色谱质谱气体分析仪

赛默飞旗下液相色谱LC、气相色谱GC、离子色谱（IC）、质谱（LC-MS/MS、GC-MS/MS、LCHRMS、GCHRMS、IOMS）、痕量元素分析（TEA）和样品前处理系统，是业界领先产品，能为科学分析创造出全新的可能性。主要产品：液相色谱（LC）液质联用（LC-MS/LC-MSMS）高分辨液质离子阱质谱气相色谱（GC）气质联用（GC-MS/GC-MSMS）高分辨气质痕量元素分析产品（AAS, ICP, ICP无机质谱离子色谱（IC）样品前处理设备（SP）水质分析仪（CDD）色谱数据系统（CDS）网络讲堂同位素技术在葡萄酒真伪鉴定和产地溯源中的应用离子色谱在有机化合物分析中的应用研究赛默飞三重四极气质联用仪在疾控领域中的应用赛默飞CSR(大体积进样技术)和NCI（负离子化学电离技术）在电子电器产品有害化合物分析中的应用赛默飞液相色谱柱在制药领域中的应用赛默飞2015版《国家药包材标准》色谱、光谱及元素分析解决方案赛默飞iCAP RQ ICP-MS新产品介绍及最新应用进展赛默飞色谱、光谱对食品中有毒有害物质分析应用更多信息：请访问赛默飞色谱与质谱分析的展台，展位号：SH100244。或使用域名登陆：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100244/

仪器原理 大气中的挥发性有机物样品，具有组成复杂、含量低、活性强、浓度和化学活性差异大等特点，系统通过与Exp-200深冷预处理装置配合使用，结合氢火焰离子化检测器（FID）技术和质谱检测器技术（MSD）进行大气中VOC样品的在线分析监测。 样品经Pre-3000深冷预处理装置除水、富集浓缩后，通过直热式高温热脱附，被快速送入至毛细管色谱柱进行分离，分离后的样品，低碳（C2-C5）类VOC样品使用氢火焰离子化检测器（FID）进行检测；高碳（C6-C12）和含氧类VOC样品使用质谱检测器（MSD）进行检测，得到各单一组分准确的定性定量分析结果。 在线色谱-质谱分析仪充分利用了气相色谱的分离技术和质谱检测器的定性检测技术，可有效用于环境大气中复杂多组分VOC样品监测。一次采样可检测100多种各类VOC（碳氢化合物、卤代烃、含氧挥发性有机物）样品。仪器特点 工业标准系统设计，系统可靠性高；断电开机后，系统自动循环运行，维护量低； 低温电制冷技术，仪器体积小，整机采用19”标准机柜设计，安装维护方便； 质谱检测数据自动分析处理，结果直接输出，并传送至分析平台，无需人工计算； GC-FID、GC-MS双系统进行VOC检测，一次可检测100多种各类VOC（碳氢化合物、卤代烃、含氧挥发性有机物）； GC-FID系统使用预分离和阀切换反吹技术，避免高沸点组分进入分析系统，提高色谱柱的使用寿命； 对样品深度除水，解决水汽对色谱柱性能的影响；深冷富集可提高样品富集效率，解决含氧类VOC常温富集效率低、差异大的问题，提高检测灵敏度。应用领域　　环境空气组分分析监测　　环境空气痕量样品监测　　石化化工园区厂界挥发性溶剂及未知物组分分析　　科学研究

Thermo Scientific Delta V Advantage新一代同位素比质谱仪凝聚了我们在质谱仪领域里50年以上的经验。同位素比质谱仪的基础原理是把任何类型的无机或有机化合物转换成为单纯的气体。作为DELTA V Advantage 的进样系统，有广泛的样品预处理设备和接口可供选择。它可以与元素分析仪、GasBench、气相色谱或液相色谱等装置联用，用于测定C、N、S、H、O等多元素的稳定同位素比值，可用于食品安全、农业、环境、地质、海洋等领域，进行食品真实性鉴定、原产地判别以及环境污染物溯源等研究。赛默飞世尔为实践中在每个应用中可能遇到的各种各样的样品的 全自动分析提供应用气相色谱，液相色谱和元素分析仪的完整分析方案。该仪器具有以下特点： 极好的扩展性，可以与各种外围设备联用，确保高度自动化和高性能在保证卓越的线性和稳定性的同时，展示了最好的灵敏度结构紧凑，坚固耐用

产品概述 GC-MS 8700气相色谱-质谱联用仪，是将气相色谱仪和质谱仪结合起来，对有机化合物进行分离、定性定量检测的分析仪器。可与快速溶剂萃取、吹扫捕集、热解吸等前处理设备联用，解决固体、液体、气体样品中有机物的检测。产品特点◇ 离子源和四极杆独立双腔体设计，配合250L/s高性能长寿命涡轮分子泵，为四极杆和电子倍增器提供优良的真空环境，降低离子源污染和背景干扰，提高设备灵敏度和稳定性。◇ 离子源采用高温惰性陶瓷材质，离子化效率高、污染少。◇ 灯丝采用长寿命惰性材料制成，双灯丝设计，使用时间翻倍。◇ 配备可拆卸预四极，较少四极杆污染，增长使用寿命，降低维护频率。◇ SCAN、SIM模式同时扫描，一次进样获得定性、定量分析结果。◇ 分子质量范围可达1250amu，应用范围广。◇ 具有电子倍增器和灯丝保护功能，可在色谱运行中任意区间关闭灯丝及电子倍增器，规避易饱和物质，提高使用寿命。 应用领域环境监测：水土气等环境样品中挥发性、半挥发性有机污染物的检测等疾控、自来水：生活饮用水中挥发性有机物、农药残留分析等食品安全：食品添加剂分析、农残兽残检测、食品包材污染物分析等轻工制造：香料分析、添加剂检测等教学科研：教学演示、科研课题等

APIX超高纯电子气质谱分析仪 结合了工艺先进的电子电路和功能强大的过程分析软件的、性能卓越 的大气压离子化质谱仪 (API-MS)使得 Thermo Scientific APIX 生产线提供的分析仪系统成为半导体和电子工业大宗气体连续质量控制的选择。 API-MS 为传统质量控制技术提供了一个成本-效益的替代方案，允许每种大宗气体中一系列潜在污染物浓度监测能够达到很低的测量下限；相较于其他技术，甚至能够优于100倍。 APIX产品线提供了更多完整的杂质分析，包括： H2、CO、CO2、H2O、O2、CH4 、Kr和 Xe ，以及其他需要测量的杂质。随着 300 mm 晶圆生产者发布更严格污染物控制气体质量标准，这种技术将持续的成为ppt级杂质测量下限的首选技术。 特点： 快速在线测量（典型＜5秒）确保 了立即响应供气的波动状况 完全集成的多分析器分析方案提 供了污染物的快速检测 超高的灵敏度和10ppm的测量下限满足当下以及未来的严格的气体分析要求 备份能力在单个大气压离子化分 析器（API）在维护时，允许每 一台大气压离子化质谱仪（APIMS）支持多流路分析 针对于工厂控制和数据集中的标准 化工业通讯协议 (OPC, DDE, Modbus, Siemens 3964R, PROFIBUS, 等等)应用 超高纯氮气（UHP N2） 超高纯氩气（UHP Ar） 超高纯氦气（UHP He） 超高纯氢气（UHP H2） 运行原理APIX δQ 和APIX Quattro 采用阳离子大气压离子化质谱仪 （ API-MS）技术, 该技术被电子工业广泛用于检测超纯气体中的污染物。进样时，样气以大气压或略高于大气压的压力进入离子源。 金属针设置在靠近由孔板行成的通向棱镜组的入口附近。它带有高的电压，能够产生电晕放电。这就产生了从孔板到针头的电子流。电子与离子源中 大量样气发生反应，从而导致大量样气气体分子的电离。 幸运的是，相对于氮气、氢气、氦气和氩气而言，这些出现在样气中浓度很低的污染物需要很少的能量就可以产生 电离。正是因为如此，任何污染物分子出现在样气中，它们与样气离子发生反应的几率就非常高。 这种反应发生时，电荷转移至污染物气体分子，这就形成了再次电离。 这个电荷转移导致非常高比例的污染物气体分子被电离。 事实上，这个效率比其他使用真空腔电离技术的质谱仪， 其效率要高1000倍。 部份样品、完全电离的污染物，经过一系列的减压透镜后，进入三重四级杆质谱仪。一个测量质量数达到300道尔顿（原子质量单位）三重四级杆能够确保实现所有污染物的精确测量。脉冲计数放大器的噪声等级仅为10个脉冲，每106个脉冲, 与大气压离子源配合后, 能够确保12数量级的测量下限，它可以低1012之一 (即1 ppt). 配置：APIX δQ的标准配置为一个单一机箱，它里面配置了1个大气压离子化质谱仪（API-MS）和 一个Air Liquide 气体处理单元，它能够用于ppb或ppt级自动校准。标准机箱是为 相对空气洁净且有温度控制的环境而配置；如果需要，一定数量的冷却降温和吹扫选项也可以满足更多环境需求。 APIX Quattro 标准配置使用了三个机箱，两个配置了4 个大气压离子化质谱仪（API-MS）独立机箱，和第三个装有一个Air Liquide 气体处理单元机箱。 四个质谱仪中的每一个都安装在滑轨上，以便向前拖出，便于维护。 顶部安装的机箱盖包含流路切换阀组， 用于采样气体连接。它允许多个流路连接到每个独立的 散装气体分析器。这种流路选择可以是手动或完全自动完成。每一个大气压离子化质谱仪（ API-MS ）都是独立的，并且都具备多流路切换功能。当一台质谱仪进行年度固定维护时，可以使用其余三台质谱仪监测四个散装气体。 在这两种配置的机箱盖组件包含一个氢安全系统，以确保质谱仪在氢气泄漏时安全关闭。这个安全设备使用独立于质谱仪供电。如果需要有限的机动性，可以提供一组车轮，使该质谱仪能够安全地从一个测试点推送到另一个测试点。 每一个质谱仪通过使用后备电池闪存、运行实时的操作系统的处理器控制。这个处理器作为一系列内部控制器的主人，它们之间的通过以太电缆实现互联。 这些微处理器中的每一个都能作为一个独立部件单独运行，例如气体处理器和多流路进样系统。气体处理器仅需要一个单独的校准气瓶并结合了来自渗透管装置的湿度校准。 内部配电装置通过内部分析仪网络进行监测和控制。 这一设计拓展了 GasWorks 软件的诊断能力。每一个多处理器网络提供了冗余的通讯渠道，允许质谱仪可靠、不需要电脑工作站独立运行，直接传送样品流路数据和诊断信息至DCS或SCADA系统。每一个通讯渠道都可被配置为点对点的 光纤通讯或是硬接线的电流回路、多点连接 。每个分析器都可以配置一个嵌入式opc服务器，与 Microsoft 主机或多种工艺网关协议(Modbus, Siemens, Allen-Bradley, 等.)实现无缝通信 。如果需要质谱仪提供硬接线模拟检测和数字报警输出， OPTO 22 SNAP 和 OPTOMIX 协议将被完全支持，一系列硬件卡件能够使用。 Thermo Scientific GasWorks 软件 Thermo Scientific GasWorks 软件包为质谱仪操作提供了一个直观的、信息丰富且灵活的窗口。使用安装了Gasworks软件的一台电脑可以完成初始设置，过程数据和诊断信息的显示。我们也可以断开电脑与APIX的连接；APIX能够脱离与电脑的连接而独立运行于无人值守模式。 从设计概念到数代产品，完全认可的ISO 9001质量程序得到了软件团队的严格执行。 软件安装可以随时检查，以确保其可验证的完整性和正确性。软件更新可以远程上传。 技术参数测量方式APIX δQ: 1x 三重四级杆质谱分析器 APIX Quattro: 4x 三重四级杆质谱分析器质量范围1-300 AMU离子源类型大气压离子化离子源背景＜1 ppt放大器和动态测量范围100 MHz脉冲计数型检测器脉冲计数通道电子倍增器检测噪声每106 有10个数检测下限 10 ppt (根据组份变化)分析时间（典型） 1s每个组份流路切换时间（典型）15分钟至 1 ppb适合的大宗气体H2 , N2 , Ar, He串口连接类型RS232, RS422, RS485检测的污染物H02 , He, CO, CO2 , O2 , CH4 , Kr 和 Xe (其他污染物也可检测)外形尺寸APIX δQ: 1.9 m (H) x 0.7 m (W) x 0.65 m (D) APIX Quattro: 1.9 m (H) x 2.1 m (W) x 0.65 m (D)

