全自动原子力显微镜

美国Anasys公司的AFM+可以提供全面的原子力显微功能，具有强大的分析能力，使得AFM不仅仅是一个普通的成像工具，还可以进行材料纳米级尺度的成分分析，热性能和机械性能的分析。AFM+的主要特点：简洁的安装与操作 □ AFM+为最便利的使用而设计制造。探针预装在金属圆片上，确保探针位置的准确性和装针的便捷□ 仪器集几十年AFM设计大师的经验之大成，即使初次使用也能快速获取结果完整的AFM工作模式 □ 包含所有常规成像模式：接触、轻敲、相位、侧向力、力调制、力曲线□ 独有高分辨率低噪音的闭环成像□ 基于DI传承的多功能AFM，实现纳米热学，力学，电学和磁学测量：l 纳米热分析模块（nanoTA, SThM）l 洛仑兹接触共振模块（LCR）l 导电原子力显微镜镜（CAFM）l 开尔文电势显微镜（KPFM）l 磁力显微镜（MFM）l 静电力显微镜（EFM）独有的可升级功能□ 热学性能：独有的热探针技术，提供纳米级红外分析□ 机械性能：洛伦兹接触共振模式能够提供宽频纳米机械分析□ 化学性能：可升级具有纳米红外光谱技术，实现局部化学组分分析□ 近场成像：可升级具有散射式近场光学成像和光谱采集功能

Bruker 全自动原子力显微镜 InSight AFP——第五代AFP具有业界高的分辨率、快的成型速度和快速的3D模具映射InSight AFP是世上性能*高、行业首-选的先进技术节点CMP轮廓和蚀刻深度计量系统。将其现代尖-端扫描仪与固有的稳定电容式压力计和精确的空气轴承定位系统相结合，可以在模具的活动区域进行非破坏性的直接测量。 0.3纳米长期稳定提供NIST可追踪的参考计量，并在一年内保持测量的稳定性260-340个站点/小时内联应用程序的*高生产效率减少MAM时间和优化的晶圆处理可保持高达50个晶圆/小时的吞吐量高达36000微米/秒仿形速度通过热点识别提供高分辨率3D特征*高分辨率，尖-端寿命长InSight AFP的TrueSense技术，具有原子力分析器经验证的长扫描能力。亚微米特征的蚀刻深度、凹陷和侵蚀可以完全自动化地监控，具有无与伦比的可重复性，无需依赖测试键或模型。-----蚀刻和CMP晶片的全自动在线过程控制Insight AFP结合了原子力显微镜的新创新，包括Bruker的专有CDMode，用于表征侧壁特征和粗糙度。CDmode减少了所需的横截面数量，实现了显著的成本节约。此外，AFP数据提供了无法通过其他技术获得的直接侧壁粗糙度测量。自动缺陷审查和分类当今集成电路的器件缺陷比以往任何时候都小，需要快速解决HVM需求。InSight AFP提供了有关半导体晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息，使制造商能够快速识别缺陷源并消除其对生产的影响。100倍高分辨率配准光学元件和AFM全局对准可使图案化晶圆和掩模的原始图像放置精度低于±250 nm，确保感兴趣的缺陷是测量的缺陷。该系统与KLARITY和大多数其他YMS系统完全兼容。3D模具映射和HyperMap&trade 分析速度高达36000μm/sec，能够对33mm x 26mm及更大的闪光场进行快速、完整的3D CMP后表征和检查。超2纳米的平面外运动，实现真正的大规模地形和全自动抛光后热点检测。在本例中，在24小时内以1微米x 1微米像素大小获得了完整的标准26毫米x 33毫米十字线场扫描。然后可以使用Bruker的热点检测和审查功能自动检测和重新扫描热点。售后服务Bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP——紧凑型高性能剖面仪和AFMBruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。 0.5 nm长期动态再现性用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量 亚纳米CMP自动计量的灵敏度，专用碟形和腐蚀计量包，用于无与伦比的过程控制和开发 20nm仿形平面度大于26mm针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量 在线计量结果以分钟为单位，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制在高级技术节点，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求，以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕新一代AFM扫描仪构建，在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度，小于10纳米。该系统的NanoScopeV 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度，以提高生产效率，所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项先进功能，可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。售后服

AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。特点1. 自动化功能高度集成自动化功能追求高效率检测，降低检测中的人为操作误差2. 可靠性排除机械原因造成的误差，大范围水平扫描采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。AFM5500M搭载了新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。高精角度测量普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。3. 融合性亲密融合其他检测分析方式通过SEM－AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等。上图是AFM5500M拍摄的形貌像（AFM像）和电位像（KFM像）分别和SEM图像叠加的应用数据。 通过分析AFM图像可以判断，SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。 石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差。 SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。与其他显微镜以及分析仪器联用正在不断开发中。

AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。特点 1. 自动化功能 高度集成自动化功能追求高效率检测 降低检测中的人为操作误差 ? 4英寸自动马达台 自动更换悬臂功能2. 可靠性排除机械原因造成的误差大范围水平扫描 采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。AFM5500M搭载了最新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。 样品 ：硅片上的非晶硅薄膜高精角度测量 普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。 样品 : 太阳能电池(由于其晶体取向具有对称结构) * 使用AFM5100N（开环控制）时 3. 融合性亲密融合其他检测分析方式通过SEM－AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等。 SEM-AFM在同一视野观察实例（样品：石墨烯/SiO2） 上图是AFM5500M拍摄的形貌像（AFM像）和电位像（KFM像）分别和SEM图像叠加的应用数据。 通过分析AFM图像可以判断，SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。 石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差。 SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。 与其他显微镜以及分析仪器联用正在不断开发中。

Park FX40纳米科学研发界应运而生的的新型全自动原子力显微镜该产品可以通过多样化的应用程序，不费吹灰之力即可获得敏锐、清晰、高分辨率的扫描图像。通过前所未有的速度和精度，推动您研发进步并助力您的科学新发现——FX40将人工智能运用得淋漓尽致，全自动化的过程能实现用户纳米级显微镜的需求。额外的轴向自动激光校准、早期预警系统和故障自动保险、同步化信息提取和存储，让即便是未经原子力显微镜专业培训的研究科学家们也可以轻松快速地获得最满意的扫描结果。纳米级的显微镜 硬核级的科技进步- 鼎力相助时代前沿的科技研发- 研究型AFM中首次采用的双摄像头系统- 能全自动化实时更新海量数据实现全自动技术的智能原子力显微镜Park FX只需鼠标一键操作，就能实现自动换针，以避免探针被污染或因操作不当而导致的探针损坏等问题。用户还可以根据提示，选择不同的探针类型，应用类型和使用信息等。 通过自动换针方式，用户可轻松安全地进行自动换针。利用装有8个针盒和磁控机制的便利性，用户无需操作便可安装探针。探针识别摄像头可以加载探针芯片载体上的二维码，提取并显示每个可用探针的探针类型，应用类型和使用信息等全部相关信息。自动激光校准功能将SLD光定位到悬臂梁的适当位置，并进一步分别优化PSPD的垂直和横向位置。用户只需简单点击，移动X,Y和Z轴便可得到毫不失真的高清扫描图。 双摄像头系统自动校准探针和样品位置 样品摄像头样品台上最多可以同时放置四个不同量级的样品。即便如此，样品摄像头也可以毫不费力地定位到相关位置进行精确扫描。 探针识别摄像头探针识别系统可以帮助用户搜索相关探针的全部信息（包括探针类型，应用类型和使用信息等）使研究工作事半功倍。只需一键便可轻松选择您所需要的探针。智能自动化FX40拥有智能视觉系统，能自动检测探针是否正确定位。软件界面通过定位加载探针的位置至纳米级别，并在必要时生成错误状态报告，同时将这些数据与成千上万个可能发生的模拟问题进行比较，以此不断更新升级软件。 原子力显微镜中最快速精确的真正非接触模式对于针尖样品，非接触模式展现了其强大的控制力，距离达到了亚纳米级别。Park FX40拥有快速且精确的非接触模式。环境传感器智能扫描仪显示并储存传感器的测量。传感器主要测量基本的环境条件，如温度，湿度，水平和振动。由此帮助用户在不同环境条件下扫描图像，为您筛选环境指标。 安全的探针安装系统用户可以自选手动或自动探针安装功能，同时内置的智能系统会自动检测并在用户错误安装探针时发出警告，从而有效提高测量准确度。极好的AFM体验——专为FX设计的Park OS SmartScan简易单击成像设置自动探针检测，自动激光校准简要的教学动画分分钟让您学会如何进行样品放置以及仪器成像设置1. 准确定位定位样品位置AFM自动执行悬臂的频率性扫描，接近样品的Z移动台, 然后自动聚焦，帮助您扫描任何您想要的区域。 2. 高清成像自动识别探针完成定位之后，系统会设置理想的参数，连接悬臂并扫描样品，直到为您扫出高解析度高分辨率的图像。

bruker 全自动原子力显微镜 InSight AFP——第五代AFP具有业界高的分辨率、快的成型速度和快速的3D模具映射InSight AFP是世上性能*高、行业首-选的先进技术节点CMP轮廓和蚀刻深度计量系统。将其现代尖-端扫描仪与固有的稳定电容式压力计和精确的空气轴承定位系统相结合，可以在模具的活动区域进行非破坏性的直接测量。 0.3纳米长期稳定提供NIST可追踪的参考计量，并在一年内保持测量的稳定性260-340个站点/小时内联应用程序的*高生产效率减少MAM时间和优化的晶圆处理可保持高达50个晶圆/小时的吞吐量高达36000微米/秒仿形速度通过热点识别提供高分辨率3D特征*高分辨率，尖-端寿命长InSight AFP的TrueSense技术，具有原子力分析器经验证的长扫描能力。亚微米特征的蚀刻深度、凹陷和侵蚀可以完全自动化地监控，具有无与伦比的可重复性，无需依赖测试键或模型。-----蚀刻和CMP晶片的全自动在线过程控制Insight AFP结合了原子力显微镜的新创新，包括Bruker的专有CDMode，用于表征侧壁特征和粗糙度。CDmode减少了所需的横截面数量，实现了显著的成本节约。此外，AFP数据提供了无法通过其他技术获得的直接侧壁粗糙度测量。自动缺陷审查和分类当今集成电路的器件缺陷比以往任何时候都小，需要快速解决HVM需求。InSight AFP提供了有关半导体晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息，使制造商能够快速识别缺陷源并消除其对生产的影响。100倍高分辨率配准光学元件和AFM全局对准可使图案化晶圆和掩模的原始图像放置精度低于±250 nm，确保感兴趣的缺陷是测量的缺陷。该系统与KLARITY和大多数其他YMS系统完全兼容。3D模具映射和HyperMap™ 分析速度高达36000μm/sec，能够对33mm x 26mm及更大的闪光场进行快速、完整的3D CMP后表征和检查。超2纳米的平面外运动，实现真正的大规模地形和全自动抛光后热点检测。在本例中，在24小时内以1微米x 1微米像素大小获得了完整的标准26毫米x 33毫米十字线场扫描。然后可以使用Bruker的热点检测和审查功能自动检测和重新扫描热点。

bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP——紧凑型高性能剖面仪和AFMBruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。 0.5 nm长期动态再现性用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量 亚纳米CMP自动计量的灵敏度，专用碟形和腐蚀计量包，用于无与伦比的过程控制和开发 20nm仿形平面度大于26mm针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量 在线计量结果以分钟为单位，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制在高级技术节点，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求，以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕新一代AFM扫描仪构建，在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度，小于10纳米。该系统的NanoScopeV 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度，以提高生产效率，所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项先进功能，可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。

