测试测试用探针台样品台

我司于2017年1月在上海某高校成功安装基于Janis 探针台和Keithley 4200半导体特性仪的测试系统。该探针台配置四个三同轴探针臂和两个光纤探针臂，漏电流优于50fA。该探针台变温范围大（8K-675K）。我司提供Keithley 4200半导体特性仪，并提供集成变温IV、CV和输运和转移特性等测试软件 变温测量IV和VI曲线 变温场效应管（横坐标Vgs，纵坐标Ids， 不同曲线代表不同的Vds和温度） 变温场效应管（横坐标Vds，纵坐标Ids， 变温CV测试（横坐标偏压，纵坐 不同曲线代表不同的Vgs和温度） 标电容，不同曲线代表不同温度）

p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 随着芯片性能的日益提升，芯片复杂度越来越高，为了保证出厂的芯片品质，芯片测试环节越来越受到各大厂商的重视。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 在测试系统中需要用到一种重要的配件便是测试治具，包含设备连接治具（Docking）、探针台接口板（PIB）、探针卡、KIT、测试座（Socket）等，而其中的核心零部件便是测试探针，占整个测试治具总成本的70%。 /p h3 style=" text-align: justify text-indent: 0em " 测试探针市场被国外厂商占据 /h3 p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 众所周知，国内半导体产业与国际的差距是全方位的，尤其是在高端领域，而高端芯片也是最注重测试环节领域。因此，与高端芯片的供应情况一样，芯片测试及其测试治具、测试探针等市场均被欧美、日韩、台湾等地区的厂商占据。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 长期以来，国内探针厂商均处于中低端领域，主要生产PCB测试探针、ICT测试探针等产品。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 近年来，伴随着资本运作和技术升级，长电科技、华天科技、通富微电已进入全球封测企业前十强，技术上已基本实现进口替代。同时，以华为、中兴等为代表的公司正加快将订单转移给国内供应商，芯片测试领域也展现了前所未有的繁荣景象。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 中美贸易摩擦的一次次升级也给我们敲响了警钟，不仅是IC测试环节需要国产化替代，作为重要配件的测试治具以及测试探针环节同样需要加快国产化进程。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 随着国内半导体产业链国产化替代的需求显现，近些年国内探针厂商开始布局发力半导体测试探针产品。目前，正在向半导体探针市场突围的国内厂商有台易电子（中韩合资）、木王探针、克尔迈斯（qualmax、韩资）、钛辅（台资）、先得利（港资）、和林科技等厂商。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 事实上，在半导体测试探针、测试治具领域近期发生了一件大事，华为旗下哈勃投资与来自马来西亚的老牌测试探针厂商JF Technology合作，在中国设立合资公司生产测试探针以及测试治具，并在业务方面进行深度绑定。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 一直以来，哈勃投资的目标均为国产供应链厂商，上述投资是截至目前哈勃投资首次与国外公司合作。笔者从业内了解到，这其实是无奈的选择，因为华为急需重构供应链，而国内厂商生产的测试探针产品性能并不能满足华为的需求。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 事实上，为避免技术外流，国外及台湾厂商都没在大陆设厂生产半导体测试探针（部分台湾厂商设有生产治具的工厂），这也导致进口测试探针产品交期太长，在设计、生产、物流以及售后服务等各方面都不能跟上国产客户的需求。 /p h3 style=" text-align: justify text-indent: 0em " 瓶颈显现，进口替代之路漫长 /h3 p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 尽管半导体测试探针国产化迫在眉睫，但从技术的角度来看，要想替代进口产品却并不容易。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 业内人士指出，国内半导体测试探针还只能用于要求不高的测试需求，比如可靠性测试国产探针可以替代很多，但功能性测试和性能测试还有待突破。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 台易电子社长涂炳超表示，一套测试治具需要用到几十、几百甚至于上千根测试探针，若是有1根探针出现问题，那整套治具都要报废，这也是治具厂商一般会采购进口探针的原因所在。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 日本、韩国、台湾等地的半导体测试探针厂商是与国外的大型半导体厂商一起成长起来的，有长时间的技术积累，为很多大型企业提供测试解决方案，是经过市场验证的产品和团队，因此，进口测试探针有先天的优势，在中国市场颇为受欢迎。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 弹簧测试探针最核心的技术是精微加工和组装能力，涉及精微加工设备、经验、工艺能力缺一不可。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 值得注意的是，由于半导体测试探针市场一直被国外厂商占据，同时也实施了技术封锁，国内并没有相应的技术人才，包括生产人员和设计人员都缺乏。国内大部分测试探针厂商基本不具备全自动化生产制造能力。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 涂炳超指出，在国产测试探针厂商中，在国内有工厂的仅有木王探针、先得利、台易电子等少数厂商，而qualmax的工厂在韩国，在国内并未设立工厂，仅以贸易的方式在国内进行销售，和林科技则是以外购零部件的方式运作，仅负责组装，然后对外销售。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 涂炳超表示，“对于生产半导体测试探针而言，国产探针厂商面对的处处是瓶颈。” /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 在设备方面，生产半导体测试探针的相关设备价格较高，国内厂商没有足够的资金实力，采购日本厂商的设备。另一方面，对于半导体设备而言，产业链各个环节均会采购定制化的设备，客户提出自身需求和配置，上游设备厂商通过与大型客户合作开发，生产出经过优化的最适合该客户的设备。因此，即使国产探针厂商想采购日本设备厂商的专业设备，也只能得到标准化的产品。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 在原材料方面，国产材质、加工的刀具等也不能达到生产半导体测试探针的要求，同时日本厂商在半导体上游原材料方面占据绝对的优势，其提供给客户的原材料也是分等级的，包括A级、B级、S级，需要依客户的规模和情况而定。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 在工艺方面，常用的测试探针是由针头、针管、弹簧这三个组件构成的，测试探针中的弹簧是测试探针使用寿命的关键因素，电镀处理过的弹簧使用寿命高，不会生锈，也能提高测试探针是持久性和导电性。因此，电镀工艺是生产半导体测试探针的主要技术，而国内的电镀工艺尚且有待突破。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 根据VLSIResearch统计，2019年，全球半导体测试探针系列产品的市场规模达到了11.26亿美元。随着国产高端芯片不断突围，国内半导体测试探针市场规模也将迅速增长。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 涂炳超指出，总体来说，只要高端芯片、高端封测厂商才需要用到半导体测试探针，只有国内高端芯片和测试遍地开花，整个产业足够大，国产配套供应商才能迅速成长起来。 /p

光纤及光导纤维（Optical Fiber）。光纤通信是现代信息传输的重要方式之一。它具有重量轻、通信容量大、信号损耗小、传输距离长、保密性能好、不受电磁干扰及原材料丰富等优点，发展势头强劲。我国已成为全球最主要的光纤光缆市场、全球最大的管线光缆制造国和全球第二大光纤净出口国。 使用岛津电子探针EPMA可对不同类型的光纤进行线、面分析测试。从单根光纤试样的横截面的元素线分布和面分布的测试结果可以观察掺杂元素的含量及扩散分布情况。岛津公司在电子探针领域拥有50多年研发和制造经验，EPMA搭配52.5°高取出角和全聚焦晶体的波普仪WDS系统兼具高分辨率和高灵敏度特性，凭借其在微区分析的强大能力，可以在光纤预制棒、烧缩工艺后质量控制和最终成品光纤复核检验的整个开发及生产流程、残次品的失效分析中发挥重要作用。 了解详情，敬请点击《岛津电子探针测试通信光纤》 关于岛津 岛津企业管理（中国）有限公司是（株）岛津制作所于1999年100%出资，在中国设立的现地法人公司，在中国全境拥有13个分公司，事业规模不断扩大。其下设有北京、上海、广州、沈阳、成都分析中心，并拥有覆盖全国30个省的销售代理商网络以及60多个技术服务站，已构筑起为广大用户提供良好服务的完整体系。本公司以“为了人类和地球的健康”为经营理念，始终致力于为用户提供更加先进的产品和更加满意的服务，为中国社会的进步贡献力量。 更多信息请关注岛津公司网站www.shimadzu.com.cn/an/ 。 岛津官方微博地址http://weibo.com/chinashimadzu。岛津微信平台

日前，辽宁材料实验室首台大型仪器设备——三维原子探针开始进场安装调试。作为国内首台安装的最新型号LEAP 6000 XR三维原子探针，该设备最新使用了深紫外激光光源(Deep UV)，并实现同时向样品施加激光脉冲和电压脉冲，从而为材料晶界、相界、位错等复杂结构的三维元素分布研究提供更高灵敏度、更高通量的信号探测和技术支持。　　首台大型仪器的进场安装，标志着辽宁材料实验室重点打造的高端分析检测设备运行环境保障工程建设基本完成，具备了设备入场安装的条件，实验室分析测试中心即将进入“边建设、边运行”的新阶段。分析测试中心在为实验室各类科研活动提供体系完备、设施先进、运行可靠的分析测试服务的同时，还将面向政府、企事业单位、高等院校和科研机构等提供开放共享服务。