产品概述　　Mars-400 Plus便携式气相色谱-质谱联用仪（Gas Chromatography-Mass Spectrometry, GC-MS）是一款使用内置的电池和载气，由单人携带操作，能在环境恶劣的事故现场进行准确定性定量分析的分析仪器。该仪器将低热容气相色谱技术与离子阱质谱技术有机结合，充分发挥了快速气相色谱法的分析速度快，分离效率高和质谱法定性能力强、检测灵敏度高的优势，能够及时快速地对事故现场的有机污染物进行准确定性和定量检测，主要应用于环境空气、水体、土壤和固体废弃物中挥发性和部分半挥发性有机物的现场分析。产品特点　　现场分析对仪器的综合性能提出了苛刻的要求。作为一款先进的便携式GC-MS，Mars-400 Plus 不仅稳定可靠，环境适应性强，而且其在分析速度、检测灵敏度、样品引入方式、可携带性等方面具有显著的技术优势：　　分析速度快：采用了快速气相色谱技术和离子阱质谱高速扫描模式相结合的方式，使分析周期缩短到常规色谱的20%以下，从而使分析效率较之常规气相色谱技术有了5 倍以上的提高；　　检测灵敏度高：采用三维离子阱作为Mars-400 Plus 的质量分析器，并开发了一种专利的脉冲式内离子源技术，提高了系统对低浓度组分的响应，满足现场对于痕量样品的高灵敏度检测要求；　　测量手段灵活：仪器内置分流进样口，并配置气体采样探头、顶空进样系统，实现气、液、固三种形态的环境样品检测。手持气体采样探头用于现场气体样品的采样；顶空进样系统用于现场水体、土壤中挥发性有机物分析，具有静态顶空和动态吹扫两种采样模式；通过分流进样口可以实现固相微萃取（SPME）进样或直接微量液体进样，SPME 进样可用于水体、溶解固体样品中挥发性和半挥发性有机物采样与进样，能够富集目标物质，去除基质干扰，有效提高检测灵敏度；使用微量注射器可以对有机溶剂进行直接进样分析；使用气体密封注射器能够对污染源排放的高浓度VOCs直接进样分析，快速获得分析结果；　　便携性能优异：仪器通过集成技术研究、整机小型化和抗震设计，使仪器主机的重量小于19 kg，能通过单人随身携带第一时间抵达事故现场；　　操作简便：仪器的分析软件将样品分析流程中的基本操作转化为智能化“向导式”操作模式，采用图形化操作界面，使用触摸液晶屏进行人机交互，降低了现场操作的复杂度。丰富的前处理设备和样品引入配件典型用户　　环境监测站、石油石化公司、安监局、疾控中心（CDC）、防化院典型应用点　　环境监测、石油化工、职业健康、公安刑侦、防化反恐产品获奖BCEIA金奖 自主创新金奖2010科学仪器优秀新产品中国创新设计红星奖荣誉证书

SHP8400PMS-I 防爆型过程气体质谱分析仪，将前沿的在线质谱分析技术与针对性的行业解决方案相结合，实现过程气体的实时、在线分析。通过多通道采样实现多点监测，提供多组分、多流路同时分析。该款质谱分析仪适用于易燃易爆环境和复杂工况环境下的过程气体多组分同时分析，满足长期不间断在线分析和多路不同样品监测的需求。设备简介： SHP8400PMS-I防爆型在线工业质谱仪可用于危险及复杂工况环境下的气体成分快速在线分析，具有防爆、防水、防尘等防护功能。仪器可实现高精度多组分同时检测，提供精准的定性定量测试，并可与生产反应调控过程关联。高精度流体控制◆仪器内置温度补偿型全自动高精度电子流体控制系统，当样气状态改变时，自动进行流量调节，避免了样气压力、温度波动对数据准确性的影响，保证长期连续监测过程中数据的一致性。高稳定质量分析◆72小时内质量轴偏差优于0.1amu，是连续稳定监测的可靠保证。可靠的长期稳定性◆连续36天监测空气中Ar的含量，大标准偏差优于0.4，满足长期连续监测的实际需要。智能在线监控◆在线监控真空度、气路温度、分子泵状态等系统运行参数，如有异常情况出现，立即报警或停机，大程度保障运行安全。精益管理解决方案降低投资成本◆单台质谱仪轻松取代多台气相色谱仪，不仅降低设备投资费用，减少了占地面积，也节省了分析小屋的成本。◆多个工艺气流的各种气体分析数据由一台质谱仪提供，简化了与控制系统的连接，也更为高效。减少运行成本◆质谱仪运行无需载气、助燃气、色谱柱等，避免了气相色谱仪的高维护成本和气体消耗。 在线质谱分析控制原理示意图

针对生物发酵尾气分析需求，SHP8400PMS过程气体质谱分析仪配置多通道采样系统，高稳定性四级杆质量分析器，耐水、耐氧性双灯丝离子源等进口关键部件。整个仪器精度高、漂移小 、响应快、维护少并且可以实现多个生物反应器发酵尾气实时、连续、精确的全组分气体分析 ，是提供发酵尾气监测的理想工具。详细信息 SHP8400PMS 过程气体质谱分析仪依托多年研发应用经验，以实时、高精度、在线监测多路生物过程气体为目标，配置16通道采样系统，具有指纹谱图库的电子轰击离子源，经典、成熟的四极杆质量分析器，性能稳定，使用寿命长的法拉第检测器等。另有专业设计的发酵尾气预处理系统，保证分析结果准确的同时确保了仪器不受溢罐等特殊情况的伤害。更高的投资回报率◆一台过程质谱多可同时分析15台发酵罐尾气组分，台均投入费用少；◆快速在线气体分析（每个取样点快30秒），准确反映工艺动态，给工艺优化提供强有力支撑；◆高稳定性，3-6个月的标定间隔，可长时间稳定运行；◆全组分分析，自动生成摄氧率（OUR）、二氧化碳释放率（CER）、呼吸商（RQ）等数据和曲线；◆自动化程度高，维护需求少，运营成本低；16通道采样系统◆每一通道均为独立进气和独立排气，彻底摒除通道间干扰◆连续流动式取样，保证气体的实时更新◆可控温的进气管路，有效防止过程气体在采样过程中冷凝全组分气体分析◆SHP8400PMS可实现气体全组分分析，除了提供N 2 、O 2 、C O 2 、A r等无机气体的监测结果，也能实现甲醇、乙醇、甲烷等有机气体的实时分析。高精度流量控制◆仪器内置温度补偿型全自动高精度电子流量控制系统，当样气状态改变时，自动进行流量调节，避免了样气压力、温度波动对数据准确性的影响，保证长期连续监测过程中数据的一致性。高稳定质量分析◆72小时内质量轴偏差优于0.1am u，是连续稳定监测的可靠保证。全中文在线质谱分析工作站◆采用新一代Fluent Ribbon用户界面，在提供丰富信息的同时，降低操作难度，易于用户掌握。质谱仪在线监控示意图 在线气体前处理系统◆针对生物过程设计的多通道样气在线处理系统，具备除尘、除湿、除泡沫、控温及调压等功能，保证样气的真实快速传输和质谱仪的长期稳定运行。 完美兼容各种发酵控制系统和工艺分析软件◆软件的数据存储格式和内部交换格式均采用通用的工业标准，与其他软件系统完美兼容。 SHP9000PA在线监控及工艺分析软件◆中文软件界面，适用于工业生产以及实验室多参数过程监控，可根据用户工艺流程定制工艺画面，通过实时数据的采集即时掌握整个工艺流程的概况。◆支持各类工业P LC ，数据采集装置以及本公司在线质谱仪等各类在线分析仪器。自动生成摄氧率（OUR）、二氧化碳释放率（CER）、呼吸商（RQ）等数据和曲线，提供趋势图，柱状图等显示监测数据或历史数据，可更直观地对参数进行分析处理，用户可轻易发现参数之间的相关性，同时按要求格式保存输出。◆可输出控制信号，具有报警功能。

在线质谱分析仪与气体分离测试系统联用上海伯东客户某研究院采购在线质谱分析仪 Omnistar 与气体分离测试系统联用进行 CH4, CO, C2H2,CO2 的快速定量分析.在线质谱分析仪使用方法: 质谱分析仪通过毛细管与气体分离测试系统连接, 开始测试前加配对应的标气, 利用氦气作为载体, 在测试前进行标定. 采用 MCD 定量模式分析, 即可快速在线实时分析反应产物的含量.在线质谱分析仪 Omnistar GSD 350 01 主要参数 质量数 1-100 amu 最大进气口压力 1200 hPa 检测极限 100 ppb 气体流率 1-2 sccm (0 °C) 输入模拟 5 x, -10 – +10 V, 14 bit | 16 bit 不锈钢毛细管长度 1m 进样加热温度最高 200 °C 铱灯丝, Y2O3 2根 鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解在线质谱分析仪, 请联络上海伯东叶女士

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DRK-GC1690气体有害物质分析仪器-气相色谱仪 气谱仪 是利用色谱分离技术和检测技术，对多组分的复杂混合物进行定性和定量分析的仪器。气相色谱法是以气体为流动相的色谱分析方法，主要用于分离分析易挥发的物质。气相色谱法已成为*为重要的分离分析方法之一，在医药卫生、石油化工、环境监测、生物化学等领域得到广泛的应用。气相色谱仪具有：高灵敏度、高效能、高选择性、分析速度快、所需试样量少、应用范围广等优点。DRK-GC1690气体有害物质分析仪器-气相色谱仪 气谱仪 ，将分析样品在进样口中气化后，由载气带入色谱柱，通过对欲检测混合物中组分有不同保留性能的色谱柱，使各组分分离，依次导入检测器，以得到各组分的检测信号。按照导入检测器的先后次序，经过对比，可以区别出是什么组分，根据峰高度或峰面积可以计算出各组分含量。通常采用的检测器有：热导检测器，火焰离子化检测器，氦离子化检测器，*声波检测器，光离子化检测器，电子捕获检测器，火焰光度检测器，电化学检测器，质谱检测器等。产品特点：新款采用背压阀分流/不分流模式柱温箱使用获得公认的高性能大柱温箱考虑到气化室或检测器加热产生的热辐射，柱温箱设计成竖立结构，*高使用温度可达到420℃,温控范围+7℃~420℃，5阶程序升温，自动后开门，可以设定420℃以内的高度使用温度，固定的450℃独立保护电路，具有双重保护结构。进样器1.填充柱柱上进样2.分流/不分流进样3.大口径毛细管WBC进样4.填充柱汽化进样5.六通阀气进样式主要技术指标：柱温箱：温控范围：室温+7℃~420℃温控精度：优于±0.1℃内部体积：240×160×360 程序阶数：5阶升温速率：0.1~39.9℃/min任意设定升温时间：0~665min(增量1min)

