连续流型低温真空探针台

Lake Shore 的FWPX探针台专为需要大尺寸晶圆探测的研究人员设计，它可以容纳直径高达102 mm（4英寸）的晶圆片，并可定制容纳更大尺寸至152 mm（6英寸）的晶圆。这款通用的探针台主要是为研究者和工程师们做大样品的材料特性表征而设计，同样可以有效的测量有机材料。 FWPX探针台采用了连续流制冷系统，使用液氦或液氮来冷却晶圆片或样品。它的标准工作范围为4.5K~475K，使用低温选件可将基础低温扩展至3.5K。 FWPX探针台可进行I-V，C-V 和微波等标准测量。 FWPX探针台最多同时安装6个带有热沉的微型操纵探针臂，经过优化设计后可用于电光测试。 主要特征： √ 温度范围4.5 K~475 K √ 可选低温3.5 K √ 样品快速测量 √ 标准4英寸（102 mm）样品，6英寸（152 mm）可定制 √ 样品可面内±5°旋转 √ 样品振动＜30 nm 设备参数： 温度范围 最多安装6个探针臂 基础温度4.5 K，控制范围5 K ~ 475 K 安装PS-LT低温选件 基础温度3.5 K，控制范围4 K ~ 475 K 温度稳定性 液氦 液氮 基础温度 (无加热控制) ±20 mK ±20 mK 10 K ±50 mK — 10 K ~ 100 K ±20 mK ±50 mK 101 K ~ 250 K ±20 mK ±50 mK 251 K ~ 350 K ±20 mK ±100 mK 351 K ~ 675 K ±50 mK ±100 mK 真空 以TPS-FRG分子泵组为标准 抽真空时间 30 min (1 × 10-3 Torr) 室温下 5 × 10-4 Torr 基础温度下 1 × 10-5 Torr 最高温度下 5 × 10-3 Torr 循环时间 总循环 3.5 h 抽真空 0.5 h 探针台冷却 1.5 h 探针台升温 1.5 h 样品 最大尺寸 102 mm(4英寸)标准 样品背光接口 不可选 样品旋转 ±5°面内旋转 样品平移 在x轴和y轴上平移，用于整个102 mm的晶圆片探测 样品振动 ＜30 nm标准 探针配置 最大探针数 6 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜30 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接样品台热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为51毫米（2 英寸）的圆内落针

Lake Shore的TTPX探针台是一款经济的、入门级的探针台，能够进行各种非破坏性的标准电子器件测量。紧凑的桌面设计非常适合学术和实验室研究环境。 TTPX探针台通过使用液氦或液氮的连续流制冷系统提供高效的低温操作和控制，系统在4.2 K至475 K的温度范围内运行，可扩展低至3.2 K或高至20 K~675 K的范围。该系统可容纳直径达51 mm（2英寸）的完整和部分晶圆片。各种探针、测试电缆、样品支架和选件使其能够满足多种特定的测量应用。 TTPX探针台是Lake Shore为光电材料表征而设计的高端产品，它具有背面光学接入选件和兼容的光学样品座。I-V、C-V和微波测量是TTPX的标准选件。TTPX的多功能性和经济性使其成为世界各地许多研究人员的首选工具。 主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K √ 可选低温3.2 K，可选高温675 K √ 标准2英寸（51 mm）样品 √ 紧凑型桌面设计 √ 样品振动＜30 nm可选 √ 环形磁体选件最大0.19T √ 允许样品背光接入 设备参数： 温度范围 安装2个探针臂 基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装4个探针臂 基础温度4.325 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装6个探针臂 基础温度4.35 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装PS-LT低温选件 基础温度3.2 K，控制范围3.3 K ~ 475 K 安装PS-HTSTAGE高温选件 基础温度20 K，控制范围20 K ~ 675 K 温度稳定性 液氦 液氮 基础温度 (无加热控制) ±15 mK ±20 mK 10 K ±50 mK — 10 K ~ 100 K ±20 mK ±50 mK 101 K ~ 250 K ±15 mK ±50 mK 251 K ~ 350 K ±15 mK ±100 mK 351 K ~ 675 K ±50 mK ±100 mK 真空 以TPS-FRG分子泵组为标准 抽真空时间 15 min (1 × 10-3 Torr) 室温 5 × 10-4 Torr 基础温度 1 × 10-5 Torr 最高温度 5 × 10-3 Torr 循环时间 总循环 2 h 抽真空 15 min 探针台冷却 45 min 探针台升温 60 min 样品 最大尺寸 51 mm(2英寸)标准 样品背光接口 5 mm (0.2 in) 直径 样品旋转 无 样品振动 ＜300 nm标准，＜30 nm选配PS-PVIS减震选件 探针配置 最大探针数 6 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜35 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接样品台热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

泽攸科技干式液氦温区探针台LHe-6H-06产品介绍干式液氦温区探针台LHe-6H-06是泽攸科技自主研发的探针台系统产品之一，LHe-6H-06专为样品的非破坏检测和真空洁净而设计的，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。利用住友F-50连续流型、变温制冷系统，低温可达6k，同时配备自动温度控制器（稳定度为0.05 K)，带有触控界面和LabView驱动，工作温度范围在6 K to 400 K 。另加防辐射窗口可截断样品更大的热辐射，可测量更大的尺寸样品。 产品优势1.真空腔体：真空度优于6×10-4Pa。降温后优于6×10-5Pa。留有2个用户法兰接口（KF40可接入气体或者额外的电缆）；2. 探针控制：标配6个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆；3. 显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：1.4X~9X（使用2X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；4. 变温样品台：50mm直径。变温范围：30K~400K。控温稳定性优于±0.01K；5. 可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤；6. 系统直流漏电低于1pA；7. 产品含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪。干式液氦温区探针台产品参数

大型真空高低温探针台郑科探，低温真空探针台可使物理科学家和研究员通过方便的，可重复的测量进行基础的科学研究并得到连续的结果。低温真空探针台是一个多用的灵活的研究平台，可被用于专用的或者多用的团体研究资源。典型的应用包括样品在整个温度范围内的IV和CV曲线测试，微波测试，光电测试，表征变磁环境下的磁输运特性，理解载流子浓度的霍尔效应测试，和其他材料的研究。大型真空高低温探针台郑科探真空腔体腔体材质304不锈钢上盖开启铰链侧开加热台材质304不锈钢内腔体尺寸φ160x90mm观察窗尺寸Φ70mm加热台尺寸φ60mm观察窗热台间距75mm加热台温度﹣196~350℃加热台温控误差±1℃真空度机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa允许正压≤0.1MPa真空抽气口KF25真空法兰气体进气口3mm-6mm卡套接头电信号接头SMA转BNC X 4电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V探针数量4探针探针材质钨针 探针尖10μm探针移动平台X轴移动行程30mm ±15mmX轴控制精度≤0.01mmY轴移动行程13mm ±12.5mmY轴控制精度≤0.01mmZ轴移动行程13mm ±12.5mmZ轴控制精度≤0.01mm电子显微镜显微镜类别物镜物镜倍数0.7-4.5倍工作间距90mm相机sony 高清像素1920※1080像素图像接口VGALED可调光源有显示屏8寸放大倍数19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm

