高真空原子力显微镜

美国Anasys公司的AFM+可以提供全面的原子力显微功能，具有强大的分析能力，使得AFM不仅仅是一个普通的成像工具，还可以进行材料纳米级尺度的成分分析，热性能和机械性能的分析。AFM+的主要特点：简洁的安装与操作 □ AFM+为最便利的使用而设计制造。探针预装在金属圆片上，确保探针位置的准确性和装针的便捷□ 仪器集几十年AFM设计大师的经验之大成，即使初次使用也能快速获取结果完整的AFM工作模式 □ 包含所有常规成像模式：接触、轻敲、相位、侧向力、力调制、力曲线□ 独有高分辨率低噪音的闭环成像□ 基于DI传承的多功能AFM，实现纳米热学，力学，电学和磁学测量：l 纳米热分析模块（nanoTA, SThM）l 洛仑兹接触共振模块（LCR）l 导电原子力显微镜镜（CAFM）l 开尔文电势显微镜（KPFM）l 磁力显微镜（MFM）l 静电力显微镜（EFM）独有的可升级功能□ 热学性能：独有的热探针技术，提供纳米级红外分析□ 机械性能：洛伦兹接触共振模式能够提供宽频纳米机械分析□ 化学性能：可升级具有纳米红外光谱技术，实现局部化学组分分析□ 近场成像：可升级具有散射式近场光学成像和光谱采集功能

Nanowizard V 第五代生物型原子力显微镜（BioAFM最新一代产品充满各种创新 25年引领生物原子力显微镜技术的研发和创新 全球超过1000家用户的广泛认可8500多篇在生物学领域具有影响的文章 拥有专注于高清晰成像和其它应用的探针研发支持丰富的功能为实现科学研究突破铺平了道路：PeakForce-QI, PeakForce Tapping, PeakForce QNM, QI 单分子力谱技术 单细胞力谱技术 DirectOverlay 2实现AFM与先进光学技术的绝佳整合 全新V8软件 新的ExperimentPlanner和ExperimentControl功能 高数值孔径显微镜整合，多维度环境控制等各类高级整合方案完美的性能，更高的效率 NanoWizardV 诠释了BioAFM的美好未来 无与伦比的易用性 高速成像可用于捕捉动力学过程以及提高实验效率 自动化、高分辨成像

用于故障分析与敏感材料研究的高真空原子力显微镜Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比，高真空测量具有准确度高、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点，因此用户可测量各种故障分析应用中许多信号响应，例如扫描扩散电阻显微术(SSRM)的掺杂物浓度。Park NX-Hivac使得真空环境中高精准度和高分辨率测量的材料科学研究远离氧气与其它药剂的影响。在高真空条件下执行扫描扩散电阻显微镜测量可减少所需的针尖-样本相互作用力，从而大幅度降低对样本和针尖的损伤。如此可延长各针尖的使用寿命，使扫描更加低成本和便捷，并通过提高空间分辨率和信噪比得到更为精准的结果。因此，利用NX-Hivac进行的高真空扫描扩散电阻显微术测量可谓是故障分析工程师增加其吞吐量、减少成本和提高准确性的明智选择。Park Hivac 管理器NX-Hivac 真空自动控制Hivac 管理器通过一键单击在逻辑和视觉上精细控制真空条件，在抽气和排气过程来实现高真空。各个过程通过颜色和图示变化得到直观监控，一键单击后您即可无需操心真空操作顺序。更快速、更简便的真空控制软件使原子力显微镜的使用更便捷更有效。自动化特点NX-Hivac具有大量功能从而能够大大减少用户输入。换言之，您可以更快速地扫描，提高实验室产量。配备电控载物台的StepScan 自动化扫描StepScan允许用户能够对器件进行编程从实现而快速便捷地多区域成像。NX-Hivac让您只需五步即可完成样本扫描：扫描、提升悬臂、移动电动平台至用户定义坐标区域、进针及重复扫描。如此可有效提高生产率，大大减少用户输入。电动激光对准Park电动激光对准使用户无需输入即可无缝衔接自动化测量例程。凭借着我们专有的预准直悬臂架，在更换探针时激光已对准悬臂。只需要调整定位旋钮，便可在X和Y轴上任意定位激光光点，达到准确位置。提高精度和生产率NX-Hivac既是业界精准的高性能原子力显微镜，同时也是用于故障分析的简便的原子力显微镜之一。Park NX-Hivac帮您可以提高自己的生产效率，并确保取得靠谱的结果。闭环XY和Z轴扫描仪利用两个独立的闭环XY和Z轴挠曲扫描仪，您可以确信扫描的高精准度。NX-Hivac提供低残余弯曲的平面和正交XY轴扫描，使得整个扫描范围内的离面运动距离低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色还有非线性为低于0.5%的15 μm扫描范围的高速Z轴扫描仪，无需进行软件后期处理即可获得精准的二维和三位测量。低噪声XYZ轴位置传感器NX-Hivac具有Park原子力显微镜行业领跑的低噪声Z轴探测器功能，可准确测量样本形貌，同时低噪声XY轴闭环扫描将前后扫描间隙降低至扫描范围的0.15%。24位数字电子控制器NX-Hivac的一大特点是NX系列电子控制器可在节省时间同时实现高精度扫描。我们的控制器为全数字、24位高速器件，用户能够利用其执行一系列扫描，包括我们的真正非接触（True Non-Contact）模式。控制器具有低噪声设计和高速处理部件，是精密电压和电流测量及纳米级成像的理想之选。嵌入式电子产品同时具有数字信号处理特点，用户可轻松地分析测量值和成像。参数扫描器Z扫描器XY扫描器柔性引导高推动力扫描器扫描范围: 15 µ m (可选 30 µ m)高度信号噪声等级: 30 pm0.5 kHz bandwidth, rms (typical)闭环控制的柔性引导XY扫描器扫描范围: 100 µ m × 100 µ m(可选50 µ m × 50 µ m)驱动台Z位移台行程范围 聚焦样品台行程范围 XY位移台行程范围 24 mm (Motorized)11 mm (Motorized)22 mm x 22 mm (Motorized)样品架样品大小样品重量尺寸上限为 50 mm x 50 mm, 厚度甚至可达 20 mm 500 g光学10倍长工作距离镜头样品表面和悬臂的直观同轴影像视野CCD840 × 630 µ m (带10倍物镜)5 M pixel物理信息内真空室外部真空 (including granite & pump)300 mm x 420 mm x 320 mm800 mm x 950 mm x 1240 mm高真空真空等级托泵速通常小于 1 x 10-5 torr使用涡轮和干式泵在约5分钟内达到 10-5 torr软件SmartScan&trade XEI真空管理器AFM系统控制和数据采集软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的使用和更精密的扫描控制AFM数据分析软件自动真空控制软件电子集成功能外部信号接入4通道灵活的数字锁相放大器弹簧常数校准（热法，可选）数字Q控制20个嵌入式信号输入/输出端口5个TTL输出 : EOF、EOL、EOP、调制和交流偏置AFM模式(*Optionally available)标准成像力值测试介电/压电特性真正非接触原子力显微镜PinPoint&trade 原子力显微镜接触式原子力显微镜侧向力原子力显微镜(LFM)相位成像轻敲式原子力显微镜力距离(F/d)光谱力体积成像静电力显微镜 (EFM)动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)压电响应力显微镜 (PFM)高压PFM*机械性能磁学特性*电学特性力调制显微镜 (FMM)纳米压痕*纳米刻蚀*高压纳米刻蚀*纳米操纵*磁力显微镜(MFM)导电原子力显微镜(C-AFM)*电流-电压分光谱*开尔文探针力显微镜 (KPFM)扫描电容显微镜 (SCM)*扫描扩展电阻显微镜 (SSRM)*扫描隧道显微镜 (STM)*

Park NX-Hivac型高真空原子力显微镜 NX-Hivac 型真空原子力显微镜是主要用为对气氛与水敏感材料研究专门设计的一款高真空原子力显微镜。NX-Hivac同样是一款全自动的原子力显微镜系统，扫描分辨率达到了0.02nm，集成了Park公司专利技术“非接触式工作模式”“智能扫描模式”“基于压电陶瓷堆积技术的平板扫描器”，并标配快速扫描模式，变速扫描模式，加上可选功能模块，使得NX-Hivac型原子力显微镜被广泛用于物理，电学，力学，半导体等方向的研究。Park NX-Hivac型真空原子力显微镜技术特色：1）真空度高，达10-4Pa，抽真空速度快,5min内达到10-5Torr以下2） 在高真空条件下执行扫描扩散电阻显微镜测量可减少所需的针尖-样本相互作用力，从而大幅度降低对样本和针尖的损伤。如此可延长各针尖的使用寿命，使扫描更加低成本和便捷，并通过提高空间分辨率和信噪比得到更为精确的结果。因此，利用NX-Hivac进行的高真空扫描扩散电阻显微术测量可谓是故障分析工程师增加其吞吐量、减少成本和提高准确性的明智选择。3）NX-Hivac 真空自动控制Hivac 管理器通过一键单击在逻辑和视觉上控制最佳真空条件抽气和排气过程来实现高真空。各个过程通过颜色和图示变化得到直观监控，一键单击后您即可无需操心真空操作顺序。更快速、更简便的真空控制软件使原子力显微镜的使用更便捷更高效。?4）采用非接触式工作模式：Park公司是目前全球唯一一家真正实现非接触测量模式的原子力显微镜厂家，在不影响测量精度的前提下，可实现样品与针尖的非接触测量，避免了由于针尖磨损带来测量重复性差与探针磨损快的缺点。下图是测量CrN样品的实例，CrN样品的硬度很高，具有三角形结构，采用非接触模式测量100幅图后，图像质量几乎无变化，针尖几乎无磨损！！！5）探测器噪声水平为全球业界最低：0.02nm Z轴探测器是全新的NX系列原子力显微镜的核心技术改进之一,它是Park独创的新型应变传感器,凭借着0.2埃的超低噪声，它一跃成为行业内噪声最低的Z轴探测器,检测原子台阶及其容易。6）采用全球最高性能平板扫描器：采用专利技术得三轴分离的平板扫描器，在整个80μm的扫描范围内误差＜1nm !!!!7）操作极其简单： - 具有“智能扫描模式”Smart scan：这是Park公司的专利技术之一，用户只需要选择扫描速度及扫描范围，系统即可自动调整反馈,无需寻找共振峰,无需调整反馈参数gain值 - 具有中文，英文等多种操作界面 - 凭借着我们先进的预准直悬臂架，悬臂在装载时激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同轴视角（行业独一无二）让您可以轻松地找到激光光点。由于激光垂直照射在悬臂上，您可以凭直觉旋动两个定位旋钮，将激光光点随着X轴和Y轴移动。这样，您可以在激光准直界面中，轻易地找到激光并将其定位在PSPD上。此时，您只需要稍作调整实现信号的最大化，便可开始获取数据。Park NX-Hivac型高真空原子力显微镜技术指标：- XY方向闭环扫描范围：100μm×100μm- Z方向闭环扫描范围：15μm- 系统噪声水平： ≤0.02nm- 全自动样品台： 22mm×22mm- 样品台放置单个最大样品尺寸100mm*100mm*20mm- 真空系统：配置两级抽真空装置，真空度：≤10-4Pa- 抽真空速度：5 mins以内达到5X10-5 Torr以下- 真空仓体内部尺寸：250 mm×320 mm×270 mm (WxDxH)- 正面提供透-真空系统管理软件：直观的控制抽真空和排气过程，具有高可视性和易用性，每个过程都可以通过示意图颜色的变化进行可视化监控

