高分辨率激光干涉仪

高分辨率激光干涉仪所属类别： ? 光学/激光测量设备 ? 波前分析仪 所属品牌：法国Phasics公司 产品简介高分辨率激光干涉仪便携式、高分辨率、高动态范围激光干涉仪！ 法国Phasics公司超分辨剪切干涉仪(High-resolution Interferometer)是一款便携式、高灵敏度、高精度的波前分析仪。法国Phasics公司超分辨剪切干涉仪基于波前分析的四波剪切干涉技术，与传统干涉仪相比较具有结构紧凑，使用方便，无需标准件，优秀的检测稳定性，直接测量任意的波前、高分辨率（300x400采样点），3D显示等优点。 关键词：干涉仪、激光干涉仪、球面干涉仪、激光平面干涉仪、干涉光刻、传函仪、白光干涉仪、Zygo、波前分析仪、波前传感器、迈克尔逊干涉仪、便携式干涉仪、光学传函仪法国Phasics公司超分辨激光干涉仪基于便携式、高灵敏度、高精度波前分析仪。该激光干涉仪采用四波剪切干涉专利技术，与传统干涉仪相比较具有结构紧凑，使用方便，无需标准件，优秀的检测稳定性，直接测量任意的波前、高分辨率（300x400采样点）、激光波长覆盖400-1100nm、消色差、高动态范围（500um）等优点。 法国Phasics公司超分辨剪切干涉仪可用于激光波前检测、激光强度检测、等离子体密度检测、透镜检测、高功率激光自适应、光刻机检测、精密光学元器件检测、光学系统装调、镜头模组检测、传递函数（MTF）检测等。法国Phasics公司超分辨剪切干涉仪并可实时检测为客户提供最优化的数据支持。 产品特点：1、直接测量、无需标准件 图一、检测光路 2、高灵敏度（是普通白光干涉仪的8.4倍）、对振动不敏感 图二 与传统的干涉仪检测结果对比3、三维立体显示 图三、波前三维检测视图4、实时显示泽尼克系数 图四、多阶泽尼克显示界面5、传递函数（MTF）检测 图五、传递函数检测界面 干涉仪应用领域： ? 激光光束性能、波前畸变、M^2、强度等的检测 ? 红外透镜检测? 激光、天文、显微、眼科等复杂自适应光学系统波前像差检测? 光刻机物镜检测? 大口径高精度光学元器件检测? 透镜、镜头模组检测? 传递函数测量? 等离子体密度检测? 高功率激光自适应 产品系列： 相关产品 超高速液晶空间光调制器 PHASICS波前分析仪/波前传感器/波前相差仪/波前探测器

中图仪器SuperViewW高分辨率3d白光干涉仪能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。SuperViewW高分辨率3d白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。中图高分辨率3d白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：在3C领域，可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；在LED行业，可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；在光纤通信行业，可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；在集成电路行业，可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；在EMES行业，可以测量台阶高度和表面粗糙度；在军事领域，可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

高分辨率近红外光纤光谱仪产品特点* 波长范围：900-2600 nm（11000–3800cm-1）* 高分辨率 4cm-1(0.6nm @1.0μm，0.95nm @1.55μm 1.6nm @2.0μm)* 高信噪比：30' 000:1（@8cm-1分辨率, 1 min积分时间）* 内置二级TE制冷探测器，高灵敏度* 光纤输入，灵活易用典型应用* 激光光谱测量* 近红外光谱分析* 材料检测* 矿物，宝石鉴定* 材料表征 型号FTNIR-L1-026-0TE FTNIR-L1-025-2TE 探测器扩展型非制冷 InGaAs 扩展型2级TE制冷 InGaAs 光谱范围0.9?2.6μm (11000?3850cm-1) 0.9?2.5μm (11000?4000cm-1) 干涉仪类型免校准的双Retro反射镜内置参考激光器全固态795nm激光器分辨率4 cm-1测量时间(Min)1 sec信噪比 (SNR) 30’000:1波数重复性20 PPM光纤输入接口SMA 905接头, 芯径可达1mm, NA=0.25通信接口USB 2.0供电7.5-12V (1-6W)软件Windows 7/10 software工作温度/湿度5 to 35℃ / non condensing储藏温度-10 to 60oC尺寸180 x 126 x 78 mm3重量1.7 KG 扫描微信，快速咨询

中图仪器SJ6000机床校准激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。测量原理SJ6000机床校准激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过SJ6000机床校准激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

SJ6000高灵敏度超精密激光干涉仪是利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。它集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。测量软件（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。SJ6000高灵敏度超精密激光干涉仪在机床加工领域有着广泛的应用。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

KALEO 多波长激光干涉仪模块姓名：沈工(Max)电话：（微信同号）邮箱：【KALEO 多波长激光干涉仪模块简介】Kaleo多波长激光干涉仪是用于光学计量的模块化系统。 它由多种相互兼容的模块组合而成，可让用户搭建一个经济有效，体积紧凑且易于使用的完整光学测试系统。该系统可适应各种测量场景，确保从研发至生产等不同阶段样品的光学品质鉴定。该系统单次采集即可获得待测样品的所有光学特征，包括：波前像差，MTF，PSF等。【关于Phasics】Phasics是一家专注于高分辨率波前传感技术的法国公司。Phasics公司凭借其在测量方面的专业经验与独特的波前测量技术为客户提供全面的高性能波前传感器。 一、 KALEO 多波长激光干涉仪模块主要特点多功能性：覆盖从紫外到红外多个波段的独立解决方案及兼容模块强大独特的波前技术：兼顾高分辨率、高动态范围及纳米级相位灵敏度操作简易：系统紧凑且便于快速对准 非准直光入射 消色差 二、KALEO 多波长激光干涉仪模块应用光学元件及光学系统计量 适配各种应用的测试场景三、KALEO 多波长激光干涉仪模块选用指南可选波前传感器型号SID4 UV / SID4 / SID4-HR / SID4-SWIR / SID4 SWIR-HR / SID4-DWIRR-Cube光源可选波长 (nm)*365 / 405 / 530 / 625 / 740 / 780 / 810 / 850 / 940 / 1050 / 1550 / 3900可选光学镜头 (F值)*0.6 / 1 / 1.6 / 2.5 / 5 / 10可选扩束系统 – 出瞳有效口径(mm)*8 / 15 / 30 / 60 / 130 参考标准镜平面镜或球面镜*更多可选套件可单独定制

ZYGO新型VerifireHDX激光干涉仪是为超高精度的光学元件和系统设计和制造的，可以获得元件表面的中频特征信息。系统包含现有VerifireHD的所有功能-比如QPSI和长寿命稳频的激光器，并增加了重要的增强功能，如刷新行业水平的分辨率和成像能力，仪器传递函数（ITF）、出众的中频特征分析和大坡度表面测试，同时也兼具了ZYGODynaPhase® 系列动态采集技术，可以去除震动引起的问题并且能够在近乎任何环境中准确计量。特殊设计优化的分辨率和性能VerifireHDX激光干涉仪系统具有全新的光学设计，经过严格设计，可为其所配的3.4kx3.4k（1160万像素）传感器提供突破像素限制的性能，呈现增强的图像，可以显示出较低分辨率干涉仪难以辨识的表面特征。这种超高的空间分辨率不会以牺牲速度为代价，该系统在全分辨率下以帧率96Hz运行，比其它高分辨率干涉仪速度快10倍，那些由于采样速度较慢在采样的时候会引入震动误差从而测试能力受限。功率谱密度（PSD）和衍射分析工具完善了VerifireHDX激光干涉仪系统的中频特征分析能力，并通过简单直观的用户界面来分析和报告综合表面特性。光学面形测试下的中频特征分析高质量的参考光学元件和配件UltraFlat™ 和UltraSphere™ 超高精度透射平面和球面，面形可以达到λ/40PVr或更高，并且严格控制PSD特征进行制造，以*优化中频特征。推荐将这些高精度参考光学元件与VerifireHDX激光干涉仪一起配合使用，以完整实现和提升系统的性能。无论它们是被用于垂直构型还是水平构型，UltraFlat透射平板面形精度不变，从而在测试设置中提供更大的灵活性。超高精度平面和球面透射元件Mx™ 软件ZYGO自主设计研发的Mx™ 分析软件提供强大的操作功能和完整的数据分析功能，包括Zernike，斜率，PSD/MTF/PSF，棱镜角度，角锥以及更多。该软件集仪器控制，数据采集和分析软件包与一体，集成了制造过程控制，运行自动化和报告关键中频特征等工具包。软件操作界面简单，直观。它还包括了基于Python的脚本和远程控制接口，以实现更大的灵活性并集成到复杂的测试设置中。Mx软件，泽尼克分析结果ITF仪器传递函数-它是什么，为什么它是重要的很多年来，大家一直关注于光学元件表面的形状误差，但随着对光学系统性能需求的增加，控制中频特征（MSF）也变得同样重要。对于一些极高性能应用，需要严格控制MSF特性以减少光散射并提高光学效率。在校正形状误差方面非常有效的小工具确定性抛光技术也会将不期望得到的中频特征赋予光学表面。根据表面特性的频率和斜率，传统的干涉仪系统-非常适合测量表面形状-由于分辨率有限，无法测量和量化较高频率的表面特性。分辨率的缺失意味着更高的频率细节被过滤（见右图），并且在测量结果中可能根本不显示。这是仪器传输函数（ITF）的所在。激光干涉仪系统由于其自身的设计（光学设计，相机，波长）会衰减和过滤部分表面信息，决定了该系统的ITF（测量光学表面的空间频谱的能力）。VerifireHDX激光干涉仪系统具有高分辨率3.4kx3.4k传感器和优化的光学设计，具有比任何商业上可获得的干涉仪系统更高的ITF，使其成为可靠测量和量化光学表面中频特性的宝贵工具。这为光学设计师们提供了一种新能力，可以自信地指定光学表面到更高精度，并定义ITF测试要求来达到系统性能目标。用特殊设计的台阶板测量到的相位数据，台阶板上刻有密集的40nm台阶，按不同频率沿着径向发散变化。

