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多位晶圆四探针测试仪

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多位晶圆四探针测试仪相关的资讯

  • 瑞柯发布瑞柯全自动四探针测试仪新品
    FT-3110系列全自动四探针测试仪一.功能描述:四点探针法,全自动化运行测量系统,PC软件采集和数据处理;参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻;可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择;真空环境,可显示:方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件. 报表输出数据统计分析.FT-3110系列全自动四探针测试仪二.适用范围晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等;半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏等. FT-3110系列全自动四探针测试仪三.技术参数: 规格型号FT-3110AFT-3110B1.电阻10^-5~2×10^5Ω10^-6~2×10^5Ω2.方块电阻 10^-5~2×10^5Ω/□10^-6~2×10^5Ω/□3.电阻率 10^-6~2×10^6Ω-cm10-7~2×106Ω-cm4.测试电流 0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA, 10mA,100mA1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA5.电流精度 ±0.1% 6.电阻精度 ≤0.3%7.PC软件操作PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、压力、报表生成等8.压力范围:探针压力可调范围:软件控制,100-500g可调9.探针针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%圆头铜镀金材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制10.可测晶片尺寸选购 晶圆尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm);方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm11.分析模式单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试12.加压方式测量重复性:重复性≤3% 13.安全防护具有限位量程和压力保护 误操作和急停防护 异常警报14.测试环境真空15.电源输入: AC220V±10%.50Hz 功 耗:瑞柯全自动四探针测试仪
  • 北京离子探针中心离子探针质谱仪器研发进入攻坚阶段
    2010年1月16-17日,由北京离子探针中心主办的“2009北京SHRIMP成果报告会”在京隆重举行。中国科学院多位院士、政府相关部门负责人以及来自全国各地的地学界同仁等约100人出席了开幕式。自2002年起,一年一度的“北京SHRIMP成果交流会”已经成为中国地学界同仁们进行学术交流、展示成果的一个重要平台,其在学界的地位得到了业内人士越来越高的重视。   2010年1月16-17日的“2009北京SHRIMP成果报告会”开幕式上,“中心”主任刘敦一研究员向与会领导及来宾总结汇报了“中心”2009年度的主要工作进展 ,其中他也谈到了北京离子探针中心自主研发离子探针质谱类大型科学仪器的相关情况:   目前,在科技部和财政部的支持下,该项建议已在“十一五”国家科技支撑计划重大项目《科学仪器设备研制与开发》中立项,其中《二次离子质谱仪器核心技术及关键部件的研究与开发》子项目由北京离子探针中心牵头负责并开始实施。在各协作单位的共同努力下,课题的各项研究工作进展顺利,对主要关键技术的攻关有了突破进展;完成了TOF-SIMS和Trap-TOF的整机设计、气体离子源的整体设计,加工了部分关键部件;液体金属源创新研究顺利进行,样品台三维微聚焦系统完成了方案设计及关键部件选型;离子光学系统、二次离子源及质谱接口完成了理论模拟、方案设计及优化;TOF专用高速数字转换器(ADC)已完成方案设计,实现了部分电路子系统;实现了飞行时间质谱模块和模拟电路系统模块、数字测控模块及软件系统模块;搭建了离子阱离子反应器实验装置,完成了角反射式TOF系统的设计及关键器件的研制。   而据“中心”近期透露,仪器研发项目的最新进展是:已经进入攻坚阶段,并已显示出中心在技术创新方面具有雄厚的基础和发展前景。
  • 我司在上海某高校成功安装基于Janis 探针台和Keithley 4200半导体特性仪的测试系统。
    我司于2017年1月在上海某高校成功安装基于Janis 探针台和Keithley 4200半导体特性仪的测试系统。该探针台配置四个三同轴探针臂和两个光纤探针臂,漏电流优于50fA。该探针台变温范围大(8K-675K)。我司提供Keithley 4200半导体特性仪,并提供集成变温IV、CV和输运和转移特性等测试软件 变温测量IV和VI曲线 变温场效应管(横坐标Vgs,纵坐标Ids, 不同曲线代表不同的Vds和温度) 变温场效应管(横坐标Vds,纵坐标Ids, 变温CV测试(横坐标偏压,纵坐 不同曲线代表不同的Vgs和温度) 标电容,不同曲线代表不同温度)
  • 瓶颈显现,国产半导体测试探针突围之路漫漫!
    p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 随着芯片性能的日益提升,芯片复杂度越来越高,为了保证出厂的芯片品质,芯片测试环节越来越受到各大厂商的重视。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 在测试系统中需要用到一种重要的配件便是测试治具,包含设备连接治具(Docking)、探针台接口板(PIB)、探针卡、KIT、测试座(Socket)等,而其中的核心零部件便是测试探针,占整个测试治具总成本的70%。 /p h3 style=" text-align: justify text-indent: 0em " 测试探针市场被国外厂商占据 /h3 p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 众所周知,国内半导体产业与国际的差距是全方位的,尤其是在高端领域,而高端芯片也是最注重测试环节领域。因此,与高端芯片的供应情况一样,芯片测试及其测试治具、测试探针等市场均被欧美、日韩、台湾等地区的厂商占据。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 长期以来,国内探针厂商均处于中低端领域,主要生产PCB测试探针、ICT测试探针等产品。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 近年来,伴随着资本运作和技术升级,长电科技、华天科技、通富微电已进入全球封测企业前十强,技术上已基本实现进口替代。同时,以华为、中兴等为代表的公司正加快将订单转移给国内供应商,芯片测试领域也展现了前所未有的繁荣景象。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 中美贸易摩擦的一次次升级也给我们敲响了警钟,不仅是IC测试环节需要国产化替代,作为重要配件的测试治具以及测试探针环节同样需要加快国产化进程。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 随着国内半导体产业链国产化替代的需求显现,近些年国内探针厂商开始布局发力半导体测试探针产品。目前,正在向半导体探针市场突围的国内厂商有台易电子(中韩合资)、木王探针、克尔迈斯(qualmax、韩资)、钛辅(台资)、先得利(港资)、和林科技等厂商。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 事实上,在半导体测试探针、测试治具领域近期发生了一件大事,华为旗下哈勃投资与来自马来西亚的老牌测试探针厂商JF Technology合作,在中国设立合资公司生产测试探针以及测试治具,并在业务方面进行深度绑定。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 一直以来,哈勃投资的目标均为国产供应链厂商,上述投资是截至目前哈勃投资首次与国外公司合作。笔者从业内了解到,这其实是无奈的选择,因为华为急需重构供应链,而国内厂商生产的测试探针产品性能并不能满足华为的需求。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 事实上,为避免技术外流,国外及台湾厂商都没在大陆设厂生产半导体测试探针(部分台湾厂商设有生产治具的工厂),这也导致进口测试探针产品交期太长,在设计、生产、物流以及售后服务等各方面都不能跟上国产客户的需求。 /p h3 style=" text-align: justify text-indent: 0em " 瓶颈显现,进口替代之路漫长 /h3 p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 尽管半导体测试探针国产化迫在眉睫,但从技术的角度来看,要想替代进口产品却并不容易。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 业内人士指出,国内半导体测试探针还只能用于要求不高的测试需求,比如可靠性测试国产探针可以替代很多,但功能性测试和性能测试还有待突破。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 台易电子社长涂炳超表示,一套测试治具需要用到几十、几百甚至于上千根测试探针,若是有1根探针出现问题,那整套治具都要报废,这也是治具厂商一般会采购进口探针的原因所在。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 日本、韩国、台湾等地的半导体测试探针厂商是与国外的大型半导体厂商一起成长起来的,有长时间的技术积累,为很多大型企业提供测试解决方案,是经过市场验证的产品和团队,因此,进口测试探针有先天的优势,在中国市场颇为受欢迎。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 弹簧测试探针最核心的技术是精微加工和组装能力,涉及精微加工设备、经验、工艺能力缺一不可。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 值得注意的是,由于半导体测试探针市场一直被国外厂商占据,同时也实施了技术封锁,国内并没有相应的技术人才,包括生产人员和设计人员都缺乏。国内大部分测试探针厂商基本不具备全自动化生产制造能力。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 涂炳超指出,在国产测试探针厂商中,在国内有工厂的仅有木王探针、先得利、台易电子等少数厂商,而qualmax的工厂在韩国,在国内并未设立工厂,仅以贸易的方式在国内进行销售,和林科技则是以外购零部件的方式运作,仅负责组装,然后对外销售。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 涂炳超表示,“对于生产半导体测试探针而言,国产探针厂商面对的处处是瓶颈。” /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 在设备方面,生产半导体测试探针的相关设备价格较高,国内厂商没有足够的资金实力,采购日本厂商的设备。另一方面,对于半导体设备而言,产业链各个环节均会采购定制化的设备,客户提出自身需求和配置,上游设备厂商通过与大型客户合作开发,生产出经过优化的最适合该客户的设备。因此,即使国产探针厂商想采购日本设备厂商的专业设备,也只能得到标准化的产品。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 在原材料方面,国产材质、加工的刀具等也不能达到生产半导体测试探针的要求,同时日本厂商在半导体上游原材料方面占据绝对的优势,其提供给客户的原材料也是分等级的,包括A级、B级、S级,需要依客户的规模和情况而定。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 在工艺方面,常用的测试探针是由针头、针管、弹簧这三个组件构成的,测试探针中的弹簧是测试探针使用寿命的关键因素,电镀处理过的弹簧使用寿命高,不会生锈,也能提高测试探针是持久性和导电性。因此,电镀工艺是生产半导体测试探针的主要技术,而国内的电镀工艺尚且有待突破。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 根据VLSIResearch统计,2019年,全球半导体测试探针系列产品的市场规模达到了11.26亿美元。随着国产高端芯片不断突围,国内半导体测试探针市场规模也将迅速增长。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 涂炳超指出,总体来说,只要高端芯片、高端封测厂商才需要用到半导体测试探针,只有国内高端芯片和测试遍地开花,整个产业足够大,国产配套供应商才能迅速成长起来。 /p
  • 恒品推出下压悬空法探头式初粘力测试仪
    探头式初粘力测试仪国际上生产的企业很少,而且他们采用的是上顶自重法,该法实验过程摩擦阻力大,下降时有冲击,因此不可避免造成测试结果重复性差。济南恒品研制的HP-TCN-A探头式初粘力测试仪创新的采用下压悬空法,利用高精度传感器和软件来精确控制向下初始加压力,测试面放置在特制的悬空不锈钢平面上,测试结果准确、重复性高;而且该种测试方法更加贴近于人手向下触摸胶粘面的感性认知。HP-TCN-A探头式初粘力测试仪又叫探针式初粘力试验机(Probe Tack Tester)依据ASTM D2979 的规范等国际标准生产,是胶带初粘力测试的方式之一,主要用于各种胶带、粘合剂类等各种不同产品的初始粘着力测试,产品适合各类研究机构、胶粘剂企业、不干胶等检验检疫机构等。HP-TCN-A探头式初粘力测试仪测试原理是使用规定直径精密研磨的平面探头压在黏胶面,完全接触之后,再反方向恒速完全分离所产生的最大力,这个最大力值即为所测试样的初粘力,机器会记录离开时最大拉力数值。HP-TCN-A探头式初粘力测试仪主要产品特点:超大触摸屏显示,数据收集系统具有即精确又易用的特点,是当前先进的测量仪器;采用微电脑控制技术,,精度高,操作简便;采用高精度传感器,精确度可以达到重量感应器标准的+0.1%;先进的静音电机和精密滚珠丝杠,传动运行平稳,位移测量更加准确;高清晰LCD显示,操作一目了然;连接微型打印机:可实现实验日期、试验结果,直接及时打印.;具有试验力值保持功能,查看实验结果更加方便;无级调速可在1—800范围内任意设定精度。
  • 狂发Nature等顶刊!Lake Shore低温探针台,助力超越硅极限的二维晶体管革新
