白光干涉气缸轮廓仪

“摩擦，摩擦，在这光滑的地上摩擦…..”还记得庞麦郎的一首《我的滑板鞋》风靡大街小巷，广场上卷起了一股溜滑板鞋的浪潮。尔今浪潮已退，但摩擦声却未消失，作为一柄对社会发展起着双刃剑作用的武器，各大高校和科研机构一直都在对摩擦学进行着持续的研究，而中图仪器[b]SuperView W1光学3D表面轮廓仪[/b]，就是该领域最时尚的滑板鞋，载着研究人员疾驰，手持武器，所向披靡。　　摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科，摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数，量级从纳米到毫米不等，又由于不可破坏性测量，传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用，而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的光学3D表面轮廓仪登上了摩擦学研究的舞台。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238760989.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231572145.jpg[/img][/align][align=center]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/align]　　上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪，经过十数小时的摩擦，铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹，即为磨损区域，对磨损区域进行尺寸上的定量分析，是研究的重要组成部分，下面我们使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。一、一维：线_轮廓尺寸　　取一块摩擦处理过的铜板，使用SuperView W1光学3D表面轮廓仪对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描，获取其3D图像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808239913954.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234541029.jpg[/img][/align][align=center]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/align]　　从图中可以看到，相对光滑区细致较浅的划痕，磨损区充满了坑坑洼洼的槽，在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线，可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。二、二维：面_粗糙度　　分别在光滑区和磨损区选取若干点，测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808235791766.jpg[/img][/align][align=center]图6 光滑区域粗糙度[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808237197020.jpg[/img][/align][align=center]图7 磨损区域粗糙度[/align]三、三维：体_体积[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238604911.jpg[/img][/align][align=center]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/align]　　如右上图，利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中，位于基准面（蓝色方框）上面的顶点区域显示为红色，位于基准面下方显示为绿色，利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。　　一线二面三体，中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息，从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断，如同穿上了酷炫的滑板鞋，在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。

白光干涉仪目前在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一，在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，除了[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][b][color=#333333]白光干涉仪[/color][/b][/url]，其它的仪器无法达到其测量精度要求。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803076710554.jpg[/img][/align][align=center]中图仪器SuperView W1白光干涉仪[/align]白光干涉仪测量原理：　　白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/5/201905302500097.jpg[/img][/align]白光干涉仪的测量应用：　　以测量单刻线台阶为倒，在检查仪器的各线路接头都准确插到对应插孔后，开启仪器电源开关，启动计算机，将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置，先手动调整载物台大概位置，对准白光干涉仪目镜的下方。　　在计算机上打开白光干涉仪测量软件，在软件界面上设置好目镜下行的最低点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。按开始按钮，白光干涉仪可自动进行扫描测量，测量完成后，转件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/5/201905303281565.png[/img][/align]　　白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能全面、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪独有的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

禅宗有看山看水的参禅三重境，讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1[color=#0000ff][b]光学3D表面轮廓仪[/b][/color]为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现，带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。　　一重境：看山是山，看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片，初看下面的这张塑料片，想必读者一看再看，也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同，“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识，此乃一重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231032789.jpg[/img][/align]　　二重境：看山不是山，看水不是水。既然肉眼不可辩，那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒，另一面则被条状沟槽所填满，构成了塑料片表面的微观世界，但只知其平面外形却不知其三维形态，知其一不知其二，可谓二重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234626613.jpg[/img][/align]　　三重境：看山仍是山，看水仍是水。为一窥真容，使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描，点颗粒和沟槽轮廓一览无余。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808236344771.jpg[/img][/align]　　点颗粒是凸点，而沟槽则是弧形波，进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量，得到它们的尺寸数据。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238688505.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808230407653.jpg[/img][/align]　　单个凸点截面直径约42μm、高3.8um、夹角160°，分布周期97μm；单个弧形波高约1.6μm、宽约35μm，周期35μm。掌握了全部的轮廓数据，对这有着微结构的塑料片，我们有了全面而精确的认识，称得上“看山还是山，看水还是水”。　　超精密加工，是在传统精密加工上的升级，代表着先进制造业的发展方向，也代表着一个国家制造业的最高水准，超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器，而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪，就像一双能够明察秋毫的眼镜，帮助我们在超精密加工的微观世界里，具备“看山还是山，看水还是水”的本领。