Lake Shore的PS-100探针台是一款经济型的多功能型桌面式低温探针台，对资金有限或刚开始进行材料测试的实验室来说是不错的选择。该系统拥有超快的交货周期，且只需要使用真空泵和制冷剂即可开始进行低温实验。 PS-100预配置用于高灵敏、高阻抗的直流测量，使其能够在各种应用中使用。它具有用于四点探测的四臂三同轴TTPX探针台配置，并在 4.2 K 至 475 K 的温度范围内提供高稳定性操作。高精度、微型操作台可确保精确的探针尖端放置，PS-100可容纳直径高达32 mm（1.25英寸）的样品。 PS-100紧凑的桌面设计非常适合学术和实验室研究，它通过使用液氦或液氮的连续流制冷系统提供高效的低温操作。通过配套的Lake Shore 336型控温仪，用户可以在监测探针臂温度的同时独立调节样品台和防辐射屏的温度。 此外，PS-100型号具有完整的热沉和辐射屏蔽功能来防止热量到达样品。将探针冷却至样品台温度，以最大限度地减少测试器件的热负载。 PS-100台式低温探针台也可现场升级。当您的研究改变或预算允许时，您可以通过从TTPX系列中选择选件来添加其他功能，如低温或高温选件、减震或背面光学接口等。 主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K √ 可选低温3.2 K √ 标准1.25英寸（32 mm）样品 √ 紧凑型桌面设计 √ 快速交货 √ 样品振动＜30 nm可选 √ 环形磁体选件最大0.19T 设备参数： 温度范围 安装2个探针臂 基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装4个探针臂 基础温度4.325 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装PS-LT低温选件 基础温度3.2 K，控制范围3.3 K ~ 475 K 温度稳定性 液氦 液氮 基础温度 (无加热控制) ±15 mK ±20 mK 10 K ±50 mK — 10 K ~ 100 K ±20 mK ±50 mK 101 K ~ 250 K ±15 mK ±50 mK 251 K ~ 350 K ±15 mK ±100 mK 351 K ~ 475 K ±50 mK ±100 mK 真空 以TPS-FRG分子泵组为标准 抽真空时间 15 min (1 × 10-3 Torr) 室温 5 × 10-4 Torr 基础温度 1 × 10-5 Torr 最高温度 5 × 10-3 Torr 循环时间 总循环 2 h 抽真空 15 min 探针台冷却 45 min 探针台升温 60 min 样品 最大尺寸 32 mm(1.25英寸)标准 样品背光接口 无 样品旋转 无 样品振动 ＜300 nm标准，＜30 nm选配PS-PVIS减震选件 探针配置 最大探针数 4 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜35 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接样品台热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

Lake Shore的CPX-VF探针台增加了±2.5T的超导磁体，可以进行C-V、I-V、微波和电光探测，以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CPX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CPX-VF 是Lake Shore探针台中结合微波和磁场测量的优秀探针台之一。 CPX-VF在直径达51mm（2英寸）的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。 CPX-VF使用液氦或液氮进行连续流制冷（使用超导磁体时必须使用液氦），其操作温度范围为4.2 K到400 K，使用低温选件可将基础低温扩展到2 K。 主要特征： √ 温度范围4.3 K~400 K √ 可选低温1.9 K √ 垂直磁场±2.5 T √ 最大2英寸（51 mm）样品 √ 样品可面内±5°旋转 √ 样品振动＜30 nm可选 √ 90°探针样品测量 √ 霍尔效应测试选件 √ 超高真空选件 √ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境 设备参数： 磁场 磁体类型 超导螺线管 磁场方向 垂直方向（垂直于样品面） 磁场控制 电流控制 磁场大小 最大±25 KOe(±2.5 T) 磁场均匀性 0.5% 10 mm直径；1% 25 mm直径 探针针尖移动 5μm 整个磁场范围内 温度范围 最多配置6个探针臂 基础温度4.3 K，温度控制范围4.4 K ~ 400 K 安装PS-LT低温选件 基础温度1.9 K，温度控制范围2 K ~ 400 K 温度稳定性 液氦 基础温度 (无加热控制) ±15 mK 10 K ±50 mK 10 K ~ 100 K ±20 mK 101 K ~ 250 K ±15 mK 251 K ~ 350 K ±15 mK 351 K ~ 400 K ±50 mK 真空 以TPS-FRG分子泵为标准 PS-HV-CPX选件 抽真空时间 30 min (1 × 10-3 Torr) 10 min (1 × 10-3 Torr) 室温 5 × 10-4 Torr 5 × 10-6 Torr 基础温度 1 × 10-5 Torr 5 × 10-7 Torr 最高温度 5 × 10-5 Torr 5 × 10-7 Torr 循环时间 总循环 4 h 抽真空 0.5 h 探针台冷却 2 h 探针台升温 1.5 h 样品 最大尺寸 51 mm(2英寸) 样品背光接口 不可选 样品旋转 ±5°样品面内旋转 样品振动 ＜300 nm（标准），＜30 nm（配置减震选件PS-PVIS） 探针配置 最大探针数 6 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜20 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接磁体防辐射屏热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