2 核心参数：l 仪器种类：原子力显微镜l 样品台移动范围：180mm*180mml 样品尺寸：l 定位检测噪声：X-Yl 产地类别：进口仪器Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比，高真空测量具有准确度高、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点，因此用户可测量各种故障分析应用中许多信号响应，例如扫描扩散电阻显微术(SSRM)的掺杂物浓度。Park NX-Hivac使得真空环境中高精确度和高分辨率测量的材料科学研究远离氧气与其它药剂的影响。在高真空条件下执行扫描扩散电阻显微镜测量可减少所需的针尖-样本相互作用力，从而大幅度降低对样本和针尖的损伤。如此可延长各针尖的使用寿命，使扫描更加低成本和便捷，并通过提高空间分辨率和信噪比得到更为精确的结果。因此，利用NX-Hivac进行的高真空扫描扩散电阻显微术测量可谓是故障分析工程师增加其吞吐量、减少成本和提高准确性的明智选择。l Park Hivac管理器NX-Hivac真空自动控制Hivac管理器通过一键单击在逻辑和视觉上控制最佳真空条件抽气和排气过程来实现高真空。各个过程通过颜色和图示变化得到直观监控，一键单击后您即可无需操心真空操作顺序。更快速、更简便的真空控制软件使原子力显微镜的使用更便捷更高效。l 高级自动化特点NX-Hivac具有大量功能从而能够最大化减少用户输入。换言之，您可以更快速地扫描，提高实验室产量。l 配备电控载物台的StepScan自动化扫描StepScan允许用户能够对器件进行编程从实现而快速便捷地多区域成像。NX-Hivac让您只需五步即可完成样本扫描：扫描、提升悬臂、移动电动平台至用户定义坐标区域、进针及重复扫描。如此可极大地提高生产率，最大化减少用户输入。l 电动激光对准Park电动激光对准使用户无需输入即可无缝衔接自动化测量例程。凭借着我们先进的预准直悬臂架，在更换探针时激光已对准悬臂。只需要调整定位旋钮，便可在X和Y轴上任意定位激光光点，达到最佳位置。l 提高精度和生产率NX-Hivac即是全球最精准的高性能原子力显微镜，同时也是用于故障分析的最简单方便的原子力显微镜之一。Park NX-Hivac帮您可以提高自己的生产效率，并确保取得靠谱的结果。l 闭环XY和Z轴扫描仪利用两个独立的闭环XY和Z轴挠曲扫描仪，您可以确信扫描的高精准度。NX-Hivac提供低残余弯曲的平面和正交XY轴扫描，使得整个扫描范围内的离面运动距离低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色还有非线性为低于0.5%的15 μm扫描范围的高速Z轴扫描仪，无需进行软件后期处理即可获得精准的二维和三位测量。l 低噪声XYZ轴位置传感器NX-Hivac具有Park原子力显微镜行业领先的低噪声Z轴探测器功能，可准确测量样本形貌，同时低噪声XY轴闭环扫描将前后扫描间隙降低至扫描范围的0.15%。l 24位数字电子控制器NX-Hivac的一大特点是NX系列电子控制器可实现时间浪费最小化、精度最大化。我们的控制器为全数字、24位高速器件，用户能够利用其执行一系列扫描，包括我们的真正非接触（True Non-Contact）模式。控制器具有低噪声设计和高速处理部件，是精密电压和电流测量及纳米级成像的绝佳之选。嵌入式电子产品同时具有数字信号处理特点，用户可轻松地分析测量值和成像。

多功能原子力显微镜-AFM利用微悬臂下方的探针和样品表面距离缩小到纳米级，探针和样品表面的分子间作用力使得悬臂受力形变。探针针尖和样品之间的作用力与距离有强烈的依赖关系，即可以通过检测悬臂受力的弯曲程度,从而获得样品表面形貌信息。不同于电子显微镜只能提供二维图像，多功能原子力显微镜-AFM能提供真实的三维表面图。同时,AFM不需要对样品的任何特殊处理,如镀铜或碳，这种处理对样品会造成不可逆转的伤害。第三，电子显微镜需要运行在高真空条件下,原子力显微镜在常压下甚至在液体环境下都可以良好工作。这样可以用来研究生物宏观分子,电池材料，甚至活的生物组织。利用微悬臂探针结构对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征,纵向噪音水平低至0.03nm(开环)，可实现样品表面单个原子层结构形貌图像绘制。AFM最大的特点是可以测量表面原子之间的力,AFM可测量的最小力的量级为10-14-10-16N。多功能原子力显微镜-AFM还可以测量表面的弹性,塑性、硬度、黏着力等性质,AFM还可以在真空,大气或溶液下工作,在材料研究中获得了广泛的研究。多功能原子力显微镜-AFM由本公司自主研发,稳定性强，可拓展性良好，提供定制服务 可拓展横向力显微镜 静电力显微镜 磁力显微镜 扫描开尔文探针显微镜 刻蚀和纳米操作等。该产品作为高速、高精度物质形貌表征工具,可以为高端科研与企业生产研发提供更多的选择与助力。 具体产品介绍详见下图：

Nanosurf AFSEM真空环境用原子力显微镜产品主要特点:实时在您的真空环境中进行AFM分析方便集成在SEM中进行相关AFM分析兼容于大多数电镜而不影响SEM正常操作可适配真空腔室环境兼容大气环境测量操作简便而直观

仪器简介：瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。easyScan 2原子力显微镜是瑞士Nanosurf公司在原有easyScan原子力显微镜基础上更新而来，增进了该原子力显微镜的便携性，精确性和可靠性，有更强的抗干扰能力。目前easyScan 系列原子力显微镜已经在50多个国家销售了近2000台。是工业质量控制，纳米材料研发者的完美工具。技术参数：easyScan2 AFM原子力显微镜： 1. 两种可供选择的原子力显微镜扫描头 (1) 大扫描范围 最大扫描范围：X和Y方向110um x 110um xy轴分辨率： 1.7nm 最大扫描范围： Z方向20um z轴分辨率： 0.34nm Z噪音标准（RMS）： 0.4nm(2) 高分辨率 最大扫描范围：X和Y方向10um*10um xy轴分辨率：0.15nm 最大扫描范围：Z方向1.8um z轴分辨率：0.027nm Z噪音标准（RMS）：0.07nm 扫描速度：1800个数据点/秒 传感半径： 15nm 典型负载： 10nN 扫描仪质量：350g 反馈回路宽带：3kHz 自动进场范围：5mm 没有使用危险的高电压2. 电子控制器 数据采集时，可以和任何标准计算计串行端口连接 三个轴都有16位的数据收集与控制系统 轴输出电压：+12V 扫描速度：1-20分/框 1024样品/直线 动态频率范围：15-300KHz 动态频率分辨率：15-300KHz 外部电源 功率消耗量25VA 电子控制器质量2.5kg 3. 软件 软件在Windows 操作系统上运行 测量数据可以实现可视化 不同的窗体的扫描数据可以被同时显示 线观察，点观察，三维观察 在线数学计算功能（减，平均值等等） 类似于粗糙度（Ra，Rq）、顶点剖面、厚度、距离和几何分析的数据分析 可以实现多数据输出 定制显示器、工作场所 安装非常简便主要特点： easyScan2 AFM原子力显微镜：允许快速的、在原位无破坏性的、高分辨率的处理控制。 自动激光对准芯片技术，无需人工手动调节。设计小巧、紧凑；使用简便、舒适 。所有的功能可以在一台计算机上进行 。独立的；适合大、小形状各异的样品 。样品自动进场 。与标准计算机串行端口连接（不需要接口卡） 。特殊的扫描仪设计，确保低震动灵敏度 。

SEM电镜兼容原子力显微镜EM-AFM EM-AFM 纳米操作系统提供了在SEM电镜中原子力显微镜成像和定量测量纳米力 的能力。它使得SEM和AFM这两种技术的结合，提供了高速高分辨率的3D形貌 成像，以及微纳米和亚纳米尺度纳牛力相互作用的实时观测。 产品特性 同步AFM 和 SEM 成像 完全兼容市面上的主流SEM电镜 超高分辨率形貌扫描 通过纳米压痕定量测量纳米力 真空载锁兼容 操作稳定性高，不受SEM电子束干扰规格参数应用案例SEM-AFM图像融合SEM成像具有高横向分辨率和扫描速率的优势，结合AFM成像提供的三维形貌信息，可获取新的而又全面的信息亚纳米成像分辨率全闭环编码系统确保在没有图像失真的情况下获得超高形貌成像分辨率，同时获取亚纳米成像分辨率。纳米压痕和拉伸测试样品的纳米力学性能可以在该仪器中通过纳米压痕和纳米拉伸测试试验技术进行测量。在SEM电镜成像下，可实时观测压痕和拉伸过程。专用软件提供了内置的计算工具，用于分析和显示获取的观测数据。高真空环境/SEM兼容结构紧凑的AFM兼容市面上大部分的SEM和FIB，并能够在数秒内完成安装和拆卸。系统允许很小的工作范围（5mm），同时兼容标准的SEM分析技术（如EDS、EBSD、WSD）。