禅宗有看山看水的参禅三重境，讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][color=#0000ff][b]光学3D表面轮廓仪[/b][/color][/url]为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现，带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。　　一重境：看山是山，看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片，初看下面的这张塑料片，想必读者一看再看，也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同，“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识，此乃一重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231032789.jpg[/img][/align]　　二重境：看山不是山，看水不是水。既然肉眼不可辩，那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒，另一面则被条状沟槽所填满，构成了塑料片表面的微观世界，但只知其平面外形却不知其三维形态，知其一不知其二，可谓二重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234626613.jpg[/img][/align]　　三重境：看山仍是山，看水仍是水。为一窥真容，使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描，点颗粒和沟槽轮廓一览无余。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808236344771.jpg[/img][/align]　　点颗粒是凸点，而沟槽则是弧形波，进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量，得到它们的尺寸数据。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238688505.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808230407653.jpg[/img][/align]　　单个凸点截面直径约42μm、高3.8um、夹角160°，分布周期97μm；单个弧形波高约1.6μm、宽约35μm，周期35μm。掌握了全部的轮廓数据，对这有着微结构的塑料片，我们有了全面而精确的认识，称得上“看山还是山，看水还是水”。　　超精密加工，是在传统精密加工上的升级，代表着先进制造业的发展方向，也代表着一个国家制造业的最高水准，超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器，而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪，就像一双能够明察秋毫的眼镜，帮助我们在超精密加工的微观世界里，具备“看山还是山，看水还是水”的本领。

[table][tr][td][align=left][color=#333333]　　摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科，摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数，量级从纳米到毫米不等，又由于不可破坏性测量，传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用，而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的[/color][url=http://www.chotest.com][b][color=#000000]白光干涉仪[/color][/b][/url][color=#333333]登上了摩擦学研究的舞台。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,658,496]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238760989.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333][img=,639,260]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231572145.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/color][/align][align=left][color=#333333]　　上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪，经过十数小时的摩擦，铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹，即为磨损区域，对磨损区域进行尺寸上的定量分析，是研究的重要组成部分，下面我们使用中图仪器白光干涉仪对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。[/color][/align][align=left][color=#333333]一、一维：线_轮廓尺寸[/color][/align][align=left][color=#333333]　　取一块摩擦处理过的铜板，使用白光干涉仪对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描，获取其3D图像。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,621,240]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808239913954.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333][img=,548,171]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234541029.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/color][/align][align=left][color=#333333]　　从图中可以看到，相对光滑区细致较浅的划痕，磨损区充满了坑坑洼洼的槽，在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线，可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。[/color][/align][align=left][color=#333333]二、二维：面_粗糙度[/color][/align][align=left][color=#333333]　　分别在光滑区和磨损区选取若干点，测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,495,157]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808235791766.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图6 光滑区域粗糙度[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,472,143]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808237197020.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图7 磨损区域粗糙度[/color][/align][align=left][color=#333333]三、三维：体_体积[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,642,234]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238604911.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/color][/align][align=left][color=#333333]　　如右上图，利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中，位于基准面（蓝色方框）上面的顶点区域显示为红色，位于基准面下方显示为绿色，利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。[/color][/align][align=left][color=#333333]　　一线二面三体，白光干涉仪能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息，从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断，如同穿上了酷炫的滑板鞋，在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。[/color][/align][/td][/tr][/table]

