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低温等离子体刻蚀设备
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低温等离子体刻蚀设备相关的方案
等离子体原子层刻蚀实现无损伤刻蚀
提供等离子体原子层刻蚀实现无损伤刻蚀。原子层蚀刻(ALE)是一种技术允许每次精确除去一个原子层,是使用常规刻蚀无法达到的控制水平。 牛津仪器的设备和工艺已通过充分验证,正常运转时间可达90%以上,一旦设备安装完毕,可立即投入使用。PlasmaPro 100系列市场应用广,包括但不限于: MEMS和传感器、光电子、分立元器件和纳米技术。它具有足够的灵活性,可用于研究和开发,通过打造质量满足生产需求。
上海伯东 IBE离子束刻蚀(离子铣)基本原理与应用介绍
在半导体制程工艺中,刻蚀(Etch)是指将晶圆上没有被光刻胶覆盖或保护的部分,以化学反应或物理作用的形式加以去除,完成将图形转移到晶圆片表面上的工艺过程。刻蚀分为湿刻蚀(Wet Etching)和干刻蚀(Dry Etching)。干刻蚀则泛指采用气体进行刻蚀的所有工艺,即在晶圆上叠加光刻胶或金属掩模后,将其裸露于刻蚀气体中的工艺。干法刻蚀分为三种:PE等离子体刻蚀、IBE离子束刻蚀和RIE反应离子体刻蚀。
低温等离子体技术在固体废弃物处理中的应用
低温等离子体技术是集物理学 、化学 、生物学和环境化学于一体的全新技术 。本文叙述了低温等离子体的研究进展及其作用机理 , 探讨了该技术在固体废弃物处理中的应用现状 。同时 , 对低温等离子体反应器的结构特征 、 技术参数 、 工作机理以及处理工艺进行了综述 。作者在文中初步描述了研究低温等离子体技术的思路和想法 , 并展望了低温等离子体技术的发展前景 。
低温等离子体技术在固体废弃物中的应用
低温等离子体“三废”处理技术是集物理学、化学、生物学和环境科学为一体的全新技术,有可能作为一种高效率、低能耗的手段来处理环境中的有毒物质及难降解物质。
使用微型光谱仪进行等离子体监测
在其他气体和纳米颗粒被引入到等离子体腔室时,可以使用Ocean HDX光谱仪测量氩等离子体的发射变化。在封闭反应室中的等离子体的光谱数据,将通过光谱仪,光纤和余弦校正器从腔室外的小窗口收集的发射光谱而得到。Ocean HDX光谱仪为UV-Vis配置,采用400μ m抗老化的光纤耦合余弦校正器进行采样。选择抗老化光纤是为了避免由等离子体的强UV光引起的光纤内涂层降解。选择余弦校正器从等离子腔室获取数据可解决等离子体强度的差异和测量窗口的不均匀结垢。准直透镜也可作为等离子体监测测量中余弦校正器的常用备选方案。
上海伯东 Europlasma 低压等离子设备在气体和液体过滤介质中的应用
上海伯东代理比利时 Europlasma 低压等离子设备通过等离子体涂层技术 Nanofics@ 和无卤素涂层技术 PlasmaGuard®, 可以活化和涂敷过滤介质, 实现亲水, 疏水等功能, 适用于过滤工业, 比如血液过滤介质, 呼吸用口罩等.
