薄膜激光导热测量仪

耐驰 NanoTR 热反射法薄膜导热系数测量仪 应用领域：可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如热扩散系数、热导率、吸热系数和界面热阻。 耐驰 NanoTR 热反射法薄膜导热系数测量仪 产品特点：- 精确的微米级薄膜导热测量方法- 可提供RF测量模式（后加热-前检测）和FF测量模式（前加热-前检测）- Nano TR遵循国际校准标准 耐驰 NanoTR 热反射法薄膜导热系数测量仪 技术参数：Nano TR温度范围RT，RT … 300°C（选配）测量模式RF/FF样品尺寸10×10 … 20×20mm薄膜厚度30nm … 20μm（取决于样品种类和测量模式）热扩散系数0.01 … 1000mm2/s主激光脉冲宽度 1ns光束直径 100μm激光功率 100mW详细参数，敬请垂询 *价格范围仅供参考，实际价格与配置、汇率等若干因素有关。如有需要，请向当地销售咨询。我们讲竭尽全力为您制定完善的解决方案。

材料的热物理性质以及最终产品的传热优化在工业应用领域变得越来越重要。经过几十年的发展，闪射法已经成为常用的用于各种固体、粉末和液体热导率、热扩散系数的测量方法。薄膜热物性在工业产品中正变得越来越重要，如：相变光盘介质、热电材料、发光二极管（LED ） ，相变存储器、平板显示器以及各种半导体。在这些工业领域中，特定功能沉积膜生长在基底上以实现器件的特殊功能。由于薄膜的物理性质与块体材料不同，在许多应用中需要专门测定薄膜的参数。基于已实现的激光闪射技术，LINSEIS TF-LFA 薄膜导热测试仪(Laserflash for thin films)可以测量80nm——20μm厚度薄膜的热物理性质。 1.瞬态热反射法（后加热前检测（RF））:由于薄膜材料的物理性质与基体材料显著不同，必需要有相应的技术来克服传统激光闪射法的不足，即瞬态热闪射法。测量模型与传统激光闪射法相同：检测器和激光器在样品两侧。考虑到红外探测器测试薄膜太慢，因此检测是通过热反射方法完成的。该技术的原理是材料在加热时，表面反射率的变化可最终用于推导出热性能。测量反射率随时间的变化，得到的数据代入包含的系数模型里面并快速计算出热性能。2. 时域热反射法（前加热前检测（FF））:时域热反射技术是另一种测试薄层或薄膜热性能（热导率，热扩散率）的方法。测量方式的几何构造被称为“前加热前检测（FF）”，因为检测器和激光在样品上的同一侧。该方法可以应用于非透明基板上不适合使用RF技术的薄膜层。 3. 瞬态热反射法（RF）和时域热反射法（FF）相结合:两种方法可以集成在一个系统中并实现两者优点的结合。温度范围*RT RT -- 500°C-100°C -- 500°C 激光器 Nd:YAG 激光脉冲电流≤90mJ (软件控制)脉宽8 ns激光探头HeNe-激光器 (632nm), 2mW前端热反射 Si-PIN-Photodiode, 有效直径: 0.8 mm, 直流电压 … 400MHz, 响应时间: 1ns后端热反射quadrant diode, 有效直径: 1.1 mm直流电压 … 100MHz, 响应时间: 3.5ns测量范围0,01 mm2/s -- 1000 mm2/s样品直径圆形样品 φ10...20 mm 样品厚度80 nm -- 20 μm样品数量6样品自动进样器气氛惰性、氧化性、还原性真空度10E-4mbar电路板集成式接口USB *可更换炉体*价格范围仅供参考，实际价格与配置等若干因素有关。如有需要，请拨打电话咨询。我们定会将竭尽全力为您制定完善的解决方案。

耐驰 PicoTR 热反射法薄膜导热系数测量仪 应用领域：可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如热扩散系数、热导率、吸热系数和界面热阻。 耐驰 PicoTR 热反射法薄膜导热系数测量仪 产品特点：- 精确的纳米级薄膜导热测量方法- 可提供RF测量模式（后加热-前检测）和FF测量模式（前加热-前检测）- Pico TR遵循国际校准标准 耐驰 PicoTR 热反射法薄膜导热系数测量仪 技术参数：Pico TR温度范围RT，RT … 500°C（选配）测量模式RF/FF样品尺寸10×10 … 20×20mm薄膜厚度10 … 900nm（取决于样品种类和测量模式）热扩散系数0.01 … 1000mm2/s主激光脉冲宽度 0.5ps光束直径 45μm激光功率 20mW详细参数，敬请垂询 *价格范围仅供参考，实际价格与配置、汇率等若干因素有关。如有需要，请向当地销售咨询。我们讲竭尽全力为您制定完善的解决方案。

耐驰 LFA427 激光导热系数测量仪 应用领域：精确地直接测量热扩散系数和比热，进一步计算得到导热系数 耐驰 LFA427 激光导热系数测量仪 产品特点：- 主机可同时安装双炉体- 光源脉冲宽度软件控制，连续可调- 专利PulseMapping技术- 可提供适用于特殊材料、特殊应用的样品支架 耐驰 LFA427 激光导热系数测量仪 技术参数：LFA 427温度范围-120 … 2800°C（不同炉体）激光源Nd:Glass激光，能量可调导热系数0.1 ... 2000W/mK真空度10-5mbar样品尺寸方形 8X8，10X10mm圆形 ? 6，?10，?12.7，?20mm厚度 0.1 … 6mm测试气氛真空、惰性或反应气体支架类型石墨、氧化铝、碳化硅样品形态固体、液体、粉末、薄膜详细参数，敬请垂询 *价格范围仅供参考，实际价格与配置、汇率等若干因素有关。如有需要，请向当地销售咨询。我们讲竭尽全力为您制定完善的解决方案。

总部位于德国柏林科技园区的SENTECH仪器公司，已成为光伏生产设备世界市场之 一.我们是一家快速发展的中型公司，拥有60多名员工，他们是我们有价值的资产我们団 队的每个成员都为公司的成功做出贡献，我们总是在寻找与我们志同道合的新工作伙伴，我 们诚挚期待您的加入。薄膜测量仪器反射膜厚仪RM 1000和RM 2000扩展折射率指数测量极限我们的反射仪的特点是通过样品的高度和倾斜调整进行精确的单光束反射率测量，光学布局的高光导允许对n和kffl 行重复测量，对粗糙表面进行测量以及对非常薄的薄膜进行厚度测量. 紫外-近红外光谱葩围 RM 1000 430 nm-930 nm RM 2000 200 nm - 930 nm 高分辨率自动扫描 反射仪RM 1000和RM 2000可以选配x-y自动扫描台和自动扫描软件、用于小光斑尺寸的物镜和摄像机。综合薄膜测量软件FTPadv Expert宽光谱范围和高光谱精度 SENresearch4.0光谱椭偏仪覆盖宽的光谱范围，从190 nm（深紫外）到3500 nm（近红外）。 傅立叶红外光谱仪FTIR提供了高光谱分辨率用以分析厚度高达200|jm的厚膜。 没有光学器件运动（步进扫描分析器原理） 为了获得测量结果,在数据采集过程中没有光学器件运动。步进扫描分析器（SSA）原理是SENrsearch4.0光谱椭偏仪的一个独特特性。 双补偿器2C全穆勒矩阵测量 通过创新的双补偿器2C设计扩展了步进扫描分析器SSAJ京理，允许测量全穆勒矩阵。该设计是可现场升 级和实 现成本效益的附件。 SpectraRay/4综合椭偏仪软件 SpectraRay/4是用于先进材料分析的全功能软件包,SpectraRay/4包括用于与引导图形用户界面进 行研究的交互 模式和用于常规应用的配方模式.激光椭偏仪SE400adv亚埃精度稳定的氣氤激光器保证了 0.1埃精度的超薄单层薄膜厚度测量。 扩展激光欄偏仪的极限 性能优异的多角度手动角度计和角度精度优越的激光椭偏仪允许测量单层薄膜和层叠膜的折 射率、消光系数和膜厚. 高速测量 我们的激光椭偏仪SE 400adv的高速测量速度使得用户可以监控单层薄膜的生长和终点检 测，或者做样品均匀性的自动扫描。综合薄膜测量软件FTPadvExp测量n, k,和膜厚 该软件包是为R（入）和T（入）测量的高级分析而设计的。 查层膜分析 可以测量单个薄膜和层畳膜的每一层的薄膜厚度和折射率. 大量色散模型 集成的色散模型用于描述所有常用材料的光学特性。利用快速拟合算法，通过改变模型参数 将计算得到的光谱调整到实测光谱。