UV-VIS高分辨率光谱仪 YSM-8102简介YSM-8102系列高分辨率光谱仪，采用高分辨率光机平台，仅有手掌大小的体积，却带来更高的分辨率。优化的光路设计使光学分辨率最高可至0.06nm。 用户通过选择不同的光栅配置可以获得不同的光学分辨率和光谱响应范围。 YSM-8102-02系列，采用滨松S11639线阵探测器，动态范围最大可至10000:1,积分时间最低可至0.5ms, 同时信噪比提高到600:1,适合于通用性光谱分析与检测，支持RS232/RS422通讯，增强了抗干扰性能，更适合应用于工业和科研领域。特点光学分辨率最高可至0.06nm手掌般大小的尺寸，操作简便交叉非对称C-T光路结构，干涉滤光片消二级衍射SMA905光纤接口，方便地通过光纤和其他设备连接可选择的波长范围和光学分辨率USB2.0数据传输和供电，支持RS232/RS422通信，支持多种触发方式软件功能强大，可自动计算峰值波长和带宽功能支持二次开发，支持OEM集成应用激光器中心波长、半高宽和稳定性测量LED测量LIBS应用太阳光谱测试荧光光谱测量颜色测量激光光谱测量典型数据标准汞灯光谱图（*不同光谱仪因为探测器和光学系统的差异，测量的汞灯光谱数据会有差异）技术参数

SJ6000国产激光干涉仪品牌集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。SJ6000国产激光干涉仪品牌结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。在测量机床领域，它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿SJ6000国产激光干涉仪品牌非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