GC-4085B矿井气体多点参数色谱自动分析仪，是国家“八五”科技攻关项目《矿井提起多点参数色谱自动分析仪》的主要分析单元。本仪器应用气相色谱分析技术对煤层自燃升温过程（缓慢氧化、加速氧化、激烈氧化阶段）的主指标，其它烷烃气体组分为辅指标，掌握煤层自燃发火变化趋势，指导矿井有针对性地采取相应的防灭火措施，达到早期预测预报煤层自然发火状态和启封火区的目的。主要技术特点及指标操作全自动化：仪器由微机自动控制，实现1-32点（可扩展到32点）不间断环采样，三柱同时自动进样和分析；高稳定性：双柱箱分别控温、三柱并联和甲烷转化炉装置。双氢焰、热导检测器、双柱箱、三柱并联、相当二台气相色谱仪的配合为一体。双柱箱装置确保了在不同柱箱以不同温度分析一氧化碳、烯烷烃等10种气体组分，确保各分析组分分离度，大大提高了分析速度和分析精度，确保了预测预报的可靠性。安全和长寿命：三根预柱装置，防止三根分析柱被污染，维护整套仪器长期不间断工作。大屏幕液晶显示。煤矿气体全组分分析双柱箱一次进样切换系统。

激光拉曼光谱气体分析仪LRGA-6000产品名称：激光拉曼光谱气体分析仪　产品型号：LRGA-6000激光拉曼光谱气体分析仪LRGA-6000基于激光拉曼散射原理，通过对待测气体的特征拉曼散射光谱进行增强、收集、处理和识别，并对含量进行定量计算。可同时对多种气体进行全量程的在线和实时检测。　　 产品特性　　 采用激光拉曼气体特征指纹技术，干扰少 在线、实时：一台仪器解决工业过程气体全流程监测 全组分：测量包括N2、O2、H2O在内的气体全组分 响应速度快，样气进入分析仪后直接显示测量结果 全量程气体浓度测量，检测范围为(0.01-100)%，调整时间，也可以测量微量组分 具备温度和压力自动修正功能，无漂移 使用和维护成本低，无须载气与耗材 集全自动气体连续采样、反吹、标定系统于一体 可选配集成系统，实现对多个监测点的实时循环监测 智能化软件设计，全触屏界面，数据直观显示，可外接PC键盘产品优势在线、实时、全组分，可取代气相色谱GC和质谱MS对比红外分析技术(NDIR)——红外气体分析仪量程范围小，且不能检测同核双原子分子，如N2、O2和H2等。LRGA-6000拥有多组分气体成分检测能力，尤其是能够精确测量天然气中的双原子分子，且量程更大，精度更高。对比气相色谱技术(GC)——气相色谱仪使用需要载气和色谱柱，且响应时间通常需要几分钟到几十分钟，需要专业技术人员操作。LRGA-6000响应时间极短，无需载气和耗材，操作简便，使用成本低。对比质谱分析技术（MS）——质谱分析仪价格昂贵，维护成本高，操作复杂，很少用于工业现场在线分析。LRGA-6000坚固耐用，操作简单，维护成本低，更适用于恶劣的工业现场。 技术参数行业应用领域监测气体煤化工行业煤气发生炉煤制天然气合成氨/尿素CO、CO2、H2、N2、O2、CH4、C2H2、C2H4、C2H6、C3H8、H2S…CO、CO2、H2、N2、O2、CH4、C2H6、C3H8、iC4、nC4、H2S、H2O…CO、CO2、H2、N2、O2、CH4…钢铁冶金行业CO、CO2、CH4、C2H2、C2H4、C2H6、C3H8、O2、H2、N2、H2S…石油天然气行业CH4、CO、CO2、H2S、C2H6、C2H4、C3H6、C3H8、H2…原铝行业CO、CO2…环保行业H2、N2、O2、CO、CO2、CH4、C2H2、C2H4、C3H6、C3H8、H2S…电力行业CO、CO2、H2S、CH4、H2O…水泥行业CO、CO2、H2O、H2S…基本参数量程范围最低量程：（0~10）%，最高量程：（0-100）%线性误差≤±1%F.S.分辨率0.01%仪表响应时间≤90s漂移≤2%F.S./24h，

因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准 残余气体分析仪 Hicube RGA 上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA. 四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的搭配, 质量数范围 1-300, 高分辨率和灵敏度. 适用于残余气体分析, 过程监测, 泄漏检测.残余气体分析仪 Hicube RGA 优势残余气体分析和氦气泄漏检测模式可用于从大气压至高真空环境高分辨率和灵敏度通过真空压力监测保护灯丝进气系统带集成式切断阀Pfeiffer 残余气体分析仪 Hicube RGA 技术规格 涡轮分子泵组HiCube&trade Eco功耗170W电压（范围）110 - 240 V 50 / 60 Hz氮气抽速67 l/s前级泵在 50 Hz 时的泵送速度1 m3/h极限真空1X10-7 hPa 真空计PKR 361测量范围1X10-9 至 1X103 hPa阀门EVN 116气体流量可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s进气口DN 16 ISO-KF PrismaProQMG 250 F1 QMG 250 F2QMG 250 F3QMG 250 M1QMG 250 M2QMG 250 M3检测器法拉第 Faraday (F)电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)质量数 amu1–1001–2001–3001–1001–2001–300四极杆直径／长度6 /125 mm 最小检测极限 F hPa *1,24X10-135X10-137X10-13---最小检测极限 M hPa *1,2---3X10-154X10-155X10-15对Ar的灵敏度 F A/hPa*35X10-44X10-4 3X10-45X10-44X10-43X10-4最大工作压力 F hPa5X10-4最大工作压力 M hPa---5X10-55X10-55X10-5对临近质量数的影响*1 10 ppm 20 ppm 50 ppm 10 ppm 20 ppm 50 ppm操作温度 分析200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)操作温度 电子5 – 50 °C烘烤温度 分析300 °C连接法兰DN 40 CF-F保压时间1 ms – 16 s/amu峰比值可重复性± 0.5 %接口以太网电源电压100–240 V AC，50/60 HzHiCube&trade RGA重量25.5 - 26.2 kg 残余气体分析仪 Hicube RGA 典型应用 残余气体分析: 对真空系统中残余气体的分析, 可以获知在达到所需的最终压力或调节要求时, 残余物质的组成. 由此可以得出各种有关系统表面性质, 脱附行为, 纯度和密封性以及工艺气体成分的结论. 这将为您提供有关真空室或真空组件状态的重要信息.泄漏检测: 上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA 具有氦气泄漏检测模式, 可以通过软件控制激活. 此功能可以方便您发现真空系统中的任何泄漏.过程监控: HiCube RGA 可以在最大 300u 的测量范围内随时间观察任意数量的选定质量强度, 并可对选定的各质量分配警报循环阈值. 如果它们高于或低于所需极限, 则可以通过数字输出将信号提供给更高级别的控制系统. 因此残余气体分析仪 HiCube RGA 能够提供实时过程观察和控制功能. EVN 116 气体计量阀还可以使真空系统中的压力适应相应过程需求, 此外, 集成式切断阀还允许对泄漏设定点进行快速开/关控制.质量保证和过程优化: 诸如提供气体成分定量测定, 确定过程气体纯度, 以及监测真空镀膜过程相关气体成分等能力, 残余气体分析仪 HiCube RGA 是过程记录和质量保证中的重要工具. 即使测量正在执行, 所有测量值也会得到存储, 并且可以在不停止测量的情况下追踪. 即使仍在执行测量, 也可以导出测量结果以进行进一步分析.若您需要进一步的了解残余气体分析仪详细信息或讨论, 请联络：上海伯东: 叶女士 上海伯东版权所有, 翻拷必究！

1、离子源：双灯丝﹑封闭式电离盒﹑辅助小磁铁及透镜聚焦离子光学系统。结构合理，方便使用，不用拆整个离子源即可更换灯丝。离子流的稳定性可保证很好的重现性。2、质量分析器：①双曲面四极杆的高精度加工与装配 ②高稳定度高压高频线路3、离子检测器：在离子检测方面，主要是开发了高速微电流接收系统,该系统不但可以将倍增器输出的离子流完整无损的接受,而且在放大电路系统得到107放大之后,并没有使本底电噪声增大,大大提高了仪器的信噪比,在实际化学分析中降低了仪器的检出限.大大缩小了GC/MS的分析盲区。4、色谱/质谱接口技术：通过大量的试验加之借鉴国外先进经验，研究开发的直接插入式GC/MS接口，结构得到了简化，减少了漏气的概率；色谱柱易准确定位安装，操作方便；同时可精确控温，不存在冷点，无吸附，无催化分解效应，样品损失几近零，大大提高了检测的灵敏度。5、车载减震系统设计：本套车载质谱分析系统采用国际上通用的精密减震器进行缓冲，又通过加强刚性，以及改良四极杆结构和关键部件悬浮式设计，比较完美的解决了抗震问题。车内装有二级减震设计的专用工作台，保证了质谱仪器分析的稳定性和分析精度。车内设备配置齐全，除了专用的分析仪器外，还配置了专用气源、专用电源系统、工业控制计算机及分析软件、打印机、标准气体和各种备品备件，保证在接到报告诉时及时启动，开赴现场展开分析工作，为流动现场工作提供第一手科学数据。对车身进行了特殊改造，使在车内的工作人员感到非常舒适，而且内配置仪器和设备结构紧凑，操作方便，伸手可及。今年该车载系统将在一系列平路进行抗震性能测试，检验减震效果，下一步即将在路况极差的土路和山路上，进行颠簸，检查仪器的性能6、数据处理及软件：①高速数据采集 ②软件系统（实时分析工作站和数据处理系统）

仪器原理 大气中的挥发性有机物样品，具有组成复杂、含量低、活性强、浓度和化学活性差异大等特点，系统通过与Exp-200深冷预处理装置配合使用，结合氢火焰离子化检测器（FID）技术和质谱检测器技术（MSD）进行大气中VOC样品的在线分析监测。 样品经Pre-3000深冷预处理装置除水、富集浓缩后，通过直热式高温热脱附，被快速送入至毛细管色谱柱进行分离，分离后的样品，低碳（C2-C5）类VOC样品使用氢火焰离子化检测器（FID）进行检测；高碳（C6-C12）和含氧类VOC样品使用质谱检测器（MSD）进行检测，得到各单一组分准确的定性定量分析结果。 在线色谱-质谱分析仪充分利用了气相色谱的分离技术和质谱检测器的定性检测技术，可有效用于环境大气中复杂多组分VOC样品监测。一次采样可检测100多种各类VOC（碳氢化合物、卤代烃、含氧挥发性有机物）样品。仪器特点 工业标准系统设计，系统可靠性高；断电开机后，系统自动循环运行，维护量低； 低温电制冷技术，仪器体积小，整机采用19”标准机柜设计，安装维护方便； 质谱检测数据自动分析处理，结果直接输出，并传送至分析平台，无需人工计算； GC-FID、GC-MS双系统进行VOC检测，一次可检测100多种各类VOC（碳氢化合物、卤代烃、含氧挥发性有机物）； GC-FID系统使用预分离和阀切换反吹技术，避免高沸点组分进入分析系统，提高色谱柱的使用寿命； 对样品深度除水，解决水汽对色谱柱性能的影响；深冷富集可提高样品富集效率，解决含氧类VOC常温富集效率低、差异大的问题，提高检测灵敏度。应用领域　　环境空气组分分析监测　　环境空气痕量样品监测　　石化化工园区厂界挥发性溶剂及未知物组分分析　　科学研究