用途：激光闪射法（LFA）是一种快速灵活的测量方法，近年来发展十分迅速，不仅能精确地直接测量热扩散系数，也可通过比热的测量或输入进一步计算得到导热系数。耐驰公司提供三种LFA型号，覆盖各类测试材料与极为宽广的温度范围。其遵从的国际标准包括：ASTM E 1461, ASTM E 2585, ISO 22007-4, ISO 18755, ISO 13826, DIN EN 821-2, DIN 30905, DIN EN 1159-2等。性能：-无须更换检测器或炉体，在同一台仪器上可实现-100°C到500°C的宽广温度范围。 -进样器附有16个样品位，可在整个温度范围内连续测量16个样品，大大缩短了测量时间。 -液氮补给系统可以实现对检测器与炉体的自动补充液氮，保证仪器全天候不间断测量。 -专利技术的ZoomOptics优化了检测器的检测范围，从而消除了孔径光阑的影响。显著增加了测量结果的精度。 -2MHz的数据采集速率，满足薄膜样品及高导热材料的高数据采集速率，精确地记录样品上表面的升温过程。*价格范围仅供参考，实际价格与配置等若干因素有关。如有需要，请向当地销售咨询。我们讲竭尽全力为您制定完善的解决方案。

中图仪器GTS激光跟踪仪空间姿态测量仪是高精度、便携式的空间大尺寸坐标测量机，同时具高精度（μm级）、大工作空间（百米级），能够解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。被广泛应用在飞机、汽车、船舶、航天、机器人、核电、轨道交通等装备制造行业以及大型科学工程、工业母机的高精密加工和装配中，已成为多个行业的习惯和测量标准。激光跟踪仪被广泛应用在飞机、汽车、船舶、航天、机器人、核电、轨道交通等装备制造行业以及大型科学工程、工业母机的高精密加工和装配中，已成为多个行业的习惯和测量标准。GTS激光跟踪仪空间姿态测量仪已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列，可以和多种形式的合作目标测头配合使用：1、GTS3000激光跟踪仪与光学回射靶球配合组成三自由度激光跟踪仪，能对大尺度空间内的点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量；2、GTS6000激光跟踪仪与空间姿态探头配合组成六自由度激光跟踪仪，能够根据合作目标的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。功能特点 1、主机测量系统（1）集成化控制主机设计 强大CPU处理能力、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头，主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量，方便现场快速安装。（2）目标球自动锁定技术目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球，完成断光续接，自动锁定目标球，全过程不需人为操作，提高测量效率。（3）HiADM测距技术激光绝对测距（ADM）和激光干涉测距（IFM）融合技术（HiADM），将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合，保证测量精度，并实现挡光恢复。（4）一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。（5）MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信，方便保密车间的现场使用，最高测量数据输出速度1000点/秒。（6）便携性运输集成化主机设计的激光跟踪头，集成式的配件运输箱，使得整个运输箱体系统体积小、重量轻，并且便于在不同的工作地点之间进行运输。（7）密封防护设计IP54防护等级，保证主机免受灰尘和其他污染物的进入，环境适用性强。 （8）稳固三脚架稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件，灵巧升降机构设计省力操作，稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。2、iProbe 6D姿态探头（1）机器视觉和重力对齐的传感融合技术测量空间姿态。（2）可以测量孔、洞等内部特征、隐藏特征的几何结构。（3）双探头设计，对复杂特征测量时更加高效。（4）无线传输，简易随行。3、iTracker 6D姿态智能传感器（1）姿态传感器自动跟随锁定激光束，测量灵活性高。（2）俯仰角和偏航角不受光学回射器接收角度的限制。（3）简易接口连接，便于安装在机床或机器人上，重复性高、精度高。（4）专用波段激光束和滤光设计，对环境光不敏感。（5）采样速度200点/秒。4、EyeScan跟踪式激光扫描系统（1）动态追踪，无需贴点（2）测量范围广，支持大跨度转站（3）41条蓝色激光线，不惧黑亮（4）碳纤维材质，便携稳定（5）高采扫描速度1360000点每秒5、SpatialMaster空间测量软件 SpatialMaster（简称SMT）是一款自主研发，专为大尺寸测量设备如激光跟踪仪配套使用，并且通过PTB认证的通用三维测量分析软件。SMT支持多个任意类型的仪器同时测量，测量数据可溯源的，具有强大的数据处理分析功能，支持生产制造过程中的几何尺寸公差(GD&T)评定，此外SMT具有优秀的用户交互性，方便灵活的分析报告功能。6、RobotMaster机器人检测校准套件基于GTS激光跟踪仪的RobotMaster机器人套件为工业机器人空间绝对位置精度测量标定和性能检测提供高效可行的解决方案，既提供基于光学靶球的经济方案，也提供基于6D姿态智能传感器的增强方案。在石油化工领域，GTS激光跟踪仪空间姿态测量仪高精度、高效率的特点，在管板式热交换器测量中得到了广泛应用。测量需求在石油化工领域，管板式热交换器内部有多个管板和折流板，每一块管板和折流板上都有多个管孔，导热管束平行穿过折流板和管板，管束的两端通过焊接固定在管板上，为了使每一根管束都能顺利装在管板和折流板，在实际生产中需要确保每个导热管对应的管孔必须在同一条轴线上，且每个管板和折流板在安装固定过程需要保持平行。热交换器示意图解决方案GTS激光跟踪仪利用激光束的准直性和测距技术，可以快速、精确地测量热交换器的关键尺寸，如管孔位置和管板平面度等。激光跟踪仪进行管板式热交换器测量有以下优势： 1.高精度：激光跟踪仪的测量精度可达到微米级别，满足了石油化工行业对热交换器尺寸控制的严格要求；2.高效率：与传统测量方法相比，激光跟踪仪单人轻松操作，大大缩短测量时间，提高工作效率；3.测量范围大：激光跟踪仪测量半径可达80米，满足多种规格尺寸测量需求；4.可视化数据：激光跟踪仪自动记录和存储测量数据，可视化图形清晰展示各部分数据，快速引导装配；5. 柔性测量：激光跟踪仪可以在空间自由移动，适应不同的测量环境和对象。 现场应用实例1.导热管安装测量下图为导热管测量数据，通过SpatialMaster分析软件中的向量组查询功能，不难看出导热管在安装过程中中间部分出现了变形，可根据软件的视图中导热管变形位置及方向，进行调整来提高装配精度。导热管数据分析图2.管板和折流板平面度测量为了管束在安装过程中保证平行，在实际生产中就需要保证单个管板和折流板的平面度符合要求，可以使用GTS3600型号激光跟踪仪搭配1.5英寸高精度SMR反射目标靶球，对管板和折流板的平面进行测量。管板数据分析图GTS系列激光跟踪仪，具有精度高、测量范围大、安装简单及操作方便等特点，在上述案例中，GTS系列激光跟踪仪，不仅能满足产品的测量需求，还能提升产品的安装精度，为大尺寸部件的安装提供数字化的保障。

产品介绍：DZDR-S 导热系数测量仪是采用瞬态平面热源法，,它可用于各种不同类型、不同形态材料的热传导性能的测试。瞬态平面热源法是研究热传导性能方法中新型的一种，它使测量技术达到了一个全新的水平。产品技术优势：1.测试范围广泛，测试性能稳定，在国内同类仪器中，处于优先水平；2.直接测量，测试时间5-160s左右可设置，能快速准确的测出导热系数，节约了大量的时间；3.不会和静态法一样受到接触热阻的影响；4.无须特别的样品制备，对样品形状并无特殊要求，块状固体只需相对平滑的样品表面并且满足长宽至少为探头直径的两倍即可；5.对样品实行无损检测，意味着样品可以重复使用；6.探头采用双螺旋线的结构进行设计，结合专属数学模型，利用核心算法对探头上采集的数据进行分析计算；7.样品台的结构设计巧妙，操作方便，适合放置不同厚度的样品，同时简洁美观；8.探头上的数据采集使用了进口的数据采集芯片，该芯片的高分辨率，能使测试结果更加准确可靠；9.主机的控制系统使用了ARM微处理器，运算速度比传统的微处理器快，提高了系统的分析处理能力，计算结果更加准确；10.仪器可用于块状固体、膏状固体、颗粒状固体、胶体、液体、粉末、涂层、薄膜、保温材料等热物性参数的测定。DZDR-S 导热系数测量仪的测试仪方法：DZDR-S导热系数测试仪测试方法对比：产品技术参数:测试范围0.0001—300W/(m*K)测量温度范围室温—130℃探头直径一号探头7.5mm；二号探头15mm；三号探头50mm精度±3%重复性误差≤3%测量时间5~160秒电源AC 220V整机功率＜500w测试样品功率P 一号探头功率0；二号探头功率0样品规格一号探头所测样品（≥15*15*3.75mm）二号探头所测样品 (≥30*30*7.5mm)三号探头所测样品 (≥50*50*7.5mm)（选配，也可以定制其他规格）定制粉末测试容器一套产品局部图展示：

