请问:聚焦离子束场发射扫描电镜双束系统这台设备中,SESI具体指的是什么检测信号??谢谢跟SE有什么区别?谢谢。。。
[font=mp-quote, -apple-system-font, BlinkMacSystemFont, &][size=17px][color=#353535]聚焦离子束显微镜FIB是将液态金属离子源产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像,此功能与SEM相似,或用强电流离子束对表面原子进行剥离,以完成微、纳米级表面形貌加工。[/color][/size][/font][font=mp-quote, -apple-system-font, BlinkMacSystemFont, &][size=17px][color=#353535]服务内容:切点分析[/color][/size][/font][font=mp-quote, -apple-system-font, BlinkMacSystemFont, &][size=17px][color=#353535]FIB/SEM/EDX[/color][/size][/font][font=mp-quote, -apple-system-font, BlinkMacSystemFont, &][size=17px][color=#353535]服务内容:1.材料表面形貌分析,微区形貌观察 [/color][/size][/font][font=mp-quote, -apple-system-font, BlinkMacSystemFont, &][size=17px][color=#353535]2.材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析 [/color][/size][/font][font=mp-quote, -apple-system-font, BlinkMacSystemFont, &][size=17px][color=#353535]3.薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析[/color][/size][/font][font=mp-quote, -apple-system-font, BlinkMacSystemFont, &][size=17px][color=#353535]4.纳米尺寸量测及标示[/color][/size][/font][font=mp-quote, -apple-system-font, BlinkMacSystemFont, &][size=17px][color=#353535]5.微区成分定性及定量分析[/color][/size][/font]
驰奔扫描电镜操作,最简单,但最重要的操作就是聚焦-Focus. 正确聚焦是调节其他相关参数的基础。很多情况下,不能正确的聚焦,造成图像不清。自动聚焦可以解决不能正确聚焦问题,实际上是错误的理解,有时也被某些人用来引导暗示客户,这往往成为忽悠人的一种策略。扫描电镜自动聚焦很多情况下是粗聚焦。总之手动聚焦不清楚,自动一定不会清楚。下面主要介绍手动聚焦, 当然也是最精细的聚焦。首先,扫描电镜是齐焦系统,即高倍正确聚焦,降低放大倍数,焦点不会改变。因此使用尽可能可识别的高倍聚焦操作是快速的正确聚焦方法。因为,高倍情况下焦深变小,对聚焦的正确与否,反应更灵敏。其次,要消除象散。象散的存在,往往会干扰正确聚焦。判断象散,需要较为丰富的图像细节,而象散现象又不被图像干扰,才是好的聚焦点。如果把象散在拉伸时的位置看做正确聚焦点,再进行象散矫正,图像会更模糊。再次,高倍高分辨成像,往往受限于信噪比差。反差小的细节,将被噪音覆盖,这时候要找到小反差基本等高的大反差部位作为聚焦点。也可以加大束斑尺寸,使用较高的SPOT值,获得比较良好的信噪比,在低分辨条件下对小反差样品进行聚焦消除象散操作,最后获得正确聚焦,然后再把SPOT值降低,获得高分辨的正确聚焦。改变SPOT值,如果无WD补偿机制,图像将不再正确聚焦,最后,在高倍正确聚焦情况下,将放大倍数降低到想要的放大倍数,自然可以看清同一个高斯焦面上下一定景深的所有的形貌。如下图低倍图像。需要说明,扫描电镜成像有多重缺陷,其中荷电严重部位,有边缘效应严重部位,不适合作为正确聚焦调节点。
[b]FIB介绍[/b][font=inherit]聚焦离子束技术[/font](Focused Ion beam,FIB)是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的离子束轰击材料表面,实现材料的剥离、沉积、注入、切割和改性。随着纳米科技的发展,纳米尺度制造业发展迅速,而纳米加工就是纳米制造业的核心部分,纳米加工的代表性方法就是聚焦离子束。近年来发展起来的[font=inherit]聚焦离子束技术[/font](FIB)利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工,配合扫描电镜(SEM)等高倍数电子显微镜实时观察,成为了纳米级分析、制造的主要方法。目前已广泛应用于半导体集成电路修改、离子注入、切割和故障分析等。、[b]应用领域[/b](1)线路修改-在IC生产工艺中,发现微区电路蚀刻有错误,可利用FIB的切割,断开原来的电路,再使用定区域喷金,搭接到其他电路上,实现电路修改,最高精度可达5nm。(2)产品表面存在微纳米级缺陷,如异物、腐蚀、氧化等问题,需观察缺陷与基材的界面情况,利用FIB就可以准确定位切割,制备缺陷位置截面样品,再利用SEM观察界面情况。(3)微米级尺寸的样品,经过表面处理形成薄膜,需要观察薄膜的结构、与基材的结合程度,可利用FIB切割制样,再使用SEM观察。[align=center][img=FEI V400,227,227]http://www.zenh.com/wp-content/uploads/2017/05/%E5%9B%BE%E7%89%8711.png[/img]FEI V400[/align]使用设备:FEI V400可以针对14nm,16nm,28nm, 40nm, 45nm, 65nm, .13um, .18um, .25um, .35um 制程进行线路改造。