Lake Shore的EMPX-H2探针台增加了一个±0.6 T水平方向磁场的电磁铁，所有标准的C-V、I-V、微波和电光探测，加上面内水平场电磁测量，都可以在EMPX-H2探针台上进行。研究人员可以使用EMPX-H2来测试磁输运参数，ST-FMR测试等。它是Lake Shore探针台中用于矢量相关磁输运测量的低温探针台。 为了最大限度地提高样品磁场，EMPX-H2的探针配置为30°倾角，用于探测直径达25mm（1英寸）的晶圆片。360°旋转样品台选项允许测量角度相关和各向异性的磁输运特性。EMPX-H2在4.5 K至400 K的温度范围内运行，配置低温选件可将基本温度扩展至3.2 K。EMPX-H2采用连续流制冷，可使用液氦或液氮进行冷却。 主要特征： √ 温度范围4.5 K~400 K √ 可选低温3.2 K √ 水平磁场±0.6 T √ 最大1英寸（25.4 mm）样品 √ 无需系统降温即可施加磁场 √ 样品360°旋转磁各向异性测试 设备参数： 磁场 磁体类型 电磁铁 磁场方向 水平方向（平行于样品面） 磁场控制 霍尔探头安装在探针台内用于磁场闭环控制 磁场大小 最大±6 kOe (±0.6 T) 磁场均匀性 0.6% 10 mm直径；2.6% 25 mm直径 探针针尖移动 5 μm 整个磁场范围内 温度范围 最多安装4个探针臂 基础温度4.5 K，控制温度范围5 K~400 K 安装PS-LT低温选件 基础温度3.2 K，控制温度范围3.3 K~400 K 温度稳定性 液氦 液氮 基础温度 (无加热控制) ±20 mK ±50 mK 10 K ±50 mK — 10 K ~ 100 K ±50 mK ±100 mK 101 K ~ 250 K ±50 mK ±100 mK 251 K ~ 400 K ±50 mK ±100 mK 真空 以TPS-FRG分子泵为标准 抽真空时间 30 min (1 × 10-3 Torr) 室温 5 × 10-4 Torr 基础温度 1 × 10-5 Torr 最高温度 5 × 10-3 Torr 循环时间 总循环 3 h 抽真空 0.5 h 探针台冷却 1.25 h 探针台升温 1.25 h 样品 最大尺寸 51 mm(2英寸) 样品背光接口 不可选 样品旋转 360°样品旋转选件(PS-360-EMPX) 样品振动 ＜300 nm 标准 探针配置 最大探针数 4 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜20 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接样品台热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

Avantgarde 液氮高低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。PSM-LN2系列液氮高低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-800K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电测试。特点：1.液氮高低温真空探针台，15分钟内腔体真空度可达到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到最低温度只需0.2L液氮，使用方便快捷同时兼顾经济性。2.探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空 的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。3.独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足最大4英寸样品的测试。4.真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性5.探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@80K--800K测试温度范围宽，最大支持80K-800K连续变温。6.独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏7.上盖采用翻盖结构，换样更便捷。

DCH系列高低温真空探针台产品概要DCH系列高低温真空探针台是我司自主研发的一款在极端环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试,射频测试,光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷,可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料,半导体器件等研究方向具有广泛运用。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试:当晶圆加热至300°C,400°C,500”C甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。技术特点防辐射屏和热沉设计 降温速度快,常温降至 77k25mins,大大提高测试效率 液氮自动控制系统,液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度。

牛津湿式制冷机Optistat连续流型OptistatCF 连续流型（交换气） 技术参数OptistatCF-V 连续流型（真空） 技术参数类型Pull 模式Push 模式样品温度范围 2 .3 – 500 K4.2 – 500 K温度稳定性± 0.1 K最大样品空间样品架尺寸30 毫米宽 x 58 毫米长20 毫米宽 x 50 毫米长样品空间类型真空样品更换时间60 分钟制冷到 4.2K 时间10 分钟液氦消耗 @4.2K光学通路 0.45 L/ 小时f/0.9重量2 千克典型设置：牛津湿式制冷机Optistat连续流型主要应用：• 紫外可见，近红外光谱• 红外光谱FTIR• 光致发光和电致发光• 荧光光谱• 拉曼光谱• 透射反射吸收光谱主要特点：• 存储杜瓦型、连续流型多种类型可选• 样品在真空中或者交换气体中• 设计美观，小巧紧凑，质量轻，易于集成• 换样快• 稳定性，可靠性高选项升级：• 500K 高温选项• 精确可调高度和角度的样品杆选项• 反射、透射、比色皿多种样品架可选• 各种材料窗片( 石英、无水石英、蓝宝石、CaF、聚乙烯）• 真空泵系统

ARS生产的Helitran LT4B是一个真正的超高真空冷头(10-11 Torr)，所有的橡胶O形密封圈被焊接接头和金属密封圈取代。 LT4B是性价比最 高的制冷剂连续流型UHV低温恒温器。LT4B既可以使用液氦也可以使用液氮。LT4使用标准的传输管线和冷头。如果需要升级为同轴屏蔽流型传输管线，实现埃米级振动，向您推荐高性能的LT3B。 LT-4B与标准Helitran LT3 & LT3B有许多相同的部件、功能和工艺。 典型应用• 超高真空• 表面科学 典型特点• 液氦流(或液氮)• 真正的超高真空 (10-11 Torr)• 可烘烤至200℃• 可选冷头加长• 基体热交换，冷却效率高• (尖 端流量)液氦消耗量0.75 L L /hr@4.2K 典型结构• 冷头 (LT4B)• 液氦传输管线• 真正的UHV焊接不锈钢仪表裙，2.75可旋转CF法兰• 杜瓦适配器• 温度测量和控制仪器:10针电学/密封接头36欧姆热箔加热器硅二极管传感器曲线匹配(±0.5K)进行控制校准的硅二极管传感器(±12 mk) 4英寸。自由长度为准确的样品测量• 电学实验接线:10针电学/密封接头4铜导线• 用于光学和电学实验的样品架• 温控仪 选件升级• 450K高温接口• 800K高温接口• 4.5英寸和6英寸可旋转CF法兰• 定制温度传感器配置(请联系我们的销售人员）• 定制接线配置(请联系我们的销售人员)• 样品架升级(可定制样品盒)技术参数冷却技术温度测量和控制(标准)LT4B开式循环制冷机加热器 36欧姆线包裹的热箔加热器固定在冷端制冷方式 液氦流 /液氮流控制传感器安装在冷头上的标准曲线硅二极管温度计制冷剂液氦，可兼容液氮样品传感器 带自由长度导线校准的硅二极管温度计温度*联系销售人员获取其他选项LT44.2K—350K设备访问 加800K高温台（最 低温+2K）-800K设备裙座不锈钢螺栓加450K高温台（最 低温+2K）-450K泵出端口 无温度稳定性0.1 K仪表端口1.33 Mini Con?at 法兰*基于裸露的冷头与一个封闭的辐射屏蔽，没有额外来源的实验或寄生热负荷仪表接线联系销售人员进行选择样品空间 防热辐射屏 直径 36mm (1.43 in.)材质镀镍无氧铜高度 39mm (1.53 in.)附件 螺栓真空度 1/4 - 28 screw光学通路 开放式样品架联系销售人员 恒温器型号LT4B制冷剂液氦 液氮 最 低温度 4.2K泵抽情况下2K77K4.2K下液氦消耗0.75 LL/hr-制冷量0.75 LL/hr2 LL/hr4.2K0.5W1.5W20K3.0W8.0W50K7W20W最 高温度450K制冷时间30 分钟重量 0.9 kg (2 lbs)