皮米激光干涉仪 德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上，新推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似，IDS型号同样适用于端环境如高真空与高辐射环境并且具有高精度与高采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量，实时位移测量等。 德国计量院（PTB）对IDS3010激光干涉仪的精度进行了认证。值得指出，在0-3米的工作距离内， IDS激光干涉仪的的测量数据与德国计量院激光干涉仪数据完全一致。德国计量院的认证使得IDS激光干涉仪的测量数据满足德国标准，使得IDS更加理想的成为位移台鉴定与机器加工等领域的测量工具。IDS3010激光干涉仪主机尺寸与接口IDS3010激光干涉仪应用领域IDS3010充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要，可应用于长度测量、同步辐射、精密仪器、半导体工业以及显微镜。IDS3010激光干涉仪产品特点 + 设计紧凑（50mm x 55mm x 195mm），适合工业集成+ 工业化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面+ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz+ 环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度+ 校正简单，配备可见激光（650nm）用于校正测量激光（1530nm）+ 测量精度高，探测器分辨率高达1 pm设备选件光纤式激光探头 IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头（探头尺寸，光斑大小不同）。探头直径范围：1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。低工作温度：10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。激光探头技术参数表激光探头型号尺寸mm (直径与长)工作距离(低反射，高反射材料）激光类型（聚焦、准直） 光斑大小D1.2/F7Ф 1.2 7.55-9 mm30-45 mm聚焦，焦距7mm70μm@7mmD4/F8Ф 4 11.56-10 mm15-30 mm聚焦，焦距8mm70μm@8mmD4/F13Ф 4 11.511-15 mm30-45 mm聚焦，焦距13mm70μm@13mmD12/F2.8Ф 12 32.32.8 mm聚焦，焦距2.8mm2μm@2.8mmM12/C1.6Ф 14 17.40-1000 mm准直1.6mmM15.5/C1.6Ф 22 20.60-1000 mm准直1.6mmM12/C7.6Ф 14 49.30-5000 mm准直7.6mm应用案例■ IDS3010在航天飞行器形变检测上的应用德国卫星制造商OHB公司（德国OHB-System 是一家专门从事小卫星系统、分系统研制工作的企业,在小型商业卫星、小型研究卫星及相关分系统的研制、制造和操作方面具有丰富的经验）采用attocube的激光位移传感器IDS3010，对三代气象卫星（MTG）柔性组合成像仪进行了高真空光-热-力学模型试验。该试验包括在仪器的不同区域，并监控其后续光学元件相对位移测量哈特曼传感器。在真空环境中通过IDS3010激光干涉仪以小于1角秒的精度对平面基准相对位置的稳定性进行了一个多星期的持续测试。为了校准IDS3010不同探头之间的距离，需要进行初步测试（每个传感器探头与用于角度计算的距离，名义上为100 mm）。为此，平面参考镜的电动框架被用来产生任意角度的运动。这些角度是由IDS3010激光干涉仪和校准的自准直仪测量得到。IDS3010激光干涉仪在±720角秒范围内表现出良好的线性（0.1%），并且非常容易校准。再与MTG柔性组合成像仪对齐之后，即在Shack-Hartmann传感器和IDS3010传感器之间执行另一个交叉校准，以补偿IDS3010传感器相对于Shack-Hartmann传感器的时钟。三代气象卫星的柔性组合成像仪（MTG-FCI）的实验装置。紫色表示激光干涉仪组件：传感器探头支架和角角锥棱镜支架。以上信息由OHB System AG提供结果此次测量的目的是在一周多的时间内连续监测参考镜相对于卫星的稳定性，精度小于1角秒。使用如上所述attocube公司的激光干涉仪得到的测试得到角度精度甚至比一个角秒还要好。理论计算表明，其测试分辨率可以到达0.021角秒（等于5.8u°），但实际读数受试验装置振动的限制。■ IDS3010激光干涉仪在自动驾驶高分辨调频连续波（FMCW）雷达上的应用自动驾驶是目前汽车工业为前沿和火热的研究，而自动驾驶尤为重要的是需要可靠和高分辨率的距离测量雷达。德国弗劳恩霍夫高频物理和雷达技术研究所（Wachtberg，D）Nils Pohl教授和波鸿鲁尔大学（Bochum，D）的研究小组提出了一种全集成硅锗基调频连续波雷达传感器（FMCW），工作频率为224 GHz，调谐频率为52 GHz。通过使用德国attocube公司的皮米精度激光干涉仪FPS1010（新版本为IDS3010）证明了测量系统在-3.9μm至+2.8μm之间达到了-0.5-0.4μm的超高精度。这种全新的高精度雷达传感器将会应用于许多全新的汽车自动驾驶领域。图一 紧凑型FMCW传感器的照片图二 雷达测距示意图，左边为雷达，右边为移目标，attocube激光干涉仪用来标定测量结果参考文献S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).■ IDS3010激光干涉仪在半导体晶圆加工无轴承转台形变的测量上的应用半导体光刻系统中的晶圆轻量化移动结构的变形阻碍了高通量的半导体制造过程。为了补偿这些变形，需要的测量由光压产生的形变。来自理工大学荷兰Eindhoven University of Technology 的科学家设计了一个基于德国attocube干涉仪IDS3010的测量结构，以此来详细地研究因为光压而导致的形变特性。图一所示为测量装置示意图，测量装置由5 x 5 共计25个M12/F40激光探头组成的网格，以此来实现监测纳米的无轴承平面电机内部的移动器变形。实验的目的是通过对无轴承的平面的力分布进行适当的补偿，从而有效控制转台的变形。实验测得大形变量为544nm，小形变量为110nm（如图二所示）。图一 左侧5X5排列探头测量装置示意图，右图为实物图图二 无轴承磁悬浮机台形变量的测量结果，大形变量为544nm参考文献Measuring the Deformation of a Magnetically Levitated Plate displacement sensor.■ IDS3010在X射线成像中提高分辨率的应用在硬X射线成像中，每个探针平均扫描时间的减少对于因为束流造成的损伤是至关重要的。此外，系统的振动或漂移会严重影响系统的实时分辨率。而在结晶学等光学实验中，扫描时间主要取决于装置的稳定性。Attocube公司的皮米精度干涉仪FPS3010（升之后的型号为IDS3010），被用于优化由多层波带片（MZP）和基于MZP的压电样品扫描仪组成的实验装置的稳定性的测量。实验是在德国DESY Photon Science中心佩特拉III期同步加速器的P10光束线站上进行的。Attocube公司的激光干涉仪PFS3010用来检测样品校准电机引起的振动和冲击产生的串扰。基于这些测量，装置的成像分辨率被提高到了±10nm。 图一 实验得到的系统分辨率结果参考文献Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)■ IDS3010激光干涉仪在微小振动分析中的应用电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。全球研究机构苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙的利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上（doi:10.1038/nature25156）。研究人员通过测试了一种机械超材料的体，边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。德国attocube公司的激光干涉仪IDS3010被用于超声-空气转换器激励后的机械超材料振动分析。IDS3010能到探测到机械超材料不同位置的微小振动，以识别共振频率。终实现了11.2pm的系统误差，为声子四拓扑缘体的实验分析提供了有力的支持。图一 实验中对对机械超材料微小振动的频率分析参考文献Marc Serra-Garcia, et al. Nature volume 555, pages 342–345 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在快速机床校准的应用德国亚琛工业大学（Rwth Aachen University，长久以来被誉为“欧洲的麻省理工”）机床与生产工程实验室（WZL）生产计量与质量管理主任的研究人员利用IDS3010让机床自动校准成为可能，这将大的提高机床的加工精度和加工效率。研究人员通过将IDS3010皮米精度激光干涉仪和其他传感器集成到机床中，实现对机床的自动在线测量。这使得耗时、需要中断生产过程、安装和卸载校准设备的手动校准变得多余。研究人员建立了一个单轴装置的原型，利用IDS3010进行位置跟踪，其他传感器如CMOS相机被用来检测俯仰和偏摆。校准结果与常规校准系统的结果进行了比较：六个运动误差（位置、俯仰、偏摆、Y-直线度、Z-直线度）对这两个系统显示出良好的一致性，值得指出的是：使用IDS3010的总时间和成本显著降低。该装置演示了自动校准机床的个原型，而且自动程序减少了机器停机时间，从而通过保持相同的精度水平提高了生产率。参考文献Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在工业C-T断层扫描设备中的应用工业C-T断层扫描被广泛用于材料测试和工件尺寸表征。设计一个的锥束C-T系统的挑战之一是它的几何测量系统。近，瑞士联邦计量院（METAS）的科学家将德国attocube公司的IDS3010皮米精度激光干涉仪用于X射线源、样品和探测器之间的精密位移跟踪。实验共有八个轴用于位移跟踪。除了测量位移之外，该实验装置还能够实现样品台的角度误差分析。终实现了非线性度小于0.1μm，锥束稳定性在一小时内优于10ppb的高精度工业C-T。参考文献Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU■ IDS3010激光干涉仪在增材制造3D打印方面的应用微尺度选择性激光烧结（μ-SLS）是制造集成电路封装构件（如微控制器）的一种创新方法。在大多数的增材制造中需要微米量的精度控制，然而集成电路封装的生产尺寸只有几微米，并且需要比传统的增材制造方法有更小的公差。德克萨斯大学和NXP半导体公司开发了一种基于u-SLS技术的新型3D打印机，用于制造集成电路封装。该系统包括用于在烧结站和槽模涂布台之间传送工件的空气轴承线性导轨。由于该导轨对定位精度要求很高，所以采用德国attocube公司的皮米精度干涉仪IDS3010来进行位置的跟踪。参考文献Nilabh K. Roy, Chee S. Foong, Michael A. Cullinan: "Design of a Micro-scale Selective Laser Sintering System", 27th Annual International Solid Freeform Fabrication Symposium, At Austin, Texas, USA ■ IDS3010激光干涉仪在扫描荧光X射线显微镜中的应用在搭建具有纳米分辨率的X射线显微镜时，对于系统稳定性的要求提出了更高的要求。在整个过程中实验过程中，必须确保各个组件以及组件之间的热稳定性和机械稳定性。德国attocube的IDS3010激光干涉仪具有优异的稳定性和测量亚纳米位移的能力，表现出优异的性能。IDS3010在40小时内具有优于1.25nm的稳定性，并且在100赫兹带宽的受控环境中具有优于300pm的分辨率。因此，IDS3010是对所述X射线显微镜装置中使用的所有部件进行机械控制的不二选择，使得整个X射线显微镜实现了40nm的分辨率，而在数据收集所需的整个时间内系统稳定性优于45nm。参考文献Characterizing a scanning fluorescence X ray microscope made with the displacement sensor■ 皮米精度激光干涉仪IDS3010在相位调制器的精密调制和控制上的应用相位调制器是相干合成孔径望远镜中光束合成机构的关键部件。提高相位调制器的调制精度和控制带宽有助于提高合成孔径望远镜的成像分辨率。相位调制器运动信息包括俯仰角、方位角和轴向位移3个自由度。目前3个或者多个自由度的实时测量还处于发展阶段。同时实现多自由度测量更是少之又少。来自中国科学院光电技术研究所光束控制重点实验室的方国明课题组采用德国attocube system AG公司的三轴皮米精度激光干涉位移传感器IDS3010通过获取待测目标平面内3个不共线点的位移量，而3个不共线的点可确定平面的法线，基于平面法线的性可解，从而可以获得目标的3个自由度运动信息，包括方位角、俯仰角和轴向位移。成功实现了三自由度的同时实时测量。图示： 三自由度测量原理示意图■ 皮米精度位移测量激光干涉仪助力声子四拓扑缘体观测电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙地利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上。研究人员通过测试一种机械超材料的体、边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。图示：实验装置示意图参考文献Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)■ 激光干涉仪检测纳米精度位移台误差在实际生产中的存在可能导致损失以及客户对产品信心的丢失。光学传感器可以在质量检测中帮助减少误差产生提高成品率。attocube激光干涉仪是理想的可在各个领域提供高精度探测来减少误差的一种光学传感器。作为纳米精度位移台供应商的德国attocube公司，对位移台的精密移动的测量与鉴定是一个非常重要的任务。例如，下图左，ECS3030型号的线性位移台可在真空中进行位移。ECS3030位移台的行程是20mm。技术参数要求的是可重复精度小于50nm。利用attocube激光干涉仪对位移台上样品进行测量，位移台被程序控制来回往复移动1mm,在20mm的行程内在多个不同地点进行来回往复移动。测量结果如下图中所示。通过分析，左图中的数据提取的偏差值是13.2nm，下图右数据的直方图显示标准差是13nm。因此，位移台的可重复性技术指标是合格的。通过使用attocube激光干涉仪可以实施对于纳米精度位移台ECS3030的全自动测量。这已经是德国attocube公司对于位移台的质量检测手段。并且，这样一个简便与实用的传感器可以直接集成到生产线中去提供高产出的质量检测。■ 激光干涉仪组建高精度X射线显微镜同步辐射中心具有广泛的应用领域，生物科技（蛋白质结构），医学研究（微生物），工程研究（裂纹的变化观测），先进材料（纳米结构测量）等。以上应用需要高精度去驱动聚焦镜，样品，光学狭缝等物品（下图左），这样的机械结构需要减少热漂移与定位误差。德国attocube公司的激光干涉仪具备皮米精度分辨率，激光探头可在真空环境中使用，是同步辐射研究的良好选择。在现有激光探头中，标准激光探头M12是已经被证实可以在辐射环境中使用（大10MGy)。美国布鲁克海文实验室E. Nazaretski等人结合attocube激光干涉仪与纳米精度位移台搭建了X射线扫描成像显微镜（下图中）。通过attocube激光干涉仪作为实时检测与反馈位移台移动的工具，科学家实现了0.5nm的步进扫描（下图右）。并且，在真空环境中，系统的热漂移达到了2nm/h。综上所述，高精度的X射线显微镜可以实现纳米精度扫描成像，是实现硬X射线区域光学研究的有力工具。该显微镜使得X射线荧光光谱纳米精度成为了现实。参考文献E. Nazaretski , et.al. J. Synchrotron Rad. (2015). 22, 336–341 ■ 激光干涉仪无损探测轴承误差旋转物体的运动误差分析是高精度机械工程领域的一个主要兴趣之一。如果是高速旋转的转子，甚至1纳米的误差就会产生不想要的振动与运动误差。因此，纳米精度的运动误差监测是机械工程领域前沿的重要研究课题。一个主要的难题是：如何减小运动误差？为了减小误差，先需要测量误差。德国attocube公司的激光干涉仪可以提供一个无损，紧凑并且一插即用的解决方案。通常的线性位移测量需要一个平整的表面，而旋转运动的时候，遇到的是一个曲面（右图上）。attocube激光干涉仪测量的是一个直径为10mm的电动转子。由于attocube激光干涉仪的探头具有较大的容忍角度，激光探头很容易完成了校准并开始进行测量。转子转速为2160转每秒，两个激光探头对转子的运动误差进行了测量。右图下显示的为测量结果，红色实线为平均位置，而虚线显示了误差为5微米的两个圆环。黑色实现为实际测量数据。德国attocube公司的激光干涉仪软件使用界面友好，可提供亚纳米别的运动误差校正方案。即使是新用户，对于其激光干涉仪的使用也会很快熟悉。参考文献 Review of scientific instruments, 84, 035006 (2013) ■ 激光干涉仪校正低温非线性扫描通常扫描台在室温下扫描50微米 x 50微米的范围时候不会有显著的非线性效应。但是当在低温环境（4K或更低）中，压电陶瓷本身的性能发生变化，会产生下图右中的非线性扫描现象。通过德国attocube公司的激光干涉仪，可以在低温环境下使用激光探头对扫描台的扫描运动进行实时检测（高速扫描）。结合对扫描台的施加电压进行实时反馈控制，可解决低温下非线性扫描问题。测试数据■ 实验数据，皮米精度的稳定性图1 77mm长的腔在20个小时内的实验测量数据表明数据误差范围在55pm■ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz图2 样品移动速度2米/秒，移动范围1m发表文章1. Stability investigation of a cryo soft x-ray microscope by fiber interferometry Rev. Sci. Instrum. 91, 023701 (2020) 2. Vibration-heating in ADR Kevlar suspension systems James Tuttle et al 2020 IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 755 0120153. S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).4. Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)5. Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU6. Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)7. In situ contrast calibration to determine the height of individual diffusing nanoparticles in a tunable confinement S. Fringes et al. J. Appl. Phys. 119 024303 (2016)8. Interferometric characterization of rotation stages for X-Ray nanotomography T. Stankevi? et al. Rev. Sci. Instrum. 88 053703 (2017)9. Measurement of forces exerted by low-temperature plasmas on a plane surface T. Trottenberg and H. Kersten Plasma Sources Sci. Technol. 26 055011 (2017)10. Mesh-type acoustic vector sensor M. K. Zalalutdinov et al. J. Appl. Phys. 122 034504 (2017)11. Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)用户单位attocube公司产品以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定，在全球范围内有超过了130多位低温强磁场显微镜用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎.....国内部分用户北京大学中国科技大学中科院物理所中科院武汉数学物理所中科院上海应用技术物理研究所复旦大学清华大学南京大学中科院半导体所上海同步辐射中心北京理工大学哈尔滨工业大学中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……国外部分用户