适用的封装形式BGA, QFN, CSP, WLBGA, Die and board Level, 8” wafer, packaged “flip-chip”[table][tr][td=2,1,568]FIB典型照片[/td][/tr][tr][td=1,1,279]观测[/td][td=1,1,288]线路修改[/td][/tr][tr][td=1,1,279][img=,227,209]http://www.zenh.com/wp-content/uploads/2017/05/%E5%9B%BE%E7%89%8712.png[/img][/td][td=1,1,288][img=,240,218]http://www.zenh.com/wp-content/uploads/2017/05/%E5%9B%BE%E7%89%8713.png[/img][/td][/tr][tr][td=2,1,568]FIB配合TEM进行复杂操作[/td][/tr][tr][td=2,1,568] [img=,554,254]http://www.zenh.com/wp-content/uploads/2017/05/%E5%9B%BE%E7%89%8714.png[/img][/td][/tr][/table]文章引用自正衡检测官网欢迎各位莅临正衡检测网站讨论咨询[url]http://www.zenh.com/[/url]
各位大虾,请问有没有能聚焦到30nm内的edx?请问透射电镜上的加速电压比扫描电镜高,其带的edx附件是不是比扫描电镜上聚焦更好?谢谢!
各位好,我们这里有一台FEI nova650的扫描电镜,前一阵冷水机的水泵突然出现了问题,换了一个水泵后冷水机工作正常了,但是电镜HR模式不能聚焦,厂家工程师过来检测了一下,说控制HR聚焦的电路板子被烧掉了。换一块板子很贵(买了电镜1年半),请问各位大侠有碰到过类似问题的吗?我们第一次遇到这种问题,本来以为电镜的寿命很长很长,应该怎么办呢?谢谢!
S-360扫描电镜粗细聚焦不起作用,距离显示一百多mm是哪儿的事呀?
我们公司主要是对外服务的 有蔡司场发射扫描电镜SEM和能谱EDS,TEM,聚焦离子束FIB,公司是在北京市海淀区清华科技园,公司24小时营业,可接受异地邮寄样品 或视频连线,收费标准按小时计费,联系方式:18510157223。18632928631 曹永乐
扫描电镜可以改装成激光共聚焦显微镜吗?如何改装呢?谢谢
很高兴能在这里跟大家一起聊天,一起讨论,我先来个自我介绍吧,我是15年毕业的,现在在某研究所工作,主要负责扫描电镜(SEM),聚焦离子束(FIB),能谱仪(EDS)工作,生活中我比较喜欢交朋友,喜欢与人一起讨论研究。现在很少逛论坛,今天突然打开论坛就想和大家一起聊聊,现在感觉逛仪器网论坛的很少了,很多都是以前的帖子,也不知道是不是大家不发言了还是怎么了?如果你们都在就评论留言一下吧,我们可以一起聊聊,一起学习一下。[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/05/201905312341581306_137_3135389_3.png[/img]
[b]职位名称:[/b]Application Scientist, SEM/FIB 扫描电镜/聚焦离子束[b]职位描述/要求:[/b]Responsibilities:• Perform high quality SEM/SDB product demonstrations, including the development of new techniques and applications for Thermo Fisher partners and customers.• Conduct customer training and translate customer needs into workable solutions• Technical product expert assisting with all phases of the sales cycle.• Cultivating positive customer relationships and acting as a high level customer interface for specific instrument/applications issues, explaining complex technology details, giving in depth technical presentations, and assisting in applications development.• Customer support and applications training post sales cycle and after instrument has been installed.• Provide continuous feedback to the product groups on system performance, features, and potential problems while collaborating with marketing/development groups on future product developments.Qualifications:• The successful candidate will possess the following combination of education and experience.• Typically requires MS degree, higher is preferred, in Materials Science, Chemistry and or Physics with strong post academic background demonstrating expertise in critical microscopy application areas• Knowledge and recent hands-on experience with SEM/SDB is required. Knowledge of advanced analytical techniques desirable.