气相质谱分子涡轮泵

上海伯东代理德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700 成功应用于宁波某研究所磁控溅射（Megnetron Sputtering）系统.宁波某研究所磁控溅射（Megnetron Sputtering）系统用于光刻胶片上溅金属铬,铜,钛.其中材料生长腔工作真空度要求 E-7 hPa,能做到4英寸片,3靶位,可实现编程镀膜.材料生长腔对涡轮分子泵的要求较高,老师在考量了德国普发 Pfeiffer Hipace 700 涡轮分子泵和爱德华 Edwards STP603 分子泵后,因为对分子泵的压缩比要求较高,最终选择了德国普发 Pfeiffer 分子泵

伯东公司Pfeiffer 德国普发涡轮分子泵PVD镀膜设备行业应用镀膜原理：PVD即物理气相沉积，是当前国际上广泛应用的先进的表面处理技术。在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基材上。它具有沉积速度快和表面清洁的特点，特别具有膜层附着力强、绕性好、可镀材料广泛等优点。PVD镀膜技术广泛应用于电子产品门窗五金、厨卫五金、灯具、海上用品、首饰、工艺品，及其它装饰性制品的加工制造。

分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵的正确使用和及时保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition, PLD），是一种利用激光对物体进行轰击，然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上, 得到沉淀或者薄膜的一种手段. PLD 系统由多个真空腔体组成，整个系统需要超高真空且不能引入任何杂质，对环境的清洁度要求较高，必须配备无油干泵和分子泵抽真空。由于各个辅助腔体体积较小, 因此特别适合使用 pfeiffer Hicube 系列分子泵组. 伯东公司销售维修的 Pfeiffer 分子泵组因其结构紧凑体积小，清洁无油（前级泵配备干泵）、抽速快、极限真空度高达10-11mbar等优点一经上市好评如潮。

在使用真空技术装备实验室和分析系统时，高灵敏度和绝对的可靠性至关重要。在实验室里的洁净室条件和严格空间限制下进行测量和研究，导致对设备的需求增加。在真空环境中的分析大幅提高了结果的质量，因此成为现代实验室技术中首选的测量和分析方法之一。对实验室中理想真空泵的要求相对较高。除了紧凑的设计，低噪声排放和高压力稳定性同样重要。必须能够在高真空和超高真空条件下执行决定性的精确分析程序。而且，所有的解决方案必须可灵活定制，以满足相关应用的不同挑战。

加速器按工作原理分为静电加速器、高压倍加器、感应加速器、回旋加速器、稳相加速器、同步加速器、直线加速器、重离子加速器和贮存加速器（离子对撞机）. 各种加速器的工作原理各不相同, 但结构都包含一些基本结构：真空室、真空系统、离子源、加速系统等. 上海伯东某客户在开发重离子加速器用于医疗行业, 要求系统真空度不低于 1E-5Pa. 经过和客户详细交流和选型, 推荐客户采用上海伯东普发涡轮分子泵 Hipace 700 DN 160 CF-F 来保证系统的工作真空度在 1E-5Pa.

涡轮机油主要用于涡轮机及其联动机组的滑动轴承、减速齿轮、调速器和液压控制系统的润滑。随着电力工业的发展，超临界汽轮机、燃气轮机､、燃气-蒸汽联合循环机组获得应用，设备工况愈为苛刻，操作温度大幅提高，导致涡轮机油快速氧化，出现油泥、漆膜沉积，造成伺服阀门堵塞和轴瓦温度波动。涡轮机油的旋转氧弹时间的测定是采用SH/T0193标准设计制作的，自动旋转氧弹仪SH0193C 就是严格按照这个标准设计制作的

涡轮机油，也称透平油或者汽轮机油，主要用于发电厂蒸气轮机、水电站水轮发电机及其它需要深度精致润滑油的润滑场合。 涡轮机油（也称透平油或者汽轮机油），汽轮机"turbine"一词的英文译音；汽轮机油与其它润滑油的主要差别在于更好的抗氧化安定性和抗乳化性能，主要用于发电厂蒸气轮机、水电站水轮发电机及其它需要深度精致润滑油的润滑场合，透平油就是汽轮发动机用的一种机油，适合高速机械润滑用,主要起到润滑\散热\冷却调速的作用。 按照GB11120涡轮机油标准要求，测量涡轮机油的色度是采用GB/T6540这个标准的。石油产品色度仪SD6540就是按照标准GB/T6540和SH/T0168这个标准来设计制作的，25个色号进行石油产品的色度的检测。