[quote]引言：半导体产业是一个点石成金的行业，将从普通的石英砂中提取的硅原料制成拥有现代工业系统“心脏”之称的IC芯片，中间须历经数十上百道工序，从硅晶圆的制备到晶圆IC的制造，每一步都对工艺流程的质量有着严格的管控要求，由各式各样的检测仪器共同组成了产品质量监控的守门员，而在这之中，作为产品表面质量检测仪器的光学3D表面轮廓仪，以其超高的检测精度和重复性，发挥着重要的作用。[/quote]　　中图仪器SuperView W1[b][color=#3333ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b]，是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器，其分辨率可达0.1nm。半导体产业作为超精密加工领域一颗璀璨的明珠，在其硅晶圆的制备和晶圆IC的制造过程中，光学3D表面轮廓仪都以其强大的表面质量检测功能给这颗明珠增添一份靓丽的色彩。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257216238.png[/img][/align][color=#ffffff]硅晶圆的粗糙度检测[/color]在半导体产业中，硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量，而硅晶圆的制备，要经过十数道工序，才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆，如下图所示，提取表面一区域进行扫描成像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804250029083.png[/img][/align]通过上图我们看到，制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内，其表面粗糙度在0.5nm左右，由于其粗糙度精度已到亚纳米量级，而在此量级上，接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。[color=#ffffff]晶圆IC的轮廓检测[/color]晶圆IC的制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV蚀刻到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程，其中由于光罩中电路结构尺寸极小，任何微小的粘附异物和瑕疵均会导致制造的晶圆IC表面存在缺陷，因此必须对光罩和晶圆IC的表面轮廓进行检测。下图是一块蚀刻后的晶圆IC，使用光学3D表面轮廓仪对其中一个微结构扫描还原3D图像，并测量其轮廓尺寸。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804252060141.png[/img][/align][color=#ffffff]晶圆IC减薄后的粗糙度检测[/color]在硅晶圆的蚀刻完成后，根据不同的应用需求，需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理，在这个过程中，需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。在减薄工序中，晶圆IC的背面要经过粗磨和细磨两道磨削工序，下图是粗磨后的晶圆IC背面，选取其中区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804253935356.png[/img][/align]从上图可以看出，粗磨后的表面存在明显的磨削纹路，而3D图像显示在左下部分存在一处凹坑瑕疵，沿垂直纹理方向提取剖面轮廓并经过该瑕疵，在剖面轮廓曲线里可看到该处瑕疵最大起伏在2.4um左右，而磨削纹理起伏最大在1um范围内波动，并获取该区域的面粗糙度Sa为216nm，剖面线的粗糙度Ra为241nm。而在经过细磨后，晶圆IC背面的磨削纹理已基本看不出，选取表面区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257060316.png[/img][/align]从上图可知，在经过细磨之后，晶圆IC背面的磨削纹理轮廓起伏已经降到36nm附近，其表面粗糙度也已经从200多nm直降到6nm左右。以上是SuperView W1光学3D表面轮廓仪在半导体产业中的几种典型应用案例。目前我国正在大力推进半导体产业跨越式大发展，中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪必将为此贡献更多力量。