1、 低温探针台工作原理：低温探针台可用来测试芯片、晶圆片和封装器件应用领域包括半导体、MEMS、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等探针可以施加直流、低频信号或微波信号等（可选一到八探针）高效率连续流低温恒温系统使用液氦或者液氮可使温度控制在3K到475K（可选600K）各类无制冷剂制冷系统（Basetemperature:5K,8K,10K等）可施加各类磁场（永磁体、电磁体和超导磁体）2、低温探针台型号及技术参数如下：CPS-25-CF-HV-10K无氦低温探测台用于10K到460K成本效益，稳定，可靠，使用方便 可达25mm直径的晶片- 温度范围从4.5K到470K（0.1K或更好的精度和稳定性）- 闭环循环制冷机 - 高达25mmx25mm样品表征- 选择DC至67GHz的测量与合适的探头- 4 微控探针臂（最多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有可达4英寸X，1.75英寸Y和0.5的英寸Z- 热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽- 改进真空等度的组件的- 方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求详细参数可达25mm，50mm以上100毫米无液氦闭路循环制冷机，包括冷头，压缩机，制冷机和氦软管温度范围：低于10K到480K控温精度：0.1K温度分辨率：0.001K热锚探头武器和辐射屏蔽chuck温控（加热）盘变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案同轴和环形照明LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力软件进行计算机控制和温度监控。几个温度测试序列是预编程和定制序列可以由最终用户很容易地编程 CPS-100-CF-77K无氦低温探针台对于晶圆级测试在77K至480K- 成本效益，稳定，可靠，方便使用可达100mm直径的晶片- 温度范围从4.5K到480K（0.1K精度）- 闭环循环制冷机- 高达2英寸直径的表征样品- 选择DC至67GHz的测量与适当的探头- 4 微控探针臂（最多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有最多4英寸X，1.75英寸Y和0.5英寸Z- 热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求详细参数可达25mm，50mm以上100毫米无液氦封闭循环制冷机包括冷头，压缩机，制冷机和氦要求软管低于77K到480K控温精度：0.1K温度分辨率：0.001K热锚探头武器和辐射屏蔽chuck温控（加热）盘窗口材料：熔融石英，定制材料和涂层可变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案同轴和环形照明LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力软件进行计算机控制和温度监控。几个温度测试序列是预编程和定制序列可以由最终用户很容易地编程 CPS-150-LN2/LHe-HV液体低温探针台适合全片的测试在5K至460K范围 具有成本低，稳定，可靠，方便使用等特点可达150mm直径的晶片- 温度范围从4.5K到470K（0.1K或更好的精度和稳定性，优于在低于250K50mK稳定性）无论是用液氮或液氦冷却均可兼容- 选择DC到110GHz的测量与合适的探头- 4 微控探针臂（最多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有最多4英寸X，1.75英寸Y和0.5英寸Z- 热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求- 电动XY，XYZ或XYZ?夹头位置调整作为选项带有不同的范围和分辨率 详细参数175毫米D，最多3个辅助夹头可以安装液氮或液氦冷却温度范围：5K至480K可用控温精度：0.1K温度分辨率：0.001K热锚探头武器和辐射屏蔽窗口材料：熔融二氧化硅或石英，定制材料和涂层可同轴和环形照明LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力隔振- 空气减震系统隔振表- 无振动隔离波纹管- 在卡盘振动30nm CPS-CF无氦低温探针台CPS-CF成本低，稳定，可靠，方便在非常低的温度对器件和电路的探测。内置隔振，智能热管理和工程热补偿，使这个系统非常适用于广泛的纳米电子学，从跨越应用程序（石墨烯研究，分子电子学等）。该系统采用闭式循环制冷机和专有的热管理，具有经济快速的操作。内置隔振的振动最小化符合行业标准的水平。超稳定的微操纵阶段允许在设备功能的探针尖端的准确和可重复的接触。探头和硅片夹的多种选择允许应用程序超精密，FA-规模的测量，射频测量等等 具有成本低，稳定，可靠，方便的使用的优点- 温度范围从4.5K到480K（0.1K精度）- 闭环循环制冷机 成本低- 高达2英寸的直径样品- DC至67GHz的测量- 4 微控探头臂（最多8个提供选装配置），高度精确的XYZ和可选θ调整-热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求 详细参数可达50mm无液氦 封闭循环制冷机包括冷头，压缩机，制冷机和氦要求软管温度范围：4.5K到480K，6.5K至480K，10K到480K控温精度：0.1K热锚探头武器和辐射屏蔽chuck温控（加热）盘夹头和探针臂的温度监控窗口材料：熔融石英，定制材料和涂层变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案同轴LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力基于LabVIEW的软件进行计算机控制和温度监控，可以由最终用户很容易地编程空气减震系统隔振表- 无振动隔离波纹管低温探针台的特点：全自动真空探针台由美国MicroXact公司生产，该探针台通过真空系统、气体压力系统及自动化软件实现对系统真空腔内真空度的精确控制，通过光学显微镜及搭配的数字成像系统实现对测试晶圆影像的捕捉及存储，并通过软件控制自动马达根据设定程序实现晶圆测试过程中的自动对准及移动测试功能。同时配置的变温载物台通过加热和冷却装置实现样品的变温测试目的

