仪器简介:2006年12月一推出,立刻受到高校科研单位欢迎。国内用户有 南京大学分析中心 上海师范大学 天津46所技术参数:3、仪器主机功能与附件功能 3.1 单色化XPS,Al K&alpha ,包括: 大面积XPS、小面积XPS、成像XPS、深度剖析XPS和角分辨XPS。 3.2 双阳极XPS,Mg/Al K&alpha 3.3 紫外光电子能谱,UPS 3.4 高压反应室 3.5 分析室样品冷/热台 4、仪器主要部件 4.1 超高真空分析室 180度半球能量分析器, 电子透镜传输系统, 16多通道电子检测器 分子泵,离子泵,钛升华泵 单色化XPS (AlK&alpha )系统,含内循环水冷却装置, XPS成像系统, 双阳极XPS系统,冷却循环水和单色化系统共用 紫外光源, 荷电中和系统,用于绝缘样品或导电性差的样品的荷电补偿, 5轴样品台, 标准样品托 2个 Recessed样品托 1个 氩离子枪,用于深度剖析, 热双灯丝离子规, 闭路电视显微彩色摄像系统和SXI成像系统, 分析室和进样室都有独立光纤照明系统, 可观察视窗,视窗直径10cm左右, 样品热/冷台,温度可监测。 4.2 样品进样室 机械泵,分子泵 热双灯丝离子规, 可观察视窗,视窗直径10cm左右。 空气压缩机一台,国内采购 4.3 石英高压反应池 程序控温系统 真空监测系统 真空泵系统 进出气系统,参考南京大学用户设计建议。 压力 一个大气压 全石英底座 密封材料 Byton O-ring 最高温度 600度 远红外线加热控温系统 单独石英反应器冷却系统 4 样品磁耦合传输系统 4.5 真空烘烤系统 4.6 主机系统集成,减震装置。 4.7 计算机系统,含数据采集和数据处理软件包。 4.8 与以上所有系统相关联的电子学控制柜。 5、仪器主要技术参数与要求 5.1 仪器主机功能,单色化Al K&alpha 5.1.1 大面积XPS Ag3d5/2,1400umx100um, FWHM&le 1.00eV时,灵敏度&ge 1,000,000 cps。 Ag3d5/2,1400umx100um, FWHM&le 0.60eV时,灵敏度&ge 250,000 cps。 5.1.2 小面积XPS,最小分析面积&le 10&mu m ,性能指标应达到: Ag3d5/2,20&mu m, FWHM&le 0.60eV时,灵敏度&ge 15,000 cps。 Ag3d5/2,10&mu m, FWHM&le 0.60eV时,灵敏度&ge 4,000 cps。 Ag3d5/2,10&mu m, FWHM&le 1.00eV时,灵敏度&ge 12,000 cps。 Typical value for 100um and 20um at 75degree and 45degree 75degree Ag3d5/2,20&mu m , FWHM&le 0.90eV时,灵敏度&ge 99kcps Ag3d5/2,100&mu m , FWHM&le 0.90eV时,灵敏度&ge 47kcps 45degree Ag3d5/2,20&mu m , FWHM&le 0.90eV时,灵敏度&ge 50kcps Ag3d5/2,100&mu m , FWHM&le 0.90eV时,灵敏度&ge 27kcps 5.1.3 成像XPS 单色化X射线扫描成像,最佳空间分辨率&le 10 &mu m。 5.1.4 深度剖析XPS 聚焦扫描氩离子枪,当working distance为30 mm时.聚焦氩离子束斑&le 150&mu m,当 working distance为60mm时候,聚焦氩离子束斑&le 300&mu m束流密度&ge 0.5 mA/cm2。 5.2 仪器附件功能 5.2.1 双阳极XPS,MgK&alpha ,Ag3d5/2,FWHM&le 1.40eV时,灵敏度&ge 1,000,000 cps。 5.2.2 紫外光电子能谱(UPS) (a) 光源:He紫外光源,HeI:HeII=3:1 (b) 性能指标:分辨率(Ag费米边)&le 120 meV时,灵敏度(Ag4d)&ge 2,000,000 cps。 (c) 最小步长:5meV 5.2.3 高压反应室 (a) 材质:石英 (b) 内胆内压强:&ge 760Torr (c) 最高温度,&ge 600℃ (d) 气体混合仓附计量装置,包括压力表、流量计和针阀等。 5.2.4 分析室样品冷/热台,温度:170 K&ndash 600 K,温度可检测,加热PID控制。 5.3 仪器主要部件参数与要求: 5.3.1 能量分析器 (a) 类型:半球能量分析器 (b) XPS能量范围: 0&ndash 1600 eV(25 meV) UPS :0~320 eV(5 meV) 5.3.2 超高真空分析室 (a) SUS材质内表面经过特殊处理 (b) 真空:小于6.7× 10-10 mbar 5.3.3 样品进样室 (a) 材质:非磁性不锈钢材料 (b) 真空:小于6.7× 10-9 mba 5.3.4 深度剖析氩离子枪 100eV&ndash 5keV,连续可调,扫描型。 5.3.5 荷电中和系统:双枪中和系统。 5.3.6 样品控制台 (a) 轴向:5轴, (b) 移动:各向移动距离必须与样品台尺寸相匹配,步进步长小于1&mu m, (c) 倾斜:0&ndash 90° 5.3.7 计算机系统 (a) Pentium IV,CPU主频3.0GHz左右; (b) 内存2G, 硬盘250 G; (c) 2个DVD/CD-RW Combo光盘驱动器, (d) 22" 液晶平板显示器; (e) 4个USB2.0接口; (f) 100M以上以太网接口,用于数据传输; (g) 预装Windows XP正版软件; ( h ) 预装仪器操作软件和数据分析软件(含最新的XPS数据库),附安装软件光盘;主要特点:1.世界上独一无二扫描微聚焦X-射线source2..世界上独一无二扫描微聚焦X-射线产生的2次电子成像SXI像和XPS成像,可以帮助客户找到肉眼看不见的微观缺陷。3。可以给出10um XPS sensitivity.其他公司不能。20um 的XPS sensitivity是其他公司同类产品的1倍以上。
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