[table][tr][td][align=left][color=#333333]　　“摩擦，摩擦，在这光滑的地上摩擦…..”还记得庞麦郎的一首《我的滑板鞋》风靡大街小巷，广场上卷起了一股溜滑板鞋的浪潮。尔今浪潮已退，但摩擦声却未消失，作为一柄对社会发展起着双刃剑作用的武器，各大高校和科研机构一直都在对摩擦学进行着持续的研究，而中图仪器[b]SuperView W1白光干涉仪[/b]，就是该领域最时尚的滑板鞋，载着研究人员疾驰，手持武器，所向披靡。[/color][/align][align=left][color=#333333]　　摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科，摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数，量级从纳米到毫米不等，又由于不可破坏性测量，传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用，而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的白光干涉仪登上了摩擦学研究的舞台。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,658,496]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173108zmy3uxwyyf44pvay.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333][img=,639,260]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173108wggtggagt4vy684g.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/color][/align][align=left][color=#333333]　　上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪，经过十数小时的摩擦，铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹，即为磨损区域，对磨损区域进行尺寸上的定量分析，是研究的重要组成部分，下面我们使用中图仪器[b]SuperView W1白光干涉仪[/b]对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。[/color][/align][align=left][color=#333333]一、一维：线_轮廓尺寸[/color][/align][align=left][color=#333333]　　取一块摩擦处理过的铜板，使用[b]SuperView W1白光干涉仪[/b]对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描，获取其3D图像。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,621,]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173109uq6666gog6pg2h8q.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333][img=,548,]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173109tzxq34yyc522tj4j.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/color][/align][align=left][color=#333333]　　从图中可以看到，相对光滑区细致较浅的划痕，磨损区充满了坑坑洼洼的槽，在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线，可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。[/color][/align][align=left][color=#333333]二、二维：面_粗糙度[/color][/align][align=left][color=#333333]　　分别在光滑区和磨损区选取若干点，测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,495,]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173109n3blb9399tawzdkk.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图6 光滑区域粗糙度[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,472,]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173109itiu8uaizt5ti8f5.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图7 磨损区域粗糙度[/color][/align][align=left][color=#333333]三、三维：体_体积[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,642,]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173110iuynrork3en0offq.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/color][/align][align=left][color=#333333]　　如右上图，利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中，位于基准面（蓝色方框）上面的顶点区域显示为红色，位于基准面下方显示为绿色，利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。[/color][/align][align=left][color=#333333]　　一线二面三体，[b]SuperView W1白光干涉仪[/b]能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息，从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断，如同穿上了酷炫的滑板鞋，在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。[/color][/align][/td][/tr][/table]

MMD-220A轮廓仪可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数，角度处理（坐标角度，与Z坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、轮廓度、倾斜度、垂直距离、水平距离等形状参数。 该MMD-220A轮廓仪测量长度≤220mm，Z 量 程：10mm，可测零件直径：内圈≤300mm，外圈可较大，国产贵阳光栅尺：精度±3μm/220mm ，X向分辨率1μm，Z向分辨率/量程：1/65536，工作压力：0.35～0.43Mpa，气源压力：0.45～0.80Mpa。

JJG (石油) 36-1994 螺纹轮廓仪[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=50876]JJG (石油) 36-1994 螺纹轮廓仪[/url]

样品测量厚度在100纳米，是溅射的金属网格，我希望测试网格线的厚度。想用台阶仪或者光学轮廓仪测试，请问北京哪里可以提供服务？谢谢！

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[em0808] 请教:白光干涉显微镜(3D轮廓仪)的Z轴分辨率有这么高吗?0.01nm!是如何达到的?如下是英国TAYLOR HOBSON的一款产品简介,不知什么原因图片没有贴上.Talysurf CCI 3000AFor applications requiring the ultimate in high precision 3D profile analysis, Talysurf 3000A brings an unparalleled level of performance with specifications never seen before.△ 0.01 nm resolution △0.003 nm Rq repeatability△ 100μm vertical range △ 0.3 – 100% reflectivity△ 1,048,576 data points △300mm capacityTalysurf CCI 3000A delivers high accuracy, repeatability and stability by using an advanced type of interferometer and a patented correlation algorithm. This method provides both high resolution and excellent sensitivity to returning light. Measurement set-up is easy: place the component on the stage, set the focus height and push the start button. Cycle time is 10 – 20 seconds. Motorised stages are available to increase throughput and virtually eliminate operator errors.