等离子设备:在纺织行业的应用
在纺织行业中应用等离子体的益处在于,可以使表面具有例如疏水性、亲水性和防污性。通过所产生的附加功能(例如:防火或者通过自清洁设备),可以通过等离子处理使织物具有新的材料特性。此外,等离子预处理还可以改善织物的润湿性、滑动性和染色性能。
杭州科晓:Optima7300DV电感耦合等离子体发射光谱测定土壤特征Sb元素的研究
本文利用基于快速、分段式电荷耦合检测器(SCD) 的全谱直读ICP-OES是由PerkinElmer 生产的 Optima ™ 7300 DV 电感耦合等离子体发射光谱仪,能够满足土壤样品中极低含量锑等微量金属元素的测量要求。Optima ™ 7300 DV 采用专利的最先进的中阶梯光栅二维分光系统和两块专利的面向化学分析的SCD检测器,能同时对所有波长进行测定。其灵活的波长选择方式让仪器操作人员在实验计划改变时可以轻松的进行新元素或新波长的添加。同时配置了一个40MHz 高能量自激式固态射频发生器,射频发生器输出的功率范围为750-1500 瓦,功率调节的最小步长为1 瓦,可以产生稳定的等离子体。ICP 具有双向观测功能,用户可根据需要选择。仪器使用切割气,能够消除尾焰区低温等离子体的影响,使化学基体的影响降到了最低。仪器使用的进样系统,耐酸腐蚀,具有强的处理固体溶解量能力。
杭州科晓:Optima7300DV电感耦合等离子体发射光谱测定土壤特征Na元素的研究
本文利用基于快速、分段式电荷耦合检测器(SCD) 的全谱直读ICP-OES是由PerkinElmer 生产的 Optima ™ 7300 DV 电感耦合等离子体发射光谱仪,能够满足土壤样品中极低含量钠等微量金属元素的测量要求。Optima ™ 7300 DV 采用专利的最先进的中阶梯光栅二维分光系统和两块专利的面向化学分析的SCD检测器,能同时对所有波长进行测定。其灵活的波长选择方式让仪器操作人员在实验计划改变时可以轻松的进行新元素或新波长的添加。同时配置了一个40MHz 高能量自激式固态射频发生器,射频发生器输出的功率范围为750-1500 瓦,功率调节的最小步长为1 瓦,可以产生稳定的等离子体。ICP 具有双向观测功能,用户可根据需要选择。仪器使用切割气,能够消除尾焰区低温等离子体的影响,使化学基体的影响降到了最低。仪器使用的进样系统,耐酸腐蚀,具有强的处理固体溶解量能力。
杭州科晓:Optima7300DV电感耦合等离子体发射光谱测定土壤特征Fe元素的研究
本文利用基于快速、分段式电荷耦合检测器(SCD) 的全谱直读ICP-OES是由PerkinElmer 生产的 Optima ™ 7300 DV 电感耦合等离子体发射光谱仪,能够满足土壤样品中极低含量Fe等微量金属元素的测量要求。Optima ™ 7300 DV 采用专利的最先进的中阶梯光栅二维分光系统和两块专利的面向化学分析的SCD检测器,能同时对所有波长进行测定。其灵活的波长选择方式让仪器操作人员在实验计划改变时可以轻松的进行新元素或新波长的添加。同时配置了一个40MHz 高能量自激式固态射频发生器,射频发生器输出的功率范围为750-1500 瓦,功率调节的最小步长为1 瓦,可以产生稳定的等离子体。ICP 具有双向观测功能,用户可根据需要选择。仪器使用切割气,能够消除尾焰区低温等离子体的影响,使化学基体的影响降到了最低。仪器使用的进样系统,耐酸腐蚀,具有强的处理固体溶解量能力。
杭州科晓:Optima7300DV电感耦合等离子体发射光谱测定土壤特征Ca元素的研究
