比勒便携预处理系统

仪器简介：典型应用适用于在线仪器的样品预处理。操作原理由特殊高分子材料制成的过滤膜A 和过滤膜B，被安放在同一个不锈钢容器中，并被直接浸入到采样水中。过滤膜A 和过滤膜B 由各自的样品吸入传输管，与控制器中的蠕动泵A 和蠕动泵B 相连。两个蠕动泵轮流交替工作；在某一蠕动泵工作期间，样品经过相应滤膜的过滤，被抽提到控制器中，进而被传输到后续的水质在线分析仪中。在Filtrax 样品预处理系统的整个工作过程中，控制器内部的空气压缩机连续不断的工作，产生的压缩空气经过两根空气传输管，被传送到每个滤膜底部的排气孔处；在其中一个蠕动泵停止工作期间，吸附在相应滤膜表面上的悬浮颗粒，从滤膜表面上被清除掉。从而保证Filtrax 样品预处理系统可以连续不断的工作。技术参数：样品流速：约900mL/h电源要求：230VAC± 10％， 50-60Hz样品温度：5～40℃环境温度：-20～40℃机箱等级：IP 55（室外安装）仪器尺寸：控制单元：430× 530× 220mm过滤容器：92× 500× 340mm重 量：41kg样品吸入管长度：5米（加热）可选样品传输管：2米（不加热）；10米（加热）；20米（加热）；30米（加热）主要特点：● 采用超滤技术，超滤膜能过滤0.15&mu m颗粒；● 两个蠕动泵交替工作，轮流抽取样品；● 独特的空气清洗设计，可以自动清洗其内置的过滤膜，将清洗工作减到最少；● 不需昂贵的、经常需要维护的潜水泵● 采样管可以加热，保证Filtrax在任何种天气条件下，可以在户外使用。● 系统可以自动监测样品的流速

GHK1052便携式烟气预处理系统一、仪器概述： 便携式烟气预处理系统采用大功率压缩机制冷器，能够将烟气中的水分快速冷凝排除，很大限度的减少水分对烟气检测结果的影响，主要包括烟气颗粒物过滤，一体式加热烟枪及伴热管，冷凝管，排水泵等，操作简单，用途广泛，尤其适用于高湿度下的烟气便携式采样。执行标准HJ/T 47-1999《烟气采样器技术条件》二、仪器特点：1、制冷快速、高效。采用体积小、重量轻的大功率压缩机制冷，和快速换热式冷凝器，不仅制冷速度快，而且换热效率高、保温效果好。2、对气体吸附作用小。烟气从进入采样枪开始，传输管路均用聚四氟乙烯材料，中间不接触任何金属部件（包括快插接头），有效避免水珠析出。3、采样枪与伴热带采用一体式设计，管路纤细柔软、使用灵活。4、蠕动排水泵外置，方便观察及泵管的更换。5、快速连接。气路和电路均采用快插式设计，操作简单快捷。6、过滤器采用可拆卸0.1μm过滤器，可减少烟气中颗粒物对烟气分析仪的污染。7、304不锈钢采样枪。可有效防止高温高湿环境下对枪体的腐蚀。8、体积小重量轻，便于携带，方便烟气的平台采样。9、快速的加热、冷凝、除水，极大的提高了烟气测量精度。10、一体式加热烟枪采用低压直流36V，杜绝安全隐患。三、仪器参数：主要参数默认温度设定分辨率准确度加热枪120℃（可设置）0.1℃优于±2℃制冷2℃（可设置）0.1℃优于±2℃烟气入口温度≤150℃最|大烟气制冷流量＞2L/min抽气泵最|大流量（选配）1.5L/min抽气泵最|大负压（选配）≥35kPa制冷方式压缩机制冷最|大制冷量470W出口露点≤4℃ ①使用温度主机-20℃—55℃加热时间≤6分钟 ②制冷时间≤6分钟 ③采样枪长度1m（其它尺寸可定制）伴热带长度2m（其它尺寸可定制）加热电压DC36V仪 器 噪 声≤55dB主机外形尺寸长×宽×高(32×21×20)cm主 机 重 量＜6.5Kg工 作 电 源AC220V±10%/50Hz功 耗≤300W注：①冷凝温度为25℃、烟气流量为1L/ min ②从环境温度20℃加热到120℃ ③从环境温度25℃制冷到2℃

产品特性：博纯GASS-35便携式预处理系统采用了气态除水的Nafion干燥管技术，无需任何外接反吹气源，就可以处理高湿度、低SO2的超低排放烟气，除水过程中无任何冷凝水析出。烟气处理流量可达1.0 – 1.5 LPM (在1.0 LPM时，可处理≤30% v/v水份含量的烟气)。处理后烟气露点可低于0℃，避免了低浓度SO2 ( 35mg/m3)在冷凝除水过程中的溶解损失，确保了便携式分析仪(包括光学、电化学等机理的分析仪)在高湿度、低SO2量程情况下的测试稳定性和准确性，保证了较高的测试响应速度。GASS-35系统轻巧坚固，净重12.5kg，易于便携使用。可在环境温度45℃至－10℃范围内稳定运行。GASS-35便携式预处理系统可与市场上主流的便携式非分散红外、电化学分析仪匹配，可解决因冷凝水析出而导致的SO2损失、甚至无法检出的问题。非常适用于高湿度、低SO2烟气条件下便携式光学、电化学分析仪的除水预处理。 * Nafion管烟气气态除水，提高分析准确度 * 运行稳定，适合高、低温环境 * 机身轻巧坚固，适合随身携带产品应用： -“超低排放”后便携式SO2、NO分析仪前的预处理 - 湿法脱硫(WFGD)后便携式SO2分析仪前的预处理 - 垃圾焚烧厂排放口便携式SO2、HCl分析仪前的预处理 - 电厂“超低排放”CEMS系统的临时除水备用系统，等等.. 技术规格：最大处理烟气流量： 1.5LPM常规烟气采样流量： 1.0LPM 对应最大湿度为30%预热时间： 30min关机时间： 15min进口处烟气最高温度： 180°C处理后烟气露点： 5°C（环境温度45℃）进口处样气最大气压： 103.4 kPa数据存储： 有温度、露点实时数据存储，USB接口进、出口接口尺寸： 1/4″FPT电气要求： 220 VAC，2 amps，0.4kW外壳： 喷涂铁壳外形尺寸： 510mm长×280mm高×160mm宽重量： 11.5公斤（不含包装）工作环境： -10°C到 45°C 环境温度0到95%相对湿度海拔可达2000米配套(可选)： 全程高温取样探枪 + 柔性伴热管，温度控制范围: 150℃至180℃注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