北京地区哪有光学轮廓仪可以测激光烧蚀坑的大小与深度？谢谢了。。。

哪儿有光学轮廓仪，可以表征三维形貌及纵向深度？谢谢了。。。

请教有没有表面轮廓仪(Profilometry)方面的专家. 对中国高精度表面轮廓仪(Ultra Precision Profilometry)应用方面,和生产方面的发展情况.谢谢

请问“圆度仪”、“轮廓仪”、“圆柱度仪”、凸轮轴测量仪的英语单词是什么？

成都地区有使用激光共聚焦显微及三维光学轮廓仪的吗？想测量一下激光烧蚀后的深度及形貌。感兴趣的可以用这两种仪器测量一下SPARK-OES烧蚀坑的深度及形貌，分析一下烧蚀形貌的特点。最好 估算一下烧蚀的样品量，与大家分享一下。

[color=#000000]粗糙度轮廓仪为粗糙度及轮廓的复合机。轮廓传感器对工件的宏观表面轮廓、二维尺寸进行测量 与检验，粗糙度传感器对工件的微观表面进行测量与检测[/color][b]特点[/b][color=#000000]1、高精度摩擦式导轨结构，具有优异稳定的运动精度。经专用算法修正后，具有极高的直线度精度。精度保持长久，只需简单的修正操作即可修复成出厂的高精度状态；[/color][color=#000000]2、轮廓测针测杆采用快速的磁吸结构，具有定位精度高、更换快捷的特点。软件对不同类型的测针测杆进行校正并保存校正参数，更换测针测杆时，因磁吸结构具有定位精度高的特点，而无需再次校正，大大提高仪器的使用便利性和测量效率；[/color][color=#000000]3、原始数据自动保存，便于多次标注，软件标注与 CAD 同理；[/color][color=#000000]4、可将测量的图形结果转化为 DXF 格式，可将测量结果以 Excel 表格格式输出；[/color][color=#000000]5、可以对操作进行无限次的撤销及恢复操作；[/color][color=#000000]6、采用独立的轮廓、粗糙度测量传感器，即保持大量程轮廓测量需求，亦能高精度测量粗糙度；[/color][color=#000000]7、粗糙度采用触针式无导头测量，残值轮廓可低于 5nm!实现高精度的粗糙度测量，特别在测量零件的圆弧面、斜面、窄槽的槽底、槽侧面的粗糙度时，具有带导头式粗糙度测量无法比拟的精度和测量便利性。[/color][img]https://p3.toutiaoimg.com/img/tos-cn-i-qvj2lq49k0/4372814fa2524f599af2d76e04cb37f0~tplv-tt-shrink:640:0.image[/img]【英徕铂】英徕铂ENLAB，物性检测仪器品牌，为国内市场提供数百种物性检测仪器，为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务