SEM兼容原子力显微镜产品简介EM-AFM 纳米操作系统提供了在SEM电镜中原子力显微镜成像和定量测量纳米力的能力。它可将SEM和AFM这两种显微技术进行联用，提供高速高分辨率的3D形貌成像，以及微纳米和亚纳米尺度纳牛力相互作用的实时观测。产品特性 同步AFM 和 SEM 成像 兼容市面上的主流SEM电镜 超高分辨率形貌扫描 通过纳米压痕定量测量纳米力 真空载锁兼容 操作稳定性高，不受SEM电子束干扰 规格参数系统概况系统尺寸100x100x35SEM载锁兼容根据客户需求提供方案可用环境SEM真空环境兼容系统重量400g+SEM/FIB适配器样品运动台运动范围15x15x5mm集成编码器可选闭环运动分辨率1nm运动速度45mm/s小范围扫描器扫描范围35x35x5μm集成编码器有闭环分辨率优于0.2nm扫描速度8μm/s漂移率2nm/minAFM传感探头传感原理压阻式扫描模式接触式力感应分辨率优于5nN成像分辨率优于1nm力传感范围+/200μN应用案例SEM-AFM图像融合SEM成像具有高横向分辨率和扫描速率的优势，结合AFM成像提供的三维形貌信息，可获取新的而又全面的信息 亚纳米成像分辨率全闭环编码系统确保在没有图像失真的情况下获得超高形貌成像分辨率，同时获取亚纳米成像分辨率。纳米压痕和拉伸测试样品的纳米力学性能可以在该仪器中通过纳米压痕和纳米拉伸测试试验技术进行测量。在SEM电镜成像下，可实时观测压痕和拉伸过程。专用软件提供了内置的计算工具，用于分析和显示获取的观测数据。高真空环境/SEM兼容结构紧凑的AFM兼容市面上大部分的SEM和FIB，并能够在数秒内完成安装和拆卸。系统允许很小的工作范围（5mm），同时兼容标准的SEM分析技术（如EDS、EBSD、WSD）。

仪器简介：NTEGRA平台是一个革命性的技术概念，在拥有所有SPM技术：原子力/磁力/静电力/表面电势/导电原子/扫描电容/压电力/纳米刻蚀等功能的同时，还能配备近场光学显微镜/共聚焦拉曼/外加磁场/超声原子力/纳米压痕等功能！。Prima则是这个平台中的基础SPM，可以在此基础上根据科 研需求提供多达40 中SPM 功能，其中的每种功能都有一套在其专业领域有着杰出表现的独特配置。可选择配备独一无二的双扫描结构可以将扫描范围扩展最大到200x200um。技术参数：在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头 扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描最大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制 XY样品定位装置：移动范围5× 5um，精度5um 扫描范围：90× 90× 9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨XY方向非线性度：&le 0.5%（带传感器/闭环控制） Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um样品温度控制：室温~300℃ 主要特点：Ntegra Prima 是一个基本的SPM 系统，在这平台上可以根据科研需要提供40 种SPM 功能。 Ntegra Aura 是一款能在气氛控制以及低真空环境下工作的SPM，专门用于电磁等测量。 Ntegra Therma 只有10nm/h 热漂移能长时间可靠工作，并且能在-30℃~300℃环境下测量。 Ntegra Maximus 能够测量100mm 的大样品，在半自动模式下可以连续工作。 Ntegra Solaris 是一款近场光显微镜，能够提供所有近场探测模式，从而突破衍射极限。 Ntegra Vita 能与倒置显微镜联用，专门用于生物方面的检测。 Ntegra Tomo 能与超薄切片机联用，且制备用于研究的纳米片层的新鲜表面（也适用于电镜）。 Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 从而实现针尖增强（TERS）

Nano analytik公司成立于2010年4月，成员来自德国伊尔梅瑙科技大学。公司建立合作方之一为德国耶拿分析仪器股份公司，它已经成功建立了多家企业。 Nano analytik公司的核心竞争力在于传感器、微系统和控制技术，它致力于使纳米分析简单化，从而实现更新的开创性的研究工作。 公司文化是发展创新优质产品，提高我们的生活质量，同时保护好我们的环境。 Nano analytik开发了新一代的智能悬臂梁和纳米谐振器检测器。基于智能悬臂梁技术，在先进技术的创新发展中，我们基于现有的和著名的先进技术，随着应用的不断发展，我们开发制造这些产品。 Nano analytik开发的扫描探针显微镜的针尖，它包含一个硅的悬臂梁，其上集成了传感器/执行器和功能化硅针尖。这种悬臂梁具有高的谐振频率（3~5MHz）和低弹性常量。 Nano analytik 提供多种扫描探针显微镜的探针，满足您所有纳米研究需要。 Nano analytik 发明了几款独特的MEMS器件，它们能应用在许多相应的纳米科学研究领域，包括：生化传感器低机械力的检测表面分析多种扫描探针显微镜的探针质量传感器 简易型原子力显微镜简易型原子力显微镜基于对纳米先进技术的理解，Nano analytik公司研制出独特的AFM系统。通用，紧凑，操作非常简单，并适合很多种类的应用。这种新型的初级AFM系统研制的目的是提供一种快速的纳米尺寸的成像，它使用的是“Rangelow”型的悬臂梁，而非光学。这些悬臂上集成有传感器和执行器，不必象其他人工操作AFM那样，有着复杂着激光调节的步骤。特别是，这个系统非常适合化学和生物检测/识别，可应用于材料和生命科学应用领域。这个独特且高精度的测量仪器设计得非常灵活，可以非常容易地用于如化学和生物传感器，可以作为这些传感器的第一台表征系统，它可以研究和校准不同的压阻式或电容式悬臂梁。Nano analytik系统是一台用户友好的纳米技术工具，它开放的模块化构架，使得这台仪器可以很容易地按照用户需求被扩展或修改。集成于SEM的AFM集成于SEM的AFMNano analytik公司提供的集成在SEM中的AFM不仅能够用于成像，还可以用于度量尺寸。为此，我们提供的AFM系统非常紧凑，可应用于任何SEM且不用改腔室，从而进行微操纵和度量扫描。真空环境的原子力显微镜结构小巧，长X 宽X高：140x100x60mm压阻读数和双材料激励全部集成在SmartProbe上通用的转换接口，轻松适用于大多数真空腔室三轴纳米定位，运动范围20x10x10mm

仪器简介：NTEGRA平台是一个革命性的技术概念，在拥有所有SPM技术：原子力/磁力/静电力/表面电势/导电原子/扫描电容/压电力/纳米刻蚀等功能的同时，还能配备近场光学显微镜/共聚焦拉曼/外加磁场/超声原子力/纳米压痕等功能！。Prima则是这个平台中的基础SPM，可以在此基础上根据科 研需求提供多达40 中SPM 功能，其中的每种功能都有一套在其专业领域有着杰出表现的独特配置。可选择配备独一无二的双扫描结构可以将扫描范围扩展最大到200x200um。技术参数：在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头 扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描最大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制 XY样品定位装置：移动范围5×5um，精度5um 扫描范围：90×90×9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨XY方向非线性度：≤0.5%（带传感器/闭环控制） Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um样品温度控制：室温~300℃ 主要特点：Ntegra Prima 是一个基本的SPM 系统，在这平台上可以根据科研需要提供40 种SPM 功能。 Ntegra Aura 是一款能在气氛控制以及低真空环境下工作的SPM，专门用于电磁等测量。 Ntegra Therma 只有10nm/h 热漂移能长时间可靠工作，并且能在-30℃~300℃环境下测量。 Ntegra Maximus 能够测量100mm 的大样品，在半自动模式下可以连续工作。 Ntegra Solaris 是一款近场光显微镜，能够提供所有近场探测模式，从而突破衍射极限。 Ntegra Vita 能与倒置显微镜联用，专门用于生物方面的检测。 Ntegra Tomo 能与超薄切片机联用，且制备用于研究的纳米片层的新鲜表面（也适用于电镜）。 Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 从而实现针尖增强（TERS）

Nano analytik公司成立于2010年4月，成员来自德国伊尔梅瑙科技大学。公司建立合作方之一为德国耶拿分析仪器股份公司，它已经成功建立了多家企业。 Nano analytik公司的核心竞争力在于传感器、微系统和控制技术，它致力于使纳米分析简单化，从而实现更新的开创性的研究工作。 公司文化是发展创新优质产品，提高我们的生活质量，同时保护好我们的环境。 Nano analytik开发了新一代的智能悬臂梁和纳米谐振器检测器。基于智能悬臂梁技术，在先进技术的创新发展中，我们基于现有的和著名的先进技术，随着应用的不断发展，我们开发制造这些产品。 Nano analytik开发的扫描探针显微镜的针尖，它包含一个硅的悬臂梁，其上集成了传感器/执行器和功能化硅针尖。这种悬臂梁具有高的谐振频率（3~5MHz）和低弹性常量。 Nano analytik 提供多种扫描探针显微镜的探针，满足您所有纳米研究需要。 Nano analytik 发明了几款独特的MEMS器件，它们能应用在许多相应的纳米科学研究领域，包括：生化传感器低机械力的检测表面分析多种扫描探针显微镜的探针质量传感器 简易型原子力显微镜简易型原子力显微镜基于对纳米先进技术的理解，Nano analytik公司研制出独特的AFM系统。通用，紧凑，操作非常简单，并适合很多种类的应用。这种新型的初级AFM系统研制的目的是提供一种快速的纳米尺寸的成像，它使用的是“Rangelow”型的悬臂梁，而非光学。这些悬臂上集成有传感器和执行器，不必象其他人工操作AFM那样，有着复杂着激光调节的步骤。特别是，这个系统非常适合化学和生物检测/识别，可应用于材料和生命科学应用领域。这个独特且高精度的测量仪器设计得非常灵活，可以非常容易地用于如化学和生物传感器，可以作为这些传感器的第一台表征系统，它可以研究和校准不同的压阻式或电容式悬臂梁。Nano analytik系统是一台用户友好的纳米技术工具，它开放的模块化构架，使得这台仪器可以很容易地按照用户需求被扩展或修改。集成于SEM的AFM 集成于SEM的AFMNano analytik公司提供的集成在SEM中的AFM不仅能够用于成像，还可以用于度量尺寸。为此，我们提供的AFM系统非常紧凑，可应用于任何SEM且不用改腔室，从而进行微操纵和度量扫描。真空环境的原子力显微镜结构小巧，长X 宽X高：140x100x60mm压阻读数和双材料激励全部集成在SmartProbe上通用的转换接口，轻松适用于大多数真空腔室三轴纳米定位，运动范围20x10x10mm

