自动化原子力显微镜

Nanowizard V 第五代生物型原子力显微镜（BioAFM最新一代产品充满各种创新 25年引领生物原子力显微镜技术的研发和创新 全球超过1000家用户的广泛认可8500多篇在生物学领域具有影响的文章 拥有专注于高清晰成像和其它应用的探针研发支持丰富的功能为实现科学研究突破铺平了道路：PeakForce-QI, PeakForce Tapping, PeakForce QNM, QI 单分子力谱技术 单细胞力谱技术 DirectOverlay 2实现AFM与先进光学技术的绝佳整合 全新V8软件 新的ExperimentPlanner和ExperimentControl功能 高数值孔径显微镜整合，多维度环境控制等各类高级整合方案完美的性能，更高的效率 NanoWizardV 诠释了BioAFM的美好未来 无与伦比的易用性 高速成像可用于捕捉动力学过程以及提高实验效率 自动化、高分辨成像

ParkNX-3DM自动化工业级原子力显微镜助力高分辨率3D测量Park Systems推出的NX-3DM全自动原子力显微镜系统，专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角测量设计。借助独有的XY轴和Z轴独立扫描系统和倾斜式Z轴扫描器，NX-3DM成功克服精确侧壁分析中的法向和喇叭形头所带来的挑战。在True Non-Contact&trade 模式下，NX-3DM可实现带有高长宽比尖端的柔软光刻胶的无损测量。 前所未有的精确度随着半导体越变越小，设计如今需要做到纳米级，但是传统的测量工具无法满足纳米级设计和制造所要求的精确度。面对这一行业测量挑战，Park原子力显微镜取得众多技术突破，如串扰消除，其可以实现无伪影和无损成像；全新的3D原子力显微镜，让侧壁和侧凹特征的高分辨率成像成为可能。前所未有的通量 受限于低通量，纳米级设计无法用于生产质量控制中，但原子力显微镜让这一切成为可能。随着Park Systems发布的高通量解决方案，原子力显微镜也得以进入自动化线上制造领域。这其中包括创新的磁性探针更换功能，成功率高达99%，高于传统的真空技术。此外，流程和通量优化需要客户积极配合，提供完整的原始数据。前所未有成本效益纳米测量的精确性和高通量需要搭配高成本效益的解决方案，才能够从研究领域扩展到实际生产应用中。面对这一成本挑战，Park Systems带来了工业级的原子力显微镜解决方案，让自动化测量更快、更高效，让探针更耐久！我们放弃了慢速又昂贵的扫描电子显微镜，转而采用高效、自动化且价格实惠的3D原子力显微镜，进一步降低线上工业制造的测量成本。现如今，制造商需要3D信息来表现沟槽轮廓和侧壁变异特征，从而准确找到新设计中的缺陷。模块化原子力显微镜平台实现快速的软硬件更换，从而是升级更划算，不断优化复杂且苛刻的生产质量控制测量。此外，我们的原子力显微镜探针使用寿命延长至少2倍，进一步减少购置成本。传统的原子力显微镜采用轻敲式扫描，这让探针更易磨损，但我们的True Non-Contact&trade 模式能够有效地保护探针，延长其使用寿命。——————————————————————————————————————侧壁和侧凹高分辨率成像侧壁和侧凹临界尺寸(CD)测量NX-3DM的倾斜式Z轴扫描器设计让探针能够扫描到光刻胶的侧壁和侧凹结构。独有的XY轴和Z轴解耦扫描系统和倾斜式Z轴扫描器Z轴扫描器可在 -19到+19度和-38到+38度之间随意摆动法向高长宽比的探针带来高分辨率成像XY轴扫描范围可达100 μm x 100 μm高强度Z轴扫描器带来最大25 μm的Z轴扫描范围——————————————————————————————————————完整的侧壁3D测量高分辨率侧壁粗糙度借助超锋利的探针尖端，NX-3DM的倾斜式Z轴扫描器可接近侧壁，带来高分辨率的侧壁粗糙度细节。侧壁粗糙度测量精确的侧壁角度测量垂直侧壁的临界尺寸测量——————————————————————————————————————True Non-Contact&trade 模式实现无损临界尺寸和侧壁测量光刻胶沟槽临界尺寸测量独有的True Non-Contact模式能够线上无损测量小至45 nm的细节。业内最小的细节线上测量柔软光刻胶无损测量探针磨损更少，让高质量和高分辨率成像效果更佳持久无需轻敲式成像中的参数依赖结果——————————————————————————————————————Park NX-3DM的特点倾斜式Z轴扫描系统NX-3DM独具匠心地将Z轴扫描器倾斜设计，且通过专利的串扰消除原子力显微镜平台，XY轴与Z轴扫描器完全解耦。用户可以扫描到垂直侧壁以及各种角度的侧凹结构。与配有喇叭形头的系统不同，XE-3DM可使用高分辨率高长宽比的探针。全自动图形识别借助强大的高分辨率数字CCD镜头和图形识别软件，Park NX-HDM让全自动图形识别和对准成为可能。自动测量控制自动化软件让XE-3DM的操作不费吹灰之力。测量程序针对悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数进行优化，为您提供多位置分析。真正非接触模式和更长的探针使用寿命得益于专利的高强度Z轴扫描系统，XE系列原子力显微镜让真正非接触模式成为可能。真正非接触模式借助了原子间的相互吸引力，而非相互排斥力。因此，在真正非接触模式下，探针与样品间的距离可以保持在几纳米，从而盖上原子力显微镜的图像质量，保证探针尖端的锋利度，延长使用寿命。 行业最低的本底噪声为了检测最小的样品特征和成像最平的表面，Park推出行业本底噪声最低（ 0.5?）的显微镜。本底噪声是在“零扫描”情况下确定的。由于悬臂与样品表面接触，因此系统噪声是在如下条件下单点测量：扫描范围为0 nm x 0 nm，探针停留在一个点 0.5增益，接触模式256 x 256像素——————————————————————————————————————高通量自动化自动探针更换(ATX)借助自动探针更换功能，自动测量程序能够无缝衔接。该系统会根据参考图形测量数据，自动校正悬臂的位置和优化测量设定。创新的磁性探针更换功能，成功率高达99%，高于传统的真空技术。自动晶片装卸器(EFEM或FOUP)您可以在XE-3DM中加装自动晶片装卸器(EFEM或FOUP或其他)。高精度无损晶片装卸机械臂能够百分百保证NX-3DM用户享受到快速且稳定的自动化晶片测量服务。离子化系统NX-3DM可搭载离子化系统，以有效消除样品的静电电荷。由于系统随时可生产和位置正离子和负离子之间的理想平衡，便可以稳定地离子化带电物体，且不会污染周边区域。它也可以消除样品处理过程中意外生成的静电电荷。

? 自动化工业级原子力显微镜，带来线上晶片检查和测量Park Systems推出业内噪声最低的全自动化工业级原子力显微镜——XE-Wafer。该自动化原子力显微镜系统旨在为全天候生产线上的亚米级晶体（尺寸200 mm和300 mm）提供线上高分辨率表面粗糙度、沟槽宽度、深度和角度测量。借助True Non-Contact™ 模式，即便是在结构柔软的样品，例如光刻胶沟槽表面，XE-Wafer可以实现无损测量。? 现有问题目前，硬盘和半导体业的工艺工程师使用成本高昂的聚焦离子束(FIB)/扫瞄式电子显微镜(SEM)获取纳米级的表面粗糙度、侧壁角度和高度。不幸的是，FIB/SEM会破坏样品，且速度慢，成本高昂。? 解决方案NX-Wafer原子力显微镜实现全自动化的在线200 mm & 300 mm晶体表面粗糙度、深度和角度测量，且速度快、精度高、成本低。? 益处NX-Wafer让无损线上成像成为可能，并实现多位置的直接可重复高分辨率测量。更高的精确度和线宽粗糙度监控能力让工艺工程师得以制造性能更高的仪器，且成本显著低于FIB/SEM。? 应用l 串扰消除实现无伪影测量 独特的解耦XY轴扫描系统提供平滑的扫描平台 平滑的线性XY轴扫描将伪影从背景曲率中消除 精确的特征特亮和行业领先的仪表统计功能 卓越的工具匹配l CD(临界尺寸)测量出众的精确且精密纳米测量在提高效率的同时，也为重复性与再现性研究带来最高的分辨率和最低的仪表西格玛值。l 精密的纳米测量媒介和基体亚纳米粗糙度测量凭借行业最低的噪声和创新的True Non-ContactTM模式，XE-Wafer在最平滑的媒介和基体样品上实现最精确的粗糙度测量。l 精确的角度测量Z轴扫描正交性的高精度校正让角度测量时精确度小于0.1度。l 沟槽测量独有的True Non-Contact模式能够线上无损测量小至45 nm的腐蚀细节。l 精确的硅通孔化学机械研磨轮廓测量借助低系统噪声和平滑轮廓扫描功能，Park Systems实现了前所未有的硅通孔化学机械研磨(TSV CMP)轮廓测量。? Park NX-Wafer特点l 全自动图形识别借助强大的高分辨率数字CCD镜头和图形识别软件，Park NX-Wafer让全自动图形识别和对准成为可能。l 自动测量控制自动化软件让NX-Wafer的操作不费吹灰之力。测量程序针对悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数进行优化，为您提供多位置分析。l 真正非接触模式和更长的探针使用寿命得益于专利的高强度Z轴扫描系统，XE系列原子力显微镜让真正非接触模式成为可能。真正非接触模式借助了原子间的相互吸引力，而非相互排斥力。因此，在真正非接触模式下，探针与样品间的距离可以保持在几纳米，从而盖上原子力显微镜的图像质量，保证探针尖端的锋利度，延长使用寿命。l 解耦的柔性XY轴与Z轴扫描器Z轴扫描器与XY轴扫描器完全解耦。XY轴扫描器在水平面移动样品，而Z轴扫描器则在垂直方向移动探针。该设置可实现平滑的XY轴测量，让平面外移动降到最低。此外，XY轴扫描的正交性和线性也极为出色。l 行业最低的本底噪声为了检测最小的样品特征和成像最平的表面，Park推出行业本底噪声最低（）的显微镜。本底噪声是在“零扫描”情况下确定的。当悬臂与样品表面接触时，在如下情况下测量系统噪声： 0 nm x 0 nm扫描范围，停在一个点 0.5增益，接触模式256 x 256像素l 选项高通量自动化自动探针更换(ATX)借助自动探针更换功能，自动测量程序能够无缝衔接。该系统会根据参考图形测量数据，自动校正悬臂的位置和优化测量设定。创新的磁性探针更换功能，成功率高达99%，高于传统的真空技术。设备前端模块(EFEM)实现自动晶体处理您可以为NX-Wafer加装自动晶片装卸器(EFEM或FOUP或其他)。高精度无损晶片装卸机械臂能够百分百保证XE-Wafer用户享受到快速且稳定的自动化晶片测量服务。长距离移动平台，助力化学机械研磨轮廓扫描该平台带有专有的用户界面，可支持自动化学机械研磨轮廓扫描和分析。平面外运动(OPM)在样品为5 mm时小于2 nm；10 mm时小于5 nm；50 mm时小于100 nm离子化系统离子化系统可有效地消除静电电荷。由于系统随时可生产和位置正离子和负离子之间的理想平衡，便可以稳定地离子化带电物体，且不会污染周边区域。它也可以消除样品处理过程中意外生成的静电电荷。

Bruker 全自动原子力显微镜 InSight AFP——第五代AFP具有业界高的分辨率、快的成型速度和快速的3D模具映射InSight AFP是世上性能*高、行业首-选的先进技术节点CMP轮廓和蚀刻深度计量系统。将其现代尖-端扫描仪与固有的稳定电容式压力计和精确的空气轴承定位系统相结合，可以在模具的活动区域进行非破坏性的直接测量。 0.3纳米长期稳定提供NIST可追踪的参考计量，并在一年内保持测量的稳定性260-340个站点/小时内联应用程序的*高生产效率减少MAM时间和优化的晶圆处理可保持高达50个晶圆/小时的吞吐量高达36000微米/秒仿形速度通过热点识别提供高分辨率3D特征*高分辨率，尖-端寿命长InSight AFP的TrueSense技术，具有原子力分析器经验证的长扫描能力。亚微米特征的蚀刻深度、凹陷和侵蚀可以完全自动化地监控，具有无与伦比的可重复性，无需依赖测试键或模型。-----蚀刻和CMP晶片的全自动在线过程控制Insight AFP结合了原子力显微镜的新创新，包括Bruker的专有CDMode，用于表征侧壁特征和粗糙度。CDmode减少了所需的横截面数量，实现了显著的成本节约。此外，AFP数据提供了无法通过其他技术获得的直接侧壁粗糙度测量。自动缺陷审查和分类当今集成电路的器件缺陷比以往任何时候都小，需要快速解决HVM需求。InSight AFP提供了有关半导体晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息，使制造商能够快速识别缺陷源并消除其对生产的影响。100倍高分辨率配准光学元件和AFM全局对准可使图案化晶圆和掩模的原始图像放置精度低于±250 nm，确保感兴趣的缺陷是测量的缺陷。该系统与KLARITY和大多数其他YMS系统完全兼容。3D模具映射和HyperMap&trade 分析速度高达36000μm/sec，能够对33mm x 26mm及更大的闪光场进行快速、完整的3D CMP后表征和检查。超2纳米的平面外运动，实现真正的大规模地形和全自动抛光后热点检测。在本例中，在24小时内以1微米x 1微米像素大小获得了完整的标准26毫米x 33毫米十字线场扫描。然后可以使用Bruker的热点检测和审查功能自动检测和重新扫描热点。售后服务Bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP——紧凑型高性能剖面仪和AFMBruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。 0.5 nm长期动态再现性用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量 亚纳米CMP自动计量的灵敏度，专用碟形和腐蚀计量包，用于无与伦比的过程控制和开发 20nm仿形平面度大于26mm针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量 在线计量结果以分钟为单位，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制在高级技术节点，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求，以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕新一代AFM扫描仪构建，在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度，小于10纳米。该系统的NanoScopeV 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度，以提高生产效率，所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项先进功能，可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。售后服

AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。特点1. 自动化功能高度集成自动化功能追求高效率检测，降低检测中的人为操作误差2. 可靠性排除机械原因造成的误差，大范围水平扫描采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。AFM5500M搭载了新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。高精角度测量普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。3. 融合性亲密融合其他检测分析方式通过SEM－AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等。上图是AFM5500M拍摄的形貌像（AFM像）和电位像（KFM像）分别和SEM图像叠加的应用数据。 通过分析AFM图像可以判断，SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。 石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差。 SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。与其他显微镜以及分析仪器联用正在不断开发中。

AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。特点 1. 自动化功能 高度集成自动化功能追求高效率检测 降低检测中的人为操作误差 ? 4英寸自动马达台 自动更换悬臂功能2. 可靠性排除机械原因造成的误差大范围水平扫描 采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。AFM5500M搭载了最新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。 样品 ：硅片上的非晶硅薄膜高精角度测量 普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。 样品 : 太阳能电池(由于其晶体取向具有对称结构) * 使用AFM5100N（开环控制）时 3. 融合性亲密融合其他检测分析方式通过SEM－AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等。 SEM-AFM在同一视野观察实例（样品：石墨烯/SiO2） 上图是AFM5500M拍摄的形貌像（AFM像）和电位像（KFM像）分别和SEM图像叠加的应用数据。 通过分析AFM图像可以判断，SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。 石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差。 SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。 与其他显微镜以及分析仪器联用正在不断开发中。

Park FX40纳米科学研发界应运而生的的新型全自动原子力显微镜该产品可以通过多样化的应用程序，不费吹灰之力即可获得敏锐、清晰、高分辨率的扫描图像。通过前所未有的速度和精度，推动您研发进步并助力您的科学新发现——FX40将人工智能运用得淋漓尽致，全自动化的过程能实现用户纳米级显微镜的需求。额外的轴向自动激光校准、早期预警系统和故障自动保险、同步化信息提取和存储，让即便是未经原子力显微镜专业培训的研究科学家们也可以轻松快速地获得最满意的扫描结果。纳米级的显微镜 硬核级的科技进步- 鼎力相助时代前沿的科技研发- 研究型AFM中首次采用的双摄像头系统- 能全自动化实时更新海量数据实现全自动技术的智能原子力显微镜Park FX只需鼠标一键操作，就能实现自动换针，以避免探针被污染或因操作不当而导致的探针损坏等问题。用户还可以根据提示，选择不同的探针类型，应用类型和使用信息等。 通过自动换针方式，用户可轻松安全地进行自动换针。利用装有8个针盒和磁控机制的便利性，用户无需操作便可安装探针。探针识别摄像头可以加载探针芯片载体上的二维码，提取并显示每个可用探针的探针类型，应用类型和使用信息等全部相关信息。自动激光校准功能将SLD光定位到悬臂梁的适当位置，并进一步分别优化PSPD的垂直和横向位置。用户只需简单点击，移动X,Y和Z轴便可得到毫不失真的高清扫描图。 双摄像头系统自动校准探针和样品位置 样品摄像头样品台上最多可以同时放置四个不同量级的样品。即便如此，样品摄像头也可以毫不费力地定位到相关位置进行精确扫描。 探针识别摄像头探针识别系统可以帮助用户搜索相关探针的全部信息（包括探针类型，应用类型和使用信息等）使研究工作事半功倍。只需一键便可轻松选择您所需要的探针。智能自动化FX40拥有智能视觉系统，能自动检测探针是否正确定位。软件界面通过定位加载探针的位置至纳米级别，并在必要时生成错误状态报告，同时将这些数据与成千上万个可能发生的模拟问题进行比较，以此不断更新升级软件。 原子力显微镜中最快速精确的真正非接触模式对于针尖样品，非接触模式展现了其强大的控制力，距离达到了亚纳米级别。Park FX40拥有快速且精确的非接触模式。环境传感器智能扫描仪显示并储存传感器的测量。传感器主要测量基本的环境条件，如温度，湿度，水平和振动。由此帮助用户在不同环境条件下扫描图像，为您筛选环境指标。 安全的探针安装系统用户可以自选手动或自动探针安装功能，同时内置的智能系统会自动检测并在用户错误安装探针时发出警告，从而有效提高测量准确度。极好的AFM体验——专为FX设计的Park OS SmartScan简易单击成像设置自动探针检测，自动激光校准简要的教学动画分分钟让您学会如何进行样品放置以及仪器成像设置1. 准确定位定位样品位置AFM自动执行悬臂的频率性扫描，接近样品的Z移动台, 然后自动聚焦，帮助您扫描任何您想要的区域。 2. 高清成像自动识别探针完成定位之后，系统会设置理想的参数，连接悬臂并扫描样品，直到为您扫出高解析度高分辨率的图像。

仪器简介：瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。easyScan 2原子力显微镜是瑞士Nanosurf公司在原有easyScan原子力显微镜基础上更新而来，增进了该原子力显微镜的便携性，精确性和可靠性，有更强的抗干扰能力。目前easyScan 系列原子力显微镜已经在50多个国家销售了近2000台。是工业质量控制，纳米材料研发者的完美工具。技术参数：easyScan2 AFM原子力显微镜： 1. 两种可供选择的原子力显微镜扫描头 (1) 大扫描范围 最大扫描范围：X和Y方向110um x 110um xy轴分辨率： 1.7nm 最大扫描范围： Z方向20um z轴分辨率： 0.34nm Z噪音标准（RMS）： 0.4nm(2) 高分辨率 最大扫描范围：X和Y方向10um*10um xy轴分辨率：0.15nm 最大扫描范围：Z方向1.8um z轴分辨率：0.027nm Z噪音标准（RMS）：0.07nm 扫描速度：1800个数据点/秒 传感半径： 15nm 典型负载： 10nN 扫描仪质量：350g 反馈回路宽带：3kHz 自动进场范围：5mm 没有使用危险的高电压2. 电子控制器 数据采集时，可以和任何标准计算计串行端口连接 三个轴都有16位的数据收集与控制系统 轴输出电压：+12V 扫描速度：1-20分/框 1024样品/直线 动态频率范围：15-300KHz 动态频率分辨率：15-300KHz 外部电源 功率消耗量25VA 电子控制器质量2.5kg 3. 软件 软件在Windows 操作系统上运行 测量数据可以实现可视化 不同的窗体的扫描数据可以被同时显示 线观察，点观察，三维观察 在线数学计算功能（减，平均值等等） 类似于粗糙度（Ra，Rq）、顶点剖面、厚度、距离和几何分析的数据分析 可以实现多数据输出 定制显示器、工作场所 安装非常简便主要特点： easyScan2 AFM原子力显微镜：允许快速的、在原位无破坏性的、高分辨率的处理控制。 自动激光对准芯片技术，无需人工手动调节。设计小巧、紧凑；使用简便、舒适 。所有的功能可以在一台计算机上进行 。独立的；适合大、小形状各异的样品 。样品自动进场 。与标准计算机串行端口连接（不需要接口卡） 。特殊的扫描仪设计，确保低震动灵敏度 。

产品介绍 致真精密仪器-晶圆级原子力显微镜AFM利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征，可实现大晶圆级大样品形貌表征,电动样品定位台与光学图像相结合,可在 300X300 mm 区域实现1 um的定位精度,激光对准,探针逼近和扫描参数调整完全自动化操作。致真精密仪器-晶圆级原子力显微镜AFM设备性能XY方向噪声水平0.2 nm闭环,0.02nm开环★Z方向噪声水平0.06nm闭环,0.03nm开环★XY方向非线性度0.15% Z方向非线性度:1%扫描范围90umX90umX9um(典型值)80umX80umX8.5um(最小值)鸢0.58 x~7 x光学变倍镜头,光学分辨率可达3.45 um,可3 mm焦距微调样品尺寸:可检测12英寸晶圆并且向下兼容8、6、4英寸以及碎片样品,可自动上下料(选配)全自动探针逼近系统,行程35 mm,步进精度50 nm致真精密仪器-晶圆级原子力显微镜AFM设备特色工作模式:接触模式、轻敲模式、非接触模式、相位成像等工作模式适配环境:空气、液相可旋转式扫描头，更方便于更换探针以及多功能探针夹自动化位移台搭配0.58x~7x变倍光学变倍镜头更方便寻找样品适配12英寸晶圆并向下兼容各种晶圆尺寸多功能配置:力曲线/力谱测量、表面电势测量、横向力显微镜、静电力显微镜、磁力显微镜、压电力显微镜、扫描开尔文探针显微镜 刻蚀和纳米操作

