铝模块自动消化装置

为了支持设备和仪器设计人员，我们向基于显微镜的成像系统制造商供应各种物镜和其他光学部件。这些组件有助于他们的工程师高效地设计出高质量的光学检测设备。半导体检测是一种需要显微镜成像系统的应用。半导体制造商要求在整个制造过程中进行快速、准确和干净的检测。他们依赖光学检测设备制造商创新检测工具，以满足行业的需求。半导体制造商通常会将半导体检测所需的光学机械组件采购给光学成像专家。在这种应用中，光学系统的自动对焦组件不可或缺，而且对整体检测速度有很大的影响。自动对焦组件与光学系统的电动Z轴机械装置、照明器、显微镜物镜和数码相机或传感器相结合，构成了完整的系统。在此白皮书中，我们介绍了如何将自动调焦系统（BXC-FSU）与显微镜的电动Z轴机械装置、照明器、光源、物镜和其他组件相结合，帮助半导体制造商快速高效地完成检测。什么是自动对焦？自动对焦系统有两种类型：被动系统使用观察到的图像进行对焦。这种技术通常被称为图像对比法，但它不适用于裸晶圆等低对比度样品。使用这种方法很难确定对焦方向，因此必须在Z轴方向上，上下移动载物台，以探测到样品对比度的增减。这样会减慢对焦速度，并使检测人员难以掌握对焦情况。然而，这种方法的优点是成本相对较低。主动系统将来自专用光源的光照射到样品上，并基于返回的光进行对焦。这种技术适用于样品缺乏对比度的高级检测系统，如平板和裸晶圆检测系统。裸晶圆检测主动式瞳分割法主动式瞳分割法概要瞳分割法是一种主动的对焦传感方法。在这种方法中，要在光源和透镜之间放置一块屏蔽板。从激光源发出的光在一侧被屏蔽板阻挡。激光通过物镜照射到样品后，从样品上反射回来，然后通过半反射镜进入两段式光电二极管。进入每一侧的光强度会根据样品位于焦点的远或近而发生变化。自动对焦装置感测流经A和B的光通量，并使用公式（A-B）/（A+B）将其转换为“误差信号”。对焦位置是光电二极管两侧的入射光强度相等的Z位置。换句话说，当误差信号约等于零时，自动对焦装置就会判断对焦已完成。采用主动式瞳分割法进行对焦感应，以上说明了入射到两段式光电二极管A侧和B侧的信号以及误差信号值如何根据样品位置而变化。对焦误差信号输出自动对焦装置控制盒接收信号，并将其传输到驱动电动Z轴运动的软件。为了向客户设备输出对焦信息，要将BXC-FSU与BXC-CBB控制器结合起来。BXC-CBB系统的配置对焦信息按以下方式在系统中传输：BXC-FSU→BXC-RLI→BXC-CBB→BXC-CBE1。BXC-CBE1控制器根据BXC-FSU最初提供的对焦信息，创建传输到客户设备的模拟信号。BXC-CBE1产生三种对焦信号：对焦误差信号捕获阈值信号对焦信号上述(A-B)/(A+B)误差信号以-10 V至+10 V范围内的模拟信号形式输出，焦点位置的方向可通过电压的正负来确定。误差信号与0 V交叉的位置就是对焦位置。如图5所示，当误差信号处于0 V左右的对焦阈值范围内时，对焦信号就会激活。激活对焦信号的范围是指样品在物镜焦深内（对焦）的范围。然而，如下图中的红色框所示，当样品远离对焦位置时，误差信号也为0 V。出现这种情况的原因是，样品距离对焦位置越远，从样品反射并入射到两段式光电二极管上的激光强度就越低。在图5中，当对焦信号实际上为低电平时，表示该信号处于激活状态。每个Z位置的误差信号(A-B)/(A+B)和对焦信号的变化捕获信号表示从自动对焦装置发射并从样品反射到光电二极管的激光强度。由于系统可以识别强度，因此可以判断零信号是否由低强度引起，而样品实际上并没有对焦。当样品位于焦点位置附近时，就会出现这种捕获信号，也被称为捕获范围。当样品处于捕获范围内时，就可以激活自动对焦功能，并实现实际对焦。当入射到两个分光光电二极管上的光总量（A+B）超过某个阈值时，就能确定样品是否在捕获范围内。每个Z位置的光通量A+B和捕获信号的变化。当A+B超过某个阈值时，捕获信号就会被激活。在此图中，捕获信号在低电平时处于激活状态。总而言之，对焦位置是指BXC-CBE1输出的捕获信号处于激活状态、误差信号接近0 V，且对焦信号也处于激活状态的范围。下面的图7显示了每个Z位置的捕获信号和对焦信号的状态。在这里，捕获信号和对焦信号在低电平时处于激活状态。