Agilent 6890N-5973气相色谱-质谱仪，简称GC/MS，是一种以气体为流动相的柱色谱法，其流动向为惰性气体，当多组分的混合样品进入色谱柱后，由于吸附剂对每个组分的吸附力不同，经过一定时间后，各组分在色谱柱中的运行速度也就不同, 如此，各组分得以在色谱柱中彼此分离，按顺序进入质谱仪被检测、记录下来。质谱分析法是通过对被测样品离子的质荷比的测定来进行分析的一种分析方法。被分析的样品首先要离子化，然后利用不同离子在电场或磁场的运动行为的不同，把离子按质荷比（m/z）分开而得到质谱。质谱扫描一次,得到该时刻的一张质谱图。我中心主要应用与农药残留、油脂中塑化剂含量的检测。 俊齐仪器设备（上海）有限公司是专业研发，制造，销售色谱类分析仪器、气相色谱仪、自动顶空进样器、氮氢空气体发生器高科技公司。我公司技术人员由分析仪器行业多年经验的工程师组成，致力于为广大用户提供全面的色谱分析解决方案，解决用户的实际问题。目前我们公司与国内众多高校，科研单位，企业等良好的合作。我们可根据用户的需求，提供选定分析方案；选配仪器及专用色谱柱；实验室仪器安装，培训，维修（用户可提供样品，由我司实验中心检测、完成图谱）及操作人员的培训等完善的售前及售后服务。另外，我公司还提供各种光谱仪、色谱工作站、色谱类易耗品、毛细管色谱柱、热解析仪等色谱仪配套产品及零配件。从科研单位到人类生活，医药，化工，安检，食品安全，石油化工，天然气，色谱应用非常之广泛；俊齐仪器秉承技术上“精益求精”，“服务至上”的宗旨为客户创造效益。我公司根据多年来与企业客户紧密联系，总结了一批实用分析解决案例，编成气相色谱应用解决方案，最少时间内解决客户的实际问题；另外我公司还具备应用实验室，可为用户定制分析方法，完成样品预分析测试图谱。

仪器简介：英国Hiden公司的QIC 20 小型在线气体分析质谱仪是一台完备的台式气体分析系统，用于监测气体和过程分析，便于生产、研究使用。应用： 过程监测 在线分析 污染物研究 CVD / MOCVD 环境气体分析 热分析质谱 催化剂研究/ 反应动力学技术参数： QIC 直接进样，对气体、蒸气的响应时间 1～20 sccm / min连续进样 取样压力：100 mbar ～ 2 bar（可选配10mbar－2bar） 高压取样接口至30 Bar（选配） 灵敏度高 (0.1ppm标配，可选配至 5 ppb) 质量数：1-200amu标配。可选配50amu，100amu，300amu,510 amu。主要特点： 高效、柔韧、加热(直到200℃)惰性石英毛细管（QIC) 惰性毛细管避免了气体与毛细管发生物理或化学反应 自动流量控制，以恒定离子源压力 液氮低温板（选配），增强对可凝结的背景气体的抽吸 软离子化技术，有利于分析复杂有机物 稳定性(24h以上，峰高变化小于±0.5% ) 通过RS232、RS485或以太网连接计算机，由 MASsoft 软件控制 定量分析方法

价格货期电议在线质谱分析仪热催化分析上海伯东客户某大学采购在线质谱分析仪 Omnistar, 对经过热催化后的气体 CH4, NO, CO2 等气体进行分析. 热催化主要涉及在较低温度 (≤ 523 K) 的加氢反应, 生成 CH4, NO, CO2 等气体. 热催化是催化 CO2 转化最常用的方法之一.在线质谱分析仪使用方法: 在催化反应装置尾气段接入质谱分析仪 Omnistar GSD 350 02, 即可在线实时分析反应产物的种类及特性. 定量分析需要加配对应的标气, 利用氦气作为载体, 在测试前进行标定.若您需要进一步了解详情，请联络上海伯东叶女士

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪无等离子体设计,可以实现快速, 化学特定的原位定量气体分析, 与光学发射光谱 OES 对比, Aston™ 质谱仪 的 OA% 灵敏度显示为 0.25%, 适用于半导体工艺中蚀刻计量控制, ALD, 3D-NAND 和新兴的堆叠式 DRAM.半导体蚀刻工艺挑战日益增加蚀刻是半导体制造中常用的工艺之一. 介电蚀刻用于形成绝缘结构, 触点和通孔, 多晶硅蚀刻用于在晶体管中创建栅极, 金属蚀刻去除材料以显示电路连接图案并钻穿硬掩模.连续蚀刻铝 Al, 钨, 铜 Cu,钛 Ti 和氮化钛 TiN 等工艺金属具有挑战性, 因为许多金属会形成非挥发性金属卤化物副产品（例如六氯化钨 WCl6）, 这些副产品会重新沉积在蚀刻侧壁上, 导致成品率降低（通过微粒污染或沉积材料导致短路）.随着半导体行业不断缩小关键特征尺寸并采用垂直扩展 (如 3D-NAND 存储器和全环绕栅极先进技术节点), 各种新的蚀刻挑战已经出现. 这些包括在晶圆上蚀刻更小的特征, 高展弦比 HAR 沟槽蚀刻 (具有小的开放面积百分比- OA%), 以及在新兴的非挥发性存储器和高 k介质中蚀刻金属闸极, 稀土金属等新材料. 对于先进的纳米级工艺, 如蚀刻到硅介质和金属薄膜, 选择性处理, 如原子层蚀刻 ALE 一次去除材料的几个原子层. ALE 提供了比传统蚀刻技术更多的控制. 对于 3D-NAND 和先进 DRAM 来说, 向批量生产过渡的重大挑战包括解决导体蚀刻困难的要求, 满足积极的生产斜坡和实现所需的吞吐量, 以推动成本效益.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪提供高性能, 嵌入式和可靠的原位定量分子气体计量已经成为验证工艺室和持续监测工艺化学过程的关键工具, 确保生产环境中的高产率和更大吞吐量.Aston™ 质谱分析仪提供全腔室解决方案使用上海伯东 Atonarp Aston™ 质谱仪通过实时, 定量和精确的分子传感器来解决半导体新兴蚀刻工艺技术相关的关键挑战. 通过解决传感器耐久性, 灵敏度, 匹配, 系统集成和易用性等方面的挑战, 日本 Atonarp Aston™ 质谱仪升级了传统的气体分析计量方法. Aston 是一种全室解决方案, 用于在各种工艺步骤中实时监测前体, 反应物和副产物.这些包括基准室和过程指证, 腔室清洁, 过程监测 (包括存在腐蚀性气体), 颗粒沉积和气体污染物凝结. 小的占地面积和灵活的通信接口允许在室内安装和集成到过程设备控制系统. 为了集成到半导体工艺工具中, Aston 质谱分析仪的高性能和可靠性设计用于生产晶圆的大批量生产过程控制.Aston™ 质谱分析仪半导体蚀刻计量控制半导体行业正从二维结构的扩展转向复杂三维结构的挑战性要求. 传统的离线晶圆测量已不足以实现性能和良率目标, 原位蚀刻测量传统上缺乏生产所需的鲁棒性和可重复性. Aston™ 质谱分析仪的结构中嵌入了专利技术, 使其具有卓越的分析和操作性能. 为了满足过程控制和跨工厂生产工具匹配的严格要求, Aston 从头开始设计, 高运行时间和低维护的吞吐量, 长期信号稳定性和可重复性.为了承受腐蚀和沉积过程的恶劣环境, Aston™ 引入了两个的功能: 等离子电离和自清洁 (ReGen™模式). 等离子体电离消除了由于与腐蚀性气体(如NF3, CF4, Cl2)的反应而导致的灯丝降解. 此外, 除去(正硅酸四乙酯) TEOS 等颗粒和蒸汽污染物沉积, 同时定期进行室内清洁循环, 延长了 Aston™ 质谱仪的使用寿命. ReGenTM 模式使仪器能够使用高能等离子离子清洗自身, 通过去除在膜沉积过程中可能发生在传感器和腔室壁上的沉积. 结合这两个功能, 传感器的灵敏度可维持在数百个RF(射频)小时的操作. Aston质谱仪支持的基于测量的控制, 有可能延长清洗间隔 MTBC 的平均时间. MTBC 的增加意味着工具可用性和长期吞吐量的增加. 除了等离子电离器(用于工艺), 传感器还配备了传统的电子冲击 EI 灯丝电离器, 用于基线和校准.分子传感器的分析级是使用微米级精密双曲电极的四极杆. 由高度线性射频(RF)电路驱动, Aston 质谱的HyperQuad 传感器在 2到300 amu的质量范围内具有更高的分析性能.Aston™ 质谱分析仪技术参数参数值质量分辨率0.8u质量数稳定性0.1u灵敏度(FC / SEM)5x10-6 / 5x10-4 A/Torr最低可检测的部分压力(FC / SEM)10-9 / 10-11 Torr检测极限10 ppb最大工作压力1X10-3 Torr每 u 停留时间40 ms每u扫描更新率37 ms发射电流0.4 mA发射电流精度0.05 %启动时间5mins离子电流稳定 ±1%浓度的准确性 1%浓度稳定±0.5%电力消耗350w重量13.7kg尺寸400 x 297 x 341mm高展弦比 HAR 3D 蚀刻随着多模式技术和 3D器件结构的出现, 高度密集的蚀刻和沉积过程驱动了计量需求. 3D多层膜栈, 如 NAND 存储架构, 代表复杂的, 具有挑战性的蚀刻过程, 具有关键的蚀刻角度, 统一的通道直径和形状要求, 尽管高蚀刻纵横比通道 100:1 是常见的. 对于 3D-NAND, 关键导体蚀刻过程包括阶梯蚀刻(下图)和用于垂直通道和狭缝的 HAR 掩模打开. 通过硝酸硅和氧化硅交替层蚀刻需要高速定量终点检测. 对于 DRAM, 蚀刻过程包括 HAR 门, HAR 沟槽和金属隐窝. 对于阶梯蚀刻, 关键是在整个 3D堆栈的每个介质膜对的边缘创建等宽的“步骤”, 以形成阶梯形状的结构. 在器件加工过程中, 这些步骤的大量重复要求蚀刻高吞吐量和严格的过程控制.多功能现场气体计量需要在一个工具中执行多种监测功能:• 检测和量化污染, 交叉污染, 气体杂质和工艺室内的工艺化学• 评估已开发的蚀刻过程在生产工具 / 运行的复杂功能上的性能• 测量刻蚀后的清洁 (包括先进的无晶圆自动清洁 WAC) 作为腔条件对于消除工艺漂移和确保可重复性性能是至关重要的• 快速准确的蚀刻端点检测 EPD, 通过等离子体或气体监测, 因为这是一个关键的控制功能. 举例包括一氧化碳 CO 副产物在介电蚀刻中下降或氯 Cl 反应物在多晶硅和金属蚀刻端点上升.• 全面的实时计量数据, 允许过程等离子体和反应物的动态腐蚀控制, 以管理要求的腐蚀剖面Aston™ 质谱分析仪无等离子体终点检测虽然光学发射光谱 OES 已被广泛用于蚀刻 EPD, 但低开放面积 OA 和 HAR 设计的趋势使其在许多蚀刻任务中无效. OES 技术需要等离子体'开'和发光物种. 随着昏暗和远程等离子体越来越多地用于 3D设备和原子水平蚀刻 ALE 工艺, 需要更多敏感的数据和分析技术来实现迅速和确定的 EPD. 此外, 脉冲等离子体通常用于管理 HAR 和 低 OA% 工艺的蚀刻剖面, 这使得 OES 对于 EPD 来说是一个不切实际的解决方案. 在3D 结构中, 多层薄膜和多个接触深度阻碍了每一行触点到达底部时端点的光学发射信号的急剧步进变化其他 OES 限制包括:• 在电介质蚀刻中, 在 OA 5% 的模式上进行 EPD一直具有挑战性, 因为 OES 在低浓度下具有低信噪比.在高压Si深蚀刻(例如博世工艺)中, 要求 OA% 的 EPD低于 0.3%, OES 中较大的背景噪声水平抑制了对发射种数量的任何变化的检测.• 在金属蚀刻中, OA% 可能低于10%, 这取决于所涉及的互连尺寸. 对于接触和通过蚀刻, OA 可以在0.1-0.5%之间或更低, 这取决于所涉及的特征的大小. 在钨 W 蚀刻的情况下, 随着 OA的减小, 氯 Cl 反应物的消耗减少, 由于材料运输到 HAR 蚀刻特征, 蚀刻趋于放缓. 这两个因素都降低了反应气的消耗率. 因此, 由于等离子体中反应物的耗尽, 很难看到在终点处 OES信号的显著变化.Aston™ 质谱仪可以利用蚀刻反应物和 EPD 的副产物. 此外, Aston 能够在小的, 有限体积的传感器上运行周期性清洗, 以保持其性能(灵敏度), 在延长晶圆运行次数的情况下获得更大的正常运行时间. 然而, OES 要求在腔室上有一个需要保持清洁的访问窗口，以获得足够强度的稳定信号。通常，加热石英窗用于减缓工艺产品的堆积. 使用 Aston™质谱分析仪，在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱的影响, 也不受射频功率脉冲期间等离子体强度波动的影响.图 3a/3b 显示了 CO+和 SiF3 +的副产物 OA%下降到0.25%的电介质腐蚀EPD数据数据清楚地显示了线性行为和在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱影响. Aston 质谱的 ppb 灵敏度是针对 0.1%以下的 OA性能.原子级蚀刻 ALE在三维结构中, ALE 过程中的逐层去除需要脉冲射频电源来控制自由基密度和较低的离子能量, 以减少表面损伤和保持方向性. 在这样的光源中, 等离子体的整体光强较低, 并表现出波动幅度. 通常等离子体离晶圆区很远(距晶圆区25厘米), 而且等离子体激发的副产物很少, 使得光学测量不切实际.在 ALE中, 由于每个周期都是自我限制的, 端点检测可能不那么重要. 然而, 在缺乏气体分析的情况下, 工艺工程师对监测腔室和工艺健康状况“视而不见”, 因为无法看到化学状态, 特别是在工艺步骤 (吸附/净化/反应/净化) 之间过渡时的动态状态, ALE 的自限性并不能使它不受过程漂移的影响. 此外, 由于 ALE 不是基于等离子体的, 因此过程中的化学变化不一定可以通过等离子体监测检测到.有一种误解, 认为 ALE 技术实际上是一次一个原子层 相反, 它们每循环的去除/沉积量可能比单分子膜多一点(或少一点). 由于真空泵性能, 晶圆温度或离子轰击能量 (电压) 的变化分别导致表面饱和度和表面反应性的变化, 工艺移位(Å/周期的变化)可能发生.在 ALE (下图)中,由于等离子体的使用不一致, 化学监测方面的差距就不那么明显了. 在这种情况下, Aston™ 质谱仪具有以下优点:• 在每个工艺步骤中建立一个腔室化学状态的指证. 这可以参照其自身的正常行为, 也可以参照标准腔• 描述和监控与化学变化相关的动态过程中, 从一个步骤过渡到下一个步骤• 监测在 ALE 循环第一步之后从系统中清除吸附物质的时间. 等离子体通常用于产生吸附物质(自由基), 但它是在远离晶圆片的地方产生的• 监测 ALE 循环第二步反应产物的变化. 等离子体光强通常较低, 因为它使用了低占空比的脉冲射频• 监测反应产物和反应物在ALE循环第二步后被净化的时间结论原子级蚀刻只能使用像上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱仪这样的分子传感器进行真正的测量和监测. 它的高灵敏度, 速度和对等离子体强度变化的低敏感性产生可靠的定量测量, 即使在低浓度的反应物和副产物, 具有低于1% 水平的高精度, 可以监测微妙的过程漂移和过程变化效应, 提供了可用于机器学习模型的见解.利用其高扫描速度, 通过监测反应产物减少的时间来实现步进时间优化, 因为它是表面反应活性变化的指示, 增加了总体吞吐量.ALE 是先进的蚀刻技术, 上海伯东 Aston 质谱仪为 ALE 提供了先进的化学计量技术, 可以测量和控制反应及其持续时间, 为大批量生产提供了可靠的解决方案.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

