一、产品概述:扫描电镜(Scanning Electron Microscope, SEM)是一种高分辨率的显微镜,利用电子束扫描样品表面以获取其形貌和组成的信息。SEM能够提供详细的三维表面图像,广泛应用于材料科学、电子工程、生物学和地质学等领域。二、设备用途/原理:设备用途EM主要用于材料表面的形貌分析、微观结构观察和成分分析。它在半导体器件的缺陷检测、金属和合金的微观结构研究、以及生物样品的形态观察中发挥着关键作用。SEM还常用于材料的质量控制和研发过程中的性能评估。工作原理SEM的工作原理是将高能电子束聚焦到样品表面,电子束与样品相互作用产生二次电子、反射电子和特征X射线等信号。通过收集这些信号,SEM能够生成样品表面的高分辨率图像。电子束的扫描可通过计算机控制,实现多角度观察和深度信息提取。由于其高分辨率和大景深特性,SEM能够提供丰富的样品表面信息,助力多领域的研究和应用。三、主要技术指标:1. FE-SEM获得的图像分辨率高,信息丰富,样品处理相对简单,并且它可以观察、测量并分析样品的细微结构,因此被广泛应用于纳米技术 、半导体、电子器件、生命科学、材料等域2. 电子枪种类:冷场发射3. 二次电子图象分辨率:0.6 nm@15kV;0.7nm@1kV4. 放大倍数:20-2,000,000x5. 加速电压:0.5-30kV
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