FRT光学表面量测仪器 The MicroProf- Series适用于三维表面计量、研究系统和生产;涉及非接触式无损测量、粗糙度、轮廓、形貌和薄膜厚度等测试方式。 适用于硅片Si、化合物(GaAs, InP, SiC, GaN)样片的整体厚度检测及TTV/BOW/Warp翘曲等几何参数检测,该设备可以兼容透明片和不透明片。FRT Microprof系列设备是针对半导体行业的样片厚度及TTV/BOW/Warp翘曲检测的设备方案。该设备利用白光的光源,上下双探头的设计,测试时样片放置在上下两个探头的中间位置,一次测试可以快速的提供样片厚度及几何参数相关的所有信息:厚度,TTV,Bow,Warp,TIR,LTV等。同时该设备可以搭载红外IR的探头,该探头可以穿透Si/GaAs等材料,监控背面减薄制程前后Si片或者GaAs片的厚度。FRT Microprof系列设备以其精准的测量能力,非接触的测量方式,快速的测试速度,上下双探头符合SEMI标准的测试方式,使得该设备在半导体,MEMS,在化合物外延领域拥有很高的市场占有率。 传感器技术创造了最大的灵活性: 在现代3D表面计量中,FRT的MicroProf被确立为标准测量工具。它可用于快速、高效和直观地执行各种测量任务。MicroProf已在半导体、微电子、医疗和汽车行业使用多年。地形、台阶高度、粗糙度、层厚和其他参数可以非接触式、非破坏性地测量。随着FRT开发的多传感器技术,不同的光学测量方法可以组合在一个工具中。根据要求,MicroProf能够快速测量整个样品的概览以及高分辨率的细节测量——这是通过点、线、表面和层厚传感器以及扫描力显微镜的组合实现的。测量范围可以从米到亚纳米不等。使用FRT软件,测量任务可以手动或全自动单独配置和实施。MicroProf是一种高精度测量工具,可以灵活改装,也节省了空间。 从上下两面扫描样品,使用TTV选项,可以进行双面样品测试。在相同的测量过程中可以测量样品的上侧和下侧,也可以确定样品厚度。可以输出总厚度变化(TTV)和其他表面参数,如粗糙度、弯曲、翘曲,两个表面的平整度或两侧的平行度。TTV选项可以轻松改装。 MicroProf100FRT MicroProf100是通用表面计量工具,可快速轻松地确定形貌、薄膜厚度和样品厚度。作为紧凑型台式设备,MicroProf 100是MicroProf多传感器家族中最小的成员,它提供了其较大兄弟的全部灵活性。它基于我们经过验证的SurfaceSens技术,将不同的光学测量方法(否则只能在单独的解决方案中找到)合并到一个通用且节省空间的设备中。此外,FRT MicroProf 100可以配备TTV选项,用于双面样品检查。这允许您同时测量样品的顶部和底部,并在相同的测量过程中确定样品厚度。由于其模块化设计,该计量工具可以根据您的特定应用进行定制。除了可以添加的各种传感器外,软件还可以单独配置,测量任务可以手动或自动执行。
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