The above picture shows the sample space of the probe stationThe above picture shows a custom sample holder and 4 DC probes. 美国ARS 公司的PS-L型液氦/液氮型低温探针台用于样品的非破坏性检测,测试灵活,广泛应用于直流(DC),射频(RF),MEMS, 纳米电子,超导性,纳米电路的光电特性,量子点和量子线,非破坏性测试等。 液氦/液氮型和闭循环低温探针台核心部件是相同的,可共用相同的桌面、真空腔和探针臂。如果您先购买了液氦/液氮型的探针台,那么可以在之后的任何时间内升级成一个闭循环(无任何制冷剂)的系统。 该类型探针台使用了ARS液氦/液氮型低温恒温器,样品温度因制冷剂不同可达~4K(液氦)或 ~77K(液氮)。 该系统旨在提供一个大的、干净的样本环境。真空室由焊接不锈钢制成,辐射防护罩由镀有镍的HC铜制成。镍镀层的低发射率和铜的高导电性使得样品空间的辐射屏蔽更冷,净制冷量更大。高质量的真空元件是至关重要的,因为它允许更深层的真空水平和更清洁的样品具有更好的电接触。 ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了系统的稳定性能,也利于系统的诊断和售后服务。 应用案例:l 电磁特性l 微波特性 l 低频,高频特性l MEMSl 纳米电子学l 超导特性l 纳米器件光电性能l 量子点及纳米线l 单电子l 低电流物理特性 典型结构l 液氦/液氮型低温恒温器l 传输管线-标准6英尺(8英尺或者10英尺)l 流量计l 10英寸的不锈钢真空腔带6个微操作探头端口和2个备用的NW80附件端口,安装在经阳极化处理的铝台面上,由铝制支撑架支撑l 8 英寸的镀镍无氧铜防热辐射屏l 2.25英寸的无氧铜接地样品座l DC, 微波或光纤探针l 4个温度计和2个加热器用于温度控制和监视l LS336四通道温度控制器带与恒温器连接电缆l 7:1变焦显微镜,分辨率小于2 微米,同轴或者环形光。包括一个高分辨的24寸的宽屏液晶显示器和显微镜光源 特点备注8英寸镀镍无氧铜防热辐射屏2.25英寸镀金无氧铜样品台可升级4英寸样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗多至8个三维微操作探针臂可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统:高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计(±12mK)、加热器温度计安装位置:1、冷头温度计,用于诊断2、样品台温度计及加热器,用于控制样品台温度,实现精确控温3、样品温度计,用于精确测量样品温度4、冷屏温度计及加热器,用于控制加热冷屏温度,实现快速换样三级减振系统样品台综合振动1微米样品台振动100nm7:1显微观测系统,3微米分辨率,环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式开环恒温器,液氦/液氮温度范围液氦~4K - 400K(可选500K,800K)液氮~77K - 400K(可选500K,800K)温度稳定性优于50mK泵抽真空时间机械泵约45分钟分子泵约10分钟降温时间约30到45分钟降温到5K真空腔不锈钢真空腔直径10英寸上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏直径8英寸上盖蓝宝石冷窗热连接至1级冷头样品台镀金无氧铜样品台2.25英寸直径样品台连接接地(标准)绝缘(可选)偏压,通过同轴电缆至外部BNC接头(可选)偏压到Guard,通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头(可选)探针臂位移台手动驱动不锈钢焊接波纹管连接X方向(轴向)2英寸行程Y方向(横向)1英寸行程(标准) 2英寸行程(可选)Z方向(垂直方向)0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动三级减振,样品台综合振动优于1微米温度计安装4个温度计,2套加热器4个温度计位置:1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近,用于精确测温 2套加热器位置:1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离:89毫米数值孔径:0.024-0.08光源:环形光源分辨率:3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器 可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离:89毫米数值孔径:0.0090-0.15光源:环形光源分辨率:2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头:SMA或BNC频率:0-100兆赫兹阻抗:50欧姆包含接地屏蔽接头 三同轴电缆接头:三同轴接头频率:0-100兆赫兹阻抗:50欧姆卡尔文探针电缆:同轴或三同轴接头:SMA/BNC/三同轴频率:0-100兆赫兹 针尖材料:钨针(标准)镀金钨针(可选)铍铜镀金(可选) 针尖半径:0.5微米(其他半径可选)GSG高频探针臂0-40GHz接头:K型接头电缆:半刚性同轴电缆针尖:钨针或铍铜针尖0-50GHz接头:2.4电缆:半刚性同轴电缆针尖:钨针或铍铜针尖0-67GHz接头:1.85电缆:半刚性同轴电缆针尖:钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头:SMA905公头光纤样品端:抛光裸头尺寸:100微米-400微米 典型案例PS-L Continuous flow probe station with leastomeric vibration isolators. This design features manual and motorized capabilities.
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