Park NX20原子力显微镜用于失效分析的理想选择引领用于故障分析和大型样品研究的纳米计量工具作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。 而仪器所提供的数据不能允许有错误的存在。 Park NX20，这款高精密的大型样品原子力显微镜，凭借着数据的准确性，在半导体和硬盘行业中大受赞扬。全面多样的分析功能Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。 高精密度可为用户带来高分辨率数据，让用户能够更加专注于工作。 与此同时，非接触扫描模式让探针针尖更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。即便是刚接触原子显微镜的工程师也易于操作Park NX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。 借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。———————————————————————————————————————————为FA和研究实验室提供精准的形貌测量解决方案样品侧壁三维结构测量NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。 众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必需的。对样品和基片进行表面光洁度测量表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精准的失效分析和质量保证。高分辨率电子扫描模式QuickStep SCM超快的扫描式电容显微镜PinPoint AFM无摩擦导电原子力显微镜———————————————————————————————————————————多种创新且创新的专利技术帮助顾客减少测试时间CrN样品所做的针尖磨损实验AFM测量通过对比重复扫描情况下探针尖端的形状变化，您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。借助真正非接触模式，探针尖端在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。 氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。———————————————————————————————————————————低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。√ 使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。√ 在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。√ 没有前沿或后沿过冲现象√ 终身无需校准，减少设备维护成本Park NX系列原子力显微镜传统的原子力显微镜Park NX20特点 ————低噪声XYZ位置传感器低噪声XYZ闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。高速Z轴扫描器,扫描范围达15um高强度压电堆栈和挠性设计，标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz）且探针的Z轴扫描速率不低于48 mm/秒。 Z轴扫描范围可从标准的15um扩展至30um（可另选Z扫描头）。自动多点样品扫描借助驱动样品台，可编程步进扫描，多区域成像，以下是它的工作流程：1) 扫描成像2) 抬起悬臂3) 移动驱动平台到设定位置4) 进针5) 重复扫描该自动化功能可大大减少扫描过程中人工移动样品所需时间，从而缩短测试时间，提高生产率。集成編碼器的XY自动样品载台编码器可用于所有自动样品载台，并可保证更高的重复定位精度，从而可更精准地控制样品测量位置。XY马达运动工作时分辨率为1 um重复率为2um。Z马达运动的分辨率为0.1um,重复率为1um。扫描头滑动嵌入式设计您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜扫描头。 该设计可将扫描头自动锁定至预对准的位置，无需调节激光位置，激光自动投射在针尖上。 借助于四象限检测器，显微镜可精确成像并准确测定力.距离曲线。操作方便的样品台借助创新的镜头设计，用户可从侧面操作控样品和探针。 根据XY轴样品台所设定的行程范围，用户在样品台上可放置的大样品体积直径可高达200 mm。用于高级扫描模式易插槽您只需要将可选模块插入扩展槽，您便可激活高级扫描探针显微镜模式。 得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计，其产品线的配置兼容性大大提高。同轴高功率光学集成LED照明和CCD系统定制物镜配有超长工作距离（51 mm，0.21的数值孔径，1.0um的分辨率），带来超高的镜头清晰度。同轴光源设计让用户可轻易地在样品表面寻找测试区域，物镜分辨率为0.7um。 得益于CCD的高端传感器，在获得较大视场的同时，分辨率却不受影响。 由软件控制的LED光源能为样品表面提供足够的照明，便于清晰观察样品。高速24位数字电子控制所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理的。 该控制器是全数字、24位高速控制器，可确保Park 真正非接触模式下的成像精度和速度。 凭借着低噪声设计和高速处理单元，该控制器是纳米级成像和精确电压电流测量的绝佳选择。 嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能，更好的解决方案，是资深研究院的理想选择。XY.Z轴检测器的24位信号分辨率XY轴(50 μm)的分辨率可低至0.003 nmZ轴(15 μm)的分辨率可低至0.001 nm嵌入式数字信号处理功能三个锁相放大器探针弹簧系数校准数据Q控制集成式信号端口专用可编程信号输入/输出端口7个输入端口和3个输出端口自动Z轴移动和聚焦系统高度限行Z轴移动和聚焦系统，可以得到清晰的视野和图像，用户通过软件界面进行操作，由高精度步进电机驱动，即使液体或者透明样品也可快速找到样品表面。———————————————————————————————————————————QuickStep SCM模式√ 比传统的扫描式电容显微镜(SCM)扫描速度快十倍√ 信号灵敏度、空间分辨率和数据精准度不受影响高通量QuickStep扫描在QuickStep扫描模式下，SCM测量通量大幅提升，可达到标准SCM扫描速度的十倍，且信号灵敏度、空间分辨率和数据精准度不受影响。 在QuickStep扫描模式下，XY轴扫描器在各像素点停住，记录数据。 扫描器会在各像素点之间快速跳跃。QuickStep扫描传统扫描扫描速度1.5Hz扫描速度1Hz扫描大小: 10 µ m×3 µ m, AC Bias: 0.5 Vp-v, DC Bias: 0 V———————————————————————————————————————————Park SCM精准的掺杂形貌量测在半导体制造业，分析掺杂剂分布对于确定失效原因和进行设计改进有着重要作用。 在器件特性化方面，SCM有着优异二维量化掺杂剂分布分析能力。PinPoint导电原子力显微镜模式PinPoint导电原子力显微镜模式是针对探针和样品之间的指定电接点而开发设计的。 在电流采样过程中，XY轴扫描器会依据用户设定的接触时间停止。 PinPoint导电原子力显微镜模式能够带来更高的空间分辨率，且不受 侧向力的影响，同时在不同样品表面的电流测量也得到优化。——————PinPoint模式——————— —————Contact—————样品: ZnO nano-rods, -3 V sample bias通过对比氧化锌纳米棒在不同类型的导电原子力显微镜图像，我们可以看到相比轻敲式导电原子力显微镜，传统的接触式导电原子力显微镜有着更高精度的电流测量，但其分辨率低，原因 在于探针在接触中快速磨损。 全新的PinPoint导电原子力显微镜不但空间分辨率更高，且电流测量也得到优化。———————————————————————————————————————————高带宽低噪声导电原子力显微镜导电原子力显微镜是各类元件研究的重要工具，特别是工业的失效分析。 Park导电原子力显微镜在市场中拥有核心竞争力，不但有着全行业超低的电流噪声，且增益范围也是较大。业内超低的电流噪声(0.1 pA)业内超大的电流(10 μA)巨大的增益范围（7个数量级，103-109）———————————————————————————————————————————Park NX20先进的SPM模式表面粗糙度检测真正非接触模式 动态力模式电学性能导电原子力显微镜 (ULCA和VECA)静电力显微镜 (EFM)压电力显微镜 (PFM)扫描电容显微镜 (SCM)扫描开尔文探针显微镜 (SKPM)扫描电阻显微镜 (SSRM)扫描隧道显微镜 (STM)机械性能力调制显微镜 (FMM)力.距离(FD) 曲线力谱成像侧向力显微镜 (LFM)纳米刻蚀相位成像Park NX20技术参数————扫描器Z扫描器柔性引导高推动力扫描器扫描范围: 15 µ m (可选 30um)高度信号噪声等级: 30 pm(RMS, at 0.5 kHz带宽)XY扫描器闭环控制的柔性引导XY扫描器扫描范围: 100 um× 100 um(可选 50um× 50um)驱动台Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)XY位移台行程范围 : 200 mm x 200 mm样品架样品尺寸 : 基本配置开放空间 up to 200 mm x 200 mm,厚度 up to 20 mm样品重量 : 500 g光学10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1um分辨率)样品表面和悬臂的直观同轴影像视野 : 840 × 630 um (带10倍物镜)CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)软件SmartScan&trade AFM系统控制和数据采集的专用软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的高级使用和更精密的扫描控制XEIAFM数据分析软件电子集成功能4通道数字锁相放大器数据Q控制信号处理ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensorDAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioningMaximum data size : 4096 x 4096 pixels连接外部信号20个嵌入式输入/输出端口5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP, 调制和交流偏压AFM模式(*可选项)标准成像真正非接触式原子力显微镜PinPoint&trade 原子力显微镜接触式原子力显微镜横向力显微镜(LFM)相位成像轻敲式原子力显微镜 力测量力-距离(F/d)光谱力谱成像 介电/压电性能静电力显微镜 (EFM)动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)压电力显微镜 (PFM)高压压电力显微镜* 机械性能力调制显微镜 (FMM)纳米压痕*纳米刻蚀*高压纳米刻蚀*纳米操纵*磁学性能*磁力显微镜 (MFM)可调制磁力显微镜 电性能导电原子力显微镜 (C-AFM)*IV 谱线*扫描开尔文探针显微镜 (KPFM)扫描电容显微镜 (SCM)*扫描电阻显微镜 (SSRM)*扫描隧道显微镜 (STM)*光电流测绘 (PCM)* 化学性能*功能化探针的化学力显微镜电化学显微镜 (EC-AFM)———————————————————————————————————————————高级选项为用户量身定制原子力显微镜自动数据收集和分析，适合工业客户产线测量Park的自动化控制软件，可根据您的预设程序自动进行AFM测量。它可以准确地收集数据，执行模式识别，并使用它的寻边器和光学模块进行分析，不需要人工介入，从而为您节省大量宝贵时间。温度稳定的隔音罩创新的控制设计使Park NX20能够快速达到温度平衡NX20具有主动隔振功能。集成编码器的自动载台&bull XY马达运动工作时分辨率为1 µ m，重复率为2 µ m。&bull Z马达运动的分辨率为0.1 µ m，分辨率为1 µ m。倾斜样品倾角夹具，可帮助您进行样品侧壁成像。NX20的创新架构实现了对样品侧壁和表面的检测，还能够测量出相应角度。这为您提供了更多的创新研究方案和对样品更深入的理解。样品盘&bull 用于电气测量的专用小样品架&bull 用于固定晶圆的真空槽温度控制 温控台 1: -25 °C to +170 °C温控台 2: Ambient to +250 °C 温控台 3: Ambient to +600 °C

Park FX40 纳米科学研发界应运而生新型全自动原子力显微镜该产品可以通过多样化的应用程序，不费吹灰之力即可获得最敏锐、最清晰、最高分辨率的扫描图像。通过前所未有的速度和精度，推动您研发进步并助力您的科学新发现——FX40将人工智能运用得淋漓尽致，全自动化的过程能实现用户纳米级显微镜的需求。额外的轴向自动激光校准、早期预警系统和故障自动保险、同步化信息提取和存储，让即便是未经原子力显微镜专业培训的研究科学家们也可以轻松快速地获得最满意的扫描结果。纳米级的显微镜 硬核级的科技进步鼎力相助时代前沿的科技研发研究型AFM中首次采用的双摄像头系统能全自动化实时更新海量数据————————————————————————————————————————————————实现全自动技术的智能原子力显微镜Park FX只需鼠标一键操作，就能实现自动换针，以避免探针被污染或因操作不当而导致的探针损坏等问题。用户还可以根据提示，选择不同的探针类型，应用类型和使用信息等。 —————自动更换探针通过自动换针方式，用户可轻松安全地进行自动换针。利用装有8个针盒和磁控机制的便利性，用户无需操作便可安装探针。———————自动识别掃码探针识别摄像头可以加载探针芯片载体上的二维码，提取并显示每个可用探针的探针类型，应用类型和使用信息等全部相关信息。——————自动激光校准自动激光校准功能将SLD光定位到悬臂梁的适当位置，并进一步分别优化PSPD的垂直和横向位置。用户只需简单点击，移动X,Y和Z轴便可得到毫不失真的高清扫描图。双摄像头系统自动校准探针和样品位置样品摄像头样品台上最多可以同时放置四个不同量级的样品。即便如此，样品摄像头也可以毫不费力地定位到相关位置进行精确扫描。探针识别摄像头探针识别系统可以帮助用户搜索相关探针的全部信息（包括探针类型，应用类型和使用信息等）使研究工作事半功倍。只需一键便可轻松选择您所需要的探针。————————————————————————————————————————————————智能自动化FX40拥有一流的智能视觉系统，能自动检测探针是否正确定位。软件界面通过定位加载探针的位置至纳米级别，并在必要时生成错误状态报告，同时将这些数据与成千上万个可能发生的模拟问题进行比较，以此不断更新升级软件。 ———————————————————————————————————————————————— 原子力显微镜中最快速精确的真正非接触模式对于针尖样品间距离，Park创新的非接触模式展现了其优异的控制力，距离达到了亚纳米级别。Park FX40拥有理想的快速且精准的非接触模式。 安全的探针着陆装置——全面保护样品和探针Park采用防碰撞传感器装置和连锁软件相结合，可以更好地保护针尖和AFM扫描器。通过算法编程，Z移动台只能在针尖与样品表面碰撞的极限内升降，避免因探针与样品相碰而产生损害，极大地提高了生产力和测量精准度。————————————————————————————————————————————————最佳AFM体验——专为FX设计的Park OS SmartScan简易单击成像1. 精要设置自动探针检测，自动激光校准简要的教学动画分分钟让您学会如何进行样品放置以及仪器成像设置。2. 精准定位定位样品位置AFM自动执行悬臂的频率性扫描，接近样品的Z移动台, 然后自动聚焦，帮助您扫描任何您想要的区域。3. 高清成像自动探针检测完成定位之后，系统会设置合适的参数，连接悬臂并扫描样品，直到为您扫出高解析度高分辨率的图像。