    当今科技迅猛发展,电子器件的小型化和性能提升是科研人员的极致追逐。其中,晶体管是当代电子设备中不可或缺的核心组件,其尺寸微缩和性能提升直接关系到整个电子行业的进步。与此同时,硅基场效应晶体管(FET)的性能逐渐逼近本征物理极限,国际半导体器件与系统路线图(IRDS)预测硅基晶体管的栅长最小可缩短至12 nm,工作电压不低于0.6 V,这决定了未来硅基芯片缩放过程结束时的极限集成密度和功耗。因此,迫切需要发展新型沟道材料来延续摩尔定律。 二维(2D)半导体具备可拓展性、可转移性、原子级层厚和相对较高的载流子迁移率,被视为超越硅基器件的下一代电子器件的理想选择。近年来,先进的半导体制造公司和研究机构,都在对二维材料进行研究。Lake Shore的低温探针台系列产品可容纳最大1英寸(25.4mm)甚至8英寸的样品,可以为二维半导体材料研究提供精准的温度磁场控制及精确可重复的测量,是全球科研工作者的值得信赖的工具。本文我们将结合近期Nature、Nature electronics期刊中的前沿成果,一起领略Lake Shore低温探针台系列产品在二维晶体管革新中的应用吧! 图1. Lake Shore低温探针台1. 探针台电学测量揭秘最快二维晶体管——弹道InSe晶体管 对于二维半导体晶体管的速度和功耗方面的探索,北京大学电子学院彭练矛院士,邱晨光研究员课题组报道了一种以2D硒化铟InSe为沟道材料的高热速度场效应晶体管,首次使得二维晶体管实际性能超过Intel商用10纳米节点的硅基FinFET(鳍式场效应晶体管),并将工作电压下降到0.5V,称为迄今速度最快、能耗最低的二维半导体晶体管。相关研究成功以“Ballistic two-dimensional InSe transistors”为题发表于《Nature》上。 基于Lake Shore 低温探针台完成的电学测试表明,在0.5 V工作电压下,InSe FET具有6 mSμm-1的高跨导和饱和区83%的室温弹道比,超过了任何已报道的硅基晶体管。实现低亚阈值摆幅(SS)为每75 mVdec-1,漏极诱导的势垒降低(DIBL)为22 mVV-1。此外,10nm弹道InSe FET中可靠地提取了62 Ωμm的低接触电阻,可实现更小的固有延迟和更低的能量延迟积(EDP),远低于预测的硅极限。 这项工作首次证实了2D FET可以提供接近理论预测的实际性能,率先在实验上证明了二维器件性能和功效上由于先进硅基技术,为2D FET发展注入信心和活力。2. 探针台光电测量揭示光活性高介电常数栅极电介质——2D钙钛矿氧化物SNO 与2D半导体兼容的高介电常数的栅极电介质,对缩小光电器件尺寸至关重要。然而传统三维电介质由于悬挂键的存在很难与2D材料兼容。为解决以上问题,复旦大学方晓生教授等人进行了大量研究实验,发现通过自上而下方式制备的2D钙钛矿氧化物Sr10Nb3O10(SNO)具有高介电常数(24.6)、适中带隙、分层结构等特点,可通过温和转移的方法,与各种2D沟道材料(包括石墨烯、MoS2,WS2和WSe2)等构建高效能的光电晶体管。文章以“Two-dimensional perovskite oxide as a photoactive high-κ gate dielectric”为题发表在Nature electronics上。图3. 具有SNO顶栅介电层的双栅WS2光电晶体管的电特性和光响应 基于Lake Shore探针台的光电测试表明,SNO作为顶栅介电材料,与多种通道材料兼容, 集成光电晶体管具有卓越的光电性能。MoS2晶体管的开/关比为106,电源电压为2V,亚阈值摆幅为88&thinsp mVdec-1。在可见光或紫外光照射下,WS2光电晶体管的光电流与暗电流比为~106,紫外(UV)响应度为5.5&thinsp ×&thinsp 103&thinsp AW-1,这是由于栅极控制和光活性栅极电介质电荷转移的共同作用。本研究展示了2D钙钛矿氧化物Sr2Nb3O10(SNO)作为光活性高介电常数介质在光电晶体管中的广泛应用潜力。 3. 探针台电学测量探索200毫米晶圆级集成——多晶MoS2晶体管 二维半导体,例如过渡金属硫族化合物(TMDs),是一类很有潜力的沟道材料,然而单器件演示采用的单晶二维薄膜,均匀大规模生长仍具挑战,无法应用于大尺度工业级器件制备。与单晶相比,多晶TMD的较大规模生长就容易很多,具备工业化应用集成的潜力。 有鉴于此,三星电子有限公司Jeehwan Kim和Kyung-Eun Byun 团队提出一种使用金属-有机化学气相沉积(MOCVD)制造大规模多晶硫化钼(MoS2)场效应晶体管阵列的工艺,与工业兼容,在商用200毫米制造设备中进行加工,成品率超过99.9%。文章以“200-mm-wafer-scale integration of polycrystalline molybdenum disulfide transistors”为题发表在Nature electronics上。 图4. 三种不同接触类型(a常规顶部接触,b多晶MoS2的底部接触,c单层MoS2底部接触)的电学特性和肖特基势垒高度 基于Lake Shore低温探针台CPX-VF的电学测试表明,相比于顶部接触,底部接触可以更好的消除2D FETs阵列中多晶2D/金属界面的肖特基势垒。没有肖特基势垒的多晶MoS2场效应晶体管表现良好,迁移率可达21 cm2V-1s-1,接触电阻可达3.8 kΩµ m,导通电流密度可达120µ Aµ m-1,可比拟单晶晶体管。4. Lake Shore低温探针台系列 美国Lake Shore公司的低温探针台根据制冷方式不同,主要分为无液氦低温探针台和消耗制冷剂低温探针台,其下又因为磁场方向、尺寸大小差别,有更多型号的细分,适用于不同应用场景(电学、磁学、微波、THz、光学等),客户可根据需要,选择不同的温度和磁场配置。客户可以选择自己搭配测试仪表集成各类测试,也可以选择我们的整体测试解决方案,如电输运测试、半导体分析测试、霍尔效应测试、铁电分析测试,集成光学测试等。图5. 低温探针台选型和适用的应用场景Lake Shore低温探针台主要特征☛ 最大±2.5 T磁场☛ 低温至1.6 K,高温至675 K☛ fA级低漏电测量☛ 最高67 GHz高频探针☛ 3 kV 高电压探针(定制) ☛ 大温区低温漂探针☛ 真空腔联用传送样品(定制)☛ <30 nm低振动适用于显微光学测量☛ 无需翻转磁场快速霍尔效应测试☛ 多通道高精度低噪声综合电学测量☛ 光电、CV、铁电、半导体分析测试参考文献:1. J. Jiang, L. Xu, C. Qiu, L.-M. Peng, Ballistic two-dimensional InSe transistors. Nature 616, 470-475 (2023).2. S. Li, X. Liu, H. Yang, H. Zhu, X. Fang, Two-dimensional perovskite oxide as a photoactive high-κ gate dielectric. Nature Electronics 7, 216-224 (2024).3. J. Kwon et al., 200-mm-wafer-scale integration of polycrystalline molybdenum disulfide transistors. Nature Electronics 7, 356-364 (2024).相关产品1、Lake Shore低温探针台系列
  • 南京航空航天大学500.00万元采购探针台
    html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 南京航空航天大学高频半自动探针台采购项目(第二次)公开招标公告 江苏省-南京市-雨花台区 状态:公告 更新时间: 2024-08-21 项目概况 高频半自动探针台采购项目 招标项目的潜在投标人应在南京市雨花台区证大喜玛拉雅中心C座3楼306室或中招联合招标采购平台(网址:www.365trade.com.cn)获取招标文件,并于2024年09月11日 09点30分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:FGC202400002/TC249JA47 项目名称:高频半自动探针台采购项目 预算金额:500.000000 万元(人民币) 最高限价(如有):500.000000 万元(人民币) 采购需求: (1)采购内容: 序号 产品清单 数量 数量单位 组成部件名称 备注 1 高频半自动探针台 1 套 主功能单元 主件 2 配件设备 1 套 包括高低温系统,射频探针和支架,直流探针和支架,射频差分探针和支架,在片校准片,以及场务条件设备。 附件 (2)用途:用于验证理论模型和优化设计,提高测试效率。在教学过程中,通过对探针台的原理和操作学习,增强学生的动手能力,增加半导体芯片测试经验。 合同履行期限:自合同签订之日起 4 个月内到货并安装调试合格。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: / 3.本项目的特定资格要求:3.1具有独立承担民事责任的能力,需提供法人或其他组织的营业执照等证明文件,复印件加盖公章;3.2具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度,须提供会计师事务所出具的上一年度财务审计报告复印件加盖公章,或银行出具的证明文件复印件加盖公章(距开标时间六个月内开具),或距开标时间六个月内任一月份投标人出具的财务状况报告复印件加盖公章(至少包括资产负债表和利润表),法人或者其他组织成立未满三个月的需提供承诺具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度的承诺书(格式自拟);3.3具有履行合同所必需的设备和专业技术能力,需提供承诺函原件(格式自拟);3.4有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录,提供距开标时间六个月内任一月份的纳税证明文件复印件加盖公章(依法免税的应提供相应文件说明)和距开标时间六个月内任一月份的依法缴纳社会保障资金的证明材料复印件加盖公章(证明材料可以是能体现所缴社保类别的缴费银行单据、专用收据、社会保险缴纳清单或者所在社保机构开具的证明等,自行编写无效,依法不需要缴纳社会保障资金的应提供相应文件说明);3.5参加本项目采购活动前三年内(成立时间不足三年的、自成立时间起),在经营活动中没有重大违法记录,提供声明函原件(格式自拟,重大违法记录是指投标人因违法经营受到刑事处罚或责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。);3.6本次招标不接受联合体投标;3.7限制性条款:投标人须满足下述条款要求(需提供承诺函原件)(1)不存在单位负责人为同一人同时参与本项目投标的情况;(2)不存在直接控股、管理关系的不同投标人同时参与本项目投标的情况;(3)与采购人、采购代理机构不存在可能影响采购公正性的利益关系。3.8投标人不得有被列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录(采购代理机构将通过“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询投标人的信用记录并保存)。3.9特定资格条件:本项目接受进口产品投标(注:本文件所称进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品,若投标人为代理商须提供制造厂家的授权书)。 三、获取招标文件 时间:2024年08月21日 至 2024年08月28日,每天上午9:00至11:30,下午13:30至17:00。(北京时间,法定节假日除外) 地点:南京市雨花台区证大喜玛拉雅中心C座3楼306室或中招联合招标采购平台(网址:www.365trade.com.cn) 方式:供应商需在招标文件发售截止时间前登录中招联合电子招标采购平台( http://www.365trade.com.cn)完成注册(可免费注册)、下单、结算操作,否则将无法获取招标文件。下单时需按平台附件要求提供领购文件的登记材料。中招联合电子招标采购平台操作过中如需帮助,可联系平台客服热线获取支持。 售价:¥400.0 元,本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间:2024年09月11日 09点30分(北京时间) 开标时间:2024年09月11日 09点30分(北京时间) 地点:南京市雨花台区喜玛拉雅中心C座305室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.逾期送达或未按招标文件要求密封的投标文件恕不接收。 2.本项目采用综合评分法。 3.本项目公告信息在中国政府采购网、中国招标投标网、南京航空航天大学校园网发布。 4.凡对本次招标提出询问,请按照招标文件的规定方式与中招国际招标有限公司联系。 5.采购项目需要落实的政府采购政策:节能、环保、促进中小企业发展、支持监狱企业发展、政府采购信用担保、三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知。 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:南京航空航天大学 地址:南京市御道街29号 联系方式:张老师 025-84892405 2.采购代理机构信息 名 称:中招国际招标有限公司 地 址:北京市海淀区学院南路62号中关村资本大厦 联系方式:丁皓然、顾新、牛建东 13914760421、18136485896、025-86986998 3.项目联系方式 项目联系人:丁皓然、顾新 电 话: 13914760421、18136485896、025-86986998 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容:探针台 开标时间:2024-09-11 09:30 预算金额:500.00万元 采购单位:南京航空航天大学 采购联系人:点击查看 采购联系方式:点击查看 招标代理机构:中招国际招标有限公司 代理联系人:点击查看 代理联系方式:点击查看 详细信息 南京航空航天大学高频半自动探针台采购项目(第二次)公开招标公告 江苏省-南京市-雨花台区 状态:公告 更新时间:2024-08-21 项目概况 高频半自动探针台采购项目 招标项目的潜在投标人应在南京市雨花台区证大喜玛拉雅中心C座3楼306室或中招联合招标采购平台(网址:www.365trade.com.cn)获取招标文件,并于2024年09月11日 09点30分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:FGC202400002/TC249JA47 项目名称:高频半自动探针台采购项目 预算金额:500.000000 万元(人民币) 最高限价(如有):500.000000 万元(人民币) 采购需求: (1)采购内容: 序号 产品清单 数量 数量单位 组成部件名称 备注 1 高频半自动探针台 1 套 主功能单元 主件 2 配件设备 1 套 包括高低温系统,射频探针和支架,直流探针和支架,射频差分探针和支架,在片校准片,以及场务条件设备。 附件 (2)用途:用于验证理论模型和优化设计,提高测试效率。在教学过程中,通过对探针台的原理和操作学习,增强学生的动手能力,增加半导体芯片测试经验。 合同履行期限:自合同签订之日起 4 个月内到货并安装调试合格。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: / 3.本项目的特定资格要求:3.1具有独立承担民事责任的能力,需提供法人或其他组织的营业执照等证明文件,复印件加盖公章;3.2具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度,须提供会计师事务所出具的上一年度财务审计报告复印件加盖公章,或银行出具的证明文件复印件加盖公章(距开标时间六个月内开具),或距开标时间六个月内任一月份投标人出具的财务状况报告复印件加盖公章(至少包括资产负债表和利润表),法人或者其他组织成立未满三个月的需提供承诺具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度的承诺书(格式自拟);3.3具有履行合同所必需的设备和专业技术能力,需提供承诺函原件(格式自拟);3.4有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录,提供距开标时间六个月内任一月份的纳税证明文件复印件加盖公章(依法免税的应提供相应文件说明)和距开标时间六个月内任一月份的依法缴纳社会保障资金的证明材料复印件加盖公章(证明材料可以是能体现所缴社保类别的缴费银行单据、专用收据、社会保险缴纳清单或者所在社保机构开具的证明等,自行编写无效,依法不需要缴纳社会保障资金的应提供相应文件说明);3.5参加本项目采购活动前三年内(成立时间不足三年的、自成立时间起),在经营活动中没有重大违法记录,提供声明函原件(格式自拟,重大违法记录是指投标人因违法经营受到刑事处罚或责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。);3.6本次招标不接受联合体投标;3.7限制性条款:投标人须满足下述条款要求(需提供承诺函原件)(1)不存在单位负责人为同一人同时参与本项目投标的情况;(2)不存在直接控股、管理关系的不同投标人同时参与本项目投标的情况;(3)与采购人、采购代理机构不存在可能影响采购公正性的利益关系。