LT4 连续流低温恒温器 LT4系列连续流恒温器是经济连续流恒温器，可进行光电磁各种低温测试。LT4既可以使用液氦也可以使用液氮进行工作。该系统包含标准的传输管线和冷指，也可根据客户需要进行定制。 应用实例• 光学测试：光学，光电，拉曼，紫外/可见/红外,FTIR,电致发光,光致发光 • 电学测试：电阻率，霍尔测试，DLTS，高频测试 • 磁学测试：磁光• 金刚石压砧• 热电磁化率测试• DIP• 液体样品• 非光学测试• 基质隔离• 穆斯堡尔 典型特点• 液氦流• 铝制结构• 1.25英寸的大透明光学窗口• 大样品视角利于光学采集(F/1)• 4 K 液氦操作• 4.2K下液氦消耗率为0.75 LL/hr • 兼容液氮(77 K操作)• 可根据客户要求进行定制 标准结构• LT4冷台• 液氦传输管线• 铝制仪表群• 杜瓦置适配器• 铝制真空罩用于光电测试实验(DMX-1AL)• 铝制防热辐射屏• 2个高纯石英窗口• 供温度测试和控制的仪表群：• 10 针密封电学接头• 36 欧姆片状加热器• 用于控温的± 0.5 K标准硅二极管温度计• 样品区域的±0.5K标准硅二极管温度计(带4英尺线缆供样品的测试）• 电学接线：• 10针密封接头• 4根测试线• 用于光学实验的平板样品座• 温控仪 可选配置及升级选项• 液氦传输管线• 450K高温台• 800K更高温台• 可定制温度计结构• 可定制接线结构• 可定制窗口材料• 可定制样品座案例LLT3/LT4连续流型恒温器用于VERTEX 80V光谱仪进行FTIR光谱测试，样品位置可调节。

CINDBEST CGO-4 | 2~6 高低温真空探针台测试系统特点/应用◆ 2至6英寸样品台◆ 高真空腔体◆ 防辐射屏设计，样品温度均匀性更好◆ 77K-675K高低温环境◆ 兼容IV/CV/RF测试◆ 外置多探针臂，移动行程大◆ 经济实用，可无缝升级极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试：当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。◆ 腔体规格：型号：CGO-2/CGO-4/CGO-6样品台尺寸：2英寸/4英寸/6英寸样品固定：弹簧压片观察窗口：2英寸/4英寸/6英寸真空度：10-6torr探针臂接口：4~6个探针臂接口其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口制冷方式：液氮/液氦/制冷机温度范围：77K到573K/4.5K到573K温控精度：0.1K/0.01K/0.001K稳定性：±1K/±0.1K/±0.01K外形：880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高重量：约100千克/120千克◆ 光学系统：显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜放大倍率：16X-200X/20X-4000X移动行程：水平360度旋转，Z轴行程50.8mm光源：外置LED环形光源/同轴光源CCD：200万像素/500万像素/1200万像素◆ 探针臂：X-Y-Z移动行程：50mm*50mm*50mm结构：外置探针臂，真空波纹管结构移动精度：10微米/1微米线缆：同轴线/三轴线/射频线漏电精度：10pA/100fA/10fA固定探针：弹簧固定/管状固定接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子频率支持：DC-67GHZ针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米◆ 其他组件：真空组件：分子泵组/机械泵/离子泵冷源组件：50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机◆ 可选附件超高温配件显示器转接头射频测试配件屏蔽箱光学平台镀金卡盘光电测试配件高压测试配件分子泵组激光系统气敏测试配件规格及设计如有更改，恕不另行通知。

第1部分：系统及指标描述1、总体规格尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）自重：约80Kg2、结构与特点（1）真空腔体：真空度优于6×10-4Pa。降温后优于6×10-5Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）（2）探针控制：标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆（3）显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：1.4X~9X（使用1X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦（4）变温样品台：50mm直径。变温范围：80K~400K。控温稳定性优于±0.02K（5）可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤（6）系统直流漏电低于1pA3、含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪4、设备照片（因配置不同，照片仅供参考） 第2部分：真空低温探针台系统配置- 探针台真空腔主体（50mm，4探针臂，含流量调节杜瓦）- 铁制抗震支架- 进口分子泵机组（Edwards T-Station 85，含全量程真空规、隔震块）- 视频显微镜（含LED光源、调节支架、高清摄像头与高清显示器）- Triax低噪声线缆- 10um探针- 智能温控仪PicoFemto SmartT- 备用各规格螺丝（套）- 安装与现场培训以上就是关于真空低温探针台配置介绍，如果需要详细了解请致电：源文地址：

Reys600真空探针台可实现高真空和高低温环境下对样品电学性能的测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到4K-873K(分段选配），低温部分采用液氮或液氦冷却组件，真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-6Pa。对于材料和仪器进行变温（和变气氛）的电学特性(如I-V)和光电特性测量、发光二极管（LED）、场效应晶体管（FET）等半导体器件的参数测量、材料介电特性以及RF特性测量等。适用的材料包括有机（和无机）半导体、纳米线（和纳米管）、量子点，分子电子材料、薄膜材料等。特别适合对微小（亚毫米-微米）器件和器件阵列样品进行快速、准确和无损的测量。 可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

液氮高低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。 PSM-LN2系列液氮高低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-800K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电测试。特点&bull 液氮高低温真空探针台，15分钟内腔体真空度可达到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到温度只需0.2L液氮，使用方便快捷同时兼顾经济性。&bull 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空 的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。&bull 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足4英寸样品的测试。&bull 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性&bull 探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@80K--800K&bull 测试温度范围宽，支持80K-800K连续变温。&bull 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏&bull 上盖采用翻盖结构，换样更便捷。参数和指标：探针台主机分类型号PSM-LN2-2PSM-LN2-2HPSM-LN2-4PSM-LN2-4H温度范围 80K--500K80K--800K80K--500K 80K--800K控温稳定性+/-50mK+/-100mk+/-50mK+/-100mk样品座类型及材料无氧铜接地镀金样品座无氧铜接地样品座 无氧铜接地样品座无氧铜接地样品座 尺寸2寸2寸4寸4寸可选规格绝缘样品座 （温度只能到400K）同轴样品座 （温度只能到400K）三同轴样品座（温度只能到400K）探针臂类型直流探针臂数量4接头及电缆三同轴接头+极细同轴低温电缆漏电流100fA@1V 真空环境中信号频率 DC--50MHz匹配阻抗 50欧姆位移范围Z +/-6.5m R+/-10°X+/- 50mm,Y+/- 12.5m X+/- 35mm,Y+/- 12.5mZ +/-6.5m R+/-10°光学系统显微镜放大倍数 10--180倍分辨率3微米视场 22mm工作距离 90--100mm真空腔材料铝合金腔体容积 4L 5.5L整体尺寸800*800*600900*900*600腔体内径 124mm155mm视窗尺寸 50mm 100mm真空腔体窗口红外吸收窗口防辐射屏窗口 N/A标准石英窗口 N/A标准石英窗口真空度 5*10E-4 torr预留接口2个探针臂接口&2个电学接口防辐射屏材料 N/A不锈钢 N/A不锈钢液氮腔体液氮容量 0.5L冷却时间60分钟到80K 80分钟到80K液氮消耗量0.2L从室温到80K0.3L从室温到80K液氮保持时间 4小时@80K 3小时@80K专用振动隔离桌尺寸 800*800*800 900*900*800桌推 固定脚&滚轮