激光干涉仪通用长度测量工具sj6000利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。动态测量应用基于时间的动态测量机器运动控制性能评价：1.运动控制器PID控制参数测试与设置2.高速运动后机器的稳定性测试与评价3.高性能运动控制器的微小步幅的测试振动监视1.扫描应用：用于定位精度不重要，但恒速对实现高质量成像非常关键的场合2.机床应用：典型应用包括要求刀具慢速、平稳轮廓运动的高质量表面精加工振动频率分析1.被测对象的振动频率分析2.FFT快速傅立叶变换分析基于距离的动态测量基于距离的动态测量，SJ6000激光干涉仪系统将沿着轴线“飞行"测量，即运动轴在不停顿的情况下以用户间隔进行数据采集。提供脉冲触发方式采集CT70正交触发盒可监控光栅、编码器、控制器等信号，配合SJ6000激光干涉仪，可实现脉冲触发启动采集和连续脉冲触发采集。适用于运动轴在不停顿的情况下，触发激光干涉仪按照间隔位置进行数据采集。产品特点1、激光干涉仪通用长度测量工具sj6000使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)；2、以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级；3、使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s；4、配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度；5、分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变。在机床领域中的应用激光干涉仪通用长度测量工具sj6000是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

一、GPI系列激光干涉测量仪，运用移相干涉原理，提供高精度的平面面形，球面面形，曲率半径，样品表面质量，传输波前的测量和分析。可应用于：1、平面和球面的面形检测2、平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差3、光学材料均匀性测量4、角锥角度和面形偏差测量5、精密盘片质量检验6、三平板绝对测量7、双球面绝对测量8、静态干涉条纹判断9、泽尼克多项式分析10、球面曲率半径测量二、GPI系列高精度激光干涉测量仪的主机为Fizeau型干涉仪，具有光学器件少，精度高，易于使用等特点。光源为低功率氨氖激光，光束扩展为1英寸（25mm）至 32英寸（810mm）直径，自干涉仪输出。安装在输出孔之前的标准透射器件将部分激光反射回干涉仪，形成参考波面。余下激光穿过透射器至样品。根据光束在样品表面直接反射或透射后再反射回主机，形成测量波面。根据参考波面和测量波面干涉产生的干涉条纹，可以测量样品的表面面形和传输波面质量，样品为平面或球面。如果为非平面和非球面，则需通过加装补偿片等手段进行测量。GPI系列干涉仪采用精密移相技术和高分辨率CCD接收器件（最高可达 2048 X 2048），配合功能强大的MetroPro?软件可以获得高精确性和高质量的测量结果，其平面样品 PV绝对精度优于λ/100 ！三、球面样品 PV绝对精度优于λ/140！并能模拟样品表面面形，包括鲜明的，可旋转的3D彩色图像，可选的剖面图以及各种统计数字结果等。同时，针对用户的各种样品、各种要求，可以通过提供各种精密可选附件，配合功能强大的MetroProTM软件，为用户提供完美的技术解决方案并获得满意的测量结果。四、GPI－XP系统最大的特点就是其功能强大的MetroProTM软件系统。使用互动的窗口显示，在屏幕上同时提供仪器控制，表面面形模拟，测量数据的统计分析等功能。测量数据可以存在磁盘上，或传输至其它计算机作进一步处理或统计分析。也可以使用彩色打印机打印出MetroProTM高质量的数据图像。 Mesa―平面度测量仪。 ZYGO公司专为精密机械加工件和薄型光学元件的平面度测量而设计的一种干步测量仪器，其测量对象是粗糙度为2.5μm(Ra)和平面面形误差150μm(Pa)以下的零件，测量样品直径可达Ф96mm。Mesa同样采用功能强大的MetroProTM软件，可在5秒钟内完成测量和分析，并向用户提供零件的三维面形图和各类测量数据。

瞬态(近红外)激光波前畸变检测干涉仪是将空间位相调制的共路剪切干涉技术与数字化波面高新计算技术相结合研制的新颖干涉系统，是浙江大学光电系现代光学仪器重点实验室、杨甬英等教授集多年基础、数年攻关完成的目前国内首台利用干涉方法仅需单幅干涉图就可以高分辨率检测各类高、低功率的脉冲激光、连续光波前畸变、检测各类高精度大口径精密表面的面形、动态检测各种流体的变化等。仪器抗噪、抗干扰性好特别适合于现场的实时检测。波前及面形的检测分辨率高，可高精度测量较大的波前畸变量，可以用于瞬态图象高速采集及检测。波前检测软件输出信息量丰富、可适用于不同波段的可见光、红外波段的检测。经权威单位与ZYGO干涉仪比对测试，近红外脉冲激光波前畸变检测的波前均方根已优于1/15波长。瞬态激光波前畸变检测干涉仪已达到国际先进、国内领先的先进水平。仪器技术指标：1、应用波长：从紫外、可见光至中远红外波段（波长可根据用户不同要求确定）；2、光束接收口径：F10mm ～用户任定口径；3、仪器精度及重复性：波前均方根优于1/15波长；4、测量范围：波前畸变检测量可达50 mm；5、可用于脉冲光、连续光、各类精密表面面形测量：测量脉冲激光的脉宽可达1ns；6、光学系统具有高激光损伤阈值；7、高分辨率数据采集系统:科学级CCD相机，空间分辨率至1024× 1024以上或用户定；8、仪器利用共路剪切干涉技术，抗振动性好,可放于任何工作台现场使用；9、光束波前诊断软件包：给出检测波前位相（可以是光束波前、面形或流体的形变等）的三维图形、等高图、波前畸变的PV 值、均方根值、波面梯度值等；给出表征光束能量分散度的Streh1比；光学系统象差的评价参数OTF和PSF；软件具有友好的图形工作界面，工作于Windows 2000以上平台，软件有各类数据图象及数据输出功能。应用范围：本仪器是动、静态皆可检测的系统，可应用于航空、航天、航海及国民经济诸多领域：1. 配备高速的CCD与图象转换系统，可以检测具有较大畸变、快速变化的气体折射率密度场、高速绕流流场，获取高速飞行体在各个瞬间状态的三维流场的相关参数。并且可以应用于流体显示技术、空气动力学方面的研究。2. 良好的抗振性特别适合于在车间、现场进行各类精密表面面形的分析测量、不同尺寸的光学元件、硅片、金属表面面形、非球面等各类元件的精密检测。3. 可以检测各类高能激光系统的静态、动态波前畸变，特别为1053nm的近红外脉冲波前检测提供一个高精度、高分辨率的检测结果。系统配备标准近红外光源，可以检测1053nm 波段的各类光学材料的透射特性参数。图2是系统软件输出界面。图3是已实际用于纳秒级高能脉冲波前检测的干涉图。图4是纳秒级高能脉冲波前重构的三维图。