Park NX12原子力显微镜用于分析化学的全能型原子力显微镜多功能原子力显微镜平台，满足纳米级测量的需求原子力显微镜（AFM)有纳米级分辨率成像以及电，磁，热和机器性能测量的能力。纳米管扫描系统可用于高分辨率扫描离子电导显微镜（SICM).倒置光学显微镜（IOM）便于透明材料研究和荧光显微镜一体化。—————————————————————————————————————————通过验证的NX10性能通过倒置光学显微镜样品平台，Park NX12将Park原子力显微镜的多功能性和准确性相结合。这使得使用者更容易的使用纳米管技术去研究透明，不透明，或软或硬的样品。出众的电化测试平台电池，燃料电池，传感器和腐蚀等电化学研究是个快速增长的领域，然后许多原子力显微镜不能直接满足其特殊的需求。Park NX12的人性化设计，为快速操作提供便利，从而达到化学研究人员要求的功能性和灵活性。这主要包括：多功能易用电化学池惰性气体和湿度的环境控制选项双恒电位仪的兼容性研究人员可利用Park NX12平台实现各种电化学应用：扫描电化学显微镜(SECM)扫描电化学池显微镜(SECCM)电化学原子力显微镜（EC-AFM）和电化学扫描隧道显微镜( EC-STM)—————————————————————————————————————————考虑建立多用户设备Park NX12力求重新构建，以适应许多用户设备需求。其他原子力显微镜解决方案缺乏必要的多功能性，难以满足该设备中用户的多重需求，很难合理控制设备成本。然而，Park NX12旨在能够容纳标准环境原子力显微镜成像，液体扫描探针显微镜，光学和纳米光学成像，使其成为灵活的原子力显微镜之一。模块化设计Park NX12是专门针对专业电化学研究人员需求量身定制的原子力显微镜平台。它基于化学和电化学性质，气体和液体中介质的特性，为扫描探针显微镜提供了一个通用的解决方案，可用于广泛的不透明和透明材料。Park NX12基于其广泛的可视光投置到扫描探针的扫描探针显微镜技术的纳米管，易用性强。Park NX12具有高精准度，是多用户设备和职业研究人员的理想平台。多功能应用Park NX12功能广泛，包括液体中的PinPoint &trade 和纳米力学，倒置光学显微镜定位透明样品，离子电导显微镜软样品成像，以及改善透明样品光学性能的可视性。—————————————————————————————————————————综合性的力谱方法Park NX12提供了一种在液态和空气中的纳米力学表征的完整套餐，使其成为广泛应用中的理想选择。模块化NX12模块化设计，安装简单，兼容性强，可以满足您的多种实验需求。适合早期职业研究人员的有竞争力的价格和灵活性早期职业研究人员通常没有足够的预算购买价格高昂的原子力显微镜。Park NX12不仅是经济实惠的入门之选，同时还提供了可随着职业发展而不断壮大的模块化平台。它不同于其他价格相近的原子力显微镜，Park NX12配有先进的研究级精度和功能，可为在空气和液体中的透明和不透明材料提供其表面形态纳米级分辨率。这使得新的化学，材料科学或生物化学实验室的理想投资回报成为可能。—————————————————————————————————————————Park SmartScan&trade 自动模式下的单击成像Park NX12配备了我们的SmartScan&trade 操作系统，使其成为市场上高速易使用的原子力显微镜之一。其界面直观给力，即使是未经培训的用户也可以无需监控，快速扫描样品。这使得专业研究人员能够将他们的经验专注在解决更大的问题和开发更好的方案。易使用性共享实验室的用户通常背景各异，经验水平各异。NX12为每个用户提供简单的点击界面和自动化SmartScan&trade 模式。打开原子力显微镜系统后，具体操作如下1. 点击 “设置”系统出现一个小窗口，通过动画演示指导您如何仪器设置和放置待成像的样品。一般情况下，这一步仅需几分钟。2. 点击 “定位”系统自动对悬臂进行频率扫描，让 Z 轴扫描仪向样品靠近，并自动对焦样品，使用户看到成像目标区域后进行操作，移动到目标区域。3. 点击 “成像”系统设置实现优化设置所必要的参数，然后启用悬臂，开始扫描样品。持续扫描，直至获得完整图像。结束悬臂将从样本上移开，准备进行下一次样品成像操作。—————————————————————————————————————————Park NX12 技术参数扫描器Z 扫描器柔性引导高推动力扫描器扫描范围 : 15 µ m (可选 30 µ m)高度信号噪声等级: 30 pm0.5 kHz bandwidth, rms (typical)XY 扫描器闭环控制的柔性引导XY扫描器扫描范围 : 100 µ m × 100 µ m驱动台Z 位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)XY位移台行程范围 : 10 mm x 10 mm (Motorized)样品架样品尺寸 : 开放空间 up to 50 mm x 50 mm, 厚度 up to 20 mm (建议使用 SPM 模式的样品尺寸小于 40 x 40 mm)样品重量 : 500 g光学10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µ m分辨率)样品表面和悬臂的直观同轴影像视野 : 840 × 630 µ m (带10倍物镜)CCD : 500万像素。120万像素 (可选)软件SmartScan&trade AFM系统控制和数据采集的专用软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的高级使用和更精密的扫描控制XEIAFM数据分析软件电子集成功能4通道数字锁相放大器弹性系数校准(热方法，可选)数据Q控制AFM 模式(*可选项)标准成像真正非接触式原子力显微镜PinPoint&trade 原子力显微镜接触式原子力显微镜横向力显微镜 (LFM)相位成像轻敲式原子力显微镜力测量力-距离(F/d)光谱力谱成像 介电/压电性能*静电力显微镜 (EFM)动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)压电力显微镜 (PFM)高压压电力显微镜机械性能力调制显微镜 (FMM)纳米压痕*纳米刻蚀*高压纳米刻蚀*纳米操纵*磁学特性*磁力显微镜 (MFM)可调制磁力显微镜电性能导电原子力显微镜 (C-AFM)*IV 谱线*扫描开尔文探针显微镜 (KPFM)扫描电容显微镜 (SCM)*扫描电阻显微镜 (SSRM)*扫描隧道显微镜 (STM)*光电流测绘 (PCM)*化学性能*功能化探针的化学力显微镜电化学显微镜 (EC-AFM)原子力显微镜选项电化学电池电化学电池通用液体电池的电化学工具包电化学选项恒电位仪双恒电位仪 温度控制温控台 1 -25 °C to +170 °C温控台 2 Ambient to +250 °C温控台 3 Ambient to +600 °C液下探针柄专为在一般液体环境中成像而设计对大多数包括酸在内的缓冲溶液具有抗腐蚀性可在液体中进行接触式和非接触式原子力显微镜成像隔音罩独立型 AE 204Z 扫描头15 μm Z Scanner AFM head30 μm Z Scanner AFM head15 μm Z Scanner SICM module30 μm Z Scanner SICM module环境控制选项手套箱活细胞室液体池通用液体池有液体/气体灌注的开放式或封闭式液体池 温度控制范围: 0 °C to +110 °C (in air), 4 °C to +70 °C (with liquid)电化学池开放式液体池磁场发生器施加平行于样品表面的外部磁场可调磁场范围 : -300 ~ 300 gauss由纯铁芯和两个电磁线圈组成高级模式的入门套件易用于包含专用探针和样品的高级模式

Park NX-TSH专为大型纳米平板显示器测量而设计的自动化原子力显微镜（AFM）系统———————————————————————————————————————————————————————随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加，Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战。Park NX-TSH能获得高分辨率的表面粗糙度测量，台阶高度测量和关键尺寸测量。为OLED面板行业整片测量，超高尺寸镜片测量，提供全自动的原子力显微镜计量解决方案。Park NX-TSH的全自动特点可灵活掌握自动，半自动和手动模式为每个自动化程序提供可编辑测量方法实时监控测量过程自动分析获取测量数据高精度，高效率自动换针器(ATX)ATX通过模式识别自动定位针尖，并使用一种新的磁性方法来取放新旧探针。激光光斑通过电动定位技术自动对准。电离系统可提供更稳定的扫描环境Park创新的电离系统可快速有效地去除样品环境中的静电荷。由于该系统始终生成并保持正负离子的理想平衡，因此可以创建一个极其稳定的电荷环境，几乎不污染周围区域，并且将在样品处理过程中产品意外静电的风险降至最低。—————————————————————————————————————————————————————————专为OLED面板行业整片测量，LCD测量提供的全自动探针扫描器解决方案专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计Park原子力显微镜公司已经扩展了原子力显微镜设备的测量尺寸，Park NX-TSH（龙门架设计平板式探针扫描器）可针对第八代及大于第八代的所有大型平板显示器进行测量。专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸上限可达2200 mm。硅片直径的变化使用导电原子力显微镜，Park NX-TSH 使用可选探针站测量样品表面，该探针站接触样品表面并向小设备或晶圆片上的设备提供电流。Park NX-TSH用于带有导电原子力显微镜的2D编码器样品，通过集成微探针站进行电气缺陷分析。—————————————————————————————————————————————————————————Park NX-TSH特点克服了样品大小和重量的限制。Park原子力显微镜公司新开发的探针扫描器结合了X、Y和Z扫描器，可以直接移动到所需测量的点。Park NX-TSH可以在X, Y和Z方向扫描探针头，X- Y方向可达到100µ m X 100 μm和Z方向可达到15 μm ，并有灵活的卡盘，以适应超过300毫米的超大超重样品，用于OLED和LCD大样品分析。 样品固定在样品卡盘上，连接在机架上的探针扫描头移动到样品表面的测量位置。 Park NX-TSH的探针扫描头系统因此克服了样品固定在样品卡盘上时候样品大小和重量的限制。闭环的100μmx 100μm柔性导向XY扫描器XY扫描器由对称的二维挠曲和高强度压电叠层组成，它微小化的面外运动能提供高度的正交扫描，用超快的响应来完成纳米尺度上精准的样品扫描。————————————————————————————————————————————————————————————————————具有低噪声位置传感器的15μm高速Z扫描器NX-TSH利用其超低噪声Z检测器代替了通常使用的非线性Z电压信号，可为用户提供高精度测量。业界引领的低噪声Z检测器取代了所施加的Z电压作为形貌信号。————————————————————————————————————————————————————————————————————专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸上限可达2200mmPark NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战，可扫描出高分辨率图像。————————————————————————————————————————————————————————————————————自动测量控制，简易操作测量更精准！NX-TSH配备自动化软件，使用测量程序便可获得精准的多点分析，并对悬臂梁调谐、扫描速率、增益和设定点参数进行优化设置。Park人性化设计的软件可使用户自由访问NX-TSH的全部功能并获得所需的测量值。创建新的测量程序其实很简单，从开始创建到能够自动化运行只需大约10分钟的时间，而对创建过的程序进行修改的话也只需不到5分钟。—————————————————————————————————————————————————————————

bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP——紧凑型高性能剖面仪和AFMBruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。 0.5 nm长期动态再现性用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量 亚纳米CMP自动计量的灵敏度，专用碟形和腐蚀计量包，用于无与伦比的过程控制和开发 20nm仿形平面度大于26mm针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量 在线计量结果以分钟为单位，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制在高级技术节点，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求，以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕新一代AFM扫描仪构建，在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度，小于10纳米。该系统的NanoScopeV 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度，以提高生产效率，所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项先进功能，可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。

bruker 全自动原子力显微镜 InSight AFP——第五代AFP具有业界高的分辨率、快的成型速度和快速的3D模具映射InSight AFP是世上性能*高、行业首-选的先进技术节点CMP轮廓和蚀刻深度计量系统。将其现代尖-端扫描仪与固有的稳定电容式压力计和精确的空气轴承定位系统相结合，可以在模具的活动区域进行非破坏性的直接测量。 0.3纳米长期稳定提供NIST可追踪的参考计量，并在一年内保持测量的稳定性260-340个站点/小时内联应用程序的*高生产效率减少MAM时间和优化的晶圆处理可保持高达50个晶圆/小时的吞吐量高达36000微米/秒仿形速度通过热点识别提供高分辨率3D特征*高分辨率，尖-端寿命长InSight AFP的TrueSense技术，具有原子力分析器经验证的长扫描能力。亚微米特征的蚀刻深度、凹陷和侵蚀可以完全自动化地监控，具有无与伦比的可重复性，无需依赖测试键或模型。-----蚀刻和CMP晶片的全自动在线过程控制Insight AFP结合了原子力显微镜的新创新，包括Bruker的专有CDMode，用于表征侧壁特征和粗糙度。CDmode减少了所需的横截面数量，实现了显著的成本节约。此外，AFP数据提供了无法通过其他技术获得的直接侧壁粗糙度测量。自动缺陷审查和分类当今集成电路的器件缺陷比以往任何时候都小，需要快速解决HVM需求。InSight AFP提供了有关半导体晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息，使制造商能够快速识别缺陷源并消除其对生产的影响。100倍高分辨率配准光学元件和AFM全局对准可使图案化晶圆和掩模的原始图像放置精度低于±250 nm，确保感兴趣的缺陷是测量的缺陷。该系统与KLARITY和大多数其他YMS系统完全兼容。3D模具映射和HyperMap™ 分析速度高达36000μm/sec，能够对33mm x 26mm及更大的闪光场进行快速、完整的3D CMP后表征和检查。超2纳米的平面外运动，实现真正的大规模地形和全自动抛光后热点检测。在本例中，在24小时内以1微米x 1微米像素大小获得了完整的标准26毫米x 33毫米十字线场扫描。然后可以使用Bruker的热点检测和审查功能自动检测和重新扫描热点。

用于缺陷分析和大型样品研究的领先纳米计量工具作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这款全球最精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。概述最强大全面的分析功能Park NX20具备独一无二的功能，可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。无与伦比的精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，真正非接触扫描模式让探针尖端更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。。即便是第一次接触原子显微镜的工程师也易于操作ParkNX20拥有业界最为便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。技术特点为FA和研究实验室提供精确的形貌测量解决方案样品侧壁三维结构测量NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必备的。对样品和基片进行表面光洁度测量表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精确的失效分析和质量保证。高分辨率电子扫描模式QuickStep SCM最快的扫描式电容显微镜PinPoint AFM无摩擦导电原子力显微镜多种独有的专利技术帮助顾客减少测试时间CrN样品所做的针尖磨损实验最佳AFM测量低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。没有前沿或后沿过冲现象终身无需校准，减少设备维护成本Park NX系列原子力显微镜传统的原子力显微镜Park NX20特点低噪声XYZ位置传感器行业领先的低噪声Z轴探测器代替Z电压作为形貌信号。低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。自动多点扫描 借助驱动样品台，步进扫描可编程步进扫描,多区域成像，以下是它的工作流程：扫描成像抬起悬臂移动驱动平台到设定位置进针重复扫描该自动化功能可大大减少扫描过程中人工移动样品所需时间，从而缩短测试时间，提高生产率。滑动嵌入SLD镜头的自主固定方式您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜镜头。该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置，同时与复位精度为几微米的电路系统相连接。借助于相关性低的SLD，显微镜可精确成像并可准确测定力-距离曲线。高级扫描探针显微镜模式和选项的扩展槽只需将可选模块插入扩展槽便可激活高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块设计，其生产线设备兼容性得到大大提高高速24位数字控制器所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理。 该控制器是个全数字，24位高速控制器，可确保True Non-Contact™ 模式下的成像精度和速度。凭借着低噪声设计和高速处理单元，该控制器也是纳米成像和精确电压电流测量的绝佳选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能，更好的解决方案，是高级研究员的最佳选择。XY和Z轴检测器的24位信号分辨率XY轴（50 μm）的分辨率为0.003nmZ轴（15 μm ）的分辨率为0.001 μm嵌入式数字信号处理功能三通道数码锁相放大器弹簧系数校准（热方法）数据Q控制集成式信号端口专用可编程信号输入/输出端口7个输入端口和3个输出端口