• 3 or more years’ experience in a relevant commercial/research establishment with recent experience utilizing SEM/SDB technology.• Knowledge of advanced technology diagnostics as well as fault finding techniques, operational optimization, and experience of analytical equipment specifically electron/ion microscopes.• Excellent, enthusiastic, clear communication skills, both written and verbal, with a diverse audience are critical to the success of this position.• Excellent customer interfacing skills a must• Proven ability to interact with cross - functional and cross - cultural teams• Frequent traveling and ability to travel both domestically internationally, possession of a valid passport.[b]公司介绍:[/b] 赛默飞世尔科技简介赛默飞世尔科技(纽约证交所代码:TMO)是科学服务领域的世界领导者。公司年销售额超过240亿美元,在全球拥有约70000名员工。我们的使命是帮助客户使世界更健康、更清洁、更安全。我们帮助客户加速生命科学领域的研究、解决在分析领域所遇到的复杂问题与挑战,促进医疗诊断发展、加速药物上市进程、提高实验室生产力。借助于首要品牌Thermo Scientific、Applied...[url=https://www.instrument.com.cn/job/user/job/position/69914]查看全部[/url]
各位大神,想问一下扫描电镜在使用过程中,电子束聚焦点的最高温度能达到多少?还有一些易分解的样品如五水硫酸铜,六水氯化铝之类的,在电子束扫描下是不是很容易分解?
浅谈扫描电镜的测试过程,内容包括基本原理、制样、镀膜、扫描电镜仪器外观、样品表面形貌观察与元素成分分析的测试 演示、扫描电镜可为材料的微观表征提供多种信息。扫描电镜的基本原理,是利用聚焦电子束与样品相
[size=16px][font=微软雅黑]扫描电镜[/font][/size][size=16px][font=微软雅黑]SEM制样对样品的厚度没有特殊要求,可以采用切、磨、抛光或解理等方法将特定剖面呈现出来,从而转化为可以观察的表面。这样的表面如果直接观察,看到的只有表面加工损伤,一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀,才能产生有利于观察的衬度。不过腐蚀会使样品失去原结构的部分真实情况,同时引入部分人为的干扰,对样品中厚度极小的薄层来说,造成的误差更大。 [/font][/size][size=16px][font=微软雅黑]透射电镜[/font][/size][size=16px][font=微软雅黑]由于TEM得到的显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度,因此样品观测部位要非常的薄,例如存储器器件的TEM样品一般只能有10~100nm的厚度,这给TEM制样带来很大的难度。初学者在制样过程中用手工或者机械控制磨制的成品率不高,一旦过度削磨则使该样品报废。TEM制样的另一个问题是观测点的定位,一般的制样只能获得10mm量级的薄的观测范围,这在需要精确定位分析的时候,目标往往落在观测范围之外。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀(FIB)来进行精细加工。 [/font][/size]
去年原创大赛发过[url=https://bbs.instrument.com.cn/topic/7004993]一篇文章[/url],以视频的形式展示了利用聚焦离子束(Focused Ion Beam, FIB)切割制备透射电镜(Transmission Electron Microscope, TEM)样品的整个流程。值此一周年之际,再发一篇图文版的文章,更详细的介绍各个步骤的参数,给大家作参考。[align=center][img=,690,304]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/10/201810312348388838_9210_2193245_3.jpg!w690x304.jpg[/img][/align][align=left][/align][align=left]论坛不太方便发表格数据,所以我在word里编辑好了,以截图的形式发出来。[/align][align=center][img=,690,448]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/10/201910172129453873_794_2193245_3.png!w690x448.jpg[/img][img=,690,225]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/10/201910172129483226_702_2193245_3.png!w690x225.jpg[/img][/align]表格中的一些缩写代表的含义如下:T:Tilt,R:Rotation,S R:ScanRotation;Regular:RegularCross-Section ,Cleaning:CleaningCross-Section;E:Easylift。另外还有一些其他的注意事项:1. 装样品和取样前,样品台的位置设置:X:60mm(靠门的最外)、Z:0、T:0;2. 每次改变束流值后要刷图并调一下聚焦;离子束观察时用30kv、7.7pA,可长开;其他束流太强,只能Snapshot刷图;3. 基本不用滚轮移动样品位置,而是移电子束/离子束使画面居中;4. 第2、4、7、9、12和14步等与“镀Pt”有关的步骤需要插、拔GIS的Pt dep;5. 第2、4、7步中保护层的XY取决于最终要保留的切片大小,表格中只是个示例,参考值;6. 本表所列参数适合切陶瓷(硬)材料,且焊在铜网爪侧边;不同材料或焊铜网爪顶端的相关参数都需做相应改变。注:本文只列出了一些关键的信息,对于熟悉或有一定了解FIB仪器的朋友,应该有很大的帮助,但是不了解FIB的人,可能面对这些介绍无法想象出来应该点软件界面的哪个位置。