DynaFiz激光干涉仪:在空气湍流和极端振动的环境下进行动态测量 DynaFiz激光干涉仪优化的光学系统提供了清晰可见的中间空间频率特征 LivePhase™ 软件可以进行实时Zernike分析 Movie模式获取随时间变化的波前 DynaFiz激光干涉仪高功率，长寿命稳频氦氖激光器。DynaFiz® 动态测量新型的ZYGODynaFiz® 激光干涉仪是特别设计为在有空气湍流和极端振动的环境中进行测量的光学计量的优化的光学仪器。DynaFiz® 光学系统的长寿命，高功率氦氖激光源具有高的光效率，使得相机的高速快门能够“凝固”振动。这种动态能力提供了在恶劣的环境中，传统的时间相移技术不可能实现的可靠的测量。DynaFiz® 干涉仪的低噪声，高分辨率相机和光学放大能力能够清晰地观察被测样品表面的中间空间频率特征。DynaFiz® 干涉仪具有独特的实时数据获取能力也给光学系统检测提供了便利。LivePhase™ 获取能力提供了实时Zernike反馈为光学系统的光路对准进行追踪。这是一个电影形式，把一系列动态图像连接成电影提供光学系统随时间变化的过程。采用具有独特性能的多功能的ZYGODynaFiz® 干涉仪将使你的计量得到较大的受益。只有从ZYGO你才能得到值得信赖的测量可靠性。

SJ6000中图高精度单频激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。高精度性能特点SJ6000中图高精度单频激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。SJ6000中图高精度单频激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。在机床领域的应用激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

仪器简介：ML10 Gold 高性能激光干涉仪是机床、三坐标测量机及其它定位装置精度校准用的高性能仪器。由于采用了独特的专利设计及最新的光电子技术，使ML10 Gold 激光干涉仪比市场上其它型号的激光干涉仪具有更高的性能和更先进的任选功能。ML10 Gold 激光干涉仪提供有进行机器位置、几何精度测量的全套光学器件。 ML10 Gold 激光测量系统所有功能都设计与Laser 10 软件配合使用。除了测量和分析诊断功能外，此软件包的标准配置还包括动态测量、旋转轴测量、双轴测量和电子水平仪及千分表程序接口模块。 该激光干涉仪系统由激光头ML10 Gold、环境监测补偿器EC10，计算机接口卡PC10* 或PCM20* 及高精度的光学器件组成。全部器件放在一个配小车的提箱内，一人便可携带全部系统赴异地进行机器精度检定，大大改善了激光干涉仪的便携性。 该激光干涉仪系统通过接口与IBM 兼容的PC 机（包括笔记本计算机）连接，在灵活、直观的软件控制下进行自动测量，既节省了测量时间，又避免了人为误差，并能按国际上通行的标准进行数据分析处理，如ISO230-2、JIS-B6330、VDI3441、VDI2617、ASME B89等并适用中国国家标准GB17421-2000等，以便于按不同标准进行机床精度的评定和比较。技术参数：1.线性测量分辨率: 0.001&mu m2.线性测量范围： 40m（或任选80m）3.线性测量精度: ± 0.7ppm4.最高测量速度： 60m/min5.长期稳频精度： ± 0.05ppm主要特点：ML10 Gold是全球最畅销的用于长度计量的激光干涉仪,其最大的优点是所有测量功能均采用激光干涉原理,性能稳定,使用可靠,功能扩展性强,价格适中.

产品简介sj6000国产激光干涉仪厂家中图仪器利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。它集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。sj6000国产激光干涉仪厂家中图仪器结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）sj6000国产激光干涉仪厂家中图仪器支持手动或自动进行环境补偿。测量软件（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿SJ6000激光干涉仪非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪 满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻机用激光干涉测量系统为基础， 在保留高稳定性、高精度、高采样速率卓越性能的同时， 将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里， 一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验； 典型频差7±0.5 MHz，测速高达2m/s。 系统组成： LH2000激光测头及附件 环境补偿单元 LaserLC测量软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪参数激光头尺寸330mm×110mm×95mm激光头重量3.3kg激光光束直径6mm激光功率 0.5mw真空波长632.99nm频差可定制 典型值7±0.5 MHz工作温度范围+10℃~+30℃储存温度范围+15℃~+45℃激光稳频精度±0.02ppm线性测量范围40m线性测量精度±0.1ppm(真空中)±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器)分辨率1nm测量速度2m/s工作电源220V/50Hz北京镭测科技有限公司为您提供镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪，镭测科技LH2000双频激光干涉仪产地为北京，属于国产激光干涉仪，更多激光干涉仪的参数、价格、型号、原理等信息欢迎您访问北京镭测科技有限公司官方网站。

仪器简介：Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4 m/s最大的测量速度和50 kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。 系统精度比原有的对应产品ML10激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到±0.5 ppm的精度。环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取，每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要，与Renishaw的ML10系统一样，所有测量值均采用稳定化的氦氖激光源的波长为单位，保证能够溯源至国际公认的长度标准。此新系统可以与现有的ML10系统光学镜组完全兼容，使目前全球成千上万的ML10用户能够升级到新系统，并同时保留其在光学镜组、程序和人员培训上的原有投资。 我们还提供已更新的Renishaw软件版本（LaserXL™ 及QuickViewXL™ ），能够以用户熟悉的、易于使用的格式提供数据。Laser XL™ 能够执行循序渐进式的测量，以方便对大多数机床按标准进行检验，QuickViewXL™ 软件能够在屏幕上实时地显示激光读数。您只要看一眼Renishaw的新型XL-80激光装置和XC-80补偿器，就会注意到它们比原有的ML10和EC10小了许多。现在，二者总重仅3公斤多一点（包括连接电缆、电源和传感器），比原来减轻了70%。当然，随着激光头和补偿器尺寸减小，其他系统组件，例如三脚架和云台也相应地减小以便相配，因此整个系统（除了三脚架）的装运箱减小了许多。现在，最小的“脚轮箱”只有原来箱子的一半大一点点，却可以携带整个线性和角度测量系统，并有放置Renishaw QC10球杆仪组件的位置。这个高度便携的“检查和修正”系统总重不到15公斤，同类产品无以匹敌。为了与系统的其他组件的便携性相匹配，我们设计了新型三脚架和装运箱，仅重6.2公斤。激光头和云台体积很小，能够方便地固定在标准磁性座上，可以在不方便使用三脚架固定的应用条件下使用。XL-80激光测量系统的光束高度和光学镜组尺寸与ML10系统一样，因此也可以直接放在花岗岩工作台（不使用三脚架云台）上，进行坐标测量机的校准。Renishaw已将激光的预热时间缩短至大约仅6分钟。预热速度较同类系统快，因此用户等待时间减少了，用于测量工作的几率增加了，这对于机器校准服务商和那些需要在一个地点执行多项测量的用户而言非常重要。现在，信号增益的开启和关闭是一项标准功能，使其具有80米线性测量距离的能力。若短距离应用时，则可以提高信号强度。配上多信号连接器以提供模拟信号输出以及激光直接到PC USB连接（不需要单独的接口），现在，XL-80激光头的配置包括了过去ML10机型的激光头上原为任选的所有功能。XL-80系统具有长达3年标准的全面保修，并可以以优惠的价格选购延长保修时间为5年。对于使用ML10的老用户和使用其他厂商制造的同类系统的新客户，我们均提供一些特别优惠政策。因此，您更有理由去联络Renishaw公司在全球各地的分公司和地区经销代理，让我们为您介绍选购XL-80作为升级或作为新系统所带来的好处。技术参数：系统精度:±0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:±0.05ppm分辨率:0.001 um最大测量速度:4.0m/sec最高采样频率:50KHz测量范围:0 - 80 metres预热时间更短:~6分钟主要特点：传承于畅销全球的ML10 Gold激光干涉仪,诞生于英国计量产品世家的又一惊世杰作,XL80激光干涉仪为业界提供了性能更为先进,应用更为广泛,更加轻巧便携的计量检测利器: 检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数) 采样频率从静态到每秒50000个数据点(仍以分辨率0.001 um记数) 测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量

