高画质的钨灯丝扫描电镜, 图象质量更进一步。通过高画质提升扫描电镜的分析能力和操作性, 凝聚日立最先进科技“独具匠心”。SU3500钨灯丝扫描电镜具有实现了“3kV加速电压7nm分辨率”的全新电子光学系统, 可实现实时立体成像的“实时立体观察功能”*1, 以及更高检测效率的 “UVD超高灵敏度可变压力检测器”*1。它为观察和分析提出了崭新的标准。*1:自选特点低加速电压观察时分辨率更高,可更好地观察样品最表面的细微形状和更有效地降低样品的损坏全新设计的电子光学系统和信号处理技术实现了高速扫描和低噪音的观察和以前的常规扫描电子显微镜相比*2,自动功能缩短*3了大约11秒具有在低真空时可以非常好地观察样品最表面的细微形状的“UVD(超高灵敏度可变压力探测器)”*4具有实现了实时立体成像的“实时立体观察功能”*4(*2):和日立SEM S-3400N相比(*3):根据观察条件的不同,时间会有变动(*4):自选规格 项目描述二次电子分辨率3.0nm(加速电压=30kV,WD=5mm高真空模式)7.0nm(加速电压=3kV,WD=5mm高真空模式)背散射电子分辨率4.0nm(加速电压=30kV,WD=5mm低真空模式)10.0nm(加速电压=5kV,WD=5mm高真空模式)放大倍率5 - 300,000倍(底片倍率*5)7 - 800,000倍(显示器显示倍率*6)加速电压0.3 - 30kV可变压力范围6 - 650Pa最大样品尺寸直径 200mm样品台X0 - 100mmY0 - 50mmZ5 - 65mmR360°T-20° - 90°可观察区域直径 130mm (旋转并用)最大样品高度80mm(WD=10mm)马达台5轴标配电子光学系统电子枪预对中的钨灯丝物镜光阑4孔可动光阑探检测器埃弗哈特 索恩利 二次电子探测器高灵敏度半导体背散射电子检测器EDX分析 WD10mm(取出角35°)图像显示操作系统Windows 7*7(如有更改,恕不另行通知)图像显示模式全屏模式(1,280 × 960 像素)小屏模式(800 × 600 像素)双图像显示(800 × 600 像素)四屏幕显示(640 × 480像素)信号混合模式排气系统操作全自动排气涡轮分子泵210升/秒 × 1机械泵135L/min(162L/min,60Hz)× 1(*2):以127mm×95mm(图像尺寸4"×5")的显示尺寸规定倍率(*3):以345mm×259mm(像素1,280×960)的显示尺寸规定倍率(*4):Windows是微软公司在美国和其他国家的注册商标
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