面精密微米级制膜器

超精密机床基础部件与应用技术的突破，能为制造业的生存和发展提供强大技术支撑。然而此前我国的超精密机床及关键基础部件主要依赖进口。轴类零件外圆圆度加工方面，国内外基本是靠超精密的外圆磨床实现。以磨削直径100毫米、长300毫米的轴芯为例，我国的外圆磨床大概能够磨到1至2微米的水平，而国外可达到0.3至0.5微米的水平。为破解机床和关键部件“卡脖子”技术难题，国防科技大学教授戴一帆科研团队历时5年，提出轴类零件外圆圆度确定性修形加工工艺技术，使轴芯加工圆度精度提升到0.1微米，并成功研制出超精密空气静压主轴，近日经中国计量科学研究院测试，该静压主轴相关参数达到国际先进水平，这将使我国超精密加工精度有效提升。像铁锹整地那样研磨超精密零件我国超精密机床及关键基础部件此前主要依赖进口，最大的技术难题在于缺少加工核心零件的“工作母机”。所谓“工作母机”，就是制造机器和机械的机器，又称工具机，包括车床、磨床、刨床、钻床等，是制器之器、工业自强之基。一般的机械加工是将机床精度“复印”到零件的过程，也就是说，没有精度高的机床就加工不出精度高的零件。没有精度高的零件，也就组装不出精度高的部件和机床。没有制造高精度零件的工作母机，就限制了整个超精密机床行业的发展。戴一帆科研团队长期从事现代光学制造技术研发，他们发现光学零件的最终制造精度远超出所使用的加工设备精度，而光学制造的基本原理是逐步将误差高点去除的一种精度进化加工原理，团队尝试将这种“精度进化”原理的加工方法用于机械零件高精度加工，最终通过加工原理的创新提出轴类零件外圆圆度确定性修形工艺技术，突破高精度“工作母机”的限制。芯轴多传感器在位测量。国防科技大学 供图确定性修形工艺是如何工作的？“好比使用铁锹平整一块地，就是将看上去凹凸不平的地方铲去适量的土，如此反复直到获得非常平整的地。”戴一帆说，这个过程依靠的是成套数字化设备，比如采用了高精度圆度仪获取圆柱形貌；发明了专用的控时磨削机床实现材料去除量的数字化精确可控；采用专用计算机程序计算获得磨削工具需要在特定空间位置停留的精确时间。机械取代有经验的工人师傅借助新工艺，戴一帆科研团队突破了基于精度进化原理的控时磨削加工技术，形成了圆柱类零件在位加工检测一体工艺方法，成功研制出超精密空气静压主轴。中国计量科学研究院测试结果显示，该空气静压主轴径向跳动小于15纳米、端面跳动小于15纳米。这个跳幅相当于头发丝直径的六千分之一。如果是地球这么大一根主轴的话，回转运动造成的振幅不会超过1米。测试结果还显示，空气静压主轴径向静刚度大于200N/μm、轴向静刚度大于200N/μm。通俗地说，就是主轴可以在20公斤的重力载荷下纹丝不动，变形量不会超过1微米，即头发丝直径的百分之一。对比代表美国超精密领域最高水平Precitech公司的产品手册，上述技术指标与其相当甚至更高。当前，国内外可将轴类零件外圆圆度加工研磨到零点几微米的水平，如果再要提升只能靠手工研磨修整。“我们的新技术可以摆脱对极其有经验人工师傅的依赖，能很容易地按照现代工业化的模式组织生产，促进超精密基础部件的大批量、高效率生产和应用。”戴一帆表示，超精密机床基础部件与应用技术的突破，将为制造业的生存和发展提供强大技术支撑，完善高端机床产业链配套，大幅增强高性能功能部件竞争力，促进高端精密与超精密机床方面实现国产化。他补充说，这些突破还将有效解决探测制导关键零部件超精密加工面临的超精密装备和核心工艺难题，进一步助力国防领域高端核心零件超精密加工批量化生产，实现科研成果向生产力和战斗力的快速转化。系列成果获得了湖南省十大技术攻关等项目的支持。相关成果先后发表于Materials、Micromachines等期刊上，戴一帆为通讯作者。为支撑超精密加工，促进精密测量技术发展和应用，助力制造业高质量发展，仪器信息网联合哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院，将于2023年12月14-15日举办第二届精密测量技术与先进制造网络会议，邀请业内资深专家及仪器企业技术专家分享主题报告，就制造中的精密测量技术等进行深入的交流探讨。点击图片直达会议页面