KT-Z1604T探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面温度-196-350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。（可定制：）

一、多功能手动探针台应用原理： （1）KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节。 （2）其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。 二、技术组织规格： 1．腔体材质：304不锈钢 2．上盖开启：铰链侧开 3．加热台材质：304不锈钢 4．内腔体尺寸：φ160x90mm 5．观察窗尺寸：Φ70mm 6．加热台尺寸：φ60mm 7．观察窗热台间距：75mm 8．加热台温度：-196-350℃ 9．加热台温控误差：±1℃ 10．真空度：机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa 11．允许正压：≤0.1MPa 12．真空抽气口：KF25真空法兰 13．气体进气口：3mm-6mm卡套接头 14．电信号接头：SMA转BNCX4 15．电学性能：绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤500V漏电流≤-10次方安培 16．探针数量：4探针 17．探针材质：镀金钨针 18．探针尖：10μm 19．X轴移动行程：30mm±15mm 20．X轴控制精度：≤0.01mm 21．Y轴移动行程：13mm±12.5mm 22．Y轴控制精度：≤0.01mm 23．Z轴移动行程：13mm±12.5mm 24．Z轴控制精度：≤0.01mm 25．显微镜类别：物镜 26．物镜倍数：0.7-4.5倍 27．工作间距：90mm 28．相机：sony高清 29．像素：1920※1080像素 三、企业概括： （1）郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室及科学院校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一。 （2）公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！ （3）目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉CVD供气系统等离子清洗机小型离子溅射仪小型蒸镀仪石英管真空封口多功能手动探针台半导体检测等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。 （4）公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

低温液氦探针台特征1.真空腔体：真空度优于6×10-3Pa。降温后优于6×10-4Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）；2. 探针控制：标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆； 3. 显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：0.58X~7X（使用1X附加物镜时），视频放大倍率约280倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；4. 变温样品台：50mm直径。变温范围：80K~400K。控温稳定性优于±0.5K；5. 可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤；6. 系统直流漏电低于1pA。7. 产品含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪。 低温液氮探针台产品参数 型号LTZ-4H-06外形650*650*1260系统功率1KW电压220V交流X-Y轴行程定位精度±0.01mm探针调节精度±0.01mm腔体真空度1.0*10^-4pa重量150kg测试直径6/8/12寸探针轴行程110mm 探针XY行程50mm制冷方式液氮制冷X-Y轴额定速度手动调节腔体直径245mm探针臂数量4（可选6个）温度下限77K探针臂每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针，样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆显微镜倍率0.58X~7X（使用1X附加物镜时）地脚底部塑胶减震地脚 探针频率26GHz—100GHz（可选）以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的低温液氦探针台的介绍，了解更多直接咨询： 随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展，精密定位不仅在实验室用途广泛，工业界的应用也越来越多。该团队在以往研究基础上，发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品，填补了国产空白。一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块，通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移，可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前，在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内，团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台。

低温探针台CPS-xxx-CF系列是一款成本低、稳定、可靠和方便的低温半导体测试甚至低温晶圆级别测试器件的低温探针台系统。内置振动隔离，智能热管理和工程热膨胀补偿使低温探针台系统非常适合于宽范围从纳米电子学应用（石墨烯的研究，分子电子学，量子计算等）以空间为基础的电子测试。规格：试样尺寸：25、50mm、100mm、150mm或200mm可选无冷闭式循环制冷机（S）：包括冷头、压缩机、制冷机和所需的氦气软管。 温度范围：标准10K～400K，4.2K到480k可供选择 温度精度：0.1k或更好 热探针臂和辐射屏蔽 卡盘和探针臂的温度监测辐射屏蔽和cryohead温度监测是可选的。 真空压力 窗口材料：熔融石英，定制的材料和涂料是可用的。 相机：数码相机从1像素到10像素。图像和视频采集软件以及尺寸测量能力

Side profile of a UHV Cryogenic Probe StationHigh Conductance 8” Vacuum Pump Out Port 美国ARS公司的 PS-L-UHV探针台是专为样品的非破坏检测和最~大的真空洁净而设计，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。 液氦/液氮型和闭循环低温探针台核心部件是相同的，可共用相同的桌面、真空腔和探针臂。如果您先购买了液氦/液氮型的探针台，那么可以在之后的任何时间内升级成一个闭循环（无任何制冷剂）的系统。 该类探针台使用了ARS液氦/液氮型低温恒温器，样品温度因制冷剂不同可达~4K（液氦）或 ~77K（液氮）。 Sample space of the UHV probe station.Close-up view of the Load-lock sample holder and 4 DC probes 该系统旨在提供一个大型的，可烘烤的超高真空样品环境。真空腔由不锈钢焊接而成，防热辐射屏由裸无氧铜制成。铜的高导热性使得样品空间处有更冷的防热辐射和更大的净制冷量。高质量的焊接刀口法兰和巨大的泵出端口是至关重要的，因为这样可以实现真正的10-11 Torr的超高真空环境，并最~大程度保证了样品的洁净度。 ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了系统的稳定性能，也利于系统的诊断和售后服务。 应用案例：l 电磁特性l 微波特性 l 低频，高频特性l MEMSl 纳米电子学l 超导特性l 纳米器件光电性能l 量子点及纳米线l 单电子l 低电流物理特性 典型结构l 液氦/液氮型低温恒温器l 传输管线-标准6英尺（8英尺或者10英尺）l 流量计l 10英寸的不锈钢真空腔带5个微操作探头端口和2个备用的NW80附件端口，安装在经阳极化处理的铝台面上，由铝制支撑架支撑l 8 英寸的镀镍无氧铜防热辐射屏l 2.25英寸的无氧铜接地样品座l DC, 微波或光纤探针l 4个温度计和2个加热器用于温度控制和监视l 涡轮分子真空泵l 四通道温度控制器及与恒温器连接电缆l 7:1变焦显微镜，分辨率小于2 微米，同轴或者环形光。包括一个高分辨的24寸的宽屏液晶显示器和显微镜光源 特点备注8英寸镀镍无氧铜防热辐射屏2.25英寸镀金无氧铜样品台可升级4英寸样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗标配4个三维微操作探针臂,可选6-8个可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器温度计安装位置：1、冷头温度计，用于诊断2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温3、样品温度计，用于精确测量样品温度4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样样品台综合振动 1微米样品台振动 100nm7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式开环恒温器，液氦/液氮温度范围液氦~3.5K - 400K（最大流量）(可选500K,800K)液氮~77K - 400K(可选500K,800K)温度稳定性优于50mK泵抽真空时间机械泵约45分钟分子泵约10分钟降温时间约30到45分钟降温到4.5K真空腔焊接法兰，不锈钢真空腔直径11.97英寸（304mm）上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏直径8英寸上盖蓝宝石冷窗样品台镀金无氧铜样品台2.25英寸直径样品台连接接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）探针臂位移台手动驱动焊接刀口法兰的不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准） 2英寸行程（可选）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动样品台综合振动优于1微米温度计安装4个温度计，2套加热器 4个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温 2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头 三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆 卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选） 针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖 0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖 0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米