中图仪器SJ6000国产单频激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。SJ6000国产单频激光干涉仪可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品特点精度高SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。功能广（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。软件强（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。SJ6000国产激光干涉仪直线导轨平行度平台平面度数控机床线性测量非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

RAMAN-11是由日本Nanophoton公司推出的新一代快速、高精度、面扫描激光拉曼彩色成像系统。作为三代Raman系统的RAMAN-11，则具备的快速、高分辨率成像的特点。相对于原来的传统而言，RAMAN-11的成像速度是其他常规Raman系统的300-600倍，一般在几分钟之内即可获取样品高分率的拉曼图像.是一款具有高速、高分辨率成像功能的拉曼显微镜。创新性技术--实现高速、高分辨率拉曼成像激光束扫描 &bull 高速扫描成为可能 &bull 利用光束扫描的无震动和无漂移特点，成像更为清晰多光谱同步测量 &bull 高速、高分辨率拉曼成像通过采用线形拉曼散射光获得， 每一条扫描线都含有400个立的光谱线形照明 &bull RAMAN-11采用线性照明，产生线形RAMAN散射光 &bull Nanophoton发展了一套特殊的光学系统，确保光强的均匀分布狭缝聚焦 &bull 共聚焦光学系统实现高分辨率拉曼成像 &bull 同一共聚焦光学系统用于快速拉曼成像 RAMAN-11系统应用案例快速区分单层与多层石墨烯激光源：532nm,物镜：100X，NA=0.9，光谱数：67，600（400*169）,测量时间：5分30秒通过RAMAN-11可以对不同层数的石墨烯快速成像。以350纳米的高空间分辨率，仅用5分钟的测量时间即可识别从单层到四层的石墨烯及其分布。更多信息......高灵敏度：Si四峰的测量 良好的共聚焦光学设计保证了对焦 外空气信号的高效抑制，并使弱的 硅四峰信号也能被探测到。 高分辨率：传统拉曼系统的5.7倍在100X物镜下，RAMAN-11 的激光斑点尺寸为：350nm*500nm,是传统拉曼的1/5.7，因此在同样的样品上可以得到更加详细的信息，能够为纳米尺寸下的物质鉴别、分布等分析提供更加准确的结果材料应力分布图像分辨率：320(x)× 400(y)=128,000 Spectra，成像时间：16分钟。通过RAMAN-11可以探测到晶体结构的扭曲，如硅材料等。硅的Raman峰位于520cm-1。硅单晶中由于应力的作用，会造成晶格结构的偏离与扭曲。左图通过测量Raman峰的偏离，进而给出了硅单晶表面应力的分布。更多信息......无损伤材料组分剖面分析图像分辨率：300(x)× 120(z)=36,000 Spectra，成像时间：8 分钟上图是通过RAMAN-11的无损探测技术，对多层膜进行的深度剖析。通过联用共聚焦光学系统与面扫描技术，可以成功地探测到深度图像。更多信息......超导材料中组分分布图像分辨率：265(x)× 400(y)=106,000 Spectra，成像时间：120分钟 左图是RAMAN-11探测到的超导样品中各种材料的分布：R: Gd123/a/b oriented；G: CeO2；B: Gd123；C: Gd123/underdoped；Y: NiFe2O4 更多信息......结晶度分析图像分辨率：320(x)× 400(y)=128,000 Spectra，成像时间：27分钟。上图表示由于离子的注入而导致的结晶度的变化。结晶度可以通过Raman峰宽来进行衡量，这是由于二者之间存在一定的关联。结晶度好的样品，其Raman峰比较细窄。更多信息......材料表面各种组分的分布图像分辨率：150(x)× 400(y)=60,000 Spectra；成像时间：5分钟。左图是Raman-11给出的皮肤上某种有机物质的分布图像；相比而言，常规的光学显微镜则没有这种能力（右图）。更多信息......药品组分分析图像分辨率：400(x)× 220(y)=88,000 Spectra，成像时间：11分钟。RAMAN-11以给出药品中，不同组分的分布图像。这些组分通常是以多晶的形式存在，通过RAMAN-11的无损探测技术，可以将这些组分和每种颗粒的大小确定下来。更多信息......

描述BIM-66系列高分辨率光谱仪采用高分辨率光机平台，较小的体积，非常方便携带。优化的光路设计使光学分辨率优化至0.05nm。用户通过选择不同的光栅配置可以获得不同的光学分辨率和光谱响应范围。BIM-6602A系列光纤光谱仪对电路进行了全新的升级，使动态范围增加到10000:1，最低积分时间为0.5ms，同时信噪比提高到600:1，更适合于微弱信号的检测，支持RS232/RS422通讯，增强抗干扰性能，更适合应用于工业和科研领域。特点● 交叉非对称C-T光路结构● 干涉滤光片消二级衍射● SMA905光纤接口，方便地通过光纤和其他设备连接● USB 2.0数据传输和供电● 支持RS232/RS422通信● 支持多种触发方式● 可选配增强型柱透镜● 自动读取峰值波长和带宽应用● 发射谱和吸收谱的测量● 激光中心波长和带宽测量● 透过率和吸收率的测量● 生物医学● 荧光检测 ● 激光光谱测试系统● 其他需要进行光谱测量的领域典型测试数据钠灯测试数据图技术参数型号BIM-6601A系列BIM-6602A系列尺寸140mm x 110mm x 46mm重量0.7 Kg探测器波长范围300nm - 1100nm180nm - 1100nm光学系统波长范围根据具体光栅决定光学分辨率0.006nm-0.6nm光纤连接器SMA905探测器TOSHIBA TCD1304 线阵 CCD2048线阵CCD像元3648个像元，每个像元14 μm×200 μm2048个像元，每个像元14 μm×200 μm信噪比300:1全光谱600:1全光谱线性度99%杂散光0.1% (600nm, 435nm)A/D 分辨率16 bit积分时间4ms-10s0.5ms-10s动态范围300:110000:1触发方式软件触发，硬件触发，同步触发功耗250 mA, 5 VDC环境温度 5℃ -35℃（推荐温度25℃）通讯接口USB2.0 (12Mbps)，RS232（115200bps）USB2.0 (12Mbps)RS232/RS422 (115200bps操作系统Win XP, Win7,Win8, Win10狭缝5,10, 25, 50,100 μm可选供电方式USBUSB 或 5VDC（RS232/RS422）订购列表BIM-6601A-09订购编号波长范围光栅刻线数@闪耀波长分辨率@狭缝BIM-6602A-01200nm-420nm1200g/mm@250nm~0.3nm@25μmBIM-6602A-02200-1000nm333g/mm@600nm ~0.6nm@5μmBIM-6602A-07300-770nm600g/mm@500nm~0.3nm@10μmBIM-6601A-09300nm-750nm600g/mm@500nm~0.25nm@5μmBIM-6601A-06355nm-495nm1760g/mm@500nm~0.1nm@10μmBIM-6601A-01400nm-620nm1200g/mm@500nm~0.3nm@25μm兼容产品描述型号石英光纤，芯径600um，长度1米BIM-6102-0610Y型光纤BIM-6104-070420氘卤光源BIM-620320-100W灯泡可换式钨灯光源BIM-6208钨灯光源, 含样品测试支架BIM-6201A辐射用积分球BIM-3001-03801反射用积分球BIM-3003-03001

SJ6000国产机床激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000国产机床激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）SJ6000国产机床激光干涉仪具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。软件特点（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。激光干涉仪测量机床直角如机器轴垂直度误差测量（数控机床、坐标测量机等），SJ6000激光干涉仪垂直度测量是通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度，即在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。典型情况下对于1.5米长的机器轴，像使用激光干涉仪这样的光学方法是好选择，因为传统的实物基准，如直角尺（金属或大理石等）的长度一般局限于1米的范围内。激光干涉仪对数控机床进行螺距误差补偿数控机床机械误差补偿包含记忆式相对位置补偿（jue对值）与记忆式螺距误差补偿（增量值）两种，三菱和法那科系统就是增量值补偿的代表之一。当采用激光干涉仪进行增量值补偿时，会遇到数据怎么对应补偿点位置的问题。增量值补偿时有几个重要参数：参考点：参考点也就是基准点。zui负端：设定zui靠近负端的补偿数据编号。zui正端：设定zui靠近正端的补偿数据编号。补偿倍率：写入机床系统补偿量的生效倍率。补偿间隔：机床补偿校准时的补偿间距。部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