扫描电子显微镜(scanning electron microscope),简称扫描电镜(SEM)。是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜。它能产生样品表面的高分辨率图像,且图像呈三维,扫描电子显微镜能被用来鉴定样品的表面结构。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/09/201309221547_465885_2063536_3.jpg扫描电镜是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的扫描电镜主要有真空系统,电子束系统以及成像系统。1、真空系统 真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。 真空柱是一个密封的柱形容器。 真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室,用于放置样品。之所以要用真空,主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以除了在使用扫描电镜时需要用真空以外,平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。 为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。2、电子束系统 电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。 电子枪:用于产生电子,主要有两大类,共三种。一类是利用场致发射效应产生电子,称为场致发射电子枪。这种电子枪极其昂贵,在十万美元以上,且需要小于10-10torr的极高真空。但它具有至少1000小时以上的寿命,且不需要电磁透镜系统。另一类则是利用热发射效应产生电子,有钨枪和六硼化镧枪两种。钨枪寿命在30~100小时之间,价格便宜,但成象不如其他两种明亮,常作为廉价或标准扫描电镜配置。六硼化镧枪寿命介于场致发射电子枪与钨枪之间,为200~1000小时,价格约为钨枪的十倍,图像比钨枪明亮5~10倍,需要略高于钨枪的真空,一般在10-7torr以上;但比钨枪容易产生过度饱和和热激发问题。 电磁透镜:热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子枪的扫描电镜上,电磁透镜必不可少。通常会装配两组: 汇聚透镜:顾名思义,汇聚透镜用汇聚电子束,装配在真空柱中,位于电子枪之下。通常不止一个,并有一组汇聚光圈与之相配。但汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,与成象会焦无关。 物镜:物镜为真空柱中最下方的一个电磁透镜,它负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。3、成像系统 电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。 有些探测器造价昂贵,比如Robinsons式背散射电子探测器,这时,可以使用次级电子探测器代替,但需要设定一个偏压电场以筛除次级电子工作原理 下图是扫描电镜的原理示意图。由最上边电子枪发射出来的电子束,经栅极聚焦后,在加速电压作用下,经过二至三个电磁透镜所组成的电子光学系统,电子束会聚成一个细的电子束聚焦在样品表面。在末级透镜上边装有扫描线圈,在它的作用下使电子束在样品表面扫描。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/09/201309221549_465886_2063536_3.jpg 由于高能电子束与样品物质的交互作用,结果产生了各种信息:二次电子、背反射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子、阴极发光和透射电子等。这些信号被相应的接收器接收,经放大后送到显像管的栅极上,调制显像管的亮度。由于经过扫描线圈上的电流是与显像管相应的亮度一一对应,也就是说,电子束打到样品上一点时,在显像管荧光屏上就出现一个亮点。扫描电镜就是这样采用逐点成像的方法,把样品表面不同的特征,按顺序,成比例地转换为视频信号,完成一帧图像,从而使我们在荧光屏上观察到样品表面的各种特征图像性能参数放大倍数 扫描电镜的放大倍数M定义为:在显像管中电子束在荧光屏上最大扫描距离和在镜筒中电子束针在试样上最大扫描距离的比值 M=l/L式中l指荧光屏长度;L是指电子束在试样上扫过的长度。这个比值是通过调节扫描线圈上的电流来改变的。景深 扫描电镜的景深比较大,成像富有立体感,所以它特别适用于粗糙样品表面的观察和分析。分辨率 分辨本领是扫描电镜的主要性能指标之一。在理想情况下,二次电子像分辨率等于电子束斑直径。场深 在SEM中,位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深,通常为几纳米厚,所以,SEM可以用于纳米级样品的三维成像。作用体积 电子束不仅仅与样品表层原子发生作用,它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用,所以存在一个作用“体积”。 作用体积的厚度因信号的不同而不同: 欧革电子:0.5~2纳米。 次级电子:5λ,对于导体,λ=1纳米;对于绝缘体,λ=10纳米。 背散射电子:10倍于次级电子。 特征X射线:微米级。 X射线连续谱:略大于特征X射线,也在微米级。
各位大虾,请教个问题。我们的电镜工作距离会随着聚焦而变化,是不是哪个参数没有调好啊!我觉得正常应该是几乎不变的。如果是的话应该怎么调节,谢谢!