本文利用基于快速、分段式电荷耦合检测器(SCD) 的全谱直读ICP-OES是由PerkinElmer 生产的 Optima ™ 7300 DV 电感耦合等离子体发射光谱仪,能够满足土壤样品中极低含量钙等微量金属元素的测量要求。Optima ™ 7300 DV 采用专利的最先进的中阶梯光栅二维分光系统和两块专利的面向化学分析的SCD检测器,能同时对所有波长进行测定。其灵活的波长选择方式让仪器操作人员在实验计划改变时可以轻松的进行新元素或新波长的添加。同时配置了一个40MHz 高能量自激式固态射频发生器,射频发生器输出的功率范围为750-1500 瓦,功率调节的最小步长为1 瓦,可以产生稳定的等离子体。ICP 具有双向观测功能,用户可根据需要选择。仪器使用切割气,能够消除尾焰区低温等离子体的影响,使化学基体的影响降到了最低。仪器使用的进样系统,耐酸腐蚀,具有强的处理固体溶解量能力。
杭州科晓:Optima7300DV电感耦合等离子体发射光谱测定土壤特征Mg元素的研究
本文利用基于快速、分段式电荷耦合检测器(SCD) 的全谱直读ICP-OES是由PerkinElmer 生产的 Optima ™ 7300 DV 电感耦合等离子体发射光谱仪,能够满足土壤样品中极低含量镁等微量金属元素的测量要求。Optima ™ 7300 DV 采用专利的最先进的中阶梯光栅二维分光系统和两块专利的面向化学分析的SCD检测器,能同时对所有波长进行测定。其灵活的波长选择方式让仪器操作人员在实验计划改变时可以轻松的进行新元素或新波长的添加。同时配置了一个40MHz 高能量自激式固态射频发生器,射频发生器输出的功率范围为750-1500 瓦,功率调节的最小步长为1 瓦,可以产生稳定的等离子体。ICP 具有双向观测功能,用户可根据需要选择。仪器使用切割气,能够消除尾焰区低温等离子体的影响,使化学基体的影响降到了最低。仪器使用的进样系统,耐酸腐蚀,具有强的处理固体溶解量能力。
脉冲电子束产生的等离子体的时间分辨离子通量分析
在相邻电极的脉冲电子束产生的氩和氧的等离子体中,测量时间分辨离子的流量和能量分布。氩离子和氧离子的能量和流量的时间变化,是跟等离子体的电子温度和离子密度相关的。氧等离子体的延迟时间要比氩的短。这可以通过分析各种离子的损失机理来推断。
电感耦合等离子体发射光谱仪平板等离子体技术分析生物柴油中的无机污染物含量
在美国,生物燃料的生产主要是用玉米生产乙醇和用大豆生产生物柴油。生物柴油可从任何含有油和动物脂肪的植物或植物材料中提炼出来。ASTM D6751用于用于中间馏分燃料的生物柴油燃料的混合原料标准规范详细描述了使用生物柴油作为中间馏分燃料的混合组成部分的一些要求。PerkinElmer有一些使用电感耦合等离子体发射光谱法分析生物柴油的早期的论文,本项工作主要目的在于新的Optima 8000平板等离子体技术的电感耦合等离子体发射光谱仪的应用。Optima 8x00电感耦合等离子体发射光谱仪系列采用新的平板等离子体技术。平板等离子体技术利用平板感应板产生等离子体,紧凑,致密和强大。平板系统产生一个平底的等离子体,减少样品和蒸气逃脱到等离子体周围以外的区域,使有机样品分析更容易。
冷冻激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法对黄瓜叶片中Ce元素成像的研究
?利用带冷冻室的激光剥蚀电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS)系统,研究了新鲜黄瓜叶片中纳米颗粒(NPs)的空间分布特征,对黄瓜叶片中纳米颗粒的空间分布具有重要意义。冷冻室消除了激光剥蚀过程的热效应,提高了信号的稳定性。因此,与室温下相比,冷冻室中NIST 612和添加琼脂凝胶的相对标准偏差更低。在低温条件下对鲜黄瓜中铈的成像进行了研究。63Cu、66Zn、31P、140Ce和13C在黄瓜叶片的分布信息表明,Ce3+对黄瓜叶片的负面影响比CeO2更大。据我们所知,本研究首次实现了冷冻室中植物Ce的成像,对评估生物组织在自然状态下的环境风险具有重要意义。