中图仪器GTS国产超精密空间坐标姿态激光跟踪测量仪具有精度高、测量范围大、安装简单及操作方便等特点，是高精度、便携式的空间大尺寸坐标测量机，同时具高精度（μm级）、大工作空间（百米级）特点，在飞机、汽车、船舶、航天、机器人、核电、轨道交通装备制造行业以及大型科学工程、工业母机的高精密加工和装配中，能够解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。GTS国产超精密空间坐标姿态激光跟踪测量仪集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体，在大尺度空间测量工业科学仪器中具有高的精度和重要性。功能特点1、主机测量系统（1）集成化控制主机设计强大CPU处理能力、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头，主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量，方便现场快速安装。（2)目标球自动锁定技术目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球，完成断光续接，自动锁定目标球，全过程不需人为操作，提高测量效率。（3）HiADM测距技术 激光绝对测距（ADM）和激光干涉测距（IFM）融合技术（HiADM），将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合，保证测量精度，并实现挡光恢复。（4）一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。（5）MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信，方便保密车间的现场使用，最高测量数据输出速度1000点/秒。（6）便携性运输集成化主机设计的激光跟踪头，集成式的配件运输箱，使得整个运输箱体系统体积小、重量轻，并且便于在不同的工作地点之间进行运输。（7）密封防护设计IP54防护等级，保证主机免受灰尘和其他污染物的进入，环境适用性强。（8）稳固三脚架稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件，灵巧升降机构设计省力操作，稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。2、iProbe 6D姿态探头iProbe 6D姿态探头采用机器视觉和重力对齐的传感融合技术，通过探头的局部坐标系和系统整体坐标系的配准变换解算测球的空间位置；不仅能对点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量，而且能够根据探头的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征进行快速、高精度的测量。3、iTracker 6D姿态智能传感器iTracker 6D姿态智能传感器采用主动反向跟踪和重力对齐技术，在测量时实时地调整探头的姿态并始终正对锁定测量激光束，通过运动学模型精密解算目标的三维空间位置坐标和空间姿态角度，可以测量非常宽范围的俯仰角和偏航角。4、EyeScan跟踪式激光扫描系统EyeScan跟踪式激光扫描系统，采用视觉动态跟踪技术，实时跟踪定位扫描头的空间位置，配合跟踪仪，可实现大中型物体的实时高精度扫描。操作简单，无需贴点。 5、SpatialMaster空间测量软件SpatialMaster（简称SMT）是一款自主研发，专为大尺寸测量设备如激光跟踪仪配套使用，并且通过PTB认证的通用三维测量分析软件。SMT支持多个任意类型的仪器同时测量，测量数据可溯源的，具有强大的数据处理分析功能，支持生产制造过程中的几何尺寸公差(GD&T)评定，此外SMT具有优秀的用户交互性，方便灵活的分析报告功能。6、RobotMaster机器人检测校准套件基于GTS激光跟踪仪的RobotMaster机器人套件为工业机器人空间绝对位置精度测量标定和性能检测提供高效可行的解决方案，既提供基于光学靶球的经济方案，也提供基于6D姿态智能传感器的增强方案。中图仪器GTS激光跟踪测量系统已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列，可以和多种形式的合作目标测头配合使用：1、GTS3000激光跟踪仪与光学回射靶球配合组成三自由度激光跟踪仪，能对大尺度空间内的点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量；2、GTS6000激光跟踪仪与空间姿态探头配合组成六自由度激光跟踪仪，能够根据合作目标的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。应用领域GTS国产超精密空间坐标姿态激光跟踪测量仪广泛应用在各种大尺度空间精密测量领域，如在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在制造中对运动机器人位置的精确标定。此外，激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等先进制造各个领域。应用案例测量需求在石油化工领域，管板式热交换器内部有多个管板和折流板，每一块管板和折流板上都有多个管孔，导热管束平行穿过折流板和管板，管束的两端通过焊接固定在管板上，为了使每一根管束都能顺利装在管板和折流板，在实际生产中需要确保每个导热管对应的管孔必须在同一条轴线上，且每个管板和折流板在安装固定过程需要保持平行。 热交换器示意图解决方案激光跟踪仪高精度、高效率的特点，在管板式热交换器测量领域得到了广泛应用。激光跟踪仪利用激光束的准直性和测距技术，可以快速、精确地测量热交换器的关键尺寸，如管孔位置和管板平面度等。GTS激光跟踪仪进行管板式热交换器测量有以下优势：1.高精度：激光跟踪仪的测量精度可达到微米级别，满足了石油化工行业对热交换器尺寸控制的严格要求；2.高效率：与传统测量方法相比，激光跟踪仪单人轻松操作，大大缩短测量时间，提高工作效率；3.测量范围大：激光跟踪仪测量半径可达80米，满足多种规格尺寸测量需求；4.可视化数据：激光跟踪仪自动记录和存储测量数据，可视化图形清晰展示各部分数据，快速引导装配；5. 柔性测量：激光跟踪仪可以在空间自由移动，适应不同的测量环境和对象。 现场应用实例1.导热管安装测量下图为导热管测量数据，通过SpatialMaster分析软件中的向量组查询功能，不难看出导热管在安装过程中中间部分出现了变形，可根据软件的视图中导热管变形位置及方向，进行调整来提高装配精度。导热管数据分析图2.管板和折流板平面度测量为了管束在安装过程中保证平行，在实际生产中就需要保证单个管板和折流板的平面度符合要求，可以使用GTS3600型号激光跟踪仪搭配1.5英寸高精度SMR反射目标靶球，对管板和折流板的平面进行测量。管板数据分析图GTS系列激光跟踪仪，具有精度高、测量范围大、安装简单及操作方便等特点，在上述案例中，GTS系列激光跟踪仪，不仅能满足产品的测量需求，还能提升产品的安装精度，为大尺寸部件的安装提供数字化的保障。

光反射薄膜测厚仪原产国：美国薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉，干涉的发生与膜厚及折光系数等有关，因此可通过计算得到薄膜的厚度。光干涉法是一种无损、精确且快速的光学薄膜厚度测量技术，我们的薄膜测量系统采用光干涉原理测量薄膜厚度。该产品是一款价格适中、功能强大的膜厚测量仪器，近几年，每年的全球销售量都超过200台。根据型号不同，测量范围可以从10nm到250um，它最高可以同时测量4个膜层中的3个膜层厚度（其中一层为基底材料）。该产品可应用于在线膜厚测量、测氧化物、SiNx、感光保护膜和半导体膜。也可以用来测量镀在钢、铝、铜、陶瓷和塑料等上的粗糙膜层。 应用领域理论上讲，我们的光干涉膜厚仪可以测量所有透光或半透光薄膜的厚度。以下为我们最熟悉的应用领域(半导体薄膜，光学薄膜涂层，在线原位测量，粗糙或弧度表面测量)：□ 晶片或玻璃表面的介电绝缘层(SiO2, Si3N4, Photo-resist, ITO, ...)；□ 晶片或玻璃表面超薄金属层(Ag, Al, Au, Ti, ...)；□ DLC(Diamond Like Carbon)硬涂层；SOI硅片；□ MEMs厚层薄膜(100μm up to 250μm)；□ DVD/CD涂层；□ 光学镜头涂层；□ SOI硅片；□ 金属箔；□ 晶片与Mask间气层；□ 减薄的晶片( 120μm)；□ 瓶子或注射器等带弧度的涂层；□ 薄膜工业的在线过程控制；等等… 软件功能丰富的材料库：操作软件的材料库带有大量材料的n和k数据，基本上的常用材料都包括在这个材料库中。用户也可以在材料库中输入没有的材料。软件操作简单、测速快：膜厚测量仪操作非常简单，测量速度快：100ms-1s。软件针对不同等级用户设有一般用户权限和管理者权限。软件带有构建材料结构的拓展功能，可对单/多层薄膜数据进行拟合分析，可对薄膜材料进行预先模拟设计。软件带有可升级的扫描功能，进行薄膜二维的测试，并将结果以2D或3D的形式显示。软件其他的升级功能还包括在线分析软件、远程控制模块等。

塑料薄膜厚度测量仪随着塑料薄膜、拉伸缠绕膜、尼龙膜等包装材料的应用，食品保鲜膜等包装品也得到了大量应用。为了确保这些包装材料的厚度和品质，需要使用厚度测量仪器进行检测。本文将介绍一种厚度测量仪器的检测原理，该仪器采用机械接触式进行测量，能够准确地测量各种材料的厚度。 该厚度测量仪器由机械框架、测量头、驱动器、传感器和测量软件等组成。在测量过程中，测量头与被测材料接触，传感器会感知测量头与被测材料之间的距离，并将距离信号传输到测量软件中进行处理和计算。 该厚度测量仪器采用机械接触式进行测量，其检测原理是利用测量头与被测材料接触时，测量头受到被测材料的顶出力，该力会使测量头的位移发生变化。测量头位移的变化量与被测材料的厚度之间存在一定的关系，通过测量位移变化量就可以计算出被测材料的厚度。 具体来说，该厚度测量仪器在测量过程中，将测量头放置在被测材料的表面，并施加一定的压力，使测量头与被测材料紧密接触。当测量头向上移动时，由于被测材料顶出力的作用，测量头的位移将发生变化。该位移变化量通过传感器传输到测量软件中，测量软件根据位移变化量和机械框架的结构参数，计算出被测材料的厚度。 该厚度测量仪器能够准确地测量各种材料的厚度，如塑料薄膜、拉伸缠绕膜、尼龙膜等。同时，该仪器还可以用于食品保鲜膜等包装材料的厚度检测。由于该仪器采用机械接触式进行测量，其具有以下优点： 1、测量精度高：由于测量头与被测材料直接接触，能够更准确地感知被测材料的厚度变化。2、稳定性好：由于机械结构比较稳定可靠，因此测量的重复性和准确性都比较高。3、适用范围广：可以用于不同材料的厚度检测，如塑料薄膜、拉伸缠绕膜、尼龙膜等包装材料以及食品保鲜膜等。 技术参数 测量范围 0-2mm （其他量程可定制） 分辨率 0.1um 测量速度 10次/min（可调） 测量压力 17.5±1kPa（薄膜）；100±1kPa（纸张） 接触面积 50mm² （薄膜），200mm² （纸张） 注：薄膜、纸张任选一种 进样步矩 0 ～ 1300 mm(可调) 进样速度 0 ～ 120 mm/s(可调) 机器尺寸 450mm×340mm×390mm (长宽高) 重 量 23Kg 工作温度 15℃-50℃ 相对湿度 80%,无凝露 试验环境 无震动，无电磁干扰 工作电源 220V 50Hz 塑料薄膜厚度测量仪 此为广告