引言：　　光学，一门古老又现代的学科，伽利略借助光学望远镜，研究了天体运动；生物学家借助光学显微镜，观察到了细胞结构；人类借助相机镜头，留住了无数难忘的瞬间。光，无可触摸，却又无处不在，借助光学，我们能直接感受和探索未知的世界，而作为光的载体，各种光学器件在其中承担着重要的角色，借助中图仪器[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][color=#0000ff][b]白光干涉仪[/b][/color][/url]，我们可以对光学器件进行严格的表面质量检测。　　光学器件，例如各种光学镜片和玻璃，属于超精密加工的产物，因此其表面质量等级都非常高，会划伤表面的接触式轮廓仪出师未捷身先死，由于其高透明度，一般的非接触式光学影像方法也束手无策，而中图仪器利用光学干涉原理研制而成的SuperView W1光学3D表面轮廓仪，能完美解决这两个难题，为光学镜片和玻璃的表面质量检测提供了标准解决方案。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803076710554.jpg[/img][/align][img=说明: C:\Users\ztyf007\Desktop\电脑显示图 拷贝副本 拷贝.png]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image002.png[/img][b]光学透镜检测:[/b]　　在可见光领域，球面透镜是一种基础的光学器件，其表面粗糙度和曲率半径都关系着光的传播效果，光学3D表面轮廓仪可以一次完成这两项参数的检测；[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803073907984.jpg[/img][/align][align=center]剖面轮廓曲线[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803076094888.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803077344152.jpg[/img][/align][align=center] [/align]　　上图为某型号双胶合透镜，取透镜上表面进行检测，得其粗糙度小于1nm，曲率半径为61.2mm左右，与理论值61.5mm仅差0.3mm左右，考虑到光学透镜的加工容许误差为2%，因此所测值与理论相符。[b]蓝宝石玻璃检测:[/b]　　蓝宝石俗称刚玉，主要成分是氧化铝（Al₂ O₃ ），由于其优良的物理和化学特性，常用于制成各种光学元件，如摄像头保护玻璃、表镜、窗口片、棱镜等。一般加工出来的蓝宝石玻璃分为单面抛光和双面抛光两种，抛光程度——也就是表面粗糙度直接决定了其表面质量等级，下图为一片单面抛光蓝宝石玻璃的光面和糙面的粗糙度检测图像及数据。 [align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803078750797.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803070000051.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803071250325.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803072344327.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image025.png[/img][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image027.jpg[/img][img=说明: C:\Users\ztyf007\AppData\Local\Temp\376d7fe4-3704-4c79-a481-0253bd1b2a1f.tmp]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image028.png[/img]　　如上图所示，光面的粗糙度曲线显示，光面上分布的凸点只有1nm左右的高度起伏，其表面粗糙度为0.1nm左右，而糙面的高度起伏则达到了3.2um，表面粗糙度则为500nm左右。[b]玻璃屏检测:[/b]　　玻璃屏常见于我们日常所用的智能产品中，例如智能手机、智能手表，还有平板电脑等，为了获得更好的触屏体验，需要对玻璃屏的表面粗糙度和微观轮廓进行检测。以手机玻璃屏为例，说明光学3D表面轮廓仪在其中的应用： [img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image034.png[/img][img=说明: C:\Users\ztyfdell014\Desktop\2.png]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image036.png[/img][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803073750962.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803075469804.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803072576961.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image037.png[/img]　　如上图，选取的测量区域发现了一条宽6um，深6nm的肉眼无法观测到的划痕，玻璃屏表面的粗糙度在1nm附近。[b]玻璃表面台阶检测:[/b]　　下图为透明玻璃表面镀的一层金属膜，需要测膜层的厚度，由于其非透明的特性，薄膜测厚仪无法进行测量，而由于其膜层厚度精度在纳米级别，接触式的台阶仪和其它的非接触式光学仪器也存在测量误差较大的风险，而以光学干涉原理为基础研制成的中图仪器光学3D表面轮廓仪，以其亚纳米级别的测量精度，则可对该膜层厚度进行精确测量。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803074919227.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803077263920.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image040.png[/img][img=说明: C:\Users\ztyf007\AppData\Local\Temp\b55608cc-0007-44df-8519-7bd0a757c12f.tmp]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image042.png[/img][img=说明: C:\Users\ztyf007\Desktop\IMG20180301085257 拷贝.png]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image044.png[/img]　　上图是利用软件的自动面台阶高检测功能对重建的3D图像两台阶高进行检测，从数值可知，两台阶面平均高度差为82nm，而最大高度差90nm，最小高度差为78nm。　　投之以桃，报之以李，中图仪器光学3D表面轮廓仪作为一款光学检测仪器，受益于光学行业的进步与发展，也必将为光学行业的进一步提升贡献自己的力量。

最近一直在使用 研究所里的白光干涉仪（Talysurf CCI 2000）做表面检测，发现了不少问题，比如说： 1. 如何调整能快速获得干涉条纹； 2. 如何能减少数据丢失点； 3. 如何校准我一直在钻研随机带的说明书，不过Taylor Hobson这些英国人太懒了，很多东西都是笼统的讲，根本不细说！ 所以，希望 有白光干涉仪操作经验的朋友，能在本楼讨论下，您也可给我发email：chenjc18@126.com。