3.8投标人不得有被列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录(采购代理机构将通过“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询投标人的信用记录并保存)。3.9特定资格条件:本项目接受进口产品投标(注:本文件所称进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品,若投标人为代理商须提供制造厂家的授权书)。 三、获取招标文件 时间:2024年08月21日 至 2024年08月28日,每天上午9:00至11:30,下午13:30至17:00。(北京时间,法定节假日除外) 地点:南京市雨花台区证大喜玛拉雅中心C座3楼306室或中招联合招标采购平台(网址:www.365trade.com.cn) 方式:供应商需在招标文件发售截止时间前登录中招联合电子招标采购平台( http://www.365trade.com.cn)完成注册(可免费注册)、下单、结算操作,否则将无法获取招标文件。下单时需按平台附件要求提供领购文件的登记材料。中招联合电子招标采购平台操作过中如需帮助,可联系平台客服热线获取支持。 售价:¥400.0 元,本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间:2024年09月11日 09点30分(北京时间) 开标时间:2024年09月11日 09点30分(北京时间) 地点:南京市雨花台区喜玛拉雅中心C座305室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.逾期送达或未按招标文件要求密封的投标文件恕不接收。 2.本项目采用综合评分法。 3.本项目公告信息在中国政府采购网、中国招标投标网、南京航空航天大学校园网发布。 4.凡对本次招标提出询问,请按照招标文件的规定方式与中招国际招标有限公司联系。 5.采购项目需要落实的政府采购政策:节能、环保、促进中小企业发展、支持监狱企业发展、政府采购信用担保、三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知。 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:南京航空航天大学 地址:南京市御道街29号 联系方式:张老师 025-84892405 2.采购代理机构信息 名 称:中招国际招标有限公司 地 址:北京市海淀区学院南路62号中关村资本大厦 联系方式:丁皓然、顾新、牛建东 13914760421、18136485896、025-86986998 3.项目联系方式 项目联系人:丁皓然、顾新 电 话: 13914760421、18136485896、025-86986998
  • 和林微纳:募集5亿建两测试探针研发量产项目,列4.5亿元设备购置清单
    仪器信息网讯 2022年4月2日,和林微纳公布“天衡会计师事务所(特殊普通合伙)关于苏州和林微纳科技股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函的回复(2021年度财务数据更新版)”,通知显示,和林微纳本次拟募集资金总额超过5亿元,主要用于MEMS工艺晶圆测试探针研发量产项目和基板级测试探针研发量产项目的设备投资和研发费用。其中用于设备投资的金额预算约4.5亿元。公示信息截图项目一:"MEMS 工艺晶圆测试探针研发量产项目"本项目设备投资主要系购置配套生产设备与研发设备所产生的支出。生产设备与研发设备的数量,系基于该项目预计需求而确定;设备的价格,主要参照相同或类似规格/型号设备的市场价格,并结合公司历史采购经验测算得出。部分设备投资的具体明细及主要设备用途如下:项目一:"基板级测试探针研发量产项目"本项目设备投资主要系购置配套生产设备与研发设备所产生的支出。生产设备与研发设备的数量,系基于该项目预计需求而确定;设备的价格,主要参照相同或类似规格/型号设备的市场价格,并结合公司历史采购经验测算得出。部分设备投资的具体明细及主要设备的用途如下:
  • 我司在北京某研究所成功安装美国Janis公司生产的高低温真空探针台 2016-11
    我司于2016年11月在北京某研究所成功安装美国Janis公司生产的高低温真空探针台。该探针台变温范围大(8K-675K (LHe),80K-675K(LN2)),温度稳定性好(优于10mK)。配三同轴探针臂,漏电流优于50fA。配无油分子泵组,低温下真空度优于5*10-6mbar。与Keithley 4200半导体特性仪匹配使用,用于功能材料、拓扑绝缘体、纳米结构和器件等变温测试,也可以用于半导体器件、MEMS器件、超导器件与封装前在真空下做原位测试以及高低温的老化测试。 高低温真空探针台系统
  • 岛津应用:应用电子探针测试通信光纤
    光纤及光导纤维(Optical Fiber)。光纤通信是现代信息传输的重要方式之一。它具有重量轻、通信容量大、信号损耗小、传输距离长、保密性能好、不受电磁干扰及原材料丰富等优点,发展势头强劲。我国已成为全球最主要的光纤光缆市场、全球最大的管线光缆制造国和全球第二大光纤净出口国。 使用岛津电子探针EPMA可对不同类型的光纤进行线、面分析测试。从单根光纤试样的横截面的元素线分布和面分布的测试结果可以观察掺杂元素的含量及扩散分布情况。岛津公司在电子探针领域拥有50多年研发和制造经验,EPMA搭配52.5°高取出角和全聚焦晶体的波普仪WDS系统兼具高分辨率和高灵敏度特性,凭借其在微区分析的强大能力,可以在光纤预制棒、烧缩工艺后质量控制和最终成品光纤复核检验的整个开发及生产流程、残次品的失效分析中发挥重要作用。 了解详情,敬请点击《岛津电子探针测试通信光纤》 关于岛津 岛津企业管理(中国)有限公司是(株)岛津制作所于1999年100%出资,在中国设立的现地法人公司,在中国全境拥有13个分公司,事业规模不断扩大。其下设有北京、上海、广州、沈阳、成都分析中心,并拥有覆盖全国30个省的销售代理商网络以及60多个技术服务站,已构筑起为广大用户提供良好服务的完整体系。本公司以“为了人类和地球的健康”为经营理念,始终致力于为用户提供更加先进的产品和更加满意的服务,为中国社会的进步贡献力量。 更多信息请关注岛津公司网站www.shimadzu.com.cn/an/ 。 岛津官方微博地址http://weibo.com/chinashimadzu。岛津微信平台
  • 刘敦一谈中国仪器研制困境——访北京离子探针中心主任刘敦一研究员
    刘敦一研究员,曾任中国质谱学会理事长,2001年至今任国家大型科学仪器中心——北京离子探针中心主任。他是中国地学界的杰出领军人物,在同位素地质年代学研究领域成就卓著。同时,身为中国最早一辈从事质谱技术与仪器研制的科学家,刘敦一研究员曾多次就仪器研制相关问题向科技部、财政部提建议,呼吁相关部门关注、促进中国仪器研制事业的发展。   近日,仪器信息网编辑专访了刘敦一研究员,请他谈谈:他目前的仪器研制工作,以及他对中国仪器研制情况的看法。 北京离子探针中心主任 刘敦一研究员 从二次离子质谱仪器研制谈起   北京离子探针中心的核心仪器是高分辨二次离子探针质谱计(Sensitive High Resolution Ion Microprobe II ,SHRIMPⅡ),该仪器是同位素地质年代学领域最先进的科学仪器之一,也是刘敦一研究员在仪器研制方面的主要研究对象。2006年,北京离子探针中心承担了“十一五”国家科技支撑计划课题——《二次离子质谱仪器核心技术及关键部件研究与开发》,目前该课题已处于验收阶段,即将结题。   作为课题负责人的刘敦一研究员首先介绍了该课题的相关情况:“我们课题的总目标与内容是:攻克二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectroscopy ,SIMS)及飞行时间(TOF)串联质谱的若干关键技术,自主研发一批SIMS和串联飞行时间质谱核心关键部件。这个课题是由北京离子探针中心牵头,中国计量科学研究院、中国科学院大连化学物理研究所、复旦大学等单位参与其中,各自负责不同的子课题。”   “我们取得了一系列课题成果。本课题的主要目标是仪器核心部件,但也搭建了飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)、离子阱飞行时间质谱仪(Trap-TOF)的整机。通过课题组成员近四年的努力,课题组完成了课题任务书既定的各项指标,发表科技论文29篇(其中向国外发表5篇);申请国内发明专利24项,国际发明专利6项,其中已有2项国内发明专利和1项国外发明专利已获得授权;形成有关二次离子质谱(SIMS)及飞行时间(TOF)串联质谱的新技术、新产品、新装置和计算机软件等19项;有5项成果已在相关领域成功应用;培养、凝聚和造就了一支过硬的理论和技术人才队伍;建立了5个高端质谱仪器及关键部件试验平台和研发基地,为飞行时间质谱、串联质谱、高分辨ICP、辉光放电、高分辨气体同位素等高端质谱仪器自主研制的跨越式发展奠定了基础。”   “此次研制出来的各仪器部件有的是针对地学领域,但大部分是没有针对性的,比如离子源、样品台、离子阱、飞行管道、电学系统、高压模块等部件,这些与通常的飞行时间质谱与离子阱质谱的核心部件是一样的。所以,这些部件将来会有很广泛的适用领域。”   “SIMS的应用范围其实非常广泛,不仅可以用在地学领域,还可以应用于生命科学、材料、微电子、纳米等多个领域。未来北京离子探针中心仍将继续在SIMS方面努力探索。在‘十二五’,我们首先要提升本次研制出的各部件的各项指标,缩小其体积;然后,打算继续联合大连化物所等国内科研机构或国外相关机构专家,研制专门针对地学领域的TOF-SIMS。”北京离子探针中心的SHRIMPⅡ (图注:SHRIMPⅡ是磁质谱,其售价目前在3000万人民币左右,该仪器体积庞大,一台仪器占地面积就达几十平米。)   “TOF用在高精度同位素地质测量上是史无前例的,如果我们真的能够研制成功的话,那将是世界上第一台专门用于地学领域的TOF-SIMS。虽然我们不能保证研制出来的TOF-SIMS能比现在的SHRIMPⅡ在精度上有很大的提升,但只要该仪器能达到磁质谱的水平,这就是很大的创新与突破。先达到,再提高,这是一条新路子。但毫无疑问的是,TOF-SIMS的造价相比于SHRIMPⅡ将下降一半,体积也会缩小许多。” 实事求是地看待中国仪器研制的种种困境   刘敦一研究员长期关注中国仪器研制现状,在其担任政协委员时他曾写过一个名为《开展我国仪器研发制造的第二次创业》的提案,他在提案中说到:科学仪器自主研制能力是关系到国家安全与民族发展的“大事”。而刘敦一研究员在长期工作中也形成了关于中国仪器研制困境的独到观点。如果用一个词来形容他这些观点的话,那就是他在采访中提到的“实事求是”。   中国仪器研制有两“缺”   “中国在仪器研制方面是一穷二白、白手起家,基础非常薄弱。目前国内基本没有研制出大型仪器,只在一些小型仪器上有所突破,且在高端仪器研制方面没有太多投入。早期中国在仪器研制方面与国外的差距主要体现在电子学方面,现在这种差距已不明显。但中国仪器研制现在缺两样东西,一是缺乏仪器整机设计思想,二是缺乏仪器部件精密加工能力。这两方面是我们现在最需要提升的。”   “仪器研制是长期任务,如果不长期发展,是无法研制出好的精密仪器的。仪器研制不是找几个科学家、专家立几个项就能达成的,而应培育、设立仪器研发基地与仪器精密部件加工基地。对于国内一些在技术、人才、实验装置都配备较完善的单位,国家可以考虑将其建成为仪器研制基地,同时可以考虑培养、建立几家专门为高精尖仪器加工零部件的工厂。”   研制仪器核心部件比研制整机更艰难   “研制仪器整机,首先是要完成整机设计方案,然后着手各部件的研制与连接。因为仪器整机研制着眼是整体,很多核心部件可向国外供应商购买。所以在国内,仪器整机研制的过程有可能就沦为了仪器部件拼凑的过程。”   “中国如果没有研制仪器核心部件的能力,我们的仪器工业还是要依赖于外界,以后的发展还是会受到限制。所以,中国必须自己研制仪器部件,这样我们的仪器工业才能独立,大量进口仪器的价格才有可能下降。希望相关部门能重视与鼓励仪器部件的研制。”   “仪器核心部件的研制没有捷径,需要研究者从头做起,以中国的薄弱基础与粗糙的仪器部件加工能力,研制仪器核心部件的难度非常大。此外,研究者在部件研制出来以后,为了验证该部件的性能,还可能需要搭建整机,这又是一个非常艰难的过程。所以‘研制仪器核心部件比研制整机更艰难’。”   仪器研制项目过于强调“大联合”   “目前,国内很多仪器研制项目的申请与实施是多家国内知名院校、科研院所的‘大联合’。毫无疑问,这样的‘大联合’在项目申请时会比较具有优势。但对于项目实施而言,这并不见得是好事。联合的单位越多,在项目实施过程中的管理就越困难。管理不到位,最终可能导致课题目标无法完成。所以,在技术力量足够的情况下,联合的单位越少越好,这样效率可能更高,不要总是过于强调‘大联合’。”   对仪器研制项目成果的期望值过高   “在对待仪器研制项目成果的态度上,我们的期望值不能过高。但现在一些人总是期望每个仪器研制项目都能做出原始创新成果,这几乎是不可能的。其实,以中国现有的仪器研制基础,一些高、精、尖的仪器能够仿制出来就是很大的突破。所以,我们不能要求每一项仪器研制成果都是自主创新,不能因为一些成果没有太多自主创新的成果就‘看不起’,否则会打击许多仪器研制人员的热情,不利于中国仪器研制的发展。在这点上,政府的眼光应放长远些,应有耐心。” 促进中国仪器研制,相关制度变革更关键   当笔者问到“如何促进中国仪器研制事业发展”的时候,刘敦一研究员有些感慨:“中国把仪器研制耽误了这么多年,现在相比于国外落后这么多,想一下子跟上来几乎是不可能的。现在要大力发展中国仪器研制事业,资金、技术、人才等多方面的支持是很重要的。但我认为,变革现有相关制度是更为关键的因素。”   “其实,目前国家越来越重视仪器研制了,相关的财政投入也在加大。据可靠消息称:在‘十二五’规划中,除了国家自然科学基金委‘科学仪器基础研究专项’10亿元的支持外,新设立的‘重大科学仪器装置研究专项’每年投入更多资金;此外,科技部设立的‘国家重大科学仪器设备开发专项’对仪器项目的支持力度将上不封顶。但这些钱‘可能还不容易发出去’,因为自然科学基金是支持基础研究,目前这方面的仪器研制项目并不多,基金委可能较难找到合适项目来资助。所以我个人认为,目前的财政支持力度是够的。但在制度方面,情况却不这么乐观。”   仪器科研项目财政管理制度亟待改进   “目前,仪器研制项目的管理制度缺乏灵活性,太‘死’,一是项目预算‘死’,要求在项目进行前就将项目预算计划得非常精确;二是项目周期时间太‘死’,规定一个非常确切时间段,比如三年或五年。此外,一些项目计划一旦更改,比如要申请追加项目经费,上报审核过程非常繁琐、漫长,太费时间。仪器研制项目是具有创新性的工作,受很多未知因素影响,我们无法将预算做得很精确,无法将项目周期控制得毫厘不差。项目负责人需要一定的自由度。”   与仪器研制成果产业化相关的知识产权、审计制度要跟上   “仪器研制项目的成果应考虑产业化,这样才能让国家与民众受惠,才能让仪器行业发展得更好。但仪器研制成果产业化涉及利益分配,如何分配是个大问题。由此牵扯进来的知识产权、财务审计等问题目前没有明确的制度规定,仪器研制者如考虑将成果产业化可能会遇到很多障碍。”   “首先,知识产权问题。目前科研人员研制出来的仪器属于职务成果,这个成果的知识产权属于研究者所在单位,而科研人员个人能否受益和受益的比例完全取决于所在单位的土政策,国家没有统一的规定。这是不合理的,会打击科研人员的积极性。其次,财务审计问题。目前,仪器产业化必然要与企业发生关联,或者是科研人员与所在单位设立公司,或者将成果出售给其他公司。因为是职务成果,所以相关的财务审计程序繁多又琐碎,让许多科研人员非常头痛,难以专心搞科研。要促进科研成果的产业化,相关制度应该跟上。”   需打破人才制度禁锢,保护仪器研制人员利益  “目前,许多仪器研制项目主要集中在高校与科研院所,国家现有人才制度对进入这些单位的人员的学历要求很高,这有很多弊端。高学历并不意味着高技术水平,且仪器研制需要的人才种类很多,并不是每一个岗位都需要博士那样的高学历。而那些学历较低但在仪器研制方面很有天赋的技术人才却得不到发掘与重用。”   “我国专门研制仪器的人员少,大部分研究者都是将仪器研制作为‘副业’。如果仪器研制者在科研单位中不是专门从事仪器研制工作,那么他是非常吃亏的。他的利益很难得到保障,其地位、待遇较低,发文章较难,职称很难评上。在这样的情况下,科研单位留住这些仪器研制人才比较困难。我国仪器研制人才本来就匮乏,用人单位还招不到人、留不住人,这样情况就更糟糕了。相关人才制度方面该做点调整了。”   适当时候,一些强制性制度支持国产仪器产业是必要的   “目前,在购买仪器的时候,许多资金充裕的单位多是考虑国外进口仪器,对国产仪器则不作考虑,这种情况非常不利于国产仪器的发展。如果将来国产仪器发展到一定水平,国家可以采取一些强制制度,即只要国产仪器能够达到使用要求,仪器购买单位必须购买国产仪器。这样的强制性制度虽然可能存在不合理的地方,但是其对中国仪器研制以及国产仪器产业发展的推动作用一定是巨大的。”   针对以上方面,刘敦一研究员曾向相关部门提过许多建议,比如延长仪器研制项目周期,灵活调整项目经费,让科研人员能够享有一定比例的知识产权,允许用人单位采用岗位责任制与合同制等等。让人欣慰的是,有关部门在参考多方建议之后已经在许多方面有所调整了。   在采访的最后,刘敦一研究员还说到:“质谱类仪器研制需要机械、电子、物理、电气等多个学科的知识与成果,其对技术的要求是综合的、是最高水平的。这类仪器的研制可以带动其他种类仪器的发展,所以我一直建议重点发展质谱。介入这类比较高端仪器的发展,我们要鼓励自主创新,也要鼓励拷贝复制。我国各行各业对有机质谱的需求很大,如果我们真的能够研制出来,能保证仪器性能稳定,那么中国可以少买很多进口仪器,节省很多资金。”   采访编辑:杨丹丹   附录1:刘敦一研究员简介   刘敦一,1937年4月生,男,黑龙江人。1962年毕业于云南大学物理系。1962年至今,在中国地质科学院地质研究所从事同位素地质及其质谱技术方法研究。期间多次出国与国外同行进行合作研究或短期学术访问;曾长期担任同位素地质研究室和同位素地质开放实验室主任;1991年晋升为研究员;2001年至今,任国家大型仪器中心“北京离子探针中心”主任;曾任国际地质科学联合会副主席(1992—2000年)、国际地质科学联合会提名委员会委员、中国地质学会副理事长、中国质谱学会理事长,现任国际地质科学计划(IGCP)中国国家委员会主任和中国国际前寒武研究中心主任。第八届、九届、十届全国政协委员。   他在早前寒武纪地质年代学、超高压变质岩定年、蛇绿岩定年研究方面有突出成果,首次发现并厘定了38亿年和38.5亿年我国最老岩石和锆石;在同位素质谱技术方法和净化实验室建立上引领了我国同位素地质实验室的发展;引进了世界上先进的SHRIMPⅡ质谱仪,并快速建立锆石U-Th-Pb微区定年技术;2010年,其采用锆石SHRIMP定年法测定了来自美国的月岩和月球陨石样品年龄,重新确定了月球雨海纪的年龄,获国际认可。   他领导的北京离子探针中心,以最高的仪器利用率和开放程度,为国内外地学界提供了一个高水平的年代学实验与研究平台,以及大型科学装备远程共享示范研究—离子探针系统实现世界首创远程控制技术,得到国内外地学界的一致赞誉,并成为一个国际性开放实验室。   他曾发表论文151篇,其中国际SCI论文29篇;获得国土资源科技奖一等奖1项,排名第一;部级科技成果二等奖3项,排名为第二、三、七;部级科技成果三等奖3项,排名为第一、一、二。   2008年,美国科学杂志(American Journal of Science)出版专刊庆贺刘敦一的70岁生日(AJS,2008年3月号,Vol.308 No.3),该刊序言称其为“中国地学界杰出的领军人物”,褒扬其领导的北京离子探针中心为“世界上运行最成功的实验室之一”。   附录2:北京离子探针中心   http://www.bjshrimp.cn/   http://www.instrument.com.cn/news/20101201/052094.shtml
  • 一文解读扫描探针显微镜拓展模式(一)
    01MFM(Magnetic Force Microscopy,磁力显微镜)磁力显微镜(Magnetic Force Microscopy,MFM)是一种专门用于成像样品表面的磁性分布的扫描探针显微镜,通过探针和样品之间的磁力相互作用来获得信息。MFM应用MFM主要用于研究材料的磁性特征,广泛应用于物理学、材料科学、电子学等领域。常见的应用包括:磁记录介质:研究硬盘、磁带等磁记录设备的磁性结构和缺陷;磁性材料:分析磁性薄膜、纳米颗粒、磁性多层膜等材料的磁畴结构;生物磁性:研究生物组织中天然存在的磁性物质,如磁性细菌。应用实例在自旋存储研究中,以斯格明子的研究为例,传统的磁存储单元受限于材料性质,显著影响自旋存储的高密度需求。斯格明子是一种具有拓扑性质的准粒子,其最小尺寸仅为3nm,远小于磁性隧道结,是理想的信息载体,有望突破信息存储密度的瓶颈。下图为通过MFM表征获取的斯格明子图像。[1]标准斯格明子M-H曲线 斯格明子图像在磁盘研究中,通过MFM可以获取磁盘表面的高分辨率磁性图像,详细了解其磁畴结构和分布情况。MFM具有高空间分辨率和灵敏度,为磁盘材料的研究和优化提供了重要的数据支持。下图展示了通过MFM测试获取的磁盘表面磁畴结构图像。电脑软盘磁畴图像02PFM(Piezoresponse Force Microscopy,压电力显微镜)压电力显微镜(Piezoresponse Force Microscopy,PFM)是一种用于研究材料压电性质的扫描探针显微镜,利用探针与样品表面之间的逆压电效应来成像和测量材料的压电响应。材料由于逆压电效应产生形变示意图 [2]PFM应用PFM广泛应用于材料科学和电子学领域,尤其是在研究和开发新型压电材料和器件方面。具体应用包括:铁电材料:研究铁电材料的畴结构、开关行为和退极化现象。压电器件:分析压电传感器、致动器和存储器件的性能。生物材料:研究生物组织中的压电效应,例如骨骼和牙齿。应用实例具有显著的压电效应,即在外加机械应力作用下产生电荷。这使其在超声波发生器、压电传感器和致动器中具有重要应用。在研究PbTiO3样品时,通过PFM,可以获取PbTiO3表面的高分辨率压电响应图像,详细了解其畴结构和分布情况,为PbTiO3材料的研究和优化提供了重要的数据支持。下图展示了通过PFM测试获取的PbTiO3样品表面压电力图像。PbTiO3垂直幅度图PbTiO3垂直相位图03EFM(Electrical Force Microscopy,静电力显微镜)静电力显微镜是一种用于测量成像样品表面的电静力特性的扫描探针显微镜。EFM通过探针与样品表面之间的静电力相互作用,获取表面电荷分布和电势信息。静电力显微镜(抬起模式)[3]EFM应用EFM广泛应用于材料科学、电子学和纳米技术等领域,常见的应用包括:电荷分布:测量和成像材料表面的电荷分布。表面电势:研究材料表面的电势分布和电特性。半导体器件:分析半导体器件中的电特性和缺陷。纳米电子学:研究纳米级电子器件的电性能。应用实例Au-Ti条带状电极片静电力04KPFM(Kelvin Probe Force Microscopy,开尔文探针力显微镜)KPFM是一种通过探针与样品之间的接触电势差来获取样品功函数和表电势分布的扫描探针显微镜。KPFM广泛应用于金属、半导体、生物等材料表面电势变化和纳米结构电子性能的研究。KPFM 获取 Bi-Fe薄膜样品表面电势 [4]KPFM应用KPFM在材料科学、电子学和纳米技术等领域具有广泛的应用,常见的应用包括:表面电势分布:测量和成像材料表面的局部电势分布。功函数测量:研究材料的功函数变化,特别是对于不同材料的界面和缺陷。半导体器件:分析半导体器件中的电势分布和电学特性。有机电子学:研究有机半导体和有机电子器件的表面电势。应用实例Au-Ti条带状电极片表面电势05SCM(Scanning Capacitance Microscopy,扫描电容显微镜)扫描电容显微镜(Canning Capacitance Microscopy,SCM)是一种用于测量和成像样品表面的电容变化的扫描探针显微镜。SCM能够通过探针与样品表面之间的电容变化,提供高分辨率的局部电学特性图像。这种显微镜适用于研究半导体材料和器件的电学特性,如掺杂浓度分布、电荷分布和界面特性等。SCM在半导体工艺和材料研究、故障分析以及器件优化中发挥着重要作用。通过SCM,研究人员能够获得纳米尺度的电学特性信息,从而推动半导体技术的发展和创新。SCM原理示意图 [5]SCM应用SCM主要应用于半导体材料和器件的研究,广泛应用于电子学和材料科学领域。具体应用包括:掺杂分布:测量和成像半导体材料中的掺杂浓度分布。电荷分布:研究半导体器件中的电荷分布和电场。材料特性:分析不同材料的电容特性和介电常数。06致真精密仪器自主研发的原子力显微镜科研级原子力显微镜AtomEdge产品介绍利用微悬臂探针结构对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征,纵向噪音水平低至0.03 nm(开环),可实现样品表面单个原子层结构形貌图像绘制。可以测量表面的弹性、塑性、硬度、黏着力、磁性、电极化等性质,还可以在真空,大气或溶液下工作,在材料研究中获得了广泛的使用。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境:空气、液相● 多功能配置● 稳定性强● 可拓展性良好典型案例晶圆级原子力显微镜Wafer Mapper-M产品介绍利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征。样品台兼容12寸晶圆,电动样品定位台与光学图像相结合,可在300X300mm区域实现1μm的定位精度,激光对准,探针逼近和扫描参数调整完全自动化操作。可用于产线,对晶圆粗糙度进行精密测试。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境:空气、液相● 可旋转式扫描头● 多功能配置● 稳定性强、可拓展性良好典型案例参考文献:[1]Li S, Du A, Wang Y, et al. Experimental demonstration of skyrmionic magnetic tunnel junction at room temperature[J]. Science Bulletin, 2022, 67(7): 691-699.[2]Kalinin SV, Gruverman A, eds. Scanning Probe Microscopy: Electrical and Electromechanical Phenomena at the Nanoscale. Springer 2007.[3] https://www.afmworkshop.com/products/modes/electric-force-microscopy[4] https://www.ornl.gov/content/electrostatic-and-kelvin-probe-force-microscopy[5] Abdollahi A, Domingo N, Arias I, et al. Converse flexoelectricity yields large piezoresponse force microscopy signals in non-piezoelectric materials[J]. Nature communications, 2019, 10(1): 1266.本文由致真精密仪器原创,转载请标明出处致真精密仪器拥有强大的自主研发和创新能力,产品稳定精良,多次助力中国科研工作者取得高水平科研成果。我们希望与更多优秀科研工作者合作,持续提供更加专业的技术服务和完善的行业解决方案!欢迎联系我们!致真精密仪器一直以来致力于实现高端科技仪器和集成电路测试设备的自主可控和国产替代。通过工程化和产业化攻关,已经研发了一系列磁学与自旋电子学领域的前沿科研设备,包括“原子力显微镜、高精度VSM、MOKE等磁学测量设备、各类磁场探针台、磁性芯片测试机等产线级设备、物理气相沉积设备、芯片制造与应用教学训练成套系统等”等,如有需要,我们的产品专家可以提供免费的项目申报辅助、产品调研与报价、采购论证工作。另外,我们可以为各位老师提供免费测试服务,有“磁畴测试”、“SOT磁畴翻转”、“斯格明子观测”、“转角/变场二次谐波”、“ST-FMR测量”、“磁控溅射镀膜”等相关需求的老师,可以随时与我们联系。
  • 岛津电子探针助力中南大学学者在华南地区发现铟富集矿区
    导读铟是一种重要的战略稀有金属,分布稀散,一般矿产含铟量达1ppm(1克/吨,即0.0001%)即具有经济地选矿和开采价值。 湘南地区分布着大量的钨锡铅锌多金属矿床,中南大学刘建平副教授多年以来一直致力于湖南省香花岭地区研究铟的赋存和成矿机制研究。 经过地球化学和岛津电子探针测试数据分析,于2017年发现了一处含铟富矿,极具经济和学术研究价值。结果显示,在铟最富集的闪锌矿中,核部含7-8%(质量百分含量,Wt%)的铟,边缘铟含量高达21.96Wt%,为中国南方铟富集最多的闪锌矿。 铟的战略价值? 铟是稀有金属,含量极低且分散,地壳中的储量只有黄金的1/6。铟合金广泛应用于航空航天、无线电和电子工业、医疗、国防、能源等高科技领域,其中ITO(铟锡氧化物)占铟消费的80%以上。 因此,铟产业也被称为“信息时代的朝阳产业”,是目前最具新型战略性资源意义的稀有金属之一。 铟的赋存特征? 含铟矿床与钨锡铅锌多金属矿床有关,黄铜矿和锡石中虽然也含有微量的铟,但闪锌矿是最重要的富铟矿物。闪锌矿,主要成分ZnS,通常含铁、铜、以及锰、镉、镓等稀有元素。 湖南省香花岭矿田位于湘南成矿带西南角,矿区分布着稀有金属矿床和锡铅锌矿床,其中产于断层中的脉型锡铅锌矿床和花岗斑岩脉中的斑岩型锡铅锌矿床含有丰富的硫化物,铟通常赋存于这些矿床的硫化物中。 岛津电子探针测试铟的优势 铟稀有且分散,地壳丰度为0.05ppm,微量甚至痕量元素的测试需要高灵敏度微区测试仪器。 岛津电子探针(钨灯丝和六硼化铈EPMA-1720系列、场发射 EPMA-8050G) 岛津电子探针EPMA通过配置统一四英寸罗兰圆半径的、兼具灵敏度和分辨率的全聚焦分光晶体,以及52.5°的特征X射线高取出角,使之具备非常优异的微量元素检测能力。 岛津电子探针测试结果 中南大学刘建平副教授团队对新风锡矿床中的富铟闪锌矿进行元素面分析,元素In、Zn、Cu和Fe的面分布特征见下图。 富铟闪锌矿中主要元素分布特征图 测试结果表明,闪锌矿在核部富集元素Zn,在边缘富集元素In和Cu。在闪锌矿内部,受黄铜矿的影响,铜和铁分布不均匀。 表1 部分闪锌矿定量测试结果(Wt%) 电子探针测试结果显示,新风锡矿中的闪锌矿含有高含量的铟。在铟最富集的闪锌矿中,核部含7-8%的铟(质量百分含量,Wt%),边缘铟含量高达21.96%(Wt%),为中国华南铟含量最高的闪锌矿。 岛津电子探针通过配置高灵敏度、高分辨率的全聚焦型分光晶体和52.5°的高特征X射线检出角,使之具备非常优异的元素检测限,能够对载铟矿物进行观察和有效分析。 专家声音 自岛津电子探针EPMA-1720H于2013年落户中南大学地球科学与信息物理学院以来,不断地为校内外地质地矿科研工作提供测试和分析服务,提升了学校学科影响力,也协助谷湘平教授完成多种新型矿物的确认工作。 中南大学 刘建平副教授 本次在湘南香花岭锡铅锌矿床中发现的铟最富集闪锌矿,极具经济和学术价值,不但为战略稀有金属铟的勘探和采集提供了思路和方向,也为铟的成矿机制研究提供了一个很好的学术范例。 撰稿人:赵同新、崔会杰
  • 先进晶圆探针台制造商森美协尔完成新一轮近亿元融资
    据紫金港资本官微消息,近日,国内先进晶圆探针台制造商深圳市森美协尔科技有限公司(以下简称森美协尔)完成新一轮的近亿元融资。本轮融资由紫金港资本领投,前海嘉翔、深圳高新投等多家机构参与完成。本轮融资将主要用于森美协尔全球市场拓展和技术研发。森美协尔成立于2010年,专注于高性能晶圆探针台的自主研发,服务主要包括半导体芯片测试解决方案和标准型半导体测试设备两大类,可满足晶圆厂、芯片设计公司和科研院校等不同领域应用需求。曾两次引领国内半导体测试设备潮流,率先推出国内首台拥有自主知识产权的高低温真空探针台和激光修复机,填补了国内半导体测试设备空白。据悉,此前森美协尔已经获得深圳高新投、华登国际等多家投资机构的数轮投资。
  • “100家实验室”专题:访北京离子探针中心