alpha300 RA –在一个系统里面集成化学成分分析和纳米级别的结构成像alpha300 RA 是市场上首个高度集成的拉曼原子力显微镜系统，可以在标准的Alpha 300R共聚焦拉曼系统上通过标准模块升级即可完成拉曼原子力系统联用，获得原位的AFM和Raman图像的叠加。alpha300 RA 独特的设计理念使联用系统既保留300R强大的化学组分分析能力，同时加入微纳级别的表面形貌等特性的分析能力，使研究者能对样品进行深度完善的分析和理解。 alpha300 RA 让拉曼和原子力两种互补的技术得以在一套系统里面实现，两种技术的性能完全不受联用的影响，而且使用同一个操作软件，使得操作和分析变得简单应用。拉曼和原子力显微镜使用不同的显微镜物镜，只需要简单转动物镜转盘，成像软件即可原位完成两种技术的图像对比，叠加和分析 此外alpha300 RA可进一步升级来配合TERS (高分辨拉曼)测量 拉曼原子力显微镜系统主要特点l 所有alpha300 R (拉曼) 和alpha300 A (原子力) 的性能集成到一个显微镜系统内l 优异的原位化学组分分析（拉曼）和微纳级别表面特征分析（原子力）的结合l 原子力和拉曼同时进行的绝佳选择l 严格原位，完全不需要在测量过程中移动样品l 只需要转动物镜转盘即可在两种测量技术之间简单切换 拉曼原子力显微镜系统应用实例 多组分高分子混合物，包含了1:1:1比例的聚苯乙烯（PS），充油丁苯橡胶（SRB）和丙烯酸乙基己酯（EHA）的原位拉曼及原子力图像对标最左边的拉曼成像: 绿色代表PS, 红色代表SRB，蓝色代表EHA.第二至第五张图像分别是样品的表面拓扑结构，相位，粘附力和粘度 金刚石压砧在单晶硅表面的压痕的应力分析，原位拉曼原子力图像左图：10x10um原子力表面拓扑结构和深度轮廓图，右图压痕周边的应力拉曼图像，紫色为未受应力影响，黄色为压力应变，灰色为张力应变 拉曼原子力显微镜系统性能通用拉曼操作模式l 拉曼光谱成像：连续扫描的拉曼高光谱全谱成像，每个样品点都能获得完整的拉曼光谱l 平面2D和包含深度Z方向的3D成像模式l 快速和慢速时间序列l 单点及Z方向深度扫描l 光纤耦合的UHTS 系列光谱仪，专为弱光应用的拉曼光谱设计l 共聚焦荧光显微镜功能l 明场显微镜功能 通用原子力显微镜操作模式l 接触模式l AC 模式（轻敲模式）l 数字脉冲力模式 (DPFM)l 抬高模式l 磁力显微镜模式 (MFM)l 静电力显微镜模式 (EFM)l 相位成像模式l 力曲线分析l 微纳操控及微纳印刷l 横向力模式 (LFM)l 化学力模式 (CFM)l 电流探测模式l 其他可选 基本显微镜指标l 研究级别的光学显微镜，6孔物镜转盘l 明场CCD相机，代替目镜观察样品l LED明场科勒照明l 电动XYZ样品台，25x25x20mm平移范围l 主动隔震平台 各类拉曼升级选项（如true surface等）l 多种激光可选择l 多种光谱仪可选择l 自动共聚焦拉曼成像l 自动多区域多点测量l 可升级超快拉曼图像模式(需配置EMCCD和Piezo样品台，可获得每秒1300张光谱的速度)l 可升级落射荧光照明l 自动聚焦功能l 显微镜观察法可选，如暗场，像差，偏光，微分干涉等 超高通光量UHTS光谱仪l 各类透射式波长优化谱仪可选 (UV, VIS or NIR)，均为弱光拉曼光谱设计l 光纤耦合，70%超高光通量l 优异的成像质量，光谱峰形对称无像差 控制电脑WITec控制和数据采集，处理软件

高性能原子力显微镜hpAFM上海睿忱科学仪器有限公司代理英国 NanoMagnetics 仪器高性能原子力显微镜 hpAFM.高性能原子力显微镜优势 hpAFM多用户设计操作简便快速线性扫描10 MP 光学镜头提供干净, 没有瑕疵的视角自动对齐和调整高性能原子力显微镜hpAFM 系统功能扫描• XY 轴扫描范围: 6, 20 或 24 bit, 5, 10,40, 100 μm• Z 轴扫描范围 16, 20 或 24 bit 2,4,6,8,12,15 μm• 精度 0.01 nm• 使用光学传感器对 Z 轴逐层进行线性扫描• 真空样品架可以放 1" , 2" 和 3" 个样品• 脱钩的 Z 向扫描• 可以容纳最多达 500 克样品高性能原子力显微镜 Z 轴电动平台• 范围 50mm, 精度 250nmXY 轴电动平台• 范围 76 mm, 精度 50nmAFM 模块• RF 调制低噪声 635nm 激光器• 25 fm√Hz (max.) noise floor• 14 nm 探针光学摄像• 10MP CMOS camera• Recording and imaging with color CMOS camera• 光学变焦• 0.7 μm 光学解析度声音和振动隔离箱• 声音, 隔热, 防震箱• 大气控制隔热柜 (可选)• 0.3 Hz 振动隔离台• 可在 -30 °C 至 +350 °C 之间选择高性能原子力显微镜标准模式• 接触式 AFM• 动态 AFM• Laterol Force Microscope• 相位成像 AFM• 磁力显微镜 MFM• F-d Curves and Spectroscopy 曲线和光谱• 静电显微镜 EFM• Non-contact AFM with 5 mHz Resolution Digital PLL温度与扫描范围原子力显微镜 (Atomic Force Microscope, AFM), 隶属于扫描探针显微镜 ( Scanning Probe Microscope, SPM ), 是一种具有原子级别高分辨, 高解像能力的科研仪器, 原子力显微镜可在真空, 气体或液体环境中操作, 适用于各种材料的表面检测, 形貌测量, 粗糙度分析及生医样品检测等. 与 STM 对比 AFM 原子力显微镜 可以观测非导电样品, 应用范围更广.hpAFM高性能原子力显微镜信息由上海睿忱英国Nanomagnetics为您提供，如想了解更多关于hpAFM高性能原子力显微镜报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

Bruker原子力显微镜 Bruker公司的AFM具有多项 技术，以其 性能广泛应用于科研和工业各领域Dimension Icon 系列作为布鲁克公司(Bruker AXS)原子力显微镜的产品，凝聚了多项行业的 技术，是二十多年技术创新、客户反馈和行业应用的结晶。 应用：应用于科研和工业界各领域，涵盖了聚合物材料表征，集成光路测量，材料力学性能表征，MEMS制造，金属/合金/金属蒸镀的性质研究，液晶材料性能表征，分子器件，生物传感器，分子自组装结构，光盘存储，薄膜性能表征等领域的监测等各类科研和生产工作。 原子力显微镜的工作模式是以针尖与样品之间的作用力的形式来分类的。主要有以下3种操作模式：接触模式（contact mode) ，非接触模式（ non - contact mode) 和敲击模式( tapping mode）。 特征：u 低漂移和低噪音水平u 配置有专有ScanAsys原子成像优化技术，可以简易快速稳定成像u 测试样品尺寸可达：直径210mm，厚度15mmu 温度补偿位置传感器使Z轴和X-Y轴的噪音分别保持在亚-埃级和埃级水平，并呈现出前所未有的高分辨率。u 全新的XYZ闭环扫描头在不损失图像质量的前提下大大提高了扫描速度。u 探针和样品台的开放式设计使Icon 可胜任各种标准和非标准的实验。u 先进的布鲁克AFM的模式和技术，如高次谐波共振模式，和独有的不失真高温成像技术--采用对针尖和样品同时加热的方法， 程度减少针尖和样品之间的温差，避免造成成像失真。