探针台是一种很专业的仪器，它主要的功能就是针对半导体元件进行检测，这里面说的半导体元件指的是集成电路，分立器件，光电器件，传感器等元件以及封装的测试。通过探针台配合测量仪器可完成集成电路的电压，电流，电阻和电容电压特性曲线等参数检测。可以适用于对芯片进行科研分析，抽查检测等；可以保证这些半导体元件的质量，缩短研发时间和器件制作工艺的成本，所以，它的存在对于制造半导体的企业来说是非常重要的。随着半导体市场的逐步开放和增长，作为半导体检测的必备仪器—探针台的市场也在逐年增长和扩大中，不论是海外品牌还是国产品牌，近几年在半导体检测仪器市场中的规模都在逐年扩大。由于高校的管理模式及制度，探针台大多养在“深闺”，大量科研资源潜能没有得到充分发挥。为解决这个问题并加速释放科技创新的动能，中央及各级政府在近几年来制订颁布了关于科学仪器、科研数据等科技资源的共享与平台建设文件。2021年1月22日，科技部和财政部联合发布《科技部 财政部关于开展2021年度国家科技基础条件资源调查工作的通知（国科发基〔2020〕342号）》，全国众多高校和科研院所将各种科学仪器上传共享。其中，对探针台的统计分析或可一定程度反映科研领域相关仪器的市场信息（注：本文搜集信息来源于重大科研基础设施和大型科研仪器国家网络管理平台，部分仪器品牌信息不全则根据型号等信息补全，不完全统计分析仅供读者参考）。不同地区（省/市）仪器分布情况本次统计，共涉及探针台的总数量为235台，涉及20省（直辖市/自治区），84家单位。其中，上海市共享磁测量仪器数量最多达63台，占比29%，涉及17所高校、研究院所和企事业单位等，上海如此高的占比主要是由于其集成电路等半导体产业发达。上海市探针台主要来自于上海华岭集成电路技术股份有限公司，共有25台，占上海市总共享探针台的11%。仪器所属学科领域分布从仪器所属学科领域分布可以看出，探针台主要用于电子与通信技术、物理学和材料科学研究，占比分别为32%、17%和14%。不过，信息科学与系统科学和信息与系统科学相关工程与技术两个学科重合度较高，合计占比达16%，比材料科学略高。需要注意的是，以上统计存在交叉分布的情况，即该仪器同时属于多类学科领域。仪器所属单位性质分布那么这些仪器主要分布在哪些单位呢？统计结果表明，共享探针台主要分布于高校中，占比达60%，这一结果主要是因为共享仪器平台的仪器由高校上传所致，统计结果并不能体现出此类仪器的市场分布。不过共享仪器最多的确实企业中的上海华岭集成电路。而高校和科研院所共享数量TOP5分别为清华大学、苏州大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、东南大学、北京大学，这些高校院所都具有集成电路研发的基础。探针台主要品牌分布探针台品牌所属地区分布这些探针台主要品牌为美国Cascade、美国Lake Shore和日本东京精密，占比分别为28%、23%和16%。Cascade是全球领先的的探测系统、探针、探测器等产品的设计生产商，公司成立于1983年，总部设在美国俄勒冈州西北部城镇，为全球晶圆级测试的销售、服务和应用而存在，自主拥有150多项专利技术。Lake Shore公司成立于1968年，位于美国俄亥俄州哥伦布市，是低温与磁场科研设备的国际领导者。主要产品包括：振动样品磁强计、低温真空探针台、霍尔效应测量系统、低温控温仪、低温传感器、高斯计、磁通计等。可以看出，目前我国高校院所的探针台仍以进口为主，大部分市场被美日产品垄断，进口产品占比超过90%。此外，在统计过程中，笔者发现探针台常与半导体参数测量仪搭配联用，而搭配的半导体参数测量仪主要是美国Keithley的4200-SCS型号的产品。这是美国泰克旗下的吉时利品牌的一款产品。不过目前该型号已下架，最新款是4200A-SCS型号，4200A-SCS 参数分析仪支持许多手动和半自动晶片探测器和低温控制器，包括 MPI、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低温控制器。Keithley 4200A-SCS 参数分析仪本次共享探针台仪器盘点，涉及等Cascade、Lake Shore、东京精密、MPI、Janis、SUSS、东京电子、奕叶、Signatone、ARS、FORMFACTOR、MPI等三十多家厂商，呈现出三超多强局面。探针台高校院所市场将爆发随着集成电路产业的爆发式发展，2018 年开始，将集成电路设置成一级学科的提案开始出现。2018 年中国科学院院士王阳元在新时期中国集成电路产业论坛中提议，微电子学科提升为一级学科。学术界和产业界对集成电路成为一级学科异常关注。2019 年 10 月 8 日，工信部官网发布《关于政协十三届全国委员会第二次会议第 2282 号（公交邮电类 256 号）提案答复的函》中表示，工信部与教育部等部门将进一步加强人才队伍建设，推进设立集成电路一级学科，进一步做实做强示范性微电子学院。去年12月30日，国务院学位委员会、教育部正式下发关于设置“集成电路科学与工程”一级学科的通知。过去一年来，北京航空航天大学、安徽大学、广东工业大学、中山大学、清华大学等国内多所高校均成立集成电路相关学院。随着集成电路学院的纷纷成立，高校院所对半导体相关仪器设备需求将剧增，探针台作为半导体检测的重要仪器，相关市场将爆发。

电子探针作为显微形态观察及微区成分分析最有效的测试手段之一，在材料分析和地质地矿领域有着非常广泛的应用。但超轻元素的电子探针微区定量测试存在一系列难点，成为限制深入研究的桎梏，也是传统仪器厂商不敢轻易涉足的“雷区”。 岛津电子探针（EPMA-1720 和 EPMA-8050G） 针对超轻元素种种特性，岛津电子探针通过在硬件方面配置兼具高灵敏度和高分辨率的约翰逊型全聚焦分光晶体、采用独有的52. 5°高位特征X射线取出角以及人工合成的各类超轻元素专用分光晶体等全方位优化设计，使得岛津在超轻元素的测试上表现格外优异。 超轻元素分析的难点 电子探针作为微区分析仪器，是利用从试样内部微米级别体积范围内被高能聚焦的入射电子束激发出的特征X射线信号来进行元素的定性及定量分析。超轻元素的特征X射线具有波长长、能量低、易被试样基体吸收等特点，用电子探针精确分析时有如下难点： 1超轻元素的特征X射线质量吸收系数大，譬如在同样的基体中，超轻元素Be的质量吸收系数是Fe元素的几百甚或上千倍，这意味着样品中被激发出的超轻元素特征X射线在从试样内部出射的过程中更容易被基体吸收、衰减程度更大。 2超轻元素的特征X射线波长较长，容易受到其它元素的高次线重叠干扰。如图1所示，C的Ka明显易受到Mn、Ni等元素高次线的干扰。图1 C元素附近的干扰线 3超轻元素原子核外只有两个电子层，其特征X射线由外层电子向内层空位跃迁后产生。当超轻元素与其他元素结合时，外层电子会受到影响，这就造成了不同结合状态下，超轻元素的特征X射线峰位会有所偏移。图2为单质硼与氮化硼样品中B元素特征X射线峰位偏移情况。 图2 B和BN的峰形峰位偏移 4超轻元素的特征X射线波长较长，根据布拉格衍射公式：2dsinθ=nλ，需要晶面间距d更大的分光晶体，而天然矿物中已很难找到可对超轻元素分光的合适晶体。 岛津应对之道 1针对超轻元素特征X射线易被基体吸收的问题，岛津电子探针采用52.5°高位特征X射线取出角设计。 假设特征X 射线产品的深度为单位1 μm 时，取出角为40°的仪器相对于岛津52. 5°取出角，两者的出射路程差可达ΔL = b -a = 1 /sin 40° - 1 /sin52. 5° = 1. 556 - 1. 261 =0. 295 μm。可见，高取出角能够显著的缩短出射路程，极大的减轻超轻元素被基体吸收的程度 另外高取出角还能带来更好的空间分辨率、更少的二次荧光等优势。 2针对超轻元素特征X射线测试灵敏度的问题，岛津配置了兼具灵敏度和分辨率的全聚焦分光晶体。 罗兰圆的半径越大，对特征X 射线的分辨率越好，罗兰圆的半径越小，灵敏度会越好。如果使用半聚焦型的分光晶体，灵敏度和分辨率不能很好地兼顾，如果需要高灵敏度时，只能选择罗兰圆半径较小的分光晶体，同时把特征X 射线检测器前端的狭缝调大，但难免会造成分辨率的变差 而需要高分辨率时，则需要选择罗兰圆半径较大的分光晶体，同时把检测器狭缝缩窄，但会造成灵敏度的下降。而岛津电子探针采用统一4 英寸的全聚焦晶体，无需额外选择和设置，即可获得更好的灵敏度和分辨率。 3针对高次线的影响，岛津对每个分光谱仪使用256个通道的PHA（脉冲高度分析器，Pulse Height Analyzer）可以有效地过滤高次线的干扰。 图3 利用PHA过滤高次线对Be峰的干扰 4针对超轻元素波长较长的特点，岛津开发了超轻元素测试专用的大晶面间距的分光晶体（不同2d值）可供选择，如表1所示。 表1 岛津开发的超轻元素专用分光晶体 总 结 岛津电子探针完美地解决了微区中超轻元素的测试难题，可为材料分析中的微观机理研究提供有力数据支撑；在地学领域，对于研究矿床成因解释、矿产资源评价和新矿物的发现等具有重要意义。 撰稿人：赵同新、崔会杰

FT-3110系列全自动四探针测试仪一.功能描述：四点探针法，全自动化运行测量系统，PC软件采集和数据处理；参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻；可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择；真空环境，可显示：方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件. 报表输出数据统计分析.FT-3110系列全自动四探针测试仪二.适用范围晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等. FT-3110系列全自动四探针测试仪三.技术参数： 规格型号FT-3110AFT-3110B1.电阻10^-5～2×10^5Ω10^-6～2×10^5Ω2.方块电阻 10^-5～2×10^5Ω/□10^-6～2×10^5Ω/□3.电阻率 10^-6～2×10^6Ω-cm10-7～2×106Ω-cm4.测试电流 0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA， 10mA，100mA1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA5.电流精度 ±0.1% 6.电阻精度 ≤0.3%7.PC软件操作PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、压力、报表生成等8.压力范围：探针压力可调范围：软件控制,100-500g可调9.探针针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%圆头铜镀金材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制10.可测晶片尺寸选购 晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）；方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm11.分析模式单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试12.加压方式测量重复性：重复性≤3% 13.安全防护具有限位量程和压力保护 误操作和急停防护 异常警报14.测试环境真空15.电源输入: AC220V±10%.50Hz 功 耗：瑞柯全自动四探针测试仪

据“为溪资本 Ravine Capital”公众号报道，迪克微电子近日宣布完成了近千万元天使轮融资，由为溪资本独家投资。本轮投资主要用于装修新厂房，扩充机台设备和增加研发人员等。据公开资料显示，迪克微电子创立于2010年，主要从事电子产品、绝缘材料、测试针、测试夹具、五金机电、排线等产品的贸易，2020年公司利用在测试针、测试夹具行业积累的市场优势转型为包含测试探针设计、生产、销售的专业公司。目前公司主营产品包括连接器探针、PCB探针、ATE探针等。公司正积极开拓半导体测试领域以外的市场，如用于太阳能电池和模块的探针产品。