中智科仪逐光IsCMOS像增强相机拍摄激光诱导等离子体羽流
本次实验采用中智科仪的逐光IsCMOS像增强相机(TRC411),拍摄了激光诱导等离子体羽流的形貌演化过程。基于逐光IsCMOS像增强相机的纳秒级快门门控、高精度的时序同步技术和变延迟序列推扫功能,记录了等离子体羽流的完整演化过程。
应用分享-燃烧环境下激光诱导等离子体成像
中智科仪逐光IsCMOS时间分辨像增强相机兼具皮秒级时间分辨率以及皮秒级同步触发精度,一方面可以对等离子体形成和演化过程进行瞬时冻结成像,另一方面借助精确的外同步延迟触发功能采集不同时间延迟下的多幅图像对等离子体形成和演化过程进行重构。中智科仪逐光IsCMOS时间分辨像增强相机已经成为激光诱导等离子体发光瞬态过程和演化规律诊断和研究的强有力工具。
水在银表面的界面Pockels效应引起的等离子体共振中的电场位移
在用于信息通信的光调制器的应用研究中,需要具有大的Pockels效应(折射率变化与电场成比例)的材料。众所周知,透明氧化物电极表面的界面水具有巨大的Pockels系数,该系数比实际使用的固体Pockels晶体大一个数量级。了解水在氧化物表面和金属表面上的Pockels系数对于理解水的界面Pockels效应的机制是重要的。然而,目前还没有建立一种评估水-金属界面系数的方法。在这里,我们提出了一种根据由电场引起的界面水的折射率变化引起的表面等离子体激元共振的光谱偏移来评估金属(银)表面上界面水的Pockels系数的方法。银界面水的Pockels系数被评估为pm/V,而不需要确切了解界面层(水的双电层)的厚度,只要等离子体的穿透深度大于厚度即可。
纳秒重复脉冲等离子体放电增强湍流氢-空气火焰向爆轰的过渡
采用LaVision公司的高速图像增强器和和高速相机作为测试设备,对纳秒重复脉冲等离子体放电增强湍流氢-空气火焰向爆轰的过渡过程进行了实验测量研究
杭州科晓:Optima7300DV电感耦合等离子体发射光谱测定土壤特征Ni元素的研究
本文利用基于快速、分段式电荷耦合检测器(SCD) 的全谱直读ICP-OES是由PerkinElmer 生产的 Optima ™ 7300 DV 电感耦合等离子体发射光谱仪,能够满足土壤样品中极低含量Ni等微量金属元素的测量要求。Optima ™ 7300 DV 采用专利的最先进的中阶梯光栅二维分光系统和两块专利的面向化学分析的SCD检测器,能同时对所有波长进行测定。其灵活的波长选择方式让仪器操作人员在实验计划改变时可以轻松的进行新元素或新波长的添加。同时配置了一个40MHz 高能量自激式固态射频发生器,射频发生器输出的功率范围为750-1500 瓦,功率调节的最小步长为1 瓦,可以产生稳定的等离子体。ICP 具有双向观测功能,用户可根据需要选择。仪器使用切割气,能够消除尾焰区低温等离子体的影响,使化学基体的影响降到了最低。仪器使用的进样系统,耐酸腐蚀,具有强的处理固体溶解量能力。
杭州科晓:Optima7300DV电感耦合等离子体发射光谱测定土壤特征Mn元素的研究
本文利用基于快速、分段式电荷耦合检测器(SCD) 的全谱直读ICP-OES是由PerkinElmer 生产的 Optima ™ 7300 DV 电感耦合等离子体发射光谱仪,能够满足土壤样品中极低含量锰等微量金属元素的测量要求。Optima ™ 7300 DV 采用专利的最先进的中阶梯光栅二维分光系统和两块专利的面向化学分析的SCD检测器,能同时对所有波长进行测定。其灵活的波长选择方式让仪器操作人员在实验计划改变时可以轻松的进行新元素或新波长的添加。同时配置了一个40MHz 高能量自激式固态射频发生器,射频发生器输出的功率范围为750-1500 瓦,功率调节的最小步长为1 瓦,可以产生稳定的等离子体。ICP 具有双向观测功能,用户可根据需要选择。仪器使用切割气,能够消除尾焰区低温等离子体的影响,使化学基体的影响降到了最低。仪器使用的进样系统,耐酸腐蚀,具有强的处理固体溶解量能力。