Park FX200创新型多功能200毫米样品原子力显微镜Park FX200，是Park Systems近期倾心推出的200毫米样品原子力显微镜。FX200拥有强大的机械结构，确保显著降低噪音、微小化热漂移并强化了稳定性，树立了精度和可靠性的新标准。其更快的Z伺服性能和增强的高功率样品视图提高了操作效率和成像能力，同时自动探针识别和更换、激光对准以及宏观光学全样品视图等功能简化了用户操作并大大提高了工作效率。凭借光学自动对焦、导航、多坐标顺序测量，自动AFM扫描参数设置和自动数据分析等功能，FX200成为了研究和工业应用的理想选择。其强大的性能和便捷的易用性，可有效改变纳米级成像和分析的现状，使科学家和工程师能够在各自的领域实现“质”的飞跃进步。 简化您的研究流程 丰硕您的研究成果！增强的原子力显微镜核心技术 更低的噪音和更小的热漂移增强的机械结构降低了操作噪音、热漂移，并实现了更集中的SLD光束，突破了以往的限制。这显著提高了测量精度和高分辨率成像能力。 小激光光斑尺寸&bull 通过物镜聚焦SLD光束，激光光斑尺寸小&bull 11µ m的SLD光束直径使快速成像悬臂更具适用性更快的Z伺服性能&bull 由强力压电叠层驱动，并由柔性结构引导 &bull 新的FX AFM电子控制器提供更快的Z伺服性能和更高的精度精准的AFM扫描模式凭借更快速、更精准的True Non-contact&trade 模式，Park FX200 在亚纳米尺度上实现了理想中的针尖与样品距离控制。精准且可重复的测量以提高生产效率非接触模式原子力显微镜的优势已被广泛认可，如：无针尖磨损，无样品损伤，保持高分辨率成像和高精度AFM测量。通过其基于柔性结构的强力Z扫描仪，Park有效实现了True Non-Contact&trade 模式。在该模式下，针尖与样品的距离成功保持在几纳米的净吸引力范围内。针尖振荡的小幅度弱化了针尖与样品的相互作用，从而实现了真正的针尖保护和可忽略不计的样品修改。精准强大的Park扫描系统 True Non-Contact&trade 模式技术可以处理晶圆和多样品它适用于各种样品尺寸（包括200毫米的晶圆），满足工业需求。真空卡盘可以固定多达16个小样品，支持在一次设置中进行多种实验。全面支持200毫米晶圆 可容纳200毫米的晶圆，这对半导体制造和材料科学研究至关重要。真空卡盘确保了高分辨率成像和精准测量的稳定定位，提高了测量多功能性和效率。可容纳多达16个小样品真空卡盘可以同时固定多达16个小尺寸的样品。该功能可在一次设置中进行多种实验，减少了停机时间并提高了效率，尤其适合需要快速分析多样品测量的实验室。智能自动化它自动化了包括探针识别和更换、激光对准和参数调节在内的关键任务，同时拥有16个探针槽，用于重复测量和模式转换。该自动化大大减少了停机时间并显著提高了测量效率。自动探针类型识别 自动探针更换 自动激光束对准 探针识别相机通过读取印在新探针芯片载体上的二维码，能显示每个针尖的相关信息（包括类型、型号、应用和使用情况）。该功能可以根据任务快速选择合适的探针，以确保测量的准确性和效率。自动探针更换功能则可以轻松安全地自动更换旧探针。16个探针槽用于重复测量和模式转换。快速自动的探针切换减少了停机时间并提高了效率。自动对准将激光束定位到悬臂的适当位置，并进一步调整激光点在PSPD上的垂直和横向位置。按下按钮时，它能自动调整X、Y和Z轴，生成高清无失真的图像。简化操作 自动对焦和导航 自动顺序测量 通过快速精准定位的简化分析，高级感兴趣区域（ROI）缩放使用大视场样品相机来显示整个200毫米晶圆。这大大减少了从广泛扫描到详细放大的目标区域定位时间。此外，精细的光学视野提供了高清晰度，可以解析小于1微米的线宽。它能在大型样品（如200毫米晶圆或多样品卡盘上的样品）上设置预定义坐标，并自动执行操作。同时支持包括成像和高级模式在内的顺序测量，简化了研究和工业环境中的工作流程。新一代高端产品原子力显微镜控制器Park FX控制器为提升Park FX系列的性能而设计。这一重要发展支持了高级压电响应力显微镜（PFM）应用，如接触共振PFM（CR-PFM）和双频共振跟踪（DFRT-PFM）。它无需额外硬件，即可确保我们的客户能够充分利用原子力显微镜取得理想进展。无需外部放大器的DFRT-PFM 增强安全性和实时环境监测 直接支持CR-PFM，具有更高的探针偏压调制带宽 更快的通讯连接，快速数据和图像处理

原子力显微镜（工业型）产品简介基于专利的、源自德国的主动式针尖技术，百及纳米科技开发了下一代工业智能型原子力显微镜系统，针对工业领域应用提供快速、智能的样品形貌表征，适用于工业型检错、质量评定和量化测量等，尤其适用于检测大尺寸晶圆或光学晶圆。系统集成了大尺寸样品位移台、全自动光学导航系统和配套自动控制软件，可对大尺寸样品进行的光学成像定位，根据光学成像结果自动标定多个准确测量区域，并根据缺陷/待测结构的特点进行模式识别，智能选取原子力显微镜测量参数，在样品多个位置间自动移动，进行可重复的高分辨率测量，生成检测书面报告，整个过程无需人工参与，实现对大尺寸样品形貌的智能化、自动化的高速、高质量纳米级测量。产品特点： 顶级自动化功能、测量过程无需激光调节、即插即用式针尖更换方案、快速自动进针， 针对高深宽比的沟槽或孔洞结构，采用特制的长针尖提供微纳米结构的三维形貌准确测量， 可升级至多针尖并行测量模式，大幅提高微纳结构表征的范围和效率， 可升级为基于针尖光刻的微纳米结构高性能加工系统，大气环境下快速直写5nm以下结构。功能指标样品尺寸100 mm x 100 mm (4英寸) 至 300 mm x 300 mm (12英寸)成像分辨率优于1 nm (水平方向：0.3 nm, 垂直方向：0.2 nm)样品台定位精度运动精度优于1nm，重复精度优于10nm，采用闭环回路定位准确控制。单场扫描范围 (X, Y, Z)35μm x 35μm x 10μm （备选: 100μm x 100μm x 30μm）测量模式1. 非接触式（形貌、相位、误差） 接触式&力曲线2. 扩展模式(导电探针(C-AFM)、开尔文探针力显微镜 (KPFM)、磁力显微镜 (MFM)、扫描针尖光刻 (SPL)等)

用于重样品与标准300mm尺寸大样品的针尖扫描型原子力显微镜 标准AFM系统300 mm x 300 mm 标准样品台适合最重至45kg样品Nanosurf是重型样品和大型样品的客户定制原子力显微镜系统的全球市场领导者。二十几年来，我们的研发团队为众多客户开发了定制化的原子力显微镜系统，积累了丰富的定制化经验。基于这些丰富的知识与积累，我们开发出了适用于标准300mm尺寸的大样品或最大45千克的重样品的标准化原子力显微镜系统Alphacen 300。与客户定制化系统相比，Alphacen 300大大降低了价格和交货时间。自动多点测量 Alphacen 300包括了功能强大的自动化软件，该软件允许用户在样品台范围上预选感兴趣的位置，让系统在无需用户介入的状态下进行多点自动测量。 Alphacen 300可对300mm x 300mm样品的每个位置进行测量Alphacen 300型原子力显微镜系统的标准载物台XY轴可移动300 mm x 300 mm，XY马达的分辨率小于1 μm，重复定位精度为2 μm；可测量300 mm样品上的每个点。根据需要，我们还可以修改载物台到更大的X方向移动范围（最大 500 mm）。

用于研发的灵活与多功能的原子力显微镜仪器简介：FlexAFM原子力显微镜是Nanosurf公司新研发的在大气环境和液体环境下都可以进行测试，并且可与倒置光学显微镜和温度样品台联用。可以满足绝大多数研究的需要。瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。技术参数：1，FLEXAFM原子力显微镜测量模式：接触式原子力显微镜（大气和液态环境），真正非接触式原子力显微镜（大气和液态环境），横向力/摩擦力显微镜（LFM），导电原子力显微镜，磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe），扫描热原子力显微镜（SThM），电容和静电力显微镜（EFM），高级的纳米光刻和纳米操作能力，音叉原子力显微镜，三维扫描成像。2，扫描范围：100 um；10 um3，Z方向范围：10um；3 um4，XY方向驱动分辨率：0.152 nm5，Z方向驱动分辨率：0.046 nm6，最小Z方向测量噪音水平：0.15nm7，样品尺寸：直径100mm主要特点：1，FlexAFM无论是在大气环境下还是在液体环境下都可以进行测试，操作和测试的方便程度是完全一样，没有什么区别。2，灵活弯曲结构的扫描头设计，可以引用于平的或粗糙的样品表面。XY-扫描通过电磁驱动，XY平面的运动是完全线性的 。Z方向的运动是通过压电陶瓷来驱动，Z方向的运动速度很快。3，激光光束进入液体时会发生一定偏移，通常实验时需要耐心和复杂的调整。而FlexAFM 使用了专利SureAlign&trade 的激光光学系统，无论是在大气下还是在液体中根本不需要做任何调整。所以FlexAFM 的激光信号永远处于最佳状态。4，两个方向的视窗，非常方便观察和针尖逼近。并且由于特别的设计，使得无论在大气环境还是液体环境得到同样质量的视像。5，FlexAFM 使用"Liquid Ready" easyScan 2控制器, 可以扩展STM 等技术。为了材料研发上的成功,科学家们依赖专业的工具来快速地提供需要的信息,不管是否是手头的任务. 通过开发关键技术与设计, Nanosurf使得Flex-Axiom成为一款迄今为止强大多功能而且灵活的AFM, 非常方便地进行各种各样材料研发方面的应用. 配合功能强大的C3000控制器, Flex-Axiom还可以进行更多复杂的材料表征应用. 几百个研究用户，多方面应用实例Flex-Axiom是您可信赖的工具，不管是在表面形貌还是计量成像上，不管在大气中还是液体环境中. 当然Flex-Axiom不仅仅可以用于表面形貌测量, 比如还可以进行高级纳米机械性能、电学或者磁学性能表征. 该系统更能有效地用于样品的微纳米操纵功能. Topography, KPFM, and MFM images of the same area of a stainless steel sample 精确而优越的性能方便您研发上的需求Flex-Axiom使用特殊的线性电磁平板扫描器用于XY移动. 该扫描器在全范围内的平均线性度误差小于0.1%, 属于AFM市场上的顶配. Z轴由压电驱动, 带有位置传感器可以实现闭环操作. 高敏感的悬臂梁探测系统可以测量到MHz测量范围. Flex-Axiom的测量头配置的是全功能的, 带有数字反馈与两个双通道锁放的最新24位C3000控制器.Imaging of single and multiple pyrene nanosheets and height analysis with sub-nanometer accuracy. Data courtesy: Mykhailo Vybornyi, University of Berne, Switzerland 模块化设计: 让您今天的预算物有所值，让您未来有更多机会增加配置或需求Flex-Axiom带有模块化的样品台设计与各种探针底座类型, 可以满足您当前与今后的需求. 基于C3000控制器, Flex-Axiom可配置14种AFM操作功能, 甚至更多可扩展功能, 可以进行更多材料开发上面的高级测量与实验研究. ECS 204电化学样品台, 举例来说, 可以进行样品的电化学与以及样品周围的环境控制, 这样就可以开发更多新的应用. 跟一些我们的高级研发用户一起, 用于大范围纳米刻蚀、手套箱内操作、磁阻感应功能都已经被开发出来. Large-area nano-lithography (Dr. Lu Shin Wong, Manchester, UK) Flex-Axiom in glove box (Dr. Philip Kim, Harvard University, US) Magneto-resistive sensing (Dr. Jo?o Gaspar, Braga, PT) Flex-Axiom的模块化概念可以轻松地让它升级到其他FlexAFM产品线 (如用于生命科学的Flex-Bio, 用于自动纳米机械性能分析的Flex-ANA以及用于细胞与纳米操纵的Flex-FPM)， 给您的Flex-Axiom系统提供了更多的升级与扩展的可能性. Flex-Bio Flex-ANA Flex-FPM 开发所有的实践细节，有益于日常操作FlexAFM视频选件集成了两个摄像头用于顶视与侧视, 可以让您快速地找到感兴趣区域并逼近针尖到样品表面位置，然后进行全自动逼近. Camera optics Top view Side view带有定位槽结构的探针底座可使用带有定位沟槽的探针. 该探针底座提供了微米级别定位精度, 更换探针无需调节激光； 可以让您更换探针后依然方便地找到样品同样的位置. Flex-Axiom 配件与附件 Flex-Axiom系统的核心是FlexAFM测量头与C3000控制器，它们由I100电气转接盒连接. 基于标准配置, Flex-Axiom具有多个选件与附件可以供选择, 专门设计用来提高更稳定与可靠的结果, 或者提供了更多新型测量功能与实验的可信性: 各种探针底座类型 FlexAFM视频选件，顶视与侧视双光学ECS 204 电化学样品台ATS 204 自动移动台Isostage主动式防震台环境控制来进行干燥或者低氧环境操作 高级隔声罩用于保护外界噪声与其他干扰