在此基础上，通过监控BXC-CBE1输出的三个信号（误差信号、捕获信号和对焦信号），可以找到焦点，并与客户选择的Z轴电机和Z轴驱动器进行通信。随着载物台移动到每个检测位置，这些设备都在积极协调工作。物镜、实时图像和波形之间的关系（示波器信号；误差信号：绿色；对焦信号：黄色；捕获信号：蓝色）示波器可以确认，当图像对焦时，所有信号均处于激活状态。这可用于仪器的设计和开发。多点激光投射样品的形貌会影响对焦的成功率。当激光单点投射到样品上时，如果样品具有阶梯结构（如半导体基板上的细线图案），则对焦位置会随着对样品的扫描而频繁变化。这就是所谓的振纹。由于自动对焦光在阶梯边缘的散射，还可以看到对焦误差信号的信噪比（SNR）在变差（下图）。这两种情况都会导致在整个检测过程中很难保持对焦状态，从而使检测速度放慢。（a）焦点位置的变化（b）边缘散射（a）在单点法中，在移动到样品有阶梯高度的一侧时，Z位置会明显移动，导致图像失焦。（b）使用多点法时，即使样品上有阶梯高度，在横向平移时，焦点位置也不会改变。在检测具有阶梯高度的样品时，单点和多点自动对焦法在对焦稳定性方面的比较。亮点表示对焦检测点。为了减少振纹并提高对焦稳定性，BXC-FSU采用了多点主动式自动对焦系统（图10和图11）。这些光点以45度角排列在整个视场中，所有光点的平均信号会产生一个平均对焦位置。当样品在视场内具有不同的高度时，通过对整个视场进行平均对焦，可以实现可再现的自动对焦。色差校正由于BXC-FSU自动对焦装置使用的是近红外激光光源，因此激光光源和白光源的载物台对焦位置会有所不同。这是由于色差造成的，即镜头中所用玻璃的折射率会根据光的波长而变化（下图）。因此，BXC-FSU配备了校正色差和匹配可见光和红外激光对焦位置的装置。根据软件中分配的预定量，每次物镜转盘切换物镜时，都会校正色差。

2015年10月16日，上海——科学服务领域的领导者赛默飞世尔科技(以下简称：赛默飞)近日发布一款全新增强型模块化流变仪平台Thermo ScientificTM HAAKETM MARSTM系统。该系统在分析多种样品流变特性的同时，可极大提高工作效率，最大程度减少操作员误差，广泛应用于材料科学的研发、先进质控和学术研究等领域。新型HAAKE MARS 40 和 60 流变仪也将在即将举行的BCEIA 2015(2015 年第十六届北京分析测试学术报告会暨展览会)亮相(赛默飞展位号：L16-22、M15-21)。　　在测量精确、操作简便的HAAKE MARS 流变仪产品线基础上，HAAKE MARS(高端模块化流变仪系统)40 和 60 流变仪进一步改进功能，便于用户根据日后需求实现扩展。该流变仪采用连接辅助技术，可自动检测测量夹具附件和温度模块，实时输出反馈，简化用户设置样品测试程序，最大程度减少误差。此外，它还配有自动夹具释放系统，只需按下按钮，便可简单又方便地处理样品。　　赛默飞分子光谱实验室仪器产品线总监 Birgit Schroeder 介绍道：“最新一代 HAAKE MARS 流变仪注重仪器的易用性和高度可定制性，致力于帮助实验室管理人员在具体测试领域中简单操作、轻松上手。”　　HAAKE MARS 40 和 60 流变仪配有各种应用包，针对制药、化妆品、食品、石化以及聚合物等不同市场，根据具体测量任务在流变仪上搭配对应附件，从而大大简化工作流程。　　此外， HAAKE MARS 40 和 60 流变仪还具备以下优势：　　双柱模块化设计，利用快插式附件接头和测量装置(包括直观显示和控制面板)，轻松执行样品制备 　　专用测量池和混合方法，例如 MARS-FTIR 连接器，为材料表征提供更多选择 　　HAAKE RheoWin 软件，包含流变学家们需要的所有相关测量参数，便于流变仪的简便操作。　　从测试专用粘度计到增强型 QA/QC 流变仪，再到高端流变学测试设备，赛默飞提供了一系列流变学测试解决方案，专为满足研究、开发和质控领域中最严苛的需求而量身打造。