Bruker 全自动原子力显微镜 InSight AFP——第五代AFP具有业界高的分辨率、快的成型速度和快速的3D模具映射InSight AFP是世上性能*高、行业首-选的先进技术节点CMP轮廓和蚀刻深度计量系统。将其现代尖-端扫描仪与固有的稳定电容式压力计和精确的空气轴承定位系统相结合，可以在模具的活动区域进行非破坏性的直接测量。 0.3纳米长期稳定提供NIST可追踪的参考计量，并在一年内保持测量的稳定性260-340个站点/小时内联应用程序的*高生产效率减少MAM时间和优化的晶圆处理可保持高达50个晶圆/小时的吞吐量高达36000微米/秒仿形速度通过热点识别提供高分辨率3D特征*高分辨率，尖-端寿命长InSight AFP的TrueSense技术，具有原子力分析器经验证的长扫描能力。亚微米特征的蚀刻深度、凹陷和侵蚀可以完全自动化地监控，具有无与伦比的可重复性，无需依赖测试键或模型。-----蚀刻和CMP晶片的全自动在线过程控制Insight AFP结合了原子力显微镜的新创新，包括Bruker的专有CDMode，用于表征侧壁特征和粗糙度。CDmode减少了所需的横截面数量，实现了显著的成本节约。此外，AFP数据提供了无法通过其他技术获得的直接侧壁粗糙度测量。自动缺陷审查和分类当今集成电路的器件缺陷比以往任何时候都小，需要快速解决HVM需求。InSight AFP提供了有关半导体晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息，使制造商能够快速识别缺陷源并消除其对生产的影响。100倍高分辨率配准光学元件和AFM全局对准可使图案化晶圆和掩模的原始图像放置精度低于±250 nm，确保感兴趣的缺陷是测量的缺陷。该系统与KLARITY和大多数其他YMS系统完全兼容。3D模具映射和HyperMap&trade 分析速度高达36000μm/sec，能够对33mm x 26mm及更大的闪光场进行快速、完整的3D CMP后表征和检查。超2纳米的平面外运动，实现真正的大规模地形和全自动抛光后热点检测。在本例中，在24小时内以1微米x 1微米像素大小获得了完整的标准26毫米x 33毫米十字线场扫描。然后可以使用Bruker的热点检测和审查功能自动检测和重新扫描热点。售后服务Bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP——紧凑型高性能剖面仪和AFMBruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。 0.5 nm长期动态再现性用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量 亚纳米CMP自动计量的灵敏度，专用碟形和腐蚀计量包，用于无与伦比的过程控制和开发 20nm仿形平面度大于26mm针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量 在线计量结果以分钟为单位，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制在高级技术节点，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求，以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕新一代AFM扫描仪构建，在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度，小于10纳米。该系统的NanoScopeV 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度，以提高生产效率，所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项先进功能，可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。售后服

仪器简介：Nanite 原子力显微镜系统是纳米测量和成像的完美工具。该系统提供三维数据。原子力显微镜测量是非破坏性的，无需制备样品。此外，机械运动平台允许批量的，预编程测量，使用大型花岗岩自动X/Y/Z样品台可测试尺寸达180mm样品的不同区域，用户甚至可以定制更大的移动样品台。Nanite设计灵活、操作简单，是您理想的全自动研究级AFM系统。瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针原子力显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针原子力显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针原子力显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。技术参数：原子力显微镜测量模式: 接触式原子力显微镜，真正非接触式原子力显微镜，横向力/摩擦力显微镜（LFM），导电原子力显微镜，磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe），扫描热原子力显微镜（SThM），电容和静电力显微镜（EFM），高级的纳米光刻和纳米操作能力，音叉原子力显微镜，三维扫描成像。 ● 原子力显微镜扫描器最大测量范围：110um X & Y range，22um Z range ● 大尺寸样品台，全自动测量最大直径为160mm样品。 ● PZT/Voice Coil双模式技术AFM ● 全自动运动平台，马达驱动 ● 专利批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像 ● 先进的32-bit DSP控制器，专利反馈技术(扫描范围10um时最高扫描20 Hz,消除爬行现象) ● 可以进行纳米压痕和划痕实验 ● 专利光学系统， XY闭环扫描技术 ● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发主要特点：● 原子力显微镜扫描器最大测量范围：110um X & Y range，22um Z range● 大尺寸样品台，全自动测量最大直径为160mm样品。● PZT/Voice Coil双模式技术AFM● 全自动运动平台，马达驱动● 专利批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像● 先进的32-bit DSP控制器，专利反馈技术(扫描范围10um时最高扫描20 Hz,消除爬行现象)● 可以进行纳米压痕和划痕实验● 专利光学系统， XY闭环扫描技术● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发

用于缺陷分析和大型样品研究的领先纳米计量工具作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这款全球最精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。概述最强大全面的分析功能Park NX20具备独一无二的功能，可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。无与伦比的精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，真正非接触扫描模式让探针尖端更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。。即便是第一次接触原子显微镜的工程师也易于操作ParkNX20拥有业界最为便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。技术特点为FA和研究实验室提供精确的形貌测量解决方案样品侧壁三维结构测量NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必备的。对样品和基片进行表面光洁度测量表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精确的失效分析和质量保证。高分辨率电子扫描模式QuickStep SCM最快的扫描式电容显微镜PinPoint AFM无摩擦导电原子力显微镜多种独有的专利技术帮助顾客减少测试时间CrN样品所做的针尖磨损实验最佳AFM测量低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。没有前沿或后沿过冲现象终身无需校准，减少设备维护成本Park NX系列原子力显微镜传统的原子力显微镜Park NX20特点低噪声XYZ位置传感器行业领先的低噪声Z轴探测器代替Z电压作为形貌信号。低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。自动多点扫描 借助驱动样品台，步进扫描可编程步进扫描,多区域成像，以下是它的工作流程：扫描成像抬起悬臂移动驱动平台到设定位置进针重复扫描该自动化功能可大大减少扫描过程中人工移动样品所需时间，从而缩短测试时间，提高生产率。滑动嵌入SLD镜头的自主固定方式您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜镜头。该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置，同时与复位精度为几微米的电路系统相连接。借助于相关性低的SLD，显微镜可精确成像并可准确测定力-距离曲线。高级扫描探针显微镜模式和选项的扩展槽只需将可选模块插入扩展槽便可激活高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块设计，其生产线设备兼容性得到大大提高高速24位数字控制器所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理。 该控制器是个全数字，24位高速控制器，可确保True Non-Contact™ 模式下的成像精度和速度。凭借着低噪声设计和高速处理单元，该控制器也是纳米成像和精确电压电流测量的绝佳选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能，更好的解决方案，是高级研究员的最佳选择。XY和Z轴检测器的24位信号分辨率XY轴（50 μm）的分辨率为0.003nmZ轴（15 μm ）的分辨率为0.001 μm嵌入式数字信号处理功能三通道数码锁相放大器弹簧系数校准（热方法）数据Q控制集成式信号端口专用可编程信号输入/输出端口7个输入端口和3个输出端口

Park NX10原子力显微镜简介： NX10原子力显微镜是Park原子力显微镜公司功能最强大的一款原子力显微镜，这是一款全自动的原子力显微镜系统，扫描分辨率达到了0.02nm，集成了Park公司专利技术“非接触式工作模式”“智能扫描模式”“基于压电陶瓷堆积技术的平板扫描器”，并标配快速扫描模式，变速扫描模式，加上可选功能模块，使得NX10型原子力显微镜被广泛用于物理，化学，生物，医药学，细胞学，电学，力学，半导体，磁学等方向的研究。NX10型原子力显微镜技术特色：1）采用非接触式工作模式：Park公司是目前全球唯一一家真正实现非接触测量模式的原子力显微镜厂家，在不影响测量精度的前提下，可实现样品与针尖的非接触测量，避免了由于针尖磨损带来测量重复性差与探针磨损快的缺点。下图是测量CrN样品的实例，CrN样品的硬度很高，具有三角形结构，采用非接触模式测量100幅图后，图像质量几乎无变化，针尖几乎无磨损！！！2）探测器噪声水平为全球业界最低：0.02nm Z轴探测器是全新的NX系列原子力显微镜的核心技术改进之一,它是Park独创的新型应变传感器,凭借着0.2埃的超低噪声，它一跃成为行业内噪声最低的Z轴探测器,检测原子台阶及其容易。3）采用全球最高性能平板扫描器：采用专利技术得三轴分离的平板扫描器，在整个80μm的扫描范围内误差＜1nm !!!! 4）操作极其简单： - 具有“智能扫描模式”Smart scan：这是Park公司的专利技术之一，用户只需要选择扫描速度及扫描范围，系统即可自动调整反馈,无需寻找共振峰,无需调整反馈参数gain值 - 具有中文，英文等多种操作界面 - 凭借着我们先进的预准直悬臂架，悬臂在装载时激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同轴视角（行业独一无二）让您可以轻松地找到激光光点。由于激光垂直照射在悬臂上，您可以凭直觉旋动两个定位旋钮，将激光光点随着X轴和Y轴移动。这样，您可以在激光准直界面中，轻易地找到激光并将其定位在PSPD上。此时，您只需要稍作调整实现信号的最大化，便可开始获取数据。 5）具有全球最广泛的原子力显微镜模式：NX10原子力显微镜主要技术参数： - XY闭环扫描范围大：达100μm*100μm- Z向闭环扫描范围大：达15μm- 超高的测量分辨率：可达0.02nm- 全自动扫描范围：20mm*20mm- 具有快速扫描功能：最高达50HzNX10原子力显微镜部分测试实例：

产品介绍 致真精密仪器-晶圆级原子力显微镜AFM利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征，可实现大晶圆级大样品形貌表征,电动样品定位台与光学图像相结合,可在 300X300 mm 区域实现1 um的定位精度,激光对准,探针逼近和扫描参数调整完全自动化操作。致真精密仪器-晶圆级原子力显微镜AFM设备性能XY方向噪声水平0.2 nm闭环,0.02nm开环★Z方向噪声水平0.06nm闭环,0.03nm开环★XY方向非线性度0.15% Z方向非线性度:1%扫描范围90umX90umX9um(典型值)80umX80umX8.5um(最小值)鸢0.58 x~7 x光学变倍镜头,光学分辨率可达3.45 um,可3 mm焦距微调样品尺寸:可检测12英寸晶圆并且向下兼容8、6、4英寸以及碎片样品,可自动上下料(选配)全自动探针逼近系统,行程35 mm,步进精度50 nm致真精密仪器-晶圆级原子力显微镜AFM设备特色工作模式:接触模式、轻敲模式、非接触模式、相位成像等工作模式适配环境:空气、液相可旋转式扫描头，更方便于更换探针以及多功能探针夹自动化位移台搭配0.58x~7x变倍光学变倍镜头更方便寻找样品适配12英寸晶圆并向下兼容各种晶圆尺寸多功能配置:力曲线/力谱测量、表面电势测量、横向力显微镜、静电力显微镜、磁力显微镜、压电力显微镜、扫描开尔文探针显微镜 刻蚀和纳米操作