产品介绍：DZDR-S导热系数测量仪器是南京大展检测仪器生产一款瞬态热源法导热仪，5~160s测量速度快，测量范围广，可测液体、固体、粉末和金属等，多个探头可选，操作简单。性能优势：1.直接测量，测试时间5-160s左右可设置，能快速准确的测出导热系数，节约了大量的时间；2.不会和静态法一样受到接触热阻的影响；3.无须特别的样品制备，对样品形状并无特殊要求，块状固体只需相对平滑的样品表面并且满足长宽至少为探头直径的两倍即可；4.对样品实行无损检测，意味着样品可以重复使用；5.探头采用双螺旋线的结构进行设计，结合属数学模型，利用核心算法对探头上采集的数据进行分析计算；6.样品台的结构设计巧妙，操作方便，适合放置不同厚度的样品，同时简洁美观；7.探头上的数据采集使用了进口的数据采集芯片，该芯片的高分辨率，能使测试结果更加准确可靠；8.主机的控制系统使用了ARM微处理器，运算速度比传统的微处理器快，提高了系统的分析处理能力，计算结果更加准确；9.仪器可用于块状固体、膏状固体、颗粒状固体、胶体、液体、粉末、涂层、薄膜、保温材料等热物性参数的测定；10.智能化的人机界面，彩色液晶屏显示，触摸屏控制，操作方便简洁。测试方法和操作方法：瞬态平面热源技术（TPS）开发的导热系数测试仪,可用于各种不同类型、不同形态材料的热传导性能的测试。瞬态平面热源法是研究热传导性能方法中新型的一种，它使测量技术达到了一个新的水平。技术参数：测试范围0.0001—300W/(m*K)测量温度范围室温—130℃探头直径一号探头7.5mm；二号探头15mm；三号探头50mm精度±3%重复性误差≤3%测量时间5~160秒电源AC 220V整机功率＜500w测试样品功率P 一号探头功率0；二号探头功率0样品规格一号探头所测样品（≥15*15*3.75mm）二号探头所测样品 (≥30*30*7.5mm)三号探头所测样品 (≥50*50*7.5mm)（选配，也可以定制其他规格）定制粉末测试容器一套

Filmetrics 薄膜厚度测量仪测厚仪F80-C膜厚测量仪使生产晶片的测量变得简单实惠工艺工程师希望薄膜厚度测量是快速容易的，现在高精度的厚度成像技术让 Filmetrics 可以快速建立配方，并且拥有快速的测试速度，而且价格仅仅是同行业测量设备的小部分。 F80 可以应用在化学机械抛光、化学气相沉积、蚀刻等工艺中，这是晶片追索工艺工程师所期待的。新技术= 低成本与传统的测量工具不同， F80 不需要高精度的移动硬件去找寻微小的测试 pads，相反的，它可以快速的测量每个 pad 附近数以千计点的厚度，然后处理“厚度成像”结果，进而找到正确的厚度。可以替换昂贵的移动硬件，进而节约很高的成本。使用方便因为使用厚度成像技术， F80 不依赖过时的基于视频的图像识别技术，这意味着在 CMP 应用中通常会遇到的前后表面光对照比不同的问题，在 F80 系统中是不存在的。 也意味着配方的建立更自动化和直观，数据可以及时存，从而节省了时间，训练及减少误操作引发的错误。快速因为厚度成像技术， 300 毫米晶片在 F80 上扫描 21 点仅仅只需要 29 秒的时间，非常快速。Filmetrics 薄膜厚度测量仪测厚仪Filmetrics 薄膜厚度测量仪测厚仪Filmetrics 薄膜厚度测量仪测厚仪

用途：激光闪射法（LFA）是一种快速灵活的测量方法，近年来发展十分迅速，不仅能精确地直接测量热扩散系数，也可通过比热的测量或输入进一步计算得到导热系数。耐驰公司提供三种LFA型号，覆盖各类测试材料与极为宽广的温度范围。其遵从的国际标准包括：ASTM E 1461, ASTM E 2585, ISO 22007-4, ISO 18755, ISO 13826, DIN EN 821-2, DIN 30905, DIN EN 1159-2等。性能：-精确的热扩散系数与导热系数测试，覆盖RT...1250°C的宽广温度范围。 -专利的ZoomOptics系统优化了检测器的检测范围，消除了样品外缘的干扰信号，可大大提高测量结果的准确度。 -超高的数据采集速率（最高2MHz），极窄的光脉冲宽度（最小2μs以下），允许测量薄的高导热的材料。 -真空密闭，保证气氛纯净，防止样品氧化。 -自动进样器（ASC）包含四个样品位，可装载直径12.7mm的圆形样品，或10mm规格的圆形或方形样品。每个样品位都拥有独立的热电偶。这一设计极大地缩小了样品与测温点之间的温度偏差。 -仪器配备单一的炉体，外观小巧。即使在较高的温度下，有效的内部循环水冷系统仍能保证周围部件的温度处于安全范围之内，由此减少了红外检测器的液氮消耗量。*价格范围仅供参考，实际价格与配置等若干因素有关。如有需要，请向当地销售咨询。我们讲竭尽全力为您制定完善的解决方案。

FT-100 薄膜厚度测量仪薄膜厚度测量范围 （Thickness Range）: 1 nm - 1.8 mm波长范围 （Wavelength Range）: 200 nm - 1700 nm精度 （Precision）: 0.01 nm or 0.01%稳定性 (Stability): 0.02 nm or 0.03%光斑大小 （Spot Size）: Depends on objective (4 um to 200 um. 2mm） 功能： 测量薄膜厚度、光学常数，反射率和透过率单层膜或多层膜叠加层； 适用于几乎所有透明，半透明，低吸收系数的薄膜测量，包括液态膜或空气层。测试条件： 平面或曲面 可配XY平台实现全样品膜厚 mapping 可集成于以上测试平台 （ 三维轮廓仪，微纳米压痕/划痕仪，摩擦磨损仪等）

中图仪器NS系列国产薄膜台阶高度测量仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能 NS系列国产薄膜台阶高度测量仪配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。NS系列国产薄膜台阶高度测量仪是一种常用的膜厚测量仪器，它是利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。如针对测量ITO导电薄膜的应用场景，NS200台阶仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器 1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。NS系列台阶仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。典型应用部分技术指标型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术样品观察光学导航摄像头:500万像素高分辨率 彩色摄像机,FoV,2200*1700μm探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）台阶高度重复性5 &angst , 量程为330μm时/ 10 &angst , 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