杭州科晓:Optima7300DV电感耦合等离子体发射光谱测定土壤特征K 元素的研究
本文利用基于快速、分段式电荷耦合检测器(SCD) 的全谱直读ICP-OES是由PerkinElmer 生产的 Optima ™ 7300 DV 电感耦合等离子体发射光谱仪,能够满足土壤样品中极低含量K等微量金属元素的测量要求。Optima ™ 7300 DV 采用专利的最先进的中阶梯光栅二维分光系统和两块专利的面向化学分析的SCD检测器,能同时对所有波长进行测定。其灵活的波长选择方式让仪器操作人员在实验计划改变时可以轻松的进行新元素或新波长的添加。同时配置了一个40MHz 高能量自激式固态射频发生器,射频发生器输出的功率范围为750-1500 瓦,功率调节的最小步长为1 瓦,可以产生稳定的等离子体。ICP 具有双向观测功能,用户可根据需要选择。仪器使用切割气,能够消除尾焰区低温等离子体的影响,使化学基体的影响降到了最低。仪器使用的进样系统,耐酸腐蚀,具有强的处理固体溶解量能力。
杭州科晓:Optima7300DV电感耦合等离子体发射光谱测定土壤特征Pb元素的研究
本文利用基于快速、分段式电荷耦合检测器(SCD) 的全谱直读ICP-OES是由PerkinElmer 生产的 Optima ™ 7300 DV 电感耦合等离子体发射光谱仪,能够满足土壤样品中极低Pb等含量微量金属元素的测量要求。Optima ™ 7300 DV 采用专利的最先进的中阶梯光栅二维分光系统和两块专利的面向化学分析的SCD检测器,能同时对所有波长进行测定。其灵活的波长选择方式让仪器操作人员在实验计划改变时可以轻松的进行新元素或新波长的添加。同时配置了一个40MHz 高能量自激式固态射频发生器,射频发生器输出的功率范围为750-1500 瓦,功率调节的最小步长为1 瓦,可以产生稳定的等离子体。ICP 具有双向观测功能,用户可根据需要选择。仪器使用切割气,能够消除尾焰区低温等离子体的影响,使化学基体的影响降到了最低。仪器使用的进样系统,耐酸腐蚀,具有强的处理固体溶解量能力。
杭州科晓:Optima7300DV电感耦合等离子体发射光谱测定土壤特征Ba元素的研究
本文利用基于快速、分段式电荷耦合检测器(SCD) 的全谱直读ICP-OES是由PerkinElmer 生产的 Optima ™ 7300 DV 电感耦合等离子体发射光谱仪,能够满足土壤样品中极低含量钡等微量金属元素的测量要求。Optima ™ 7300 DV 采用专利的最先进的中阶梯光栅二维分光系统和两块专利的面向化学分析的SCD检测器,能同时对所有波长进行测定。其灵活的波长选择方式让仪器操作人员在实验计划改变时可以轻松的进行新元素或新波长的添加。同时配置了一个40MHz 高能量自激式固态射频发生器,射频发生器输出的功率范围为750-1500 瓦,功率调节的最小步长为1 瓦,可以产生稳定的等离子体。ICP 具有双向观测功能,用户可根据需要选择。仪器使用切割气,能够消除尾焰区低温等离子体的影响,使化学基体的影响降到了最低。仪器使用的进样系统,耐酸腐蚀,具有强的处理固体溶解量能力。
杭州科晓:Optima7300DV电感耦合等离子体发射光谱测定土壤特征Cu元素的研究