Park FX40 纳米科学研发界应运而生新型全自动原子力显微镜该产品可以通过多样化的应用程序，不费吹灰之力即可获得最敏锐、最清晰、最高分辨率的扫描图像。通过前所未有的速度和精度，推动您研发进步并助力您的科学新发现——FX40将人工智能运用得淋漓尽致，全自动化的过程能实现用户纳米级显微镜的需求。额外的轴向自动激光校准、早期预警系统和故障自动保险、同步化信息提取和存储，让即便是未经原子力显微镜专业培训的研究科学家们也可以轻松快速地获得最满意的扫描结果。纳米级的显微镜 硬核级的科技进步鼎力相助时代前沿的科技研发研究型AFM中首次采用的双摄像头系统能全自动化实时更新海量数据————————————————————————————————————————————————实现全自动技术的智能原子力显微镜Park FX只需鼠标一键操作，就能实现自动换针，以避免探针被污染或因操作不当而导致的探针损坏等问题。用户还可以根据提示，选择不同的探针类型，应用类型和使用信息等。 —————自动更换探针通过自动换针方式，用户可轻松安全地进行自动换针。利用装有8个针盒和磁控机制的便利性，用户无需操作便可安装探针。———————自动识别掃码探针识别摄像头可以加载探针芯片载体上的二维码，提取并显示每个可用探针的探针类型，应用类型和使用信息等全部相关信息。——————自动激光校准自动激光校准功能将SLD光定位到悬臂梁的适当位置，并进一步分别优化PSPD的垂直和横向位置。用户只需简单点击，移动X,Y和Z轴便可得到毫不失真的高清扫描图。双摄像头系统自动校准探针和样品位置样品摄像头样品台上最多可以同时放置四个不同量级的样品。即便如此，样品摄像头也可以毫不费力地定位到相关位置进行精确扫描。探针识别摄像头探针识别系统可以帮助用户搜索相关探针的全部信息（包括探针类型，应用类型和使用信息等）使研究工作事半功倍。只需一键便可轻松选择您所需要的探针。————————————————————————————————————————————————智能自动化FX40拥有一流的智能视觉系统，能自动检测探针是否正确定位。软件界面通过定位加载探针的位置至纳米级别，并在必要时生成错误状态报告，同时将这些数据与成千上万个可能发生的模拟问题进行比较，以此不断更新升级软件。 ———————————————————————————————————————————————— 原子力显微镜中最快速精确的真正非接触模式对于针尖样品间距离，Park创新的非接触模式展现了其优异的控制力，距离达到了亚纳米级别。Park FX40拥有理想的快速且精准的非接触模式。 安全的探针着陆装置——全面保护样品和探针Park采用防碰撞传感器装置和连锁软件相结合，可以更好地保护针尖和AFM扫描器。通过算法编程，Z移动台只能在针尖与样品表面碰撞的极限内升降，避免因探针与样品相碰而产生损害，极大地提高了生产力和测量精准度。————————————————————————————————————————————————最佳AFM体验——专为FX设计的Park OS SmartScan简易单击成像1. 精要设置自动探针检测，自动激光校准简要的教学动画分分钟让您学会如何进行样品放置以及仪器成像设置。2. 精准定位定位样品位置AFM自动执行悬臂的频率性扫描，接近样品的Z移动台, 然后自动聚焦，帮助您扫描任何您想要的区域。3. 高清成像自动探针检测完成定位之后，系统会设置合适的参数，连接悬臂并扫描样品，直到为您扫出高解析度高分辨率的图像。

用于研发的灵活与多功能的原子力显微镜仪器简介：FlexAFM原子力显微镜是Nanosurf公司新研发的在大气环境和液体环境下都可以进行测试，并且可与倒置光学显微镜和温度样品台联用。可以满足绝大多数研究的需要。瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。技术参数：1，FLEXAFM原子力显微镜测量模式：接触式原子力显微镜（大气和液态环境），真正非接触式原子力显微镜（大气和液态环境），横向力/摩擦力显微镜（LFM），导电原子力显微镜，磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe），扫描热原子力显微镜（SThM），电容和静电力显微镜（EFM），高级的纳米光刻和纳米操作能力，音叉原子力显微镜，三维扫描成像。2，扫描范围：100 um；10 um3，Z方向范围：10um；3 um4，XY方向驱动分辨率：0.152 nm5，Z方向驱动分辨率：0.046 nm6，最小Z方向测量噪音水平：0.15nm7，样品尺寸：直径100mm主要特点：1，FlexAFM无论是在大气环境下还是在液体环境下都可以进行测试，操作和测试的方便程度是完全一样，没有什么区别。2，灵活弯曲结构的扫描头设计，可以引用于平的或粗糙的样品表面。XY-扫描通过电磁驱动，XY平面的运动是完全线性的 。Z方向的运动是通过压电陶瓷来驱动，Z方向的运动速度很快。3，激光光束进入液体时会发生一定偏移，通常实验时需要耐心和复杂的调整。而FlexAFM 使用了专利SureAlign&trade 的激光光学系统，无论是在大气下还是在液体中根本不需要做任何调整。所以FlexAFM 的激光信号永远处于最佳状态。4，两个方向的视窗，非常方便观察和针尖逼近。并且由于特别的设计，使得无论在大气环境还是液体环境得到同样质量的视像。5，FlexAFM 使用"Liquid Ready" easyScan 2控制器, 可以扩展STM 等技术。为了材料研发上的成功,科学家们依赖专业的工具来快速地提供需要的信息,不管是否是手头的任务. 通过开发关键技术与设计, Nanosurf使得Flex-Axiom成为一款迄今为止强大多功能而且灵活的AFM, 非常方便地进行各种各样材料研发方面的应用. 配合功能强大的C3000控制器, Flex-Axiom还可以进行更多复杂的材料表征应用. 几百个研究用户，多方面应用实例Flex-Axiom是您可信赖的工具，不管是在表面形貌还是计量成像上，不管在大气中还是液体环境中. 当然Flex-Axiom不仅仅可以用于表面形貌测量, 比如还可以进行高级纳米机械性能、电学或者磁学性能表征. 该系统更能有效地用于样品的微纳米操纵功能. Topography, KPFM, and MFM images of the same area of a stainless steel sample 精确而优越的性能方便您研发上的需求Flex-Axiom使用特殊的线性电磁平板扫描器用于XY移动. 该扫描器在全范围内的平均线性度误差小于0.1%, 属于AFM市场上的顶配. Z轴由压电驱动, 带有位置传感器可以实现闭环操作. 高敏感的悬臂梁探测系统可以测量到MHz测量范围. Flex-Axiom的测量头配置的是全功能的, 带有数字反馈与两个双通道锁放的最新24位C3000控制器.Imaging of single and multiple pyrene nanosheets and height analysis with sub-nanometer accuracy. Data courtesy: Mykhailo Vybornyi, University of Berne, Switzerland 模块化设计: 让您今天的预算物有所值，让您未来有更多机会增加配置或需求Flex-Axiom带有模块化的样品台设计与各种探针底座类型, 可以满足您当前与今后的需求. 基于C3000控制器, Flex-Axiom可配置14种AFM操作功能, 甚至更多可扩展功能, 可以进行更多材料开发上面的高级测量与实验研究. ECS 204电化学样品台, 举例来说, 可以进行样品的电化学与以及样品周围的环境控制, 这样就可以开发更多新的应用. 跟一些我们的高级研发用户一起, 用于大范围纳米刻蚀、手套箱内操作、磁阻感应功能都已经被开发出来. Large-area nano-lithography (Dr. Lu Shin Wong, Manchester, UK) Flex-Axiom in glove box (Dr. Philip Kim, Harvard University, US) Magneto-resistive sensing (Dr. Jo?o Gaspar, Braga, PT) Flex-Axiom的模块化概念可以轻松地让它升级到其他FlexAFM产品线 (如用于生命科学的Flex-Bio, 用于自动纳米机械性能分析的Flex-ANA以及用于细胞与纳米操纵的Flex-FPM)， 给您的Flex-Axiom系统提供了更多的升级与扩展的可能性. Flex-Bio Flex-ANA Flex-FPM 开发所有的实践细节，有益于日常操作FlexAFM视频选件集成了两个摄像头用于顶视与侧视, 可以让您快速地找到感兴趣区域并逼近针尖到样品表面位置，然后进行全自动逼近. Camera optics Top view Side view带有定位槽结构的探针底座可使用带有定位沟槽的探针. 该探针底座提供了微米级别定位精度, 更换探针无需调节激光； 可以让您更换探针后依然方便地找到样品同样的位置. Flex-Axiom 配件与附件 Flex-Axiom系统的核心是FlexAFM测量头与C3000控制器，它们由I100电气转接盒连接. 基于标准配置, Flex-Axiom具有多个选件与附件可以供选择, 专门设计用来提高更稳定与可靠的结果, 或者提供了更多新型测量功能与实验的可信性: 各种探针底座类型 FlexAFM视频选件，顶视与侧视双光学ECS 204 电化学样品台ATS 204 自动移动台Isostage主动式防震台环境控制来进行干燥或者低氧环境操作 高级隔声罩用于保护外界噪声与其他干扰

Park NX20原子力显微镜简介： NX20原子力显微镜是Park原子力显微镜公司功能最强大的大尺寸原子力显微镜，这是一款全自动的原子力显微镜系统，可容纳样品的最大尺寸达300mm*300mm，扫描分辨率0.02nm，集成了Park公司专利技术“非接触式工作模式”“智能扫描模式”“基于压电陶瓷堆积技术的平板扫描器”，并标配快速扫描模式，变速扫描模式，多种测量模式可选，NX20型原子力显微镜被广泛用于半导体，LCD，LED，OLED，硬盘等工业领域。NX20型原子力显微镜技术特色：1）采用非接触式工作模式：Park公司是目前全球唯一一家真正实现非接触测量模式的原子力显微镜厂家，在不影响测量精度的前提下，可实现样品与针尖的非接触测量，避免了由于针尖磨损带来测量重复性差与探针磨损快的缺点。下图是测量CrN样品的实例，CrN样品的硬度很高，具有三角形结构，采用非接触模式测量100幅图后，图像质量几乎无变化，针尖几乎无磨损！！！ 2）探测器噪声水平为全球业界最低：0.02nm Z轴探测器是全新的NX系列原子力显微镜的核心技术改进之一,它是Park独创的新型应变传感器,凭借着0.2埃的超低噪声，它一跃成为行业内噪声最低的Z轴探测器,检测原子台阶及其容易。3）采用全球最高性能平板扫描器：采用专利技术得三轴分离的平板扫描器，在整个80μm的扫描范围内误差＜1nm !!!!4）操作极其简单： - 具有“智能扫描模式”Smart scan：这是Park公司的专利技术之一，用户只需要选择扫描速度及扫描范围，系统即可自动调整反馈,无需寻找共振峰,无需调整反馈参数gain值 - 具有中文，英文等多种操作界面 - 凭借着我们先进的预准直悬臂架，悬臂在装载时激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同轴视角（行业独一无二）让您可以轻松地找到激光光点。由于激光垂直照射在悬臂上，您可以凭直觉旋动两个定位旋钮，将激光光点随着X轴和Y轴移动。这样，您可以在激光准直界面中，轻易地找到激光并将其定位在PSPD上。此时，您只需要稍作调整实现信号的最大化，便可开始获取数据。 5）具有全球最广泛的原子力显微镜模式： 6）工业级别的XEA软件：具有自动识别，自动扫描，自动分析功能，大大节约了人工操作的误差及浪费的时间。 7）导电原子力显微镜： Park导电原子力显微镜在市场中竞争力最强，不但有着全行业最低的电流噪声，且增益范围也是最大，并且可实现电流快速扫描功能，是半导体测试电流的标准。 - 业内最低的电流噪声(50fA) - 业内最大的电流(10mA)NX20型原子力显微镜主要技术参数：- XY闭环扫描范围大：达100μm*100μm- Z向闭环扫描范围大：达15μm- 超高的测量分辨率：可达0.02nm- 全自动扫描范围：200mm*200mm（300mm*300mm）- 具有快速扫描功能：最高达100Hz