美国艾美瑞环境仪器公司是全球领先的便携式和在线式烟气分析仪制造商之一，设计和制造污染源气体分析仪已有超过35年的历史，为全球100多个国家的用户提供产品及服务。艾美瑞的产品技术领先、坚固耐用，被业界誉为市场上最可靠的分析仪之一。艾美瑞500-P型便携式烟气预处理系统采用气态除水的高分子渗透膜技术，无需冷凝，在不产生冷凝水的前提下快速除水；专业处理高温、高湿、低硫的样气；友好的接头设计，使得500-P可以为市场上的任何烟气分析仪提供强大的烟气预处理功能。工作原理艾美瑞500-P自带高真空度气泵，气体经加热探针与加热软管后进入高分子渗透管中除水。除水模式为气态除水，由于高分子渗透膜的存在，气态水将会快速的从管内渗透至外部，这个过程仅仅持续几秒。经过渗透管的气体为干燥纯净的气体，然后把这种气体输送至烟气分析仪内进行分析。整个过程没有液体水产生，从根本上杜绝了SO2等成分溶于液态水同时避免了水分进入分析仪器降低仪器使用寿命。主要特点气态除水，提高仪器测量精度及使用寿命除水效率高，高分子渗透膜除水仅需要数秒时间便携式设计，主机重量为5KG。相比于冷凝器除水系统，重量成倍降低。设计友好，可以与市场上的任何电化学或红外烟气分析仪匹配。流量大，可提供最大2.5L/min的流量。应用范围广泛，可应用于电力、石化、冶金、化工、科研等等众多领域。技术参数进气口最高温度：180℃样气出口：友好接头，可连接多种烟气分析仪器出口气体流量：最大2.5L/min。出口气体温度：0~10℃可调电器要求：220V AC工作环境温度：-20~50℃工作环境湿度：0~95%相对湿度加热探针长度：1.5米（可定制）加热软管长度：3米（可定制）加热温度：常温~180℃可调

产品详情：HYT-8型便携烟气预处理系统采用大功率压缩机制冷器，能够将烟气中的水分快速冷凝排除，最大限度的减少水分对烟气检测结果的影响，主要包括烟气颗粒物过滤，一体式加热烟枪及伴热管，冷凝管，排水泵等，操作简单，用途广泛，尤其适用于高湿度下的烟气便携式采样。技术特点： 1.制冷快速、高效。采用体积小、重量轻的大功率压缩机制冷和快速换热式冷凝器，不仅制冷速度快，而且换热效率高、保温效果好。 2.对气体吸附作用小。烟气从进入采样枪开始，传输管路均用聚四氟乙烯材料，中间不接触任何金属部件（包括快插接头），有效避免水珠析出。 3.采样枪与伴热带采用一体式设计，管路纤细柔软、使用灵活。 4.蠕动排水泵外置，方便观察及泵管更换。 5.快速连接。气路和电路均采用快插式设计，操作简单快捷。 6.过滤器采用可拆卸0.1um过滤器，可减少烟气中颗粒物对烟气分析仪的污染。 7.304不锈钢采样枪。可有效防止高温高湿环境下对枪的腐蚀体积小，重量轻，便于携带，方便烟气的平台采样。

崂应1030型 烟气预处理系统一、产品概述 本系统采用大功率帕尔贴制冷器，能够将烟气中的水分快速冷凝排出，最大限度减小烟气吸附，采用2.9寸液晶屏和单片机可精确控制取样器及伴热管温度、制冷温度、采样泵和排水，操作简单；可选配NOx转化器，NOx测量结果更准确，是一款广泛适用于烟气测量的便携式预处理器，尤其适用于含湿量较大的工况。二、执行标准 HJ/T 47-1999 烟气采样器技术条件 三、产品特点 采用2.9寸液晶屏实时显示主机状态 采用大功率半导体双级制冷，且制冷温度灵活可调 具备冷腔自动冲洗功能，阻止管壁冷凝水对烟气的吸附 取样器及伴热管一体化设计，加热温度可调 采用0.1μm过滤器，有效保护后端分析仪 可内置氮氧化物转换器，转换效率高达95%以上 整机重量轻，便携性强说 明： 1、以上内容完全符合国家相关标准的要求，因产品升级或有图片与实机不符， 请以实机为准,本内容仅供参考。2、如果您的需求与其有所偏离，请致电服务热线：400-676-5892 或详细咨询区域销售代表，谢谢！

TH1000气体预处理系统主要应用于气体分析行业，主要原理是将现场的烟气或被测气体采样过来进行除湿、过滤粉尘处理以后，并将被测气体的温度和湿度恒定在一定范围，使气体分析仪能够正常检测浓度，整个过程为自动化处理，不需人为干预处理。TH1000气体预处理系统用于被测气体粉尘不多，高湿度的场合。　　气体预处理系统产品特性：　　防水设计，检测快速，可靠，稳定。　　可将气体分析仪内置于机箱内，也可以外置　　标准采样距离为10米，选配真空泵最远采样距离超过70米　　气体预处理系统产品外形：　　气体预处理系统技术参数：　　处理气体：常规湿度(若高湿需选TH2000)、有粉尘的烟气或其他被测气体(处理高粉尘需选 TH3000)　　工作环境：- 40℃～+70℃，≤95%RH　　采样温度：- 40℃～+70℃(标准)　　采样湿度：0～99%RH　　恒定温度：25℃ 处理后的温度，可设定(选配)　　恒定湿度：70%RH，处理后的湿度，可设定(选配)　　工作方式：固定式连续工作，泵吸式测量(正压、负压、真空环境都可以)(采用进口真空采样泵)　　采样距离：标准10米，选配大功率真空泵的采样距离大于70米，　　如果被测气体的压力比较大，采样距离相应大一些　　工作电压：220VAC，50HZ　　输出信号：4-20mA、RS485、无源触点、无线传输　　防护级别：IP65 防水型，可以户外使用　　防爆级别：标配非防爆，可升级为防爆型。　　选配功能：电伴热恒温控制系统(采样管路)　　防爆型外观：　　我们的标准如下：　　一、我们的维修人员都经过业的培训，提供业、高效的售后服务。　　二、我们的检验设备均按行业标准设备配备。　　我们产品的保障说明如下：　　用户权益：　　一、享有12个月的免费质保期。　　二、享有终身售后服务及技术指导。　　三、维修时间在备件充足的提下，24小时内响应，48小时内维护到位。返回顶部点击询价联系方式