国内(大陆)哪家公司或单位有二手最好是废弃的聚焦离子束(FIB)系统出售呢?单双束不限。使用年限不限。价钱越便宜越好。请发信给我afibers@gmail.com.非常感谢!
有两位朋友提出了扫描电镜的图像问题,希望能与阁下共同探讨扫描电镜故障部位的判断:故障现象:1观察图像有严重雪花。利用能谱仪判断故障部位。按照你做能谱分析设置的条件以TV方式收谱。如果收谱计数率正常,则镜筒部分正常 。故障在成像系统,包括二次电子探测器。如果收谱计数率很低则故障在镜筒部分,包括灯丝对中、灯丝和维氏帽的距离。2观察图像模糊不清:先确定束斑大小的选择是正确的,仔细观察图像有无流动感。若图像有流动感且调节象散无效,必须清洗镜筒,若图像没有流动感,说明束斑已经变大,电子束聚焦不良,需要检修电磁透镜及有关电路。
冷场扫描电镜(JEOL-6701)下观察样品,样品用无水乙醇分散。在取小框聚焦和调像散后,总会在小框位置上部分留下一条明显的印记(基底为硅片),求助这是什么原因,该如何解决
[font=宋体]到人类对自然的探索永无止境,为了了解和研究自然,人类最初通过肉眼来观察自然中的各种现象。但是人眼的观察能力有限,在正常情况下,人眼可分辨的最小尺寸约为[/font]0.2 mm[font=宋体]。为了把人眼的观察范围拓展到微观领域,就必须借助显微镜,将微观形貌放大,来满足人眼观察的需要。[/font][font=宋体]不管哪种类型的显微镜,其工作原理都相似,一束极细的照明光束[/font]([font=宋体]电子束[/font])[font=宋体]以一定的方式照射到样品上,照明光束[/font]([font=宋体]电子束[/font])[font=宋体]和样品间的相互作用产生带有样品信息的信号,将这些信号收集、放大和成像,形成样品的放大图像,最后被记录介质记录。[/font][font=宋体]扫描电镜以聚焦电子束为照明源,聚焦电子束以周期性方式逐点逐行扫描样品,产生带有样品信息的各种信号,包括背散射电子、二次电子和特征[/font]X[font=宋体]射线。信号接收装置收集、放大和处理这些信号,从而获得微区放大图像和微区元素组分信息。[/font][align=left][font=宋体]如何使用扫描电镜?如何处理电镜获得的微观图像?[/font][/align][align=center][font=宋体][img=,225,304]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/04/202404231030103572_8293_1603833_3.png!w225x304.jpg[/img]《场发射扫描电镜的理论与实践》[/font][/align][align=center][font=宋体]作者:李永良,徐驰,李文雄,张月明 著[/font][/align][align=center][font=宋体]出版社:人民邮电出版社[/font][/align][align=center][font=宋体]出版时间:2024-4[/font][/align][align=center][font=宋体]书号:9787115631954[/font][/align][align=left][font=宋体]内容简介[/font][/align][align=left][font=宋体] [/font][/align][align=left][font=宋体]场发射扫描电镜的出现,标志若扫描电镜进入一个崭新的时代,扫描电镜技术取得了巨大进步。新型电子枪、浸没式物镜、穿镜二次电子探测器、模拟背散射、E×B和电子束减速等新技术的应用,极大地提高了扫描电镜的性能,场发射扫描电镜已经成为各类分析测试实验室必备的仪器。[/font][/align][align=left][font=宋体]本书系统地论述了扫描电镜基础理论、扫描电镜的结构和成像原理,通过实操案例详细地介绍了扫描电镜的调试和参数选择,重点介绍了样品制备及场发射扫描电镜在生物、环境和材料领域中的应用。 本书适合材料、化学、生物、微电子、半导体和环境等领域的科研院所和高校相关专业师生阅读,可为相关行业研究人员和从业者提供有益参考。 [/font][/align][align=left][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left]本书特点[/align][align=left][/align][align=left]1. [font=宋体]理论研究[/font]+[font=宋体]实践操作的强大作者团队[/font][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left][font=宋体]本书作者[/font][font=宋体]李永良在北京师范大学分析测试中心电镜室从事电子显微镜的教学和测试工作30余年,具有丰富的扫描电镜操作和分析经验,能够深入了解初学者、进阶者在不同使用阶段面临的具体问题,同时有多位具有丰富扫描电镜使用和管理经验的从业者共同编著,提供专业的指导和帮助。