    为广泛征求用户的意见和需求,了解中国科学仪器的市场情况和应用情况,仪器信息网自2008年6月1日开始,对不同行业有代表性的“100家实验室”进行走访参观。近日,仪器信息网工作人员参观访问了本次活动的第五十四站:北京离子探针中心,该中心学术秘书王晨女士热情地接待了仪器信息网到访人员。   北京离子探针中心(以下简称“中心”)成立于2001年12月18日,是由科技部、国土资源部和中科院共同出资1800万元,以共建共享方式建立的国家大型科学仪器中心,现依托于中国地质科学院地质研究所。该中心成立九年以来,坚定不移地走大型仪器共建共享的道路,仪器运行效率和科研成果产出率都进入了国际先进行列。   中心副主任张玉海高级工程师(左三)、杨之青工程师(右二)、王晨女士(左二)与仪器信息网工作人员合影   王晨女士首先为我们介绍了中心的主要仪器及其在实验室相关测试、研究业务中发挥的重要作用。“中心的核心仪器是高分辨二次离子探针质谱((Sensitive High Resolution Ion Microprobe II ,SHRIMPⅡ)。相应的配套仪器包括扫描电镜及阴极发光探头、水冷系统、超净台、显微照相、空气压缩机以及用于制样的镀金仪、抛光机等。”   北京离子探针中心的主要仪器情况   拥有国内唯一两台高分辨二次离子探针质谱,测试业务专门面向地质学相关领域开放   “中心于2001年5月引进的SHRIMPⅡ是世界上第九台、国内第一台SHRIMPⅡ,它是专门针对同位素地质年代学、宇宙年代学、地球化学和宇宙地球化学等地质学相关研究中的重同位素分析而设计,特别是锆石微区定年。该仪器是磁质谱,配备单接收器,当时购买价格为1800万元。”   “多年来,SHRIMPⅡ运行情况一直良好,坚持每天24小时,每周7天不间断运行,年分析机时(指仪器进行样品或标准样品分析的时间)保持在7200小时左右,达到科技部有关大型仪器运行效率规定的优秀标准(1600小时/年)四倍之多,成为世界上运行效率最高的一台SHRIMP。”   “鉴于SHRIMPⅡ的超高使用效率以及仪器维护保养方面的考虑,财政部2005年出资3000万元为北京离子探针中心添置了第二台二次离子探针质谱——SHRIMPⅡe-MC,该仪器相比于SHRIMPⅡ,离子源添加了铯源,在分析重同位素的同时又能分析轻同位素,且配备了多个接收器。鉴于北京离子探针中心的新基地还未建好,所以该仪器暂且还停放在澳大利亚,预计2011年会移至新基地。”   高分辨二次离子探针质谱(SHRIMPⅡ)   样品前处理:精“挑”细“选”、细致“打磨”   “矿物样品在进入SHRIMPⅡ分析之前,要经过一系列的前处理,大约需要一周的时间。首先是选矿,将采来的岩石标本粉碎成粉末,经过筛选、磁选、手工挑选等步骤后,挑选出其中的锆石颗粒,一般一个样品会挑选出几十颗至上千颗锆石颗粒。”   “其次是样品制靶,将选出的锆石颗粒,固定在双面胶上,将标样与样品排列在指定位置,随后用模具注入环氧树脂,抽真空,烘干,使树脂固化后对其进行打磨、抛光,使靶表面光滑。”   样品靶   (图注:靶上面的“线”即是锆石颗粒阵列。)   “第三是用显微镜给靶照相,该步骤的目的有二:一是给锆石样品定位,二是通过显微镜的透、反射光对样品的照射,分析锆石颗粒的内部结构以及检查其表面是否有裂隙、瑕疵,为SHRIMPⅡ分析时选点提供依据。”   “最后是阴极发光照相,将显微镜照相后的靶进行超声波清洗,在靶的检测光面上镀上金膜,随后放在扫描电子显微镜下做阴极发光照相,以确定锆石颗粒内部同位素的分布情况。经过这些步骤后,靶才可以放入SHRIMPⅡ内进行分析了。”   日立S-3000N扫描电子显微镜   (图注:该仪器配备GATAN公司Chroma阴极发光探头,可提供彩色及黑白阴极发光照片。)   S-3000N拍摄的锆石照片   奉行“开放、共享、高效”的运行原则,仪器使用率与开放程度堪称典范   “中心自成立之日起就奉行‘开放、共享、高效’的运行原则,面向国内外地学界全方位开放共享。2005年12月,中心项目组研发出了离子探针远程共享控制系统(SROS,SHRIMP Remote Operation System),该系统实现了在Internet公共网络环境下,实时远程控制SHRIMPⅡ,观测样品图像实时变化,在线获取试验数据、远程协同信息交流等远程实验功能,达到了亲临北京离子探针中心进行实验的效果,更好地实现了SHRIMPⅡ的开放、共享。”   “开放、共享的运行机制给中心带来了巨大的工作量和众多的访问者。中心成立九年以来,共有来自国土资源部、中科院、大专院校以及港台地区的30多个相关单位的数百名科研工作者使用中心的SHRIMPⅡ对自己的样品进行了分析研究。另外,一批来自美国、英国、法国、意大利、德国、澳大利亚、韩国、巴西、古巴、蒙古国、波兰和土耳其等国的学者也来中心完成锆石定年工作和短期访问,其中不乏国际一流的地质学家。正是因为如此,北京离子探针中心的仪器利用率和开放程度均居国际同类实验室的前列。”   打造“测试、技术、研究”三位一体的实验室,从事质谱仪器研发   在谈到中心的总体发展情况时,王晨女士转述了中心主任刘敦一研究员的看法:“北京离子探针中心如果仅作为一个测试平台,其功能是有限的,要发挥它的巨大作用,我们就应当坚持测试、技术、研究这三方面并行发展的策略。通过测试业务,我们了解到科学家们对SHRIMPⅡ的性能有哪些方面要求,进而中心的技术人员对仪器进行改进,然后仪器使用者再使用,并给予反馈。如此反复,我们仪器相关技术水平越来越高,而这方面水平的提高也促进了中心的研究工作。所以测试、技术、研究这三方面是相互促进的,三者的融合让我们有可能实现各种革新与突破。”   “中心现在主要从事的研究有:从事地质年代学和宇宙年代学研究 进行必要的矿物微区稀土地球化学研究 解决重大地球科学研究课题中的时序问题,特别是太阳系和地球的形成及早期历史研究 主要造山带的构造演化研究 地质年代表研究 大型和特殊矿床成矿时代研究 发展定年新技术新方法等。”   “除此之外,中心还从事科学仪器研发。中心主任刘敦一研究员认为:科学仪器自主研发能力的重要性再明显不过。一个国家如果没有独立自主的科学仪器研发能力,其科学技术的发展不可能领先,其工业、农业创新体系不可能形成,独立自主的国防体系不可能建立,因而科学仪器自主研发能力是关系到国家安全和民族发展的大事。目前北京离子探针中心承担了《二次离子质谱仪器核心技术及关键部件的研究与开发》项目,正从事二次离子质谱(SIMS)及飞行时间(TOF)串联质谱的若干关键技术和关键部件的研究。”   王晨女士(中)向仪器信息网工作人员介绍SHRIMPⅡ   附录:北京离子探针中心   http://www.bjshrimp.cn/
  • 岛津EPMA超轻元素分析之(一)| 超轻元素的电子探针测试难点和岛津解决方案
    电子探针作为显微形态观察及微区成分分析最有效的测试手段之一,在材料分析和地质地矿领域有着非常广泛的应用。但超轻元素的电子探针微区定量测试存在一系列难点,成为限制深入研究的桎梏,也是传统仪器厂商不敢轻易涉足的“雷区”。 岛津电子探针(EPMA-1720 和 EPMA-8050G) 针对超轻元素种种特性,岛津电子探针通过在硬件方面配置兼具高灵敏度和高分辨率的约翰逊型全聚焦分光晶体、采用独有的52. 5°高位特征X射线取出角以及人工合成的各类超轻元素专用分光晶体等全方位优化设计,使得岛津在超轻元素的测试上表现格外优异。 超轻元素分析的难点 电子探针作为微区分析仪器,是利用从试样内部微米级别体积范围内被高能聚焦的入射电子束激发出的特征X射线信号来进行元素的定性及定量分析。超轻元素的特征X射线具有波长长、能量低、易被试样基体吸收等特点,用电子探针精确分析时有如下难点: 1超轻元素的特征X射线质量吸收系数大,譬如在同样的基体中,超轻元素Be的质量吸收系数是Fe元素的几百甚或上千倍,这意味着样品中被激发出的超轻元素特征X射线在从试样内部出射的过程中更容易被基体吸收、衰减程度更大。 2超轻元素的特征X射线波长较长,容易受到其它元素的高次线重叠干扰。如图1所示,C的Ka明显易受到Mn、Ni等元素高次线的干扰。图1 C元素附近的干扰线 3超轻元素原子核外只有两个电子层,其特征X射线由外层电子向内层空位跃迁后产生。当超轻元素与其他元素结合时,外层电子会受到影响,这就造成了不同结合状态下,超轻元素的特征X射线峰位会有所偏移。图2为单质硼与氮化硼样品中B元素特征X射线峰位偏移情况。 图2 B和BN的峰形峰位偏移 4超轻元素的特征X射线波长较长,根据布拉格衍射公式:2dsinθ=nλ,需要晶面间距d更大的分光晶体,而天然矿物中已很难找到可对超轻元素分光的合适晶体。 岛津应对之道 1针对超轻元素特征X射线易被基体吸收的问题,岛津电子探针采用52.5°高位特征X射线取出角设计。 假设特征X 射线产品的深度为单位1 μm 时,取出角为40°的仪器相对于岛津52. 5°取出角,两者的出射路程差可达ΔL = b -a = 1 /sin 40° - 1 /sin52. 5° = 1. 556 - 1. 261 =0. 295 μm。可见,高取出角能够显著的缩短出射路程,极大的减轻超轻元素被基体吸收的程度 另外高取出角还能带来更好的空间分辨率、更少的二次荧光等优势。 2针对超轻元素特征X射线测试灵敏度的问题,岛津配置了兼具灵敏度和分辨率的全聚焦分光晶体。 罗兰圆的半径越大,对特征X 射线的分辨率越好,罗兰圆的半径越小,灵敏度会越好。如果使用半聚焦型的分光晶体,灵敏度和分辨率不能很好地兼顾,如果需要高灵敏度时,只能选择罗兰圆半径较小的分光晶体,同时把特征X 射线检测器前端的狭缝调大,但难免会造成分辨率的变差 而需要高分辨率时,则需要选择罗兰圆半径较大的分光晶体,同时把检测器狭缝缩窄,但会造成灵敏度的下降。而岛津电子探针采用统一4 英寸的全聚焦晶体,无需额外选择和设置,即可获得更好的灵敏度和分辨率。 3针对高次线的影响,岛津对每个分光谱仪使用256个通道的PHA(脉冲高度分析器,Pulse Height Analyzer)可以有效地过滤高次线的干扰。 图3 利用PHA过滤高次线对Be峰的干扰 4针对超轻元素波长较长的特点,岛津开发了超轻元素测试专用的大晶面间距的分光晶体(不同2d值)可供选择,如表1所示。 表1 岛津开发的超轻元素专用分光晶体 总 结 岛津电子探针完美地解决了微区中超轻元素的测试难题,可为材料分析中的微观机理研究提供有力数据支撑;在地学领域,对于研究矿床成因解释、矿产资源评价和新矿物的发现等具有重要意义。 撰稿人:赵同新、崔会杰
  • 212万!广东工业大学手套箱与电流电压测试仪等设备采购项目
    项目编号:M4400000707015234001项目名称:手套箱与电流电压测试仪等设备采购(四次)采购方式:公开招标预算金额:2,128,500.00元采购需求:合同包1(金相显微镜探针台等设备采购):合同包预算金额:2,128,500.00元品目号品目名称采购标的数量(单位)技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1其他专用仪器仪表金相显微镜探针台1(套)详见采购文件199,000.00-1-2其他专用仪器仪表高温分析探针台1(套)详见采购文件158,000.00-1-3其他专用仪器仪表探针台5(套)详见采购文件245,000.00-1-4其他专用仪器仪表电容电压特性测试仪5(套)详见采购文件180,000.00-1-5其他专用仪器仪表电流电压测试仪10(套)详见采购文件500,000.00-1-6其他专用仪器仪表少子寿命测试仪5(套)详见采购文件150,000.00-1-7其他专用仪器仪表霍尔效应测试仪5(套)详见采购文件27,500.00-1-8其他专用仪器仪表四探针测试仪5(套)详见采购文件115,000.00-1-9其他专用仪器仪表晶体管图示仪5(套)详见采购文件45,000.00-1-10其他专用仪器仪表数字荧光示波器16(套)详见采购文件496,000.00-1-11其他专用仪器仪表万用表10(套)详见采购文件13,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限:自合同签订之日起至质保期满之日
  • 电子科技大学394.00万元采购扫描探针,COD消解仪
    html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜竞争性谈判公告 四川省-成都市-金牛区 状态:公告 更新时间: 2022-12-18 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜竞争性谈判公告 2022年12月18日 14:51 公告信息: 采购项目名称 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表,货物/通用设备/仪器仪表/光学仪器/光学测试仪器 采购单位 电子科技大学 行政区域 成都市 公告时间 2022年12月18日 14:51 获取采购文件的地点 成都市金牛区金科中路18号6楼(中恒德佳工程咨询有限公司) 获取采购文件时间 2022年12月19日至2022年12月21日每日上午:9:00 至 12:00 下午:14:00 至 17:00(北京时间,法定节假日除外) 预算金额 ¥394.000000万元(人民币)联系人及联系方式: 项目联系人 周女士、尹女士 项目联系电话 028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899 采购单位 电子科技大学 采购单位地址 成都市高新区(西区)西源大道2006号 采购单位联系方式 张老师028-61830809-802 代理机构名称 中恒德佳工程咨询有限公司 代理机构地址 成都市金牛区金科中路18号六楼 代理机构联系方式 周女士、尹女士028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899 附件: 附件1 采购清单.docx 项目概况 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜 采购项目的潜在供应商应在成都市金牛区金科中路18号6楼(中恒德佳工程咨询有限公司)获取采购文件,并于2022年12月22日 10点00分(北京时间)前提交响应文件。 一、项目基本情况 项目编号:HW20220025701 项目名称:电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜 采购方式:竞争性谈判 预算金额:394.0000000 万元(人民币) 最高限价(如有):394.0000000 万元(人民币) 采购需求: 详见附件 合同履行期限:合同签订后12个月内交货。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: / 3.本项目的特定资格要求:/ 三、获取采购文件 时间:2022年12月19日 至 2022年12月21日,每天上午9:00至12:00,下午14:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外) 地点:成都市金牛区金科中路18号6楼(中恒德佳工程咨询有限公司) 方式:1、谈判文件自2022年12月 19日至2022年12月21日09:00-12:00,14:00-17:00在现场或者线上获取。谈判文件售价:人民币300元/份谈判文件售后不退, 投标资格不能转让)。 2、报名资料要求: 1.法定代表人授权委托书原件或公司介绍信原件注明所报项目名称 【1.1法定代表人和授权代表签字;1.2加盖公章;1.3附带法定代表人及授权代表的身份证复印件加盖公章】 (1)现场报名方式:获取谈判文件时,经办人员提交上述所要求的报名资料到成都市金牛区金科中路18号6楼(中恒德佳工程咨询有限公司)招标部提交上述所要求的报名资料。 (2)线上报名方式:获取谈判文件时,经办人员提交上述所要求的报名资料扫描件通过邮件方式发送至3779231@qq.com(具体办理事项请电话联系028-61363972)。 售价:¥300.0 元(人民币) 四、响应文件提交 截止时间:2022年12月22日 10点00分(北京时间) 地点:四川省成都市金牛区金科中路18号6楼(中恒德佳工程咨询有限公司)开标厅 五、开启 时间:2022年12月22日 10点00分(北京时间) 地点:四川省成都市金牛区金科中路18号6楼(中恒德佳工程咨询有限公司)开标厅 六、公告期限 自本公告发布之日起3个工作日。 七、其他补充事宜 八、凡对本次采购提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:电子科技大学 地址:成都市高新区(西区)西源大道2006号 联系方式:张老师028-61830809-802 2.