Bruker椭偏仪FilmTek 2000 PAR-SE——用于几乎所有薄膜或产品晶片测量的多模计量 想了解相关产品,可联系上海尔迪仪器科技有限公司,拨打电话021-61552797 FilmTek&trade 2000标准杆数-SE光谱椭圆偏振仪/多角度反射仪系统结合了尖端和专有的FilmTek技术,为从研发到生产的几乎所有薄膜测量应用提供了业界的精度和多功能性。其标准的小点测量尺寸和模式识别能力使该系统成为表征图案化薄膜和产品晶片的理想选择。作为我们组合计量产品线(“标准杆数-SE”)的一部分,FilmTek 2000标准杆数-SE能够独特地满足主流应用所需的平均厚度、分辨率和光谱范围之外的测量要求,并由标准仪器提供。它在超薄到薄膜(特别是多层堆叠中的薄膜)上提供了异常精确和可重复的厚度和折射率测量。此外,与传统的椭偏仪和反射仪相比,该系统对这些样品中的不均匀性更加敏感。这是FilmTek 2000标准杆数-SE多模设计的结果,该多模设计将基于高性能旋转补偿器的光谱椭圆偏振仪与我们的多角度差分偏振测量(MADP)和差分功率谱密度(DPSD)技术、扩展/宽光谱范围DUV多角度偏振反射仪、我们抛物面镜光学设计相结合,以及的Filmtek软件。 允许同时确定:多层厚度折射率[n(λ)]消光(吸收)系数[k(λ)]能带隙成分(例如,SiGex中的Ge百分比、GaxIn1-xAs中的Ga百分比、AlxGa1-xAs中的Al百分比等)表面粗糙度组分,空隙率结晶度/非晶化(例如多晶硅或GeSbTe薄膜)薄膜梯度 系统组件:标准:可选:旋转补偿器设计的椭圆偏振光谱法(295nm-1700nm)多角度偏振光谱反射(190nm-1700nm)独立测量薄膜厚度和折射率多角度差分偏振(MADP)技术与SCI的差分功率谱密度(DPSD)技术非常适合测量超薄薄膜(天然氧化物的重复性为0.03&angst )用于成像测量位置的摄像机模式识别50微米光斑尺寸高级材料建模软件具有高级全局优化算法的Bruker广义材料模型各向异性测量(nx、ny、nz)的广义椭圆偏振法(4×4矩阵泛化法)盒式到盒式晶片处理FOUP和SMIF兼容模式识别(Cognex)SECS/GEM 典型应用领域:几乎所有厚度从小于1&angst 到约150µ m的半透明膜都可以高精度测量。典型应用领域包括:硅半导体复合半导体LED/OLED具有灵活的硬件和软件,可以轻松修改以满足独特的客户需求,特别是在研发和生产环境中。膜厚范围0 &angst to 150 µ m膜厚精度±1.0 &angst for NIST traceable standard oxide 100 &angst to 1 µ m光谱范围190 nm - 1700 nm (220 nm - 1000 nm is standard)光斑尺寸的测量25 µ m - 300 µ m (normal incidence) 2 mm (70°)样本量2 mm - 300 mm (150 mm standard)光谱分辨率0.3 nm - 2nm光源Regulated deuterium-halogen lamp (2,000 hrs lifetime)探测器类型2048 pixel Sony linear CCD array / 512 pixel cooled Hamamatsu InGaAs CCD array (NIR)带自动聚焦的自动舞台300 mm (200 mm is standard)电脑Multi-core processor with Windows&trade 10 Operating System测量时间1 sec per site (e.g., oxide film) 性能规格 Film(s) 厚度测量参数精确 (1σ)氧化物 / 硅0 - 1000 &angst t0.03 &angst 1000 - 500,000 &angst t0.005%1000 &angst t , n0.2 &angst / 0.000115,000 &angst t , n0.5 &angst / 0.0001150.000 &angst t , n1.5 &angst / 0.00001氮化物 /硅200 - 10,000 &angst t0.02%500 - 10,000 &angst t , n0.05% / 0.0005光刻胶 /硅200 - 10,000 &angst t0.02%500 - 10,000 &angst t , n0.05% / 0.0002多晶硅 / 氧化物 /硅 200 - 10,000 &angst t Poly , t Oxide 0.2 &angst / 0.1 &angst 500 - 10,000 &angst t Poly , t Oxide 0.2 &angst / 0.0005
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