热反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光闪射系统，可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如：热扩 散系数、导热系数、吸热系数（Thermal Effusivity）和界面热阻。由于激光闪射时间仅为纳秒（ns）量级，甚至可达到皮秒（ps） 量级，此系统可测量厚度低至 10nm 的薄膜。同时，系统提供不同的测量模式，以适应不同的基片情况（透明 / 不透明）。 NETZSCH TR 特性：• 该方法符合日本国家标准：• JIS R 1689：通过脉冲激光热反射方法测量精细陶瓷薄膜的热扩散系数；• JIS R 1690：陶瓷薄膜和金属薄膜界面热阻的测量方法 。发展简史1990 年，日本产业技术综合研究所/日本国家计量院（AIST/NMIJ）发明热反射法，测量薄膜导热性能。2008 年，AIST 设立 PicoTherm 公司。2010 年，PicoTherm 公司推出纳秒级热反射系统 NanoTR。2012 年，PicoTherm 公司推出皮秒级热反射系统 PicoTR。2014 年，PicoTherm 公司和 NETZSCH 公司建立战略合作。由 NETZSCH 负责 PicoTherm 产品在全球的销售和服务。技术背景激光闪射法 -最主流的材料热扩散系数测试方法在现代工业中，关于材料的热性能、特别是热物理性能的相关知识变得日益重要。在这里我们可以举出一些典型领域，例如应用于高性能缩微电子器件的散热材料，作为持续能源的热电材料，节能领域的绝热材料，涡轮叶片中所使用的热障涂层（TBC），以及核工厂的安全操作，等等。在各种热物性参数之中，导热系数显得尤其重要。可以使用激光闪射法（LFA）对材料的热扩散系数/导热系数进行测定。这一方法经过许多年的发展已广为人知，可以提供可靠而精确的数据结果。样品的典型厚度在 50um 至 10mm 之间。NETZSCH 是一家世界领先的仪器制造厂商，提供一系列的热物性测试仪器，特别是激光闪射法导热仪。这些 LFA 系统在陶瓷，金属，聚合物，核研究等领域得到了广泛应用。热反射法 -测试厚度为纳米级的薄膜材料的热扩散系数随着电子设备设计的显著进步，以及随之而来的对有效的热管理的需求，在纳米级厚度范围内进行精确的热扩散系数/导热系数测量已经变得越来越重要。日本国家先进工业科学与技术研究所（AIST），在上世纪 90 年代初即已响应工业需求，开始研发“脉冲光加热热反射法”。于 2008 年成立了 PicoTherm 公司，同时推出了纳秒级的热反射仪器“NanoTR”与皮秒级的热反射仪器“PicoTR”，这两款仪器可对薄膜的热扩散系数进行绝对法的测量，薄膜厚度从数十微米低至纳米级范围。2014 年，NETZSCH 日本分公司成为了 PicoTherm 公司的独家代理。与我们现有的 LFA 仪器相结合，NETZSCH 现在可以提供从纳米级薄膜、到毫米级块体材料的全套的测试方案。为什么需要测试薄膜？薄膜的热性能与块体材料的热性能不同纳米级薄膜的厚度通常小于同类块体材料典型的晶粒粒径。由此，其热物理性能与块体材料将有着显著的不同。测量模式超快速激光闪射法 -RF 模式：后部（Rear）加热 / 前部（Front）探测可测试热扩散系数与界面热阻纳米级薄层与薄膜的热透过时间极短，传统的激光闪射法（LFA）使用红外测温，采样频率相对较低，已不足以有效地捕捉纳米级薄膜的传热过程。因此需要一种新的更快速的检测方式，可以克服经典的激光闪射法的技术局限。这一被称为超快速激光闪射法的技术，其典型模式为后部加热/前部探测方法。这一方式的测量结构与传统的 LFA 方法相同：样品制备于透明基体之上，测量方向为穿过样品厚度、与样品表面垂直。由加热激光照射样品的下表面，由探测激光检测样品上表面的传热温升过程。随着样品检测面的温度逐渐上升，其表面热反射率会相应发生变化。使用探测激光按一定采样频率对检测面进行照射，利用反射率的变化可获取检测面的温度上升曲线。基于该曲线进行拟合计算，可得到热扩散系数（如下图所示）。这里，金属薄膜（Mo）的热扩散系数测量结果为 15.9 mm2/s。时间域热反射法 -前部加热 / 前部探测（FF）测定热扩散系数与吸热系数除了 RF 方法之外，测量也可以使用前部加热/前部探测（FF）的结构进行。“Front”一词这里指的是沉积于基体上的薄膜的外表面，而“Rear”一词指的是薄膜与基体接触的一面。在 FF 测量配置中（如下图所示），加热激光与探测激光处于样品的同一面。加热激光加热的是薄膜的前表面的一个直径为几十微米的区域，探测激光则指向同一位置，观察在照射之后表面温度的变化。这一方法可以应用于非透明基体上的薄层材料，即 RF 方法不适合的场合。在下图的示例中，使用 FF 模式，金属薄膜（Mo）的热扩散系数测量结果为 16.1 mm2/s。结果证明了 RF 与 FF 模式之间结果高度的一致性（偏差2%）。NanoTR 原理NanoTR 具有先进的信号处理技术，可以进行高速的测量。测试过程中，一束脉冲宽度 1ns 的激光脉冲被周期性（间隔20us）地照射到样品的加热面上。使用探测激光记录检测面相应的温度响应。通过在极短时间内进行大量的重复测试，对重复信号进行累加，可以获得优异的信噪比。通过软件，仪器可以方便地在 RF 与 FF 两种测试方式之间进行切换，由此适合于各种类别的样品。NanoTR 遵从 JIS R 1689，JIS R 1690 标准，提供具有热扩散时间标准值的薄膜标样（RM1301-a），使结果具有 SI 可回溯性。该标样由 AIST 提供。PicoTR 原理对于皮秒级热反射分析仪 PicoTR，照射到样品的加热面上的是脉冲宽度仅为 0.5ps 的激光脉冲，重复周期为 50ns。使用探测激光，记录检测面相应的温度响应。PicoTR 允许用户在 RF 与 FF 两种模式之间进行自由切换。PicoTR 符合 JIS R 1689，JIS R 1690 标准。技术参数仪器型号NanoTRPicoTR温度范围RT，RT … 300°C（选配）RT，RT … 500°C（选配）测量模式RF/FFRF/FF样品尺寸10 × 10mm … 20 × 20mm10 × 10mm … 20 × 20mm薄膜厚度30nm … 20μm （取决于样品种类和测量模式）10nm … 900nm （取决于样品种类和测量模式）热扩散系数0.01 … 1000mm2/s0.01 … 1000mm2/s主激光脉冲宽度 1ns 光束直径 100μm 激光功率 100mW脉冲宽度 0.5ps 光束直径 45μm 激光功率 20mW

CHY-C2A薄膜测厚仪 塑料薄膜厚度仪 包装薄膜厚度测量仪采用机械接触式测量方式，严格符合标准要求，有效保证了测试的规范性和准确性。专业适用于量程范围内的塑料薄膜、薄片、隔膜、纸张、箔片、硅片等各种材料的厚度精确测量。CHY-C2A薄膜测厚仪 塑料薄膜厚度仪 包装薄膜厚度测量仪技术特征：严格按照标准设计的接触面积和测量压力，同时支持各种非标定制测试过程中测量头自动升降，有效避免了人为因素造成的系统误差支持自动和手动两种测量模式，方便用户自由选择实时显示测量结果的最大值、最小值、平均值以及标准偏差等分析数据，方便用户进行判断配置标准量块用于系统标定，保证测试的精度和数据一致性系统支持数据实时显示、自动统计、打印等许多实用功能，方便快捷地获取测试结果系统由微电脑控制，搭配液晶显示器、菜单式界面和PVC操作面板，方便用户进行试验操作和数据查看标准的RS232接口，便于系统与电脑的外部连接和数据传输支持LystemTM实验室数据共享系统，统一管理试验结果和试验报告执行标准：ISO 4593、ISO 534、ISO 3034、GB/T 6672、GB/T 451.3、GB/T 6547、ASTM D374、ASTM D1777、TAPPI T411、JIS K6250、JIS K6783、JIS Z1702、 BS 3983、BS 4817CHY-C2A薄膜测厚仪 塑料薄膜厚度仪 包装薄膜厚度测量仪技术指标：负荷量程：0 ～ 2 mm（常规）　　　　　0 ～ 6 mm；12 mm （可选）分辨率：0.1 μm测量速度：10 次/min （可调）测量压力：17.5±1 KPa（薄膜）；50±1 KPa（纸张）接触面积：50 mm2（薄膜）；200 mm2（纸张）　　　　　注：薄膜、纸张任选一种；非标可定制电源：220VAC 50Hz / 120VAC 60Hz外形尺寸：461mm(L)×334mm(W)×357mm(H)净重：32kg仪器配置：标准配置：主机、标准量块一件选购件：专业软件、通信电缆、测量头、配重砝码、微型打印机以上信息由Labthink兰光 济南兰光机电技术有限公司发布！济南兰光，包装检测仪器优秀供应商，国际知名品牌，专业致力于为包装、食品、医药、日化、印刷、胶粘剂、汽车、石化、生物、建筑及新能源等领域提供行业咨询、产品销售、售后服务和风险控制。成立至今，公司秉承“以客户为中心”的服务理念，已为全球一万家科研机构、第三方检测机构以及企业品管部门提供了全面、专业、精准的包装产品质量控制解决方案。如欲了解更详细信息，欢迎致电0531-85068566垂询！