仪器介绍：性能优越 原子级分辨率和稳定度 大样品腔设计，适应性强 主控制系统采用德州仪器(TI)32位高性能数字信号处理器(DSP} 高压扫描驱动采用APEX集成高压运算放大器 主控制系统内置实时操作系统 系统采用快速以太网接口(Fast Ethernet)与计算机连接功能强大 原子力显微镜(AFM) 扫描隧道显微镜(STM) 横向力/摩擦力显微镜(LFM) I-V，I一Z、力一距离等多种曲线测量分析 在线实时三维图像显示，检测过程可即时得到更直观的形貌和丰富的细节 多通道信号同时采集和显示，一次扫描即可同时得到样品多种性质与特征 具有图像及曲线数据导出功能，可取得全部原始数据 探针表征和图像重建功能(针尖形貌估算/图像重建/用已知探针重建图像)操作简便 全程全自动进针，无需手工粗调 只需更换探针架，即可在STM和AFM等不同类型仪器中切换 全数字控制，仪器类型、系统状态等参数智能识别和控制 软件控制样品移动 当前全部工作环境参数和扫描图像同步保存 样品粒度和粗糙度自动分析功能，可得到国家、国际相关标准的全系列参数服务完善 业内唯一800免费技术支持热线 业内唯一南北(京广)均设有机构，为用户提供最贴身的服务 专家级的技术支持、服务团队 长期以最优惠的价格向用户提供全系列探针技术指标系统功能 原子力显微镜(Atomic Farce Microscope, AFM )‘ 横向力/摩擦力显微镜(Lateral Force Microscope, LFM )‘ 扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope, 5TM )’分辨率 扫描隧道显微镜(S丁M):：横向0.1 nm,垂直0.01 nm 原子力显微镜}AFM)：横向0.2nm.垂直0.1 nm参数性能 x 一y 扫乎苗范围：~10μm Z方向扫描范围：~2μm 图像分辨率：128x1 28 , 256x256, 512x512, 1024x1024 扫描角度：0~360° 扫描频率：0.1一100Hz主控制系统 中央处理器：德州仪器(TI) 32位数字信号处理器(DSP) 高速16-bit DAC 高速16-bit ADC 高压扫描驱动：5路APEX集成高压运算放大器 通信接口： 1 0M/ 100M 快速以太网(Fast Ethernet 10/100)接口机械性能 样品尺寸:最大可达直径45mm，厚度15mm 全自动步进电机控制进样系统:行程15mm，定位精度50nm/步 软件系统 基干Windows XP/2000/9X 的在线控制软件和图像处理软件

ParkNX-3DM自动化工业级原子力显微镜助力高分辨率3D测量Park Systems推出的NX-3DM全自动原子力显微镜系统，专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角测量设计。借助独有的XY轴和Z轴独立扫描系统和倾斜式Z轴扫描器，NX-3DM成功克服精确侧壁分析中的法向和喇叭形头所带来的挑战。在True Non-Contact&trade 模式下，NX-3DM可实现带有高长宽比尖端的柔软光刻胶的无损测量。 前所未有的精确度随着半导体越变越小，设计如今需要做到纳米级，但是传统的测量工具无法满足纳米级设计和制造所要求的精确度。面对这一行业测量挑战，Park原子力显微镜取得众多技术突破，如串扰消除，其可以实现无伪影和无损成像；全新的3D原子力显微镜，让侧壁和侧凹特征的高分辨率成像成为可能。前所未有的通量 受限于低通量，纳米级设计无法用于生产质量控制中，但原子力显微镜让这一切成为可能。随着Park Systems发布的高通量解决方案，原子力显微镜也得以进入自动化线上制造领域。这其中包括创新的磁性探针更换功能，成功率高达99%，高于传统的真空技术。此外，流程和通量优化需要客户积极配合，提供完整的原始数据。前所未有成本效益纳米测量的精确性和高通量需要搭配高成本效益的解决方案，才能够从研究领域扩展到实际生产应用中。面对这一成本挑战，Park Systems带来了工业级的原子力显微镜解决方案，让自动化测量更快、更高效，让探针更耐久！我们放弃了慢速又昂贵的扫描电子显微镜，转而采用高效、自动化且价格实惠的3D原子力显微镜，进一步降低线上工业制造的测量成本。现如今，制造商需要3D信息来表现沟槽轮廓和侧壁变异特征，从而准确找到新设计中的缺陷。模块化原子力显微镜平台实现快速的软硬件更换，从而是升级更划算，不断优化复杂且苛刻的生产质量控制测量。此外，我们的原子力显微镜探针使用寿命延长至少2倍，进一步减少购置成本。传统的原子力显微镜采用轻敲式扫描，这让探针更易磨损，但我们的True Non-Contact&trade 模式能够有效地保护探针，延长其使用寿命。——————————————————————————————————————侧壁和侧凹高分辨率成像侧壁和侧凹临界尺寸(CD)测量NX-3DM的倾斜式Z轴扫描器设计让探针能够扫描到光刻胶的侧壁和侧凹结构。独有的XY轴和Z轴解耦扫描系统和倾斜式Z轴扫描器Z轴扫描器可在 -19到+19度和-38到+38度之间随意摆动法向高长宽比的探针带来高分辨率成像XY轴扫描范围可达100 μm x 100 μm高强度Z轴扫描器带来最大25 μm的Z轴扫描范围——————————————————————————————————————完整的侧壁3D测量高分辨率侧壁粗糙度借助超锋利的探针尖端，NX-3DM的倾斜式Z轴扫描器可接近侧壁，带来高分辨率的侧壁粗糙度细节。侧壁粗糙度测量精确的侧壁角度测量垂直侧壁的临界尺寸测量——————————————————————————————————————True Non-Contact&trade 模式实现无损临界尺寸和侧壁测量光刻胶沟槽临界尺寸测量独有的True Non-Contact模式能够线上无损测量小至45 nm的细节。业内最小的细节线上测量柔软光刻胶无损测量探针磨损更少，让高质量和高分辨率成像效果更佳持久无需轻敲式成像中的参数依赖结果——————————————————————————————————————Park NX-3DM的特点倾斜式Z轴扫描系统NX-3DM独具匠心地将Z轴扫描器倾斜设计，且通过专利的串扰消除原子力显微镜平台，XY轴与Z轴扫描器完全解耦。用户可以扫描到垂直侧壁以及各种角度的侧凹结构。与配有喇叭形头的系统不同，XE-3DM可使用高分辨率高长宽比的探针。全自动图形识别借助强大的高分辨率数字CCD镜头和图形识别软件，Park NX-HDM让全自动图形识别和对准成为可能。自动测量控制自动化软件让XE-3DM的操作不费吹灰之力。测量程序针对悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数进行优化，为您提供多位置分析。真正非接触模式和更长的探针使用寿命得益于专利的高强度Z轴扫描系统，XE系列原子力显微镜让真正非接触模式成为可能。真正非接触模式借助了原子间的相互吸引力，而非相互排斥力。因此，在真正非接触模式下，探针与样品间的距离可以保持在几纳米，从而盖上原子力显微镜的图像质量，保证探针尖端的锋利度，延长使用寿命。 行业最低的本底噪声为了检测最小的样品特征和成像最平的表面，Park推出行业本底噪声最低（ 0.5?）的显微镜。本底噪声是在“零扫描”情况下确定的。由于悬臂与样品表面接触，因此系统噪声是在如下条件下单点测量：扫描范围为0 nm x 0 nm，探针停留在一个点 0.5增益，接触模式256 x 256像素——————————————————————————————————————高通量自动化自动探针更换(ATX)借助自动探针更换功能，自动测量程序能够无缝衔接。该系统会根据参考图形测量数据，自动校正悬臂的位置和优化测量设定。创新的磁性探针更换功能，成功率高达99%，高于传统的真空技术。自动晶片装卸器(EFEM或FOUP)您可以在XE-3DM中加装自动晶片装卸器(EFEM或FOUP或其他)。高精度无损晶片装卸机械臂能够百分百保证NX-3DM用户享受到快速且稳定的自动化晶片测量服务。离子化系统NX-3DM可搭载离子化系统，以有效消除样品的静电电荷。由于系统随时可生产和位置正离子和负离子之间的理想平衡，便可以稳定地离子化带电物体，且不会污染周边区域。它也可以消除样品处理过程中意外生成的静电电荷。

? 自动化工业级原子力显微镜，带来线上晶片检查和测量Park Systems推出业内噪声最低的全自动化工业级原子力显微镜——XE-Wafer。该自动化原子力显微镜系统旨在为全天候生产线上的亚米级晶体（尺寸200 mm和300 mm）提供线上高分辨率表面粗糙度、沟槽宽度、深度和角度测量。借助True Non-Contact™ 模式，即便是在结构柔软的样品，例如光刻胶沟槽表面，XE-Wafer可以实现无损测量。? 现有问题目前，硬盘和半导体业的工艺工程师使用成本高昂的聚焦离子束(FIB)/扫瞄式电子显微镜(SEM)获取纳米级的表面粗糙度、侧壁角度和高度。不幸的是，FIB/SEM会破坏样品，且速度慢，成本高昂。? 解决方案NX-Wafer原子力显微镜实现全自动化的在线200 mm & 300 mm晶体表面粗糙度、深度和角度测量，且速度快、精度高、成本低。? 益处NX-Wafer让无损线上成像成为可能，并实现多位置的直接可重复高分辨率测量。更高的精确度和线宽粗糙度监控能力让工艺工程师得以制造性能更高的仪器，且成本显著低于FIB/SEM。? 应用l 串扰消除实现无伪影测量 独特的解耦XY轴扫描系统提供平滑的扫描平台 平滑的线性XY轴扫描将伪影从背景曲率中消除 精确的特征特亮和行业领先的仪表统计功能 卓越的工具匹配l CD(临界尺寸)测量出众的精确且精密纳米测量在提高效率的同时，也为重复性与再现性研究带来最高的分辨率和最低的仪表西格玛值。l 精密的纳米测量媒介和基体亚纳米粗糙度测量凭借行业最低的噪声和创新的True Non-ContactTM模式，XE-Wafer在最平滑的媒介和基体样品上实现最精确的粗糙度测量。l 精确的角度测量Z轴扫描正交性的高精度校正让角度测量时精确度小于0.1度。l 沟槽测量独有的True Non-Contact模式能够线上无损测量小至45 nm的腐蚀细节。l 精确的硅通孔化学机械研磨轮廓测量借助低系统噪声和平滑轮廓扫描功能，Park Systems实现了前所未有的硅通孔化学机械研磨(TSV CMP)轮廓测量。? Park NX-Wafer特点l 全自动图形识别借助强大的高分辨率数字CCD镜头和图形识别软件，Park NX-Wafer让全自动图形识别和对准成为可能。l 自动测量控制自动化软件让NX-Wafer的操作不费吹灰之力。测量程序针对悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数进行优化，为您提供多位置分析。l 真正非接触模式和更长的探针使用寿命得益于专利的高强度Z轴扫描系统，XE系列原子力显微镜让真正非接触模式成为可能。真正非接触模式借助了原子间的相互吸引力，而非相互排斥力。因此，在真正非接触模式下，探针与样品间的距离可以保持在几纳米，从而盖上原子力显微镜的图像质量，保证探针尖端的锋利度，延长使用寿命。l 解耦的柔性XY轴与Z轴扫描器Z轴扫描器与XY轴扫描器完全解耦。XY轴扫描器在水平面移动样品，而Z轴扫描器则在垂直方向移动探针。该设置可实现平滑的XY轴测量，让平面外移动降到最低。此外，XY轴扫描的正交性和线性也极为出色。l 行业最低的本底噪声为了检测最小的样品特征和成像最平的表面，Park推出行业本底噪声最低（）的显微镜。本底噪声是在“零扫描”情况下确定的。当悬臂与样品表面接触时，在如下情况下测量系统噪声： 0 nm x 0 nm扫描范围，停在一个点 0.5增益，接触模式256 x 256像素l 选项高通量自动化自动探针更换(ATX)借助自动探针更换功能，自动测量程序能够无缝衔接。该系统会根据参考图形测量数据，自动校正悬臂的位置和优化测量设定。创新的磁性探针更换功能，成功率高达99%，高于传统的真空技术。设备前端模块(EFEM)实现自动晶体处理您可以为NX-Wafer加装自动晶片装卸器(EFEM或FOUP或其他)。高精度无损晶片装卸机械臂能够百分百保证XE-Wafer用户享受到快速且稳定的自动化晶片测量服务。长距离移动平台，助力化学机械研磨轮廓扫描该平台带有专有的用户界面，可支持自动化学机械研磨轮廓扫描和分析。平面外运动(OPM)在样品为5 mm时小于2 nm；10 mm时小于5 nm；50 mm时小于100 nm离子化系统离子化系统可有效地消除静电电荷。由于系统随时可生产和位置正离子和负离子之间的理想平衡，便可以稳定地离子化带电物体，且不会污染周边区域。它也可以消除样品处理过程中意外生成的静电电荷。