[/font][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left] [/align][align=left][/align][align=left]2. [font=宋体]从电镜结构到成像原理,帮助读者全面了解场发射扫描电镜[/font][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left][font=宋体]本书系统论述了场发射扫描电镜的理论与实践。在前两个章节分别介绍了扫描电镜基础理论、结构和成像原理。[/font]=[font=宋体],能够帮助刚接触到扫描电镜的实验室新手、行业新入门者建立牢固的基础,应对更多更复杂的实验室使用场景。[/font][/align][align=left][/align][align=left]3. [font=宋体]从参数选择到样品制备再到问题图像处理,从实践角度指导操作[/font][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left]仪器的调试和工作参数对扫描电镜的最终图像影响很大,本书通过实操案例介绍了扫描电镜的调试过程及不同工作参数对图像的影响,总结了包括粉末样品、截面样品等一些常见样品的制备方法,结合具体图像分析了图像散焦、辐照损伤等问题图像处理的办法。[/align][align=left][/align][align=left]4. [font=宋体]具体案例出发,展示扫描电镜在多个领域的具体应用[/font][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left][font=宋体]本书分别选择扫描电镜在植物花粉、纳米材料、[/font]PM?s[font=宋体]颗粒物、建筑材料、沉积膜、磁性粉末和纳米催化剂等方面的应用,列举了大量的实例和图片,希望为帮助多个学科领域的读者正确理解扫描电镜。[/font][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left]推荐读者[/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left] [/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left]本书的读者包括开设相关课程的部分职业学校的学生、生化环材物理等学科的大学生、研究生以及电镜操作人员。 [/align][align=left]扫描电镜已经普及,在国内部分高职院校开设了培训课程,很多大学也开设了扫描电镜的选修课或者培训课程,本书可以作为参考书,也适合于企业、研究所的电镜培训班使用。[/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left]作者简介[/align][align=left][/align][align=left][font=宋体]李永良 北京师范大学分析测试中心副研究员,1988年入职北京师范大学分析测试中心电镜室,从事电子显微镜的教学和测试工作30余年,在国内外期刊上合作发表论文超150篇,其中第一作者论文38篇。 徐驰 北京师范大学核科学与技术学院讲师、硕士生导师,兼任北京师范大学分析测试中心透射电子显微镜主管工程师。中国核学会射线束技术分会理事,主要研究方向为金属材料辐照损伤、极端环境材料腐蚀机理,以及[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/5p][color=#3333ff]液相[/color]等离子体氧化技术应用。 李文雄 2005年进入电子显微镜行业,从业以来,努力将碎片化的销售和管理经验进行系统化梳理。中国人民大学商学院硕士,中国人民大学北京校友会副秘书长,中国人民大学西南校友会副会长。 张月明 2017年毕业于钢铁研究总院,师从李卫院士,研究领域为稀土永磁材料。数年来一直致力于电子显微镜的推广工作,对电子显微镜在金属及磁性材料领域的应用有独到见解,现就职于日立科学仪器(北京)有限公司。 [/font][/align][align=left][font=宋体][/font][/align][align=left][font=宋体][img=,690,1190]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/04/202404231038403967_1874_1603833_3.jpg!w690x1190.jpg[/img][/font][/align][align=left][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left] [/align]
我公司有一台扫描电镜 型号SU8010,还有一台离子束显微镜 型号helios nanolab 660;公司需要找第三方机构校准,找哪家做啊,有没有人知道?急等
我们的XL30扫描电镜由背散射电子探头转化为二次电子探头,竟然导致钨灯丝无法聚焦,无法做到灯丝饱和,问厂家说是一块高压板坏了,是我们的仪器该坏了还是在转换探头时碰到了哪里呢?一块高压板2万多呢!高手来说说!
