超高功率飞秒激光器

深紫外飞秒激光器概述以可调谐的锁模钛宝石激光器作为基频光源，经过多级倍频/和频来产生192-200nm波段的深紫外超短脉冲激光（图1）。 图1. 192-200 nm超短脉冲激光产生方案示意图 基于基频光源的不同选择，激光波长还可以实现大范围的调谐，最大范围可覆盖192-300 nm波段，且连续可调。另外还可输出覆盖二次谐波(375-500 nm)、三次谐波（（230-300 nm）波段的可见、紫外超短脉冲激光。另外，基频光源也可选择1 μm波段（1064 nm、1030 nm）锁模激光器，可获得四次谐波（~260 nm）和五次谐波（~210 nm）的紫外激光。 图2. 激光器实物图（192-300 nm连续调谐，尺寸1300*600*200mm3，不含基频源） 技术特点： 覆盖深紫外、紫外、可见光的大范围波长调谐 电动控制波长调谐 高指向稳定性 图形化人机交互界面 波长可扩展深紫外飞秒激光器应用领域： 超快光谱探测 高精密激光加工 荧光寿命探测 非线性光学2. 基频光源技术参数典型的基频光源可选择Coherent公司CHAMELEON 系列钛宝石激光器或Spectra-Physics公司的Maitai HP系列激光器。主要技术指标如下： 技术指标典型参数波长 780 nm或波长可调谐 根据需求固定激光波长，或可调波长脉冲宽度100 fs、50 fs重复频率 80 MHz光束质量M21.3功率 ~2.5W@780 nm 取决于最终需求的深紫外激光功率，2.5W基频光对应于约4mW的195nm激光功率 3. 输出技术指标（1）195 nm激光输出功率约4 mW（基频功率2.5W@780nm）.（2）195 nm激光输出功率约0.5 mW（基频功率1.4W@780nm） 技术指标典型参数波长195nm或波长可调谐192-300nm根据需求固定激光波长，或可调波长脉冲宽度~500fs@266nm基频光脉冲宽度100fs时测试结果重复频率80MHz功率~4mW@195nm典型调谐功率见下图（（基于MaitaiHP基频源测试）图3.各波段激光输出功率：（a）二次谐波；（b）直接四次谐波；（c）三次谐波；（d）四次谐波（和频）。

Tangor, Amplitude Systems, 飞秒激光器, 超快激光器, 飞秒振荡器, 超快振荡器, 超快飞秒激光器, 超快飞秒振荡器, 高功率, 高平均功率, 高能量, 高脉冲能量, 高频率, 高重复频率,Mango,光参量放大器,光学参量放大器,OPA, 工业设计, 紧凑型, 高可靠性, 高稳定性, 眼科, 微加工, 微细加工, 精细加工,光谱,太赫兹,THz,拉曼光谱,相干,拉曼散射Tangor 300— 平均功率300W，全能型超高功率飞秒激光器Tangor是一款超高功率飞秒激光器，可同时实现超高重复频率（可根据需求调整，高达40 MHz）和高脉冲能量 （高达 3 mJ，可根据生产需求进行分束使用）。全能型Tangor飞秒激光器，配备客制化的FemtoBurst&trade 超级脉冲串功能（可选择脉冲数量、频率，脉冲时间间隔可在25到100ns之间设定），可根据需要触发选择独立的脉冲；超级同步控制(SuperSync Control)可以搭配高速扫描系统实现更精确的同步。Tangor飞秒激光器可选配实现高达100W的UV光输出。Tangor飞秒激光器是实现很多应用生产工艺开发和生产应用的理想工具。功能与高能量相结合，使此高功率飞秒激光器更具性价比。Tangor是国际公认可靠、稳定的Amplitude的飞秒激光器产品系列的一款，超短的脉冲宽度可以实现市场上最小的热效应，以及最好的烧蚀效率，以获得无与伦比的加工品质。应 用工 业 高速微切割和微打孔 平板显示器切割 大面积微结构 微电子 微纳加工科研 高强度高能物理 生命科学和成像 二次光源 光谱学 主要特点 超级脉冲串模式(FemtoBurst&trade ) 可按需求进行脉冲触发 - FemtoTrig&trade 功能 超级同步控制(SuperSync Control) 可选绿光和 UV光输出（UV高达30 W） 工业设计，满足7×24小时应用规格表可点击放大选 配 非线性脉宽压缩Non Linear Compression 同步功能Synchrolock 聚擘国际贸易 (上海) 有限公司聚 嵘 科 技 股 份 有 限 公 司聚擘国际贸易 (上海) 有限公司／聚嵘科技股份有限公司，专业从事半导体封装及测试、LED封装测试、太阳能、SMT、飞秒/皮秒/纳秒激光等定制设备/子系统的开发、销售及售后服务。公司总部位于上海，在深圳、北京、西安设有办事处。公司在台北市设有专业的飞秒精密微纳加工实验室 — FemtoFocus，合作伙伴有法国Amplitude公司 、 德国公司 、 法国ALPhANOV光学与激光技术中心、比利时LASEA公司、法国NOVAE公司、德国Pulsar Photonics公司。实验室拥有专业的前沿激光微纳加工应用开发及技术支持团队，提供超短脉冲 (小于500fs) 和极短脉冲 (小于100fs) 激光技术相关测试及高速加工 (多光点、转镜) 等高度可扩充的高弹性集成方案。聚擘国际贸易 (上海) 有限公司聚嵘科技股份有限公司 | 电子 | 半导体 | 飞秒激光 | 微加工 | 科研 |