Maxisystem烟气预处理系统型号：Maxisystem应用：适用于烟气采样的快速预处理。Maxisystem 可与 AFRISO 所有型号的烟气分析仪配合使用，尤其适合于GAO水溶性气体（如 NO2 和 SO2 ）的测量。产品特点• 快速实现潮湿烟气中的气水分离• 坚固的外壳，防护等级 IP65，• 内置帕尔帖电子冷凝器和蠕动泵，可自动排出冷凝水• 选配内置抽气泵• 选配电加热采样管线• 与烟气分析仪结合使用，如 M60产品描述便携式烟气处理系统，包括：• 帕尔帖电子冷凝器，用于高湿烟气的除水• 烟尘过滤器，滤除烟气中的颗粒物• 自动除水蠕动泵• 内置抽气泵（选配）Maxisystem 和烟气分析仪结合使用时，通过烟气分析仪内部的抽气泵采集烟气，并进行快速的预处理，也可选装带独立开关的内置抽气泵，独立采集气体。技术参数内置抽气泵流量： 1 L/min温度范围（冷凝器） 工作温度：-5 ~ 40 °C 储存温度：-15 ~ +55 °C过滤器 材质：玻璃纤维 粒度：2 μm重量 ： 4 Kg尺寸 W x H x D： 273×180×247 mmLED ： 帕尔贴冷凝器和加热软管制冷状态： 冷凝液报警状态防护等级（EN60529） IP 20 工作状态（打开） IP 65 关闭接口： 不锈钢材质，? 8 mm电源电压 ： AC 230 V/50 Hz选型表描述订货号烟气预处理系统 Maxisystem 包含冷凝器，蠕动泵和主电源线M 042 32 010抽气泵（选配）M 042 02 010青岛路博环保创建于2003年，占地面积4万平方米，是一家集环保科研、设计、生产、维护、销售和系统运营为一体的综合型高新技术企业。路博环保拥有烟尘治理、废气回收、有机废气吸附脱附等工业废气治理方面几十种专利技术和产品，经过多年工况考核，系统运行平稳，处理效果良好，得到用户广泛好评。多样性的产品体系、强大的技术支撑、完善的工程队伍配置和优质的售后服务，已经帮助众多企业摆脱了环境污染的诟病，同时将废弃物有效地回收利用，不仅让客户节约了能源，同时还帮助客户节省了投资与运行成本。

安米德气体采样预处理系统主要产品内容包括：气体采样探头取样探头便携式取样探头探头的伸缩管取样探头的取样管取样探头的除雾管预过滤装置研磨加热采样线和控制器加热采样线温度控制器冷却器、冷凝分离装置、报警传感装置压缩机冷却器，有不同的换热装置珀尔帖气体冷却器，有不同规格的换热装置外界预冷却装置冷凝分离装置自动排液装置冷凝管液体报警传感装置，应用在重要的、报警以及电子单元过滤装置通用的过滤器，应用范围广泛，多种材质可选吸附材料过滤器，滤芯可再装外界空气抽吸过滤器，加湿器洗瓶液体颗粒过滤器，吸收气溶胶板式过滤器阻液器，阻止液体进入分析仪，保护对潮湿敏感的装置泵蠕动冷凝泵隔膜气体采样泵，有不同的气流和压力气体转换器气体转换器。是一种具有特殊催化剂的转换器，能够将采样气体中的 NOx 转换成 NO。连接器安装阀门连接器，附加设备，阀门，材质为聚偏二氟乙烯、聚四氟乙烯二通道球阀针型阀截止阀管道配件，英寸管道配件，公制内管配件槽低阀门复合阀门：双阀-双法兰连接气体仪表，压力调节：表盘压力调节器安米德气体采样预处理系统主要部分图片1、烟气采样探头2、烟气冷区除湿器3、便携式烟气取样冷却系统4、气体气溶胶过滤器5、沼气/合成气/烟气/多组分气体分析仪（近红外、TCD、顺磁氧分析）6、气体预处理控制器和氮氧化物转换器7、烟气伴热线及控制器

Filtrax水样预处理系统- 工作原理：Filtrax超滤装置的核心是过滤膜，由特殊高分子材料制成的过滤膜A和过滤膜B被安放在同一个不锈钢容器中，并直接浸入到水样中。过滤膜A和过滤膜B的样品吸入传输管，分别与控制器中的蠕动泵A和蠕动泵B相连。Filtrax水样预处理系统的两个蠕动泵轮流交替工作；在某一蠕动泵工作期间，样品经过相应滤膜的过滤后，被抽提到控制器中，进而被传输到后续的水质在线分析仪中。在Filtrax水样预处理系统的整个工作过程中，控制器内部的空气压缩机连续不断的工作，产生的压缩空气经过两根空气传输管，被传送到每个滤膜底部的排气孔处；在其中一个蠕动泵停止工作期间，吸附在相应滤膜表面上的悬浮颗粒被清除。从而保证Filtrax水样预处理系统可以连续不断的工作。- 应用行业：Filtrax超滤装置适用于在线仪器的水样预处理。- 仪器特点：● Filtrax超滤装置采用超滤技术，过滤精度高，超滤膜能过滤0.15μm颗粒；● Filtrax超滤装置的两个蠕动泵交替工作，轮流抽取样品；● 独特的空气清洗设计，可以自动清洗Filtrax水样预处理系统内置的过滤膜，减少清洗工作；● Filtrax超滤装置维护量小，无需潜水泵；● 采样管可以加热，保证在户外恶劣的气候和天气条件下，Filtrax超滤装置仍能进行水样预处理；● Filtrax水样预处理系统可以自动监测样品的流速。技术指标样品流速：约 900mL/h电源要求：230VAC±10% 50-60Hz样品温度：5～40℃环境温度：-20～40℃机箱等级：IP 55（室外安装）仪器尺寸：控制单元：430 × 530 × 220mm过滤容器：92 ×500 × 340mm重量：41kg 样品吸入管长度： 5 米（加热）可选样品传输管：2 米（不加热） 10 米（加热）；20 米（加热） 30 米（加热）

云必在线分析预处理系统MUST EB系列 产品介绍在线分析预处理系统是确保所有分析仪发挥理想性能和可靠性的必要前提，使其能够准确地定量气体或液体组成中的成分、水分、氧含量等。 MUST EB是一套完整的在线分析预处理系统，包括调压单元、过滤单元、废气回收单元、气路切换单元、温控单元、流量控制单元等，能够可靠的处理高压力200bar的工业气体。它和气相色谱、水分仪、氧含量分析仪等产品配套，用于气体和液体的成分、水分、氧含量等的在线测量，使分析仪发挥理想的性能。 亮点 可以匹配气相色谱、水分仪、氧含量仪等 模块化设计 气路死体积接近于零 安装简单，使用简便，维护简单 压力精密控制，进样压力可达200bar 负压进样可选真空泵 多级灵活的过滤选项 流量精密控制 多路进样精密切换 应用 天然气生产、加工和输送 生物甲烷气体生产 LNG生产加工和接收站 烃精炼厂加工 聚合物生产 CNG生产 石化工艺液体 纯原料气体 惰性气体 产品特点1、标准化&模块化预处理系统MUST EB，标准化设计和生产，针对在线分析的各个功能都有对应的模块匹配。 应对不同的需求，MUST EB选择对应的模块即可，使各种在线分析的预处理系统配置，简单而可靠。2、多流路切换无死体积预处理系统MUST EB，采用高精密伺服系统和多通阀控制流路的切换，使流路的死体积接近于零，多流路时保证了流路切换的速度和稳定性，还消除了以往切换流路时的噪音干扰。3、多级精密过滤样品中如果含有杂质，须在污染物到达分析仪之前将其去除。MUST EB配置灵活可选的多级过滤器，其中颗粒过滤器，可以提供小至0.3um等级99.5%的过滤保护率。 颗粒过滤器(过滤固体和颗粒等污染物，小至0.3μm)； T型过滤器(过滤水分、烃类等污染物，带排液功能)； 空气过滤器(选配真空泵时附带)。4、压力控制和测量压力对于分析仪的分析精度有着直接影响，压力过大也会损坏预处理系统以及分析仪。 MUST EB采用一系列可配置的组件，进行压力的控制和测量，进样压力高可达200bar。 压力计； 泄压阀； 计量阀； 自调节隔膜真空泵(负压进样时选配)。5、流量控制和测量样品的流量会影响分析仪的响应时间和稳定性。MUST EB采用一系列可配置组件，进行流量的控制和测量，可以让用户将样品流量从工况调节到分析仪需要的理想流量。 流量计； 计量阀； 含计量阀的流量计(选配真空泵时附带)。 多种配置1、多种安装方式MUST EB可安装在一块平板上，然后根据不同的应用要求和应用环境，提供几种不同的配置： 安装在底板上，安装在室内或防爆安全小屋内； 安装在带窗外壳内的底板上，安装在室内或防爆安全小屋内； 安装在带窗不锈钢外壳内的底板上，安装在室外。2、配套多种分析仪&系统集成MUST EB预处理系统可以与各种分析仪配套使用，组合成为高度集成的在线产品，如下所示： 配套气相色谱仪，集成为在线气相色谱分析系统； 配套露点仪，集成为在线水分分析系统； 配套氧含量分析仪，集成为在线氧含量分析系统。3、多路进样&智能切换MUST EB可分析多路来料样品。为保证流路无死体积，以及流路切换的高效率和可靠性， MUST EB采用了高精密伺服系统控制流路的智能切换， 加上各种规格的多通阀，一套系统最多可以控制16流路的智能切换。 绝对值伺服电机； Profinet伺服驱动； 减速器； 多通阀。4、系统设计&系统定制针对在线分析的预处理系统，EMUST具备丰富的设计、生产、安装和维护经验。我们的系统工程部有着丰富的专业经验，应对任何关于预处理系统的非标要求和实际应用中可能会碰到的复杂工况。 如果您的应用需要定制解决方案，我们有专门的设计团队来满足您的要求。 系统配置 相关产品 技术参数