当今科技迅猛发展，电子器件的小型化和性能提升是科研人员的极致追逐。其中，晶体管是当代电子设备中不可或缺的核心组件，其尺寸微缩和性能提升直接关系到整个电子行业的进步。与此同时，硅基场效应晶体管（FET）的性能逐渐逼近本征物理极限，国际半导体器件与系统路线图（IRDS）预测硅基晶体管的栅长最小可缩短至12 nm，工作电压不低于0.6 V，这决定了未来硅基芯片缩放过程结束时的极限集成密度和功耗。因此，迫切需要发展新型沟道材料来延续摩尔定律。 二维（2D）半导体具备可拓展性、可转移性、原子级层厚和相对较高的载流子迁移率，被视为超越硅基器件的下一代电子器件的理想选择。近年来，先进的半导体制造公司和研究机构，都在对二维材料进行研究。Lake Shore的低温探针台系列产品可容纳最大1英寸（25.4mm）甚至8英寸的样品，可以为二维半导体材料研究提供精准的温度磁场控制及精确可重复的测量，是全球科研工作者的值得信赖的工具。本文我们将结合近期Nature、Nature electronics期刊中的前沿成果，一起领略Lake Shore低温探针台系列产品在二维晶体管革新中的应用吧！ 图1. Lake Shore低温探针台1. 探针台电学测量揭秘最快二维晶体管——弹道InSe晶体管 对于二维半导体晶体管的速度和功耗方面的探索，北京大学电子学院彭练矛院士，邱晨光研究员课题组报道了一种以2D硒化铟InSe为沟道材料的高热速度场效应晶体管，首次使得二维晶体管实际性能超过Intel商用10纳米节点的硅基FinFET（鳍式场效应晶体管），并将工作电压下降到0.5V，称为迄今速度最快、能耗最低的二维半导体晶体管。相关研究成功以“Ballistic two-dimensional InSe transistors”为题发表于《Nature》上。 基于Lake Shore 低温探针台完成的电学测试表明，在0.5 V工作电压下，InSe FET具有6 mSμm-1的高跨导和饱和区83%的室温弹道比，超过了任何已报道的硅基晶体管。实现低亚阈值摆幅(SS)为每75 mVdec-1，漏极诱导的势垒降低(DIBL)为22 mVV-1。此外，10nm弹道InSe FET中可靠地提取了62 Ωμm的低接触电阻，可实现更小的固有延迟和更低的能量延迟积(EDP)，远低于预测的硅极限。 这项工作首次证实了2D FET可以提供接近理论预测的实际性能，率先在实验上证明了二维器件性能和功效上由于先进硅基技术，为2D FET发展注入信心和活力。2. 探针台光电测量揭示光活性高介电常数栅极电介质——2D钙钛矿氧化物SNO 与2D半导体兼容的高介电常数的栅极电介质，对缩小光电器件尺寸至关重要。然而传统三维电介质由于悬挂键的存在很难与2D材料兼容。为解决以上问题，复旦大学方晓生教授等人进行了大量研究实验，发现通过自上而下方式制备的2D钙钛矿氧化物Sr10Nb3O10（SNO）具有高介电常数（24.6）、适中带隙、分层结构等特点，可通过温和转移的方法，与各种2D沟道材料（包括石墨烯、MoS2，WS2和WSe2）等构建高效能的光电晶体管。文章以“Two-dimensional perovskite oxide as a photoactive high-κ gate dielectric”为题发表在Nature electronics上。图3. 具有SNO顶栅介电层的双栅WS2光电晶体管的电特性和光响应 基于Lake Shore探针台的光电测试表明，SNO作为顶栅介电材料，与多种通道材料兼容， 集成光电晶体管具有卓越的光电性能。MoS2晶体管的开/关比为106，电源电压为2V，亚阈值摆幅为88&thinsp mVdec-1。在可见光或紫外光照射下，WS2光电晶体管的光电流与暗电流比为~106，紫外(UV)响应度为5.5&thinsp ×&thinsp 103&thinsp AW-1，这是由于栅极控制和光活性栅极电介质电荷转移的共同作用。本研究展示了2D钙钛矿氧化物Sr2Nb3O10（SNO）作为光活性高介电常数介质在光电晶体管中的广泛应用潜力。 3. 探针台电学测量探索200毫米晶圆级集成——多晶MoS2晶体管 二维半导体，例如过渡金属硫族化合物（TMDs），是一类很有潜力的沟道材料，然而单器件演示采用的单晶二维薄膜，均匀大规模生长仍具挑战，无法应用于大尺度工业级器件制备。与单晶相比，多晶TMD的较大规模生长就容易很多，具备工业化应用集成的潜力。 有鉴于此，三星电子有限公司Jeehwan Kim和Kyung-Eun Byun 团队提出一种使用金属-有机化学气相沉积（MOCVD）制造大规模多晶硫化钼（MoS2）场效应晶体管阵列的工艺，与工业兼容，在商用200毫米制造设备中进行加工，成品率超过99.9%。文章以“200-mm-wafer-scale integration of polycrystalline molybdenum disulfide transistors”为题发表在Nature electronics上。 图4. 三种不同接触类型（a常规顶部接触，b多晶MoS2的底部接触，c单层MoS2底部接触）的电学特性和肖特基势垒高度 基于Lake Shore低温探针台CPX-VF的电学测试表明，相比于顶部接触，底部接触可以更好的消除2D FETs阵列中多晶2D/金属界面的肖特基势垒。没有肖特基势垒的多晶MoS2场效应晶体管表现良好，迁移率可达21 cm2V-1s-1，接触电阻可达3.8 kΩµ m，导通电流密度可达120µ Aµ m-1，可比拟单晶晶体管。4. Lake Shore低温探针台系列 美国Lake Shore公司的低温探针台根据制冷方式不同，主要分为无液氦低温探针台和消耗制冷剂低温探针台，其下又因为磁场方向、尺寸大小差别，有更多型号的细分，适用于不同应用场景（电学、磁学、微波、THz、光学等），客户可根据需要，选择不同的温度和磁场配置。客户可以选择自己搭配测试仪表集成各类测试，也可以选择我们的整体测试解决方案，如电输运测试、半导体分析测试、霍尔效应测试、铁电分析测试，集成光学测试等。图5. 低温探针台选型和适用的应用场景Lake Shore低温探针台主要特征☛ 最大±2.5 T磁场☛ 低温至1.6 K，高温至675 K☛ fA级低漏电测量☛ 最高67 GHz高频探针☛ 3 kV 高电压探针（定制） ☛ 大温区低温漂探针☛ 真空腔联用传送样品（定制）☛ ＜30 nm低振动适用于显微光学测量☛ 无需翻转磁场快速霍尔效应测试☛ 多通道高精度低噪声综合电学测量☛ 光电、CV、铁电、半导体分析测试参考文献：1. J. Jiang, L. Xu, C. Qiu, L.-M. Peng, Ballistic two-dimensional InSe transistors. Nature 616, 470-475 (2023).2. S. Li, X. Liu, H. Yang, H. Zhu, X. Fang, Two-dimensional perovskite oxide as a photoactive high-κ gate dielectric. Nature Electronics 7, 216-224 (2024).3. J. Kwon et al., 200-mm-wafer-scale integration of polycrystalline molybdenum disulfide transistors. Nature Electronics 7, 356-364 (2024).相关产品1、Lake Shore低温探针台系列

历经近10个月的审核，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（下称“矽电股份”）终于即将在4月13日迎来创业板上市委的关键裁决。作为半导体设备供应商，矽电股份聚焦应用于半导体制造晶圆检测环节的探针测试技术。此番IPO，矽电股份拟发行不超过0.10亿股、募集5.56亿元，投向“探针台研发及产业基地建设”、“分选机技术研发”，“营销服务网络升级建设”以及补充流动资金。矽电股份的报告期业绩一直处于高增长态势——2020年至2022年，营业收入分别为1.88亿元、3.99亿元4.42亿元，同期归母净利润分别为0.34亿元、0.97亿元和1.16亿元。这离不开第一大客户三安光电（600703.SH）的“支持”。三安光电对矽电股份的采购额自2020年的0.57亿元一跃提升至2022年的2.29亿元，期间增长了301.75%，占比更是从30.33%提升至51.85%。三安光电董事长林志强也正是在2020年入股矽电股份，并以2.40%的持股比例成为其第13大股东。若二者合作出现变化，矽电股份的业绩能否维系或是重要的待估风险。在上市前夕，矽电股份此番还吸引了明星资本的突击加盟，华为旗下的深圳哈勃科技投资合伙企业（有限合伙）于矽电股份申报IPO 6个月前的2021年12月，从矽电股份实控人何沁修等人手中以0.80亿元价格受让了4%的股权，按照这一价格估算，华为入股时矽电股份的市值约为20亿元。技术“代差”之争矽电股份应用于晶圆检测环节的探针测试技术，一直是衡量芯片性能与缺陷的关键。据SEMI和CSA Research数据统计，截至2019年底，矽电股份在境内探针设备市场中的份额已达13%，位列中国大陆设备厂商第一名，同期占全球市场份额为3%，位列第五名。矽电股份的核心产品“探针台”按照检测对象可分为晶圆、晶粒两大类。晶圆探针台主要是对未切割晶圆上的器件进行故障检测，尺寸涵盖4英寸至12英寸，2022年创收1.13亿元，贡献了近四分之一的收入。虽然矽电股份是首家实现12英寸晶圆探针台量产的境内企业，不过该环节的收入在2022年占比仍不足2成。值得一提的是，目前A股市场尚无主营业务为检测探针台的企业，矽电股份一旦上市成功则有望成为“半导体探针台第一股。”不过深交所仍要求矽电股份说明核心技术的壁垒及相对优势。“请说明发行人核心技术技术壁垒的具体体现，结合同行业现有技术水平、衡量核心技术先进性的关键指标等，进一步分析核心技术先进性的具体表征及与境内外同行业竞争对手相比的优劣势。”深交所指出。从境外厂商的数据来看，矽电股份与全球龙头东京电子、东京精密等企业确实存在一定的差距，例如定位精度上目前东京电子可达到±0.8um，而矽电股份只有±1.3um。“因为探针台的作用就是对要检测的晶圆进行定位，让晶圆上的器件等可以和探针接触并进行逐个测试，所以精度越高就越不容易出错。如果探针这个环节没有排除出来故障的话，下一个环节成本更高。”北京一位半导体行业人士指出。矽电股份也承认其与国际大厂之间存在较大的差距。“目前，日本厂商探针台综合定位精度已达到±0.80 um水平，占据了12英寸晶圆探针台市场的主要份额。发行人在综合定位精度和12英寸高端市场份额与日本厂商存在一定差距。”矽电股份表示。但矽电股份认为和境内厂商相比，其技术仍处于领先水平。矽电股份将中电科四十五所和长川科技（300604.SZ）披露为境内竞争对手，并指出这两家公司的综合定位精度分别仅为±5um和±1.5um，自身技术相比之下仍具有领先优势。“基于发行人持续的研发投入及形成的核心技术成果，发行人在综合定位精度、机台自动化水平及多种半导体器件适配方面已领先于中国台湾和中国大陆其他厂商。”矽电股份表示。但矽电股份的这番陈述或许并不是目前半导体探针环节的全部事实。信风（ID:TradeWind01）注意到，国内厂商已在半导体探针台领域逐渐发力。早在2020年，中科院长春光机所旗下长春光华微电子设备工程中心有限公司就推出国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台；2022年11月，深圳市森美协尔科技有限公司（下称“森美协尔”）推出了可兼容处理12英寸与8英寸标准的全自动晶圆探针台（下称“A12”）。接近森美协尔的相关人士向信风（ID:TradeWind01）确认，A12的定位精度已达到±1um的水平。若这一数据属实，则意味着该数据不仅高于矽电股份，也在接近国际龙头的技术水平。而矽电股份对于境内竞争对手的披露是否完整，或许有待其做出更多解释。大客户助力下暴增矽电股份的报告期业绩可谓“突飞猛进”。2021年，矽电股份的营业收入和归母净利润分别为3.99亿元、0.97亿元，同比增长了112.29%、189.11%。“主要系因下游行业景气度提升、客户资本性支出上升以及公司市场开拓情况良好所致。”矽电股份表示。更为关键的助力或指向了作为矽电股份前五大客户之一的三安光电。三安光电2019年对矽电股份的采购额还只有0.07亿元，但次年却突然提高了采购额——2020年至2022年，三安光电向矽电股份采购晶粒探针台的金额分别为0.57亿元、1亿元和2.29亿元。这意味着，报告期内矽电股份超5成的晶粒探针台主要销往了三安光电，后者成为了主要的收入来源。矽电股份解释称，晶粒探针台主要的应用场景是检测LED芯片，而该市场主要被三安光电所占据。据CSA Research、LEDinside等机构的数据显示，2020年、2021年三安光电在行业总产能中的比例分别为28.29%、31.68%。事实上，二者在2020年达成合作关系还有一个更重要的转折。正是在这一年，三安光电的董事长林志强成为了矽电股份的股东。2020年9月，林志强以0.28亿元认购了矽电股份的股份。截至申报前，其以2.40%的持股比例位居第12大股东，较华为入股时矽电股份20亿元的估值，林志强所持股份市值已增长了74.37%。入股后的当年12月，矽电股份对三安光电实现0.57亿元的销售收入，占当年对后者的销售额比例达到99.69%。对于入股前后猛增的订单金额，矽电股份并不愿意承认这其中可能存在的“股权换订单”交易。“林志强基于对发行人及其所处行业的看好入股发行人，入股后发行人与三安光电的交易规模快速增长是相关客户对发行人设备认可及其自身需求增长的反映。”矽电股份指出，“林志强入股发行人不存在用订单换取股权的情形。”相似情形还发生在另一大客户兆驰股份（002429.SZ）身上。2020年9月，兆驰股份前实控人顾伟之女顾乡参股矽电股份，截至申报前，其持股比例为1.74%，位居第15大股东之列。入股当年，兆驰股份就一跃成为矽电股份第二大客户，贡献了0.27亿元的收入，占比为14.23%；2022年，兆驰股份带给矽电股份0.37亿元的收入。若扣除三安光电、兆驰股份所贡献的收入，矽电股份2020年至2022年的收入分别为1.04亿元、2.97亿元和1.76亿元。以此测算，矽电股份这一期间的营业收入复合增长率仅为30.09%，较未扣除前的复合增长率低了23.23个百分点。身患“大客户依赖症”的矽电股份是否有望顺利过会，其又该如何解释这其中所存在的业绩可持续性问题似乎有待上市委的裁决。