Park NX-TSH专为大型纳米平板显示器测量而设计的自动化原子力显微镜（AFM）系统———————————————————————————————————————————————————————随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加，Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战。Park NX-TSH能获得高分辨率的表面粗糙度测量，台阶高度测量和关键尺寸测量。为OLED面板行业整片测量，超高尺寸镜片测量，提供全自动的原子力显微镜计量解决方案。Park NX-TSH的全自动特点可灵活掌握自动，半自动和手动模式为每个自动化程序提供可编辑测量方法实时监控测量过程自动分析获取测量数据高精度，高效率自动换针器(ATX)ATX通过模式识别自动定位针尖，并使用一种新的磁性方法来取放新旧探针。激光光斑通过电动定位技术自动对准。电离系统可提供更稳定的扫描环境Park创新的电离系统可快速有效地去除样品环境中的静电荷。由于该系统始终生成并保持正负离子的理想平衡，因此可以创建一个极其稳定的电荷环境，几乎不污染周围区域，并且将在样品处理过程中产品意外静电的风险降至最低。—————————————————————————————————————————————————————————专为OLED面板行业整片测量，LCD测量提供的全自动探针扫描器解决方案专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计Park原子力显微镜公司已经扩展了原子力显微镜设备的测量尺寸，Park NX-TSH（龙门架设计平板式探针扫描器）可针对第八代及大于第八代的所有大型平板显示器进行测量。专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸上限可达2200 mm。硅片直径的变化使用导电原子力显微镜，Park NX-TSH 使用可选探针站测量样品表面，该探针站接触样品表面并向小设备或晶圆片上的设备提供电流。Park NX-TSH用于带有导电原子力显微镜的2D编码器样品，通过集成微探针站进行电气缺陷分析。—————————————————————————————————————————————————————————Park NX-TSH特点克服了样品大小和重量的限制。Park原子力显微镜公司新开发的探针扫描器结合了X、Y和Z扫描器，可以直接移动到所需测量的点。Park NX-TSH可以在X, Y和Z方向扫描探针头，X- Y方向可达到100µ m X 100 μm和Z方向可达到15 μm ，并有灵活的卡盘，以适应超过300毫米的超大超重样品，用于OLED和LCD大样品分析。 样品固定在样品卡盘上，连接在机架上的探针扫描头移动到样品表面的测量位置。 Park NX-TSH的探针扫描头系统因此克服了样品固定在样品卡盘上时候样品大小和重量的限制。闭环的100μmx 100μm柔性导向XY扫描器XY扫描器由对称的二维挠曲和高强度压电叠层组成，它微小化的面外运动能提供高度的正交扫描，用超快的响应来完成纳米尺度上精准的样品扫描。————————————————————————————————————————————————————————————————————具有低噪声位置传感器的15μm高速Z扫描器NX-TSH利用其超低噪声Z检测器代替了通常使用的非线性Z电压信号，可为用户提供高精度测量。业界引领的低噪声Z检测器取代了所施加的Z电压作为形貌信号。————————————————————————————————————————————————————————————————————专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸上限可达2200mmPark NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战，可扫描出高分辨率图像。————————————————————————————————————————————————————————————————————自动测量控制，简易操作测量更精准！NX-TSH配备自动化软件，使用测量程序便可获得精准的多点分析，并对悬臂梁调谐、扫描速率、增益和设定点参数进行优化设置。Park人性化设计的软件可使用户自由访问NX-TSH的全部功能并获得所需的测量值。创建新的测量程序其实很简单，从开始创建到能够自动化运行只需大约10分钟的时间，而对创建过的程序进行修改的话也只需不到5分钟。—————————————————————————————————————————————————————————

DriveAFM原子力显微镜 全面高效的性能瑞士 Nanosurf 公司的 DriveAFM 型旗舰版原子力显微镜，采用最新超低噪音的 28 位 DAC 控制器与最新直驱型柔性扫描器，可在大气和与液相环境下稳定地对各种样品进行高 精度粗糙度、台阶高度及微纳米级别三维轮廓形貌等测量，也可以测量相位、电学、磁学、 热学等其他各种高级物理量，可广泛应用于材料科学、生命科学、医学、物理学、化学、机 械、电子等多个综合或交叉学科的科研以及工业级测量。 DriveAFM 应用了先进的光热激发技术，可以在液相环境下得到与大气环境下类似稳定 的悬臂梁频谱曲线，实现稳定的液相环境成像与力谱测量，在大气环境下测量也更稳定。 DriveAFM 配备全自动激光调整和自动样品逼近，非常方便用户常规操作以及大气与液 相环境下的原子力显微镜测量。 DriveAFM 可以配置单机版样品台方便不透明材料的测量，也可以选配数字倒置显微镜 方便生物细胞等透明样品的测量，或者选配倒置显微镜适配样品台实现与各种主流品牌的倒 置显微镜的联用功能，可以实现一机两用。 DriveAFM 除原子力显微镜基本功能以外，可以选配多种原子力显微镜功能选件，还可 以配置流体力学探针选件、高精度微粒质量测量等高级功能。

世界顶级精度及强大功能Park原子力显微镜产品特性Park XE15具备多个特殊功能，是共享实验室处理各类样品、研究员进行多变量实验、失效分析师研究晶片等的不二选择。合理的价格搭配强健的性能设置，使其成为业内性价比最高的大型样品原子力显微镜。 MultiSample™ （多重采样TM）扫描器带来最便捷样品测量- 多样品一次性自动成像- 特殊设计的多样品夹头，最多可承载16个独立样品- 全自动XY样品载台，行程范围达200 mm x 200 mm。 无轴间耦合提高扫描精度- 两种独立闭环XY和Z平板式扫描- 平板式和线性XY扫描可达100μm x 100μm，且残余压弯小- 整个扫描范围内的异面移动小于2nm- 强力扫描器达25μm Z扫描范围- 精确的高度测量 Non-Contact™ （真正非接触TM）模式延长针尖使用寿命、改善样品保存及精度 - 其Z扫描频宽是压电管基础系统的10倍- 非接触式可降低针尖磨损、延长使用寿命- 成像分辨率高于同类原子力显微镜- 降低样品干扰，提高扫描精度 提供最佳用户体验- 开放式侧面接入，提高样品及针尖更换效率- 预对准的针尖安装和独一无二的轴上俯视法可简单直观地实现激光对准- 燕尾锁封片方便镜头拆卸- 界面带自动设置功能，方便用户使用 多种模式与选项- 综合性测量模式及特性设置，是我司最佳通用型原子力显微镜- 多种可选配件及更新，扩展性能优越-? 为缺陷分析提供先进电气测量 * 产品特点 100um x 100 um扫描范围的XY柔‘性导向扫描器XY扫描器含系统二维弯曲及强力压电堆叠，可使极小平面外移动形成较大的正交运动，并能快速响应，实现精确的样品纳米级扫描。 柔性导向强力Z扫描器在强力压电堆叠的驱动及弯曲结构的引导下，其硬度允许扫描器高速竖直运动，较传统原子力显微镜扫描器更加高速。最大Z型扫描范围搭配远程Z扫描器（选配）可延长12μm至25μm。 滑动连接的超亮二极管头 通过将原子力显微镜头沿楔形轨道滑动，可轻松将其插入或取出。低相干的超发光二极管头可实现高反射表面的精确成像和力-矩光谱的精确测量。超亮二极管头的波长帮助减轻干扰问题，因此用户在可见光谱实验中也可使用本产品。 多样品夹头特殊设计的多样品夹头，做多可承载16个独立样品，由多重采样扫描器自动按顺序扫描。特殊的夹头设计为接触样品针尖预留了边通道。 选配编码器的XY自动样品载台自动集成XY载台可轻松并精确控制样品的测量位置。XY样品载台的行程范围可配置为150 mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。若搭配自动载台使用编码器，可提高样品定位的精确度和重复性。编码XY载台工作时分辨率为1 μm，重复率为2 μm。编码Z载台的分辨率为0.1 μm，重复率为1 μm。 高分辨率数码变焦感光元件摄像头高分辨率数码感光元件摄像头利用直接同轴光学，具备变焦功能，无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量。 垂直对齐的自动Z载台及聚焦载台Z载台和聚焦载台可将悬臂啮合到样品表面上，同时确保用户视野清晰稳定。聚焦载台是由软件控制自动运行的，因此满足透明样品及液态元件应用所需精度。 弯曲基底解耦XY和Z扫描器Z扫描器与XY扫描器完全解耦。XY扫描器在水平面上移动样品，同时Z扫描器竖直移动探针。此配置以最小异面移动，实现了平板式XY扫描。此XY扫描同时还具有高正交性与线性。 业内最低本底噪声为探测最小样品的特性，帮助最快运动平面成像，Park Systems设计了业内0.5?以下的最低本底噪声标准设备。使用“零扫描”探测本地噪声数据。 真正非接触模式延长针尖使用寿命 XE系列原子力显微镜已成功搭配专利强力Z扫描系统独有的真正非接触模式。真正非接触模式下，使用的是相吸而非相排斥的内部原子力。 真正非接触模式因此成功地保持了针尖样品纳米级间距，改善了原子力显微镜图像，保持针尖的锐利，因此有效延长了针尖使用寿命。 预对准悬臂支撑预先安装在探针支撑上，因此不需要严格对齐激光束。 高分辨率的直接同轴光学元件用户可直接俯视观看样品，操控样品表面，从而很容易就能找到目标区域。高分辨率数码摄像头具备变焦功能，无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量。 带DSP控制芯片的XE控制电子元件原子力显微镜发出的纳米级信号将由高性能Park XE电子元件控制并处理。Park XE电子元件为低噪声设计，配备高速处理单元，可成功实现真正非接触™ 模式，是纳米级成像及电压电流精准测量的理想选择。 - 600 MHz、4800 MIPS速度的高性能处理单元- 低噪声设计，适合电压电流精准测量-通用系统，各SPM技术均可得到应用- 外部信号接入模块，存取原子力显微镜输入/输出信号- 最多16个数据成像- 最大数据尺寸：4096 x 4096像素- 16位ADC/DAC，速度达500 kHz- TCP/IP连接，隔离计算机接出电噪 技术参数：扫描器： XY扫描器 Z扫描器 闭环控制的单模块挠性XY扫描器 导向强力Z扫描器 扫描范围：100 μm * 100 μm 扫描范围：12 μm 25 μm（选配）样品台： XY台工作范围：150 mm * 150 mm Z台工作范围：27.5 mm 聚焦台工作范围：20 mm影像： 1 样品基底 样品表面和悬臂的直观同轴影像 样品最大尺寸：150 mm 10倍物镜（选配20倍） 样品最大厚度：20 mm 视野： 480 μm *360 μm （10倍物镜） 摄像头：1M Pixel, 5M Pixel (选配）软件： XEP XEI 系统控制和数据采集的专用软件 AFM数据分析软件 实时调整反馈参数 通过外部程序（选项）进行脚本级控制 售后服务：为了给客户提供高效便捷的售后服务， Park公司在中国区建立有售后服务中心并配有备件仓库。