LT3B 超高真空连续流低温恒温器LT3B超高真空连续流低温恒温器应用十分广泛，拥有很多独特特点，如热交换型液氦传输管线可以提高制冷效率而且极大的消除振动。LT3恒温器拥有不锈钢仪表群，独特的双O圈设计使它易于安装，校准，移除真空外罩。 根据使用条件不同有很多不同设计，如：LT3K可与Newport Kappa测角器集成 LT3G可与Huber 5012.12集成，而且LT3G的小径向间隙使得其应用非常广泛 LT3B是真正的UHV冷头(10-11 Torr) ，该款恒温器都用焊接接头和金属密封取代了橡胶O圈密封 LT3M可定制冷指长度到1200mm,非常适合需要长冷指的表面物理实验。 单分子化学Courtesy of Prof.Wilson Ho,加州大学欧文分校典型应用 • 光学显微镜• 显微拉曼• 光致发光• 显微光致发光• 光电• 光磁 典型特点• 液氦连续流• 基质热交换• 同轴屏蔽流• 4 K 液氦操作 (泵抽可达1.7 K)• 4.2K下液氦消耗率为0.7 LL/hr • 兼容液氮(77 K操作)• 埃米级振动• 精密流量控制• 废气加热 标准结构• LT3冷头• 同轴流动液氦传输管线• 杜瓦置适配器• 流量板面用于液氦流速控制及优化 可选配置及升级选项• 450 K高温台• 800 K 高温台 典型案例LT3B 振动图片STM 图片这张照片是由直接安装在LT3冷端上的STM扫描仪拍摄所的。这张图的扫描区域是 62 埃米*60埃米，从图上可以看出，振动噪音小于3埃米。本测试数据由加州大学洛杉矶分校电子工程师李孝贤提供。Michael F.Crommie教授供图加州大学伯克利分校物理系HelitranLT3BT=15K时Au（111）上偶氮苯分子的120 x 120埃图像

公司主要经营产品：霍尔效应测试仪、探针台系列、显微镜系列：三维视频显微镜、超长工作距离视频显微镜、测量显微镜、红外/近红外显微镜、传统光学显微镜(体式、生物、偏光、荧光、金相、相衬、比对等常用教学及教研类显微镜)、光学产品组件、工业科研无损检测设备及光学自动一体化系统集成项目。测试噪声小于5E-13A 可扩展上下双透视窗口用于光电测试 可扩展凹视镜 。观察窗口可下凹，使物镜离样品更近，方便观察。 加热台材质纯银块，导热更好，不易氧化专业检测设备生产研发经验，实力见证品牌国内家专业研发探针台设备厂家，有强大技术研发实力已与国内2000多所高校和研究院合作，为您提供*价值的技术解决方案*信赖的检测设备服务商涉及光学、电学、电子、材料、生物、医学等各检测领域拥有国内专业的技术研发团队在探针台电学量测方面拥有近十年的经验小型真空探针台KT-Z4019MRL4T小型真空探针台KT-Z4019MRL4T参数真空腔体类型高温型室温到350℃高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 最大值 低温7℃/min温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

科研小型气敏测试真空探针台高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组，以满足测试要求。 为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的漂移。度科研小型气敏测试真空探针台真空腔体类型高温型室温到350℃高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 低温7℃/min温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

4K闭循环低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。 PSM-4K系列低温探针台是的一款性能优越的闭循环低温探针台，其紧凑型以及低振动的设计，能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个＜5K-350K高低温真空测试环境。采用闭循环制冷，无需消耗液氦，温度4.5K。特点&bull 采用闭循环制冷，无需消耗液氦，温度4.5K。&bull 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空 的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。&bull 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足4英寸样品的测试。&bull 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性。&bull 探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@4.5K-350K。&bull 测试温度范围宽，支持4.5K-350K连续变温。&bull 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。参数和指标：探针台主机分类型号PSM-4K-2 PSM-4K-4温度范围4.5K--350K4.5K--350K控温稳定性+/-50mK振动＜1μm样品座类型及材料无氧铜接地镀金样品座尺寸2寸4寸可选规格绝缘样品座 （温度只能到350K）同轴样品座 （温度只能到350K） 三同轴样品座（温度只能到350K）探针臂类型直流探针臂（标准）可选规格微波探针臂、光纤探针臂可订制规格 双光纤探针臂、直流和微波组合探针臂、热电偶探针臂数量4（标准），最多可配6接头及电缆三同轴接头+极细同轴低温电缆漏电流100fA@1V 真空环境中信号频率DC--50MHz匹配阻抗50欧姆位移范围X+/- 35mm,Y+/- 12.5mm Z +/-6.5mm R+/-10°X+/- 50mm,Y+/- 12.5mm Z +/-6.5mm R+/-10°光学系统显微镜放大倍数10--180倍分辨率3微米视场22mm工作距离90--100mm真空腔材料铝合金腔体容积9L12L整体尺寸900*900*600900*900*600腔体内径 280mm 280mm视窗尺寸 50mm 100mm真空腔体窗口标准石英窗口防辐射屏窗口 红外吸收窗口真空度 5E-4 torr预留接口 2个探针臂接口&2个电学接口防辐射屏材料不锈钢冷却时间120分钟到5K150分钟到5K冷源 GM制冷机专用振动隔离桌 尺寸800*800*800900*900*800桌推 固定脚&滚轮