普发真空解决方案的优势一览：HiPace 30 涡轮分子泵■ 市场上最小的大功率涡轮分子泵■ 易于集成到小型分析系统中■ 低重量，非常适合移动使用■ 较长的保养间隔保证了较长的寿命周期HiPace 300 涡轮分子泵■ 特别适用于高真空和超高真空应用■ 非常高的压缩率，尤其适用于小分子气体■ 与隔膜泵结合使用也能实现最好的结果■ 间歇式运行可以节省超过 90％ 的能量，而不会损失任何动力SplitFlow™ 涡轮分子泵■ 由于结构紧凑，所以需要最小的空间■ 对所有气体均具有高抽速和最大压缩比■ 通过监控所有运行数据来最大限度地提高运行可靠性DuoLine 旋片泵■ 可选的免维护磁耦合可实现更长的使用寿命■ 优化的泵冷却增加了使用寿命和应用范围■ 通过液压控制的高真空安全阀实现高运行可靠性■ 由于占地面积小且真空连接布置经过优化，可轻松地进行系统集成MVP 隔膜泵■ 绝对干燥的无油真空■ 低振动和低噪音水平■ 紧凑型设计■ 运行可靠性高，隔膜寿命长?■ 隔膜和阀门更换方便，从而使维护很方便

随着风力发电在全球的逐渐普及，风力涡轮机叶片在使用中损坏的案例越来越多。为了防止这种情况发生，著名的韩国标准科学研究院（Korea Research Institute of Standards and Science，简称KRISS）已在致力于开发出一系列用于检测风力涡轮机叶片的质量和运行情况的标准化测试。热像仪在这些质量测试中发挥关键作用。对FLIR Systems红外热像仪的初次体验，就让他们体会到热成像在这方面应用中的广阔前景。

风力涡轮机由于其工作环境，需要做耐腐蚀、耐摩擦、抗冰等处理，这些功能的实现都离不开各种特殊涂层。在选择涂层时，除了要满足上述功能外，涂层的附着强度也非常重要。本文测量了两种不同涂层的附着强度̷̷

风力涡轮机由于其工作环境，需要做耐腐蚀、耐摩擦、抗冰等处理，这些功能的实现都离不开各种特殊涂层。在选择涂层时，除了要满足上述功能外，涂层的附着强度也非常重要。本文测量了两种不同涂层的附着强度

随着风力发电在全球的逐渐普及，风力涡轮机叶片在使用中损坏的案例越来越多。为了防止这种情况发生，著名的韩国标准科学研究院（KoreaResearch Institute of Standards and Science，简称KRISS）已在致力于开发出一系列用于检测风力涡轮机叶片的质量和运行情况的标准化测试。热像仪在这些质量测试中发挥关键作用。对FLIR Systems红外热像仪的初次体验，就让他们体会到热成像在这方面应用中的广阔前景。

某真空系统集成商搭建的MBE设备, 由用户方采购 Pfeiffer 真空泵 HiPace 系列涡轮分子泵和 ACP干泵用于分子束外延系统,

放射性环境下的应用：对于在放射性环境或高磁场下的应用，会很快损坏到各种电子部件。对于经常靠近试验安装的涡轮分子泵，普发真空开发了拥有外部电子组件和电缆长达 1,000 m 的解决方案。对于机身装备了电子装置的现代化前级泵而言，有相同型号可用。对于 ACP 系列的泵，电子装置可选装于离泵最远达 100 米的地方。根据最近几年的经验，对于一系列的研发应用，普发真空 ACP 系列的多级罗茨泵与 HiPace 涡轮分子泵的组合都是理想的解决方案。这一泵组合相比于其它方案拥有的明显优势包括：■ 绝对无氟，因此无工艺污染的危险■ 极少需要维护■ 节能且节约成本■ 工作音量小■ 最终压力极低

2011 年年中，普发真空向EADS Astrium空间运输公司提供了国际空间站（ISS）的一项实验所需的涡轮分子泵和真空计。该涡轮分子泵以 HiPace 80 型号为基础，通过与客户合作开发的一项创新工艺，对包含真空计在内的设备进行了改装，以适应空间的特殊环境。涡轮分子泵和真空计将用于 Columbus 欧洲研究实验室的MSL-EML 模块中（材料科学实验室 - 磁悬浮装置）。计划将在这里对材料试样进行失重条件下的无容器熔化基础实验。此次研究的主要目的旨在高效地生产性能更佳的材料。该项目实施后，它将成为国际空间站上使用的第二台普发真空涡轮分子泵。2001年，一款经过特殊设计的Compact Turbo 型号产品已被用于 Columbus 模块中，用来研究等离子晶体。