Park FX40 纳米科学研发界应运而生的的新型全自动原子力显微镜该产品可以通过多样化的应用程序，不费吹灰之力即可获得最敏锐、最清晰、最高分辨率的扫描图像。通过前所未有的速度和精度，推动您研发进步并助力您的科学新发现——FX40将人工智能运用得淋漓尽致，全自动化的过程能实现用户纳米级显微镜的需求。额外的轴向自动激光校准、早期预警系统和故障自动保险、同步化信息提取和存储，让即便是未经原子力显微镜专业培训的研究科学家们也可以轻松快速地获得最满意的扫描结果。纳米级的显微镜 硬核级的科技进步- 鼎力相助时代前沿的科技研发- 研究型AFM中首次采用的双摄像头系统- 能全自动化实时更新海量数据 实现全自动技术的智能原子力显微镜Park FX只需鼠标一键操作，就能实现自动换针，以避免探针被污染或因操作不当而导致的探针损坏等问题。用户还可以根据提示，选择不同的探针类型，应用类型和使用信息等。 通过自动换针方式，用户可轻松安全地进行自动换针。利用装有8个针盒和磁控机制的便利性，用户无需操作便可安装探针。探针识别摄像头可以加载探针芯片载体上的二维码，提取并显示每个可用探针的探针类型，应用类型和使用信息等全部相关信息。自动激光校准功能将SLD光定位到悬臂梁的适当位置，并进一步分别优化PSPD的垂直和横向位置。用户只需简单点击，移动X,Y和Z轴便可得到毫不失真的高清扫描图。 双摄像头系统自动校准探针和样品位置 样品摄像头样品台上最多可以同时放置四个不同量级的样品。即便如此，样品摄像头也可以毫不费力地定位到相关位置进行精确扫描。 探针识别摄像头探针识别系统可以帮助用户搜索相关探针的全部信息（包括探针类型，应用类型和使用信息等）使研究工作事半功倍。只需一键便可轻松选择您所需要的探针。智能自动化FX40拥有一流的智能视觉系统，能自动检测探针是否正确定位。软件界面通过定位加载探针的位置至纳米级别，并在必要时生成错误状态报告，同时将这些数据与成千上万个可能发生的模拟问题进行比较，以此不断更新升级软件。 原子力显微镜中最快速精确的真正非接触模式对于针尖样品，非接触模式展现了其一流的控制力，距离达到了亚纳米级别。Park FX40拥有史无前例的快速且精确的非接触模式。环境传感器智能扫描仪显示并储存传感器的测量。传感器主要测量基本的环境条件，如温度，湿度，水平和振动。由此帮助用户在不同环境条件下扫描图像，为您筛选最佳的环境指标。 安全的探针安装系统用户可以自选手动或自动探针安装功能，同时内置的智能系统会自动检测并在用户错误安装探针时发出警告，从而有效提高测量精准度。 最佳AFM体验——专为FX设计的Park OS SmartScan简易单击成像设置自动探针检测，自动激光校准 简要的教学动画分分钟让您学会如何进行样品放置以及仪器成像设置1. 精准定位定位样品位置AFM自动执行悬臂的频率性扫描，接近样品的Z移动台, 然后自动聚焦，帮助您扫描任何您想要的区域。 2. 高清成像自动识别探针完成定位之后，系统会设置理想的参数，连接悬臂并扫描样品，直到为您扫出高解析度高分辨率的图像。

仪器介绍：性能优越 原子级分辨率和稳定度 大样品腔设计，适应性强 主控制系统采用德州仪器(TI)32位高性能数字信号处理器(DSP} 高压扫描驱动采用APEX集成高压运算放大器 主控制系统内置实时操作系统 系统采用快速以太网接口(Fast Ethernet)与计算机连接功能强大 原子力显微镜(AFM) 扫描隧道显微镜(STM) 横向力/摩擦力显微镜(LFM) I-V，I一Z、力一距离等多种曲线测量分析 在线实时三维图像显示，检测过程可即时得到更直观的形貌和丰富的细节 多通道信号同时采集和显示，一次扫描即可同时得到样品多种性质与特征 具有图像及曲线数据导出功能，可取得全部原始数据 探针表征和图像重建功能(针尖形貌估算/图像重建/用已知探针重建图像)操作简便 全程全自动进针，无需手工粗调 只需更换探针架，即可在STM和AFM等不同类型仪器中切换 全数字控制，仪器类型、系统状态等参数智能识别和控制 软件控制样品移动 当前全部工作环境参数和扫描图像同步保存 样品粒度和粗糙度自动分析功能，可得到国家、国际相关标准的全系列参数服务完善 业内唯一800免费技术支持热线 业内唯一南北(京广)均设有机构，为用户提供最贴身的服务 专家级的技术支持、服务团队 长期以最优惠的价格向用户提供全系列探针技术指标系统功能 原子力显微镜(Atomic Farce Microscope, AFM )‘ 横向力/摩擦力显微镜(Lateral Force Microscope, LFM )‘ 扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope, 5TM )’分辨率 扫描隧道显微镜(S丁M):：横向0.1 nm,垂直0.01 nm 原子力显微镜}AFM)：横向0.2nm.垂直0.1 nm参数性能 x 一y 扫乎苗范围：~10μm Z方向扫描范围：~2μm 图像分辨率：128x1 28 , 256x256, 512x512, 1024x1024 扫描角度：0~360° 扫描频率：0.1~100Hz主控制系统 中央处理器：德州仪器(TI) 32位数字信号处理器(DSP) 高速16-bit DAC 高速16-bit ADC 高压扫描驱动：5路APEX集成高压运算放大器 通信接口： 1 0M/ 100M 快速以太网(Fast Ethernet 10/100)接口机械性能 样品尺寸:最大可达直径45mm，厚度15mm 全自动步进电机控制进样系统:行程15mm，定位精度50nm/步 软件系统 基干Windows XP/2000/9X 的在线控制软件和图像处理软件

仪器简介：瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。easyScan 2原子力显微镜是瑞士Nanosurf公司在原有easyScan原子力显微镜基础上更新而来，增进了该原子力显微镜的便携性，精确性和可靠性，有更强的抗干扰能力。目前easyScan 系列原子力显微镜已经在50多个国家销售了近2000台。是工业质量控制，纳米材料研发者的完美工具。技术参数：easyScan2 AFM原子力显微镜： 1. 两种可供选择的原子力显微镜扫描头 (1) 大扫描范围 最大扫描范围：X和Y方向110um x 110um xy轴分辨率： 1.7nm 最大扫描范围： Z方向20um z轴分辨率： 0.34nm Z噪音标准（RMS）： 0.4nm(2) 高分辨率 最大扫描范围：X和Y方向10um*10um xy轴分辨率：0.15nm 最大扫描范围：Z方向1.8um z轴分辨率：0.027nm Z噪音标准（RMS）：0.07nm 扫描速度：1800个数据点/秒 传感半径： 15nm 典型负载： 10nN 扫描仪质量：350g 反馈回路宽带：3kHz 自动进场范围：5mm 没有使用危险的高电压2. 电子控制器 数据采集时，可以和任何标准计算计串行端口连接 三个轴都有16位的数据收集与控制系统 轴输出电压：+12V 扫描速度：1-20分/框 1024样品/直线 动态频率范围：15-300KHz 动态频率分辨率：15-300KHz 外部电源 功率消耗量25VA 电子控制器质量2.5kg 3. 软件 软件在Windows 操作系统上运行 测量数据可以实现可视化 不同的窗体的扫描数据可以被同时显示 线观察，点观察，三维观察 在线数学计算功能（减，平均值等等） 类似于粗糙度（Ra，Rq）、顶点剖面、厚度、距离和几何分析的数据分析 可以实现多数据输出 定制显示器、工作场所 安装非常简便主要特点： easyScan2 AFM原子力显微镜：允许快速的、在原位无破坏性的、高分辨率的处理控制。 自动激光对准芯片技术，无需人工手动调节。设计小巧、紧凑；使用简便、舒适 。所有的功能可以在一台计算机上进行 。独立的；适合大、小形状各异的样品 。样品自动进场 。与标准计算机串行端口连接（不需要接口卡） 。特殊的扫描仪设计，确保低震动灵敏度 。

原子力显微镜（工业型）产品简介基于专利的、源自德国的主动式针尖技术，百及纳米科技开发了下一代工业智能型原子力显微镜系统，针对工业领域应用提供快速、智能的样品形貌表征，适用于工业型检错、质量评定和量化测量等，尤其适用于检测大尺寸晶圆或光学晶圆。系统集成了大尺寸样品位移台、全自动光学导航系统和配套自动控制软件，可对大尺寸样品进行的光学成像定位，根据光学成像结果自动标定多个准确测量区域，并根据缺陷/待测结构的特点进行模式识别，智能选取原子力显微镜测量参数，在样品多个位置间自动移动，进行可重复的高分辨率测量，生成检测书面报告，整个过程无需人工参与，实现对大尺寸样品形貌的智能化、自动化的高速、高质量纳米级测量。产品特点： 顶级自动化功能、测量过程无需激光调节、即插即用式针尖更换方案、快速自动进针， 针对高深宽比的沟槽或孔洞结构，采用特制的长针尖提供微纳米结构的三维形貌准确测量， 可升级至多针尖并行测量模式，大幅提高微纳结构表征的范围和效率， 可升级为基于针尖光刻的微纳米结构高性能加工系统，大气环境下快速直写5nm以下结构。功能指标样品尺寸100 mm x 100 mm (4英寸) 至 300 mm x 300 mm (12英寸)成像分辨率优于1 nm (水平方向：0.3 nm, 垂直方向：0.2 nm)样品台定位精度运动精度优于1nm，重复精度优于10nm，采用闭环回路定位准确控制。单场扫描范围 (X, Y, Z)35μm x 35μm x 10μm （备选: 100μm x 100μm x 30μm）测量模式1. 非接触式（形貌、相位、误差） 接触式&力曲线2. 扩展模式(导电探针(C-AFM)、开尔文探针力显微镜 (KPFM)、磁力显微镜 (MFM)、扫描针尖光刻 (SPL)等)