超高真空低温四探针扫描探针显微镜美国RHK Technology 成立于1981 年。作为SPM 工业中的领军仪器制造商，RHK-Technology 始终保持着鲜明的特色：创新性、可靠性、产品设计的开放性与的客户支持。凭借着其优异的系统设计、精良的制造工艺、再加上与著名科学家的紧密合作，二十多年来RHK Technology 源源不断地向全科学家们输送着先进的、高精度的科学分析仪器。变温QuadraProbe UHV 4-探针SPM系统是RHK公司生产的多探针UHV SPM系统中的一种，该系统提供了多种分析功能、配备了多个超高真空室和相应的电子控制单元与软件，可以大地满足客户全面的研究应用需要。基本系统中提供了低温4探针扫描隧道显微镜（SPM），扫描电子显微镜（SEM），样品准备室和用于传输样品和针的快速进样室。其他的设备如扫描俄歇显微镜（SAM）也可选配以满足客户特别的研究需要。技术参数：- 样品温度：10K（LHe）； 80K（LN2）- 扫描范围：1.5μm（300K）；500nm （10K）- X，Y，Z粗进针：±1.5mm/step motion- 样品定位精度：±1.5mm- STM分辨率：四个探针均可实现HOPG的原子分辨- SEM分辨率：小于20nm- 针材料：钨或者铂、金等金属修饰的钨针。 主要特点：- 四个探针都能实现原子分辨；- 真正的样品和针低温操作（10K），得到佳的高分辨谱图；- 探针与样品立地传输与准备；- 所有探针具有先进的控制操作；- 用户可编程控制的开放性控制环境；- 制冷采用Bath Cryostat构造，大地减少了液氦的消耗；- 可升到非接触式AFM；- 样品台处配有可选择的超导磁体；- 通过光纤实现样品的光学激发。

CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求，是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层，以实现优异的低温性能，其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。 由于采用了分流设计，样品可在防辐射屏冷却时保持温度，与高真空选件，最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝，这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外，CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm（2英寸）的晶圆（最多102 mm[4英寸]可选）。该系统使用液氦或液氮运行。主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K√ 可选低温1.9 K/1.6 K√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制√ 样品可面内±5°旋转√ 样品振动＜30 nm可选√ 超高真空选件√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境√ 环形磁体选件最大0.19T设备参数：温度范围最多安装6个探针臂基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K安装PS-LT低温选件基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K安装PS-VLT-CPX极低温选件基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K安装PS-LL-CPX选件（Load Lock）基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K温度稳定性液氦液氮基础温度 (无加热控制)±15 mK±20 mK10 K±50 mK—10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK真空以TPS-FRG分子泵组为标准PS-HV-CPX高真空选件抽真空时间30 min (1 × 10-3 Torr)10 min (1 × 10-3 Torr)室温5 × 10-4 Torr5 × 10-6 Torr基础温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr最高温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr循环时间总循环3 h抽真空0.5 h探针台冷却1.25 h探针台升温2 hLoad Lock样品更换时间1小时（配有PS-LL-CPX选件）样品最大尺寸51 mm（2英寸）标准25.4 mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件25.4 mm（1英寸）安装PS-LL-CPX Load Lock选件样品背光接口不可选样品旋转±5°面内旋转样品振动＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件探针配置最大探针数6探针臂温度计用于监视探针臂的温度冷却探针支架＜20 K(样品在基础温度下)探针支架连接样品台或4K防辐射屏热沉探针臂支架连接防辐射屏热沉DC/RF探针电绝缘100GΩ用于低漏电流测量微波探针频率范围从DC到67GHz光纤探针可用于电光测量落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

美国ARS 公司的PS-CC闭循环探针台用于样品的非破坏性检测，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。 该款探针台使用DE204、DE210或DE215系列冷头，整个测试过程中无需使用任何制冷剂（液氦/液氮）。可根据不同测试要求，选用不同型号冷头，以便样品最低温度到达13K、10K、7K或4K。所有的ARS闭式循冷头均采用高制冷量的一级冷头，该设计可使系统快速降温并最大程度降低系统热负载。气动驱动GM冷头一级制冷量高，固有振动小，是该领域的理想选择。 该系统为科研工作者提供一个大的、洁净的样品环境。真空腔由焊接不锈钢制成，防热辐射屏由镀镍的无氧铜OFHC制成。镍镀层的低辐射率和无氧铜的高热传导使得样品空间的防热辐射屏温度更低净制冷量更大。高质的真空器件至关重要，可以使样品获得更高的真空环境，更洁净的表面，更好的电接触。 ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了该产品的稳定性能，也利于系统的诊断和服务。 The above picture shows the sample space of the probe station.The above picture shows a custom sample holder and 4 DC probes. 特点备注温度范围：7K-400K10英寸不锈钢真空室8英寸镀镍无氧铜防热辐射屏2.25英寸镀金无氧铜样品台可升级4英寸样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗多至6个三维微操作探针臂可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器温度计安装位置：1、冷头温度计，用于诊断2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温3、样品温度计，用于精确测量样品温度4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样三级减振系统样品台综合振动 1微米样品台振动 100nm7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式闭循环制冷，无需液氦温度范围7K-400K（可选更高制冷量DE215冷头冷台温度4K,安装高温隔热台高温度可达800K）温度稳定性优于50mK泵抽真空时间机械泵约45分钟分子泵约10分钟降温时间约2到2.5小时（DE204P冷头）真空腔不锈钢真空腔直径10英寸上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏直径8英寸上盖蓝宝石冷窗热连接至1级冷头样品台镀金无氧铜样品台2.25英寸直径样品台连接接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）探针臂位移台手动驱动不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准） 2英寸行程（可选）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动三级减振，样品台综合振动优于1微米温度计安装4个温度计，2套加热器4个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选）针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米单模或多模

LH-CRPS-5K 是性价比很高的一款无需消耗制冷剂，依靠制冷机提供冷源的闭循环低温探针台。此款低温探针台设计的初衷就是多功能和卓越的专业测量性能，为制冷剂获得比较困难和 追求操作便利的客户提供了一个完美的解决方案。通过闭循环制冷机降温，降温过程中不需要其 它辅助设备，只需要很少的电能即可，也不需要科研人员值守操作。丰富的选件和配置确保科研人员能够实施严苛的、富有挑战的测试测量。LH-CRPS-5K 是易捷测试探针台家族中，能实现最低温度的探针台，最低温度低于5K。 多个温度传感器分布于探针台各个位置，确保温度监视和测量的准确性和重复性。由于是二级制冷平台制冷机提供冷源，这样能保证样品温度维持在相对较高的温度，同时样品处于真空环境中，减少了凝结的可能性，在一些有机材料的严格测试要求中这一点比较重要。LH-CRPS-5K 最大可安装样品台直径102mm(4in)出厂时标准配置三同轴样品台，直径451mm(2in)