采购代理机构信息 名 称:中恒德佳工程咨询有限公司 地 址:成都市金牛区金科中路18号六楼 联系方式:周女士、尹女士028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899 3.项目联系方式 项目联系人:周女士、尹女士 电 话: 028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容:扫描探针,COD消解仪 开标时间:2022-12-22 00:00 预算金额:394.00万元 采购单位:电子科技大学 采购联系人:点击查看 采购联系方式:点击查看 招标代理机构:中恒德佳工程咨询有限公司 代理联系人:点击查看 代理联系方式:点击查看 详细信息 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜竞争性谈判公告 四川省-成都市-金牛区 状态:公告 更新时间: 2022-12-18 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜竞争性谈判公告 2022年12月18日 14:51 公告信息: 采购项目名称 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表,货物/通用设备/仪器仪表/光学仪器/光学测试仪器采购单位 电子科技大学 行政区域 成都市 公告时间 2022年12月18日 14:51 获取采购文件的地点 成都市金牛区金科中路18号6楼(中恒德佳工程咨询有限公司) 获取采购文件时间 2022年12月19日至2022年12月21日每日上午:9:00 至 12:00 下午:14:00 至 17:00(北京时间,法定节假日除外) 预算金额 ¥394.000000万元(人民币) 联系人及联系方式: 项目联系人 周女士、尹女士 项目联系电话 028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899 采购单位 电子科技大学 采购单位地址 成都市高新区(西区)西源大道2006号 采购单位联系方式 张老师028-61830809-802 代理机构名称 中恒德佳工程咨询有限公司 代理机构地址 成都市金牛区金科中路18号六楼 代理机构联系方式 周女士、尹女士028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899 附件: 附件1 采购清单.docx项目概况 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜 采购项目的潜在供应商应在成都市金牛区金科中路18号6楼(中恒德佳工程咨询有限公司)获取采购文件,并于2022年12月22日 10点00分(北京时间)前提交响应文件。 一、项目基本情况 项目编号:HW20220025701 项目名称:电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜 采购方式:竞争性谈判 预算金额:394.0000000 万元(人民币) 最高限价(如有):394.0000000 万元(人民币) 采购需求: 详见附件 合同履行期限:合同签订后12个月内交货。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: / 3.本项目的特定资格要求:/ 三、获取采购文件 时间:2022年12月19日 至 2022年12月21日,每天上午9:00至12:00,下午14:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外) 地点:成都市金牛区金科中路18号6楼(中恒德佳工程咨询有限公司) 方式:1、谈判文件自2022年12月 19日至2022年12月21日09:00-12:00,14:00-17:00在现场或者线上获取。谈判文件售价:人民币300元/份谈判文件售后不退, 投标资格不能转让)。 2、报名资料要求: 1.法定代表人授权委托书原件或公司介绍信原件注明所报项目名称 【1.1法定代表人和授权代表签字;1.2加盖公章;1.3附带法定代表人及授权代表的身份证复印件加盖公章】 (1)现场报名方式:获取谈判文件时,经办人员提交上述所要求的报名资料到成都市金牛区金科中路18号6楼(中恒德佳工程咨询有限公司)招标部提交上述所要求的报名资料。 (2)线上报名方式:获取谈判文件时,经办人员提交上述所要求的报名资料扫描件通过邮件方式发送至3779231@qq.com(具体办理事项请电话联系028-61363972)。 售价:¥300.0 元(人民币) 四、响应文件提交 截止时间:2022年12月22日 10点00分(北京时间) 地点:四川省成都市金牛区金科中路18号6楼(中恒德佳工程咨询有限公司)开标厅 五、开启 时间:2022年12月22日 10点00分(北京时间) 地点:四川省成都市金牛区金科中路18号6楼(中恒德佳工程咨询有限公司)开标厅 六、公告期限 自本公告发布之日起3个工作日。 七、其他补充事宜 八、凡对本次采购提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:电子科技大学 地址:成都市高新区(西区)西源大道2006号 联系方式:张老师028-61830809-802 2.采购代理机构信息 名 称:中恒德佳工程咨询有限公司 地 址:成都市金牛区金科中路18号六楼 联系方式:周女士、尹女士028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899 3.项目联系方式 项目联系人:周女士、尹女士 电 话: 028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899
  • 一文带您了解扫描探针显微镜发展史
    扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)的发展历史是一段引人注目的科学进步历程,奠定了纳米科学和纳米技术的基础。自20世纪80年代以来,SPM的出现和保存,不仅使科学家能够以原子和分子的精度观察和操控材料,还推动了许多相关领域的研究。以下是SPM发展关键里程碑:1980年代初 - 扫描隧道显微镜(STM)的发明1981年:德国物理学家格尔德宾宁(Gerd Binnig)和海因里希罗雷尔(Heinrich Rohrer)在 IBM 苏黎世研究实验室发明了扫描隧道显微镜(STM)。STM 的发明标志着扫描探针显微镜技术的开端。[1]宾宁罗雷尔世界上第一台扫描隧道显微镜[2]1986年:宾宁和罗雷尔因发明 STM 获得诺贝尔物理学奖。他们的工作证明了 STM 可以以原子级分辨率成像,从而开启了对物质结构的新认识。1989年:IBM科学家展示了一项能够操纵单个原子的技术。他们使用扫描隧道显微镜,将35个单个氙原子排列在镍冷晶体基板上,拼出了公司首字母缩写的三个字母。这是原子首次被精确地定位在平面上。[3]用 35 个氙原子拼写出“IBM”1980年代中期 - 原子力显微镜(AFM)的发展1986年:格尔德宾宁、卡尔文夸特纳(Calvin Quate)和克里斯托弗格贝尔(Christoph Gerber)发明了原子力显微镜(AFM)。AFM 可以在非导电材料上工作,扩展了 SPM 技术的应用范围。[4] AFM 利用探针与样品表面之间的范德华力进行成像,可以在真空、空气和液体环境中操作,因此在材料科学和生物学研究中具有广泛的应用。第一台原子力显微镜原子力显微镜原理图1990年代 - 扫描探针显微镜的扩展与多样化1. 磁力显微镜(MFM):磁力显微镜(MFM)在20世纪80年代末至90年代初被发明,通过使用带有磁性涂层的探针,测量探针与样品表面磁力相互作用,实现了纳米尺度高分辨率磁畴成像。这一创新使研究人员能够深入了解材料的磁性特性。低温强磁场磁力显微镜在微结构缺陷中的研究2. 静电力显微镜(EFM):静电力显微镜(EFM)由斯蒂芬库尔普斯(Stephen Kalb)和霍斯特福尔默(Horst F. Hamann)在20世纪80年代末至90年代初发明,通过带电探针测量静电力变化,实现纳米尺度高分辨率电学成像。EFM被广泛应用于研究半导体材料、电荷存储器件和纳米电子学等领域。3. 近场扫描光学显微镜(NSOM 或 SNOM):近场光学显微镜(NSOM)由埃里克贝茨格(Eric Betzig)和约翰特劳特曼(John Trautman)在20世纪80年代末至90年代初发明。NSOM使用带有亚波长孔径的光纤探针,通过限制光在极小区域内并扫描样品表面,获取高分辨率的光学图像,广泛应用于材料科学、生物学、化学和半导体研究等领域。NSOM的一般原理2000年代至今 - SPM 技术的进一步发展和应用1. 高分辨率和高灵敏度:随着探针技术、控制系统和数据处理技术的发展,SPM 的分辨率和灵敏度不断提高。2. 多功能化探针:开发出具有特定化学、机械、磁性或力学性质的探针,使得 SPM 可以进行更为多样化的表征和操作。3. 多模式成像:结合多种成像模式,可以同时获得样品的多种性质信息。结合多种模式的扫描探针显微镜4.晶圆级成像:随着集成电路规模的急剧增加,需要对大型样品成像。加工在晶圆上的芯片5. 在生物学中的应用:SPM 在生物分子和细胞研究中的应用越来越广泛,可以直接观测生物大分子的结构和动力学过程。未来展望扫描探针显微镜的技术仍在不断发展,新的技术和应用不断涌现。由致真精密仪器研发的多功能原子力显微镜和晶圆级原子力显微镜支持大尺寸样品的表征,并集成集成磁力、压电力、扫描开尔文以及液相等多物性分析功能,具有极低的噪声水平,并具备基于深度学习的智能化数据处理分析。致真精密仪器未来将继续致力于更高分辨率、更快的成像速度和更强的多功能化的SPM设备研究,以满足科学研究和工业应用的需求。致真公司自主研发的多功能原子力显微镜AtomEdge集成AI的智能分析算法 高度及粗糙度、宽度、粒子智能分析参考文献:[1] Binnig, G., & Rohrer, H. (1982). Scanning tunneling microscopy. Surface Science, 126(1-3), 236-244.[2] https://commons.wikimedia.org/wiki/File:First_STM.jpg[3] https://en.wikipedia.org/wiki/IBM_%28atoms%29[4] Binnig, G., Quate, C. F., & Gerber, C. (1986). Atomic force microscope. Physical Review Letters, 56(9), 930-933.本文由致真精密仪器原创,转载请标明出处. 致真精密仪器一直以来致力于实现高端科技仪器和集成电路测试设备的自主可控和国产替代。 致真精密仪器通过工程化和产业化攻关,已经研发了一系列磁学与自旋电子学领域的前沿科研设备,包括“产品包含原子力显微镜、高精度VSM、MOKE等磁学测量设备、各类磁场探针台、磁性芯片测试机等产线级设备、物理气相沉积设备、芯片制造与应用教学训练成套系统等”等,如有需要,我们的产品专家可以提供免费的项目申报辅助、产品调研与报价、采购论证工作。另外,我们可以为各位老师提供免费测试服务,有“磁畴测试”、“SOT磁畴翻转”、“斯格明子观测”、“转角/变场二次谐波”、“ST-FMR测量”、“磁控溅射镀膜”等相关需求的老师,可以随时与我们联系。
  • 迪克微电子完成天使轮千万级融资 专注于半导体测试探针
    据“为溪资本 Ravine Capital”公众号报道,迪克微电子近日宣布完成了近千万元天使轮融资,由为溪资本独家投资。本轮投资主要用于装修新厂房,扩充机台设备和增加研发人员等。据公开资料显示,迪克微电子创立于2010年,主要从事电子产品、绝缘材料、测试针、测试夹具、五金机电、排线等产品的贸易,2020年公司利用在测试针、测试夹具行业积累的市场优势转型为包含测试探针设计、生产、销售的专业公司。目前公司主营产品包括连接器探针、PCB探针、ATE探针等。公司正积极开拓半导体测试领域以外的市场,如用于太阳能电池和模块的探针产品。
  • 日本麦克芯探针卡研发生产项目签约落户嘉兴科技城
    嘉兴科技城消息显示,近日,由日本MJC公司投资的年产72万PIN半导体测试仪用探针卡研发生产项目签约落户嘉兴科技城。该项目的落户将填补嘉兴科技城在半导体领域探针卡项目的空白。图片来源:嘉兴科技城据悉,截止今年9月底,嘉兴科技城已成功引进微电子产业超百亿项目1个,超50亿元项目3个,超10亿元项目6个,行业龙头企业项目7个;集聚微电子产业链企业100余家,其中标志性龙头企业40家。实现微电子产业工业总产值203.8亿元。
  • ​思达科技宣布全球首款量产型微间距大电流MEMS垂直探针卡上市
    半导体测试系统与探针卡知名厂商-思达科技宣布,推出牡羊座Aries Optima MEMS探针卡,是全球首款应用在大量制造的微间距大电流MEMS垂直探针卡。Aries Optima是MEMS探针卡技术的最新巅峰,不仅制订新标准,满足了晶圆级测试的新需求,且进而促使思达科技成为MEMS探针卡技术的市场领导供应商。十多年来,思达科技致力在开发以及部署高价值的垂直探针技术,研发了一套系统和方法,以快速适应市场兴起的需求。思达科技在过去20年间定期推出新产品,满足不断变化、各方面的市场需求,持续实现对于半导体测试行业的承诺,包括增进测试效率、降低测试成本,以及测试精度的优化、达成最佳市场价值等等。Aries Optima系列的MEMS垂直探针卡,设计方面除了满足不断发展的大电流需求外,探针间距也降至45um,可将投资回报率最大化且减少支出,具有更高的价值。思达拥有批量生产的MEMS探针,负载力为550mA,适用于标准应用;在汽车和高功率方面,则可达700mA、最高至150摄氏度。根据半导体市调机构VLSI的报告,受惠于景气回温,其5G拓展、IT基础建设等,推升芯片需求持续成长。这些市场因素驱动MEMS技术更加重视生产效率、减少测试时间与成本,市场占有率也正逐渐提高。相较于传统的Cobra探针,AriesOptima系列稳定的DC和泄漏电流表现,非常适合应用在RF、AP、高功率等等的测试。思达科技执行长刘俊良博士表示:「Aries Optima探针卡是全球第一张微间距MEMS垂直探针卡,支持大电流测试,同时减少客户的测试频率、时间、人力成本等,是下一个世代半导体测试的最佳选择。」
  • 生物质谱探针电喷雾离子源研制项目通过验收
    近日,中科院条件保障与财务局组织专家对中科院成都生物研究所研究员周燕主持承担的中科院科研装备研制项目“生物质谱探针电喷雾离子源的研制”进行了结题验收。经过现场测试和档案审阅,验收专家组一致认为该项目圆满完成了研制任务,达到了预期目标,同意通过验收。项目验收会现场  电喷雾电离(ESI)离子源是生物质谱最常用的一种离子源,但仍具有如不能直接分析含高盐的生物样品的缺点,需要对高盐样品预先脱盐处理,也不能与使用缓冲盐的液相色谱联用。该项目针对商用ESI离子源存在的上述技术问题,基于具有耐盐能力的电喷雾离子化技术(PESI),设计制造了生物质谱探针电喷雾离子源,在进样模式、仪器构建、应用开发等方面开展了系列探索性研究。截至目前该项目已研制完成一套可应用于高盐样品及生物样品的直接分析,也可与使用含高盐缓冲溶剂的液相联用的探针电喷雾质谱离子源设备。  项目组研究人员通过不断优化控制方式、样品加载方式、高压接通方式及离子传输方式,使其具备了抗高压干扰、耐盐、抗基质干扰等特性,在此基础上,继续深入开发了液相接口,使得该离子源可与使用高盐缓冲溶剂的液相色谱联用。  通过现场测试和应用实验证明,该项目研制的PESI具有高耐盐性能和无毛细管堵塞特点,不需要复杂的样品前处理程序,可直接分析牛奶、微量天然产物等复杂样品,提高高盐生物样品的分析效率。此外,该项目所研发的设备已在北京出入境检验检疫局等单位推广试用,用户反馈良好,具有广泛的应用和市场前景。
  • 国产高端测试仪器市场困局何解?产学研模式新探索
