非接触方块电阻测试仪

非接触无损方块电阻测试仪产地：美国原理和技术：非接触方块电阻测量仪使用涡电流(Eddy Current)的测试原理。涡电流(也称为感应电流)可产生一个磁场，当磁场与导电材料接触时，会在材料中感应到涡流。根据感应涡流的电流大小，可以计算得到该材料的面电阻（方块电阻）。该技术的优势：是一种非接触、无损的测量方式，不破坏材料；可以测量密封在绝缘层内的导电层；每秒采样次数高达数万次，测量速度快；测量范围：配备不同的测试头可以测量不同范围的面电阻。10X测试头：5 ~ 100,000 (Ohms/sq) 1X测试头：0.5 ~ 10,000(Ohms/sq) 0.1X测试头：0.05 ~ 1,000(Ohms/sq) 0.01X测试头：0.005 ~ 100(Ohms/sq) 应用领域：- 防静电/导电薄膜；- 天线；- 汽车；- 电池；- 装饰薄膜/纸张；- 显示器；- 花线电路和柔性电路板；- 电镀；- 玻璃窗；- 金属化电容用箔；- 金属化标签；- 微波感应器；- 包装；- 雷达吸波材料；- 反射和反光材料；- 半导体；- 太阳能；- 透明导电薄膜；

非接触式薄膜方块电阻方阻测量仪昊量光电新推出用于导电薄膜和薄金属层方块电阻测量的非接触式薄膜四方针方块电阻方阻测量仪EddyCus TF Series，这款非接触式薄膜方块电阻方阻测量仪可以非接触式实时测量，对导电薄膜和金属方块电阻精确测量，表征已被隐藏和封装的导电层，并把测量数据保存和导出。 可用于方块电阻，方阻测量。非接触式方块电阻方阻测量替代四探针传统测量非接触式薄膜四方针方块电阻方阻测量仪主要测试对象：镀膜建筑玻璃，如LowE显示器，触摸屏和平板显示器OLED和LED智能玻璃石墨烯层光伏晶圆和电池半导体晶片金属化层和晶圆金属化电池电极导电涂布纸和导电纺织品非接触式单点方阻测试仪EddyCus TF Lab 2020SREddyCus TF Lab 2020SR是非接触式单点薄层电阻测量系统。该装置包含一个涡流传感器组，感应弱电流到导电薄膜和材料。非接触式薄膜四方针方块电阻方阻测量仪试样中的感应电流产生与测量对象的片电阻相关的电磁场。电涡流技术不依赖于表面特征或形貌。此外，非接触式单点方阻测试仪不需要如已知的2或4点探针测试(2PP, 4PP)或霍尔效应或范德波测量一样进行任何形式的充分的样品接触或备样。非接触式单点方阻测试仪既不需要设置测试结构，也不受表面粗糙度或非导电封装或钝化层的影响。此外，测量不会对被测薄膜产生物理影响。涡流仪器不存在机械磨损，使用寿命长。它的独立性与接触质量和它的高速允许实现高重复性和准确性，有利于在研发和测试实验室的各种薄膜的系统质量保证。EddyCus工具可以由具有各种数据记录和导出功能的SURAGUS软件驱动，也可以由SURAGUS软件开发套件驱动的客户软件驱动。非接触式单点方阻测试仪软件和设备控制：非常用户友好的软件直观的触摸显示导航实时测量板材电阻和层厚软件辅助手动映射选项各种数据保存和导出选项非接触式薄膜四方针方块电阻方阻测量仪产品规格表Measurement technologyNon-contact eddy current sensorsubstratesFoils, glass, wafer, etc.Substrate area8 inch / 204 mm x 204 mm (open on three sides)Max. sample thickness / sensor gap3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample)Thickness measurement range of metal films (e.g. copper)2 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance (cf. our calculator))Device dimensions (w/h/d)11.4” x 5.5” x 17.5” / 290 mm x 140 mm x 445 mmWeight10 kgFurther available featuresSheet resistance measurement / metal thickness monitor VLSRLSRMSRHSRVHSR6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracyRange [Ohm/sq]0.0001 – 0.10.1 – 100.1 – 10010 – 20001,000 – 200,000Accuracy / Bias± 1%± 1 – 3%± 3 – 5%Repeatability (2σ) 0.3% 0.5% 0.3%VLSR – Very Low Sheet Resistance , LSR – Low Sheet Resistance , MSR – Medium Sheet Resistance , HSR – High Sheet Resistance , VHSR – Very High Sheet Resistanc非接触式薄膜四方针方块电阻方阻测量仪非接触式方阻成像仪EddyCus TF Map 2530SREddyCus TF Map 2530SR是一种非接触式薄层电阻映射系统。该设备配备了一个运动的涡流传感器，每次扫描可测量高达90000 (300 x 300)测量点的方块电阻。由于这种技术不需要与标本进行物理接触，该设备可以在飞行运动中进行测量。此外，非接触式单点方阻测试仪具有很高的准确性，因为它是独立于任何接触质量。非接触式薄膜四方针方块电阻方阻测量仪样品中测量点的高密度确保了没有遗漏任何效果或缺陷。此外，综合分析功能支持生产和研发实验室中各种薄膜的系统质量保证。产品规格：Measurement technologyNon-contact eddy current sensorSubstratesWafer, glass, foils etc.Max. scanning area12 inch / 300 mm x 300 mm (larger upon request)Edge effect correction / exclusion2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements)Max. sample thickness / sensor gap3 / 5 / 10 / 15 mm (defined by the thickest sample)Thickness measurement of metal films (e.g. aluminum, copper)2 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance ())Scanning pitch1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 mm (other upon request)Measurement points per time (square shaped samples)100 measurement points in 0.5 minutes10,000 measurement points in 3 minutesScanning time8 inch / 200 mm x 200 mm in 1 to 10 minutes (1 – 10 mm pitch)12 inch / 300 mm x 300 mm in 2 to 6 minutes (2.5 – 25 mm pitch)Device dimensions (w/h/d)31.5” x 19.1” x 33.5” / 785 mm x 486 mm x 850 mmWeight90 kgFurther available featuresMetal thickness imaging, anisotropy and sheet resistance sensor VLSRLSRMSRHSRVHSR6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracyRange [Ohm/sq]0.0001 – 0.10.1 – 100.1 – 10010 – 2,0001,000 – 200,000Accuracy / Bias± 1%± 1 – 3%± 3 – 5%Repeatability (2σ) 0.5% 1% 0.5%VLSR – Very Low Sheet Resistance , LSR – Low Sheet Resistance , MSR – Medium Sheet Resistance , HSR – High Sheet Resistance , VHSR – Very High Sheet Resistance便携式方块电阻测试仪EddyCus TF便携式1010SR专用于工业环境中的接触片电阻测量。它使各种行业的手工质量保证成为可能。Measurement technologyEddy current sensorMeasurement modeRealtime at constant distance / contactSubstratesGlass, foils etc.Substrate sizesFlat samples 150 mm x 150 mm (6 inch x 6 inch)Curved editions are available for several applications (windshields etc.)Measurement spot / high sensitivity zone40 mm diameter (1.6 inch)PowerLithium ion battery up to 20 hSheet resistance range (five setups available)Type very low: 0.001 – 0.1 Ohm/sqType low: 0.04 – 0.1 Ohm/sqType standard: 0.3 – 30 Ohm/sqType high: 0.3 – 50 Ohm/sqType very high: 0.3 – 100 Ohm/sqThickness measurement of thin films (e.g. copper)Additional feature, available range is 5 nm – 500 µ m (in accordance with sheet resistance)Emissivity rangeAdditional feature, available range is 0.003 – 0.5Accuracy (for planar solid surfaces, e.g. glass)0.001 – 50 Ohm/sq: 3%50 – 100 Ohm/sq: 5%DISPlay2.8 inch colored touch screenDevice dimensions (w/h/d)3.5” x 7” x 1.9” / 87 mm x 178 mm x 48 mmWeight340 gInterfacesBluetooth (optional) + data center更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。