Park NX20原子力显微镜用于失效分析的理想选择引领用于故障分析和大型样品研究的纳米计量工具作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。 而仪器所提供的数据不能允许有错误的存在。 Park NX20，这款高精密的大型样品原子力显微镜，凭借着数据的准确性，在半导体和硬盘行业中大受赞扬。全面多样的分析功能Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。 高精密度可为用户带来高分辨率数据，让用户能够更加专注于工作。 与此同时，非接触扫描模式让探针针尖更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。即便是刚接触原子显微镜的工程师也易于操作Park NX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。 借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。———————————————————————————————————————————为FA和研究实验室提供精准的形貌测量解决方案样品侧壁三维结构测量NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。 众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必需的。对样品和基片进行表面光洁度测量表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精准的失效分析和质量保证。高分辨率电子扫描模式QuickStep SCM超快的扫描式电容显微镜PinPoint AFM无摩擦导电原子力显微镜———————————————————————————————————————————多种创新且创新的专利技术帮助顾客减少测试时间CrN样品所做的针尖磨损实验AFM测量通过对比重复扫描情况下探针尖端的形状变化，您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。借助真正非接触模式，探针尖端在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。 氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。———————————————————————————————————————————低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。√ 使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。√ 在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。√ 没有前沿或后沿过冲现象√ 终身无需校准，减少设备维护成本Park NX系列原子力显微镜传统的原子力显微镜Park NX20特点 ————低噪声XYZ位置传感器低噪声XYZ闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。高速Z轴扫描器,扫描范围达15um高强度压电堆栈和挠性设计，标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz）且探针的Z轴扫描速率不低于48 mm/秒。 Z轴扫描范围可从标准的15um扩展至30um（可另选Z扫描头）。自动多点样品扫描借助驱动样品台，可编程步进扫描，多区域成像，以下是它的工作流程：1) 扫描成像2) 抬起悬臂3) 移动驱动平台到设定位置4) 进针5) 重复扫描该自动化功能可大大减少扫描过程中人工移动样品所需时间，从而缩短测试时间，提高生产率。集成編碼器的XY自动样品载台编码器可用于所有自动样品载台，并可保证更高的重复定位精度，从而可更精准地控制样品测量位置。XY马达运动工作时分辨率为1 um重复率为2um。Z马达运动的分辨率为0.1um,重复率为1um。扫描头滑动嵌入式设计您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜扫描头。 该设计可将扫描头自动锁定至预对准的位置，无需调节激光位置，激光自动投射在针尖上。 借助于四象限检测器，显微镜可精确成像并准确测定力.距离曲线。操作方便的样品台借助创新的镜头设计，用户可从侧面操作控样品和探针。 根据XY轴样品台所设定的行程范围，用户在样品台上可放置的大样品体积直径可高达200 mm。用于高级扫描模式易插槽您只需要将可选模块插入扩展槽，您便可激活高级扫描探针显微镜模式。 得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计，其产品线的配置兼容性大大提高。同轴高功率光学集成LED照明和CCD系统定制物镜配有超长工作距离（51 mm，0.21的数值孔径，1.0um的分辨率），带来超高的镜头清晰度。同轴光源设计让用户可轻易地在样品表面寻找测试区域，物镜分辨率为0.7um。 得益于CCD的高端传感器，在获得较大视场的同时，分辨率却不受影响。 由软件控制的LED光源能为样品表面提供足够的照明，便于清晰观察样品。高速24位数字电子控制所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理的。 该控制器是全数字、24位高速控制器，可确保Park 真正非接触模式下的成像精度和速度。 凭借着低噪声设计和高速处理单元，该控制器是纳米级成像和精确电压电流测量的绝佳选择。 嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能，更好的解决方案，是资深研究院的理想选择。XY.Z轴检测器的24位信号分辨率XY轴(50 μm)的分辨率可低至0.003 nmZ轴(15 μm)的分辨率可低至0.001 nm嵌入式数字信号处理功能三个锁相放大器探针弹簧系数校准数据Q控制集成式信号端口专用可编程信号输入/输出端口7个输入端口和3个输出端口自动Z轴移动和聚焦系统高度限行Z轴移动和聚焦系统，可以得到清晰的视野和图像，用户通过软件界面进行操作，由高精度步进电机驱动，即使液体或者透明样品也可快速找到样品表面。———————————————————————————————————————————QuickStep SCM模式√ 比传统的扫描式电容显微镜(SCM)扫描速度快十倍√ 信号灵敏度、空间分辨率和数据精准度不受影响高通量QuickStep扫描在QuickStep扫描模式下，SCM测量通量大幅提升，可达到标准SCM扫描速度的十倍，且信号灵敏度、空间分辨率和数据精准度不受影响。 在QuickStep扫描模式下，XY轴扫描器在各像素点停住，记录数据。 扫描器会在各像素点之间快速跳跃。QuickStep扫描传统扫描扫描速度1.5Hz扫描速度1Hz扫描大小: 10 µ m×3 µ m, AC Bias: 0.5 Vp-v, DC Bias: 0 V———————————————————————————————————————————Park SCM精准的掺杂形貌量测在半导体制造业，分析掺杂剂分布对于确定失效原因和进行设计改进有着重要作用。 在器件特性化方面，SCM有着优异二维量化掺杂剂分布分析能力。PinPoint导电原子力显微镜模式PinPoint导电原子力显微镜模式是针对探针和样品之间的指定电接点而开发设计的。 在电流采样过程中，XY轴扫描器会依据用户设定的接触时间停止。 PinPoint导电原子力显微镜模式能够带来更高的空间分辨率，且不受 侧向力的影响，同时在不同样品表面的电流测量也得到优化。——————PinPoint模式——————— —————Contact—————样品: ZnO nano-rods, -3 V sample bias通过对比氧化锌纳米棒在不同类型的导电原子力显微镜图像，我们可以看到相比轻敲式导电原子力显微镜，传统的接触式导电原子力显微镜有着更高精度的电流测量，但其分辨率低，原因 在于探针在接触中快速磨损。 全新的PinPoint导电原子力显微镜不但空间分辨率更高，且电流测量也得到优化。———————————————————————————————————————————高带宽低噪声导电原子力显微镜导电原子力显微镜是各类元件研究的重要工具，特别是工业的失效分析。 Park导电原子力显微镜在市场中拥有核心竞争力，不但有着全行业超低的电流噪声，且增益范围也是较大。业内超低的电流噪声(0.1 pA)业内超大的电流(10 μA)巨大的增益范围（7个数量级，103-109）———————————————————————————————————————————Park NX20先进的SPM模式表面粗糙度检测真正非接触模式 动态力模式电学性能导电原子力显微镜 (ULCA和VECA)静电力显微镜 (EFM)压电力显微镜 (PFM)扫描电容显微镜 (SCM)扫描开尔文探针显微镜 (SKPM)扫描电阻显微镜 (SSRM)扫描隧道显微镜 (STM)机械性能力调制显微镜 (FMM)力.距离(FD) 曲线力谱成像侧向力显微镜 (LFM)纳米刻蚀相位成像Park NX20技术参数————扫描器Z扫描器柔性引导高推动力扫描器扫描范围: 15 µ m (可选 30um)高度信号噪声等级: 30 pm(RMS, at 0.5 kHz带宽)XY扫描器闭环控制的柔性引导XY扫描器扫描范围: 100 um× 100 um(可选 50um× 50um)驱动台Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)XY位移台行程范围 : 200 mm x 200 mm样品架样品尺寸 : 基本配置开放空间 up to 200 mm x 200 mm,厚度 up to 20 mm样品重量 : 500 g光学10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1um分辨率)样品表面和悬臂的直观同轴影像视野 : 840 × 630 um (带10倍物镜)CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)软件SmartScan&trade AFM系统控制和数据采集的专用软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的高级使用和更精密的扫描控制XEIAFM数据分析软件电子集成功能4通道数字锁相放大器数据Q控制信号处理ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensorDAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioningMaximum data size : 4096 x 4096 pixels连接外部信号20个嵌入式输入/输出端口5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP, 调制和交流偏压AFM模式(*可选项)标准成像真正非接触式原子力显微镜PinPoint&trade 原子力显微镜接触式原子力显微镜横向力显微镜(LFM)相位成像轻敲式原子力显微镜 力测量力-距离(F/d)光谱力谱成像 介电/压电性能静电力显微镜 (EFM)动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)压电力显微镜 (PFM)高压压电力显微镜* 机械性能力调制显微镜 (FMM)纳米压痕*纳米刻蚀*高压纳米刻蚀*纳米操纵*磁学性能*磁力显微镜 (MFM)可调制磁力显微镜 电性能导电原子力显微镜 (C-AFM)*IV 谱线*扫描开尔文探针显微镜 (KPFM)扫描电容显微镜 (SCM)*扫描电阻显微镜 (SSRM)*扫描隧道显微镜 (STM)*光电流测绘 (PCM)* 化学性能*功能化探针的化学力显微镜电化学显微镜 (EC-AFM)———————————————————————————————————————————高级选项为用户量身定制原子力显微镜自动数据收集和分析，适合工业客户产线测量Park的自动化控制软件，可根据您的预设程序自动进行AFM测量。它可以准确地收集数据，执行模式识别，并使用它的寻边器和光学模块进行分析，不需要人工介入，从而为您节省大量宝贵时间。温度稳定的隔音罩创新的控制设计使Park NX20能够快速达到温度平衡NX20具有主动隔振功能。集成编码器的自动载台&bull XY马达运动工作时分辨率为1 µ m，重复率为2 µ m。&bull Z马达运动的分辨率为0.1 µ m，分辨率为1 µ m。倾斜样品倾角夹具，可帮助您进行样品侧壁成像。NX20的创新架构实现了对样品侧壁和表面的检测，还能够测量出相应角度。这为您提供了更多的创新研究方案和对样品更深入的理解。样品盘&bull 用于电气测量的专用小样品架&bull 用于固定晶圆的真空槽温度控制 温控台 1: -25 °C to +170 °C温控台 2: Ambient to +250 °C 温控台 3: Ambient to +600 °C

Bruker原子力显微镜-- Dimension FastScan Bruker公司的AFM具有多项zhuan li技术，以其卓yue的性能广泛应用于科研和工业界各领域Dimension FastScanTM 原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM），在不损失Dimension Icon超高的分辨率和卓yue的仪器性能前提下，zui大限度的提高了成像速度。这项突破性的技术创新，从根本上解决了AFM成像速度慢的难题，大大缩短了各技术水平的AFM用户获得高质量数据的时间,是世界上扫描速度zui快的原子力显微镜。 应用：应用于科研和工业界各领域，涵盖了聚合物材料表征，集成光路测量，材料力学性能表征，MEMS制造，金属/合金/金属蒸镀的性质研究，液晶材料性能表征，分子器件，生物传感器，分子自组装结构，光盘存储，薄膜性能表征等领域的监测等各类科研和生产工作。原子力显微镜的工作模式是以针jian与样品之间的作用力的形式来分类的。主要有以下3种操作模式：接触模式（contact mode) ，非接触模式（ non - contact mode) 和敲击模式( tapping mode）。 特征：u 高xiao率 l 在空气或液体中成像速度是原来速度的 100 倍，自动激光调节和检测器调节，智能进针，大大缩短了实验时间。 l 自动测量软件和高速扫描系统完mei结合，大幅提高了实验数据的可信度和可重复性。 u 高分辨率 l FastScan 精确的力控制模式提高图像分辨率的同时，延长了探针的使用寿命。扫描速度 20Hz 时仍能获得高质量的 TappingModeTM图像，扫描速度 6Hz 仍能获得高质量的ScanAsyst 图像。 l 低噪音，温度补偿传感器展现出亚埃级的噪音水平。 u 在任何样品上均有表现 l 闭环控制的 Icon和 FastScan扫描管极大地降低了 Z方向噪音，使它们 Z 方向的噪音水平分别低于 30pm 和 40 pm，具有极低的热漂移率，可得到超高分辨的真实图像。 l Fast Scan 可以对不同样品进行测量，保证高度从埃级到 100 多纳米的样品高精度无失真扫描