Filmetrics-F40薄膜厚度测量仪 结合显微镜的薄膜测量系统Filmetrics的精密光谱测量系统让用户简单快速地测量薄膜的厚度和光学常数，通过对待测膜层的上下界面间反射光谱的分析，几秒钟内就可测量结果。 当测量需要在待测样品表面的某些微小限定区域进行，或者其他应用要求光斑小至1微米时，F40是你的好选择。使用先前足部校正显微镜的物镜，再进行测量，即可获得精准的厚度及光学参数值。只要透过Filmetrics的C-mount连接附件，F40就可以和市面上多数的显微镜连接使用。C-mount上装备有CCD摄像头，可以让用户从电脑屏幕上清晰地看样品和测量位置。* 取决于材料1.使用5X物镜参考2.是基于连续20天，每天在Si基底上对厚度为500纳米的SiO2 薄膜样品连续测量100次所得厚度值的标准偏差的平均值3.是基于连续20天，每天在Si基底上对厚度为500纳米的SiO2薄膜样品连续测量100次所得厚度值的2倍标准偏差的平均值选择Filmetrics的优势桌面式薄膜厚度测量的专家24小时电话，E-mail和在线支持所有系统皆使用直观的标准分析软件附加特性嵌入式在线诊断方式免费离线分析软件精细的历史数据功能，帮助用户有效地存储，重现与绘制测试结果相关应用半导体制造 生物医学原件&bull 光刻胶 &bull 聚合物/聚对二甲苯&bull 氧化物/氮化物 &bull 生物膜/球囊壁厚度&bull 硅或其他半导体膜层 &bull 植入药物涂层微电子 液晶显示器&bull 光刻胶 &bull 盒厚&bull 硅膜 &bull 聚酰亚胺&bull 氮化铝/氧化锌薄膜滤镜 &bull 导电透明膜

包装薄膜厚度测量仪 高精度接触式测厚仪仪器名称：CHY-02测厚仪制造商：山东泉科瑞达仪器设备有限公司仪器品牌：泉科瑞达包装薄膜厚度测量仪 高精度接触式测厚仪包装薄膜厚度测量仪 高精度接触式测厚仪是一种高精度的测量设备，主要用于测量塑料薄膜、薄片、隔膜、纸张、箔片、硅片等材料的厚度。以下是对接触式包装薄膜厚度测量仪的详细介绍：包装薄膜厚度测量仪 高精度接触式测厚仪产品特征高精度测量：采用机械接触式测量原理，通过精密的位移传感器测量薄膜材料的厚度。自动升降测头：在测试过程中，测量头自动升降，减少人为因素造成的误差。操作简便：配备大液晶屏显示，操作界面直观，支持手动和自动两种测量模式。数据管理：实时显示测量结果，包括最大值、最小值、平均值和标准偏差，方便数据分析。系统标定：配置标准量块用于系统标定，确保测试精度和数据一致性。打印功能：系统支持数据实时显示、自动统计和打印，方便获取测试结果。包装薄膜厚度测量仪 高精度接触式测厚仪技术参数测试范围：0～2mm（标配），可选配0～6mm或0～12mm的测量范围。分辨率：0.1μm，确保极高的测量精度。测量压力：17.5±1 kPa（薄膜），50±1 kPa（纸张），适应不同材料的测量需求。接触面积：50mm² （薄膜），200mm² （纸张），可根据测试材料选择。电源：AC 220V 50Hz，符合多数实验室的电源要求。外形尺寸：设备体积适中，便于实验室内安置。净重：大约26kg，便于移动和携带。执行标准该仪器符合多项国家和国际标准，如GB/T 6672、GB/T 451.3、GB/T 6547、ISO 4593、ISO 534、ISO 3034、ASTM D374、ASTM D1777、TAPPI T411、JIS K6250、JIS K6783、JIS Z1702、BS 3983、BS 4817等。包装薄膜厚度测量仪 高精度接触式测厚仪应用领域广泛应用于塑料薄膜、纸张、箔片、硅片等材料的厚度测量，适用于包装材料生产过程中的质量控制、研发与技术创新等领域。仪器配置标准配置通常包括主机、微型打印机、标准量块等。可选配件包括专业软件、通信电缆、配重砝码盘、配重砝码等。

薄膜厚度测量仪 纸张厚度检测仪 膜厚测量仪 台式测厚仪CHY-CA薄膜测厚仪采用机械接触式测量原理，严格按照标准方法进行测量，有效保证了测试的规范性和准确性。专业适用于量程范围内的塑料薄膜、薄片、隔膜、纸张、箔片、硅片等各种材料的厚度测量。薄膜厚度测量仪 纸张厚度检测仪 膜厚测量仪 台式测厚仪薄膜厚度测量仪 纸张厚度检测仪 膜厚测量仪 台式测厚仪产品特点◎ 微电脑控制系统，大液晶显示、PVC操作面板，方便用户进行试验操作和数据查看。◎ 严格按照标准设计的接触面积和测量压力，同时支持各种非标定制。◎ 测试过程中测量头自动升降，有效避免了人为因素造成的系统误差。◎ 支持自动和手动两种测量模式，方便用户自由选择。◎ 系统自动进样，进样步距、测量点数和进样速度等相关参数均可由用户自行设定。◎ 实时显示测量结果的Z大值、Z小值、平均值以及标准偏差等分析数据，方便用户进行判断。◎ 配置标准量块用于系统标定，保证测试的精度和数据一致性。◎ 系统支持数据实时显示、自动统计、打印等许多实用功能，方便快捷地获取测试结果。◎ 标准的USB接口，便于系统与电脑的外部连接和数据。薄膜厚度测量仪 纸张厚度检测仪 膜厚测量仪 台式测厚仪测试原理CHY-CA薄膜测厚仪采用机械接触式测量原理，截取一定尺寸的式样；通过控制面板按钮，调节测量头降落于式样之上；依靠两个接触面产生的压力和两接触面积通过传感器测得的数值测量材料的厚度。薄膜厚度测量仪 纸张厚度检测仪 膜厚测量仪 台式测厚仪薄膜厚度测量仪 纸张厚度检测仪 膜厚测量仪 台式测厚仪测试标准该仪器符合多项国家和国标标准：ISO 4593、ISO 534、ISO 3034、GB/T 6672 、GB/T 451.3、 GB/T 6547、 ASTM D374、ASTM D1777TAPPI T411、JIS K6250、JIS K6783、JIS Z1702、 BS 3983、BS 4817。 售后服务承诺三月内只换不修，一年质保，终身提供。快速处理，1小时内响应问题，1个工作日出解决方案。 体系荣誉资质ISO9001：2008质量体系认证、计量合格确认证书、CE认证、软件著作权、产品实用新型、外观设计。实力铸造品牌三大研发中心，两条独立生产线，一个综合体验式实验室。赛成自2007年创立至今，全球用户累计成交产品破万台，完善四大产品体系，50多种产品。薄膜厚度测量仪 纸张厚度检测仪 膜厚测量仪 台式测厚仪

德国Sentech自动扫描薄膜测量仪器SenSol SenSol是SENTECH光伏产品组合中的自动大面积扫描仪器。自动表征膜厚、薄层电阻、雾度、反射和透射的均匀性。使用SenSol，可以监测大型玻璃基板上的沉积过程的均匀性，从而可以显著减少仪器维护后重新开始生产的时间。 整体表面分析SenSol自动扫描系统是为薄膜测量设计的，在面板上的每个位置，特别是在边缘都可以进行测量。 TCO自动扫描TCO可以研究厚度的均匀性、薄层电阻、光谱分辨的雾度H(λ)、反射R(λ)和透射T(λ)。 工艺优化新的沉积工艺或清洗后的沉积设备的运行时间显著减少。 SenSol自动扫描仪器设计用于玻璃薄膜光伏制造中薄膜性能的质量控制的在线测量。大量的传感器可以集成到SenSol传感器平台中。这也允许特定的工艺监测，提供补偿工艺中出现的差异。 瑞士Oerlikon Solar公司是光伏薄膜测量设备的供应商，也是SENTECH的主要参考客户之一，通过SenSol的工艺监测确保了优异的生产效果。 SENTECH易于使用，面向配方的SenSol自动扫描软件为制造商主计算机提供了灵活和定制的接口，以及客户特定的薄膜测量结果的图形表示。

F54-XY-200 薄膜厚度测量仪自动薄膜厚度测绘系统 借助F54-XY-200先进的光谱反射系统，可以快速轻松地测量200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供快速的厚度测量，达到每秒两点。您可以从数十种预定义的极性，矩形或线性测量坐标图案中选择，也可以创建自己编辑的不受限制的测量点数量。此桌面系统只需几分钟即可完成设置，任何具有基本计算机技能的人都可以使用。图案表面的显微测量F54-XY-200具有集成的显微镜和实时摄像头，可以精确监控膜厚测量点。小尺寸的测量光斑允许测量有图案的样品，并且可以改善在较粗糙的材料上的测量性能。 FILMAPPER软件-测量自动化测绘模式生成器内置的测绘图案生成器使您可以轻松的生成测量样品相关区域所需的坐标图案，从而节省了数据采集时间。以下是您可以调整的自定义测绘属性的一些参数:样品形状:圆形或矩形径向，矩形或线性图案中心和边缘去除点密度