我司于2016年11月在北京某研究所成功安装美国Janis公司生产的高低温真空探针台。该探针台变温范围大（8K-675K (LHe)，80K-675K（LN2）)，温度稳定性好（优于10mK）。配三同轴探针臂，漏电流优于50fA。配无油分子泵组，低温下真空度优于5*10-6mbar。与Keithley 4200半导体特性仪匹配使用，用于功能材料、拓扑绝缘体、纳米结构和器件等变温测试，也可以用于半导体器件、MEMS器件、超导器件与封装前在真空下做原位测试以及高低温的老化测试。 高低温真空探针台系统

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江苏省-南京市-雨花台区 状态：公告 更新时间： 2024-08-21 项目概况 高频半自动探针台采购项目 招标项目的潜在投标人应在南京市雨花台区证大喜玛拉雅中心C座3楼306室或中招联合招标采购平台（网址：www.365trade.com.cn）获取招标文件，并于2024年09月11日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：FGC202400002/TC249JA47 项目名称：高频半自动探针台采购项目 预算金额：500.000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：500.000000 万元（人民币） 采购需求： （1）采购内容： 序号 产品清单 数量 数量单位 组成部件名称 备注 1 高频半自动探针台 1 套 主功能单元 主件 2 配件设备 1 套 包括高低温系统，射频探针和支架，直流探针和支架，射频差分探针和支架，在片校准片，以及场务条件设备。 附件 （2）用途：用于验证理论模型和优化设计，提高测试效率。在教学过程中，通过对探针台的原理和操作学习，增强学生的动手能力，增加半导体芯片测试经验。 合同履行期限：自合同签订之日起 4 个月内到货并安装调试合格。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： / 3.本项目的特定资格要求：3.1具有独立承担民事责任的能力，需提供法人或其他组织的营业执照等证明文件，复印件加盖公章；3.2具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度，须提供会计师事务所出具的上一年度财务审计报告复印件加盖公章，或银行出具的证明文件复印件加盖公章（距开标时间六个月内开具），或距开标时间六个月内任一月份投标人出具的财务状况报告复印件加盖公章（至少包括资产负债表和利润表），法人或者其他组织成立未满三个月的需提供承诺具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度的承诺书（格式自拟）；3.3具有履行合同所必需的设备和专业技术能力，需提供承诺函原件（格式自拟）；3.4有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录，提供距开标时间六个月内任一月份的纳税证明文件复印件加盖公章（依法免税的应提供相应文件说明）和距开标时间六个月内任一月份的依法缴纳社会保障资金的证明材料复印件加盖公章（证明材料可以是能体现所缴社保类别的缴费银行单据、专用收据、社会保险缴纳清单或者所在社保机构开具的证明等，自行编写无效，依法不需要缴纳社会保障资金的应提供相应文件说明）；3.5参加本项目采购活动前三年内（成立时间不足三年的、自成立时间起），在经营活动中没有重大违法记录，提供声明函原件（格式自拟，重大违法记录是指投标人因违法经营受到刑事处罚或责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。）；3.6本次招标不接受联合体投标；3.7限制性条款：投标人须满足下述条款要求（需提供承诺函原件）（1）不存在单位负责人为同一人同时参与本项目投标的情况；（2）不存在直接控股、管理关系的不同投标人同时参与本项目投标的情况；（3）与采购人、采购代理机构不存在可能影响采购公正性的利益关系。3.8投标人不得有被列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录（采购代理机构将通过“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询投标人的信用记录并保存）。3.9特定资格条件：本项目接受进口产品投标（注：本文件所称进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品，若投标人为代理商须提供制造厂家的授权书）。 三、获取招标文件 时间：2024年08月21日 至 2024年08月28日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：南京市雨花台区证大喜玛拉雅中心C座3楼306室或中招联合招标采购平台（网址：www.365trade.com.cn） 方式：供应商需在招标文件发售截止时间前登录中招联合电子招标采购平台（ http://www.365trade.com.cn）完成注册（可免费注册）、下单、结算操作，否则将无法获取招标文件。下单时需按平台附件要求提供领购文件的登记材料。中招联合电子招标采购平台操作过中如需帮助，可联系平台客服热线获取支持。 售价：￥400.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2024年09月11日 09点30分（北京时间） 开标时间：2024年09月11日 09点30分（北京时间） 地点：南京市雨花台区喜玛拉雅中心C座305室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.逾期送达或未按招标文件要求密封的投标文件恕不接收。 2.本项目采用综合评分法。 3.本项目公告信息在中国政府采购网、中国招标投标网、南京航空航天大学校园网发布。 4.凡对本次招标提出询问，请按照招标文件的规定方式与中招国际招标有限公司联系。 5.采购项目需要落实的政府采购政策：节能、环保、促进中小企业发展、支持监狱企业发展、政府采购信用担保、三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：南京航空航天大学 地址：南京市御道街29号 联系方式：张老师 025-84892405 2.采购代理机构信息 名 称：中招国际招标有限公司 地 址：北京市海淀区学院南路62号中关村资本大厦 联系方式：丁皓然、顾新、牛建东 13914760421、18136485896、025-86986998 3.项目联系方式 项目联系人：丁皓然、顾新 电 话： 13914760421、18136485896、025-86986998 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容：探针台 开标时间：2024-09-11 09:30 预算金额：500.00万元 采购单位：南京航空航天大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：中招国际招标有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 南京航空航天大学高频半自动探针台采购项目（第二次）公开招标公告 江苏省-南京市-雨花台区 状态：公告 更新时间：2024-08-21 项目概况 高频半自动探针台采购项目 招标项目的潜在投标人应在南京市雨花台区证大喜玛拉雅中心C座3楼306室或中招联合招标采购平台（网址：www.365trade.com.cn）获取招标文件，并于2024年09月11日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：FGC202400002/TC249JA47 项目名称：高频半自动探针台采购项目 预算金额：500.000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：500.000000 万元（人民币） 采购需求： （1）采购内容： 序号 产品清单 数量 数量单位 组成部件名称 备注 1 高频半自动探针台 1 套 主功能单元 主件 2 配件设备 1 套 包括高低温系统，射频探针和支架，直流探针和支架，射频差分探针和支架，在片校准片，以及场务条件设备。 附件 （2）用途：用于验证理论模型和优化设计，提高测试效率。在教学过程中，通过对探针台的原理和操作学习，增强学生的动手能力，增加半导体芯片测试经验。 合同履行期限：自合同签订之日起 4 个月内到货并安装调试合格。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： / 3.本项目的特定资格要求：3.1具有独立承担民事责任的能力，需提供法人或其他组织的营业执照等证明文件，复印件加盖公章；3.2具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度，须提供会计师事务所出具的上一年度财务审计报告复印件加盖公章，或银行出具的证明文件复印件加盖公章（距开标时间六个月内开具），或距开标时间六个月内任一月份投标人出具的财务状况报告复印件加盖公章（至少包括资产负债表和利润表），法人或者其他组织成立未满三个月的需提供承诺具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度的承诺书（格式自拟）；3.3具有履行合同所必需的设备和专业技术能力，需提供承诺函原件（格式自拟）；3.4有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录，提供距开标时间六个月内任一月份的纳税证明文件复印件加盖公章（依法免税的应提供相应文件说明）和距开标时间六个月内任一月份的依法缴纳社会保障资金的证明材料复印件加盖公章（证明材料可以是能体现所缴社保类别的缴费银行单据、专用收据、社会保险缴纳清单或者所在社保机构开具的证明等，自行编写无效，依法不需要缴纳社会保障资金的应提供相应文件说明）；3.5参加本项目采购活动前三年内（成立时间不足三年的、自成立时间起），在经营活动中没有重大违法记录，提供声明函原件（格式自拟，重大违法记录是指投标人因违法经营受到刑事处罚或责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。）；3.6本次招标不接受联合体投标；3.7限制性条款：投标人须满足下述条款要求（需提供承诺函原件）（1）不存在单位负责人为同一人同时参与本项目投标的情况；（2）不存在直接控股、管理关系的不同投标人同时参与本项目投标的情况；（3）与采购人、采购代理机构不存在可能影响采购公正性的利益关系。3.8投标人不得有被列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录（采购代理机构将通过“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询投标人的信用记录并保存）。3.9特定资格条件：本项目接受进口产品投标（注：本文件所称进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品，若投标人为代理商须提供制造厂家的授权书）。 三、获取招标文件 时间：2024年08月21日 至 2024年08月28日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：南京市雨花台区证大喜玛拉雅中心C座3楼306室或中招联合招标采购平台（网址：www.365trade.com.cn） 方式：供应商需在招标文件发售截止时间前登录中招联合电子招标采购平台（ http://www.365trade.com.cn）完成注册（可免费注册）、下单、结算操作，否则将无法获取招标文件。下单时需按平台附件要求提供领购文件的登记材料。中招联合电子招标采购平台操作过中如需帮助，可联系平台客服热线获取支持。 售价：￥400.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2024年09月11日 09点30分（北京时间） 开标时间：2024年09月11日 09点30分（北京时间） 地点：南京市雨花台区喜玛拉雅中心C座305室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.逾期送达或未按招标文件要求密封的投标文件恕不接收。 2.本项目采用综合评分法。 3.本项目公告信息在中国政府采购网、中国招标投标网、南京航空航天大学校园网发布。 4.凡对本次招标提出询问，请按照招标文件的规定方式与中招国际招标有限公司联系。 5.采购项目需要落实的政府采购政策：节能、环保、促进中小企业发展、支持监狱企业发展、政府采购信用担保、三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：南京航空航天大学 地址：南京市御道街29号 联系方式：张老师 025-84892405 2.采购代理机构信息 名 称：中招国际招标有限公司 地 址：北京市海淀区学院南路62号中关村资本大厦 联系方式：丁皓然、顾新、牛建东 13914760421、18136485896、025-86986998 3.项目联系方式 项目联系人：丁皓然、顾新 电 话： 13914760421、18136485896、025-86986998