产品简介该产品可以通过多样化的应用程序，不费吹灰之力即可获得最敏锐、最清晰、最高分辨率的扫描图像。通过前所未有的速度和精度，推动您研发进步并助力您的科学新发现——FX40将人工智能运用得淋漓尽致，全自动化的过程能实现用户纳米级显微镜的需求。额外的轴向自动激光校准、早期预警系统和故障自动保险、同步化信息提取和存储，让即便是未经原子力显微镜专业培训的研究科学家们也可以轻松快速地获得最满意的扫描结果。技术信息实现全自动技术的智能原子力显微镜Park FX只需鼠标一键操作，就能实现自动换针，以避免探针被污染或因操作不当而导致的探针损坏等问题。用户还可以根据提示，选择不同的探针类型，应用类型和使用信息等。 自动更换探针通过自动换针方式，用户可轻松安全地进行自动换针。利用装有8个针盒和磁控机制的便利性，用户无需操作便可安装探针。自动识别扫码探针识别摄像头可以加载探针芯片载体上的二维码，提取并显示每个可用探针的探针类型，应用类型和使用信息等全部相关信息。自动激光校准自动激光校准功能将SLD光定位到悬臂梁的适当位置，并进一步分别优化PSPD的垂直和横向位置。用户只需简单点击，移动X,Y和Z轴便可得到毫不失真的高清扫描图。双摄像头系统：自动校准探针和样品位置样品摄像头样品台上最多可以同时放置四个不同量级的样品。即便如此，样品摄像头也可以毫不费力地定位到相关位置进行精确扫描。探针识别摄像头探针识别系统可以帮助用户搜索相关探针的全部信息（包括探针类型，应用类型和使用信息等）使研究工作事半功倍。只需一键便可轻松选择您所需要的探针。智能自动化FX40拥有一流的智能视觉系统，能自动检测探针是否正确定位。软件界面通过定位加载探针的位置至纳米级别，并在必要时生成错误状态报告，同时将这些数据与成千上万个可能发生的模拟问题进行比较，以此不断更新升级软件。原子力显微镜中最快速精确的真正非接触模式对于针尖样品，非接触模式展现了其一流的控制力，距离达到了亚纳米级别。Park FX40拥有史无前例的快速且精确的非接触模式。高配安全系数安全的探针着陆装置——全面保护样品和探针Park采用防碰撞传感器装置和连锁软件相结合，可以更好地保护针尖和AFM扫描器。通过算法编程，Z移动台只能在针尖与样品表面碰撞的极限内升降，避免因探针与样品相碰而产生损害，极大地提高了生产力和测量精准度。 自我诊断型环境传感器智能扫描仪显示并储存传感器的测量。传感器主要测量基本的环境条件，如温度，湿度，水平和振动。由此帮助用户在不同环境条件下扫描图像，为您筛选最佳的环境指标。 安全的探针安装系统用户可以自选手动或自动探针安装功能，同时内置的智能系统会自动检测并在用户错误安装探针时发出警告，从而有效提高测量精准度。 最佳AFM体验——专为FX设计的Park OS SmartScan简易单击成像精要设置自动探针检测，自动激光校准简要的教学动画分分钟让您学会如何进行样品放置以及仪器成像设置。精准定位定位样品位置AFM自动执行悬臂的频率性扫描，接近样品的Z移动台, 然后自动聚焦，帮助您扫描任何您想要的区域。高清成像自动探针检测完成定位之后，系统会设置合适的参数，连接悬臂并扫描样品，直到为您扫出高解析度高分辨率的图像。参数扫描器XY扫描器Z扫描器构造单模块并联二维挠性扫描器比挠性扫描器更好的对称性XY扫描范围100μm x 100μm构造挠性导向强力扫描器比挠性扫描器更好的对称性Z扫描范围15μm驱动台Z位移台行程范围22mm（机动）装载样品装载磁性吸盘,可安放高达4个样品载片FX多功能嵌入式样品台视野视野CCD样品同轴视野与光学显微镜相同的视图510万像素像素大小：3.45μm x 3.45μm原子力显微镜控制器锁相放大器4通道集成 16Hz-5MHz配件自动换针装载探针使用自动换针技术可以在不到一分钟时间内更换使用探针载体装载

Park NX-PTR全自动原子力显微镜实现准确的硬盘磁头滑块测量，让伟大变得简单 Park Systems的PTR系列是全自动工业级线上原子力显微镜解决方案，适用于（不限于）长形条、磁头万向节组件(HGA)级滑块以及单独滑块的极尖沉降自动测量。凭借着亚纳米级精确度、高重复精度以及高通量，PTR系列是滑块厂商提高整体产量的理想测量工具。————————————————————————————————————自动化、快速、精确且可重复的极尖沉降测量硬盘驱动滑块制造业要求工具不仅可以快速且流畅地测量极尖沉降，同时保证最高标准的精确度。这便是Park NX-PTR大展身手的领域。在超精确的极尖沉降测量之外，自动化功能可极大程度提高效率。这让NX-PTR成为硬盘驱动器滑块厂商的最佳选择，兼顾最佳的质量和最高的产量。 高通量，无需多次参考扫描大多数原子力显微镜需要多次扫描才可以准确测量极尖沉降，首先是大区域参考扫描，随后小区域高分辨率扫描。多次扫描占用大量时间，且限制了通量的提高。我们的扫描系统带来真正的平面扫描，有效地降低扫描次数。此外，True Non-Contact&trade 模式让探针保持锋利，在延长使用寿命的同时，提供更持久的高分辨率成像效果。相应地，Park NX-PTR能够生成感兴趣区域的详细准确图像，而无需进行参考扫描，以便修正扫描器伪影。 ————————————————————————————————————自动硬盘滑块测量随着硬盘滑块的尺寸越来越小，复杂性越来越高，提高产量的关键在于实现纳米级的精确度。Park NX-PTR恰恰具备这样的精确且自动的硬盘滑块测量。 自动极尖沉降测量与分析借助NX-PTR系统，极尖沉降测量可实现全自动，带来更高的通量，无论是对于载体、长形条，还是滑块。Park Systems的工业级院里子显微镜精确且稳定的全自动化极尖沉降(PTR)测量成为可能。 极尖沉降量的监测要求测量精度达到0.1 mm，这意味着离测量表面只有20 μm远。 ————————————————————————————————————自动墙角测量与分析实现各类墙角的自动测量与分析。自动墙角测量与分析实现各类缺陷的全自动测量与分析，如表面尖角。 ————————————————————————————————————Park NX-PTR的特点低噪声XYZ轴位置传感器，带来更精确的扫描效果NX-PTR摈弃了常见的非线性Z轴电压信号，而是采用超低噪声Z轴探测器，从而带来无与伦比的形貌高度精度。凭借着行业领先的低噪声Z轴探测器，正向扫描和反向扫描间隙得以降到扫描范围的0.15%以内，甚至可以忽略不计，而这时Z轴形貌信号所无法企及的。 热漂移和滞后极小，大大降低探针漂移NX-PTR具备极为突出的热稳定性和机械稳定性，从而大大降低热漂移，实现更为精确的测量。一般情况下，横向热漂移率低于100 nm/°C，而垂直热漂移率则低于200 nm/°C。 测量控制自动化，释放您的双手NX-PTR配有自动化软件，操作起来轻而易举。您只需要选择想要的测量程序，并设定相应的悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数，便可取得多位置分析。此外，Park的用户友好型界面让您能够随意创建自定义作业程序，以便您完全发挥NX-PTR的实力，满足所有的测量需求。创建新的作业程序极为简单。创建新测量文件只需要10分钟左右的时间，而修改现有的测量文件则不超过5分钟的时间。Park NX-PTR的自动化系统具备：自动、半自动和手动模式，让您掌控全局各自动程序的可编辑测量方法测量过程实时监测自动分析所获取的测量数据 ————————————————————————————————————自动探针更换（选配）Park推出的自动探针更换系统让您的自动测量程序可以无缝续航。该系统会根据参考图形测量数据，自动校正悬臂的位置和优化测量设定。创新的磁性探针更换成功率高达99%，让您无需分心监督探针更换！自动激光准直（选配）Park的自动激光准直系统让您无需输入任何数据，便可持续自动测量。凭借着我们先进的预准直悬臂架，激光在自动更换探针时便已对准悬臂。只需要调整定位旋钮，便可在X和Y轴上任意定位激光光点，达到最佳位置。离子化系统可创造更稳定的扫描环境创新的离子化系统能够快速有效地消除样品的静电电荷。由于系统能够让阴阳离子保持完美的平衡状态，样品得以处在极其稳定的电荷环境中。同时，对周边区域的污染几乎可以忽略不计，并将样品操作时意外产生静电电荷的几率降到最低。

alpha300 RA –在一个系统里面集成化学成分分析和纳米级别的结构成像alpha300 RA 是市场上首个高度集成的拉曼原子力显微镜系统，可以在标准的Alpha 300R共聚焦拉曼系统上通过标准模块升级即可完成拉曼原子力系统联用，获得原位的AFM和Raman图像的叠加。alpha300 RA 独特的设计理念使联用系统既保留300R强大的化学组分分析能力，同时加入微纳级别的表面形貌等特性的分析能力，使研究者能对样品进行深度完善的分析和理解。 alpha300 RA 让拉曼和原子力两种互补的技术得以在一套系统里面实现，两种技术的性能完全不受联用的影响，而且使用同一个操作软件，使得操作和分析变得简单应用。拉曼和原子力显微镜使用不同的显微镜物镜，只需要简单转动物镜转盘，成像软件即可原位完成两种技术的图像对比，叠加和分析 此外alpha300 RA可进一步升级来配合TERS (高分辨拉曼)测量 拉曼原子力显微镜系统主要特点l 所有alpha300 R (拉曼) 和alpha300 A (原子力) 的性能集成到一个显微镜系统内l 优异的原位化学组分分析（拉曼）和微纳级别表面特征分析（原子力）的结合l 原子力和拉曼同时进行的绝佳选择l 严格原位，完全不需要在测量过程中移动样品l 只需要转动物镜转盘即可在两种测量技术之间简单切换 拉曼原子力显微镜系统应用实例 多组分高分子混合物，包含了1:1:1比例的聚苯乙烯（PS），充油丁苯橡胶（SRB）和丙烯酸乙基己酯（EHA）的原位拉曼及原子力图像对标最左边的拉曼成像: 绿色代表PS, 红色代表SRB，蓝色代表EHA.第二至第五张图像分别是样品的表面拓扑结构，相位，粘附力和粘度 金刚石压砧在单晶硅表面的压痕的应力分析，原位拉曼原子力图像左图：10x10um原子力表面拓扑结构和深度轮廓图，右图压痕周边的应力拉曼图像，紫色为未受应力影响，黄色为压力应变，灰色为张力应变 拉曼原子力显微镜系统性能通用拉曼操作模式l 拉曼光谱成像：连续扫描的拉曼高光谱全谱成像，每个样品点都能获得完整的拉曼光谱l 平面2D和包含深度Z方向的3D成像模式l 快速和慢速时间序列l 单点及Z方向深度扫描l 光纤耦合的UHTS 系列光谱仪，专为弱光应用的拉曼光谱设计l 共聚焦荧光显微镜功能l 明场显微镜功能 通用原子力显微镜操作模式l 接触模式l AC 模式（轻敲模式）l 数字脉冲力模式 (DPFM)l 抬高模式l 磁力显微镜模式 (MFM)l 静电力显微镜模式 (EFM)l 相位成像模式l 力曲线分析l 微纳操控及微纳印刷l 横向力模式 (LFM)l 化学力模式 (CFM)l 电流探测模式l 其他可选 基本显微镜指标l 研究级别的光学显微镜，6孔物镜转盘l 明场CCD相机，代替目镜观察样品l LED明场科勒照明l 电动XYZ样品台，25x25x20mm平移范围l 主动隔震平台 各类拉曼升级选项（如true surface等）l 多种激光可选择l 多种光谱仪可选择l 自动共聚焦拉曼成像l 自动多区域多点测量l 可升级超快拉曼图像模式(需配置EMCCD和Piezo样品台，可获得每秒1300张光谱的速度)l 可升级落射荧光照明l 自动聚焦功能l 显微镜观察法可选，如暗场，像差，偏光，微分干涉等 超高通光量UHTS光谱仪l 各类透射式波长优化谱仪可选 (UV, VIS or NIR)，均为弱光拉曼光谱设计l 光纤耦合，70%超高光通量l 优异的成像质量，光谱峰形对称无像差 控制电脑WITec控制和数据采集，处理软件

