年：研制成功FF-160/500G型抗冲击专用分子泵；研制成功FF-100/110型任意角度安装分子泵；研制成功FD-II型自动识别控制器；承担国家“02重大专项”——磁悬浮分子泵的研发任务。 /p p 2010年：研制成功FF-250/1600B型复合分子泵；研制成功FF-250/2000型复合分子泵。 /p p 2011年：研制成功国家“02重大专项”成果CXF-250/2300型磁悬浮分子泵工程样机,并首次亮相十一五重大科技成果展。 /p p 2012年：研制成功FF-160/700F、FF-200/1300F、FF-200/1300N型复合分子泵；研制成功FF-200/1200G型抗冲击分子泵。 /p p 2013年:CXF-200/1400、CXF-250/2300型磁悬浮分子泵实现量产，在第12届国际真空展上正式推出，并进入半导体行业。 /p p 2015年：国内首家推出FF-40/25、FF-63/80、FF-100/150、FF-100/300系列一体化分子泵，并进入分析仪器行业。 /p p 2016年：研制成功CXF-320/3000型磁悬浮分子泵。 /p

2021年12月27日，上海——12月10日，全球领先的真空解决方案供应商普发真空全新建立了一个规模达一万平方英尺的硅谷创新中心 (SVIC)，这座最先进的真空技术研发中心位于美国加州圣何塞市白令大道 2381 号，启动后可创造 20 多个高科技工作岗位。普发真空持续为半导体市场以及分析、工业、研发市场提供领先的真空解决方案，凭借其在半导体领域丰富的应用实践以及集成化的产品，该硅谷创新中心将致力于为北美客户解决有关高真空技术的所有技术问题，便于客户在早期开发阶段就能测试和评估为其应用设计的新真空解决方案。此外，创新中心的专家和研究人员将为所有普发真空产品提供直接的专业技术支持，并与全球的普发真空研发部门建立无缝连接。 “普发真空致力于为半导体行业的客户推动创新，并支持未来技术的发展，为了践行这一愿景，我们打造了硅谷创新中心。”普发真空技术股份公司（Pfeiffer Vacuum Technology AG）首席执行官Britta Giesen 博士说。在半导体工业中，真空技术被用于生产微处理器、存储介质、高清显示器等，主要涉及大量中型和大型前级泵，以及涡轮泵和测量仪器。另外，借助污染分析和泄漏检测系统，芯片制造商可以显著提高产量。 “随着微处理器生产的复杂性不断增加，与硅谷客户的直接合作对我们来说变得越来越重要，”普发真空北美销售副总裁 Ming Lee 表示，“为了与我们的客户进行更密切的合作，高效地设计出能解决他们技术挑战的真空产品和解决方案，硅谷创新中心及其专家团队将扮演至关重要的角色。”普发真空硅谷创新中心（SVIC）关于普发真空普发真空（Stock Exchange Symbol PFV, ISIN DE0006916604）作为全球领先的真空技术解决方案的供应商之一，不仅拥有全系列的混合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵，同时还拥有各种旋片泵，干泵，罗茨泵，多级罗茨泵，氦质谱检漏仪，真空计，质谱仪等产品以及真空管件和系统解决方案。从普发真空发明涡轮分子泵至今，我们在全球分析仪器、研发、真空镀膜、太阳能和半导体领域，始终代表着创新的解决方案和高品质的产品。公司自1890年创立至今百余年始终走在世界前沿， 现有将近3300名员工，20多家分公司遍布全球，同时在全球有10家生产制造基地。

安捷伦科技公司推出适合工业应用的高性能真空泵 2012 年 7 月 31 日，北京&mdash &mdash 安捷伦科技公司（纽约证交所：A)今日宣布推出 MS-101 高性能真空泵，该产品是公司门类齐全的单级旋片泵（MS 系列）和罗茨真空泵组（RPS 系列）产品的最新成员。 该款新产品进一步完善了安捷伦适用于工业生产（如真空冶金和薄膜沉积）的产品体系。不论是小型还是中型真空室，MS-101 都能通过可控的环境提供最佳泵性能和通量，此外还具有高可靠性、耐久性和易于维护等特点。 安捷伦副总裁兼真空产品事业部总经理 Giampaolo Levi 说道：&ldquo 对于 MS 系列产品来说，MS-101 的加入填补了适用于工业生产的小型到中型旋片泵的空白，在工业生产中，对真空室的体积和气体流量要求较低，但对真空度要求高。MS-101 进一步完善了 MS 产品系列，提供了较大抽速范围和出色性能，能够满足常规以及新兴工业生产的需求。&rdquo MS 系列产品以众多大容量、单级、油润滑的旋片泵而著称。MS-101 耐用的设计和紧凑的尺寸使其成为工业应用（如氦气泄漏检测和电子束焊接）的理想之选。MS-101 以其无与伦比的性能领先于 100 m3/h 流量范围的旋片泵。 MS 系列的产品极好的补充了安捷伦扩散泵和涡旋分子泵的产品线，能够为工业生产提供完善、高性能的真空系统。 有关安捷伦真空产品部的更多信息，请访问 www.chem.agilent.com/en-US/products-services/Instruments-Systems/Vacuum-Technologies/Pages/default.aspx。 关于安捷伦科技 安捷伦科技公司（纽约证交所：A) 是全球领先的测量公司，同时也是化学分析、生命科学、电子和通信领域的技术领导者。公司的 20,000 名员工为 100 多个国家的客户提供服务。在 2011 财政年度，安捷伦的业务净收入为 66 亿美元。要了解安捷伦科技的信息，请访问：www.agilent.com.cn。