ezAFM是最新设计的精致型原子力显微镜，具有设计紧凑、美观大方、高稳定性、占用空间小等特点，而且软件功能强大、操作简单、用户界面良好，而且价格实惠，性价比极高。它是理想的实验室用原子力显微镜，广泛应用于高等教育、纳米技术教育和基础研究等领域。产品系列包括：ezAFM、ezAFM+、ezAFM AQUA、以及ezAFM-Vacuum，ezSTM除了基本的形貌等扫描，可以用于电学、磁学等拓展模式，以及液相、真空环境等。&bull 扫描区域宽泛 120x120x40 μm或 40x40x4 μm &bull 性价比超高 &bull 结构紧凑小巧, 易安装, 使用方便 &bull 各部件分离设计, 悬臂自对准 &bull 终身免费软件升级，1小时内完成安装 &bull 形貌成像：接触、轻敲、相位 &bull 力学：横向力、力曲线、力学成像 &bull 电学：静电力/压电力/开尔文表面电势/扩展电阻/导电原子力/STM； &bull 磁学、液相，真空/手套箱定制环境技术参数：&bull 商用悬臂自对准 &bull 扫描范围： 120x120x40 μm（Z 向精度：0.2nm）或 40x40x4 μm（Z向精度：0.02nm） &bull 接触模式, 动态力 / 相位成像模式, 侧向力显微镜 LFM 和磁力显微镜 MFM 模式 &bull 75 fm√Hz noise&bull 横向精度：120x120x40 μm（横向精度：16nm）或 40x40x4 μm（横向精度：5nm） &bull 样品大小：样品尺寸 10 x 10 x 5mm ( 可配置为不限制样品尺寸)&bull 光学系统：2μm 分辨率，Full HD, 390x230μm FOV, 2,516x1,960 pixels, 30fps &bull 控制器：24Bit ADCs/DACs，Digital Feedback with FPGA/DSP&bull 标准模式：轻敲模式：Dynamic modes，MFM 接触模式：Contact mode，LFM &bull ezAFM+成像模式：半接触模式，相位模式，接触模式，LFM，MFM，EFM，PRFM，KPFM，FMM，C-AFM，SSRM，多光谱联用，纳米力学与操纵，液相模式 &bull ezAFM AQUA：液相模式 &bull ezSTM Scanning Tunneling MicroscopyAlignment free 悬臂对准，无需调整激光斑Top view：显微镜对准系统，CCD，2um分辨率（一体式内置）样品台Sample Positioner: 电动样品台、手动样品台、液体池样品台、大样品台DNA形貌测试：NanoParticle 纳米颗粒 （成像与颗粒分布）：AAO膜表面：CdSe 纳米颗粒相位成像：

NT-MDT原子力显微镜自1998年以来，NT-MDT已成功地将AFM与光学显微镜和光谱技术相集成。支持包括hybrid modeTM在内的30多种基本和AFM模式，可提供有关样品表面物理性质的广泛信息。 AFM与共焦拉曼/荧光显微镜的集成提供了有关样品的更多信息。完全相同的样品区域同时测量的AFM和拉曼图可提供有关样品物理性质（AFM）和化学成分（Raman）的补充信息。NTEGRA Spectra II借助尖端增强拉曼散射（TERS），可以进行纳米级分辨率的光谱学/显微术。特制的AFM探针（纳米天线）可用于TERS，以增强和定位尖端附近纳米级区域的光。这种纳米天线充当光的“纳米源”，从而提供了光学成像的可能性，其分辨率小于衍射极限（max〜 10 nm）。扫描近场光学显微镜（SNOM）是获得旋光性样品的光学和光谱图像的另一种方法，其分辨率受探针孔径大小（〜 100 nm）限制。NT-MDT 原子力显微镜系统光路图所有可能的激发/检测和TERS的解决方案应用CdS纳米线通过导电聚合物纳米线与金属电极连接。 AFM探针借助观察显微镜定位在结构上。 由于AFM探针的形状，激光可以直接定位在尖端顶点上。高分辨率AFM图像可提供有关样品形貌的信息。 从同一区域获取的拉曼图和发光图显示出纳米线化学成分的差异。光学图片 原子力显微镜扫描图 拉曼扫描图 荧光扫描图 拉曼谱

原子力显微镜主动减振台/减震台 品牌：HERZ型号：AVI-600-XL描述：AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，有利于为基础研究、应用研究、生产等领域所用精密仪器创造稳定的测量环境。AVI系列可在宽频率范围内进行隔振，为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉仪、微型检测设备等提供优异的隔振性能。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求 应用范围： 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。技术参数：型号：AVI-600XL/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 34kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内隔振效果：性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。原子力显微镜主动减振台/减震台

产品特点：GATTA-AFM纳米标尺具有准确、高度平行的结构，可以完美地用于检测或优化原子力显微镜。在实际环境中测试原子力显微镜可以达到的分辨率非常重要，不仅可以测出原子力显微镜达到产品标称分辨率的可能性，还可以测出实际使用时可达到的极限。如今GATTA也提供适合测试的GATTA-AFM纳米标尺，现在，有了GATTA原子力显微镜纳米标尺之后，就有了足够的测试样品，这些样本用DNA做成，呈现70nm*90nm*2nm（高）的长方体形状。技术参数：

Park FX200创新型多功能200毫米样品原子力显微镜Park FX200，是Park Systems近期倾心推出的200毫米样品原子力显微镜。FX200拥有强大的机械结构，确保显著降低噪音、微小化热漂移并强化了稳定性，树立了精度和可靠性的新标准。其更快的Z伺服性能和增强的高功率样品视图提高了操作效率和成像能力，同时自动探针识别和更换、激光对准以及宏观光学全样品视图等功能简化了用户操作并大大提高了工作效率。凭借光学自动对焦、导航、多坐标顺序测量，自动AFM扫描参数设置和自动数据分析等功能，FX200成为了研究和工业应用的理想选择。其强大的性能和便捷的易用性，可有效改变纳米级成像和分析的现状，使科学家和工程师能够在各自的领域实现“质”的飞跃进步。 简化您的研究流程 丰硕您的研究成果！增强的原子力显微镜核心技术 更低的噪音和更小的热漂移增强的机械结构降低了操作噪音、热漂移，并实现了更集中的SLD光束，突破了以往的限制。这显著提高了测量精度和高分辨率成像能力。 小激光光斑尺寸&bull 通过物镜聚焦SLD光束，激光光斑尺寸小&bull 11µ m的SLD光束直径使快速成像悬臂更具适用性更快的Z伺服性能&bull 由强力压电叠层驱动，并由柔性结构引导 &bull 新的FX AFM电子控制器提供更快的Z伺服性能和更高的精度精准的AFM扫描模式凭借更快速、更精准的True Non-contact&trade 模式，Park FX200 在亚纳米尺度上实现了理想中的针尖与样品距离控制。精准且可重复的测量以提高生产效率非接触模式原子力显微镜的优势已被广泛认可，如：无针尖磨损，无样品损伤，保持高分辨率成像和高精度AFM测量。通过其基于柔性结构的强力Z扫描仪，Park有效实现了True Non-Contact&trade 模式。在该模式下，针尖与样品的距离成功保持在几纳米的净吸引力范围内。针尖振荡的小幅度弱化了针尖与样品的相互作用，从而实现了真正的针尖保护和可忽略不计的样品修改。精准强大的Park扫描系统 True Non-Contact&trade 模式技术可以处理晶圆和多样品它适用于各种样品尺寸（包括200毫米的晶圆），满足工业需求。真空卡盘可以固定多达16个小样品，支持在一次设置中进行多种实验。全面支持200毫米晶圆 可容纳200毫米的晶圆，这对半导体制造和材料科学研究至关重要。真空卡盘确保了高分辨率成像和精准测量的稳定定位，提高了测量多功能性和效率。可容纳多达16个小样品真空卡盘可以同时固定多达16个小尺寸的样品。该功能可在一次设置中进行多种实验，减少了停机时间并提高了效率，尤其适合需要快速分析多样品测量的实验室。智能自动化它自动化了包括探针识别和更换、激光对准和参数调节在内的关键任务，同时拥有16个探针槽，用于重复测量和模式转换。该自动化大大减少了停机时间并显著提高了测量效率。自动探针类型识别 自动探针更换 自动激光束对准 探针识别相机通过读取印在新探针芯片载体上的二维码，能显示每个针尖的相关信息（包括类型、型号、应用和使用情况）。该功能可以根据任务快速选择合适的探针，以确保测量的准确性和效率。自动探针更换功能则可以轻松安全地自动更换旧探针。16个探针槽用于重复测量和模式转换。快速自动的探针切换减少了停机时间并提高了效率。自动对准将激光束定位到悬臂的适当位置，并进一步调整激光点在PSPD上的垂直和横向位置。按下按钮时，它能自动调整X、Y和Z轴，生成高清无失真的图像。简化操作 自动对焦和导航 自动顺序测量 通过快速精准定位的简化分析，高级感兴趣区域（ROI）缩放使用大视场样品相机来显示整个200毫米晶圆。这大大减少了从广泛扫描到详细放大的目标区域定位时间。此外，精细的光学视野提供了高清晰度，可以解析小于1微米的线宽。它能在大型样品（如200毫米晶圆或多样品卡盘上的样品）上设置预定义坐标，并自动执行操作。同时支持包括成像和高级模式在内的顺序测量，简化了研究和工业环境中的工作流程。新一代高端产品原子力显微镜控制器Park FX控制器为提升Park FX系列的性能而设计。这一重要发展支持了高级压电响应力显微镜（PFM）应用，如接触共振PFM（CR-PFM）和双频共振跟踪（DFRT-PFM）。它无需额外硬件，即可确保我们的客户能够充分利用原子力显微镜取得理想进展。无需外部放大器的DFRT-PFM 增强安全性和实时环境监测 直接支持CR-PFM，具有更高的探针偏压调制带宽 更快的通讯连接，快速数据和图像处理