由于高质量要求，BGC 选择普发真空作为其惰性气体质谱仪生产线真空设备的合作伙伴。这些系统对所需的真空解决方案寄予很高的要求，因为它们在技术上很成熟，具有体积小、便于携带的特点。最重要的是要完成所需的 UHV，其极限底压要求为较低的1· 10-9 至中等 1· 10-10 hPa 范围。间或，抽吸系统也必须能够处理样品装载过程中遇到的更大气体负荷。由于 BGC 和普发真空曾经长期密切合作过，普发真空非常了解 BGC 研究的要求和领域。得益于这一条件，再加上与研究所的密切合作，从而可以开发出定制、独特的真空解决方案。普发真空的解决方案对于这种应用，稀有气体样品制备作业线和惰性气体质谱仪均需要UHV 系统。这种真空水平已经通过使用涡轮分子泵系统、离子和非蒸散型吸气泵以及应用低温分离技术获得了。为完全满足客户对样品制备作业线的要求，普发真空 HiCube Eco系统被选作主要泵系统。这个解决方案的决定性参数是：■ 紧凑的尺寸■ 简化布线和控制■ 能够远程安装控制单元■ 能够操作冷阴极真空计■ 无与伦比的低能耗（高真空模式下为 20 W）■ 高性价比将普发真空 HiCube Eco 集成到样品制备作业线底盘特别方便。显示控制单元可以轻松地从泵组拆除，并安装在样品制备底盘的顶部附近，以使控制单元在该系统中的定位更合人体工程学，更方便操作人员。而且，HiCube Eco 标准配置的 MVP 015-2 隔膜泵为客户及其应用提供额外的好处。只要 HiCube Eco 中的 HiPace 80 涡轮分子泵处于低功耗状态，隔膜泵将就会进入睡眠模式，自动关闭。因此，这种泵的有效性不是体现在组件的操作和记录时间上。这样提高了隔膜的寿命并节省电力，两者均降低了系统的运行成本。此功能还降低了系统的整体噪声和振动。虽然涡轮分子泵系统通常处于待机模式下，但需求增加时，它能够快速、可靠地响应。凭借该解决方案，普发真空完全符合伯克利地质年代学中心的高要求，并成功进行了密切、可靠的合作。

采用德国LaVision的Imager Pro X4M CCD相机和蔡司ZEISS 50mm f/2 Makro 镜头，测量了亚音速高马赫数跨音速涡轮叶栅尾流的2D2C速度矢量场并和五孔探针的测量结果进行了对比分析。

MIT 的普发真空解决方案一览：隔膜泵在 MIT，隔膜泵用作涡轮分子泵的前级泵。由于其紧凑性，普发真空的隔膜泵是集成到系统中的最佳选择。该产品优势明显：■ 绝对干燥的无油真空■ 隔膜使用寿命长■ 低振动和低噪音水平■ 高操作可靠性■ 易于维护，因为膜和阀门更换简单■ 由于使用了双电压电机或直流驱动器，可在全球范围内使用涡轮分子泵普发真空的涡轮分子泵在 MIT 产生所需的超高真空条件。凭借其高性能和可靠性以及极好的经济性和效率，它们是满足离子束机器要求的最佳解决办法。其优势包括：■ 经验证的轴承系统实现了高可靠性■ 设计、技术组件和泵速度等级的差异实现了灵活性■ 高度发达的泵设计实现了高压缩性能和高效率■ 低能耗■ 很长的保养间隔周期质谱仪在 MIT，普发真空的 PrismaPlus 质谱仪用于在真空系统中进行残余气体分析。高灵敏度、稳定性和智能处理的结合使 PrismaPlus成为最佳解决方案。优势一览：■ 模块化设计实现了最佳适应性■ 紧凑的尺寸和高性能■ 通过各种接口实现了方便的系统集成■ 通过以太网联网■ 高测量速度、稳定性和分辨率测量设备MIT 使用普发真空的 ActiveLine 和 DigiLine 高精度真空计测量仪器。它们具有模拟和数字两种输出。它们非常适合离子束系统的要求，并具有许多优势：■ 磁性杂散场最小■ 轻松集成■ 耐用且易于维护

伯东 Pfeiffer 真空泵 HiPace 80 应用于磁控离子溅射镀膜仪英国知名品牌磁控离子溅射镀膜仪是一款优化设计的带涡轮分子泵抽真空的镀膜设备, 真空度可达5x10-5mbar. 可以溅射具有超细成膜颗粒的易氧化金属, 适用于高分辨率成像. 同样地, 低散射可得到均匀而致密的无定形碳膜.

