D07-7CM
质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。标 准: 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为: 标准温度&hellip &hellip &hellip &hellip &hellip &hellip 0℃(273.15K) 标准压强&hellip &hellip &hellip &hellip &hellip &hellip 101325Pa输入和输出: 输入电源&hellip &hellip &hellip &hellip &hellip &hellip +15V,50mA,-15V,50mA 输出电压检测&hellip &hellip &hellip &hellip 0~+5.00V技术参数: 满量程流量范围(N2) 5SCCM~10SLM 控制范围 2~100%F.S. 准确度 ± 1.5%F.S. 线性 ± 0.5~1.5%F.S. 重复精度 ± 0.2%F.S. 响应时间 &le 7sec 工作温度范围 5~45℃ 工作压差 <0.01MPa 耐压 3MPa 漏气率 1× 10-8atm.cc/sec He 密封材料 氟橡胶(或氯丁橡胶) 电插头形式 DB15 pin(Female) 接头选择 VCR 1/4&rdquo 或&phi 4hose、&phi 6hose Swagelok 1/4&rdquo 或&phi 6、&phi 3 抗电磁干扰 CE 重量 0.92Kg主要特点:★高性能价格比、普通型产品 ★橡胶密封、模拟电路的MFM ★7B型的更新换代型 ★管状分流,使用寿命长