&mdash &mdash 面向混合测试的高分子聚合物工作流程解决方案德国卡尔斯鲁厄市（2008年10月14日）－今天，全球科学服务领域的领导者赛默飞世尔科技公司推出了用于测量挤出机系统Thermo Scientific HAAKE PolyLab OS和HAAKE PolyLab QC的实验室规模的新型牵引模块－Thermo Scientific Sample Sizer。该模块能根据客户要求，自动快速生成用于化学、机械或光学测试的各种形状和大小的试样。 Sample Sizer由Bernhard IDE GmbH & Co. KG公司开发，它是一家行业领先的制造公司，专业从事挤出机、挤出模具以及定型系统和用于型材挤出的下游机械的生产制造。通过与HAAKE PolyLab挤出机系统组合使用，混合后的高分子混合物可以直接生成固态、规定形状的测试型材试样。&ldquo 对于客户来说，它意味着只需一种综合解决方案即能完成从成型、定型、输送到切割的所有工作&rdquo ，赛默飞世尔科技公司材料物性表征部副总裁兼总经理Markus Schreyer表示。&ldquo 这有助于客户更快开发产品，在市场上取得显著的竞争优势。&rdquo Sample Sizer为即插即用型模块，配有可换真空定型装置，采用水冷系统，牵引速度可以调节。由于高分子聚合物熔体体积流量取决于喂料速率和挤出机速度等参数，因此通过测量分析软件Thermo Scientific HAAKE PolySoft即可轻松进行管理，而不必中断实验。Sample Sizer操作方便，能迅速更换材料。挤出口模和定型单元均可以安装在水平开启式机筒上。通过快速释放夹具，能对流道和加工接触面轻松进行清洁或更换组合（如产品更换）。 赛默飞世尔科技公司借助其全面的Thermo Scientific材料物性表征解决方案，成功地为各个行业提供了帮助和支持。这些产品能对塑料、食品、化妆品、药品和涂料以及各种液体和固体的粘度、弹性、加工性能及与温度有关的机械变化等特性进行分析和测量。欲获取更多信息，请访问公司网站：www.thermo.com/mc。 Thermo Scientific是全球服务科学领域的领导者赛默飞世尔公司旗下的子公司。 关于赛默飞世尔科技 赛默飞世尔科技有限公司（Thermo Fisher Scientific Inc.）（纽约证交所代码：TMO）是全球科学服务领域的领导者，致力于帮助客户使世界变得更健康、更清洁、更安全。公司年度营收达到100亿美元，拥有员工33,000多人，为350,000多家客户提供服务。这些客户包括：医药和生物技术公司、医院和临床诊断实验室、大学、研究院和政府机构以及环境与工业过程控制装备制造商等。该公司借助于 Thermo Scientific 和 Fisher Scientific 这两个主要品牌，帮助客户解决从常规测试到复杂的研发项目中所面临的各种分析方面的挑战。Thermo Scientific 能够为客户提供一整套包括高端分析仪器、实验室装备、软件、服务、耗材和试剂在内的实验室工作流程综合解决方案。Fisher Scientific 则提供了一系列用于卫生保健，科学研究，以及安全和教育领域的实验室装备、化学药品以及其他用品和服务。赛默飞世尔科技将努力为客户提供最为便捷的采购方案，为科研的飞速发展不断地改进工艺技术，并提升客户价值，帮助股东提高收益，为员工创造良好的发展空间。欲获取更多信息，请浏览公司网站：www.thermo.com （英文），www.thermo.com.cn （中文）。 关于Bernhard Ide GmbH & Co. KG Bernhard Ide GmbH & Co. KG是一家国际型企业，以挤出机、挤出模具、定型系统和型材挤出下游机械制造方面具备的专业知识而著称。凭借其50年来积累的机械工程和挤出技术方面的丰富经验，该公司能为广大客户提供用于分级生产程序中的关键产品和服务；这些产品和服务包括由资深过程处理工程师提供咨询服务、模具制造、用于各类型材的挤出模具和定型系统、单螺杆挤出机和双螺杆挤出机（水平、垂直和轴向）。另外还提供模块化机械系统，它包括45种以上不同标准的下游单元，适用于客户的各种特殊挤出生产线。售后服务是公司客户技术支持中不可分割的一部分。为此公司为客户提供了挤出模具和机械操作与维护方面的培训、维修、备件供应及综合咨询等服务。欲获取更多信息，请浏览公司网站：www.ide-extrusion.de。