ESI seaFAST 高基质样品预处理系统（半导体应用）高基质样品中超痕量金属自动化测定：自动校准、自动基质匹配、预浓缩和基质去除以及氢化物发生。高总溶解固体（TDS）样品的基质效应会给ICP-MS准确测定多种元素带来严重干扰。高稀释因子可以减弱基质效应，但是会影响检测极限。从历史上看，各种先进技术已被用于准确测定高TDS样品中的微量元素。其中一种常见的方法是预浓缩和基质去除，这为化学性质与所选螯合树脂相容的元素提供了良好的结果。对于其他元素，手动将校准空白和标准品的矩阵与稀释样品的矩阵匹配，可以在高TDS样品中获得非常准确的结果。最后，氢化物发生改善了难以测定的元素如As和Se的定量。seaFAST 高基样品预处理系统（半导体应用）使用一种或多种先进的分析技术分析样品：预浓缩和基质去除、在线稀释的直接分析和氢化物生成。为了提高精度，seaFAST对校准空白、标准和QC样品以及自动稀释的样品执行自动在线矩阵匹配。

博纯GASSTM- 6080在线烟气预处理系统能处理高流速、高湿度的烟气，去除其中所含气态水、酸雾及氨气。该系统能处理烟气流速最高达5升/分钟，湿度超过70%(120℃条件下)的复杂烟气。GASSTM- 6080预处理系统能安放于任何位置，建议直接安装在烟道上原位安装，靠近烟气取样探头附近，此法可以节省伴热管线和冷凝器，确保待分析的酸性气体目标组分不因溶于冷凝水而丢失。以Nafion干燥管为核心，并融合Baldwin烟气预处理技术于一体的GASSTM- 6080预处理系统，是一种创新的原位冷干直抽法CEMS预处理技术，是对现有冷干直抽法CEMS预处理技术的有机补充与拓展。系统无任何冷凝处理，无水溶损失，无机械运动部件，通过选择Nafion干燥管的数量和长度就可适应不同的除湿要求，便于长期连续运行，维护量低，非常适合于精确/原位测量。注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

崂应1032型 烟气预处理系统一、产品概述 本仪器可与崂应3026型红外烟气综合分析仪、崂应3023型紫外差分烟气综合分析仪、崂应3022型烟气综合分析仪(15代)以及崂应3012H系列烟尘/气测试仪配套使用，用于对工况湿烟气进行滤尘、加热、冷凝脱水及自动排水处理，可有效提高配套主机测量精度，延长传感器使用寿命。采用高性能微控制器和2.7寸OLED显示屏，具有操作方便，脱水迅速，烟气成分损失小等特点，符合国家相关标准对烟气采样的要求。适用于电源接地良好的非防爆场合。野外工作时，应有防雨、雪等侵袭的措施。二、执行标准HJ/T 47-1999 烟气采样器技术条件 三、产品特点集取样、过滤、除水于一体，体积小，携带方便；采用双级大功率半导体制冷，高温条件下（40℃）也能达到预设的制冷效果；具备冷凝室、排水口加热系统，保证低温条件下（-20℃）无结冰，仪器正常工作；内置酸化装置，有效降低烟气中SO2、NO2溶解损失；采用1μm过滤器，有效保护后端分析仪采用定时自动排水与液位检测自动排水双控制排水系统，保证高湿条件下冷凝水及时排出，避免进入后端分析仪；2.7寸液晶屏，实时显示主机状态；取样器前端过滤器采用内嵌式设计，具备过滤器加热功能，避免过滤器结露阻塞气路；可选配崂应特制直管延长管，适应温度在（200~900）℃的工况以及烟道壁较厚的烟道

GR-7030型烟气预处理器烟气预处理系统 青岛国瑞力恒 GR7030产品简介 GR-7030型烟气预处理器采用大功率半导体制冷和Nafion® 技术联合应用，能够快速将烟气中的水分分离排除，zui大限度的 减少烟气中的水汽对测量结果的影响；整机采用0.3微米双重过滤器，加热、制冷均采用PID控制，实时显示预处理器出口处的露点温度和jue对湿度，取样管全程伴热；仪器操作简单，使用方便，广泛应用于烟气分析测量前的烟气预处理，尤其适用于高湿低硫、超低排放等工况执行标准HJ/T 47-1999 《烟气采样器技术条件》功能特点● 大功率半导体制冷和Nafion® 技术联合应用，双重除水，除水更彻底，水溶性损失更小● 采用双重粉尘过滤，过滤粒径小于0.3微米，有效过滤烟气中的粉尘● 加热制冷均采用PID控制，控温精度小于1度，温度控制更准确● 具有系统清洗功能，开机自动启动大流量管路清洗，去除系统管路内残留的水汽● 内置抽气泵和电子流量计，可精确控制预处理器的抽气流量，抽气流量可设置● 内置蠕动泵，自动排出冷凝水，排水时间可设置● 具有机内加热功能，低温时自动启动加热功能，对蠕动泵及排水管路进行加热，保证仪器在低温条件下的正常运行● 取样管全程伴热，加热温度可设置，传输管路均用聚四氟乙烯材料，有效避免管路吸附● 实时测量、显示处理后的烟气露点温度和jue对湿度，除水效果直观显示● 双屏显示，界面直观，操作简单，体积小重量轻，便于携带 烟气预处理系统 青岛国瑞力恒 GR7030技术指标主要参数参数范围分辨率准确度取样管加热温度140℃0.1℃优于±1℃制冷温度0℃0.1℃优于±1℃烟气入口温度≤200℃制冷流量可达2.5L/Min抽气泵负载 ≥40kPa（1.5L/Min）除水方式半导体+Nafion® 技术出口露点≤4℃ ①使用温度-20℃~60℃加热时间≤10分钟 ②制冷时间≤15分钟 ③取样管长度1m（其它尺寸可定制）伴热带长度2m（其它尺寸可定制）主机外形尺寸 （长×宽×高）(290×260×210)mm主 机 重 量＜8.5Kg工 作 电 源AC220V±10%/50Hz功 耗≤300W注：1.注意环境温度25℃、烟气流量为1.5L/ min2.环境温度25℃加热到140℃3.环境温度25℃制冷到2℃烟气预处理系统 青岛国瑞力恒 GR7030