近日，国内最大的半导体探针台生产商矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（下称“矽电半导体”或“公司”）向创业板递交招股书，保荐机构为招商证券。据了解，矽电半导体主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，专注于半导体探针测 试技术领域，系境内领先的探针测试技术系列设备制造企业。探针测试技术主要应用于半导体制造晶圆检测（CP, Circuit Probing）环节，也应用于设计验证和成品测试（FT, Final Test）环节，是检测芯片性能与缺陷，保证芯片测试准确性，提高芯片测试效率的关键技术。公司自主研发了多种类型应用探针测试技术的半导体设备，产品已广泛应用于集成电路、光电芯片、分立器件、第三代化合物半导体等半导体产品制造领域。公司已成为中国大陆规模最大的探针台 设备制造企业。招股说明书显示，矽电半导体核心技术团队拥有超过 30 年的探针测试技术研发经验，自设立以来立足技术创新，掌握了探针测试核心技术，打破了海外厂商垄断，在探针台领域成为中国大陆市场重要的设备厂商。公司的探针测试系列产品已应用于士兰微、比亚迪半导体、燕东微、华天科技、三安光电、光迅科技、歌尔微等境内领先的晶圆制造、封装测试、光电器件、分立器件及传感器生产厂商。根据 SEMI 和 CSA Research 统计，2019 年矽电股份占中国大陆探针台设备市场 13% 的市场份额，市场份额排名第四，为中国大陆设备厂商第一名。此外，矽电半导体还是中国大陆首家实现产业化应用的12英寸晶圆探针台设备厂商，产品应用于境内领先的封测厂商和12英寸芯片产线。公司搭载自主研发光电测试模块的晶粒探针台，已应用于境内多家领先的光电芯片制造厂商，满足新一代显示技术 Mini/Micro LED 芯片测试环节设备需求。基于公司在探针测试技术领域的积累和半导体专用设备行业的经验，公司研发并量产了分选机、曝光机和 AOI 检测设备等其他半导体专用设备。在营收数据上，2019年至2021年，矽电半导体营收分别为9331.73万元、1.88亿元和3.99亿元，2019年至2021年的复合增长率为106.82%，同期净利润分别为528.38万元、3285.38万元和9603.97万元，年复合增长率为326.34%。

在过去10年里，北京离子探针中心的两台高分辨二次离子探针质谱仪(SHRIMP Ⅱ和SHRIMP Ⅱe-MC)或许是全球最忙及成绩最好的科学仪器。在12月18日该中心十周岁庆祝会上，中心主任刘敦一教授表示，以这两台仪器为核心的大型科学仪器共享平台，极大推动了我国地球科学的发展。 　　过去10年，SHRIMP仪器处于样品分析的机时平均为266.8昼夜/年，开放机时平均为76%。自2007年起，单台SHRIMP仪器的科研论文产出量已连续位居世界同类仪器的第一位。 　　高效源于中心建立的SHRIMP远程共享控制系统。该网络不仅实现了国内科研人员可实时观测样品图像、在线获取实验数据等应用，还使跨国远程共享科学仪器进入常态，开创了通过远程共享系统共享国外SHRIMP仪器的功能。 　　“十一五”以来，该中心又联合国内外22家高校及科研院所，在SHRIMP远程共享平台的基础上，整合了一批微束类分析仪器，构建起网络虚拟实验室，为进一步建立以远程操作为主要手段的大型仪器虚拟中心奠定基础。 　　刘敦一透露，该中心将继续发展以SHRIMP为代表的大型科学仪器远程共享网络，尽快在西班牙和巴西建立服务器系统，在美国华盛顿大学(圣路易斯)建立远程工作站。该中心还将积极投入大型科学仪器自主研发工作，逐步建立起一个具有优秀技术专家和研发设施的科学仪器自主创新基地。 　　据了解，SHRIMP Ⅱ在锆石微区年龄测定上具有无可替代的优势，引领锆石年代学进入微区、原位分析的新时代。2001年，我国引进第一台该机器，北京离子探针中心也于当年成立。该中心今年被科技部和财政部认定为首批国家级科技基础条件平台。

一、项目基本情况项目编号：BIECC-22ZB0922/清设招第2022395号项目名称：清华大学12寸半自动探针台购置项目预算金额：200.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：200.0000000 万元（人民币）采购需求：用于微系统研发过程中，外部采购片12寸及以下晶圆电学特性测试，通过自动控制芯片移动检测器件电学参数，实现整晶圆快速检测，快速监控芯片是否正常。晶圆上贴片（D2W）后，全晶圆检测。结合实验室现有仪器，实现SIP封装后混合信号快速准确测试。具体要求详见第四章。包号名 称数量0112寸半自动探针台1套合同履行期限：合同签订后180日内交付。本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），对列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；3.本项目的特定资格要求：无三、获取招标文件时间：2022年12月01日 至 2022年12月08日，每天上午9:30至11:30，下午13:30至16:30。（北京时间，法定节假日除外）地点：北京市海淀区学院路30号科大天工大厦B座1703室（北四环学院桥东北角）方式：现场购买（只接受现金）或电汇/网银购买标书售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2022年12月23日 09点30分（北京时间）开标时间：2022年12月23日 09点30分（北京时间）地点：北京市海淀区学院路30号科大天工大厦B座17层1706第二会议室（北四环学院桥东北角）五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1、疫情期间建议优先选择电汇或网银购买标书，请投标人汇款时务必注明“标号+用途”（比如：22ZB0922保证金或者22ZB0922标书款），以便财务查账及汇总。期满后购买招标文件的潜在投标人不足3家的，采购单位可以顺延招标文件出售时间并另行公告。电汇或网银购买标书，请将电汇底单（网银转账页面）扫描件及以下表格发邮件至jowena@163.com，邮件主题请务必注明“（项目编号）购买标书信息”。项目编号BIECC-22ZB0922包号/单位名称纳税人识别号快递地址联系人联系电话2、账户名称：北京国际工程咨询有限公司开户银行：华夏银行北京学院路支行帐 号：102420000000025463、招标文件电子版文件下载网址：http://www.biecc.com.cn/fushulanmu/Biaoshuxiazai/，无需注册，进入页面找到对应项目，点击查看详情，进入详情页免费下载。4、投标文件请于投标当日投标截止时间之前递交至投标地点，逾期递交的文件恕不接收。疫情防控期间建议采用快递形式递交投标文件。对于采用快递形式递交文件的投标人，应同时随附一份关于认可开标现场内容的承诺书原件（格式自拟，无需密封），并于快递发出后将公司名称、本项目编号、快递单号等信息发送至邮箱bjgjgczb1@163.com，以便代理机构及时查收快递。采用快递形式递交投标文件的（推荐采用顺丰快递），请务必自行掌握投递时间，确保在递交文件截止时间前送达，逾期到达的文件恕不接收。快递信息为：北京市海淀区学院路30号科大天工大厦B座1703室，杨梦雪收，010-82373532。5、评标方法：综合评分法6、采购项目需要落实的政府采购政策：节能产品强制采购；节能产品、环境标志产品优先采购；政府采购促进中小企业发展；政府采购支持监狱企业发展；政府采购促进残疾人就业；进口产品管理；支持脱贫攻坚；扶持不发达地区和少数民族地区；支持自主创新；支持绿色建材等。7、本项目招标公告仅在中国政府采购网及清华大学设备采购信息发布平台上发布。对其他网站转发本公告可能引起的信息误导、造成投标人的经济或其他损失的，采购人及采购代理不负任何责任。8、凡对本次招标提出询问及质疑，请与北京国际工程咨询有限公司联系。有关招标（采购）文件购买、中标（成交）通知书领取及服务费发票、保证金交纳及退还事宜的联系电话：010-8237 0821；有关招标（采购）文件技术部分的问题咨询：因项目经理外出、开标等原因，请优先通过电子邮箱bjgjgczb1@163.com联系，或者联系010-82373532。如需质疑，质疑函请采用政府采购供应商质疑函范本格式，以书面形式一次性提交。详见附件下载七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：清华大学地址：北京市海淀区清华大学，邮编100084联系方式：吴老师 627760002.采购代理机构信息名称：北京国际工程咨询有限公司地址：北京市海淀区学院路30号科大天工大厦A座6层联系方式：王蕾蕾、杨梦雪010-823735323.项目联系方式项目联系人：王蕾蕾、杨梦雪电话：010-82373532