本文利用基于快速、分段式电荷耦合检测器(SCD) 的全谱直读ICP-OES是由PerkinElmer 生产的 Optima ™ 7300 DV 电感耦合等离子体发射光谱仪,能够满足土壤样品中极低含量铜等微量金属元素的测量要求。Optima ™ 7300 DV 采用专利的最先进的中阶梯光栅二维分光系统和两块专利的面向化学分析的SCD检测器,能同时对所有波长进行测定。其灵活的波长选择方式让仪器操作人员在实验计划改变时可以轻松的进行新元素或新波长的添加。同时配置了一个40MHz 高能量自激式固态射频发生器,射频发生器输出的功率范围为750-1500 瓦,功率调节的最小步长为1 瓦,可以产生稳定的等离子体。ICP 具有双向观测功能,用户可根据需要选择。仪器使用切割气,能够消除尾焰区低温等离子体的影响,使化学基体的影响降到了最低。仪器使用的进样系统,耐酸腐蚀,具有强的处理固体溶解量能力。
北京英格海德:高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)在等离子体诊断中的应用
ESPion高级Langmuir探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断,是最先进可靠的 Langmuir 探针。 应用: 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体 脉冲等离子体操作 离子密度 (Ni & Gi) 电子温度(Te & EEDF) 电子密度(Ne) 等离子体电位 Debye 长度,悬浮电位
Hakuto 离子刻蚀机 7.5IBE 用于氮化硅刻蚀工艺研究
重庆某研究所在在氮化硅刻蚀工艺研究中采用 hakuto 离子刻蚀机 7.5IBE.针对氮化硅刻蚀工艺中硅衬底刻蚀损失的问题, 为了提高氮化硅对二氧化硅的刻蚀选择比, 采用 CF4, CH3F和O2这3种混合气体刻蚀氮化硅, 通过调整气体流量比, 腔内压强及功率, 研究其对氮化硅刻蚀速率、二氧化硅刻蚀速率及氮化硅对二氧化硅选择比等主要刻蚀参数的影响.
等离子体处理技术在汽车领域的部分应用
等离子体表面处理技术可以有效解决因表面粘合、喷漆、印刷等问题而带来的工艺难题。如今,等离子技术处理广泛应用在汽车工业,可以满足汽车外观、操作舒适性、可靠性、寿命等方面的要求。 等离子体表面处理可以改善聚合材料、橡胶、金属、玻璃、陶瓷等的亲水性能,改变难粘材料的分子,使其在不损伤表面的情况下具有更好的粘附性能。
Hakuto IBE离子刻蚀机运用于 PDMS 软刻蚀用母模板研究
随着微纳制造技术的发展,软刻蚀技术因其在微流体、组织工程和生物医学等领域的广泛应用而受到重视。PDMS(聚二甲基硅氧烷)作为一种常用的软刻蚀材料,其母模板的制备质量直接影响到最终产品的性能。Hakuto 7.5IBE 离子刻蚀机以其高效、简便的操作特点,为软刻蚀母模板的制备提供了新的选择。西南某高校在 PDMS 软刻蚀用母模板研究中有采用到伯东 Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE .
单颗粒电感耦合等离子体质谱分析法的原理与应用
纳米技术是一个快速发展的新兴领域,其发展和前景也给科学家和工程师们带来了许多巨大的挑战。纳米颗粒正在被应用于众多材料和产品之中,如涂料(用于塑料、玻璃和布料等)、遮光剂、抗菌绷带和服装、MRI 造影剂、生物医学元素标签和燃料添加剂等等。然而,纳米颗粒的元素组成、颗粒数量、粒径和粒径分布的同步快速表征同样也是难题。对于无机纳米颗粒,最为满足上述特点的技术就是在单颗粒模式下应用电感耦合等离子体质谱分析法(ICP-MS)。使用ICP-MS 分析单纳米颗粒时,需要采用有别于溶解元素测量的另一种不同方式。本文介绍了单颗粒ICP-MS 测量背后的理论,并通过溶解态元素的分析进行比较,提出差异。
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