8月6日，摩方精密受邀赴杭州参加为期三天的“微纳传感技术与检测创新论坛（2022）暨第七届中国微米纳米技术应用创新大会”。作为一种各类产业赖以生存和发展的“工业基石”，微纳传感器是指基于MEMS工艺的，能把被测物理量转化为电信号输出的器件，通常由敏感元件和传输原件组成。该技术近年来被广泛应用于通讯电子、仪器仪表、医疗卫生、航空航天等诸多领域，已成为推动和支撑实体经济深度融合的基础产品。本届创新大会旨在促进微系统领域学科交叉融合，推进高校—研究所—企业—政府互动机制建立，建设学术—技术—产品—用户—金融等产业创新链、产业链、资金链的生态，打造产业共性技术支撑平台，为推进智能微系统技术产品在医疗健康、汽车电子、消费终端、物联网+等领域的规模运用助力。摩方精密专业的技术团队和雄厚的技术实力，使得公司在本次大会上表现颇为亮眼。 摩方精密参加此次学术论坛，充分表明了公司投身创新领域研究工作的决心和信心，摩方精密将通过优秀科技成果的研发和转化，以实际行动促进微纳传感技术的产业化应用，推动微纳传感领域的技术创新。

很多人都做过CT检查，但您知道“工业CT”吗？在高精尖领域，很多精密部件都需要这类仪器来检测内部质量。要做这类产品的“把关人”可并不容易，安徽一家做特种电源的专精特新企业解决了这一难题，一起来看一看他们的绝活。放好检测物品后，工作人员将沉重的铅门关好，迅速撤离以避免遭遇辐射。铅门背后就是释放辐射的主角——微焦点X射线源，它被称为“工业CT”，可以对新能源汽车、芯片、半导体等领域的精密部件进行无损扫描，检测其内部是否有缺陷。合肥博雷电气有限公司副总经理 高龙：X射线可以实现电池内部所有的缺陷检测，确保动力电池装上车时零缺陷。由于技术受制于人，一段时间以来，国内相关设备的检测精度约为五微米，但对于芯片、半导体等精密制造行业，如果小于五微米的瑕疵没被发现，就会影响产品的性能和质量。市场的号角已经吹响，合肥博雷电气有限公司董事长刘凯带领企业加快研发速度。就在上个月，他们成功研制出国内第一台160千伏的微焦点X射线源，将检测精度缩小到了两微米。合肥博雷电气有限公司董事长 刘凯：特别是在芯片领域，两微米以下的缺陷检测能大大提高芯片生产的成品率。从五微米到两微米，技术突破的关键之一，在于使高电压输出稳定的微焦点X射线。由企业自主研发的变压器解决了这一难题。但这种变压器的生产并不容易，即使在工业自动化普及的当下，其绕线工艺也只能由手工完成。合肥博雷电气有限公司总工程师 印长豹：必须通过手工才能控制最关键的一些参数，一毫米的误差可能会导致整个产品失效。经过精确的缠绕，他们的变压器电压最高可达到350千伏，相当于城市居民用电的一千多倍。本期专精特新绝活：做好“把关人”，守好品质门。突破封锁勇争锋，潜心修炼匠人心；跨越高压电源技术坎 ，焕发精密制造生命力。