    当今时代,科技迅猛发展、芯片量呈几何倍数增长,芯片已经进入融合的时代。从无人驾驶到虚拟现实、从人工智能到云计算、从5G到物联网,一颗芯片上承载的功能越来越多,芯片工艺越来越复杂,新器件类型层出不穷,众多驱动因素的推动对半导体测试技术不断提出新的要求。行业需要更加面向未来需求的测试系统和方案,来打破传统仪器固有的不足和局限。以半导体器件测试来看,在先进器件研究过程中,新材料、新结构与新工艺的应用都可能带来未知的变化。研究者不但要关注精确的静态电流电压特性,更希望观察到细微快速的动态行为。同时随着半导体尺寸不断减小,一些现象需要在极短的时间内才能观察到,例如MOS器件的BTI效应,因此,对包括短脉冲测试(PIV)在内的新技术提出了要求。前不久,概伦电子与北京大学集成电路学院及上海交通大学电子信息与电气工程学院联合研发的新一代高精度快速波形发生与测量套件FS-Pro HP-FWGMK正式发布,填补了其半导体参数测试系统FS-Pro在短脉冲测试的空缺,同时也填补了国内短脉冲测试技术的空缺。高端测试仪器FS-Pro“如虎添翼”据了解,此次发布的最新一代高精度快速波形发生与测量套件FS-Pro HP-FWGMK由黄如院士在北京大学和上海交通大学的团队与概伦电子联合研发。作为短脉冲测试技术的先行者,黄如院士团队经过了十余年的努力,在实践过程中掌握了一整套短脉冲产生、测量以及分析技术。概伦电子基于其提供的包括测试方法、电路原型、方案框架、版图设计及PIV应用在内的指导意见继续精细开发,满足高增益与高带宽的同时,有效抑制放大电路的非线性失真,最终实现了最小脉宽130ns的高精度测量。概伦电子FS-Pro半导体参数测试系统(图源:概伦电子)概伦电子的半导体参数测试系统FS-Pro是一款功能全面、配置灵活的半导体器件电学特性分析设备,在一个系统中实现了电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、脉冲式IV测试、任意线性波形发生与测量、高速时域信号釆集以及低频噪声测试能力。此次增加短脉冲IV(PIV)技术后,FS-Pro更是如虎添翼,几乎所有半导体器件的低频特性表征都可以在FS-Pro测试系统中完成,可广泛应用于各种半导体器件、LED材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料与器件测试等。其全面而强大的参数测试分析能力极大地加速了半导体器件与工艺的研发和评估进程,并可无缝的与概伦电子低频噪声测试系统9812系列集成。据了解,概伦电子噪声测试系统9812系列是全球半导体行业业内低频噪声测试的“ 黄金标准”,为半导体行业先进工艺研发、器件建模和高端电路设计提供了更加完整而又高效的低频噪声测试及分析解决方案,可以满足各种不同工艺平台下半导体器件和集成电路低频噪声测试的需求。FS-Pro快速的DC测试能力进一步提升了9812系列产品的噪声测试效率和吞吐量,性能相较同类型产品获得大幅度提升,并将在噪声测试的业内领先技术扩展到通用半导体参数测试。基于在产线测试与科研应用方面的优异表现,FS-Pro全面的测试能力在科研学术界受到了广泛关注和认可,已被数十所国内外高校及科研机构所选用,同时也被众多芯片设计公司、代工厂和IDM公司所釆用。国产高端测试仪器新突破纵观行业现状,测试测量仪器属于高端科研仪器设备,需要长时间积累,特别考验一个国家基础技术的厚度。由于国内本土测量仪器行业起步较晚,主营电子测试测量仪器的企业数量少,发展情况也不尽相同,目前我国的产品结构主要集中在中低端,大部分企业仍处于仿制研发的阶段,仅有小部分企业走向应用研发的转型之路。根据数据显示,中国电子测量仪器的市场规模由2016年的28.72亿美元增至2021年的50.39亿美元,预计2022年将进一步达到53.14亿美元。面对国内如此巨大的市场需求,以及受国外隐形技术壁垒等因素制约,国内市场仍被掌握在国外仪器仪表厂商手中,高端产品依赖进口,行业类第一梯队公司主要为是德科技(Keysight)、泰克(Tektronix)、罗德与施瓦茨(R&S)等欧美企业。国内测量仪器与国际水平相比,在产品结构、高端产品的技术水平、市场占有率等方面存在较大差距,亟待国内本土企业填补高端仪器的技术和市场空白。在这种情况下,提高企业的研发力度成为了电子测量仪器行业发展的关键点之一。同时伴随着强烈的自主可控需求,国产高端测试测量仪器市场在近几年迎来高速增长。概伦电子的半导体参数测试系统FS-Pro作为高端测试仪器的代表之一,在先进器件和材料等领域的测试表现非常出色,集 IV、CV、1/f noise及PIV测试等于一体,高精度、低成本、综合的半导体器件表征分析能力灵活满足各种用户的不同测试需求,大大节省了测试设备采购开支。同时,工业标准的PXI模块化硬件结构,通用的软件平台,内置测量软件提供数百个预定义的测试模板和功能,实现即插即用体验,使FS-Pro成为了半导体器件与先进材料研究方面的得力助手,产品性能直接对标是德科技等行业巨头的高端测试仪器。近年来,随着半导体行业的快速发展,对测试测量仪器的需求在逐渐扩大。当前中国的半导体测试测量行业在飞速发展中,可以预见的是,复杂的国际关系背景和市场需求的双重驱动下,关键领域的国产化成为竞争焦点,自上而下的产业政策和企业突围将加速自主可控产业链的成长,国产半导体测量仪器迎风口。随着概伦电子在中高端产品领域取得突破,将会使其成为国内该行业的领头羊,有望引领该领域的国产化替代浪潮。概伦电子产品布局日臻完善半导体器件特性测试是对集成电路器件在不同工作状态和工作环境下的电流、电压、电容、电阻、低频噪声、可靠性等特性进行测量、数据采集和分析,以评估其是否达到设计指标。概伦电子半导体参数测试系统FS-Pro能够支持多种类型的半导体器件,具备精度高、测量速度快和可多任务并行处理等特点,能够满足晶圆厂和集成电路设计企业对测试数据多维度和高精度的要求。半导体器件特性测试仪器采集的数据是器件建模及验证EDA工具所需的数据来源,两者具有较强的协同效应。随着下游晶圆厂客户产能扩张,相关测试需求或将进一步释放。在制造类EDA工具方面,概伦电子的器件建模及验证EDA工具已经取得较高市场地位,被全球大部分领先的晶圆厂所采用和验证,主要客户包括台积电、三星电子、联电、格芯、中芯国际等,在其相关标准制造流程中占据重要地位。使用该EDA工具生成的器件模型通过国际领先的晶圆厂提供给其全球范围内的集成电路设计方客户使用,其全面性、精度和质量已得到业界的长期验证和广泛认可。在此基础上,通过半导体器件特性测试仪器与EDA工具的联动,能够打造以数据为驱动的EDA解决方案,紧密结合并形成业务链条,帮助晶圆厂客户有针对性的优化工艺平台的器件设计和制造工艺,不断拓展产品的覆盖面,进一步为概伦电子打造完整的制造EDA流程丰富了现有技术及解决方案。目前概伦电子主要产品及服务包括制造类EDA工具、设计类EDA工具、半导体器件特性测试仪器和半导体工程服务等。从其产品布局和发展历程来看,概伦电子在具备高价值的落地场景和应用需求的前提下,用相对较短的时间、较小的人员规模和投入,打造了全新的设计方法学和流程,逐渐形成了具有技术竞争力的EDA工具、测试产品和工程服务,并在国际主流市场获得产品验证机会,在多环节和维度上实现了对国际EDA巨头全流程垄断的突破。产学研模式新探索上文提到,此次FS-Pro HP-FWGMK套件的发布是概伦电子与北京大学集成电路学院及上海交通大学电子信息与电气工程学院联合研发的产物,在填补了半导体参数测试系统FS-Pro在短脉冲测试空缺的同时,也代表了国内产学研深度合作的典范。当前,在国产EDA的发展过程中,人才是关键,创新求变正在重塑新的核心竞争力。EDA核心技术的突破没有捷径可走,需要持续吸引各种人才、加强产学研合作和保持高研发投入,长期坚持技术沉淀,通过客户需求引导,才有可能形成新的突破。在当前行业背景和发展现状下,概伦电子正在探索以产教融合方式来培养项目和推动EDA技术和人才发展的新模式,携手各界通力合作,共同应对后摩尔时代技术与市场的双重挑战,构建中国EDA产业命运共同体,致力于突破困局并最终实现超越。
  • 普林斯顿发布VersaSCAN微区电化学柔性探针新技术
    2016年6月14日,阿美特克集团科学仪器部在北京分公司召开“VersaSCAN微区电化学技术交流会”,并在此交流会上发布新技术——扫描电化学显微镜(SECM)柔性探针技术,仪器信息网作为特邀媒体参加了此次交流会。 John Harper 博士为与会者详细介绍了此次发布的新技术。此次发布的扫描电化学显微镜柔性探针技术专用于“普林斯顿应用研究VersaScan”产品的柔性接触和等距测试,是由瑞士洛桑联邦理工学院的物理和电分析化学实验室(LEPA-EPFL)Hubert Girault教授课题组经数十年的研究而实现的。阿美特克科学仪器部与该实验室签署了独家合作协议,集成并销售其柔性探针技术。柔性探针使得广大研究者可同时进行等距离和等高模式的SECM测试,可分离3D表面电化学活性响应图中表面物理形貌和电化学响应的贡献。 与市场上常用的硬性探针相比,柔性探针具有以下优势:1)柔性探针等距SECM无需额外增加昂贵的控制与测量硬件 2)测量时无需为达到控制距离而预先测试样品表面的地形地貌 3)探针设计为与样品进行柔性接触,当与样品表面接触时,探针会发生柔性弯曲,避免探针自身被划伤以及探针对样品表面的损害 4)常规技术中硬性探针和样品直接接触会导致表面易损样品被损坏,如人体组织等。而柔性探针技术接触样品的接触力仅为常规硬接触探针的千分之一。 未来,阿美特克集团科学仪器部与LEPA-EPFL还将共同致力于实现其它探针材料与技术的商业化,希望SECM柔性探针技术能帮助SECM成为标准电化学测试利器。 为鼓励更多的用户致力于微区电化学的研究,此次交流会特设“普林斯顿应用研究微区电化学优秀论文奖”。本次奖项颁发给了浙江大学刘艳华博士,以表彰其使用VersaScan微区电化学测试系统在涂装材料研究方面所作出的贡献,由阿美特克公司科学仪器部亚洲区经理杨琦女士为其颁奖。 随后的技术交流过程中,John Harper 博士、刘艳华博士和厦门大学林昌健教授针对微区电化学的技术和应用为大家进行了分享。VersaScan微区电化学测试系统是一个模块化配置的系统,可实现现今所有微区扫描探针电化学技术以及激光非接触式微区形貌测试,包括扫描电化学显微镜、扫描振动电极测试、扫描开尔文探针测试、微区电化学阻抗测试、扫描电解液微滴测试、非触式光学微区形貌测试等。此次发布的柔性探针技术主要针对扫描电化学显微镜,目前阿美特克可提供有效直径15um的柔性碳探针。John Harper 博士还重点介绍了柔性探针技术的应用案例,包括癌细胞成像和黑色素瘤的分期变化(如皮肤癌)、电子应用-电沉积和成像、电催化等。 刘艳华博士介绍了扫描振动电极测试技术在涂层金属腐蚀研究中的应用。刘博士主要介绍了两项工作:一是采用电沉积技术合成了负载缓蚀剂的超疏水二氧化硅薄膜 二是构建了基于硅烷修饰的E-Sio2薄膜和环氧树脂的新型防护体系。在此两项工作中均利用了扫描振动电极测试技术来表征其微区耐腐蚀性能,与其它表征手段结果均有较好的吻合度。 林昌健教授自1979年开始研究微区电化学技术,至今已有37年。林教授认为微区电化学之所以能发展到今天的水平,一是科研需求,越来越多的科研人员应用此技术使其成为热门研究领域 二是科技发展,科技水平的发展也使微区电化学技术有了显著的进步。未来,微区电化学技术发展很重要的一方面就是探针技术的发展。林教授重点介绍了其团队开发的新型探针。林教授发现,在空间分辨率足够高的情况下,除电流、电压信号外, pH值和氯离子浓度也可以很好的表征局部腐蚀程度,故其团队开发了可测量pH值和氯离子浓度的探针。未来此探针有望集成到VersaScan微区电化学测试系统上。
  • 群贤毕至,继往开来|离子与原子探针专业委员会成立大会成功召开
    仪器信息网讯 2023年12月22日,由中山大学承办的中国计量测试学会离子与原子探针专业委员会成立大会在广州从化文轩苑会议中心成功召开。离子与原子探针专业委员会是根据离子与原子探针相关领域的生产、研究、应用及教学的发展需要,由中国计量测试学会(以下简称“学会”)批复设立的分支(代表)机构。来自离子与原子探针领域的近百位专家齐聚一堂,共同见证了专委会成立。大会现场会议开幕式由中山大学分析测试中心陈建研究员主持,中国计量测试学会副理事长兼秘书长马爱文教授、中山大学副校长邰忠智和中国计量测试学会副理事长李献华院士分别致辞。中山大学分析测试中心 陈建研究员 主持开幕式中国计量测试学会副理事长兼秘书长 马爱文教授 致辞中国计量测试学会副理事长兼秘书长马爱文教授在致辞中表示,自2019年5月20号开始,国际计量七个单位全部定义到基本物理常数上,代表着国际测量科学全面进入量子化时代,量子测量将成为未来测量的主要技术手段,也将成为引领新一轮科技革命的重要主题。量子测量就是利用量子基本特性进行的高精度高灵敏度的测量工作,离子和原子探针技术就是利用离子和原子特性进行测量,是一项前沿先进的测试技术。马爱文希望委员会能够紧紧围绕国内外离子与原子探针技术开展调查研究,为政府和产业发展提供政策建议。紧紧围绕离子与原子探针前沿技术发展方向,不断开展学术交流学术会议,推动量子测量技术的不断进步;要紧紧围绕量子化测量方法,评价体系的开展,团体标准的制定,推动相关科研成果的转化以及产业链的不断发展;同时也要加强科普创新宣传工作,让更多的人了解离子与原子测量技术,让更多的领域应用这些先进技术。中山大学副校长 邰忠智 致辞中山大学副校长邰忠智指出,计量是实现单位统一,保证量值准确可靠的活动,是科技创新、产业发展、国防建设、民生保障的重要基础,是构建一体化国家战略体系和能力的重要支撑。党的十八大以来,在以习近平同志为核心的党中央坚强领导下,我国的计量事业的得到了快速的发展。作为中国科协的一级学会,中国计量测试学会聚集了我国计量测试领域中一大批具有高科技学术水平的专家学者,充分发挥学会科研院所、高校等单位的优势和作用,集聚各方资源和力量,共同推动国家现代先进测量体系建设,对国家的经济建设和国防领域发展起到了积极的作用。中国计量测试学会副理事长 李献华院士 致辞李献华院士表示,从1993年开始,以清华大学查良镇教授为代表的老一辈科学家,就自发组织了二次离子质谱研讨会,而原子探针技术用户研讨会到目前也举办了十二届。离子与原子探针技术专业委员会的成立,将为提升中国离子与原子探针研究的国际地位和影响力提供了组织保障,同时也将为我国举办2026年的国际二次离子质谱大会提供了有力支撑。今天离子与原子探针专业委员会成立大会是我们大家多年的夙愿,也是我国离子与原子探针专业领域的新起点。我们要以此为契机,共享资源,协同创新,建立产学研用交流服务的大平台,促进科研和产业的高质量发展。开幕式致辞结束后,会议议程环节由天津工业大学科学技术研究院院长赵丽霞教授主持。天津工业大学科学技术研究院院长 赵丽霞教授 主持会议议程赵丽霞在会上回顾了专委会成立前的历史和前期工作,并宣读了《中国计量测试学会关于同意成立离子与原子探针专业委员会的批复》。之后,会议审议和表决通过了《中国计量测试学会离子与原子探针专业委员会工作条例》草案;选举产生了中国计量测试学会离子与原子探针专业委员会委员、主任委员、副主任委员,并宣读最终选举结果及颁发聘书;提名表决产生了专委会秘书长和副秘书长;研讨了《中国计量测试学会离子与原子探针专业委员会“十四五”工作计划》草案。颁发聘书会议总结发言会议选举中山大学分析测试中心陈建研究员任主任委员,中国科学院地质与地球物理研究所研究员李秋立、北京国家质谱中心主任汪福意研究员、沈阳材料科学国家实验室公共技术服务部负责人张磊研究员和南京工业大学胡蓉教授任副主任委员,天津工业大学赵丽霞教授任秘书长,上海大学分析测试中心副研究员李慧任副秘书长。会议最后,由新当选的主任委员、副主任委员及其他领导分别做会议总结发言。至此,中国计量测试学会离子与原子探针专业委员会正式成立。之后,大会进入特邀报告环节。报告人:中国科学院地质与地球物理研究所研究员 李秋立报告题目:《原子探针分析诠释锆石离子探针U-Pb体系年龄怪现象》锆石是大型离子探针U-Pb定年技术应用最早和最广的矿物,离子探针U-Pb定年可以有效获取粒径微小锆石或具有复杂环带结构的锆石中不同区域的年龄信息。但高U锆石的离子探针U-Pb分析中存在随U含量升高而表现更老的现象,称之为"高U效应"。对此,李秋立团队利用原子探针分析揭示出锆石微观尺度为锆石-磷钇矿-铀石等多项成分固溶体;高U锆石中U原子以铀石-锆石-磷钇矿的过渡成分赋存;高U锆石微观尺度下基体成分与锆石标准样品存在明显差别,造成离子探针分析校正结果出现偏差。报告人:中国科学院大连化学物理研究所首席研究员 李海洋报告题目:《高质量分辨连续离子束源二次离子飞行时间质谱装置研制》据介绍,质谱与快速检测研究中心面向国家安全、生态环境和生命健康领域对现场、原位和快速分析仪器的新需求,用创新的离子精准调控技术和集成化方案,做能解决问题而且用户体验好的新仪器。SIMS是高灵敏的微区化学成分分析的工具,TOF-SIMS(飞行时间二次离子质谱)具有独特优势及应用范围,是目前应用最广泛的表面分析技术之一,是一种具有高质量分辨本领(质量分辨率)和高空间分辨(空间分辨率)的表面分析技术。但用SIMS实现分子的定性更需要质谱的高分辨率。针对于此,李海洋在报告中介绍了团队在DC- TOF SIMS 设计和单元技术进展和DC- MTOF SIMS 研究进展。报告人:北京科技大学教授 吴渊报告题目:《Effects of local chemical orderings on properties of high-entropy alloys revealed by atom probe tomography》高熵合金,以其多主组元,高构型熵的设计理念以及独特的性能,成为近十多年来合金领域内的热点材料。在研究初期,高/中熵合金所形成的单相固溶体,其组成原子被认为是完全无序分布在晶体点阵中。由于多组元元素间的复杂相互作用,使得合金在凝固或者热处理后,呈现局部短程有序结构,成为了高熵合金的一个关键特征。局部化学有序性对高熵合金的性能有显著影响。吴渊在报告中指出,原子探针层析成像(APT)可以在表征LCOs和揭示其对HEAs力学行为的影响方面发挥强大作用。报告人:中国科学院广州地球化学研究所教授级工程师 夏小平报告题目:《矿物水中的SIMS测试及其地球与行星科学应用》水,即使是微量的,对岩浆性质影响很大,是成岩、成矿等地质过程的关键因素。地球内部藏着海洋。水含量是星体演化的重要因素,确定水的含量和同位素组成对理解行星体的形成和演化具有重要意义。夏小平团队利用二次离子质谱仪(SIMS)同时测试锆石中水含量和氧同位素组成的分析方法,研究了月球、火星、地球晚期大轰炸的地质事件,分享了来自月球陨石锆石同位素及水含量可能代表的“星际故事”,并表示早期陨石撞击曾经给月球带来大量的水。报告人:中国计量科学研究院研究员 任同祥报告题目:《计量+离子/原子探针=?》质谱法测全血中锌元素含量的方法有外标法、标准加入法、同位素稀释法等,其中同位素稀释质谱法 (IDMS) 被化学计量公认为5个绝对测量方法之一,是痕量、超痕量成分的权威性测量方法。报告中,任同祥介绍了如何用同位素稀释法测锌,以及中国计量科学研究院研制的浓缩同位素标准物质和相应的规范和标准。与会人员合影留念
