硬质涂层的力学测量
类金刚石涂层(DLC)是目前改善许多零部件机械摩擦和摩擦学性能最常用的涂层之一[1,2]。类金刚石碳项包括不同类型的涂层或薄膜,其结构由非晶碳形成。数据链路控制器的主要类型有• 无氢类金刚石(通常称为 a-C),• 四面体非晶碳(ta-C),• 氢化四面体非晶碳(ta-C:H)。作为 DLC 涂层的一部分,还包括含有少量掺杂剂(如金属)的非晶碳膜。DLC 涂层通常采用物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)的方法沉积,有时采用等离子体增强(PECVD)的方法沉积。DLC 薄膜的典型厚度在几个微米的范围内,尽管有些 DLC 薄膜可以薄到几十纳米。本应用报告总结了使用压痕、划痕、摩擦学和涂层厚度测量来完整表征 DLC 涂层的机械性能、附着力和厚度。