alpha300 RA –在一个系统里面集成化学成分分析和纳米级别的结构成像alpha300 RA 是市场上首个高度集成的拉曼原子力显微镜系统，可以在标准的Alpha 300R共聚焦拉曼系统上通过标准模块升级即可完成拉曼原子力系统联用，获得原位的AFM和Raman图像的叠加。alpha300 RA 独特的设计理念使联用系统既保留300R强大的化学组分分析能力，同时加入微纳级别的表面形貌等特性的分析能力，使研究者能对样品进行深度完善的分析和理解。 alpha300 RA 让拉曼和原子力两种互补的技术得以在一套系统里面实现，两种技术的性能完全不受联用的影响，而且使用同一个操作软件，使得操作和分析变得简单应用。拉曼和原子力显微镜使用不同的显微镜物镜，只需要简单转动物镜转盘，成像软件即可原位完成两种技术的图像对比，叠加和分析 此外alpha300 RA可进一步升级来配合TERS (高分辨拉曼)测量 拉曼原子力显微镜系统主要特点l 所有alpha300 R (拉曼) 和alpha300 A (原子力) 的性能集成到一个显微镜系统内l 优异的原位化学组分分析（拉曼）和微纳级别表面特征分析（原子力）的结合l 原子力和拉曼同时进行的绝佳选择l 严格原位，完全不需要在测量过程中移动样品l 只需要转动物镜转盘即可在两种测量技术之间简单切换 拉曼原子力显微镜系统应用实例 多组分高分子混合物，包含了1:1:1比例的聚苯乙烯（PS），充油丁苯橡胶（SRB）和丙烯酸乙基己酯（EHA）的原位拉曼及原子力图像对标最左边的拉曼成像: 绿色代表PS, 红色代表SRB，蓝色代表EHA.第二至第五张图像分别是样品的表面拓扑结构，相位，粘附力和粘度 金刚石压砧在单晶硅表面的压痕的应力分析，原位拉曼原子力图像左图：10x10um原子力表面拓扑结构和深度轮廓图，右图压痕周边的应力拉曼图像，紫色为未受应力影响，黄色为压力应变，灰色为张力应变 拉曼原子力显微镜系统性能通用拉曼操作模式l 拉曼光谱成像：连续扫描的拉曼高光谱全谱成像，每个样品点都能获得完整的拉曼光谱l 平面2D和包含深度Z方向的3D成像模式l 快速和慢速时间序列l 单点及Z方向深度扫描l 光纤耦合的UHTS 系列光谱仪，专为弱光应用的拉曼光谱设计l 共聚焦荧光显微镜功能l 明场显微镜功能 通用原子力显微镜操作模式l 接触模式l AC 模式（轻敲模式）l 数字脉冲力模式 (DPFM)l 抬高模式l 磁力显微镜模式 (MFM)l 静电力显微镜模式 (EFM)l 相位成像模式l 力曲线分析l 微纳操控及微纳印刷l 横向力模式 (LFM)l 化学力模式 (CFM)l 电流探测模式l 其他可选 基本显微镜指标l 研究级别的光学显微镜，6孔物镜转盘l 明场CCD相机，代替目镜观察样品l LED明场科勒照明l 电动XYZ样品台，25x25x20mm平移范围l 主动隔震平台 各类拉曼升级选项（如true surface等）l 多种激光可选择l 多种光谱仪可选择l 自动共聚焦拉曼成像l 自动多区域多点测量l 可升级超快拉曼图像模式(需配置EMCCD和Piezo样品台，可获得每秒1300张光谱的速度)l 可升级落射荧光照明l 自动聚焦功能l 显微镜观察法可选，如暗场，像差，偏光，微分干涉等 超高通光量UHTS光谱仪l 各类透射式波长优化谱仪可选 (UV, VIS or NIR)，均为弱光拉曼光谱设计l 光纤耦合，70%超高光通量l 优异的成像质量，光谱峰形对称无像差 控制电脑WITec控制和数据采集，处理软件

用于故障分析与敏感材料研究的高真空原子力显微镜Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比，高真空测量具有准确度高、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点，因此用户可测量各种故障分析应用中许多信号响应，例如扫描扩散电阻显微术(SSRM)的掺杂物浓度。Park NX-Hivac使得真空环境中高精准度和高分辨率测量的材料科学研究远离氧气与其它药剂的影响。在高真空条件下执行扫描扩散电阻显微镜测量可减少所需的针尖-样本相互作用力，从而大幅度降低对样本和针尖的损伤。如此可延长各针尖的使用寿命，使扫描更加低成本和便捷，并通过提高空间分辨率和信噪比得到更为精准的结果。因此，利用NX-Hivac进行的高真空扫描扩散电阻显微术测量可谓是故障分析工程师增加其吞吐量、减少成本和提高准确性的明智选择。Park Hivac 管理器NX-Hivac 真空自动控制Hivac 管理器通过一键单击在逻辑和视觉上精细控制真空条件，在抽气和排气过程来实现高真空。各个过程通过颜色和图示变化得到直观监控，一键单击后您即可无需操心真空操作顺序。更快速、更简便的真空控制软件使原子力显微镜的使用更便捷更有效。自动化特点NX-Hivac具有大量功能从而能够大大减少用户输入。换言之，您可以更快速地扫描，提高实验室产量。配备电控载物台的StepScan 自动化扫描StepScan允许用户能够对器件进行编程从实现而快速便捷地多区域成像。NX-Hivac让您只需五步即可完成样本扫描：扫描、提升悬臂、移动电动平台至用户定义坐标区域、进针及重复扫描。如此可有效提高生产率，大大减少用户输入。电动激光对准Park电动激光对准使用户无需输入即可无缝衔接自动化测量例程。凭借着我们专有的预准直悬臂架，在更换探针时激光已对准悬臂。只需要调整定位旋钮，便可在X和Y轴上任意定位激光光点，达到准确位置。提高精度和生产率NX-Hivac既是业界精准的高性能原子力显微镜，同时也是用于故障分析的简便的原子力显微镜之一。Park NX-Hivac帮您可以提高自己的生产效率，并确保取得靠谱的结果。闭环XY和Z轴扫描仪利用两个独立的闭环XY和Z轴挠曲扫描仪，您可以确信扫描的高精准度。NX-Hivac提供低残余弯曲的平面和正交XY轴扫描，使得整个扫描范围内的离面运动距离低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色还有非线性为低于0.5%的15 μm扫描范围的高速Z轴扫描仪，无需进行软件后期处理即可获得精准的二维和三位测量。低噪声XYZ轴位置传感器NX-Hivac具有Park原子力显微镜行业领跑的低噪声Z轴探测器功能，可准确测量样本形貌，同时低噪声XY轴闭环扫描将前后扫描间隙降低至扫描范围的0.15%。24位数字电子控制器NX-Hivac的一大特点是NX系列电子控制器可在节省时间同时实现高精度扫描。我们的控制器为全数字、24位高速器件，用户能够利用其执行一系列扫描，包括我们的真正非接触（True Non-Contact）模式。控制器具有低噪声设计和高速处理部件，是精密电压和电流测量及纳米级成像的理想之选。嵌入式电子产品同时具有数字信号处理特点，用户可轻松地分析测量值和成像。参数扫描器Z扫描器XY扫描器柔性引导高推动力扫描器扫描范围: 15 µ m (可选 30 µ m)高度信号噪声等级: 30 pm0.5 kHz bandwidth, rms (typical)闭环控制的柔性引导XY扫描器扫描范围: 100 µ m × 100 µ m(可选50 µ m × 50 µ m)驱动台Z位移台行程范围 聚焦样品台行程范围 XY位移台行程范围 24 mm (Motorized)11 mm (Motorized)22 mm x 22 mm (Motorized)样品架样品大小样品重量尺寸上限为 50 mm x 50 mm, 厚度甚至可达 20 mm 500 g光学10倍长工作距离镜头样品表面和悬臂的直观同轴影像视野CCD840 × 630 µ m (带10倍物镜)5 M pixel物理信息内真空室外部真空 (including granite & pump)300 mm x 420 mm x 320 mm800 mm x 950 mm x 1240 mm高真空真空等级托泵速通常小于 1 x 10-5 torr使用涡轮和干式泵在约5分钟内达到 10-5 torr软件SmartScan&trade XEI真空管理器AFM系统控制和数据采集软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的使用和更精密的扫描控制AFM数据分析软件自动真空控制软件电子集成功能外部信号接入4通道灵活的数字锁相放大器弹簧常数校准（热法，可选）数字Q控制20个嵌入式信号输入/输出端口5个TTL输出 : EOF、EOL、EOP、调制和交流偏置AFM模式(*Optionally available)标准成像力值测试介电/压电特性真正非接触原子力显微镜PinPoint&trade 原子力显微镜接触式原子力显微镜侧向力原子力显微镜(LFM)相位成像轻敲式原子力显微镜力距离(F/d)光谱力体积成像静电力显微镜 (EFM)动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)压电响应力显微镜 (PFM)高压PFM*机械性能磁学特性*电学特性力调制显微镜 (FMM)纳米压痕*纳米刻蚀*高压纳米刻蚀*纳米操纵*磁力显微镜(MFM)导电原子力显微镜(C-AFM)*电流-电压分光谱*开尔文探针力显微镜 (KPFM)扫描电容显微镜 (SCM)*扫描扩展电阻显微镜 (SSRM)*扫描隧道显微镜 (STM)*

Park FX40 纳米科学研发界应运而生的的新型全自动原子力显微镜该产品可以通过多样化的应用程序，不费吹灰之力即可获得最敏锐、最清晰、最高分辨率的扫描图像。通过前所未有的速度和精度，推动您研发进步并助力您的科学新发现——FX40将人工智能运用得淋漓尽致，全自动化的过程能实现用户纳米级显微镜的需求。额外的轴向自动激光校准、早期预警系统和故障自动保险、同步化信息提取和存储，让即便是未经原子力显微镜专业培训的研究科学家们也可以轻松快速地获得最满意的扫描结果。纳米级的显微镜 硬核级的科技进步- 鼎力相助时代前沿的科技研发- 研究型AFM中首次采用的双摄像头系统- 能全自动化实时更新海量数据 实现全自动技术的智能原子力显微镜Park FX只需鼠标一键操作，就能实现自动换针，以避免探针被污染或因操作不当而导致的探针损坏等问题。用户还可以根据提示，选择不同的探针类型，应用类型和使用信息等。 通过自动换针方式，用户可轻松安全地进行自动换针。利用装有8个针盒和磁控机制的便利性，用户无需操作便可安装探针。探针识别摄像头可以加载探针芯片载体上的二维码，提取并显示每个可用探针的探针类型，应用类型和使用信息等全部相关信息。自动激光校准功能将SLD光定位到悬臂梁的适当位置，并进一步分别优化PSPD的垂直和横向位置。用户只需简单点击，移动X,Y和Z轴便可得到毫不失真的高清扫描图。 双摄像头系统自动校准探针和样品位置 样品摄像头样品台上最多可以同时放置四个不同量级的样品。即便如此，样品摄像头也可以毫不费力地定位到相关位置进行精确扫描。 探针识别摄像头探针识别系统可以帮助用户搜索相关探针的全部信息（包括探针类型，应用类型和使用信息等）使研究工作事半功倍。只需一键便可轻松选择您所需要的探针。智能自动化FX40拥有一流的智能视觉系统，能自动检测探针是否正确定位。软件界面通过定位加载探针的位置至纳米级别，并在必要时生成错误状态报告，同时将这些数据与成千上万个可能发生的模拟问题进行比较，以此不断更新升级软件。 原子力显微镜中最快速精确的真正非接触模式对于针尖样品，非接触模式展现了其一流的控制力，距离达到了亚纳米级别。Park FX40拥有史无前例的快速且精确的非接触模式。环境传感器智能扫描仪显示并储存传感器的测量。传感器主要测量基本的环境条件，如温度，湿度，水平和振动。由此帮助用户在不同环境条件下扫描图像，为您筛选最佳的环境指标。 安全的探针安装系统用户可以自选手动或自动探针安装功能，同时内置的智能系统会自动检测并在用户错误安装探针时发出警告，从而有效提高测量精准度。 最佳AFM体验——专为FX设计的Park OS SmartScan简易单击成像设置自动探针检测，自动激光校准 简要的教学动画分分钟让您学会如何进行样品放置以及仪器成像设置1. 精准定位定位样品位置AFM自动执行悬臂的频率性扫描，接近样品的Z移动台, 然后自动聚焦，帮助您扫描任何您想要的区域。 2. 高清成像自动识别探针完成定位之后，系统会设置理想的参数，连接悬臂并扫描样品，直到为您扫出高解析度高分辨率的图像。