产品概述温室气体采样预处理系统是高精度温室气体监测系统的重要配套系统，主要包括多通道进样系统和样气冷凝除湿系统两部分。该系统的设计目的是为了确保温室气体（如CO2、CH4）的测量结果准确可靠，满足国际标准及世界气象组织（WMO）的要求。产品功能● SMS 2100 多通道进样系统多通道进样系统用于控制单路样气或标气送往气体分析仪进行测量，适用于梯度观测。系统包括但不限于以下功能：6/8路样气选择：提供6或8个进样口供选择。数字控制：可以通过RS485 MODBUS等数字通信方式进行控制。冷凝除湿器控制：集成冷凝除湿器的控制功能。自动校准功能：包含6/8路标气入口，采用最小死体积设计，机箱外侧设有1/8"标气接头。标气通过质量流量控制器（MFC）进行控制，以提高标定的精度，控制范围0-2L（实际工作流量依据分析仪，控制在0-800sccm@2bar）。分析仪可以通过RS485 MODBUS等数字控制方式控制电磁阀，支持通过外部I/O进行此模块的启动/停止等动作，也可直接控制电磁阀，以实现标气自动切换，进而实现分析仪的自动校准。● SMS 2104 多通道进样系统样气冷凝除湿系统用于去除样气中的水分，确保测量结果不受水汽影响。系统包括但不限于以下功能：冷凝除湿控制：控制冷凝除湿器的各项参数，包括制冷温度、切换温度、除霜温度、除霜时间、AB冷阱切换等。冷凝除湿模块采用压缩机制冷方式，可将铝合金冷阱的露点温度降低到-50℃/-70℃。冷凝除水与加热除霜：控制样品除水通道A和B分别工作于冷凝除水和加热除霜状态，并定时进行状态切换，以实现冷凝除湿器的免维护。 状态切换与多路选择阀：除水通道状态切换配合前端的多路选择阀进行设置和运行，以保证样气始终处于冷凝除湿状态。产品参数多通道进样系统功能型号SMS 2100进样口8口冷阱控制有多路样气切换有多路标气切换有质量流量控制器有过滤器2μm不锈钢烧结过滤器通讯方式TCP/IP RS232/485尺寸19寸标准机柜5U，深度420mm显示屏7寸触屏操作系统Linux 电源220V 50Hz样气冷凝除湿系统功能型号SMS 2104制冷温度≤-70℃制冷方式压缩机制冷冷阱数量2冷阱材质铝合金自动除霜方式电加热气体管路材质316L不锈钢外部气体接口1/8"电源220V 50Hz

美国艾美瑞环境仪器公司是全球领先的便携式和在线式烟气分析仪制造商之一，设计和制造污染源气体分析仪已有超过35年的历史，为全球100多个国家的用户提供产品及服务。艾美瑞的产品技术领先、坚固耐用，被业界誉为市场上最可靠的分析仪之一。艾美瑞500-P型便携式烟气预处理系统采用气态除水的高分子渗透膜技术，无需冷凝，在不产生冷凝水的前提下快速除水；专业处理高温、高湿、低硫的样气；友好的接头设计，使得500-P可以为市场上的任何烟气分析仪提供强大的烟气预处理功能。工作原理艾美瑞500-P自带高真空度气泵，气体经加热探针与加热软管后进入高分子渗透管中除水。除水模式为气态除水，由于高分子渗透膜的存在，气态水将会快速的从管内渗透至外部，这个过程仅仅持续几秒。经过渗透管的气体为干燥纯净的气体，然后把这种气体输送至烟气分析仪内进行分析。整个过程没有液体水产生，从根本上杜绝了SO2等成分溶于液态水同时避免了水分进入分析仪器降低仪器使用寿命。主要特点气态除水，提高仪器测量精度及使用寿命除水效率高，高分子渗透膜除水仅需要数秒时间便携式设计，主机重量为5KG。相比于冷凝器除水系统，重量成倍降低。设计友好，可以与市场上的任何电化学或红外烟气分析仪匹配。流量大，可提供最大2.5L/min的流量。应用范围广泛，可应用于电力、石化、冶金、化工、科研等等众多领域。技术参数进气口最高温度：180℃样气出口：友好接头，可连接多种烟气分析仪器出口气体流量：最大2.5L/min。出口气体温度：0~10℃可调电器要求：220V AC工作环境温度：-20~50℃工作环境湿度：0~95%相对湿度加热探针长度：1.5米（可定制）加热软管长度：3米（可定制）加热温度：常温~180℃可调

博纯GASS-3000在线烟气预处理系统能处理高流速、高湿度的烟气，去除其中所含气态水、酸雾及粉尘。该系统能处理的烟气流速高达2升/分钟，湿度超过30% v/v或5升/分钟，湿度超过20% v/v。GASS-3000预处理系统要求安放于CEMS机柜内，方便安装和维护。该系统可确保待分析的低含量酸性目标气体不因溶于冷凝水而损失。 以Nafion干燥管为核心，并融合Baldwin烟气预处理技术于一体的GASS-3000预处理系统，是对现有以冷凝器为除湿核心的冷干直抽法CEMS系统的有机补充与拓展。GASS-3000除湿无需任何冷凝，无SO2的水溶性损失，无机械运动部件，通过选择Nafion2017干燥管的数量和长度就可以适用不同的除湿要求，便于长期连续运行，维护量低，非常适用于超低排放的高湿(10% v/v)和低SO2(35mg/m3)工况。警告：GASS-3000除氨器是选配，当烟气中有NH3时，必须加装除氨器。Nafion干燥管气态除湿技术适用于酸性较强的腐蚀性烟气0.1um絮凝过滤器处理烟气流量可达2 LPM完全保留易溶于水的酸性目标气体 (例如SO2气体)处理烟气湿度可达30% v/v处理后烟气露点低于0℃不锈钢外壳要求安装在CEMS机柜内安装简单，维护量低产品应用超低排放CEMS预处理 FGD脱硫系统(氨法脱硫、海水脱硫、石灰石湿法脱硫等)CEMS的预处理；SCR脱硝系统CEMS的预处理；湿法电除尘WESP后高湿度、低量程CEMS的预处理；LNG燃机总排/脱硝系统CEMS的预处理，等等。更多产品详情请联系美国博纯中国区销售代表，或登录官方网站！注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