辽宁辽阳营口鞍山气相液相离子色谱仪色谱质谱联用仪——崔经理 辽宁辰硕实业有限公司是一家从事理化仪器、实验室设备、试验仪器、环境监测仪器等仪器设备销售、维修及技术开发、技术咨询、技术服务为一体的综合性公司。致力于把国内外更好仪器设备推荐给客户，涉及仪器方面的咨询、售后、维修、改装等业务都可以通过我们来提供更好的解决方案。为用户提供的不仅仅是产品，而是我们多年积累的能力和信誉。辽宁辰硕实业有限公司本着“服务至上、信誉为重”的企业精神，为科研院所、质检实验室、大专院校、冶金、机械、食品、环保、能源等行业提供各种进口、国产的仪器设备，凭借过硬的技术、快捷的服务和经济的价格，真正帮助客户节约成本、提高技术、提升收益，受到广大用户的一致好评，赢得了良好的商业信誉。选择辰硕，选择放心仪器与服务。辰硕期待与您的合作！辽宁辰硕实业有限公司地址：辽宁省鞍山市铁西区九道街 崔经理 一、光谱分析1、721型可见分光光度计2、紫外可见分光光度计、紫外分光光度计3、原子吸收分光光度计、原子荧光光度计、火焰光度计4、红外光谱仪、红外分光光度计、近红外分光光度计5、原子吸收光谱仪6、荧光分光光度计、荧光光度计、原子荧光光谱仪、形态分析仪7、直读光谱仪、光电直读光谱仪，ICP-AES，拉曼光谱仪8、X荧光光谱仪、等离子光谱仪9、光谱仪配件：比色皿、吸收池、样品池、钨灯、氘灯、空心阴级灯二、试验机硬度计1、液压试验机、电子试验机、冲击试验机2、拉力试验机、拉伸试验机、压力试验机、拉力机、疲劳试验机3、弯曲弯折摇摆试验机、扭转试验机、拉弯试验机4、试验机配件、试验机夹具5、布氏硬度计、洛氏硬度计、维氏硬度计、布洛维氏硬度计标准试块6、里氏硬度计、肖氏硬度计7、韦氏硬度计 、巴氏硬度计、邵氏硬度计8、硬度计、显微硬度计、超声波硬度计9、制样设备：金相磨抛机、金相切割机、全自动镶嵌机、金相预磨机、金相抛光机三、无损检测1、超声波探伤仪2、便携式磁粉探伤仪、磁粉探伤机(卧式大型机)3、X射线探伤仪、涡流探伤仪4、探伤机试块、测厚/焊缝/标准/对比/TOFD试块、X射线胶片、着色渗透探伤剂5、探伤灯、黑光灯、荧光探伤灯、观片灯、黑白密度计、密度片6、超声波测厚仪探头、近场/远场/漏磁/涡流探头7、工业内窥镜8、超声波测厚仪9、涂层测厚仪、覆层测厚仪10、薄膜测厚仪、橡胶测厚仪11、表面粗糙度仪、粗糙度轮廓仪12、冷媒/卤素检漏仪四、实验室设备1、pH计、pH/离子计电极2、电导率仪、电导仪3、酸度计、离子计、钠度计4、滴定仪、电位滴定仪、水份滴定仪、水分滴定仪测定仪5、溶解氧测定仪/DO测定仪6、浊度仪、浓度计7、色度仪、比色计、酶标仪、洗板机8、多参数水质分析仪、在线多参数监测仪9、水质分析仪/检测仪/监测仪、库伦法水分测定仪、微量水分测定仪、PH/ORP测量仪、卡氏水分测定仪10、运动粘度测定仪、蛋白质测定仪、凯氏定氮仪11、水中油份测定仪、红外测油仪、露点仪12、水质BOD测定仪、COD测定仪13、氨氮总氮检测仪在线监测仪、在线总磷分析仪监测仪14、ORP测定仪、氧化还原测定仪15、碳氢氮元素分析仪、硫氮测定仪、定碳定硫仪、紫外荧光测硫仪、碳氢氧元素分析仪、发光定氮仪16、γ能谱仪、测氡仪、αβ测量仪17、氧弹量热仪、热量计、灰熔点测定仪、灰熔融性测定仪18、微波/固相萃取仪、COD萃取仪、COD消解器、石墨消解仪19、真空/电热/鼓风干燥箱、烘箱20、低温/生化/振荡培养箱、恒温恒湿箱21、老化实验箱、试验箱22、电炉、箱式电阻炉、马弗炉23、恒温水浴箱/锅/槽、低温/循环/恒温槽24、超低温冰箱、低温保存箱、冷藏箱25、生物安全柜、实验室通风柜、实验室通风橱26、超纯水机、纯水器、蒸馏水器27、蒸汽/真空/低温/高压灭菌器、灭菌锅、清洗消毒机、超声波清洗器28、移液枪、移液器29、超净工作台、净化工作台、洁净工作台30、标准筛、分样筛、试验筛31、离心机、振荡器、震荡器、摇床32、旋转粘度计、在线/数字/落球/毛细管/平氏粘度计33、真空泵、蒸发器、蒸发仪、玻璃烘干器34、漩涡混合器、混匀仪、磁力搅拌器、电动搅拌机、恒温加热板五、电子天平1、精密电子天平、赛多利斯电子天平、精密电子天平、电子天平、分析天平、比重天平2、电子秤、电子称、电子台秤、磅秤、料斗秤称重控制器显示仪3、电子汽车衡、电子地磅、称重传感器、砝码六、光学仪器 1、照度计、紫外辐照计、亮度计、光泽度计仪、白度计仪、雾度计2、测色仪、色度仪、色度计、色差计仪、色度仪、比色计3、阿贝折射仪、全自动折光仪、糖量计糖度折射测试仪、盐度计、酸度计4、旋光仪、显微熔点仪5、光源箱、对色灯箱、比色灯箱七、色谱分析1、气相色谱仪2、液相色谱仪、凝胶色谱仪3、离子色谱仪、便携式色谱仪4、液相/气相色谱质谱联用仪、等离子体质谱联用仪、生物/气体质谱联用仪、有机质/无机质谱联用仪、同位素质谱联用仪、核磁共振波谱仪5、色谱检测器：热导、火焰光度、电子捕获、氮磷、荧光6、气相/液相色谱仪耗材配件、色谱柱、填充柱、毛细柱、极性柱7、色谱进样:顶空进样器、顶空瓶、液体进样器、色谱进样针8、氮吹仪、吹氮仪、浓缩仪、氮气吹扫仪、氮气浓缩器9、氢气/氮气/空气/气体发生器、色谱工作站 八、显微镜1、光学显微镜、金相显微镜、偏光显微镜、正置显微镜、倒置显微镜、体视显微镜、工具测量显微镜2、材料显微镜、生物显微镜3、显微镜配件/组件九、测量仪器1、 桥式三坐标测量机、龙门式三坐标测量机、复合式三坐标测量机、关节臂式三坐标测量机、三坐标划线机、三坐标夹具2、齿轮测量中心、光学影像测量仪、测量投影仪、表面轮廓测量投影仪3、测长仪、测长机、圆度仪、圆柱度测量仪4、量规、测厚规、对表环规、螺纹塞规、螺纹环规、带表内外卡规5、百分表、内径/外径千分尺、游标卡尺、角度尺、宽座角尺6、立式光学计、光学比较仪、7、千分尺检定校准专用量块（20块）、游标卡尺检定校准专用量块(12块)、表面粗糙度比较样块、陶瓷量块、角度量块十、气体检测仪1、固定便携式可燃气体检测仪、可燃气体探测仪2、固定便携式CO一氧化碳检测仪、二氧化碳CO2检测仪、固定便携式煤气检测仪3、NO检测仪、固定便携式一氧化氮检测仪、有毒有害气体检测探测仪4、氧气检测仪、微量氧分析仪、测氧仪5、气体检测仪、在线气体监测仪6、复合气体检测仪、多气体检测仪器、四合一气体检测仪、7、H2氢气检测仪、氨气气体检测仪、硫化氢气体检测仪、苯检测仪 十一、环境检测1、声级计、噪音计、个人声暴露计、音频分析仪、噪声分析仪、测振仪振动计、振动测量信号分析仪2、风速计、风量仪3、大气采样器、烟尘采样器、总悬浮微粒采样器、综合智能大气采样器、防爆粉尘采样器、环境空气颗粒物采样器4、 大流量低浓度烟尘/烟气测试分析仪、自动烟尘烟气测试仪分析仪、智能双路烟气采样器、综合烟气分析仪5、手持式烟气分析仪、便携式烟气分析仪6、尘埃粒子计数器 7、皂膜流量计、孔口流量校准仪、皮托管、取样管十二、测绘仪器1、 全站仪2、 水准仪、电子水准仪、激光水准仪3、 红外测距仪、激光测距仪4、 经纬仪、电子经纬仪5、 垂准仪、激光垂准仪6、 水平仪、标线仪、投线仪、水平尺7、 求积仪、面积仪8、 地质罗盘仪、森林罗盘仪、指北针、激光指向仪、激光电子测高测角仪十三、电学仪器1、 绝缘耐压测试仪、数字万用表、钳形电流表2、 绝缘电阻测试仪、数字兆欧表3、 接地电阻测试仪、接地电阻表十四、化玻仪器1、刻度移液管、单标移液管、移液管架2、多刻度容量瓶、梯形容量瓶、刻度量筒、烧杯3、滴定管、微量滴定管、全自动滴定管、全自动碱式滴定管4、三角锥形瓶、蓝盖试剂瓶、棕色试剂瓶、5、微量毛细管、血球容积计毛细管、熔点毛细管、微量采血毛细管、毛细管移液器、巴斯吸管6、刻度离心管、刻度试管十五、工控仪表1、 压力变送器、温度变送器、差压变送器、液位变送器、压力传感器、温度传感器、位移传感器2、 二次仪表:温度巡检仪、智能单通道/多通道数字显示仪表、流量积算仪、无纸记录仪、温度控制器/调节器3、 浮子浮球液位计、超声波液位计、磁翻板液位计、雷达物位计4、 电磁流量计、涡街流量计、涡轮流量计、孔板流量计、质量流量计、超声波流量、气体流量计、液体流量计、靶式流量计、塑料玻璃转子流量计、明渠流量计、金属管浮子流量计、椭圆齿轮流量计、旋进旋涡流量计5、双金属温度计、温度补偿导线、数显温度控制器6、红外测温仪崔经理