干涉仪通常，我们不容易直接观测到1微米量级的动态现象的，此时，我们会选择光学干涉仪进行观测。例如，测量光学镜头的面精度的干涉仪，精密测量距离或位移的测长仪，需要精密测量位移变化的速度计或振动仪等，都是利用了光学干涉原理的典型仪器。市场上销售的大部分干涉测量装置是由光学干涉部分和信号解析部分组成的。 采用先进的电信号处理技术，可以同时实现高分辨率和很宽的测量范围。 但是，我们这里介绍的光学干涉装置，并不包含干涉条纹的电信号处理内容，我们重点介绍了其光学部分。因此，虽然其可观测的范围有限，但足以进行干涉计测的基础实验和理论验证。 业务范围l 通用干涉仪，如迈克尔逊干涉仪、马赫曾德干涉仪、斐索干涉仪等；l 集成光学干涉系统；l 流体可视化光学系统；l 干涉仪组件l 干涉仪相关组件接受订制特点分辨率小于1微米非接触（非破坏）测量面（2维）测量应用实例面精度测量测长仪速度计／振动仪

详细信息一、产品简介激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。SJ6800高精度激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。SJ6800激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6800激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。二、产品配置SJ6800激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。▲主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。三、产品功能特点精度高SJ6800激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。功能广可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；可实现对机床回转轴的测量与校准；可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；支持手动或自动进行环境补偿。软件强友好的人机界面；丰富的应用功能模块；向导式的操作流程；简洁化的记录管理；支持中文、英文和俄文界面；支持企业专属模板定制。

Phasics高分辨率紫外波前传感器/波前分析仪SID4-UV-HR产品负责人：姓名：沈工(Max)电话：（微信同号）邮箱：【Phasics高分辨率紫外波前传感器/波前分析仪SID4-UV-HR简介】随着光波波前探测技术的发展，各种波前传感器应运而生。从测量原理上可以分成两类：一类是根据几何光学原理，测定波前几何像差或面型误差，主要有Shack－Hartmann 波前传感器，曲率传感器和Pyramid 波前传感器等；另一类是基于干涉测量原理，探测波前不同部分的干涉性，来获取波前信息，主要有剪切干涉仪波前传感器和相位获取传感器等。剪切干涉仪波前传感器不需要精确的参考标准镜 它们结构简单，抗干扰能力强，条纹稳定。它是测量光学元件和光束波前质量的一种很好的替代传统干涉仪的方法。作为低可至波长250 nm的高分辨率波前传感器，Phasics高分辨率紫外波前传感器/波前分析仪SID4-UV-HR非常适合于紫外光学测量，包括用于光刻或半导体应用紫外激光表征，以及透镜和晶圆的表面面型检测。【关于Phasics】Phasics是一家专注于高分辨率波前传感技术的法国公司。Phasics公司凭借其在测量方面的专业经验与独特的波前测量技术为客户提供全面的高性能波前传感器。 一、Phasics高分辨率紫外波前传感器/ 波前分析仪SID4-UV-HR主要特点低至190nm波长感光灵敏1 nm RMS高相位灵敏度355 x 280超高相位取样分辨率二、SID4-UV-HR 波前传感器产品功能波前像差测量基于四波剪切技术，Phasics 的波前传感器同时提供具有无与伦比的高分辨率的相位和强度测量。 波前传感器与其光束分析软件相结合，可提供完整的激光诊断：波前像差、强度分布、激光光束质量参数（M2、束腰尺寸和位置等）。Phasics 的波前分析仪可以放置在光学装置的任何一点，无论光束是准直的还是发散的。作为低可至波长250 nm的高分辨率波前传感器，SID4-UV非常适合于紫外光学测量，包括用于光刻或半导体应用紫外激光表征，以及透镜和晶圆的表面面型检测。 三、Phasics高分辨率紫外波前传感器/波前分析仪SID4-UV-HR应用领域紫外光学测量| 光刻或半导体应用紫外激光表征| 透镜和晶圆的表面面型检测| 自适应光学四、Phasics高分辨率紫外波前传感器/波前分析仪SID4-UV-HR主要规格波长范围190 - 400 nm靶面尺寸13.8 x 10.88 mm2空间分辨率38.88 μm取样分辨率355 x 280相位分辨率1 nm RMS绝对精度10 nm RMS取样速度30 fps实时处理速度 3 fps (全分辨率下)*接口种类CameraLink五、更多参数选型

1.产品简介激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。2.产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。二.工作原理激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。三.产品功能特点◆精度高SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。◆功能广●可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；●可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；●可实现龙门机床双轴同步测量；●可实现对机床回转轴的测量与校准；●可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；●具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；●支持手动或自动进行环境补偿。◆软件强●友好的人机界面；●丰富的应用功能模块；●向导式的操作流程；●简洁化的记录管理；●支持中文、英文和俄文界面；●支持企业专属模板定制。

仪器简介：Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4 m/s最大的测量速度和50 kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下，系统准确性可达到± 0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。 系统精度比原有的对应产品ML10激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到± 0.5 ppm的精度。环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取，每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要，与Renishaw的ML10系统一样，所有测量值均采用稳定化的氦氖激光源的波长为单位，保证能够溯源至国际公认的长度标准。 此新系统可以与现有的ML10系统光学镜组完全兼容，使目前全球成千上万的ML10用户能够升级到新系统，并同时保留其在光学镜组、程序和人员培训上的原有投资。 我们还提供已更新的Renishaw软件版本（LaserXL&trade 及QuickViewXL&trade ），能够以用户熟悉的、易于使用的格式提供数据。Laser XL&trade 能够执行循序渐进式的测量，以方便对大多数机床按标准进行检验，QuickViewXL&trade 软件能够在屏幕上实时地显示激光读数。 您只要看一眼Renishaw的新型XL-80激光装置和XC-80补偿器，就会注意到它们比原有的ML10和EC10小了许多。现在，二者总重仅3公斤多一点（包括连接电缆、电源和传感器），比原来减轻了70%。当然，随着激光头和补偿器尺寸减小，其他系统组件，例如三脚架和云台也相应地减小以便相配，因此整个系统（除了三脚架）的装运箱减小了许多。现在，最小的&ldquo 脚轮箱&rdquo 只有原来箱子的一半大一点点，却可以携带整个线性和角度测量系统，并有放置Renishaw QC10球杆仪组件的位置。这个高度便携的&ldquo 检查和修正&rdquo 系统总重不到15公斤，同类产品无以匹敌。 为了与系统的其他组件的便携性相匹配，我们设计了新型三脚架和装运箱，仅重6.2公斤。 激光头和云台体积很小，能够方便地固定在标准磁性座上，可以在不方便使用三脚架固定的应用条件下使用。XL-80激光测量系统的光束高度和光学镜组尺寸与ML10系统一样，因此也可以直接放在花岗岩工作台（不使用三脚架云台）上，进行坐标测量机的校准。 Renishaw已将激光的预热时间缩短至大约仅6分钟。预热速度较同类系统快，因此用户等待时间减少了，用于测量工作的几率增加了，这对于机器校准服务商和那些需要在一个地点执行多项测量的用户而言非常重要。 现在，信号增益的开启和关闭是一项标准功能，使其具有80米线性测量距离的能力。若短距离应用时，则可以提高信号强度。配上多信号连接器以提供模拟信号输出以及激光直接到PC USB连接（不需要单独的接口），现在，XL-80激光头的配置包括了过去ML10机型的激光头上原为任选的所有功能。 XL-80系统具有长达3年标准的全面保修，并可以以优惠的价格选购延长保修时间为5年。对于使用ML10的老用户和使用其他厂商制造的同类系统的新客户，我们均提供一些特别优惠政策。因此，您更有理由去联络Renishaw公司在全球各地的分公司和地区经销代理，让我们为您介绍选购XL-80作为升级或作为新系统所带来的好处。技术参数：XL80:系统精度: ± 0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:± 0.05ppm 分辨率:0.001 um 最大测量速度:4.0m/sec 最高采样频率:50KHz 测量范围: 0 - 80 metres 预热时间更短:~6分钟XL30:系统精度: ± 1ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:± 0.1ppm 分辨率:0.01 um 最大测量速度:4.0m/sec 最高采样频率:5KHz 测量范围: 0 - 30 metres 预热时间更短:~6分钟主要特点：传承于畅销全球的ML10 Gold激光干涉仪,诞生于英国计量产品世家的又一惊世杰作,XL80激光干涉仪为业界提供了性能更为先进,应用更为广泛,更加轻巧便携的计量检测利器: 检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数) 采样频率从静态到每秒50000个数据点(仍以分辨率0.001 um记数) 测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量