应用/主要特点1、快速实现潮湿烟气中的气水分离2、外壳坚固，防尘防水3、可自动排出冷凝水详情烟气预处理系统Maxisystem适用于烟气采样的快速预处理。Maxisystem 可与 AFRISO 所有型号的烟气分析仪配合使用，尤其适合于高水溶性气体（如 NO2 和 SO2 ）的测量。 特点• 快速实现潮湿烟气中的气水分离• 坚固的外壳，防护等级 IP65，防尘防水• 内置帕尔帖电子冷凝器和蠕动泵，可自动排出冷凝水• 选配内置抽气泵• 选配电加热采样管线• 与烟气分析仪结合使用，如 M60 描述Maxisystem包括：• 帕尔帖电子冷凝器，用于高湿烟气的除水• 烟尘过滤器，滤除烟气中的颗粒物• 自动除水蠕动泵• 内置抽气泵（选配）Maxisystem 和烟气分析仪结合使用时，通过烟气分析仪内部的抽气泵采集烟气，并快速进行预处理，也可选装带独立开关的内置抽气泵，独立采集气体。技术参数内置抽气泵流量：1 L/min温度范围（冷凝器）： 工作温度：-5 ~ 40 °C储存温度：-15 ~ +55 °C过滤器： 材质：玻璃纤维重量 ： 4 Kg尺寸 W x H x D：273×180×247 mmLED ： 帕尔贴冷凝器和加热软管制冷状态：冷凝液报警状态防护等级（EN60529）： IP 20 工作状态（打开）IP 65 关闭接口： 不锈钢材质，? 8 mm电源电压 ： AC 230 V/50 Hz

在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。产品型号：HMDS-6210 产品名称：真空烘箱（带基片预处理系统）电源电压：AC 380V± 10%/50Hz± 2%输入功率：4000W控温范围：室温+10℃-250℃温度分辨率：0.1℃温度波动度：± 0.5℃达到真空度：133Pa容积：210L工作室尺寸（mm）：560*640*600外形尺寸（mm）：720*820*1750载物托架：3块时间单位：分钟真空泵：国内好品牌，上海慕鸿型号：DM-4，旋片式油泵。产品特点：1、机外壳采用医用级不锈钢316L材质制造，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。3、微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。5、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。6、整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用100 级光刻间净化环境。 HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。HMDS-6000系列预处理系统的原理： HMDS-6000 预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。HMDS-6000系列预处理系统的一般工作流程：首先确定烘箱工作温度。典型的预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真牢度达到某一高真空度后，开始充人氮气，充到达到某低真空度后，冉次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图：首先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。尾气排放：多余的HMDS蒸汽（尾气）将由真空泵抽出，排放到专用废气收集管道。在无专用废气收集管道时需做专门处理。

一、概述TY-PROCY16是苏州天一信德环保科技有限公司设计的一款高品质水质采样预处理系统。该产品可以为污染源在线监测分析、水质采样、污染物排放总量计算等不同条件下的应用提供连续均匀的、可靠的、具有代表性的水样。 二、产品功能 ◆ 支持间歇式混合采样模式（例如每10分钟采样1次） ◆ 支持连续采样模式，一直不停采样 ◆ 为在线监测提供准确的、具有代表性的水样 ◆ 为超标留样提供准确的水样 ◆ 本产品可与水质自动采样器、总量监控仪等设备配套使用

用 途 GH-601型烟气预处理系统可与红外烟气、紫外差分烟气、烟气综合分析仪以及烟尘（气）测试仪等配套使用，用于对固定污染源湿烟气进行滤尘、加热、快速冷凝缩小，脱水并将冷凝水自动排出，大限度减小管路冷凝水对测量气体的吸附，有效提高测量精度，延长传感器使用寿命。执行标准HJ/T 47-1999 《烟气采样器技术条件》 HJ 57-2017 《固定污染源废气 二氧化硫的测定 定电位电解法》性能特点◆ 采用5.1寸宽温显示屏，中文菜单显示，图文并茂，方便操作 ◆ 采用两级大功率半导体制冷，制冷≥80NL/h，制冷速度快，能够保证高温气体迅速降温至设置温度 ◆ 气路冷凝器采用玻璃材质双路设计，快速冷凝脱水，双蠕动泵及时将冷凝水排除◆ 内置自动清洗泵，采样开始及结束自动清洗管路 ◆ 取样管及伴热管一体化设计，加热温度120℃，温度均匀，有效避免水汽在采样管内部凝结吸附烟气中的各种化学成份，独立供电电源，独立显示加热温度，确保实时监控加热温度◆ 双级过滤：能稳定地在高粉尘工况下工作。取样管前段安装高效钛滤芯，有效过滤粉尘，防止管路污染，内置过滤器，四氟乙烯材质，滤孔直径≤0.1μm，可以有效的除去烟气中的尘，保证测量精度◆ 样气出入口方式：不锈钢快插接头◆ 连接气管：采用聚四氟乙烯材质的连接气管，可有效防止SO2在气管中的吸附现象◆ 可选配内置氮氧化物转化器，转换效率高，提高 NOx 测量精度