html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 CP测试机（含探针台） - 国际招标公告(2) 江苏省-苏州市 状态：公告 更新时间： 2022-05-22 招标文件: 附件1 江苏海外集团国际工程咨询有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2022-05-20在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:CP测试机（含探针台）资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0675-224JOC108013招标项目名称:CP测试机（含探针台）项目实施地点:中国江苏省招标产品列表(主要设备):3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:1）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织（境内投标人应提供营业执照，境外投标人应提供在当地的注册文件）；2）投标人及投标货物的制造商近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉（提供书面声明）；3）投标货物可以是全新设备或翻新设备，投标人必须在其投标文件中对投标货物作明确说明 4）投标货物须为成熟产品，在近三年内无重大运行事故，无重大质量投诉（提供书面声明）；5）投标人应具有履行合同所必须的设备和专业技术能力（提供具有专业设备和技术能力的介绍）；6）本项目不接受转包；7）投标人或投标货物制造商应在中国境内有直属办事处机构和仓库，并且有资深的设备维护团队（包括：设备、工艺工程师），以便用户能及时获得相应的技术和商务支持（提供备件库的地址、备件库的租赁合同或房产证）是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、招标文件的获取招标文件领购开始时间:2022-05-20招标文件领购结束时间:2022-05-27是否在线售卖标书:否获取招标文件方式:现场领购招标文件领购地点：苏州市邓尉路107号永新大厦1幢9楼招标文件售价:￥700/$100其他说明:招标文件售后不退5、投标文件的递交投标截止时间（开标时间）:2022-06-10 10:00投标文件送达地点:苏州市邓尉路107号永新大厦1幢9楼开标室开标地点:苏州市邓尉路107号永新大厦1幢9楼开标室6、投标人在投标前应在____（）或机电产品招标投标电子交易平台（）完成注册及信息核验。评标结果将在____和中国国际招标网公示。7、联系方式招标人:苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司地址:苏州工业区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区19幢（WN-19）联系人:单盼盼联系方式:0512-67990672招标代理机构:江苏海外集团国际工程咨询有限公司地址:苏州市邓尉路107号永新大厦1幢9楼联系人:何磊联系方式:0512-651606598、汇款方式:招标代理机构开户银行(人民币):交通银行南京分行新街口支行招标代理机构开户银行(美元):交通银行南京分行新街口支行账号(人民币):320006607010141124109账号(美元):320006607146300004415其他:注：如电汇，务请注明招标编号和用途。9、其他补充说明其他补充说明:招标项目预算/最高限价：人民币300万元 附件1：招标商品信息表模板.xls × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容：探针台 开标时间：2022-06-10 10:00 预算金额：300.00万元 采购单位：苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：江苏海外集团国际工程咨询有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息CP测试机（含探针台） - 国际招标公告(2) 江苏省-苏州市 状态：公告 更新时间： 2022-05-22 招标文件: 附件1 江苏海外集团国际工程咨询有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2022-05-20在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:CP测试机（含探针台）资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0675-224JOC108013招标项目名称:CP测试机（含探针台）项目实施地点:中国江苏省招标产品列表(主要设备):3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:1）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织（境内投标人应提供营业执照，境外投标人应提供在当地的注册文件）；2）投标人及投标货物的制造商近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉（提供书面声明）；3）投标货物可以是全新设备或翻新设备，投标人必须在其投标文件中对投标货物作明确说明 4）投标货物须为成熟产品，在近三年内无重大运行事故，无重大质量投诉（提供书面声明）；5）投标人应具有履行合同所必须的设备和专业技术能力（提供具有专业设备和技术能力的介绍）；6）本项目不接受转包；7）投标人或投标货物制造商应在中国境内有直属办事处机构和仓库，并且有资深的设备维护团队（包括：设备、工艺工程师），以便用户能及时获得相应的技术和商务支持（提供备件库的地址、备件库的租赁合同或房产证）是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、招标文件的获取招标文件领购开始时间:2022-05-20招标文件领购结束时间:2022-05-27是否在线售卖标书:否获取招标文件方式:现场领购招标文件领购地点：苏州市邓尉路107号永新大厦1幢9楼招标文件售价:￥700/$100其他说明:招标文件售后不退5、投标文件的递交投标截止时间（开标时间）:2022-06-10 10:00投标文件送达地点:苏州市邓尉路107号永新大厦1幢9楼开标室开标地点:苏州市邓尉路107号永新大厦1幢9楼开标室6、投标人在投标前应在____（）或机电产品招标投标电子交易平台（）完成注册及信息核验。评标结果将在____和中国国际招标网公示。7、联系方式招标人:苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司地址:苏州工业区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区19幢（WN-19）联系人:单盼盼联系方式:0512-67990672招标代理机构:江苏海外集团国际工程咨询有限公司地址:苏州市邓尉路107号永新大厦1幢9楼联系人:何磊联系方式:0512-651606598、汇款方式:招标代理机构开户银行(人民币):交通银行南京分行新街口支行招标代理机构开户银行(美元):交通银行南京分行新街口支行账号(人民币):320006607010141124109账号(美元):320006607146300004415其他:注：如电汇，务请注明招标编号和用途。9、其他补充说明其他补充说明:招标项目预算/最高限价：人民币300万元 附件1：招标商品信息表模板.xls

为广泛征求用户的意见和需求，了解中国科学仪器的市场情况和应用情况，仪器信息网自2008年6月1日开始，对不同行业有代表性的“100家实验室”进行走访参观。近日，仪器信息网工作人员参观访问了本次活动的第五十四站：北京离子探针中心，该中心学术秘书王晨女士热情地接待了仪器信息网到访人员。 　　北京离子探针中心(以下简称“中心”)成立于2001年12月18日，是由科技部、国土资源部和中科院共同出资1800万元，以共建共享方式建立的国家大型科学仪器中心，现依托于中国地质科学院地质研究所。该中心成立九年以来，坚定不移地走大型仪器共建共享的道路，仪器运行效率和科研成果产出率都进入了国际先进行列。 　　中心副主任张玉海高级工程师(左三)、杨之青工程师(右二)、王晨女士(左二)与仪器信息网工作人员合影 　　王晨女士首先为我们介绍了中心的主要仪器及其在实验室相关测试、研究业务中发挥的重要作用。“中心的核心仪器是高分辨二次离子探针质谱((Sensitive High Resolution Ion Microprobe II ，SHRIMPⅡ)。相应的配套仪器包括扫描电镜及阴极发光探头、水冷系统、超净台、显微照相、空气压缩机以及用于制样的镀金仪、抛光机等。” 　　北京离子探针中心的主要仪器情况 　　拥有国内唯一两台高分辨二次离子探针质谱，测试业务专门面向地质学相关领域开放 　　“中心于2001年5月引进的SHRIMPⅡ是世界上第九台、国内第一台SHRIMPⅡ，它是专门针对同位素地质年代学、宇宙年代学、地球化学和宇宙地球化学等地质学相关研究中的重同位素分析而设计，特别是锆石微区定年。该仪器是磁质谱，配备单接收器，当时购买价格为1800万元。” 　　“多年来，SHRIMPⅡ运行情况一直良好，坚持每天24小时，每周7天不间断运行，年分析机时(指仪器进行样品或标准样品分析的时间)保持在7200小时左右，达到科技部有关大型仪器运行效率规定的优秀标准(1600小时/年)四倍之多，成为世界上运行效率最高的一台SHRIMP。” 　　“鉴于SHRIMPⅡ的超高使用效率以及仪器维护保养方面的考虑，财政部2005年出资3000万元为北京离子探针中心添置了第二台二次离子探针质谱——SHRIMPⅡe-MC，该仪器相比于SHRIMPⅡ，离子源添加了铯源，在分析重同位素的同时又能分析轻同位素，且配备了多个接收器。鉴于北京离子探针中心的新基地还未建好，所以该仪器暂且还停放在澳大利亚，预计2011年会移至新基地。” 　　高分辨二次离子探针质谱(SHRIMPⅡ) 　　样品前处理：精“挑”细“选”、细致“打磨” 　　“矿物样品在进入SHRIMPⅡ分析之前，要经过一系列的前处理，大约需要一周的时间。首先是选矿，将采来的岩石标本粉碎成粉末，经过筛选、磁选、手工挑选等步骤后，挑选出其中的锆石颗粒，一般一个样品会挑选出几十颗至上千颗锆石颗粒。” 　　“其次是样品制靶，将选出的锆石颗粒，固定在双面胶上，将标样与样品排列在指定位置，随后用模具注入环氧树脂，抽真空，烘干，使树脂固化后对其进行打磨、抛光，使靶表面光滑。” 　　样品靶 　　(图注：靶上面的“线”即是锆石颗粒阵列。) 　　“第三是用显微镜给靶照相，该步骤的目的有二：一是给锆石样品定位，二是通过显微镜的透、反射光对样品的照射，分析锆石颗粒的内部结构以及检查其表面是否有裂隙、瑕疵，为SHRIMPⅡ分析时选点提供依据。” 　　“最后是阴极发光照相，将显微镜照相后的靶进行超声波清洗，在靶的检测光面上镀上金膜，随后放在扫描电子显微镜下做阴极发光照相，以确定锆石颗粒内部同位素的分布情况。经过这些步骤后，靶才可以放入SHRIMPⅡ内进行分析了。” 　　日立S-3000N扫描电子显微镜 　　(图注：该仪器配备GATAN公司Chroma阴极发光探头，可提供彩色及黑白阴极发光照片。) 　　S-3000N拍摄的锆石照片 　　奉行“开放、共享、高效”的运行原则，仪器使用率与开放程度堪称典范 　　“中心自成立之日起就奉行‘开放、共享、高效’的运行原则，面向国内外地学界全方位开放共享。2005年12月，中心项目组研发出了离子探针远程共享控制系统(SROS，SHRIMP Remote Operation System)，该系统实现了在Internet公共网络环境下，实时远程控制SHRIMPⅡ，观测样品图像实时变化，在线获取试验数据、远程协同信息交流等远程实验功能，达到了亲临北京离子探针中心进行实验的效果，更好地实现了SHRIMPⅡ的开放、共享。” 　　“开放、共享的运行机制给中心带来了巨大的工作量和众多的访问者。中心成立九年以来，共有来自国土资源部、中科院、大专院校以及港台地区的30多个相关单位的数百名科研工作者使用中心的SHRIMPⅡ对自己的样品进行了分析研究。另外，一批来自美国、英国、法国、意大利、德国、澳大利亚、韩国、巴西、古巴、蒙古国、波兰和土耳其等国的学者也来中心完成锆石定年工作和短期访问，其中不乏国际一流的地质学家。正是因为如此，北京离子探针中心的仪器利用率和开放程度均居国际同类实验室的前列。” 　　打造“测试、技术、研究”三位一体的实验室，从事质谱仪器研发 　　在谈到中心的总体发展情况时，王晨女士转述了中心主任刘敦一研究员的看法：“北京离子探针中心如果仅作为一个测试平台，其功能是有限的，要发挥它的巨大作用，我们就应当坚持测试、技术、研究这三方面并行发展的策略。通过测试业务，我们了解到科学家们对SHRIMPⅡ的性能有哪些方面要求，进而中心的技术人员对仪器进行改进，然后仪器使用者再使用，并给予反馈。如此反复，我们仪器相关技术水平越来越高，而这方面水平的提高也促进了中心的研究工作。所以测试、技术、研究这三方面是相互促进的，三者的融合让我们有可能实现各种革新与突破。” 　　“中心现在主要从事的研究有：从事地质年代学和宇宙年代学研究 进行必要的矿物微区稀土地球化学研究 解决重大地球科学研究课题中的时序问题，特别是太阳系和地球的形成及早期历史研究 主要造山带的构造演化研究 地质年代表研究 大型和特殊矿床成矿时代研究 发展定年新技术新方法等。” 　　“除此之外，中心还从事科学仪器研发。中心主任刘敦一研究员认为：科学仪器自主研发能力的重要性再明显不过。一个国家如果没有独立自主的科学仪器研发能力，其科学技术的发展不可能领先，其工业、农业创新体系不可能形成，独立自主的国防体系不可能建立，因而科学仪器自主研发能力是关系到国家安全和民族发展的大事。目前北京离子探针中心承担了《二次离子质谱仪器核心技术及关键部件的研究与开发》项目，正从事二次离子质谱(SIMS)及飞行时间(TOF)串联质谱的若干关键技术和关键部件的研究。” 　　王晨女士(中)向仪器信息网工作人员介绍SHRIMPⅡ 　　附录：北京离子探针中心 　　http://www.bjshrimp.cn/