在线方块电阻测试仪 EddyCus TF inline在线方块电阻测试仪可以测量薄层的性能，如金属层厚度，薄层电阻，辐射系数，残余水分或在各种基材上的非接触克重。相关基材有玻璃、箔、纸、晶圆片、塑料或陶瓷。通过常驻测量或触发事件进行监测，以在快速移动的涂层过程中获得等距离的结果。检测解决方案可以在大气或真空条件下实施。基于电涡流技术的检测过程高采样率更高。可以使用客户的软件为过程控制系统提供测量结果。此外，SURAGUS还提供监控软件EddyCus EC Control，可视化、存储和分析计量数据。在线方块电阻测试仪产品优势：非接触式实时测量高测量速度高达1000次/秒。传感器固定安装或传感器横贯安装每个系统集成1 - 99个监控通道在大气或真空的过程控制在许多应用中，非常接近衬底边缘的测量是可能的在变化的环境中通过温度补偿测量的长期稳定性与测试材料之间的距离较大(例如60毫米/ 2.4英寸的间隙)覆盖导电层或封装衬底的表征众多软件集成分析在线方块电阻测试仪测量内容及范围：薄层电阻: 0.1 mOhm/sq up to 1 kOhm/sq金属厚度: 2 nm – 2 mm (根据材料电导率)电阻率: 0.1 mOhm cm – 1 ohm cm残余水分(用非接触式介电常数测量湿层)电各异性: 0.33 to 3 (higher on request)关联属性克重: 0.1 to 1,000 g/sqm辐射系数: 0.005 to 0.2EddyCus TF非接触式方块电阻在线监测系统可在生产过程中直接对方块电阻进行高速、非接触式测量。典型的工艺包括PVD, CVD，在晶圆，箔，纸，聚合物或其他基板上的电沉积或常规沉积工艺。特别是这些工艺包括溅射、蒸发、外延或电镀工艺。此外，这也涉及喷涂，槽模涂层或电子印刷过程。此外，片状电阻增强过程，如薄膜的退火和掺杂或印刷电子产品的烧结，受益于电气完整性的在线监测。氧化、蚀刻、抛光以及清洗和干燥过程的影响也是这种测试技术广泛应用范围的一部分。薄片电阻值通常转移到MES系统，以保证质量，特别是过程控制。 在线方块电阻测试仪规格指标：更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。