Bruker 全自动原子力显微镜 InSight AFP——第五代AFP具有业界高的分辨率、快的成型速度和快速的3D模具映射InSight AFP是世上性能*高、行业首-选的先进技术节点CMP轮廓和蚀刻深度计量系统。将其现代尖-端扫描仪与固有的稳定电容式压力计和精确的空气轴承定位系统相结合，可以在模具的活动区域进行非破坏性的直接测量。 0.3纳米长期稳定提供NIST可追踪的参考计量，并在一年内保持测量的稳定性260-340个站点/小时内联应用程序的*高生产效率减少MAM时间和优化的晶圆处理可保持高达50个晶圆/小时的吞吐量高达36000微米/秒仿形速度通过热点识别提供高分辨率3D特征*高分辨率，尖-端寿命长InSight AFP的TrueSense技术，具有原子力分析器经验证的长扫描能力。亚微米特征的蚀刻深度、凹陷和侵蚀可以完全自动化地监控，具有无与伦比的可重复性，无需依赖测试键或模型。-----蚀刻和CMP晶片的全自动在线过程控制Insight AFP结合了原子力显微镜的新创新，包括Bruker的专有CDMode，用于表征侧壁特征和粗糙度。CDmode减少了所需的横截面数量，实现了显著的成本节约。此外，AFP数据提供了无法通过其他技术获得的直接侧壁粗糙度测量。自动缺陷审查和分类当今集成电路的器件缺陷比以往任何时候都小，需要快速解决HVM需求。InSight AFP提供了有关半导体晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息，使制造商能够快速识别缺陷源并消除其对生产的影响。100倍高分辨率配准光学元件和AFM全局对准可使图案化晶圆和掩模的原始图像放置精度低于±250 nm，确保感兴趣的缺陷是测量的缺陷。该系统与KLARITY和大多数其他YMS系统完全兼容。3D模具映射和HyperMap&trade 分析速度高达36000μm/sec，能够对33mm x 26mm及更大的闪光场进行快速、完整的3D CMP后表征和检查。超2纳米的平面外运动，实现真正的大规模地形和全自动抛光后热点检测。在本例中，在24小时内以1微米x 1微米像素大小获得了完整的标准26毫米x 33毫米十字线场扫描。然后可以使用Bruker的热点检测和审查功能自动检测和重新扫描热点。售后服务Bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP——紧凑型高性能剖面仪和AFMBruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。 0.5 nm长期动态再现性用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量 亚纳米CMP自动计量的灵敏度，专用碟形和腐蚀计量包，用于无与伦比的过程控制和开发 20nm仿形平面度大于26mm针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量 在线计量结果以分钟为单位，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制在高级技术节点，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求，以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕新一代AFM扫描仪构建，在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度，小于10纳米。该系统的NanoScopeV 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度，以提高生产效率，所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项先进功能，可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。售后服

仪器简介：Nanite 原子力显微镜系统是纳米测量和成像的完美工具。该系统提供三维数据。原子力显微镜测量是非破坏性的，无需制备样品。此外，机械运动平台允许批量的，预编程测量，使用大型花岗岩自动X/Y/Z样品台可测试尺寸达180mm样品的不同区域，用户甚至可以定制更大的移动样品台。Nanite设计灵活、操作简单，是您理想的全自动研究级AFM系统。瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针原子力显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针原子力显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针原子力显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。技术参数：原子力显微镜测量模式: 接触式原子力显微镜，真正非接触式原子力显微镜，横向力/摩擦力显微镜（LFM），导电原子力显微镜，磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe），扫描热原子力显微镜（SThM），电容和静电力显微镜（EFM），高级的纳米光刻和纳米操作能力，音叉原子力显微镜，三维扫描成像。 ● 原子力显微镜扫描器最大测量范围：110um X & Y range，22um Z range ● 大尺寸样品台，全自动测量最大直径为160mm样品。 ● PZT/Voice Coil双模式技术AFM ● 全自动运动平台，马达驱动 ● 专利批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像 ● 先进的32-bit DSP控制器，专利反馈技术(扫描范围10um时最高扫描20 Hz,消除爬行现象) ● 可以进行纳米压痕和划痕实验 ● 专利光学系统， XY闭环扫描技术 ● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发主要特点：● 原子力显微镜扫描器最大测量范围：110um X & Y range，22um Z range● 大尺寸样品台，全自动测量最大直径为160mm样品。● PZT/Voice Coil双模式技术AFM● 全自动运动平台，马达驱动● 专利批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像● 先进的32-bit DSP控制器，专利反馈技术(扫描范围10um时最高扫描20 Hz,消除爬行现象)● 可以进行纳米压痕和划痕实验● 专利光学系统， XY闭环扫描技术● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发

Bruker原子力显微镜-- Dimension FastScan Bruker公司的AFM具有多项zhuan li技术，以其卓yue的性能广泛应用于科研和工业界各领域Dimension FastScanTM 原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM），在不损失Dimension Icon超高的分辨率和卓yue的仪器性能前提下，zui大限度的提高了成像速度。这项突破性的技术创新，从根本上解决了AFM成像速度慢的难题，大大缩短了各技术水平的AFM用户获得高质量数据的时间,是世界上扫描速度zui快的原子力显微镜。 应用：应用于科研和工业界各领域，涵盖了聚合物材料表征，集成光路测量，材料力学性能表征，MEMS制造，金属/合金/金属蒸镀的性质研究，液晶材料性能表征，分子器件，生物传感器，分子自组装结构，光盘存储，薄膜性能表征等领域的监测等各类科研和生产工作。原子力显微镜的工作模式是以针jian与样品之间的作用力的形式来分类的。主要有以下3种操作模式：接触模式（contact mode) ，非接触模式（ non - contact mode) 和敲击模式( tapping mode）。 特征：u 高xiao率 l 在空气或液体中成像速度是原来速度的 100 倍，自动激光调节和检测器调节，智能进针，大大缩短了实验时间。 l 自动测量软件和高速扫描系统完mei结合，大幅提高了实验数据的可信度和可重复性。 u 高分辨率 l FastScan 精确的力控制模式提高图像分辨率的同时，延长了探针的使用寿命。扫描速度 20Hz 时仍能获得高质量的 TappingModeTM图像，扫描速度 6Hz 仍能获得高质量的ScanAsyst 图像。 l 低噪音，温度补偿传感器展现出亚埃级的噪音水平。 u 在任何样品上均有表现 l 闭环控制的 Icon和 FastScan扫描管极大地降低了 Z方向噪音，使它们 Z 方向的噪音水平分别低于 30pm 和 40 pm，具有极低的热漂移率，可得到超高分辨的真实图像。 l Fast Scan 可以对不同样品进行测量，保证高度从埃级到 100 多纳米的样品高精度无失真扫描

产品简介多功能原子力显微镜平台，满足纳米级测量的需求原子力显微镜（AFM)有纳米级分辨率成像以及电、磁、热和机器性能测量的能力。纳米管扫描系统可用于高分辨率扫描离子电导显微镜（SICM)。倒置光学显微镜（IOM）便于透明材料研究和荧光显微镜一体化。通过验证的NX10性能通过倒置光学显微镜样品平台，Park NX12将Park原子力显微镜的多功能性和准确性相结合。这使得使用者更容易的使用纳米管技术去研究透明、不透明，或软或硬的样品。出众的电化测试平台电池，燃料电池，传感器和腐蚀等电化学研究是个快速增长的领域，然后许多原子力显微镜不能直接满足其特殊的需求。Park NX12的人性化设计，为快速操作提供便利，从而达到化学研究人员要求的功能性和灵活性。这主要包括：多功能易用电化学池惰性气体和湿度的环境控制选项双恒电位仪的兼容性研究人员可利用Park NX12平台实现各种电化学应用扫描电化学显微镜(SECM)扫描电化学池显微镜(SECCM)电化学原子力显微镜（EC-AFM）和电化学扫描隧道显微镜( EC-STM)技术信息多用户设备Park NX12完全重新构建，以适应许多用户设备需求。其他原子力显微镜解决方案缺乏必要的多功能性，难以满足该设备中用户的多重需求，很难合理控制设备成本。然而，Park NX12旨在能够容纳标准环境原子力显微镜成像，液体扫描探针显微镜，光学和纳米光学成像，使其成为灵活的原子力显微镜之一。模块化设计Park NX12是专门针对专业电化学研究人员需求量身定制的原子力显微镜平台。它基于化学和电化学性质，气体和液体中介质的特性，为扫描探针显微镜提供了一个通用的解决方案，可用于广泛的不透明和透明材料。Park NX12基于其广泛的可视光投置到扫描探针的扫描探针显微镜技术的纳米管，易用性强。Park NX12具有高精准度，是多用户设备和职业研究人员的理想平台。多功能应用Park NX12功能广泛，包括液体中的PinPointTM和纳米力学，倒置光学显微镜定位透明样品，离子电导显微镜软样品成像，以及改善透明样品光学性能的可视性。综合性的力谱方法Park NX12提供了一种在液态和空气中的纳米力学表征的完整解决方案，使其成为广泛应用中的理想选择。模块化NX12模块化设计，不仅安装简单且兼容性强，可以满足您的多种实验需求。Park SmartScan&trade 自动模式下的单击成像Park NX12配备了我们的SmartScan&trade 操作系统，使其成为市场上高速易使用的原子力显微镜之一。其界面直观给力，即使是未经培训的用户也可以无需监控，快速扫描样品。这使得专业研究人员能够将他们的经验专注在解决更大的问题和开发更好的方案。易使用性共享实验室的用户通常背景各异，经验水平各异。NX12为每个用户提供简单的点击界面和自动化SmartScan&trade 模式。打开原子力显微镜系统后，具体操作如下：1. 点击 “设置”系统出现一个小窗口，通过动画演示指导您如何仪器设置和放置待成像的样品。一般情况下，这一步仅需几分钟。2. 点击 “定位”系统自动对悬臂进行频率扫描，让 Z 轴扫描仪向样品靠近，并自动对焦样品，使用户看到成像目标区域后进行操作，移动到目标区域。3. 点击 “成像”系统设置实现优化设置所必要的参数，然后启用悬臂，开始扫描样品。持续扫描，直至获得完整图像。结束悬臂将从样本上移开，准备进行下一次样品成像操作。参数扫描器Z扫描器XY扫描器柔性引导高推动力扫描器扫描范围 : 15 µ m (可选 30 µ m)高度信号噪声等级: 30 pm0.5 kHz bandwidth, rms (typical)闭环控制的柔性引导XY扫描器扫描范围 : 100 µ m × 100 µ m驱动台Z位移台行程范围聚集样品台行程范围XY位移台行程范围25mm(Motorized)15mm(Motorized) 10mm x 10mm(Motorized)样品架样品尺寸样品重量开放空间 up to 50mm x 50mm, 厚度 up to 20 mm (建议使用 SPM 模式的样品尺寸小于 40 x 40mm) 500 g光学10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µ m分辨率)样品表面和悬臂的直观同轴影像视野CCD840 × 630µ m (带10倍物镜)500万像素 120万像素 (可选)软件SmartScanTMXEIAFM系统控制和数据采集的专用软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的高级使用和更精密的扫描控制AFM数据分析软件电子集成功能4通道数字锁相放大器弹性系数校准(热方法，可选)数据Q控制AFM模式（*可选项）标准成像力测量介电/压电性能*真正非接触式原子力显微镜PinPoint&trade 原子力显微镜接触式原子力显微镜横向力显微镜 (LFM)相位成像轻敲式原子力显微镜力-距离(F/d)光谱力谱成像静电力显微镜 (EFM)动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)压电力显微镜 (PFM)高压压电力显微镜机械性能磁学特性*电性能力调制显微镜 (FMM)纳米压痕*纳米刻蚀*高压纳米刻蚀*纳米操纵*磁力显微镜 (MFM)可调制磁力显微镜导电原子力显微镜 (C-AFM)*IV 谱线*扫描开尔文探针显微镜 (KPFM)扫描电容显微镜 (SCM)*扫描电阻显微镜 (SSRM)*扫描隧道显微镜 (STM)*光电流测绘 (PCM)*化学性能功能化探针的化学力显微镜电化学显微镜 (EC-AFM)原子力显微镜选项电化学电池Z扫描头电化学选项电化学电池通用液体电池的电化学工具包15 μm Z Scanner AFM head30 μm Z Scanner AFM head15 μm Z Scanner SICM module30 μm Z Scanner SICM module恒电位仪双恒电位仪环境控制选项温度控制液体池手套箱活细胞室温控台 1 -25℃ to +170℃温控台 2 Ambient to +250℃温控台 3 Ambient to +600℃通用液体池有液体/气体灌注的开放式或封闭式液体池 温度控制范围: 0℃ to +110 ℃(in air), 4℃ to +70℃ (with liquid)电化学池开放式液体池液下探针柄磁场发生器隔音罩专为在一般液体环境中成像而设计对大多数包括酸在内的缓冲溶液具有抗腐蚀性可在液体中进行接触式和非接触式原子力显微镜成像施加平行于样品表面的外部磁场可调磁场范围 : -300 ~ 300 gauss由纯铁芯和两个电磁线圈组成独立型 AE 204高级模式的入门套件易用于包含专用探针和样品的高级模式