AFM5300E是一款环境型原子力显微镜，它的环境控制单元可以使样品在大气中、真空中、溶液中等环境中进行测量。AFM5300E还具有高低温控制功能，可以检测温度对样品表面形貌和物理特性的影响。特点1. 环境控制功能（大气，真空，液体，温控等）AFM5300E能够实现高真空的测试环境，最大限度减小样品表面吸附水对测试的影响，实现精确的物理特性测量。 真空环境下可以实现更大范围的温度控制。另外，新开发的『温度扫描功能』可监视样品Z方向的热胀冷缩，通过控制反馈信号，使悬臂在变温环境下连续测试样品表面的物理特性。（专利3857581号、专利3926638号）●大气中　●液体中　●真空中　●特殊气氛（流量控制）●温度控制 加热?冷却(-120～300℃)　高温(室温～800℃)●湿度控制(0～80%)●外加磁场（水平、垂直、面内旋转、max 5000 Oe ）2. 简便操作（综合型Holder Flange）通过采用『综合型Holder Flange开合功能』，样品和扫描器更換更为方便的同时，免去了以往环境型SPM的样品更換后的所需的光轴调整。 也省去测试模式切换时的支架更換环节。3. 卓越的高性能采用了『Swing Cancel功能』，减轻了样品的浮动，降低了漂移。提高了纳米分析性能，提升了可信度。 漂移量：0.015nm/sec以下4. 通过减轻表面吸附水的影响，提高了电气性能的检测精度真空环境下减轻样品表面吸附的水分和污染物的影响，因而实现高分辨高灵敏的电学性能分析。

仪器由主机和控制系统、专用工具、操作软件及附件组成。主要用于化学、材料科学（纳米材料、高分子、聚合物、半导体等）、生命科学以及相关领域的研究工作，对各种材料、化工产品、生物制品、非金属矿及深加工产品等进行观测，并对其表面形貌进行分析。扫描隧道显微镜功能：恒流模式、恒高模式、I(Z)谱、I(V)谱原子力显微镜功能：形貌成像、相位成像、磁力显微镜、静电力显微镜、扩展电阻成像、开尔文探针显微镜、力－距离曲线、振幅－距离曲线、I(V)谱刻蚀功能：力刻蚀、电流刻蚀、矢量刻蚀

拉曼原子力显微镜型　号FM-NanoviewRa-AFM更新时间2022-10-17所属分类拉曼原子力显微镜产品描述：拉曼原子力显微镜FM-NanoviewRa-AFM◆ 同时集成拉曼光谱仪和原子力显微镜的功能，观测样品三维形貌的同时还可以分析样品的物质组分；◆ 内置10X复消色差光学系统，无需调焦，同时看到探针针尖和拉曼激光光斑；◆ 不移动样品可以从相同的点同时采集AFM和拉曼数据，原位检测样品的形貌信息与化学信息；◆ 激光检测头、激光耦合器和样品扫描台集成一体，稳定可靠；◆ 精密激光及探针。产品概述　　拉曼原子力显微镜技术参数 　　◆ 工作模式：接触、轻敲、F-Z力曲线测量、RMS-Z曲线测量、摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力和静电力 　　◆ 样品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm 　　◆ 扫描范围：XY向20um，Z向2um(可选配XY向50um，Z向5um) 　　◆ 扫描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm 　　◆ 样品移动范围：0~20mm 　　◆ 光学放大倍数10X，光学分辨率1um(可选配20X，光学分辨率0.8um) 　　◆ 扫描速率0.6Hz~4.34Hz，扫描角度0~360° 　　◆ 扫描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A 　　◆ 数据采样：14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样 　　◆ 反馈方式：DSP数字反馈 　　◆ 反馈采样速率：64.0KHz 　　◆ 通信接口：USB2.0/3.0 　　◆ 运行环境：WindowsXP/7/8/10操作系统 　　拉曼光谱仪： 　　◆ 激光波长：532±0.05nm,可选配785±0.05nm 　　◆ 激光连续输出功率：500Mw(50-600mW连续可调) 　　◆ 激光波长稳定性：0.05nm 　　◆ 激光功率稳定性：2%(两小时内) 　　◆ 激光器寿命：10000小时 　　◆ 拉曼漂移范围：50-4000cmˉ¹ 　　◆ 光谱分辨率：3cmˉ¹ 　　◆ 动态范围：8000:1 　　◆ 积分时间：17毫秒-100秒 　　◆ 线性度：99.8% 　　◆ 运行环境：WindowsXP/7/8操作系统 　　◆ 自动寻峰：支持 　　◆ 拉曼数据库：3000多种常见数据(选配)，支持升级 　　◆ 开发式拉曼数据库：支持 　　◆ 拉曼数据导入导出：支持 　　◆ 分析软件：Raman Analysis 2

Park NX12原子力显微镜用于分析化学的全能型原子力显微镜多功能原子力显微镜平台，满足纳米级测量的需求原子力显微镜（AFM)有纳米级分辨率成像以及电，磁，热和机器性能测量的能力。纳米管扫描系统可用于高分辨率扫描离子电导显微镜（SICM).倒置光学显微镜（IOM）便于透明材料研究和荧光显微镜一体化。—————————————————————————————————————————通过验证的NX10性能通过倒置光学显微镜样品平台，Park NX12将Park原子力显微镜的多功能性和准确性相结合。这使得使用者更容易的使用纳米管技术去研究透明，不透明，或软或硬的样品。出众的电化测试平台电池，燃料电池，传感器和腐蚀等电化学研究是个快速增长的领域，然后许多原子力显微镜不能直接满足其特殊的需求。Park NX12的人性化设计，为快速操作提供便利，从而达到化学研究人员要求的功能性和灵活性。这主要包括：多功能易用电化学池惰性气体和湿度的环境控制选项双恒电位仪的兼容性研究人员可利用Park NX12平台实现各种电化学应用：扫描电化学显微镜(SECM)扫描电化学池显微镜(SECCM)电化学原子力显微镜（EC-AFM）和电化学扫描隧道显微镜( EC-STM)—————————————————————————————————————————考虑建立多用户设备Park NX12力求重新构建，以适应许多用户设备需求。其他原子力显微镜解决方案缺乏必要的多功能性，难以满足该设备中用户的多重需求，很难合理控制设备成本。然而，Park NX12旨在能够容纳标准环境原子力显微镜成像，液体扫描探针显微镜，光学和纳米光学成像，使其成为灵活的原子力显微镜之一。模块化设计Park NX12是专门针对专业电化学研究人员需求量身定制的原子力显微镜平台。它基于化学和电化学性质，气体和液体中介质的特性，为扫描探针显微镜提供了一个通用的解决方案，可用于广泛的不透明和透明材料。Park NX12基于其广泛的可视光投置到扫描探针的扫描探针显微镜技术的纳米管，易用性强。Park NX12具有高精准度，是多用户设备和职业研究人员的理想平台。多功能应用Park NX12功能广泛，包括液体中的PinPoint &trade 和纳米力学，倒置光学显微镜定位透明样品，离子电导显微镜软样品成像，以及改善透明样品光学性能的可视性。—————————————————————————————————————————综合性的力谱方法Park NX12提供了一种在液态和空气中的纳米力学表征的完整套餐，使其成为广泛应用中的理想选择。模块化NX12模块化设计，安装简单，兼容性强，可以满足您的多种实验需求。适合早期职业研究人员的有竞争力的价格和灵活性早期职业研究人员通常没有足够的预算购买价格高昂的原子力显微镜。Park NX12不仅是经济实惠的入门之选，同时还提供了可随着职业发展而不断壮大的模块化平台。它不同于其他价格相近的原子力显微镜，Park NX12配有先进的研究级精度和功能，可为在空气和液体中的透明和不透明材料提供其表面形态纳米级分辨率。这使得新的化学，材料科学或生物化学实验室的理想投资回报成为可能。—————————————————————————————————————————Park SmartScan&trade 自动模式下的单击成像Park NX12配备了我们的SmartScan&trade 操作系统，使其成为市场上高速易使用的原子力显微镜之一。其界面直观给力，即使是未经培训的用户也可以无需监控，快速扫描样品。这使得专业研究人员能够将他们的经验专注在解决更大的问题和开发更好的方案。易使用性共享实验室的用户通常背景各异，经验水平各异。NX12为每个用户提供简单的点击界面和自动化SmartScan&trade 模式。打开原子力显微镜系统后，具体操作如下1. 点击 “设置”系统出现一个小窗口，通过动画演示指导您如何仪器设置和放置待成像的样品。一般情况下，这一步仅需几分钟。2. 点击 “定位”系统自动对悬臂进行频率扫描，让 Z 轴扫描仪向样品靠近，并自动对焦样品，使用户看到成像目标区域后进行操作，移动到目标区域。3. 点击 “成像”系统设置实现优化设置所必要的参数，然后启用悬臂，开始扫描样品。持续扫描，直至获得完整图像。结束悬臂将从样本上移开，准备进行下一次样品成像操作。—————————————————————————————————————————Park NX12 技术参数扫描器Z 扫描器柔性引导高推动力扫描器扫描范围 : 15 µ m (可选 30 µ m)高度信号噪声等级: 30 pm0.5 kHz bandwidth, rms (typical)XY 扫描器闭环控制的柔性引导XY扫描器扫描范围 : 100 µ m × 100 µ m驱动台Z 位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)XY位移台行程范围 : 10 mm x 10 mm (Motorized)样品架样品尺寸 : 开放空间 up to 50 mm x 50 mm, 厚度 up to 20 mm (建议使用 SPM 模式的样品尺寸小于 40 x 40 mm)样品重量 : 500 g光学10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µ m分辨率)样品表面和悬臂的直观同轴影像视野 : 840 × 630 µ m (带10倍物镜)CCD : 500万像素。120万像素 (可选)软件SmartScan&trade AFM系统控制和数据采集的专用软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的高级使用和更精密的扫描控制XEIAFM数据分析软件电子集成功能4通道数字锁相放大器弹性系数校准(热方法，可选)数据Q控制AFM 模式(*可选项)标准成像真正非接触式原子力显微镜PinPoint&trade 原子力显微镜接触式原子力显微镜横向力显微镜 (LFM)相位成像轻敲式原子力显微镜力测量力-距离(F/d)光谱力谱成像 介电/压电性能*静电力显微镜 (EFM)动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)压电力显微镜 (PFM)高压压电力显微镜机械性能力调制显微镜 (FMM)纳米压痕*纳米刻蚀*高压纳米刻蚀*纳米操纵*磁学特性*磁力显微镜 (MFM)可调制磁力显微镜电性能导电原子力显微镜 (C-AFM)*IV 谱线*扫描开尔文探针显微镜 (KPFM)扫描电容显微镜 (SCM)*扫描电阻显微镜 (SSRM)*扫描隧道显微镜 (STM)*光电流测绘 (PCM)*化学性能*功能化探针的化学力显微镜电化学显微镜 (EC-AFM)原子力显微镜选项电化学电池电化学电池通用液体电池的电化学工具包电化学选项恒电位仪双恒电位仪 温度控制温控台 1 -25 °C to +170 °C温控台 2 Ambient to +250 °C温控台 3 Ambient to +600 °C液下探针柄专为在一般液体环境中成像而设计对大多数包括酸在内的缓冲溶液具有抗腐蚀性可在液体中进行接触式和非接触式原子力显微镜成像隔音罩独立型 AE 204Z 扫描头15 μm Z Scanner AFM head30 μm Z Scanner AFM head15 μm Z Scanner SICM module30 μm Z Scanner SICM module环境控制选项手套箱活细胞室液体池通用液体池有液体/气体灌注的开放式或封闭式液体池 温度控制范围: 0 °C to +110 °C (in air), 4 °C to +70 °C (with liquid)电化学池开放式液体池磁场发生器施加平行于样品表面的外部磁场可调磁场范围 : -300 ~ 300 gauss由纯铁芯和两个电磁线圈组成高级模式的入门套件易用于包含专用探针和样品的高级模式