[font=宋体][size=16px][color=black]粗糙度轮廓仪使用干货：[/color][/size][/font]轮廓更换测针操作步骤（1）测杆安装注意：装到位后会听到定位声（机械声），手摸一下吸合处高低位置要对齐。[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/9311208da3fe4dbfae4af733c97e3a4d~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=JJLap7%2B31x44j9UsN1qQ6HCxxm0%3D[/img]（2）测杆拆卸[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/579ed6a4e3e345168b8b287d4ab3c976~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=x4RwSKenZBUjt0%2BeVKatZ17J300%3D[/img]（3）测针安装[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/d7e32312b28b4660906d1df71e7d1aab~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=5cbkAg7DebtrXrjT6wcQlImnZZE%3D[/img]（4）在软件中创建测针（5）在软件中切换测针【英徕铂】英徕铂ENLAB，物性检测仪器品牌，为国内市场提供数百种物性检测仪器，为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务

Zeta 200自动三维测量系统Zeta 200是集多种测量手段于一身的高级表面测量系统。它功能配备齐全，使用方便，是三维测量系统中性能价格比最优的选择。Zeta 200能够自动采集样品上多点的工艺参数，如台阶高度、体积、尺寸及粗糙度等，为您提供监管及优化生产流程所需的数据。· 自动多点、多配方测量样品· 200毫米x200毫米XY轴驱动范围· 粗糙表面成像与分析· 金属栅线形状与尺寸测量· 防反射膜及光刻胶厚度分析· 真空吸盘保证样品定位一致· 本色三维成像· 台阶高度，线与面粗糙度、角度及尺寸测量Zeta 200特色功能1.多点测量 用户可按其所需设置每片样品上的采样点数——少许几点往往适用于快速检测，多点则可用于详细分析。2.大面积成像 Zeta 200可自动按次序对多个视场进行成像，然后由软件拼接成一张大面积的样品表面三维图像。3.自动形貌特征测量 用户可设置操作配方对样品的各种指定形貌特征如尺寸、间距、高度甚至整片样品的弧度等进行自动测量。标准系统配置显微镜系统光源：高亮度白光LED物镜：5x,10x,20x,50x,100x耦合透镜：0.5x自动载物台：200毫米x200毫米XY驱动范围Z轴：30毫米纵向驱动范围数码相机: 1024x768像素,1/3 英寸CCD计算机控制系统处理器：英特尔®酷睿2 双核（最低2.5GHz）随机存储器3GB硬盘驱动器：320GB显示器：22英寸宽屏液晶显示器（1680x1050像素） Zeta 三维测量软件实时视频成像快速数据采集（每处1分钟）三维表面浏览：倾斜，旋转，缩放，过滤•体积计算二维表面分析：特性尺寸，直径，面积图案间距，标准偏差表面粗糙度区域平均台阶高度轮廓测量台阶高度与粗糙度多横截面分析平均值测量标尺倾斜度与表面波度补偿阵列式采样序列自动数据与图像输出用于生产线SPC

请教专家 1.FT_IR光谱仪器中,如果取消白光信号,如何确定干涉图的零光程位置?2.在迈克耳干涉仪中,动镜的电磁驱动基本原理是什么?谢谢!