TH-2000-C氮氧化物在线监测系统主要应用于气体分析行业，主要检测场合：燃气锅炉尾气监测、污染源在线监测、烟气排放、脱硫脱硝、锅炉尾气、污水管道气体检测分析、高温高湿气体检测分析等。 氮氧化物在线监测系统主要原理是：采样单元采集现场的烟气或被测气体，预处理单元对气体进行降温、除湿、过滤粉尘，并将被测气体的温度和湿度恒定在一定范围，气体检测单元检测分析被输送过来的气体，在显示屏上实时显示被测气体浓度，并将数据信号向外传输到PLC或者电脑等终端，也可以通过无线GPRS(DTU)或网络传输到各地环保局或云服务器，用户再从服务器读取数据，可以实现全球联网监控分析。整个过程为自动化处理，不需人为干预处理。氮氧化物在线监测系统TH-2000-C产品描述：TH-2000-C氮氧化物在线监测系统主要应用于气体分析行业。主要检测场合：燃气锅炉尾气监测、污染源在线监测、烟气排放、脱硫脱硝、锅炉尾气、污水管道气体检测分析、高温高湿气体检测分析等。主要原理是：采样单元采集现场的烟气或被测气体，预处理单元对气体进行降温、除湿、过滤粉尘，并将被测气体的温度和湿度恒定在一定范围，气体检测单元检测分析被输送过来的气体，在显示屏上实时显示被测气体浓度，并将数据信号向外传输到PLC或者电脑等终端，也可以通过无线GPRS(DTU)或网络传输到各地环保局或云服务器，用户再从服务器读取数据，可以实现全球联网监控分析。整个过程为自动化处理，不需人为干预处理。TH-2000-C氮氧化物在线监测系统适用于低粉尘、高温度、高湿度场合的气体检测分析，若被测气体的粉尘含量高，需要选配自动反吹系统或预留反吹接口定期接入压缩空气进行反吹，否则需要定期手动维护清洗粉尘过滤器。TH-2000-C气体预处理系统内置双级电子冷凝除湿系统和0.5米精细粉尘过滤取样头(法兰安装)，采样距离40米，自动降温、自动排水、过滤焦油。对于易溶于水的气体检测分析和冬天室外结冰环境，防止采样管路结冰，需选择保温和电伴热恒温控制系统。如果对被测气体的干燥度和洁净度要求很高，请选择TH-3000系列，含保温和电伴热恒温控制系统、双级高效压缩机水冷除湿系统，可以将气体的露点稳定控制在4℃或5℃氮氧化物在线监测系统技术参数：系统构成：采样单元、样气预处理单元、气体分析单元检测参数：NOX、NO、NO2、O2，选配SO2等其他各种气体，也可以接入检测风速、风向、雨量、大气压力、管道压力、温湿度等气象参数，根据客户要求选定测量范围：NOX(0-100毫克/立方)、NO(0-100毫克/立方)、NO2(0-50毫克/立方)、O2(0-30%Vol),SO2(0-100毫克/立方)，其他量程可选，视检测现场的实际需求而定检测原理：电化学，视检测现场气体成分、浓度及现场工况而定，可选红外、激光、紫外光谱等原理采样温度： - 40℃~600℃(标准)，更高温度可定制，2000℃以内采样湿度：0~99%RH，可预处理高湿气体主机工作环境： - 40℃~70℃，≤95%RH工作方式：在线式连续工作，泵吸式采样(正压、负压、真空环境都可用)采样距离：标准30~40米，选配真空泵的采样距离大于70米采样流量：可调，2升/分钟(标准)，4或10升/分钟，可选工作电压：220VAC，50HZ输出信号：4~20mA、RS485、多路无源触点，选配：DTU无线传输、网络传输等各种方式外形尺寸：820mm高*500mm宽*350mm厚防护级别：IIP66 户外防水型，可选防爆型显示方式：标准产品为7寸触摸彩屏显示，可选无显示窗口、linux操作系统数据存储：可选10万条数据或16G大容量SD存储卡、U盘存储打印方式：无打印功能，可选配无线蓝牙打印机进行打印报警方式：选配一体式声光报警器或外置型声光报警器

在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。产品技术参数：电源电压：AC 380V± 10%/50Hz± 2%输入功率：3000W控温范围：室温+10℃-250℃温度分辨率：0.1℃温度波动度：0.5℃达到真空度：133Pa容积：90L工作室尺寸（mm）：450*450*450外形尺寸（mm）：615*590*1470载物托架：2块时间单位：分钟真空泵：国内品牌上海慕鸿型号：DM-4，旋片式油泵。 产品特点：1、机外壳采用医用级不锈钢316L材质制造，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。3、微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。5、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。6、整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用100 级光刻间净化环境。 HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。HMDS-6000系列预处理系统的原理： HMDS-6000 预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。HMDS-6000系列预处理系统的一般工作流程：首先确定烘箱工作温度。典型的预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真牢度达到某一高真空度后，开始充人氮气，充到达到某低真空度后，冉次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图：首先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。尾气排放：多余的HMDS蒸汽（尾气）将由真空泵抽出，排放到专用废气收集管道。在无专用废气收集管道时需做专门处理。

在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。产品技术参数：电源电压：AC 380V± 10%/50Hz± 2%输入功率：4000W控温范围：室温+10℃-250℃温度分辨率：0.1℃温度波动度：± 0.5℃达到真空度：133Pa容积：210L工作室尺寸（mm）：560*640*600外形尺寸（mm）：720*820*1750载物托架：3块时间单位：分钟真空泵：国内品牌，上海慕鸿型号：DM-4，旋片式油泵。 产品特点：1、机外壳采用医用级不锈钢316L材质制造，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。3、微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。5、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。6、整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用100 级光刻间净化环境。 HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。HMDS-6000系列预处理系统的原理： HMDS-6000 预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。HMDS-6000系列预处理系统的一般工作流程：首先确定烘箱工作温度。典型的预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真牢度达到某一高真空度后，开始充人氮气，充到达到某低真空度后，冉次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图：首先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。尾气排放：多余的HMDS蒸汽（尾气）将由真空泵抽出，排放到专用废气收集管道。在无专用废气收集管道时需做专门处理。

iLAS-700-CO对射式激光气体分析仪 iLAS-700-CO系列原位式激光气体分析仪采用了可调谐激光吸收光谱技术（Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy，简称TDLAS）， 可以在多种复杂工况下在线分析 O2、 CO、NH3 、CO2、CH4 、H2O、HCl、HF 等在内的多种气体（注：单个分析仪只能分析 1 ～ 2 个组分），被测气体浓度涵盖常量到微量。 该气体分析仪具有灵敏度高、响应速度快、不受背景气体干扰、 非接触式光学测量等特点，可应用于工业领域气体排放监测、过程控制等场景，为实时准确地反映气体浓度变化提供可靠保证。 产品优势采用原位测量，无需预处理系统， 直接分析过程气体，无取样损失变化测量管道截面平均浓度，更接近真实工况实时响应快，提供真实气体浓度变化非接触光学测量，适应于高温，高压，多粉尘等极端条件采用“单线光谱”技术，测量不受背景气体交叉干扰； 典型应用高炉煤气安全监控转炉煤气回收热风炉烟气监测加热炉燃烧优化反应釜氧量分析电力、水泥、环 保等行业的微量 CO 检测分析；环保、化工等行业的微量 HCl 和 HF 分析。

Nafion™ 管解决方案帮助优化船舶CEMS系统 博纯使用Nafion™ 管技术的Marine-GASS™ 烟气预处理系统是用于船舶CEMS的智能解决方案。该系统专为处理恶劣的船上应用而设计，可确保产品能严格按照MEPC 184（59）条款要求提供长期可靠的SO2测量。 由于从洗涤塔出来的SO2含量非常低，因此基于珀尔帖（Peltier）原理的冷却器无法有效处理样气。只有博纯的Nafion™ 管式气体干燥器才能做到在气相状态下移除样气中的水汽，从而保留SO2。 并非所有使用Nafion™ 管渗透干燥器的样气预处理系统都能提供相同的性能–请从那些知道如何在最恶劣应用条件下优化产品性能的公司中选择系统产品。 Marine-GASS™ 主要优势优化的Nafion™ 聚合物管理系统可确保在船舶上的长期不间断使用寿命消除冷凝器灾难性故障模式，以防止分析仪因水而受损独特的吹扫气管理，可在压缩空气质量较差情况下，确保产品的可靠性能Marine-GASS™ 已通过Lloyd’s Register(英国劳埃德船级社)设计认可 环境评价4, 4x (IP 66) 级玻璃纤维外壳设计和测试通过所有海洋认证 工作原理该系统包含两个安装在环境密封的NEMA-4X外壳中的温度控制区。第一区：高温区样气经过两阶段过滤过程，去除小至0.1微米的颗粒。 酸雾（如果存在）会聚结，然后通过自动排水器去除。 然后样气通过Nafion™ 管式干燥器在气相状态下将水分去除。 将干燥管前端加热到样气露点以上，以防止冷凝并提高干燥效率。 高温区控制在70°C。第二区：环境温度区在第二区域中，样气通过干燥管的下端部分，从而将露点进一步降至0℃。 第二个Nafion™ 管式干燥器用于干燥进入的压缩空气，该压缩空气用于吹扫自身和采样气体干燥器，从而规避对仪器空气的需求。注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