用于研发的灵活与多功能的原子力显微镜仪器简介：FlexAFM原子力显微镜是Nanosurf公司新研发的在大气环境和液体环境下都可以进行测试，并且可与倒置光学显微镜和温度样品台联用。可以满足绝大多数研究的需要。瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。技术参数：1，FLEXAFM原子力显微镜测量模式：接触式原子力显微镜（大气和液态环境），真正非接触式原子力显微镜（大气和液态环境），横向力/摩擦力显微镜（LFM），导电原子力显微镜，磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe），扫描热原子力显微镜（SThM），电容和静电力显微镜（EFM），高级的纳米光刻和纳米操作能力，音叉原子力显微镜，三维扫描成像。2，扫描范围：100 um；10 um3，Z方向范围：10um；3 um4，XY方向驱动分辨率：0.152 nm5，Z方向驱动分辨率：0.046 nm6，最小Z方向测量噪音水平：0.15nm7，样品尺寸：直径100mm主要特点：1，FlexAFM无论是在大气环境下还是在液体环境下都可以进行测试，操作和测试的方便程度是完全一样，没有什么区别。2，灵活弯曲结构的扫描头设计，可以引用于平的或粗糙的样品表面。XY-扫描通过电磁驱动，XY平面的运动是完全线性的 。Z方向的运动是通过压电陶瓷来驱动，Z方向的运动速度很快。3，激光光束进入液体时会发生一定偏移，通常实验时需要耐心和复杂的调整。而FlexAFM 使用了专利SureAlign&trade 的激光光学系统，无论是在大气下还是在液体中根本不需要做任何调整。所以FlexAFM 的激光信号永远处于最佳状态。4，两个方向的视窗，非常方便观察和针尖逼近。并且由于特别的设计，使得无论在大气环境还是液体环境得到同样质量的视像。5，FlexAFM 使用"Liquid Ready" easyScan 2控制器, 可以扩展STM 等技术。为了材料研发上的成功,科学家们依赖专业的工具来快速地提供需要的信息,不管是否是手头的任务. 通过开发关键技术与设计, Nanosurf使得Flex-Axiom成为一款迄今为止强大多功能而且灵活的AFM, 非常方便地进行各种各样材料研发方面的应用. 配合功能强大的C3000控制器, Flex-Axiom还可以进行更多复杂的材料表征应用. 几百个研究用户，多方面应用实例Flex-Axiom是您可信赖的工具，不管是在表面形貌还是计量成像上，不管在大气中还是液体环境中. 当然Flex-Axiom不仅仅可以用于表面形貌测量, 比如还可以进行高级纳米机械性能、电学或者磁学性能表征. 该系统更能有效地用于样品的微纳米操纵功能. Topography, KPFM, and MFM images of the same area of a stainless steel sample 精确而优越的性能方便您研发上的需求Flex-Axiom使用特殊的线性电磁平板扫描器用于XY移动. 该扫描器在全范围内的平均线性度误差小于0.1%, 属于AFM市场上的顶配. Z轴由压电驱动, 带有位置传感器可以实现闭环操作. 高敏感的悬臂梁探测系统可以测量到MHz测量范围. Flex-Axiom的测量头配置的是全功能的, 带有数字反馈与两个双通道锁放的最新24位C3000控制器.Imaging of single and multiple pyrene nanosheets and height analysis with sub-nanometer accuracy. Data courtesy: Mykhailo Vybornyi, University of Berne, Switzerland 模块化设计: 让您今天的预算物有所值，让您未来有更多机会增加配置或需求Flex-Axiom带有模块化的样品台设计与各种探针底座类型, 可以满足您当前与今后的需求. 基于C3000控制器, Flex-Axiom可配置14种AFM操作功能, 甚至更多可扩展功能, 可以进行更多材料开发上面的高级测量与实验研究. ECS 204电化学样品台, 举例来说, 可以进行样品的电化学与以及样品周围的环境控制, 这样就可以开发更多新的应用. 跟一些我们的高级研发用户一起, 用于大范围纳米刻蚀、手套箱内操作、磁阻感应功能都已经被开发出来. Large-area nano-lithography (Dr. Lu Shin Wong, Manchester, UK) Flex-Axiom in glove box (Dr. Philip Kim, Harvard University, US) Magneto-resistive sensing (Dr. Jo?o Gaspar, Braga, PT) Flex-Axiom的模块化概念可以轻松地让它升级到其他FlexAFM产品线 (如用于生命科学的Flex-Bio, 用于自动纳米机械性能分析的Flex-ANA以及用于细胞与纳米操纵的Flex-FPM)， 给您的Flex-Axiom系统提供了更多的升级与扩展的可能性. Flex-Bio Flex-ANA Flex-FPM 开发所有的实践细节，有益于日常操作FlexAFM视频选件集成了两个摄像头用于顶视与侧视, 可以让您快速地找到感兴趣区域并逼近针尖到样品表面位置，然后进行全自动逼近. Camera optics Top view Side view带有定位槽结构的探针底座可使用带有定位沟槽的探针. 该探针底座提供了微米级别定位精度, 更换探针无需调节激光； 可以让您更换探针后依然方便地找到样品同样的位置. Flex-Axiom 配件与附件 Flex-Axiom系统的核心是FlexAFM测量头与C3000控制器，它们由I100电气转接盒连接. 基于标准配置, Flex-Axiom具有多个选件与附件可以供选择, 专门设计用来提高更稳定与可靠的结果, 或者提供了更多新型测量功能与实验的可信性: 各种探针底座类型 FlexAFM视频选件，顶视与侧视双光学ECS 204 电化学样品台ATS 204 自动移动台Isostage主动式防震台环境控制来进行干燥或者低氧环境操作 高级隔声罩用于保护外界噪声与其他干扰

Bruker 全自动原子力显微镜 InSight AFP——第五代AFP具有业界高的分辨率、快的成型速度和快速的3D模具映射InSight AFP是世上性能*高、行业首-选的先进技术节点CMP轮廓和蚀刻深度计量系统。将其现代尖-端扫描仪与固有的稳定电容式压力计和精确的空气轴承定位系统相结合，可以在模具的活动区域进行非破坏性的直接测量。 0.3纳米长期稳定提供NIST可追踪的参考计量，并在一年内保持测量的稳定性260-340个站点/小时内联应用程序的*高生产效率减少MAM时间和优化的晶圆处理可保持高达50个晶圆/小时的吞吐量高达36000微米/秒仿形速度通过热点识别提供高分辨率3D特征*高分辨率，尖-端寿命长InSight AFP的TrueSense技术，具有原子力分析器经验证的长扫描能力。亚微米特征的蚀刻深度、凹陷和侵蚀可以完全自动化地监控，具有无与伦比的可重复性，无需依赖测试键或模型。-----蚀刻和CMP晶片的全自动在线过程控制Insight AFP结合了原子力显微镜的新创新，包括Bruker的专有CDMode，用于表征侧壁特征和粗糙度。CDmode减少了所需的横截面数量，实现了显著的成本节约。此外，AFP数据提供了无法通过其他技术获得的直接侧壁粗糙度测量。自动缺陷审查和分类当今集成电路的器件缺陷比以往任何时候都小，需要快速解决HVM需求。InSight AFP提供了有关半导体晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息，使制造商能够快速识别缺陷源并消除其对生产的影响。100倍高分辨率配准光学元件和AFM全局对准可使图案化晶圆和掩模的原始图像放置精度低于±250 nm，确保感兴趣的缺陷是测量的缺陷。该系统与KLARITY和大多数其他YMS系统完全兼容。3D模具映射和HyperMap&trade 分析速度高达36000μm/sec，能够对33mm x 26mm及更大的闪光场进行快速、完整的3D CMP后表征和检查。超2纳米的平面外运动，实现真正的大规模地形和全自动抛光后热点检测。在本例中，在24小时内以1微米x 1微米像素大小获得了完整的标准26毫米x 33毫米十字线场扫描。然后可以使用Bruker的热点检测和审查功能自动检测和重新扫描热点。售后服务Bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP——紧凑型高性能剖面仪和AFMBruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。 0.5 nm长期动态再现性用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量 亚纳米CMP自动计量的灵敏度，专用碟形和腐蚀计量包，用于无与伦比的过程控制和开发 20nm仿形平面度大于26mm针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量 在线计量结果以分钟为单位，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制在高级技术节点，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求，以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕新一代AFM扫描仪构建，在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度，小于10纳米。该系统的NanoScopeV 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度，以提高生产效率，所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项先进功能，可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。售后服