岛津公司GCMS-QP2020气质联用仪搭载全新超高效大容量涡轮分子泵，采用双入口差动式排气系统，可使用氦气、氢气、氮气做载气，能有效地降低氢气、氮气做载气时的基线噪声，这样有利于提升氦气，氢气，甚至是氮气作为载气时的仪器性能，保证在任何条件下实现最佳的状态和高灵敏度的检测，有效地降低实验室运行成本。

普发真空提供针对烘烤高真空应用的塑料或其他材料进行定制的完整系统。超高真空烘烤系统具有以下特点：具有电抛光内表面的圆柱形不锈钢室能够通过内置的冷却盘管和制冷/加热循环器加热到所需的运转温度。室门配备了一个氟橡胶(FPM) 制成的双密封胶圈，能够在不更换密封胶圈的前提下轻松开关不锈钢室。双密封胶圈通过粗抽泵排空气体以减少渗透。不锈钢室上的所有其它法兰都采用了 CF 法兰(ConFlat® ) 以减少渗透。CF 法兰密封由金属制成，最常用的密封材料是铜。CF 法兰通过将钢刀口施加到平的铜垫片上进行密封。法兰的轴环周围使用螺丝钉。整个不锈钢室被包围在一个特殊的兼容净室的隔热层内 (RRK 7)。尽可能表面积最小的自定义夹紧工具能够被设计成不同的组件形状。为了测量高达 5 · 10-9 mbar 的压力，使用了一个冷阴极测头和一个 Pirani 元件 (PKR 261) 进行测量。通过 HiPace 系列涡轮分子泵或 HiPace M 系列磁悬浮涡轮分子泵可以形成高真空，涡轮分子泵利用一个超高真空闸阀安装在不锈钢室上。在这一应用中可以在 ACP 系列的隔膜泵和多级罗茨泵之中选择一种作为干式前级泵。

岛津GCMS-QP2020搭载全新高效大容量的涡轮分子泵，采用离子源和质量分析器分别排气的差动式真空系统，大大缩短仪器抽真空的时间，可进一步提升仪器性能，并可保证在任何载气条件下的最佳质谱状态。自动方法创建功能“Smart SIM”可依据保留时间自动生成最佳SIM分析方法，简化方法开发，减少分析时间，提高实验效率，对地下水中痕量SVOCs分析 ，Smart SIM分析方法可实现高灵敏度、高精度分析，提高实验室的检测能力。

普发真空的优化方案普发真空以其 DuoLine 系列双级旋片泵和大受欢迎的 HiPace 系列涡轮分子泵为飞轮质量储能系统提供符合要求的理想方案。其中 Duo 3 的特别版带有创新的直流电驱动器，在市场上脱颖而出。这种泵采用 24 V 直流电供电，可在 -20 ° C 至 +60 ° C 范围内工作，用于移动飞轮应用极为理想，因而可直接用于该领域。此外，普发真空的真空泵和真空计应用在全世界的飞轮系统中。能量储存的先锋依靠普发真空储能研发领域的法国先锋 Levisys 从一开始就信赖普发真空为其试验和研发提供的方案。这家创业公司研发生产了首台 10?kW 固定飞轮储能系统，并将其应用在法国电气工程巨头 Engie Ineo 位于 Toulouse 的生产现场。公司建立了所谓的 SmartGrid 智能电网，并使用固定飞轮系统均衡供能偏差。通过这种方法，为生产现场的常规供能提供了新的电能储存途径。它填补了使用至今的锂离子电池储能设备的不足。通过最初的测试阶段后，在 2016年将再加装 9 台固定飞轮储能系统，容量达到 100 kWh 。Levisys 的固定飞轮质量储能系统采用了 DuoLine 旋片泵、HiPace 涡轮分子泵以及真空计，以获取并测量所需的真空环境。对于真空设备的要求很高：其工作必须可靠，结构紧凑，以适合固定飞轮系统内部有限的空间，而且输入功率也必须低。