NanoRacer® 高速原子力显微镜布鲁克 NanoRacer 高速 生物型原子力显微镜标志着量化成像能力的一次重大飞跃。在纳米分辨率下对动态生物过程进行实时的可视化从未如今天这般简单。NanoRacer为生命科学应用打开了一个新世界，充满令人兴奋的全新可能，使研究人员能够以一种迄今为止不可能的方式深入理解复杂的生物系统和分子机制。非同凡响50帧每秒与5000行每秒小悬臂具有进行最低力成像和最小样品损伤的能力。最高的扫描速度适用于先进力图描绘。自动化易于使用、直观操作、快速得到结果尖端工程技术，卓越的性能和稳定性。完全自动化设置。最先进的数据分析。前沿原子缺陷级分辨率 实时可视化动态生物过程，分辨率达纳米级。理解复杂的生物系统和分子动力学FEATURES高速AFM的新篇章：分子动力学实时观测，每秒50帧和真正的每秒5000行DNA折纸纳米结构包含在云母上的5个生物素结合位点，通过在具有链环的内部以每秒50帧和5000行/秒的速度成像在液体中存在链环. 点击图像观看视频。布鲁克 NanoRacer 高速 生物型原子力显微镜为生命科学应用打开了新的激动人心的可能性，使研究人员能够以前所未有的方式深入了解复杂的生物系统和分子机制： l 单分子结合行为l 二维蛋白质组装中的动态过程l 酶活性监测l 蛋白质结构的组装和解离过程l DNA折纸组装l 蛋白质/蛋白质相互作用l 马达蛋白和膜运输动力学l 病毒和细菌形态和动态过程云母上包含5个生物素结合位点的DNA折纸纳米结构，于具有链霉亲和素存在的流体中在闭环下以每秒50帧和每秒5000条线进行成像“许多生物分子中仍然隐藏着许多未被探索的秘密，为了揭示它们的功能活动中的未知之处，需要直接观察单个分子。NanoRacer是商业上最快的高速AFM，可以实时直接观察分子。它集成了许多创新的想法，易于操作和高性能，我最大的愿望是许多研究人员将使用NanoRacer实现他们的目标并取得令人兴奋的发现。”日本金泽大学纳米生命科学研究所（WPI-NanoLSI）Toshio Ando教授 出色的分辨率，卓越的稳定性，令人瞩目的准确性Atomic resolution of calcite crystal step edge, imaged in fluid, 3D topography 15 × 9 nm² [1], zoom 4 × 4 nm² [2]成像原子缺陷和亚分子分辨率现在已成为常规。NanoRacer拥有商业AFM系统中最低的噪声水平，这要归功于每个轴的高精度电子和增强精度定位传感器。NanoRacer反映了Bruker的BioAFM团队在将技术进步与稳定性、灵敏度和易用性相结合方面的开创性工作。在液体中拍摄的方解石晶体台阶边的原子分辨率，3D拓扑图为15×9nm² [1]，缩放图为4×4nm² [2]小型悬臂和最低力量，以减少样品损伤红外激光光热激发选项，可进行清洁的悬臂驱动，易于设置，最小化对脆弱样品的干扰 先进算法支持扫描控制和反馈 最小化力漂移，以进行长期实验 最高带宽数字电子，以最低噪音实现最佳性能 顶尖高速功率放大器，实现完美的扫描驱动 在所有轴上进行闭环扫描，以最低水平噪声，实现最高精度。在闭环的云母加PLO上，于液体中拍摄到的单个DNA分子。序列[4] + [5]被以50帧/秒的速度拍摄。点击图像观看视频。Individual DNA molecules imaged in fluid on mica+PLO in closed loop. Sequences [4] + [5] are imaged at 50 frames/sec. Click on the image to watch the video.发现全新的用户体验-一个为方便而设计的完整系统 轻松的样品和探针加载可搬运的样品载体，方便在工作台上进行样品制备几分钟内完成探针更换无需校准，采用闭环扫描器设计轻松导航通过集成摄像头以查找样品上感兴趣的区域通过直接注射进行流体交换全新设计的三口液体池用于光热激发布鲁克 NanoRacer 高速 生物型原子力显微镜标志着高速AFM的新篇章，将复杂、耗时的操作归于过去。该设计考虑到用户需求，因此具有坚固可靠的设计和许多新功能，即使是对AFM新手来说，也很容易使用。所有组件都设计成方便处理，从样品准备到完全电动和自动光学对准。简化的处理使数据收集变得容易，结果也很快。短的数据收集时间对于获得活性单分子样品的动态结果至关重要。 自动化悬臂对准 优化漂移补偿 自动光热激光对准选项 内置自动对焦相机 自动校准悬臂弹簧常数Seamless handling for preparation and imaging with the transportable sample scanner. Prepare the sample conveniently on the bench and load intothe NanoRacer to image.Key Features 最高成像速度可达50帧，每秒真正的5000行/秒，分辨率出色 直观易用的V7软件 新开发的高速头和扫描单元 自动化悬臂对准 坚固的同心设计，稳定性极高 针对小型和中型悬臂进行优化 尖端的电子学技术 可选配Bruker独有的PeakForce Tapping技术

产品简介该产品可以通过多样化的应用程序，不费吹灰之力即可获得最敏锐、最清晰、最高分辨率的扫描图像。通过前所未有的速度和精度，推动您研发进步并助力您的科学新发现——FX40将人工智能运用得淋漓尽致，全自动化的过程能实现用户纳米级显微镜的需求。额外的轴向自动激光校准、早期预警系统和故障自动保险、同步化信息提取和存储，让即便是未经原子力显微镜专业培训的研究科学家们也可以轻松快速地获得最满意的扫描结果。技术信息实现全自动技术的智能原子力显微镜Park FX只需鼠标一键操作，就能实现自动换针，以避免探针被污染或因操作不当而导致的探针损坏等问题。用户还可以根据提示，选择不同的探针类型，应用类型和使用信息等。 自动更换探针通过自动换针方式，用户可轻松安全地进行自动换针。利用装有8个针盒和磁控机制的便利性，用户无需操作便可安装探针。自动识别扫码探针识别摄像头可以加载探针芯片载体上的二维码，提取并显示每个可用探针的探针类型，应用类型和使用信息等全部相关信息。自动激光校准自动激光校准功能将SLD光定位到悬臂梁的适当位置，并进一步分别优化PSPD的垂直和横向位置。用户只需简单点击，移动X,Y和Z轴便可得到毫不失真的高清扫描图。双摄像头系统：自动校准探针和样品位置样品摄像头样品台上最多可以同时放置四个不同量级的样品。即便如此，样品摄像头也可以毫不费力地定位到相关位置进行精确扫描。探针识别摄像头探针识别系统可以帮助用户搜索相关探针的全部信息（包括探针类型，应用类型和使用信息等）使研究工作事半功倍。只需一键便可轻松选择您所需要的探针。智能自动化FX40拥有一流的智能视觉系统，能自动检测探针是否正确定位。软件界面通过定位加载探针的位置至纳米级别，并在必要时生成错误状态报告，同时将这些数据与成千上万个可能发生的模拟问题进行比较，以此不断更新升级软件。原子力显微镜中最快速精确的真正非接触模式对于针尖样品，非接触模式展现了其一流的控制力，距离达到了亚纳米级别。Park FX40拥有史无前例的快速且精确的非接触模式。高配安全系数安全的探针着陆装置——全面保护样品和探针Park采用防碰撞传感器装置和连锁软件相结合，可以更好地保护针尖和AFM扫描器。通过算法编程，Z移动台只能在针尖与样品表面碰撞的极限内升降，避免因探针与样品相碰而产生损害，极大地提高了生产力和测量精准度。 自我诊断型环境传感器智能扫描仪显示并储存传感器的测量。传感器主要测量基本的环境条件，如温度，湿度，水平和振动。由此帮助用户在不同环境条件下扫描图像，为您筛选最佳的环境指标。 安全的探针安装系统用户可以自选手动或自动探针安装功能，同时内置的智能系统会自动检测并在用户错误安装探针时发出警告，从而有效提高测量精准度。 最佳AFM体验——专为FX设计的Park OS SmartScan简易单击成像精要设置自动探针检测，自动激光校准简要的教学动画分分钟让您学会如何进行样品放置以及仪器成像设置。精准定位定位样品位置AFM自动执行悬臂的频率性扫描，接近样品的Z移动台, 然后自动聚焦，帮助您扫描任何您想要的区域。高清成像自动探针检测完成定位之后，系统会设置合适的参数，连接悬臂并扫描样品，直到为您扫出高解析度高分辨率的图像。参数扫描器XY扫描器Z扫描器构造单模块并联二维挠性扫描器比挠性扫描器更好的对称性XY扫描范围100μm x 100μm构造挠性导向强力扫描器比挠性扫描器更好的对称性Z扫描范围15μm驱动台Z位移台行程范围22mm（机动）装载样品装载磁性吸盘,可安放高达4个样品载片FX多功能嵌入式样品台视野视野CCD样品同轴视野与光学显微镜相同的视图510万像素像素大小：3.45μm x 3.45μm原子力显微镜控制器锁相放大器4通道集成 16Hz-5MHz配件自动换针装载探针使用自动换针技术可以在不到一分钟时间内更换使用探针载体装载

拉曼原子力显微镜型　号FM-NanoviewRa-AFM更新时间2022-10-17所属分类拉曼原子力显微镜产品描述：拉曼原子力显微镜FM-NanoviewRa-AFM◆ 同时集成拉曼光谱仪和原子力显微镜的功能，观测样品三维形貌的同时还可以分析样品的物质组分；◆ 内置10X复消色差光学系统，无需调焦，同时看到探针针尖和拉曼激光光斑；◆ 不移动样品可以从相同的点同时采集AFM和拉曼数据，原位检测样品的形貌信息与化学信息；◆ 激光检测头、激光耦合器和样品扫描台集成一体，稳定可靠；◆ 精密激光及探针。产品概述　　拉曼原子力显微镜技术参数 　　◆ 工作模式：接触、轻敲、F-Z力曲线测量、RMS-Z曲线测量、摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力和静电力 　　◆ 样品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm 　　◆ 扫描范围：XY向20um，Z向2um(可选配XY向50um，Z向5um) 　　◆ 扫描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm 　　◆ 样品移动范围：0~20mm 　　◆ 光学放大倍数10X，光学分辨率1um(可选配20X，光学分辨率0.8um) 　　◆ 扫描速率0.6Hz~4.34Hz，扫描角度0~360° 　　◆ 扫描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A 　　◆ 数据采样：14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样 　　◆ 反馈方式：DSP数字反馈 　　◆ 反馈采样速率：64.0KHz 　　◆ 通信接口：USB2.0/3.0 　　◆ 运行环境：WindowsXP/7/8/10操作系统 　　拉曼光谱仪： 　　◆ 激光波长：532±0.05nm,可选配785±0.05nm 　　◆ 激光连续输出功率：500Mw(50-600mW连续可调) 　　◆ 激光波长稳定性：0.05nm 　　◆ 激光功率稳定性：2%(两小时内) 　　◆ 激光器寿命：10000小时 　　◆ 拉曼漂移范围：50-4000cmˉ¹ 　　◆ 光谱分辨率：3cmˉ¹ 　　◆ 动态范围：8000:1 　　◆ 积分时间：17毫秒-100秒 　　◆ 线性度：99.8% 　　◆ 运行环境：WindowsXP/7/8操作系统 　　◆ 自动寻峰：支持 　　◆ 拉曼数据库：3000多种常见数据(选配)，支持升级 　　◆ 开发式拉曼数据库：支持 　　◆ 拉曼数据导入导出：支持 　　◆ 分析软件：Raman Analysis 2