英国Hiden公司的QGA定量气体分析质谱仪是为在常压附近连续定量分析气体/蒸气的而设计。QGA配有专业版定量气体分析软件，提供了多种气体实时定量分析的功能。操作界面简单方便，使得用户非常容易去设置，减少了编辑程序的麻烦。设置简单、操作方便 图形、数据实时显示 本底自动校正 16种气体的定量分析 数据以原始数据、%或ppm形式输出 智能谱库扫描功能 准确的碎片峰形记录 自动减去重叠谱 数据输入外部气体分析器，例如一个CO分析器，能自动积分分析质谱数据 多路气体分析可自动顺序测量能连接多达80路气流（需选配多路取样阀）

辽宁辽阳营口鞍山生物同位素质谱联用仪色谱柱填充毛细柱——崔经理 辽宁辰硕实业有限公司是一家从事理化仪器、实验室设备、试验仪器、环境监测仪器等仪器设备销售、维修及技术开发、技术咨询、技术服务为一体的综合性公司。致力于把国内外更好仪器设备推荐给客户，涉及仪器方面的咨询、售后、维修、改装等业务都可以通过我们来提供更好的解决方案。为用户提供的不仅仅是产品，而是我们多年积累的能力和信誉。辽宁辰硕实业有限公司本着“服务至上、信誉为重”的企业精神，为科研院所、质检实验室、大专院校、冶金、机械、食品、环保、能源等行业提供各种进口、国产的仪器设备，凭借过硬的技术、快捷的服务和经济的价格，真正帮助客户节约成本、提高技术、提升收益，受到广大用户的一致好评，赢得了良好的商业信誉。选择辰硕，选择放心仪器与服务。辰硕期待与您的合作！辽宁辰硕实业有限公司地址：辽宁省鞍山市铁西区九道街 崔经理 一、光谱分析1、721型可见分光光度计2、紫外可见分光光度计、紫外分光光度计3、原子吸收分光光度计、原子荧光光度计、火焰光度计4、红外光谱仪、红外分光光度计、近红外分光光度计5、原子吸收光谱仪6、荧光分光光度计、荧光光度计、原子荧光光谱仪、形态分析仪7、直读光谱仪、光电直读光谱仪，ICP-AES，拉曼光谱仪8、X荧光光谱仪、等离子光谱仪9、光谱仪配件：比色皿、吸收池、样品池、钨灯、氘灯、空心阴级灯二、试验机硬度计1、液压试验机、电子试验机、冲击试验机2、拉力试验机、拉伸试验机、压力试验机、拉力机、疲劳试验机3、弯曲弯折摇摆试验机、扭转试验机、拉弯试验机4、试验机配件、试验机夹具5、布氏硬度计、洛氏硬度计、维氏硬度计、布洛维氏硬度计标准试块6、里氏硬度计、肖氏硬度计7、韦氏硬度计 、巴氏硬度计、邵氏硬度计8、硬度计、显微硬度计、超声波硬度计9、制样设备：金相磨抛机、金相切割机、全自动镶嵌机、金相预磨机、金相抛光机三、无损检测1、超声波探伤仪2、便携式磁粉探伤仪、磁粉探伤机(卧式大型机)3、X射线探伤仪、涡流探伤仪4、探伤机试块、测厚/焊缝/标准/对比/TOFD试块、X射线胶片、着色渗透探伤剂5、探伤灯、黑光灯、荧光探伤灯、观片灯、黑白密度计、密度片6、超声波测厚仪探头、近场/远场/漏磁/涡流探头7、工业内窥镜8、超声波测厚仪9、涂层测厚仪、覆层测厚仪10、薄膜测厚仪、橡胶测厚仪11、表面粗糙度仪、粗糙度轮廓仪12、冷媒/卤素检漏仪四、实验室设备1、pH计、pH/离子计电极2、电导率仪、电导仪3、酸度计、离子计、钠度计4、滴定仪、电位滴定仪、水份滴定仪、水分滴定仪测定仪5、溶解氧测定仪/DO测定仪6、浊度仪、浓度计7、色度仪、比色计、酶标仪、洗板机8、多参数水质分析仪、在线多参数监测仪9、水质分析仪/检测仪/监测仪、库伦法水分测定仪、微量水分测定仪、PH/ORP测量仪、卡氏水分测定仪10、运动粘度测定仪、蛋白质测定仪、凯氏定氮仪11、水中油份测定仪、红外测油仪、露点仪12、水质BOD测定仪、COD测定仪13、氨氮总氮检测仪在线监测仪、在线总磷分析仪监测仪14、ORP测定仪、氧化还原测定仪15、碳氢氮元素分析仪、硫氮测定仪、定碳定硫仪、紫外荧光测硫仪、碳氢氧元素分析仪、发光定氮仪16、γ能谱仪、测氡仪、αβ测量仪17、氧弹量热仪、热量计、灰熔点测定仪、灰熔融性测定仪18、微波/固相萃取仪、COD萃取仪、COD消解器、石墨消解仪19、真空/电热/鼓风干燥箱、烘箱20、低温/生化/振荡培养箱、恒温恒湿箱21、老化实验箱、试验箱22、电炉、箱式电阻炉、马弗炉23、恒温水浴箱/锅/槽、低温/循环/恒温槽24、超低温冰箱、低温保存箱、冷藏箱25、生物安全柜、实验室通风柜、实验室通风橱26、超纯水机、纯水器、蒸馏水器27、蒸汽/真空/低温/高压灭菌器、灭菌锅、清洗消毒机、超声波清洗器28、移液枪、移液器29、超净工作台、净化工作台、洁净工作台30、标准筛、分样筛、试验筛31、离心机、振荡器、震荡器、摇床32、旋转粘度计、在线/数字/落球/毛细管/平氏粘度计33、真空泵、蒸发器、蒸发仪、玻璃烘干器34、漩涡混合器、混匀仪、磁力搅拌器、电动搅拌机、恒温加热板五、电子天平1、精密电子天平、赛多利斯电子天平、精密电子天平、电子天平、分析天平、比重天平2、电子秤、电子称、电子台秤、磅秤、料斗秤称重控制器显示仪3、电子汽车衡、电子地磅、称重传感器、砝码六、光学仪器 1、照度计、紫外辐照计、亮度计、光泽度计仪、白度计仪、雾度计2、测色仪、色度仪、色度计、色差计仪、色度仪、比色计3、阿贝折射仪、全自动折光仪、糖量计糖度折射测试仪、盐度计、酸度计4、旋光仪、显微熔点仪5、光源箱、对色灯箱、比色灯箱七、色谱分析1、气相色谱仪2、液相色谱仪、凝胶色谱仪3、离子色谱仪、便携式色谱仪4、液相/气相色谱质谱联用仪、等离子体质谱联用仪、生物/气体质谱联用仪、有机质/无机质谱联用仪、同位素质谱联用仪、核磁共振波谱仪5、色谱检测器：热导、火焰光度、电子捕获、氮磷、荧光6、气相/液相色谱仪耗材配件、色谱柱、填充柱、毛细柱、极性柱7、色谱进样:顶空进样器、顶空瓶、液体进样器、色谱进样针8、氮吹仪、吹氮仪、浓缩仪、氮气吹扫仪、氮气浓缩器9、氢气/氮气/空气/气体发生器、色谱工作站 八、显微镜1、光学显微镜、金相显微镜、偏光显微镜、正置显微镜、倒置显微镜、体视显微镜、工具测量显微镜2、材料显微镜、生物显微镜3、显微镜配件/组件九、测量仪器1、 桥式三坐标测量机、龙门式三坐标测量机、复合式三坐标测量机、关节臂式三坐标测量机、三坐标划线机、三坐标夹具2、齿轮测量中心、光学影像测量仪、测量投影仪、表面轮廓测量投影仪3、测长仪、测长机、圆度仪、圆柱度测量仪4、量规、测厚规、对表环规、螺纹塞规、螺纹环规、带表内外卡规5、百分表、内径/外径千分尺、游标卡尺、角度尺、宽座角尺6、立式光学计、光学比较仪、7、千分尺检定校准专用量块（20块）、游标卡尺检定校准专用量块(12块)、表面粗糙度比较样块、陶瓷量块、角度量块十、气体检测仪1、固定便携式可燃气体检测仪、可燃气体探测仪2、固定便携式CO一氧化碳检测仪、二氧化碳CO2检测仪、固定便携式煤气检测仪3、NO检测仪、固定便携式一氧化氮检测仪、有毒有害气体检测探测仪4、氧气检测仪、微量氧分析仪、测氧仪5、气体检测仪、在线气体监测仪6、复合气体检测仪、多气体检测仪器、四合一气体检测仪、7、H2氢气检测仪、氨气气体检测仪、硫化氢气体检测仪、苯检测仪 十一、环境检测1、声级计、噪音计、个人声暴露计、音频分析仪、噪声分析仪、测振仪振动计、振动测量信号分析仪2、风速计、风量仪3、大气采样器、烟尘采样器、总悬浮微粒采样器、综合智能大气采样器、防爆粉尘采样器、环境空气颗粒物采样器4、 大流量低浓度烟尘/烟气测试分析仪、自动烟尘烟气测试仪分析仪、智能双路烟气采样器、综合烟气分析仪5、手持式烟气分析仪、便携式烟气分析仪6、尘埃粒子计数器 7、皂膜流量计、孔口流量校准仪、皮托管、取样管十二、测绘仪器1、 全站仪2、 水准仪、电子水准仪、激光水准仪3、 红外测距仪、激光测距仪4、 经纬仪、电子经纬仪5、 垂准仪、激光垂准仪6、 水平仪、标线仪、投线仪、水平尺7、 求积仪、面积仪8、 地质罗盘仪、森林罗盘仪、指北针、激光指向仪、激光电子测高测角仪十三、电学仪器1、 绝缘耐压测试仪、数字万用表、钳形电流表2、 绝缘电阻测试仪、数字兆欧表3、 接地电阻测试仪、接地电阻表十四、化玻仪器1、刻度移液管、单标移液管、移液管架2、多刻度容量瓶、梯形容量瓶、刻度量筒、烧杯3、滴定管、微量滴定管、全自动滴定管、全自动碱式滴定管4、三角锥形瓶、蓝盖试剂瓶、棕色试剂瓶、5、微量毛细管、血球容积计毛细管、熔点毛细管、微量采血毛细管、毛细管移液器、巴斯吸管6、刻度离心管、刻度试管十五、工控仪表1、 压力变送器、温度变送器、差压变送器、液位变送器、压力传感器、温度传感器、位移传感器2、 二次仪表:温度巡检仪、智能单通道/多通道数字显示仪表、流量积算仪、无纸记录仪、温度控制器/调节器3、 浮子浮球液位计、超声波液位计、磁翻板液位计、雷达物位计4、 电磁流量计、涡街流量计、涡轮流量计、孔板流量计、质量流量计、超声波流量、气体流量计、液体流量计、靶式流量计、塑料玻璃转子流量计、明渠流量计、金属管浮子流量计、椭圆齿轮流量计、旋进旋涡流量计5、双金属温度计、温度补偿导线、数显温度控制器6、红外测温仪崔经理