Park NX-HDM毫无争议的最佳原子力显微镜自动缺陷检查和表面粗糙度测量更高的通量，自动的缺陷检查对于媒介和基体领域的工程师而言，识别纳米级缺陷是一个非常耗时的工作。Park NX-HDM原子力显微镜系统可借助数量级实现自动缺陷识别、扫描和分析，从而加快缺陷的检查过程。Park NX-HDM可与众多的光学检查工具直接进行连接，这就意味着自动缺点检查通量会大幅提高。此外，Park NX-HDM拥有精准的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着业内较低的本底噪声和True Non-Contac技术，Park NX-HDM是目前市面上表面粗糙度测量较为精准的原子力显微镜。 次埃米表面粗糙度测量行业对于超平媒介和基体的要求越来越高，从而满足体积不断减小的设备需求。此外，Park NX-HDM拥有精确的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着行业最低的本底噪声和独特的True Non-Contact&trade 技术，Park NX-HDM毫无疑问是市面上表面粗糙度测量最精确的原子力显微镜。 媒介和基体自动缺陷检查 更高的通量，自动的缺陷检查NX-HDM的自动缺陷检查功能(Park ADR)可加速和改良识别、扫描和分析媒介和基体缺陷的流程。借助光学检查工具提供的缺陷位置图，Park ADR可自动定位这些位置并进行成像（分两步）： （1）缩小扫描成像，以准确定位缺陷。（2）放大扫描成像，以获取缺陷的细节。在真实缺陷测试中，我们可以看到相比于传统的方法，该自动功能可将缺陷检查通量提高到10倍。自动搜寻式扫描和放大扫描经过优化的扫描参数让两步式扫描更为快速： （1）快速的低分辨率搜寻式扫描，以准确定位缺陷。（2）高分辨率的放大扫描，以获取缺陷的细节。扫描尺寸和扫描速度参数可调节，从而满足用户需求。 缺陷坐标图自动传入和映射至原子力显微镜借助独有的先进映射算法，从自动光学检测(APO)工具中获取的缺陷坐标图可准确地传入和映射至Park NX-HDM。该技术让全自动高通量缺陷成像成为可能。—————————————————————————————————————————————————精确的次埃米表面粗糙度测量次埃米表面粗糙度测量行业对于超平媒介和基体的要求越来越高，从而满足体积不断减小的设备需求。此外，Park NX-HDM拥有精确的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着行业最低的本底噪声和独特的True Non-Contact&trade 技术，Park NX-HDM毫无疑问是市面上表面粗糙度测量最精确的原子力显微镜。—————————————————————————————————————————————————通过真正的非接触&trade 模式进行精确的 AFM 扫描√ 探针磨损更低=高分辨率扫描更长久√ 无损式探针-样品接触=样品变化程度小√ 避免参数依赖！探针磨损更快=扫描图像模糊！破坏性探针-样品接触=样品受损变化！高参数依赖性具有低噪声 Z 探测器的精确 AFM 形貌True Sample Topography&trade 无压电蠕变误差√ 形貌使用了低噪声Z轴探测器信号√ 宽带宽下0.02 nm的低Z轴探测器噪声√ 前沿和后沿无过冲√ 只需出厂前进行一次校准全自动图形识别借助强大的高分辨率数字CCD镜头和图形识别软件，Park NX-HDM让全自动图形识别和对准成为可能。高速Z轴扫描器，扫描范围达15 μm借助高强度压电叠堆和柔性结构，标准Z轴扫描器的共振频率高达9 kHz以上（一般为10.5 kHz）且探针的Z轴移动速率不低于48 mm/秒，让信息反馈更为准确。最大Z轴扫描范围可从标准的15 μm扩展至40μm（可选购的远距离Z轴扫描器）。自动测量控制自动化软件让NX-HDM的操作不费吹灰之力。测量程序针对悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数进行优化，为您提供多位置分析。自动化软件会按照测量文件中预设的程序进行样品测量。Park的用户友好型软件界面让用户可灵活执行全系统功能。创建新测量文件只需要10分钟左右的时间，而修改现有的测量文件则需要不到5分钟的时间。Park NX-HDM具有： 自动、半自动和手动模式 各自动程序的可编辑测量方法 测量过程实时监测 自动分析所获取的测量数据低噪声XYZ轴位置传感器行业领先的低噪声Z轴探测器替代Z电压，作为样貌信号。此外，低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。行业最低的本底噪声 为了检测最小的样品特征和成像最平的表面，Park推出行业本底噪声最低（ 0.5?）的显微镜。本底噪声是在“零扫描”情况下确定的。当悬臂与样品表面接触时，在如下情况下测量系统噪声： 0 nm x 0 nm扫描范围，停在一个点0.5增益，接触模式 256 x 256像素闭环式XY轴扫描器带双轴伺服系统XY轴扫描器的各轴上配有两个对称的低噪声位置感应器，得以在最大的扫描范围和样品尺寸下保持高正交扫描。双感应器能够修正和补偿单感应器引起的非线性和非平面位置误差。—————————————————————————————————————————————————自动测量控制自动化软件让NX-HDM的操作不费吹灰之力。测量程序针对悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数进行优化，为您提供多位置分析。自动化软件会按照测量文件中预设的程序进行样品测量。Park的用户友好型软件界面让用户可灵活执行全系统功能。创建新测量文件只需要10分钟左右的时间，而修改现有的测量文件则需要不到5分钟的时间。Park NX-HDM具有： &bull 自动、半自动和手动模式&bull 各自动程序的可编辑测量方法&bull 测量过程实时监测&bull 自动分析所获取的测量数据电离系统离子化系统可有效地消除静电电荷。由于系统随时可生产和位置正离子和负离子之间的理想平衡，便可以稳定地离子化带电物体，且不会污染周边区域。它也可以消除样品处理过程中意外生成的静电电荷。

Park NX-Hivac型高真空原子力显微镜 NX-Hivac 型真空原子力显微镜是主要用为对气氛与水敏感材料研究专门设计的一款高真空原子力显微镜。NX-Hivac同样是一款全自动的原子力显微镜系统，扫描分辨率达到了0.02nm，集成了Park公司专利技术“非接触式工作模式”“智能扫描模式”“基于压电陶瓷堆积技术的平板扫描器”，并标配快速扫描模式，变速扫描模式，加上可选功能模块，使得NX-Hivac型原子力显微镜被广泛用于物理，电学，力学，半导体等方向的研究。Park NX-Hivac型真空原子力显微镜技术特色：1）真空度高，达10-4Pa，抽真空速度快,5min内达到10-5Torr以下2） 在高真空条件下执行扫描扩散电阻显微镜测量可减少所需的针尖-样本相互作用力，从而大幅度降低对样本和针尖的损伤。如此可延长各针尖的使用寿命，使扫描更加低成本和便捷，并通过提高空间分辨率和信噪比得到更为精确的结果。因此，利用NX-Hivac进行的高真空扫描扩散电阻显微术测量可谓是故障分析工程师增加其吞吐量、减少成本和提高准确性的明智选择。3）NX-Hivac 真空自动控制Hivac 管理器通过一键单击在逻辑和视觉上控制最佳真空条件抽气和排气过程来实现高真空。各个过程通过颜色和图示变化得到直观监控，一键单击后您即可无需操心真空操作顺序。更快速、更简便的真空控制软件使原子力显微镜的使用更便捷更高效。?4）采用非接触式工作模式：Park公司是目前全球唯一一家真正实现非接触测量模式的原子力显微镜厂家，在不影响测量精度的前提下，可实现样品与针尖的非接触测量，避免了由于针尖磨损带来测量重复性差与探针磨损快的缺点。下图是测量CrN样品的实例，CrN样品的硬度很高，具有三角形结构，采用非接触模式测量100幅图后，图像质量几乎无变化，针尖几乎无磨损！！！5）探测器噪声水平为全球业界最低：0.02nm Z轴探测器是全新的NX系列原子力显微镜的核心技术改进之一,它是Park独创的新型应变传感器,凭借着0.2埃的超低噪声，它一跃成为行业内噪声最低的Z轴探测器,检测原子台阶及其容易。6）采用全球最高性能平板扫描器：采用专利技术得三轴分离的平板扫描器，在整个80μm的扫描范围内误差＜1nm !!!!7）操作极其简单： - 具有“智能扫描模式”Smart scan：这是Park公司的专利技术之一，用户只需要选择扫描速度及扫描范围，系统即可自动调整反馈,无需寻找共振峰,无需调整反馈参数gain值 - 具有中文，英文等多种操作界面 - 凭借着我们先进的预准直悬臂架，悬臂在装载时激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同轴视角（行业独一无二）让您可以轻松地找到激光光点。由于激光垂直照射在悬臂上，您可以凭直觉旋动两个定位旋钮，将激光光点随着X轴和Y轴移动。这样，您可以在激光准直界面中，轻易地找到激光并将其定位在PSPD上。此时，您只需要稍作调整实现信号的最大化，便可开始获取数据。Park NX-Hivac型高真空原子力显微镜技术指标：- XY方向闭环扫描范围：100μm×100μm- Z方向闭环扫描范围：15μm- 系统噪声水平： ≤0.02nm- 全自动样品台： 22mm×22mm- 样品台放置单个最大样品尺寸100mm*100mm*20mm- 真空系统：配置两级抽真空装置，真空度：≤10-4Pa- 抽真空速度：5 mins以内达到5X10-5 Torr以下- 真空仓体内部尺寸：250 mm×320 mm×270 mm (WxDxH)- 正面提供透-真空系统管理软件：直观的控制抽真空和排气过程，具有高可视性和易用性，每个过程都可以通过示意图颜色的变化进行可视化监控