做扫描电镜不算时间太长,中间由于就在操作上花功夫,所以理论功底可以说很浅,那么就自己做的过程中一些感受谈一下。 由于是赶鸭子上架的那种,所以刚开始接触电镜,不是特别有兴趣研究,把说明书看了个遍,总算是对整个系统的操作和基本维护有了感觉。不过加上加班加点的做样品,也就慢慢觉得这是一个机械操作的活,没有多少技术含量,也就是中间找到一些比较新奇的形貌,会增加一些乐趣。但总体上的感觉就是拉工作距离,聚焦消象散,扫描成像,存储刻盘。或许在做EDX的mapping时才能有比较长的休息时间,其他的时间都被样品包围,几乎喘不过气来。 这些训练还是有必要的。想来有以下几个方面: 其一,软硬件结合操作,自动对焦消象散,自动对比度等等。但是自己动手去学习聚焦消象散的感觉,尤其是高倍率照片的拍摄,尤其需要自己的感受,这种训练在我以后从事TEM操作的过程中受益不少,因为感觉只能靠经验得到,这就大大降低了我学习TEM高倍率消象散的难度。 其二,多看样品对于了解一些基本的形貌特征有了深刻的印象,基本上来的样品一说是什么材料就能知道找什么样的形貌特征,这也对以后的TEM的选择样品和形貌有了有利的促进。 其三,处理样品观测中间出现的特殊情况,比如样品是易损样品,那么要注意物镜光阑被污染,扫描过程中样品形貌的突变,这时候要调整工作距离到15 mm左右,并且要降低电压,扫描时间要缩短等等。或者样品的导电性能不佳,就要调节电压到小于5kv,才能达到消电荷的目的,还有一些很细的粉末样品,就要多喷金,虽然有些影响形貌,但总体上能减少对物镜光阑的污染。另外,对碳纳米管的观测,也有比较好的方法,一般来说很细的纳米碳管是无法用钨灯丝电镜看清楚的,但是可以通过降低电压,在硅片上的碳纳米管就因为导电性能好而信号加强,从而得到比较好的照片(此方法为听一美国教授经验所得,未曾实践,但颇有道理)。 其四,可以让自己处理样品更快,更合理,比如学会了一个8mm样品台上放置16-20个样品,侧面观测的时候粘结技巧,塑料断面的取样和粘结技巧等等。 其五,扫描电镜是一个精密的仪器,操作过程中需要胆大心细的运作才能有很好的运行效率。比如更换灯丝,要求换灯丝的时候要耐心,再耐心,才能保证更换的质量和灯丝的寿命。而耐心,我觉得是电镜工作者必须具有的基本素质,这在透射电镜的使用中更是如此。 看看自己讲的几个方面,不外乎两个字:经验。这个是做大型仪器的人财富,是今后提高的基础所在。 从我们整个系统来看,分辨率不是很高,因为灯丝的限制,所以最佳放大倍数只能在20000-40000倍之间,那么我们的样品就集中在50 nm以上的样品观测。但由于同学和老师的指点加上我们自己的努力,扫描电镜成为一个对合适样品精做,对较细样品过滤到透射电镜去做的过滤网和中转站。 但也有遗憾,比如背散射探头,至今没用过几次,虽然可以用平时不常用来推托为购买时的失误,但毕竟也有自己没有好好研究使用技巧的原因,还有加热台,也因为操作时间长而无法得以很好的利用,算是几个遗憾之一吧。
我们实验室有一台FEI场发射扫描电镜,模式一下无法聚焦,看不清图像,模式二下可以看清图像但雪花点很大,信噪比很差,请问这是什么原因?
前几天和同事聊天,说有一文献报道透射电镜可以用来切割碳纳米管,扫描电镜在30KV下能不能做这项工作,也来切割?