中图仪器SJ5180系列长度激光测量仪采用高精度激光测量系统、精密研磨导轨、高精度温度环境补偿系统、双向恒测力系统、高性能计算机控制系统技术，能够检定精密量具、精密量规，如块规、环规、塞规、卡规、螺纹规、花键规、表类、尺类。还可以检测各种精密工件内外尺寸，如齿轮、花键、校对棒、非标量规等，具有通用性强的特点。产品应用SJ5180系列长度激光测量仪能实现各种长度参数的高精度测量，具有精度高、操作便携、稳定性强、功能齐全实用等优点。仪器主要功能1、标配功能：检测量块&块规：（0.1~1000mm）；光滑环规：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞规：φ1~φ220mm；螺纹环规：M5~M200（螺距0.8~4mm） 螺纹塞规：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；光滑卡规：内卡5~200mm，外卡1~300mm千分尺校对杆：25~1000mm；塞尺：0.02~1mm针规：φ0.1~φ10mm三针：0.118~6.585mm；两点内径千分尺：25~1000mm；2、可选配功能：小型光滑环规：φ0.8~φ5mm；螺纹环规：规格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）、M200~M450（螺距4.5~6mm）；光滑锥度环规：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；光滑锥度塞规：φ5~φ60mm（长度10~100mm）；φ60~φ200mm（长度≤50mm）；螺纹锥度环规：M5~M200mm（厚度≤50mm）；螺纹锥度塞规：M5~M60mm（长度10~100mm）；M60~ M200mm（长度≤50mm）；锯齿螺纹、梯形螺纹：M3~M450（螺距0.5~6mm）；花键环塞规/花键及标准齿轮（跨棒距测量）：内φ10~φ450mm，外φ5~φ450mm，模数0.8~6mm； 外径千分尺示值误差手动校准：25~1000mm；数显及游标卡尺示值误差手动校准：75~1000mm；深度千分尺示值误差手动校准：0~25、25~50、50~75mm；三爪内径千分尺手动校准：φ6~φ200mm；表类（百分表、千分表、杠杆表手动校准）；数显半径规手动校准：R5~R700mm；轴承内外圈锥度、沟槽底径内外径及沟槽宽度、精密零部件的长度尺寸，内外径尺寸测量；高精度、高稳定性1)高精度激光测量系统，线性测量精度达到0.5PPM，分辨力达到0.01μm，测量精度高；2)精密研磨导轨系统，导轨直线度高，导轨材料耐磨性好、保证系统高精度稳定可靠的工作；3)进口特殊材料制作的高刚性、无变形测杆，保证测试数据的真实采集；4)采用大理石基座，保证了在头座及五轴工作台的移动过程中不会产生变形以及仪器不受外界震动干扰，保证了仪器的稳定可靠；5)采用紧凑型摩擦驱动结构，保证了头座移动过程中的稳定性。高性能五轴工作台1)X,Y,Z三轴采用高性能交叉滚子导轨：摩擦力小，稳定性好，承载高； 2)Y轴平移、倾斜、水平旋转设计了高调节细度的结构，方便客户更好地找到三个轴的拐点； 3)Z轴可配置数显装置，用于螺距显示。高性能螺纹环规测量装置SJ5180系列长度激光测量仪配置高性能螺纹环规测量装置，可测量小螺纹环规，同时可完成小光滑环规检测；测量力为电子测力，由软件选择测力大小； 部分技术指标型号SJ5180-1000测量范围外尺寸直接：0~1020mm内尺寸比对：5~900mm测力0.1N、0.3N、0.5N、1~10N手动连续可调测量最大中径环规200mm 、塞规250mm五轴工作台型号ST-30.1（标配）Z轴0~50mmY轴±25mm负载50㎏台面尺寸350mm×125mm仪器重量180㎏仪器尺寸2000mm×400mm×450mm环境条件参考环境温度：（20±1）℃以内，温度变化不超过0.2℃/h。相对湿度控制在20%～60%。校准室内应无影响测量的灰尘、震动、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场。校准实验室应符合精密仪器实验室振动等级标准，环境振动≤0.03mm/s；如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

中图仪器NS系列沉积薄膜台阶高度测量仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。其采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。针对测量ITO导电薄膜的应用场景，NS200沉积薄膜台阶高度测量仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；工作过程NS系列沉积薄膜台阶高度测量仪测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。产品应用NS系列台阶仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。部分技术参数型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

中图仪器GTS激光断光自锁跟踪测量仪集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体，用于百米大尺度空间三维坐标的精密测量，如在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在制造中对运动机器人位置的精确标定。此外，激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等先进制造各个领域。功能特点1、主机测量系统（1）集成化控制主机设计强大CPU处理能力、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头，主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量，方便现场快速安装。（2）目标球自动锁定技术目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球，完成断光续接，自动锁定目标球，全过程不需人为操作，提高测量效率。（3）HiADM测距技术激光绝对测距（ADM）和激光干涉测距（IFM）融合技术（HiADM），将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合，保证测量精度，并实现挡光恢复。（4）一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。 （5）MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信，方便保密车间的现场使用，最高测量数据输出速度1000点/秒。（6）便携性运输集成化主机设计的激光跟踪头，集成式的配件运输箱，使得整个运输箱体系统体积小、重量轻，并且便于在不同的工作地点之间进行运输。（7）密封防护设计IP54防护等级，保证主机免受灰尘和其他污染物的进入，环境适用性强。（8）稳固三脚架GTS激光断光自锁跟踪测量仪稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件，灵巧升降机构设计省力操作，稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。2、iProbe 6D姿态探头（1）机器视觉和重力对齐的传感融合技术测量空间姿态。（2）可以测量孔、洞等内部特征、隐藏特征的几何结构。（3）双探头设计，对复杂特征测量时更加高效。（4）无线传输，简易随行。3、iTracker 6D姿态智能传感器（1）姿态传感器自动跟随锁定激光束，测量灵活性高。（2）俯仰角和偏航角不受光学回射器接收角度的限制。（3）简易接口连接，便于安装在机床或机器人上，重复性高、精度高。（4）专用波段激光束和滤光设计，对环境光不敏感。（5）采样速度200点/秒。4、EyeScan跟踪式激光扫描系统（1）动态追踪，无需贴点（2）测量范围广，支持大跨度转站（3）41条蓝色激光线，不惧黑亮（4）碳纤维材质，便携稳定（5）高采扫描速度1360000点每秒5、SpatialMaster空间测量软件SpatialMaster（简称SMT）是一款自主研发，专为大尺寸测量设备如激光跟踪仪配套使用，并且通过PTB认证的通用三维测量分析软件。SMT支持多个任意类型的仪器同时测量，测量数据可溯源的，具有强大的数据处理分析功能，支持生产制造过程中的几何尺寸公差(GD&T)评定，此外SMT具有优秀的用户交互性，方便灵活的分析报告功能。6、RobotMaster机器人检测校准套件基于GTS激光跟踪仪的RobotMaster机器人套件为工业机器人空间绝对位置精度测量标定和性能检测提供高效可行的解决方案，既提供基于光学靶球的经济方案，也提供基于6D姿态智能传感器的增强方案。GTS激光断光自锁跟踪测量仪作为高精度、便携式的空间大尺寸坐标测量机，同时具高精度（μm级）、大工作空间（百米级）的产品特点，能够解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。中图仪器GTS激光跟踪测量系统已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列，可以和多种形式的合作目标测头配合使用：1、GTS3000激光跟踪仪与光学回射靶球配合组成三自由度激光跟踪仪，能对大尺度空间内的点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量；2、GTS6000激光跟踪仪与空间姿态探头配合组成六自由度激光跟踪仪，能够根据合作目标的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。部分主机技术指标型号GTS3800基本规格跟踪头尺寸220×280×495 mm跟踪头重量21.3Kg控制器集成式激光器633nm,1mW/CW | Class 2防护等级IP54测量范围测量半径80米水平方向±360°垂直方向-145°~+145°目标识别目标自锁距离60m相机与视场角1.3MP | 10° FOV靶球规格靶球直径0.5英寸~1.5英寸球心距离3µ m~7.5µ m恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

激光防护镜 光学测量仪特点：专业激光防护，工业级质量标准，国际CE认证。可防护波长范围宽广：紫外，可见光，红外波段一应俱全。多种波长范围同时保护，光透射率精确测量。通过严格的环境测试，可适应温度范围：零下65度到160度（华氏）。宽边框，宽视场，轻巧舒适。应用：全方位防护定制波段的激光及强光，可为医学、牙科、科学研究、治疗、法医、制药等各领域提供专业防护。产品介绍：LaserShields使用了三种技术来改善防护效果。1、使用窄带吸收染料塑造出聚合物镜头（价格低，重量更轻，更舒服以及持久耐用）。2、吸收性的无机玻璃（价格高、高重量、高度可见光）。3、通过镀反射膜来达到吸收作用的混合聚合物或玻璃滤波片（价格高、持久耐用）。LaserShields通过CE认证（EN207/208）适用大多数激光器。包括直视超快飞秒脉冲激光器或高功率激光器。LaserShields也满足个人保护设备EEC89/686的要求。参数：1. OD（光密度） Optical density (OD) of the LSE for the wavelength being used. OD refers to the ability of a material to reduce laser energy of a specific wavelength to a safe level below the MPE. It can be expressed by the following formula: OD = log10(Ei/Et) Ei = incident beam irradiance (W/cm2) for a "worse case exposure" Et = transmitted beam irradiance (MPE limit in W/cm2) Example: OD of 4.0 allows 1/10,000 of the laser light energy to be transmitted2. VLT（可见光透过率）3. CE-certificate激光防护镜、防护窗 光学测量仪