激光拉曼光谱气体分析仪产品型号：LRGA-3100激光拉曼光谱气体分析仪产品概述LRGA-3100激光拉曼光谱气体分析仪由四方仪器（四方光电全资子公司）自主研发，在国家重大科学仪器设备开发专项产品LRGA-6000基础上，通过对光路与结构进行优化，大幅缩小了拉曼分析仪的整体尺寸，新一代产品更为小巧便携。LRGA-3100基于激光拉曼散射原理，通过对待测气体的特征拉曼散射光谱进行增强、收集、处理和识别，可对气体成分进行定量计算，实现在线实时对多种类气体进行定性及定量监测。秒级响应，无需长久等待。 激光拉曼光谱气体分析仪产品特性1、在线实时检测，一台仪器解决工业过程气体全流程监测2、可测量包括H2、N2、O2、CO、CO2、CH4、H2S等在内的多种气体组分3、采用激光拉曼气体特征指纹谱技术，抗干扰能力强4、全量程气体浓度测量，检测范围为0-100%5、智能化软件设计，全触屏界面数据直观显示，可外接PC键盘6、可取代气相色谱GC与质谱MS激光拉曼光谱气体分析仪主要参数测量组分H2、N2、O2、CO、CO2、CH4、C2H2、C2H4、C2H6、C3H6、C3H8、H2S等测量范围0-100%（量程可根据现场情况选择）测量精度≤±1%F.S.重复性≤1%工作范围10℃～35℃供电电源AC220V/50Hz，＜70W对外接口USB，RS-232,Ethernet外观尺寸（L*W*H）605*483*220（mm）激光拉曼光谱技术激光拉曼光谱技术是基于气体拉曼散射的光谱类气体分析技术。其利用高光束质量的激光器发出特定波长的激光，经过消色差透镜在气体室中聚焦，在焦点位置激光和气体分子相互碰撞产生拉曼散射。 拉曼特征峰的强度和气体浓度值成正比，通过光谱仪测量和分析拉曼特征峰的位置和强度，可实现多组分气体的同时测量。由于拉曼散射光谱的激发和收集是瞬时产生，时间很短并可实时进行信号收集，因此和色谱、质谱相比，拉曼光谱仪具有更快的响应速度。 常见技术原理对比分析 四方仪器激光拉曼光谱气体分析仪在不同领域的应用优势1、天然气天然气燃料中的分子都具有拉曼活性，且拉曼光谱技术适用性更强，可以检测天然气中其他技术不 能够检测的物质，如H2、N2等 在天然气领域检测中，拉曼分析技术具有良好的灵敏度，检测速度快且测量结果精确。 2、页岩气激光拉曼光谱法是页岩气分析检测的最优选择。当气样中组分较多时，长链烃类组分的谱峰常与其它 组分存在重叠干扰测定。而页岩气中通常不含丁烷及更重组分，遂无需考虑选择含有丁烷的标气，测 定校准简单且准确度高 激光拉曼多点测试可有效揭示页岩气中分散组分浓度的不均等变化，与其他类型检测仪单点测试相 比，可靠性更高。 3、录井激光拉曼光谱气体分析仪主要性能指标满足气测录井规范要求，在线检测分析特点为录井作业过程提 供极大便利； 拉曼散射光谱分析技术具有对样品无损伤，分析快速，高空间分辨率，抗干扰能力强等特点。与录井气 相色谱仪相比，在气体分析的可扩展性、连续性、准确性、灵敏度等方面均具有明显优势。4、石油化工激光拉曼光谱谱峰特征性强，尖峰特征与荧光干扰消除可在石油化工过程气体质量检测中发挥重要作用； 分析精度高，快速简便无损操作，环境适应性强，满足石油化工现场使用要求； 采用内标法进行光谱的标定，易实现标准化。5、煤化工激光拉曼光谱气体分析仪对于煤化工过程气体检测来说配置简单，方便易操作；无需载气与标气，检测运行成本近乎为零； 多流路同时连续实时测量，测量间隔为零，秒级响应，无需长久等待； 采用激光拉曼气体特征指纹谱技术，抗干扰能力强，水气对测量无影响。6、钢铁冶金拉曼光谱技术无需对样品进行预处理，且可进行原位采谱，有利于研究铁氧化合物不同条件下的结构演变；铁氧化合物大多存在磁振子，对气体光谱产生影响进而增加拉曼光谱的识别难度。拉曼气体特征指纹谱技 术的采用，极大程度上排除了钢铁冶金检测过程中的多重干扰。7、焦化在有机物碳化变焦的过程中，所产气体分子大多具有较复杂的基团结构与光谱结构。利用激光拉曼光谱 谱峰特征性强的优势，使检测准确度得到极大提升；在焦炉煤气检测过程中，拉曼光谱分析仪连续实时测量的特点可严格把控有毒有害气体的泄漏情况，为 生产安全提供保障。 8、生物质气化激光拉曼光谱分析技术可用于研究生物质气化合成气成分检测且不受试样本体干扰，具有快速、无损的特点；激光拉曼检测技术的应用可帮助生物质能源领域的研究持续向节能、环保、低碳的方向发展，着重为生物质燃 烧、热解、气化、液化过程中特性机理的研究提供分子水平分析方法的保障。9、轮胎裂解在轮胎裂解过程中，不同类型橡胶裂解所产生过程气体的拉曼光谱具有不同的特征。激光拉曼检测技术 可以用来鉴别各类型橡胶裂解所产生气体的杂质成分及含量；采用拉曼光谱技术分析橡胶裂解过程气体也具有无污染、无须化学处理等优点。 10、橡胶气化炉在橡胶气化炉的检测过程中，拉曼分析仪可在工艺管道上原位安装，不需要预处理系统与分析室； 多流路同时测量，可替代多台色谱检测仪； 实时测量反应迅速，而其他色谱技术均需5-15分钟，乃至更长响应时间；无需载气、标气，运营成本低，且不需要定期标定。