  • 新一代无液氦亚3K低温扫描探针显微镜研制获进展
    低温在凝聚态物理研究中扮演越来越重要的角色,是对多体系统中强相互作用的复杂行为开展深入研究的必要条件。随着液氦资源的日趋紧张和无液氦制冷技术的不断发展,基于无液氦制冷的设备将逐步成为低温科研仪器的主流方向。迄今为止,磁共振成像、超导磁体、综合物性测量系统等诸多仪器设备已实现了无液氦化。然而,具有亚原子分辨能力的扫描探针显微系统(SPM)对震动水平的要求极为苛刻,因此实现无液氦闭循环制冷技术在低温SPM领域的应用面临挑战。近十年来,世界上多个团队和公司尝试将制冷机安装在扫描单元附近实现无液氦低温SPM,而单级制冷的基础温度仅能达约5K水平,且制冷机震动对成像的影响仍然显著。中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家研究中心郇庆研究团队(N13组)致力于高端科研仪器的研发与应用,在真空、低温、材料制备等领域核心关键部件、成套系统、电路控制系统方面取得了系列成果。高鸿钧院士团队(N04组)多年来致力于扫描探针显微学及其在低维量子结构方面的应用,在前沿科学研究取得一系列重要突破。N13组和N04组长期合作,陆续在尖端科研仪器装备自主研发方向取得一系列重要进展:一套商业化四探针SPM系统的彻底改造、超高真空光学-低温扫描探针显微镜联合系统的研制和应用于多探针显微镜的分时复用电路系统等。合作团队再次“仪器”携手,攻关新一代无液氦低温SPM技术。该研究研制了一套无液氦亚3K低温SPM系统。这一系统颠覆了现有无液氦SPM近端安装制冷机的方式,将低频大幅震动的制冷机安装在远端的独立制冷腔体。通过数月的连续测试验证,该设备实现了~2.8K的基础温度、接近±0.1mK的温度稳定性、约1pm震动水平、小于10pm/h的温度漂移,能够从低温到室温宽温区内连续变温成像。在非接触原子力显微镜原子级分辨成像、扫描隧道谱以及非弹性电子隧道谱的性能方面,该系统达到了与传统液氦杜瓦的湿式SPM系统相媲美的水平。相较已有无液氦SPM方案存在制冷机近端安装带来的诸多问题(不耐烘烤、磁场敏感、安装角度受限、橡胶波纹管透气结冰和难以升级等),这种闭循环远端制冷方案展现了多方面的优势:高性能:少量氦气(~10 L)实现3K以下基础温度,并可长时间连续运行,震动水平与湿式系统相当;拓展性:利用此远端液化4He方案预冷3He方便实现亚开尔文范围拓展;兼容性:与强磁场、光学通路等其他物理环境的良好兼容性,显著降低来自制冷机的电磁干扰;灵活性:便捷地将现有湿式SPM系统改造为无液氦SPM,并可应用在其他需求低温且对振动敏感的领域。这一闭循环无液氦低温SPM实现了TRL8级的技术就绪度。近期,相关研究成果发表在《科学仪器评论》上(Review Scientific of Instruments,DOI:10.1063/5.0165089)。该工作将为凝聚态物理研究、材料科学、生物医学等领域提供高性能的低温超低振动解决方案,并有望推动相关领域的研究取得更大突破。一位审稿人评价道:“在我看来,采用氦连续流低温恒温器和低温制冷机技术相结合的理念来解决无液氦低温扫描探针显微镜及相关领域长期存在的隔振问题,不仅具有创新性,而且鉴于世界范围内的液氦短缺困境,该技术方案的提出十分重要且及时。”研究工作得到国家杰出青年科学基金项目、中国科学院关键技术研发团队项目、国家重大科研仪器研制项目、国家自然科学基金青年科学基金项目和北京市科技计划怀柔科学中心项目的支持。图1. 新一代无液氦亚3K低温扫描探针显微镜的三维模型和原理图。图2. (a)基于连续流液氦恒温器的降温效果;(b)闭循环无液氦远端制冷的降温效果;(c)载入样品后的温度变化;(d)样品在4K温度的稳定性。图3. Au(111)和Ag(110)表面的成像测试和谱学表征。图4. Ag(110)表面CO分子的拾取和二阶谱学表征与谱学成像。图5. qPlus AFM探针在NaCl(100)表面的测试结果。图6. 已有基于液氦杜瓦的湿式SPM系统升级成远端制冷闭循环无液氦SPM的方案示意图。
  • 新疆理化所等在ESIPT探针调控检测高锰酸钾方面取得进展
    高锰酸钾(KMnO4)广泛用于医药消毒、水质净化、工业生产等领域,但过量摄入或排放会对人体及环境造成危害。因此,实现对微量高锰酸钾的超灵敏、特异性、快速检测具有重要意义。近年来,激发态分子内质子转移(ESIPT)类分子因具有大的斯托克斯位移、强的光稳定性、高的量子产率以及对周围介质的光敏感性等特点,被用于反应型荧光探针的设计。ESIPT探针的发光性能可通过溶剂氢键作用、分子异构化、介质酸/碱度和化学修饰等来调节。目前,多数化学修饰策略集中于研究分子性质和ESIPT变化过程,而关于分子对目标分析物传感性能影响的研究较少被应用于实际检测。因此,是否可以采用化学修饰策略来提高ESIPT探针的传感性能尚不清楚,而该方面的研究将对理性设计高效探针具有重要意义。中国科学院新疆理化技术研究所痕量化学物质感知团队提出了识别基团对位取代基吸电子强度精确调控提升ESIPT荧光探针反应活性及产物荧光稳定性的探针分子设计策略。研究基于KMnO4氧化不饱和烯烃的性质,以2-(2’-羟基苯基)苯并恶唑(HBO)为荧光团,采用缩合反应将识别位点丙烯酰基接枝于HBO的质子给体-OH上以抑制ESIPT过程的发生,在识别位点的对位引入不同吸电子强度的取代基团(-F、-CHO、-H、-CH3),设计合成了四种ESIPT基荧光探针(BOPA-F、BOPA-CHO、BOPA-H、BOPA-CH3)。当检测KMnO4时,可以打断碳碳双键形成邻二羟基,随后酯键断裂释放质子给体,ESIPT过程被激发,进而实现对KMnO4的荧光点亮检测。进一步的研究发现,取代基吸电子强度调控可显著地提升探针检测KMnO4时的荧光强度及荧光稳定性。理论计算结果表明,取代基的改变有效调节了探针对KMnO4的反应活性及产物的振子强度。以具有较强吸电子能力的-CHO作为取代基的探针BOPA-CHO对KMnO4具有最佳检测效果,检测限为0.96 nM,响应时间<3 s,对21种其他氧化剂及常见的阴/阳离子表现出优异的特异性,反应产物荧光稳定时间至少可达7天。此外,研究以聚氨酯海绵作为传感基底,构建了探针BOPA-CHO-海绵基测试笔,对KMnO4微粒的检测限可达11.62 ng,且对土壤中含量为1%的KMnO4微粒及手套表面63 ng/cm2的残留颗粒仍可观察到特征蓝色荧光,验证了探针BOPA-CHO在实际应用场景中的适用性。该工作提出的吸电子强度精确调控提升ESIPT探针反应活性及产物荧光稳定性的探针分子设计策略,被证明是可用于在复杂场景下识别痕量KMnO4溶液、固体微粒和残留物的可靠、有效的方法。同时,该策略将有助于促进化学科学、分子工程以及先进传感技术等领域的快速发展。相关研究成果以Precise Electron-Withdrawing Strength Modulation of ESIPT Probes for Ultrasensitive and Specific Fluorescence Sensing为题,发表在《分析化学》(Analytical Chemistry)上。研究工作得到国家自然科学基金、中国科学院青年创新促进会、中国科学院基础前沿科学研究计划从0到1原始创新项目等的支持。该工作由新疆理化所和中北大学合作完成。吸电子强度调控ESIPT探针构筑策略、响应机制及海绵基测试笔实际场景检测示意图
  • 预算656万,北京量子信息科学研究院采购扫描探针显微镜
    p style=" text-indent: 2em " 近日,华诚博远工程咨询有限公司受北京量子信息科学研究院委托,对科研仪器设备多功能超高真空低温扫描探针显微镜综合系统采购项目进行公开招标。详情如下: /p p style=" text-indent: 2em " strong 一、项目名称: /strong 科研仪器设备多功能超高真空低温扫描探针显微镜综合系统采购项目 /p p style=" text-indent: 2em " 项目联系方式: /p p style=" text-indent: 2em " 项目联系人:杨楠 /p p style=" text-indent: 2em " 项目联系电话:18618127731 /p p style=" text-indent: 2em " strong 二、采购单位联系方式 /strong /p p style=" text-indent: 2em " 采购单位:北京量子信息科学研究院 /p p style=" text-indent: 2em " 地址:北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼 /p p style=" text-indent: 2em " 联系方式:陈春融,010-83057516 /p p style=" text-indent: 2em " strong 三、代理机构联系方式 /strong /p p style=" text-indent: 2em " 代理机构:华诚博远工程咨询有限公司 /p p style=" text-indent: 2em " 代理机构联系人:杨楠,18618127731 /p p style=" text-indent: 2em " 代理机构地址: 北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼13A /p p style=" text-indent: 2em " strong 四、采购内容 /strong /p p style=" text-indent: 2em " 货物名称:多功能超高真空低温扫描探针显微镜综合系统 /p p style=" text-indent: 2em " 数量:1套 /p p style=" text-indent: 2em " 简要规格描述: /p p style=" text-indent: 2em " 1.快速进样室 /p p style=" text-indent: 2em " & #8230 & #8230 /p p style=" text-indent: 2em " 1.2 配备直线型磁力耦合的存放装置,用于存储样品托和针尖托。 /p p style=" text-indent: 2em " & #8230 & #8230 /p p style=" text-indent: 2em " 简要技术需求:满足招标文件中的货物技术规格及要求说明 /p p style=" text-indent: 2em " strong 五、招标文件的发售时间及地点等 /strong /p p style=" text-indent: 2em " 预算金额:656 万元(人民币) /p p style=" text-indent: 2em " 时间:2020-04-21 09:30 至 2020-04-26 17:00(双休日及法定节假日除外) /p p style=" text-indent: 2em " 地点:北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼13A /p p style=" text-indent: 2em " 获取招标文件的方式:现场领购 /p p style=" text-indent: 2em " strong 六、投标截止时间 /strong :2020-05-15 13:30 /p p style=" text-indent: 2em " strong 七、开标时间和地点 /strong /p p style=" text-indent: 2em " 开标时间:2020-05-15 13:30 /p p style=" text-indent: 2em " 开标地点:北京市海淀区中关村软件园二期北京量子信息科学研究院620会议室 /p p style=" text-indent: 2em " strong 八、附件 /strong /p p style=" line-height: 16px " img style=" vertical-align: middle margin-right: 2px " src=" /admincms/ueditor1/dialogs/attachment/fileTypeImages/icon_pdf.gif" / a style=" font-size:12px color:#0066cc " href=" https://img1.17img.cn/17img/files/202004/attachment/9a5e9f05-15e3-46fa-8a09-e9366c609077.pdf" title=" 科研仪器设备多功能超高真空低温扫描探针显微镜综合系统采购项目-招标公告.pdf" 科研仪器设备多功能超高真空低温扫描探针显微镜综合系统采购项目-招标公告.pdf /a /p p br/ /p
  • 北京2台离子探针仪器全球“最忙”
    在过去10年里,北京离子探针中心的两台高分辨二次离子探针质谱仪(SHRIMP Ⅱ和SHRIMP Ⅱe-MC)或许是全球最忙及成绩最好的科学仪器。在12月18日该中心十周岁庆祝会上,中心主任刘敦一教授表示,以这两台仪器为核心的大型科学仪器共享平台,极大推动了我国地球科学的发展。   过去10年,SHRIMP仪器处于样品分析的机时平均为266.8昼夜/年,开放机时平均为76%。自2007年起,单台SHRIMP仪器的科研论文产出量已连续位居世界同类仪器的第一位。   高效源于中心建立的SHRIMP远程共享控制系统。该网络不仅实现了国内科研人员可实时观测样品图像、在线获取实验数据等应用,还使跨国远程共享科学仪器进入常态,开创了通过远程共享系统共享国外SHRIMP仪器的功能。   “十一五”以来,该中心又联合国内外22家高校及科研院所,在SHRIMP远程共享平台的基础上,整合了一批微束类分析仪器,构建起网络虚拟实验室,为进一步建立以远程操作为主要手段的大型仪器虚拟中心奠定基础。   刘敦一透露,该中心将继续发展以SHRIMP为代表的大型科学仪器远程共享网络,尽快在西班牙和巴西建立服务器系统,在美国华盛顿大学(圣路易斯)建立远程工作站。该中心还将积极投入大型科学仪器自主研发工作,逐步建立起一个具有优秀技术专家和研发设施的科学仪器自主创新基地。   据了解,SHRIMP Ⅱ在锆石微区年龄测定上具有无可替代的优势,引领锆石年代学进入微区、原位分析的新时代。2001年,我国引进第一台该机器,北京离子探针中心也于当年成立。该中心今年被科技部和财政部认定为首批国家级科技基础条件平台。
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