【电镜视频大赛】+聚束科技高通量(场发射)扫描电镜NavigatorSEM-100+聚束科技
做扫描电镜不算时间太长,中间由于就在操作上花功夫,所以理论功底可以说很浅,那么就自己做的过程中一些感受谈一下吧。我们用的是Philips的钨灯丝扫描电镜,型号XL30。能谱配了Oxford的Link ISIS系统。另外配备了加热台和背散射探头。由于是赶鸭子上架的那种,所以刚开始接触电镜,不是特别有兴趣研究,也就买了书看看,把说明书看了个遍,总算是对整个系统的操作和基本维护有了感觉。不过加上加班加点的做样品,算是手熟了不少,也就慢慢觉得这是一个机械操作的活,没有多少技术含量,也就是中间找到一些比较新奇的形貌,会增加一些乐趣。但总体上的感觉就是拉工作距离,聚焦消象散,扫描成像,存储刻盘。或许在做EDX的mapping时才能有比较长的休息时间,其他的时间都被样品包围,几乎喘不过气来。后来来了另外一个老师才勉强算是脱身。当然这些训练还是有必要的。想来有以下几个方面吧:其一,philips的软硬件结合比较扎实,操作比较方便,虽然是5年前的系统,现在看来也是不错的,至少基本的理念都有了。自动对焦消象散,自动对比度等等。但是自己动手去学习聚焦消象散的感觉,尤其是高倍率照片的拍摄,尤其需要自己的感受,这种训练在我以后从事TEM操作的过程中受益不少,因为感觉只能靠经验得到,这就大大降低了我学习TEM高倍率消象散的难度。其二,多看样品对于了解一些基本的形貌特征有了深刻的印象,基本上来的样品一说是什么材料就能知道找什么样的形貌特征,这也对以后的TEM的选择样品和形貌有了有利的促进。其三,处理样品观测中间出现的特殊情况,比如样品是易损样品,那么要注意物镜光阑被污染,扫描过程中样品形貌的突变,这时候要调整工作距离到15 mm左右,并且要降低电压,扫描时间要缩短等等。或者样品的导电性能不佳,就要调节电压到小于5kv,才能达到消电荷的目的,还有一些很细的粉末样品,就要多喷金,虽然有些影响形貌,但总体上能减少对物镜光阑的污染。另外,对碳纳米管的观测,也有比较好的方法,一般来说很细的纳米碳管是无法用钨灯丝电镜看清楚的,但是可以通过降低电压,在硅片上的碳纳米管就因为导电性能好而信号加强,从而得到比较好的照片(此方法为听一美国教授经验所得,未曾实践,但颇有道理)。其四,可以让自己处理样品更快,更合理,比如学会了一个8mm样品台上放置16-20个样品,侧面观测的时候粘结技巧,塑料断面的取样和粘结技巧等等。其五,扫描电镜毕竟是一个精密的仪器,操作过程中需要胆大心细的运作才能有很好的运行效率。比如更换灯丝,XL30没有自对中功能,这就要求换灯丝的时候要耐心,再耐心,才能保证更换的质量和灯丝的寿命。而耐心,我觉得是电镜工作者必须具有的基本素质,这在透射电镜的使用中更是如此。看看自己讲的几个方面,不外乎两个字:经验。这个是做大型仪器的人财富,是今后提高的基础所在。从我们整个系统来看,分辨率不是很高,因为灯丝的限制,所以最佳放大倍数只能在20000-40000倍之间,那么我们的样品就集中在50 nm以上的样品观测。但由于同学和老师的指点加上我们自己的努力,扫描电镜成为一个对合适样品精做,对较细样品过滤到透射电镜去做的过滤网和中转站。我们处理的样品有时每日多达100余个,为系里的科研发展出了一份力,也算一种自豪吧。而且由于我们的使用得当,几年来几乎没有任何器件损坏,也算一种成绩吧。但也有遗憾,比如背散射探头,至今没用过几次,虽然可以用平时不常用来推托为购买时的失误,但毕竟也有自己没有好好研究使用技巧的原因,还有加热台,也因为操作时间长而无法得以很好的利用,算是几个遗憾之一吧。
这一段时间开始使用扫描电镜,看到那么多的调整参数,不知先从那个下手,总是碰到聚焦了老半天,背景噪声依然很大,折腾了两天,还是没有得到一张满意的图像,求助各位,能不能给出调解扫描电镜的步骤,以及各个调节参数的影响?非常感谢!
地点:北京主要做芯片失效分析工作中的透射电镜分析,工作中也会用到聚焦离子束,扫描电镜等,最好是材料相关专业。最好有透射电镜经验,有其它电镜经验也可以。要求2018及之前毕业的,有合适的人帮忙推荐一下,谢谢!简历请发邮件至:gary_zhao@smics.com