XL-80的主要优点Renishaw设计、制造和供应激光系统已有二十多年的历史。XL－80是这些设计和制造丰富经验的结晶，具有真正领先的系统性能和操作优点。 便携性和易用性XL-80激光和XC－80补偿器体积小巧，一套完整的线性测量系统装在一个&ldquo 便携箱&rdquo 中，重量仅12公斤。再加一个三脚架（装入尼龙拉链携带箱中），您就有了一个真正便携的机器测量方案。激光和补偿器均可通过USB与PC机连接，因此无需单独的接口，也无需担心复杂的设定。 精度和动态性能精确稳定的激光源和准确的环境补偿，保证了± 0.5 ppm的线性测量精度。读数以50 kHZ频率读取，最高线性测量速度可达4 m/s，即使在最高速度下线性分辨率仍可达1 nm。所有测量选项（不仅是线性）都采用干涉仪测量，使您对记录数据的精度有信心。 使用方便XL-80设定和使用快速简便，减少了等待时间，增加了用于测量的时间，同时保留了纯粹干涉测量系统精度高的优点。 全面信心优质的设计。不管测量的是微米还是纳米，最先进的设施和质量保证都极为重要。标准的三年保修期和全球支持网络体现了我们对您的承诺。顶部激光校验机器的优点提高机器的正常运行时间不管使用哪种机器或运动系统，在开始切削或加工材料或测量部件之前，您都需要知道设备运行是否正常。 您可以了解机器定位性能的每个特性随时间发生变化的详细情形，预测某特定机器何时需要维修并预先建立应急计划。提告机器性能通过有针对性的维护和误差补偿，Renishaw的性能测量设备可确实提升机器的性能。增强对机器或加工能力的了解使用适合工作要求的机器 &mdash 把工作安排给能够达到公差要求的机器，确保机器适合工作要求并且废品率较低。证明机器性能当客户需要对您的机器质量或工艺树立信心时，校准曲线和定期性能评估结果将是最好的证明。它们能够赋予您宝贵的竞争优势，使您领先于那些没有进行这些测试的制造商。符合质量保证规程和标准ISO 9000系列质量标准要求采用公认的、可溯源的系统和方法对生产和检测设备进行校准、监视和控制。提供专业的维护服务高质量的售后服务不可或缺。在用户现场使用与系统原始制造商在其工厂内使用的相同校准工具进行校准，这是使机器恢复为制造商原始规格的最佳方法。

描述高分辨率光谱仪采用高分辨率光机平台，手掌大小的体积，却带来更高的分辨率。优化的光路设计使光学分辨率最高可至0.06nm。用户通过选择不同的光栅配置可以获得不同的光学分辨率和光谱响应范围。其中BIM-6602A系列采用全新升级的电路，使动态范围最大可至10000:1，积分时间最低可至0.5ms，同时信噪比提高到600:1，适合于通用性光谱分析与检测，支持RS232/RS422通讯，增强抗干扰性能，更适合应用于工业和科研领域。特点手掌大小的尺寸，操作简便交叉非对称C-T 光路结构，干涉滤光片消二级衍射SMA905 光纤接口，方便地通过光纤和其他设备连接可选择的波长范围和光学分辨率USB 2.0 数据传输和供电，支持RS232/RS422通信，支持多种触发方式软件功能强大，具备自动计算峰值波长和带宽功能支持二次开发，支持集成装配应用发射谱和吸收谱的测量透过率和吸收率的测量　LED应用太阳能光谱测试荧光检测颜色测量激光光谱测试系统其它需要进行光谱测量的领域技术参数型号BIM-6601ABIM-6602A尺寸140mm x 110mm x 46mm140mm x 110mm x 46mm重量0.7 Kg0.7 Kg波长范围315nm - 1100nm可选180nm - 1100nm可选光学分辨率可优化至~0.06nm可优化至~0.06nm光纤连接器SMA905SMA905探测器TOSHIBA TCD1304线阵CCD滨松S11639线阵CMOS像元3648个像元，每个像元8μm ×200 μm2048个像元，每个像元14 μm×200 μm信噪比300:1全光谱600:1全光谱线性度99%99%杂散光0.1% (600nm, 435nm)0.1% (600nm, 435nm)A/D 分辨率16 bit16 bit积分时间4ms - 10s0.5ms - 10s动态范围300:110000:1触发方式软件触发，硬件触发，同步触发软件触发，硬件触发，同步触发功耗250 mA, 5 VDC250 mA, 5 VDC环境温度 （推荐温度）5℃ -35℃（推荐温度25℃）5℃ -35℃（推荐温度25℃）通讯接口USB2.0（12Mbps）RS232（115200bps）USB2.0（12Mbps）RS232（115200bps）操作系统Win XP, Win7,Win8, Win10Win XP, Win7,Win8, Win10供电方式USB或5VDCUSB或5VDCBIM-6601A系列型号列表型号波长范围子型号分辨率狭缝光栅滤光片柱透镜BIM-6601A-01400-620nmS03L00F00G10～0.3nm25μm1200g/mm，500nm----BIM-6601A-02890-990nmS02L00F08G08～0.1nm10μm1760g/mm，500nmF08--BIM-6601A-031005-1080nmS02L00F08G08～0.1nm10μm1760g/mm，500nmF08--BIM-6601A-04750-870nmS02L00F08G08～0.1nm10μm1760g/mm，500nmF08--BIM-6601A-05900-1090nmS02L00F08G27～0.2nm10μm1200g/mm，1000nmF08--BIM-6601A-06355-495nmS02L00F00G08～0.1nm10μm1760g/mm，500nm----BIM-6601A-07510-650nmS02L00F00G08～0.1nm10μm1760g/mm，500nm----BIM-6601A-08900-1000nmS01L00F08G08～0.1nm5μm1760g/mm，500nmF08--BIM-6601A-09300-750nmS01L00F00G25～0.25nm5μm600g/mm，500nm----BIM-6601A-10445-655nmS01L00F00G10～0.2nm5μm1200g/mm，500nm----BIM-6601A-11697-1137nmS01L00F08G28～0.3nm5μm600g/mm，1000nmF08--BIM-6601A-12725-845nmS02L00F08G08～0.1nm10μm1760g/mm，500nmF08--BIM-6601A-13810-1095nmS01L00F08G29～0.2nm5μm900g/mm，800nmF08--BIM-6601A-14380-482nmS01L00F00G30～0.06nm5μm2400g/mm，300nm----BIM-6601A-15360-460nmS01L00F00G30～0.07nm5μm2400g/mm，300nm----BIM-6601A-16510-605nmS01L00F00G30～0.07nm5μm2400g/mm，300nm----BIM-6601A-17800-1000nmS01L01F08G27～0.1nm5μm1200g/mm，1000nmF08L01*可定制其它波长范围与分辨率*部分型号可加装柱透镜，以提升光谱仪的灵敏度BIM-6602A系列型号列表型号波长范围子型号分辨率狭缝光栅滤光片柱透镜BIM-6602A-01200-420nmS03L00F00G14～0.3nm25μm1200g/mm，250nm----BIM-6602A-02200-1000nmS01L00F06G11～0.6nm5μm333g/mm，600nmF06--BIM-6602A-03380-900nmS02L00F05G12～0.4nm10μm500g/mm，560nmF05--BIM-6602A-04305-595nmS02L00F00G23～0.3nm10μm900g/mm，550nm----BIM-6602A-05900-1000nmS02L00F08G08～0.1nm10μm1760g/mm，500nmF08--S02L01F08G08～0.1nm10μm1760g/mm，500nmF08L01S03L01F08G08～0.3nm25μm1760g/mm，500nmF08L01BIM-6602A-06600-1100nmS01L00F08G26～0.3nm5μm500g/mm，770nmF08--BIM-6602A-07330-770nmS02L00F05G25～0.3nm10μm600g/mm，500nmF05--BIM-6602A-08500-720nmS02L00F00G10～0.2nm10μm1200g/mm，500nm----BIM-6602A-09800-1000nmS01L01F08G27～0.2nm5μm1200g/mm，1000nmF08L01BIM-6602A-10250-400nmS02L00F00G08～0.1nm10μm1760g/mm，500nm----BIM-6602A-11390-610nmS02L00F00G10～0.2nm10μm1200g/mm，500nm----BIM-6602A-12300-1100nmS01L00F06G11～0.6nm5μm333g/mm，600nmF06--BIM-6602A-13340-850nmS02L00F05G12～0.5nm10μm500g/mm，560nmF05--BIM-6602A-14795-905nmS01L01F08G08～0.1nm5μm1760g/mm，500nmF08L01BIM-6602A-151005-1080nmS02L01F08G08～0.1nm10μm1760g/mm，500nmF08L01BIM-6602A-16750-870nmS02L00F08G08～0.1nm10μm1760g/mm，500nmF08--BIM-6602A-17250-350nmS02L00F00G30～0.1nm10μm2400g/mm，300nm----BIM-6602A-18350-450nmS02L00F00G30～0.1nm10μm2400g/mm，300nm----BIM-6602A-19660-734nmS01L01F08G30～0.1nm5μm2400g/mm，300nmF08L01*可定制其它波长范围与分辨率*部分型号可加装柱透镜，以提升光谱仪的灵敏度外形尺寸图包装清单光谱仪1台，USB数据线1根，U盘1个（含软件、使用手册），定标报告1份，手提箱1只。推荐搭配氘卤光源石英光纤