常见可燃气探头参数：红外可燃气品牌：霍尼韦尔霍尼韦尔 Spoint Optima+XNX、霍尼韦尔华瑞GUARD 3,FGM-1200、德尔格Dräger Polytron 8700 IR、德尔格Dräger Polytron 5700 IR、德尔格PIR 7000红外可燃气、梅思安PrimaX IR Pro红外可燃气检测仪、梅思安ULTIMAX5000，ULTIMAS5000，新宇宙KD-12IR系列红外可燃气检测仪，理研SD-1系列红外可燃气检测仪。红外可燃气检测仪特点：传感器使用寿命长，故障率低，无零点漂移，此外红外探头分为开放式红外和普通红外，开放式红外传感器如德尔格，梅思安，霍尼韦尔等品牌可以做成气动单元更加耐用。催化燃烧电化学/陶瓷半导体可燃气检测仪：霍尼韦尔XCD系列，霍尼华瑞：sp-2102、FGM-3100,梅思安DF-8500 SIL可燃气，梅思安Prima XP/XI、德尔格Dräger Polytron 5200 CAT、Dräger Polytron 8200 CAT、新宇宙KD-12/PD-12系列，理研SD-1,GD-A80,SD-D58等系列,其中日本新宇宙和理研部分探头可以选择陶瓷半导体耐压传感器，使用寿命也比较长久。其他气体检测：氨气NH3，硫化氢H2S，环氧乙烷ETO，二氧化碳CO2，一氧化碳CO，二氧化硫SO2，氮氧化物NOx，丙酮，氯乙烷，乙醇，乙烯，甲醇，甲硫醇，甲苯等等。取样系统取样系统的功能:取样系统是确保仪器正常工作不可缺少的部分。它的功能是从分析对象中取出具有代表性的样品,经过一定的预处理(如冷却、过滤等)与控制(温度、湿度、压力、流量的控制等),然后把符合分析仪器要求的样品送入仪器的发送器部分进行分析。根据使用条件的不同取样系统是千变万化的。取样系统设计时需要考虑的因素：1)尽可能地缩短取样点与分析仪器的距离。2)在一定条件下,适当减少取样系统传送样品管道的内径及其他部件中的传送空间的容积。3)在条件许可时,尽量降低取样点的压力。2、样品的传输传输时间不宜过长,要求采样管线尽可能短。采样管线尽可能少弯头和转角,减少样品积累控制温度,尽量保持样品物理特性,气态或液态,有时需保温处理、防止取样管线泄漏,减少误差,尤其是负压取样。3、样品预处理预处理系统是对样品进一步处理如流量、温度、压力的调节进步冷却除湿除尘限流,流路切换和泄压等。

本仪器可与崂应3026型红外烟气综合分析仪、崂应3023型紫外差分烟气综合分析仪、崂应3022型烟气综合分析仪以及崂应3012H系列烟尘/气测试仪配套使用，用于对工况湿烟气进行滤尘、加热、冷凝脱水及自动排水处理，可有效提高配套主机测量精度，延长传感器使用寿命。与崂应3026型红外烟气综合分析仪配合使用时，可选配NO2转化器，使NOx测量结果更准确。 采用高性能微控制器和大尺寸OLED显示屏，具有操作方便，脱水迅速，烟气成分损失小等特点，符合国家相关标准对烟气采样的要求。适用于电源接地良好的非防爆场合。野外工作时，应有防雨、雪等侵袭的措施。 执行标准 n HJ/T 47-1999 烟气采样器技术条件 主要特点 n 采用2.9寸OLED显示屏实时显示主机状态 n 采用大功率半导体双级制冷，且制冷温度灵活可调n 具备冷腔自动冲洗功能，阻止管壁冷凝水对烟气的吸附n 取样器及伴热管一体化设计，加热温度可调n 采用0.1μm过滤器，有效保护后端分析仪n 可内置“NO2转换器” n 整机重量轻，便携性强n 可选配崂应特制直管延长管，适应温度在（200~900）℃的工况以及烟道壁较厚的烟道n 内置电子标签，可与仪器出入库管理平台软件配合实现仪器智能化管理

分析小屋产品说明： 分析小屋是在线分析仪表（一台或多台）的组合、成套、安装应用于一体，并配备有供电、接线、通风、照明电路及分析仪表所需载气、标准气、驱动气、控制屏等基本设施。现场分析小屋的规范化、专业化设计使分析仪表的现场安装、维护更加方便，并为仪表提供了良好的操作和运行环境，确保所需的使用环境及分析数据的准确性，同时提高了分析仪表的使用周期，在石油、炼化、冶金、轻工、医药、生化等行业具有可燃性气体的危险场所得到了广泛的应用。分析小屋用于对生产流程中的物料成分和含量进行连续自动的现场测量、分析和控制，能满足在线分析仪表成套系统所要求的特殊环境条件，如温度、湿度、防尘防爆等，为在线分析仪表的现场安装、投运及维护提供极大的方便。配置： 分析小屋采用内外钢结构，将分析仪表、控制单元组装在柜内，样品预处理及载气、标准气、驱动气安装在小屋外围。取样探头及前级减压站就近安装在工艺管线旁。柜内安装有防爆空调，防爆电热汀或蒸汽供暖设备，可调节室内温度。配电系统为管线系统，配有防爆配电箱、防爆接线箱。照明系统采用防爆荧光灯并带防爆应急荧光灯。柜内还配备有通风、换气、过滤装置，可定时通风换气，保持柜内空气新鲜。柜内还配备有报警连锁盘（含气体传感器及控制器）及报警警笛，当有可燃/有毒气体泄漏时，报警警笛会发出报警，以保护人身安全。本体结构： ★全封闭系统，为现场分析创造最安全环境。 ★可以整体防爆功能。 ★高质量的报警信号输出(DCS) ★防尘、防水 ★防静电、防火花功能。 ★恒温、恒湿功能。 ★防振动功能。 ★隔离环境污染功能。 ★抗环境腐蚀功能、抗现场干扰。 ★整体接地，接地电阻４Ω。 技术参数： ★防爆等级：ExdⅡBT4~ExdⅡCT6，制作等级根据用户要求而定。 ★分析室内浓度超限（25%LEL）时声光报警 ★电源：220VAC±10%，50Hz，20A ★防护等级：≥IP56 ★内压力正常值：30 -100Pa