本研究概述了定量和表征纳米元素氧化物纳米颗粒(氧单颗粒ICP-MS测定化学-机械整平中使用的元素氧化物纳米颗粒悬浮物的特性ICP - Mass Spectrometry应用文章化铝和氧化铈),这些常用于纳米电子学和半导体制造行业中化学-机械 (CMP)半导体表面的平整。CMP是一个结合了化学和机械外力平滑平面的过程,此步骤为光刻作准备。
本文中采用德国 Ananlytik Jena AG 公司的 AAS vario 6 型商品原子吸收光谱仪,用直接固体进样法成功测定了混纺棉纱(90%棉+10%聚酯)中的磷含量。作为平行样品测定的精密度在2.3%~7.4%RSD, 非常令人满意,其重现性可与溶液进样石墨炉相媲美。直接固体进样石墨炉原子吸收分析既可解决特殊样品分析的难题,又可大大节省样品处理的时间和工作量;与悬浮液进样法相比不存在稀释和悬浮液杂质污染的问题,是值得推广的一种现代分析技术。
本文中采用德国 Ananlytik Jena AG 公司的 AAS vario 6 型商品原子吸收光谱仪,用直接固体进样法成功测定了混纺棉纱(90%棉+10%聚酯)中的磷含量。作为平行样品测定的精密度在2.3%~7.4%RSD, 非常令人满意,其重现性可与溶液进样石墨炉相媲美。直接固体进样石墨炉原子吸收分析既可解决特殊样品分析的难题,又可大大节省样品处理的时间和工作量;与悬浮液进样法相比不存在稀释和悬浮液杂质污染的问题,是值得推广的一种现代分析技术。