MS GAS-100气体分析质谱仪用于对气体和挥发物质，包括同位素、溶剂和可挥发有机物进行复杂的精确分析。 系统组成：质谱分析模块：由开放/封闭版电子碰撞离子源，两个独立灯丝和一个四级质朴分析器组成。质量范围分为1-100、1-200和1-300 amu。系统中应用两种检测器：法拉第检测器：灵敏度低于10ppm次级电子倍增检测器（SEM）：灵敏度低于100ppb高效真空泵系统：真空室内置加热元件；专用汽水分离模块；双泵抽真空模块，包括前级隔膜泵和涡轮分子泵。恒温加热元件可以去除真空室中的杂质。汽水分离模块中的电子控制斯特林制冷器可以高效抑制水分子背景，从而显著提高离子源寿命。这一模块可以连续运行数周。温度可以由用户自定义，从而监测特定的挥发物质，如乙醇等。进样单元：模块化设计，可互换渗透膜探头或针阀进样器。渗透膜探头允许溶解物质通过，既可以测量液态样品，也可以测量环境气体。针阀进样器适用于直接测量气态样品中的挥发物质。真空压传感器：测量真空室中的总压力和进样单元中的压力，确保不会损坏质谱分析器。集成触屏监控器：可手动控制加热/制冷温度，开闭进样器、分流阀和安全阀。可通过预设程序进行自动测量。控制软件：操作设定质谱仪、获取测量数据、编写用户自定义测量程序用于测量特定的物质。应用领域： 气体和液体样品的气体交换，如藻类光合作用（CO2、O2）、生物燃料研究（H2、乙醇、烃类）一台仪器即可进行多种气体和挥发物质的长期监测两种进样单元，即可测量气体也可测量液体模块进样设计，多种接口可选，可以进行整株植物或细胞悬液的气体交换分析固氮生物研究（N2）18O2标记光呼吸研究同位素分布分析气体污染研究（CH4，H2S，NOx，SO2，CS2，CO等）水污染研究（可溶性有害气体、挥发性有机物等） 技术参数：分析气体种类：气体：CO2、O2、H2、N2、C2H4、CH4、H2S、NOx、SO2、CS2、CO等挥发性有机物：乙醇、烃类、苯、甲苯、丙酮等 质谱分析器：残余气体分析器（RGA）质量范围：1-100 amu、1-200 amu、1-300 amu离子源：开放或封闭版电子碰撞离子源，两个独立灯丝（灯丝材料：yttriated iridium）检测器：法拉第检测器：灵敏度10ppm次级电子倍增检测器（SEM）：灵敏度100ppb响应时间：20秒真空系统：前级隔膜泵和涡轮分子泵进样器：渗透膜探头（PDMS）或针阀进样器加热系统：100W恒温加热元件，最高温度90℃制冷系统：电子控制内置斯特林制冷汽水分离模块，最低温度-80压力传感器：高真空压传感器用于测量真空室中总压力；进样器压力传感器用于保护质谱分析器触控屏：系统控制并显示实际读数BIOS：可升级固件通讯端口：千兆以太网，TCP/IP协议外部工作站：预装专用软件，操作设定质谱仪、获取测量数据、编写用户自定义测量程序用于测量特定的物质尺寸：54.5×72×45.5cm重量：65kg供电：110-230V交流电应用案例：配合FMT150藻类培养与在线监测系统测量蓝藻Synechocystis 6803光补偿点（测量O2）。配合专用测量室和FluorCam便携式叶绿素荧光成像系统，测量整株番茄的光合作用（测量CO2），同时与Li6400测量数据进行对比，可见MS GAS-100的稳定性和重复性要远远高于Li6400。 产地：欧洲 参考文献：1. Zav?el T. et al, 2016, A quantitative evaluation of ethylene production in the recombinant cyanobacterium Synechocystis sp. PCC 6803 harboring the ethylene-forming enzyme by membrane inlet mass spectrometry. Bioresource Technology, 202:142-1512. Zav?el T., ?erveny J., Knoop H., Steuer R., 2016, Optimizing cyanobacterial product synthesis: Meeting the challenges. Bioengineered, 7(6): 490-496.

Thermo Scientific Delta V Advantage新一代同位素比质谱仪凝聚了我们在质谱仪领域里50年以上的经验。同位素比质谱仪的基础原理是把任何类型的无机或有机化合物转换成为单纯的气体。作为DELTA V Advantage 的进样系统，有广泛的样品预处理设备和接口可供选择。它可以与元素分析仪、GasBench、气相色谱或液相色谱等装置联用，用于测定C、N、S、H、O等多元素的稳定同位素比值，可用于食品安全、农业、环境、地质、海洋等领域，进行食品真实性鉴定、原产地判别以及环境污染物溯源等研究。赛默飞世尔为实践中在每个应用中可能遇到的各种各样的样品的 全自动分析提供应用气相色谱，液相色谱和元素分析仪的完整分析方案。该仪器具有以下特点： 极好的扩展性，可以与各种外围设备联用，确保高度自动化和高性能在保证卓越的线性和稳定性的同时，展示了最好的灵敏度结构紧凑，坚固耐用

HPR20 QIC TMS瞬变过程气体分析质谱仪是为在常压附近快速反应的气体分析而设计的系统。配置0.9m长度的石英毛细进样管，是理想的气体瞬变过程分析质谱仪。0.9m长的高效、柔韧、加热(直到200℃)石英惰性毛细管（QIC) APSI-MS 软离子化技术，选择性分析复杂气体和蒸汽 多离子源选择和快速响应的优化泵结构 脉冲离子记数器，可检测连续7个数量级的动态范围 ppm,%定量分析方法 提供两组外部参数显示信号；可选配16组 扩展余地宽 质量数范围： 1～50、100、200 、300、500、1000amu 响应速度： ＜150ms，200毫秒内对于5个数量级气体组成变化做出反映 扫描速度： 100amu/s 取样压力： 100mbar～2bar 标准配置 1mbar～30bar 选配 检测浓度： 5ppb～100% 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 测量速度： 500点/秒

仪器简介 英国Hiden公司的HAL 201 RC超高真空残余气体分析四极质谱仪专为检测超高真空容器中的存在组分而设计，针对真空诊断进行精确的分析。 离子源为镀金离子源，适合应用在总压小于5 x 10-10mbar的领域，其系统与EPIC离子/分子分析质谱仪完全兼容。 主要特点：镀金离子源，以减少离子源脱气 氧化物涂层双铱丝的离子源 双法拉第/ Channeltron电子倍增器检测器 技术规格：质量数范围： 200，300 amu扫描速度： 100amu/s 最小扫描步阶：0.01amu 灵敏度： 0.1 ppm～1ppm 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 最小检测分压：5 x 10-14 mbar 最大工作压力：1 x 10-4 mbar

产品概述 GC-MS 8700气相色谱-质谱联用仪，是将气相色谱仪和质谱仪结合起来，对有机化合物进行分离、定性定量检测的分析仪器。可与快速溶剂萃取、吹扫捕集、热解吸等前处理设备联用，解决固体、液体、气体样品中有机物的检测。产品特点◇ 离子源和四极杆独立双腔体设计，配合250L/s高性能长寿命涡轮分子泵，为四极杆和电子倍增器提供优良的真空环境，降低离子源污染和背景干扰，提高设备灵敏度和稳定性。◇ 离子源采用高温惰性陶瓷材质，离子化效率高、污染少。◇ 灯丝采用长寿命惰性材料制成，双灯丝设计，使用时间翻倍。◇ 配备可拆卸预四极，较少四极杆污染，增长使用寿命，降低维护频率。◇ SCAN、SIM模式同时扫描，一次进样获得定性、定量分析结果。◇ 分子质量范围可达1250amu，应用范围广。◇ 具有电子倍增器和灯丝保护功能，可在色谱运行中任意区间关闭灯丝及电子倍增器，规避易饱和物质，提高使用寿命。 应用领域环境监测：水土气等环境样品中挥发性、半挥发性有机污染物的检测等疾控、自来水：生活饮用水中挥发性有机物、农药残留分析等食品安全：食品添加剂分析、农残兽残检测、食品包材污染物分析等轻工制造：香料分析、添加剂检测等教学科研：教学演示、科研课题等

AB Sciex API 4000 液相色谱质谱联用仪 LC-MS-MS主要应用领域 药物代谢及药物动力学研究 临床药理学研究 天然药物（中草药等）开发研究 残留分析、毒物分析、环境分析－公安、环保、食品、自来水、卫生防疫等行业。 新生儿筛选 蛋白与肽类的鉴定 生物大分子间的非共价键相互作用仪器特点新型API4000+ LC/MS/MS系统采用最新科技发展的成果，进行革新性的设计，具有无可比拟的灵敏度、选择性、重现性，提供更稳定、更可靠的结果。 无与伦比的高灵敏度――最新设计的高效率“V型Turbo电离源”和新型接口提供的离子进样使灵敏度提高十倍。 无可比拟的耐用性与可靠性――享有盛誉的“专利气帘技术”和创新的气体动力学设计，大大降低了维护需要，提高了仪器的利用率。 更高通量性能――优异的高流量性能、降低的离子抑制效应、自清洁离子源探针设计和可靠的接口设计，加速了分析速度。 使用更简便――新型“V型Turbo电离源”使得“电喷雾电离源”和“APCI电离源”即插即用（plug-and-play）。最新设计的高效率“V型Turbo电离源” 采用最新的双加热器技术和优化的气体动力学设计，最大地提高样品的电离效率。 电喷雾电离源允许日常使用1毫升/分钟的流量，而无需分流，且保持同样水平的灵敏度，真正实现了和常规液相色谱的联用。 APCI电离源的快速加热技术和新型惰性材料的采用，最大地降低了目前常规LC-MS-MS仪较易产生的高浓度样品的“拖尾现象”和“交叉污染”。 自清洁离子源探针设计，使离子源无需维护创新性专利线性加速LINAC技术保证MS/MS超强性能 LINAC高压碰撞室技术――提高了所有MS/MS方式的灵敏度，使离子到达检测器的传输效率最大，大大提高了串联质谱的性能。 增加结果的可靠性――LINAC技术可有效防止MRM实验中产生记忆效应。 一次分析可定量更多的化合物――LINAC技术允许在MRM实验中减少测量驻留时间而不降低灵敏度。 更适合MS和MS-MS自动切换扫描技术（IDA）――LINAC技术提高了母离子扫描和中性丢失扫描的速度、灵敏度和分辨率。AB Sciex API 4000 液相色谱质谱联用仪 LC-MS-MS技术指标：API离子源 配置高效率“V型Turbo电离源”及TurbolonSpray和APCI两种离子源探针 即插即用（plug-and-play）离子光学和四极杆质量分析器 专利碰撞聚焦四极杆Q0保证离子的最大传输率 专利线性加速碰撞LINAC技术可消除记忆效应，提高灵敏度检测系统 脉冲计数检测器可快速进行正/负离子检测方式切换 动态范围：1—4E6cps真空系统 两级涡轮分子泵，空气冷却，无需维护 断电后自动关闭系统数据处理和控制系统 定性和定量分析功能 可自动进行数据实时和后处理安装要求 体积：52*50*130cm (H*D*L) 运行环境：15－30℃ 电源：208－240V 气体：高纯氮气，零级空气（无油、清洁压缩空气）谱标科技——专业的二手分析服务商 谱标致力进口二手高端分析仪器在国内的销售和服务，产品涵盖气相色谱质谱联用仪、高效液相仪、液质联用仪、质谱系统等，经营的品牌主要有：Agilent(安捷伦）、PerkinElmer（珀金埃尔默）、Thermo（热电）、Shimadzu（岛津）、 AB Sciex、Waters（沃特世）等。 众所周知，二手分析仪器的销售是以优秀专业的售后服务作为保障的，因此谱标注重建立起自有的技术团队，公司的核心工程师团队拥有资深维修工程师十人以上、 资深应用工程师5人，所有核心成员均服务过全球最为知名的仪器公司，具有5~20年的工作经验。凭借经验丰富、技术力量雄厚的工程师团队，以及以客户利益为本的宗旨，我们为广大用户 在色谱、质谱仪器的软硬件使用、维护、维修、认证、应用和数据安全等多方面提供完善的技术支持和解决方案。同时，我们拥有稳定的国外进口仪器采购渠道，能够保证用户得到一流品质的精选二手分析仪器。主要产品：安捷伦GC-MS,型号6890N-5973N(2007年左右，经典机）,7890A-5975C（2010年左右）,7890B-5977B（2015年左右），5975B+6890N岛津GC-MS：QP2010PLUS（2010年左右），QP2010Ultra（2014年左右）AB公司的LC-MS-MS：API3200，API 4000，API4500，API5500，API6500安捷伦的ICP-MS:7500ce,7500cx，7700,7800,7900安捷伦的液相色谱仪器 LC：1100,1200,1260,1290PE公司的ICP-MS:DRC-e,NexION 300XPE公司的顶空进样器：PE-40谱标科技研发中心：谱标科技公司环境：谱标科技荣誉资质：谱标科技团队风采：尊敬的客户，欢迎您的浏览，鉴于本司经营产品众多，有相关需要欢迎随时与我们联系。欢迎您的咨询，我们将会热情为您服务！