继美国RHK Technology公司推出的革命性扫描探针显微镜控制平台R9取得大成功之后，其研发团队通过升软硬件及功能隆重发布新一代R9plus控制器。基于特的单箱集成，R9plus将无限的灵活性，精心设计的实用功能和高的设备稳定性巧妙结合在一起。R9plus细化和扩展的固件、软件，以及进一步优化的模拟电路提供给用户优越的性能和体验。 相比于R9控制器，升后的R9plus（图1）特点主要有：全新的FPGA固件构架大地提高了配置灵活性，对于高测量提供有60多个可用的数据通道，数据流和扫描速度均提高5倍，模拟电路噪声水平降低到原来的1/4，锁相放大器的解调带宽增加至100KHz，一个控制器可以运行两个立的扫描探针显微镜（SPM）和设置任意密度的网格点进行图谱测量等。图1：R9plus便捷的单箱集成 图2：R9plus更低的噪声水平 R9plus允许高质量图像和谱图数据的采集。利用R9plus采集扫描隧道谱图，即网格谱线数据，允许实时显示10条阈值谱线（图3）。谱线的每个像素点可以单显示和分析。谱线数据可以取平均值用于与衬底的噪声进行比较。图3：硅的网格扫描隧道谱图 R9plus对于原子力显微镜（AFM）的控制也有大的优势。先，其多个内部集成的锁相放大器可以探测针-样品间非线性相互作用机制；其次，通过表征非接触原子力显微镜（Non-contact atomic force microscope）和频率调制开尔文探针显微镜（Frequency-modulated Kelvin probe microscope）结合技术中的边带振幅，NC-AFM锁相环（phase lock loop）的带宽可以与开尔文测试分离，由此可以更快地扫描且噪声更低。再次，两个锁相环可以同时立地测试双探针NC-AFM。后，提供一个切换开尔文探针不同模式的开关键，且可以同时测量2*?Bias and 3*?Bias由此得到 dC/dZ和dC/dV信号。图4：边带频率调制开尔文测量噪声较低 R9plus基本功能可被初学者快速掌握，使用方便，同时R9plus的灵活性又适用于高用户，可突破限制，灵活设计更加符合实验需求的功能和模式。对于任何别的用户体验和简单或苛刻实验步骤的任何阶段，R9plus以其完全充分整合的内部电路、直观的图形用户界面，易于定制的硬件描述语言，高的数据完整性，有利的诊断工具，低的噪音和高的速度为用户提供有力的支持。 相关产品：RHK-R9扫描探针显微镜控制器：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100980/C159539.htm

据紫金港资本官微消息，近日，国内先进晶圆探针台制造商深圳市森美协尔科技有限公司（以下简称森美协尔）完成新一轮的近亿元融资。本轮融资由紫金港资本领投，前海嘉翔、深圳高新投等多家机构参与完成。本轮融资将主要用于森美协尔全球市场拓展和技术研发。森美协尔成立于2010年，专注于高性能晶圆探针台的自主研发，服务主要包括半导体芯片测试解决方案和标准型半导体测试设备两大类，可满足晶圆厂、芯片设计公司和科研院校等不同领域应用需求。曾两次引领国内半导体测试设备潮流，率先推出国内首台拥有自主知识产权的高低温真空探针台和激光修复机，填补了国内半导体测试设备空白。据悉，此前森美协尔已经获得深圳高新投、华登国际等多家投资机构的数轮投资。

我国引进的第一台NanoSIMS 50L型纳米离子探针验收会于近日在中国科学院地质于地球物理研究所召开。中国科学院地质于地球物理研究所副所长吴福元研究员为组长的专家组认真听取了法国CAMECA公司纳米离子探针设计师、Franç ois Hillion博士所作的验收报告。专家组对仪器的验收指标有关问题进行了提问，一致认为该仪器的技术参数不仅全部达到合同要求，大部分还优于合同要求的验收指标。 纳米离子探针 　　纳米离子探针具有极高的空间分辨率(Cs+源束斑小于 50nm，O-源束斑小于200nm)，与我所已有的CAMECA ims 1280高精度离子探针互补，构成国际上非常先进的的离子探针分析平台。新引进的NanoSIMS 50L型纳米离子探针配置了7个信号检测器(每个配置法拉第杯和电子倍增器)，可以同时测量7个同位素(或元素)，分析精度好于千分之一。该仪器可以分析除稀有气体以外，元素周期表中从H至U的全部同位素(元素)，并能获取同位素分布的高分辨图像。纳米离子探针的引进，为我国比较行星学、地球科学、材料科学、以及生命科学等领域提供了新的大型实验分析平台。

磁随机存储器（Magnetic random access memory，MRAM）是一种利用读取磁阻大小为原理的新型非易失性（Non-Volatile）随机存储器，与其他存储技术相比，MRAM在速度、面积、写入次数和功耗方面能够达到较好的折中，被业界认为是构建下一代非易失性缓存和主存的潜在存取器件之一。因此，近些年来MRAM引起了不少科研机构和企业的关注，相应的高端测试设备需求也随之增加，而Hprobe公司生产的IBEX-300晶圆超快三维磁场探针台为一个不错的选择。 IBEX-300晶圆超快三维磁场探针台 与传统的探针台相比，IBEX-300是专门用于晶圆片在磁场下的表征和测试的仪器。它基于技术的三维磁场发生装置来进行超快的磁阻测试，整个测试过程全自动完成，可以根据用户的测试需要来自定义测试程序，为磁性器件（传感器和存储器）的开发、工艺和生产带来了完整的测试解决方案。 主要应用方向：磁性隧道结磁随机存取存储器集成磁传感器(Hall, GMR, TMR)智能传感器 主要测试模式：开路/短路 测试AC/DC I-V, R-V 测试AC/DC 击穿电压测试读/写脉冲测试R-H 角度/幅值 回线测试误码率测试器件循环和稳定性测试 三维磁场发生装置超快磁场扫描 三维磁场发生装置可以实现各磁场空间轴的立驱动，也可以控制磁场在任意空间方向，以及产生旋转磁场等。磁场的扫描采样速率可由静态磁场控制到幅值超过10,000步/秒。 测试程序界面良率测试结果示意图 目前Hprobe公司已经向全球多个半导体工厂交付了IBEX-300三维磁场探针台，同时面向客户开放部分样品测试。

仪器信息网讯 2022年4月2日，和林微纳公布“天衡会计师事务所（特殊普通合伙）关于苏州和林微纳科技股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函的回复（2021年度财务数据更新版）”，通知显示，和林微纳本次拟募集资金总额超过5亿元，主要用于MEMS工艺晶圆测试探针研发量产项目和基板级测试探针研发量产项目的设备投资和研发费用。其中用于设备投资的金额预算约4.5亿元。公示信息截图项目一："MEMS 工艺晶圆测试探针研发量产项目"本项目设备投资主要系购置配套生产设备与研发设备所产生的支出。生产设备与研发设备的数量，系基于该项目预计需求而确定；设备的价格，主要参照相同或类似规格/型号设备的市场价格，并结合公司历史采购经验测算得出。部分设备投资的具体明细及主要设备用途如下：项目一："基板级测试探针研发量产项目"本项目设备投资主要系购置配套生产设备与研发设备所产生的支出。生产设备与研发设备的数量，系基于该项目预计需求而确定；设备的价格，主要参照相同或类似规格/型号设备的市场价格，并结合公司历史采购经验测算得出。部分设备投资的具体明细及主要设备的用途如下：

html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 8寸探针台（SEU-ZB-220931）采购公告 江苏省-南京市 状态：公告 更新时间： 2023-02-14 招标文件: 附件1 附件 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容：探针台 开标时间：2023-03-07 00:00 预算金额：116.00万元 采购单位：东南大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：江苏省华采招标有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 8寸探针台（SEU-ZB-220931）采购公告 江苏省-南京市 状态：公告 更新时间：2023-02-14 招标文件: 附件1 附件

html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 8寸探针台(第三次)（SEU-ZB-220931(第三次)）采购公告 全国 状态：公告 更新时间： 2023-04-19 招标文件: 附件1 附件 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容：探针台 开标时间：2023-05-12 00:00 预算金额：116.00万元 采购单位：东南大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：江苏省华采招标有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 8寸探针台(第三次)（SEU-ZB-220931(第三次)）采购公告 全国 状态：公告 更新时间： 2023-04-19 招标文件: 附件1 附件