高功率光纤飞秒激光器用于微处理的新型高功率飞秒激光器。其紧凑的尺寸使其更易于使用和集成到现有系统中。它在高达 1 MHz 的重复频率下提蕞大能量为 30 μJ 的脉冲，在突发模式下提供高达 100 μJ 的脉冲。用户可配置的突发模式为消费电子产品、集成光子学和显示器制造行业带来了新功能。高功率激光器蕞重要的部分是飞秒振荡器。它是我们每个系统的核心。该飞秒激光器是基于Fluence独特的全光纤、无SESAM振荡器技术，该振荡器经过测试，可在40 g振动下运行。此外，它还在超过 50 o C 的广泛温度范围内进行了评估。振荡器与光纤前置放大器一起形成一个不受错位影响的整体结构。这定义了 该系统的稳健性。全光纤设计基于真正的全光纤、无SESAM的Fluence振荡器使用寿命长前所未有的稳定性缩小尺寸标准 270 fs – 默认 8 ps 脉冲持续时间调谐默认包含用于过程增强的突发模式Jasper Flex FlexMaximum average power 蕞大平均功率30 W (ask for higher 30 W (可要求更高)Maximum pulse energy 蕞大脉冲能量30 μJ up to 1 MHz (ask for higher) Maximum burst energy 蕞大爆发能量100 μJ @ 200 kHz, 1030 nmBase retitinorntne 基本重复率20+2 MHz两级重复率调谐可通过控制软件进行选择1- 20 MHz, internal repetio rate Single Pulse - 1MHz, realized with bil-in pulse picker 脉冲持续时间270 fsF WHM ( 250 fs typicall）脉冲持续时间调谐 270 fs - 8 ps, software-controlLED ( 270 fs - 20 ps optional)中心波长1030土5nm可选波长输出With Harmonic Generation Module (HGM) 515 mm.343 nm, 258 nm (awailiale upon request)极化Linar, vrticical光束质量 M² :13( 1.15 tyicicl）输出光束腰径 1/e² 2.0土0.5 mm (ask for ather) 突发模式,用于工艺增强Indluded6U 19*机架式冷水机组Induded外部门控触发器Indluded外部模拟功率调制Indluded激光控制软件Induded每当需要高功率和高脉冲能量同时保持非常短的脉冲持续时间时，该飞秒激光是正确的选择。这些应用包括：DISPlay repair 显示器维修Micromachining 微加工Polymer cutting 聚合物切割Surface structuring 曲面结构Ophthalmology 眼科学pumping of Optical Parametric Amplifiers 光参量放大器的泵浦Pump and probe spectroscopy 泵浦和探针光谱FIBS sample preparation for AFM 用于 AFM 的 FIBS 样品制备Three-photon excited fluorescence 三光子激发荧光更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。