气缸活塞杆个别是高强度钢，经外表渗碳淬火、磨削、抛光和镀硬铬以便耐磨损和耐侵蚀。侵蚀性氛围条件通常须要不锈钢的杆。该杆能够镀铬以便耐磨损。导向套用以活塞杆前后挪动时支承它，大多数用球墨铸铁制造而且通常无须拆开全部缸即可拆下。气缸缸筒通常是采取无缝管，内孔加工到很高的外表光亮度，可减小内摩擦力和延伸密封件寿命。气缸活塞大多数由铸铁或钢制造作，采取若干种方式把活塞固定于活塞杆上。缓冲在大多数缸 上是一个有货的选项并且往往能够加设而不转变轮廓尺寸。致使起动时气缸璧磨损大大增加。因此，初次起动时，应先使发动机空转几圈，待摩擦表面得到润滑后再起动。起动后应怠速运转升温，严禁猛轰油口，待机油温度达到40℃时再起步；起步应坚持挂低速档，并循序每一档位行驶一段里程，直到油温正常，方可转为正常行驶。气缸正确使用润滑油要严格按季节和发动机性能要求选用粘度值的润滑油，不可随意购用劣质润滑油，并经常检查和保持润滑油的数量与质量。气缸加强滤清器的保养使空气滤清器、机油滤清器和燃油滤清器保持良好的工作状态，对减轻气缸套的磨损至关重要。加强对“三滤”的保养，是防止机械杂质进入气缸，减轻气缸磨损，延长发动机使用寿命的一项重要措施，在农村和多风沙地区尤为重要。有的驾驶员为了节约燃料而不装空气滤清器是错误的。气缸保持发动机正常工作温度气缸的正常工作温度应处在80-90℃。温度过低，不能保持良好的润滑，会增大气缸壁的磨损，气缸内的水蒸气易凝结成水珠，溶解废气中的酸性气体分子，生成酸性物质，使气缸璧受到腐蚀磨损。试验表明，当气缸璧温度由90℃降到50℃时，气缸磨损量为90℃时的4倍。温度过高，会使气缸强度降低而加剧磨损，甚至可能使活塞过度膨胀而造成“胀缸”事故。

在许多的制造业领域如汽配、轴承、航空航天以及一些精密零部件生产企业等，在产品的生产过程中都离不开轮廓测量仪的检测。中图仪器的[b][color=#3333ff]SJ5760轮廓测量仪[/color][/b]改善了国内轮廓测量仪稳定性差、精度低等不足，减小与国外轮廓测量仪的差距，改变因高精度轮廓测量仪被国外高价格垄断的局面。在今年的北京机床展会现场上，SJ5760轮廓测量仪受到来自国内外许多参观者的驻足观赏，甚至有些公司的老板亲自带着自家公司生产的工件，来到展会现场请中图仪器的技术人员进行现场测量。我们通过对展会现场为用户测量工件的实例，来讲解轮廓测量仪的使用方法。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706127435008.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image002.jpg[/img]　　在测量工件之前，先做好准备工作，确定轮廓测量仪的正常启动运行，SJ5760轮廓测量仪为全自动测量设备，所以操作人员在测量时不需要太多的手工作业。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706124153674.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image004.jpg[/img]　　只需要装好被测工件，用中图仪器专用的万向工作台对工件进行固定，在计算机检定软件上设置扫描的起点、终点位置。然后点击“开始”按钮，测量系统会自动驱动测针接触工件表面，并按照事先设置好的位置进行扫描。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706125560160.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image006.jpg[/img]　　在进行测量的过程中，检定软件会实时将测针获取的参数，在计算机屏幕上以二维图形的方式描绘出轮廓曲线。扫描完成以后，操作人员可以通过轮廓分析工具对生成的轮廓曲线进行评定，得出圆度、角度、距离、间距、直线度等轮廓参数。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706127747739.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image008.jpg[/img]　　SJ5760轮廓测量仪操作便捷，功能广泛，可对各种工件轮廓的几何参数进行测量，可评定的表面轮廓参数包括：角度、半径、坐标、距离、圆、圆截面，确定各个点、相交各点、坐标轴、直线、垂直线、圆和圆截面，可对轮廓进行直线度、圆度分析等；并可同时实现：1.建立回归直线和圆形；2.建立点、交点、自由点、中心店、最高点和最低点；3.建立坐标系统；4.计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差；5.实际值与标称值比较；6.测量程序自动运行。