中图仪器SJ6000长距离高精度长度激光干涉测量仪集光、机、电、计算机等技术于一体，利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。SJ6000长距离高精度长度激光干涉测量仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。在机床领域中的应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿在计量检定领域的应用1、测长机检定传统的测长机示值误差主要采用量块进行校准，受环境因素影响较大，校准条件要求高，且量程大于1m的测长机需要分段校准，效率低，而使用激光干涉仪进行校准，不仅可以提高效率，还可通过环境补偿单元对空气温度、压力、湿度和材料温度进行补偿，提高校准精度。2、三坐标测量机示值误差测量随着三坐标测量机技术的更新和发展，使用传统的量块、球板等已经难以满足大型三坐标测量机的检测要求，激光干涉仪测量准确度高，测量范围大，测量数据丰富，适合测量三坐标各项几何误差。3、位移传感器检定利用SJ6000长距离高精度长度激光干涉测量仪对位移传感器检定成为发展趋势,其特点是测量精度高、反应速度快、易于数字化测量。在测量中设计一个精密导轨,将反射镜同被测传感器放在一起同步检测,从而形成对比，位移传感器自动检定系统与SJ6000激光干涉仪(标准)对定长位移进行测试对比,得出往复测试实验结果。4、影像仪定位精度测量影像仪传统检测方法采用线纹尺比对法进行，存在着检测精度低、测量系统误差大、成因分析功能缺失、改善方向不精准、 检测效率低下等问题。使用激光干涉仪可以对影像仪的定位误差进行快速检测，对测量数据进行运算分析，利用软件生产补偿文件快速实施二维平面多点位补偿，可大大降低设备制造过程中的精度检测难度、提升检测效率及补偿效率。

中图仪器GTS激光跟踪工业机器人空间精度测量仪集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体，用于百米大尺度空间三维坐标的精密测量。在大尺度空间测量工业科学仪器中，GTS激光跟踪工业机器人空间精度测量仪具有高的精度和重要性，是同时具有μm级别精度、百米工作空间的高性能光电仪器。能够解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。GTS激光跟踪仪与空间姿态探头配合组成六自由度激光跟踪仪，能够根据合作目标的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。功能特点1、主机测量系统 （1）集成化控制主机设计强大CPU处理能力、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头，主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量，方便现场快速安装。（2)目标球自动锁定技术目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球，完成断光续接，自动锁定目标球，全过程不需人为操作，提高测量效率。（3）HiADM测距技术激光绝对测距（ADM）和激光干涉测距（IFM）融合技术（HiADM），将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合，保证测量精度，并实现挡光恢复。（4）一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。（5）MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信，方便保密车间的现场使用，最高测量数据输出速度1000点/秒。（6）便携性运输集成化主机设计的激光跟踪头，集成式的配件运输箱，使得整个运输箱体系统体积小、重量轻，并且便于在不同的工作地点之间进行运输。（7）密封防护设计IP54防护等级，保证主机免受灰尘和其他污染物的进入，环境适用性强。（8）稳固三脚架 稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件，灵巧升降机构设计省力操作，稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。2、iProbe 6D姿态探头iProbe 6D姿态探头采用机器视觉和重力对齐的传感融合技术，通过探头的局部坐标系和系统整体坐标系的配准变换解算测球的空间位置；不仅能对点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量，而且能够根据探头的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征进行快速、高精度的测量。3、iTracker 6D姿态智能传感器iTracker 6D姿态智能传感器采用主动反向跟踪和重力对齐技术，在测量时实时地调整探头的姿态并始终正对锁定测量激光束，通过运动学模型精密解算目标的三维空间位置坐标和空间姿态角度，可以测量非常宽范围的俯仰角和偏航角。 4、EyeScan跟踪式激光扫描系统EyeScan跟踪式激光扫描系统，采用视觉动态跟踪技术，实时跟踪定位扫描头的空间位置，配合跟踪仪，可实现大中型物体的实时高精度扫描。操作简单，无需贴点。5、SpatialMaster空间测量软件SpatialMaster（简称SMT）是一款自主研发，专为大尺寸测量设备如激光跟踪仪配套使用，并且通过PTB认证的通用三维测量分析软件。SMT支持多个任意类型的仪器同时测量，测量数据可溯源的，具有强大的数据处理分析功能，支持生产制造过程中的几何尺寸公差(GD&T)评定，此外SMT具有优秀的用户交互性，方便灵活的分析报告功能。6、RobotMaster机器人检测校准套件 基于GTS激光跟踪仪的RobotMaster机器人套件为工业机器人空间绝对位置精度测量标定和性能检测提供高效可行的解决方案，既提供基于光学靶球的经济方案，也提供基于6D姿态智能传感器的增强方案。产品应用GTS激光跟踪工业机器人空间精度测量仪广泛应用在各种大尺度空间精密测量领域，如在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在制造中对运动机器人位置的精确标定。此外，激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等先进制造各个领域。技术创新1、高精度激光绝对测距技术采用新的机遇正交调制的方法进行连续频率扫描测距（QFCW），设计大动态范围变速扫频与高精度相位鉴别算法，通过正交调制技术大幅度提高信噪比，实现高精度快速“断光续接"复合测距。2、热力载荷均衡分布技术激光跟踪头采用温度热梯度场和力学载荷均衡分布设计，使得激光跟踪仪在长时间跟踪测量时，受重力偏载的影响最小，温度热梯度场均衡设计一定程度上减少热变形，在少量的热补偿之后便可以保证系统的高精度测量和高稳定性。3、光机统一误差建模和补偿技术针对系统建模校准和补偿，通过仪器几何光路系统、机械结构误差行程机理，建立包含所有光学、机械误差项的全误差运动光学模型，设计出一套快速的校准和补偿方法，使得跟踪测量系统能够达到空间坐标测量精度。

中图仪器GTS空间姿态激光跟踪测量仪集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体，主要用于百米大尺度空间三维坐标的精密测量，能够解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。如在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在制造中对运动机器人位置的精确标定。此外，激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等先进制造各个领域。功能特点1、主机测量系统（1）集成化控制主机设计强大CPU处理能力、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头，主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量，方便现场快速安装。（2）目标球自动锁定技术 目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球，完成断光续接，自动锁定目标球，全过程不需人为操作，提高测量效率。（3）HiADM测距技术激光绝对测距（ADM）和激光干涉测距（IFM）融合技术（HiADM），将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合，保证测量精度，并实现挡光恢复。（4）一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。（5）MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信，方便保密车间的现场使用，最高测量数据输出速度1000点/秒。（6）便携性运输集成化主机设计的激光跟踪头，集成式的配件运输箱，使得整个运输箱体系统体积小、重量轻，并且便于在不同的工作地点之间进行运输。（7）密封防护设计IP54防护等级，保证主机免受灰尘和其他污染物的进入，环境适用性强。（8）稳固三脚架GTS空间姿态激光跟踪测量仪稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件，灵巧升降机构设计省力操作，稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。2、iProbe 6D姿态探头（1）机器视觉和重力对齐的传感融合技术测量空间姿态。（2）可以测量孔、洞等内部特征、隐藏特征的几何结构。（3）双探头设计，对复杂特征测量时更加高效。（4）无线传输，简易随行。3、iTracker 6D姿态智能传感器（1）姿态传感器自动跟随锁定激光束，测量灵活性高。（2）俯仰角和偏航角不受光学回射器接收角度的限制。 （3）简易接口连接，便于安装在机床或机器人上，重复性高、精度高。（4）专用波段激光束和滤光设计，对环境光不敏感。（5）采样速度200点/秒。4、EyeScan跟踪式激光扫描系统（1）动态追踪，无需贴点（2）测量范围广，支持大跨度转站（3）41条蓝色激光线，不惧黑亮（4）碳纤维材质，便携稳定（5）高采扫描速度1360000点每秒5、SpatialMaster空间测量软件SpatialMaster（简称SMT）是一款自主研发，专为大尺寸测量设备如激光跟踪仪配套使用，并且通过PTB认证的通用三维测量分析软件。SMT支持多个任意类型的仪器同时测量，测量数据可溯源的，具有强大的数据处理分析功能，支持生产制造过程中的几何尺寸公差(GD&T)评定，此外SMT具有优秀的用户交互性，方便灵活的分析报告功能。6、RobotMaster机器人检测校准套件基于GTS激光跟踪仪的RobotMaster机器人套件为工业机器人空间绝对位置精度测量标定和性能检测提供高效可行的解决方案，既提供基于光学靶球的经济方案，也提供基于6D姿态智能传感器的增强方案。GTS空间姿态激光跟踪测量仪是高精度、便携式的空间大尺寸坐标测量机，是同时具高精度（μm级）、大工作空间（百米级）的高性能光电测量仪器，已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列，可以和多种形式的合作目标测头配合使用：1、GTS3000激光跟踪仪与光学回射靶球配合组成三自由度激光跟踪仪，能对大尺度空间内的点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量；2、GTS6000激光跟踪仪与空间姿态探头配合组成六自由度激光跟踪仪，能够根据合作目标的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。