创新概念SplitFlow™ 是由普发真空开发的利用一个模块去实现涡轮牵引泵的功能，从而为系统制造商提供了最大的灵活性。该泵的开发要求在单一真空系统内结合了精确的几何适应性和优异的性能。尤其是在不断增加的复杂性和台式装置趋势方面，这种概念完全符合市场要求和客户需要。除了纯粹的几何适应性以外，还需要满足特定的真空技术参数。例如，通过结合不同的抽气原理（例如，结合涡轮分子泵和霍尔威克压力级），允许的前真空压力将明显提高，同时压缩性能将提高几个数量级。通过巧妙地设计转子几何形状，可以产生多达三个不同的泵级，它们的定向方式只会部分地相互影响。这样的布置使得可以代替两台离散式高真空泵和一台机械前级泵。这样的设计甚至可以实现完全整合到分析仪器的真空室中。这需要系统制造商和真空供应商从一开始就进行密切合作。设计阶段完善建议非常重要。取决于系统的配置，结果往往可以为真空系统减少大约50%的空间，而且节省成本超过50%。通过取消离散式抽吸装置、采用标准泵批量生产的研究结果，如今可以达到超过100,000小时MTTF（平均无故障时间）的泵可靠性。通过优化的轴承技术可以实现高度的可靠性，这种技术采用无需维护的磁悬浮轴承和精确球轴承在两侧定位快速旋转的转子，从而可以有效减震。泵补充配套有相应的电子驱动单元以及一系列的附件。对于涡轮分子泵的计算机控制一体化，提供标准化的界面。由于其特殊布局，这些泵只需要一个空气冷却系统，这意味着，可以省去附加的水冷却和其他装置费用。

油式旋片真空泵是一种十分成熟可靠的真空泵，通常也被叫做油泵、机械泵、旋片泵等，其价格便宜真空度好，广泛应用于热处理、镀膜、质谱仪器、样品前处理、冷冻干燥、手套箱、泄露检测等对油蒸汽不太敏感的应用，同时，还常常被用作分子泵的前级泵。

DL/T432电力用油中颗粒度测定方范围：本标准规定了用自动颗粒计数仪和显微镜测定磷酸酯抗燃油、涡轮机油、变压器油及其他辅机用油颗粒度的方法。本标准适用于磷酸酯抗燃油、涡轮机油、变压器油及其他辅机用油颗粒度的测定。

普发真空的真空技术用于 LIGO这项实验，亦即在地球上证实引力波的存在，需要真空技术。为了保证功能正常，激光的两条光路不得受到扰动影响。因此，激光束和光学镜面放置在超高真空系统中。为了保证该系统的质量和可靠性，从而使实验能够顺利完成，需要进行长达十年的准备。作为准备工作的一部分，在世界各地的物理研究所为准备引力波实验而进行了深入的基础研究。普发真空为许多这样的基础实验提供了真空设备。LIGO 探测器中的真空也是由普发真空的分析系统监控的。普发真空的 HiPace 涡轮分子泵及大量质谱仪被用于保障质量和检测泄漏，以对巨型光束管道的烘烤进行诊断。这些设备用于保持管道系统中的必需的真空条件，为成功进行实验提供必要的环境条件。

泄漏检测解决方案须满足的要求在泄漏测试过程中，必须避免所有可能的污染。所有测试方法，即使具有最轻微的容器污染风险，如染料渗透测试或使用发泡剂，均需排除。进行泄漏测试的整体理念由 MAN DWE 与卡尔斯鲁厄理工学院(KIT) 的专家共同开发。普发真空的产品也用于此目的。泄漏测试所需的最终压力取决于要安装的泵的容量。装配完成的主光谱仪整体氦气泄漏测试规定的极限值 5 · 10-9mbar l/s。需要的氦本底信号 5 · 10-10 mbar l/s。初步计算表明，体积为 1,240 m3 的腔室的抽空时间大约为三天，以达到所需的氦本底。因此，即使使用额定氦气抽速为 2,600 l/s 的强力涡轮分子泵，泄漏测试的响应时间也需要 20 分钟左右。之后在一个半小时后才可能达到信号最大值，而信号衰减则需要更长的时间。考虑到这一点，在存在多个泄漏风险的情况下，只进行单一的整体测试似乎并不可行。因此，在生产过程中建立泄漏测试程序，进行大量的个别测试以及尽可能少的整体测试。这样做的目的是为了防止重新加工密封表面或焊缝的风险（比如在后期）。在生产过程中的测试可以找出制造时的任何泄漏，可以较早准确修正质量偏差。这样可以避免耗时的重复测试以及对完成表面造成的潜在损坏。

上海伯东某科研客户需要搭配一套低温阻抗测试系统, 系统在充入低温气体前，需要把腔体真空度抽至1E-3Pa，系统腔体体积为10L左右, 并稳定在这个真空度保持30min。 经过计算，推荐老师采用Hipace 80 分子泵搭配MVP 015-2隔膜泵的分子泵组Hicube 80 Eco，这套分子泵组可以保证系统真空度不低于1E-3Pa。系统采用PKR 251全量程真空规测量真空度，真空规通过数据线直接连接到分子泵组，在泵组显示器上直接显示真空度。