岛津电子探针用户高级应用培训&mdash &mdash 杭州站 电子探针作为微区形貌观察与元素定性定量分析完美结合的仪器，随着国内日益提高的分析测试要求，市场需求量也逐步扩大，从上世纪八九十年代的年均1-2台，到近几年的年均十余台。 为与中国用户共同提高应用水平，岛津公司全球应用开发中心EPMA高级应用工程师&mdash 加藤治彦先生于3月15-18日在中国石油杭州地质研究院进行了钢铁、地质行业复杂样品的应用培训。在为期4天的培训中，针对钢铁、地质行业复杂样品从理论知识到上机操作进行了系统学习。在最后阶段的客户实际测试中，都取得了满意的分析结果，培训效果得到客户的积极肯定。 据悉，本次培训是岛津电子探针高级应用培训的第一站，今后将应客户的需求，陆续在用户现场进行专业化、能够保证每个人培训效果的小规模培训班。 电子探针是什么仪器？ 电子探针利用高能（典型的加速电压为1～40kV）的聚焦电子束（典型的电子束直径为1mm或更细）照射试样的表面，从而在微米级的区域内激发出大量携带着各种信息的量子信号，如用于定性、定量分析的特征X射线，用于形貌观察的二次电子，用于利用有效原子序数进行成分分析和形貌分析的背散射电子，用于价带电子结构研究的阴极发光等等。结合电子束扫描和／或样品台扫描，电子探针还可以对样品的表面进行数十微米至10厘米的区域的扫描分析，可以提供此区域内的元素成分定性、定量分析及其分布的信息。 目前最先进的电子探针的二次电子像分辨率为5～6纳米，放大倍数可从低倍至几十万倍。电子探针的元素成分检测灵敏度可达10-6量级，可分析的元素为5B~92U（选用特殊的分光晶体，亦可分析4Be）。 电子探针具备一套与电子光学系统共分析点的光学系统，可以直接地对样品的分析区域和分析点进行观察并确定分析位置。该光学系统的观察结果有别于以形貌观察的二次电子图像，尤其对磨制成金相样品或矿物薄片的试样来说更为方便和准确。 电子探针的检测方式为晶体分光后的X射线强度检测的波谱仪，有别于扫描电镜上先检测后分光的X射线能谱仪。前者比后者具备更高的检测分辨率，一些钢铁和矿石中常见的能谱仪很难分辨的元素（如S和Mo，以及稀土元素的分量）在波谱仪中却可以非常简便地得以分析。 因此，电子探针在科研、工业产品开发、质量管理及生产在线检查方面发挥着重要的作用。 岛津电子探针的特色 岛津公司作为专业的分析仪器生产厂家，从1960年生产出首台电子探针以来，不断追求高品质，于2010年推出新品EPMA-1720，经实际安装使用后，获得用户好评。 ◆完美设计的X射线分光器可以实现高灵敏度· 高精度分析 X射线取出角决定分析性能，52.512潞' type="#_x0000_t75" 高取出角更胜一筹 分光晶体采用全聚焦Johanson（约翰逊）型晶体 最多可配置5台高灵敏度· 高分率兼备的4英寸分光器 ◆只需鼠标即可完成所有动态操作，大大提高了分析工作效率 ◆简单的日常维护，免去后顾之忧 资料索取

01MFM（Magnetic Force Microscopy，磁力显微镜）磁力显微镜（Magnetic Force Microscopy，MFM）是一种专门用于成像样品表面的磁性分布的扫描探针显微镜，通过探针和样品之间的磁力相互作用来获得信息。MFM应用MFM主要用于研究材料的磁性特征，广泛应用于物理学、材料科学、电子学等领域。常见的应用包括：磁记录介质：研究硬盘、磁带等磁记录设备的磁性结构和缺陷；磁性材料：分析磁性薄膜、纳米颗粒、磁性多层膜等材料的磁畴结构；生物磁性：研究生物组织中天然存在的磁性物质，如磁性细菌。应用实例在自旋存储研究中，以斯格明子的研究为例，传统的磁存储单元受限于材料性质，显著影响自旋存储的高密度需求。斯格明子是一种具有拓扑性质的准粒子，其最小尺寸仅为3nm，远小于磁性隧道结，是理想的信息载体，有望突破信息存储密度的瓶颈。下图为通过MFM表征获取的斯格明子图像。[1]标准斯格明子M-H曲线 斯格明子图像在磁盘研究中，通过MFM可以获取磁盘表面的高分辨率磁性图像，详细了解其磁畴结构和分布情况。MFM具有高空间分辨率和灵敏度，为磁盘材料的研究和优化提供了重要的数据支持。下图展示了通过MFM测试获取的磁盘表面磁畴结构图像。电脑软盘磁畴图像02PFM（Piezoresponse Force Microscopy，压电力显微镜）压电力显微镜（Piezoresponse Force Microscopy，PFM）是一种用于研究材料压电性质的扫描探针显微镜，利用探针与样品表面之间的逆压电效应来成像和测量材料的压电响应。材料由于逆压电效应产生形变示意图 [2]PFM应用PFM广泛应用于材料科学和电子学领域，尤其是在研究和开发新型压电材料和器件方面。具体应用包括：铁电材料：研究铁电材料的畴结构、开关行为和退极化现象。压电器件：分析压电传感器、致动器和存储器件的性能。生物材料：研究生物组织中的压电效应，例如骨骼和牙齿。应用实例具有显著的压电效应，即在外加机械应力作用下产生电荷。这使其在超声波发生器、压电传感器和致动器中具有重要应用。在研究PbTiO3样品时，通过PFM，可以获取PbTiO3表面的高分辨率压电响应图像，详细了解其畴结构和分布情况，为PbTiO3材料的研究和优化提供了重要的数据支持。下图展示了通过PFM测试获取的PbTiO3样品表面压电力图像。PbTiO3垂直幅度图PbTiO3垂直相位图03EFM（Electrical Force Microscopy，静电力显微镜）静电力显微镜是一种用于测量成像样品表面的电静力特性的扫描探针显微镜。EFM通过探针与样品表面之间的静电力相互作用，获取表面电荷分布和电势信息。静电力显微镜（抬起模式）[3]EFM应用EFM广泛应用于材料科学、电子学和纳米技术等领域，常见的应用包括：电荷分布：测量和成像材料表面的电荷分布。表面电势：研究材料表面的电势分布和电特性。半导体器件：分析半导体器件中的电特性和缺陷。纳米电子学：研究纳米级电子器件的电性能。应用实例Au-Ti条带状电极片静电力04KPFM（Kelvin Probe Force Microscopy，开尔文探针力显微镜）KPFM是一种通过探针与样品之间的接触电势差来获取样品功函数和表电势分布的扫描探针显微镜。KPFM广泛应用于金属、半导体、生物等材料表面电势变化和纳米结构电子性能的研究。KPFM 获取 Bi-Fe薄膜样品表面电势 [4]KPFM应用KPFM在材料科学、电子学和纳米技术等领域具有广泛的应用，常见的应用包括：表面电势分布：测量和成像材料表面的局部电势分布。功函数测量：研究材料的功函数变化，特别是对于不同材料的界面和缺陷。半导体器件：分析半导体器件中的电势分布和电学特性。有机电子学：研究有机半导体和有机电子器件的表面电势。应用实例Au-Ti条带状电极片表面电势05SCM（Scanning Capacitance Microscopy，扫描电容显微镜）扫描电容显微镜（Canning Capacitance Microscopy，SCM）是一种用于测量和成像样品表面的电容变化的扫描探针显微镜。SCM能够通过探针与样品表面之间的电容变化，提供高分辨率的局部电学特性图像。这种显微镜适用于研究半导体材料和器件的电学特性，如掺杂浓度分布、电荷分布和界面特性等。SCM在半导体工艺和材料研究、故障分析以及器件优化中发挥着重要作用。通过SCM，研究人员能够获得纳米尺度的电学特性信息，从而推动半导体技术的发展和创新。SCM原理示意图 [5]SCM应用SCM主要应用于半导体材料和器件的研究，广泛应用于电子学和材料科学领域。具体应用包括：掺杂分布：测量和成像半导体材料中的掺杂浓度分布。电荷分布：研究半导体器件中的电荷分布和电场。材料特性：分析不同材料的电容特性和介电常数。06致真精密仪器自主研发的原子力显微镜科研级原子力显微镜AtomEdge产品介绍利用微悬臂探针结构对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征，纵向噪音水平低至0.03 nm(开环），可实现样品表面单个原子层结构形貌图像绘制。可以测量表面的弹性、塑性、硬度、黏着力、磁性、电极化等性质，还可以在真空，大气或溶液下工作，在材料研究中获得了广泛的使用。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境：空气、液相● 多功能配置● 稳定性强● 可拓展性良好典型案例晶圆级原子力显微镜Wafer Mapper-M产品介绍利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征。样品台兼容12寸晶圆，电动样品定位台与光学图像相结合，可在300X300mm区域实现1μm的定位精度，激光对准，探针逼近和扫描参数调整完全自动化操作。可用于产线，对晶圆粗糙度进行精密测试。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境：空气、液相● 可旋转式扫描头● 多功能配置● 稳定性强、可拓展性良好典型案例参考文献：[1]Li S, Du A, Wang Y, et al. Experimental demonstration of skyrmionic magnetic tunnel junction at room temperature[J]. Science Bulletin, 2022, 67(7): 691-699.[2]Kalinin SV, Gruverman A, eds. Scanning Probe Microscopy: Electrical and Electromechanical Phenomena at the Nanoscale. Springer 2007.[3] https://www.afmworkshop.com/products/modes/electric-force-microscopy[4] https://www.ornl.gov/content/electrostatic-and-kelvin-probe-force-microscopy[5] Abdollahi A, Domingo N, Arias I, et al. Converse flexoelectricity yields large piezoresponse force microscopy signals in non-piezoelectric materials[J]. Nature communications, 2019, 10(1): 1266.本文由致真精密仪器原创，转载请标明出处致真精密仪器拥有强大的自主研发和创新能力，产品稳定精良，多次助力中国科研工作者取得高水平科研成果。我们希望与更多优秀科研工作者合作，持续提供更加专业的技术服务和完善的行业解决方案！欢迎联系我们！致真精密仪器一直以来致力于实现高端科技仪器和集成电路测试设备的自主可控和国产替代。通过工程化和产业化攻关，已经研发了一系列磁学与自旋电子学领域的前沿科研设备，包括“原子力显微镜、高精度VSM、MOKE等磁学测量设备、各类磁场探针台、磁性芯片测试机等产线级设备、物理气相沉积设备、芯片制造与应用教学训练成套系统等”等，如有需要，我们的产品专家可以提供免费的项目申报辅助、产品调研与报价、采购论证工作。另外，我们可以为各位老师提供免费测试服务，有“磁畴测试”、“SOT磁畴翻转”、“斯格明子观测”、“转角/变场二次谐波”、“ST-FMR测量”、“磁控溅射镀膜”等相关需求的老师，可以随时与我们联系。

为进一步促进国内电子探针新技术发展和交流、拓展电子探针新技术应用，中国地学界电子探针分析技术平台2023年度交流会于6月2日-6月3日在中国地质科学院京区地质科研实验基地顺利举行。本次会议由中国地质科学院矿产资源研究所（以下简称“资源所”）承办，资源所宋扬副所长出席会议并讲话，中国地质调查局科技外事部康磊副处长、资源所周剑雄研究员、南京大学张文兰教授级高工、中国有色桂林矿产地质研究院有限公司董事长/党委书记朱景和同志、中国科学院地质与地球物理研究所陈意研究员等作为特邀嘉宾出席会议。本次会议共有19位来自国内外地学界电子探针的专家报告各自的最新研究成果，其中有5个是特邀报告，包括4个来自国外专家和1个国内专家的特邀报告。来自美国威斯康辛大学的John Fournelle通过视频连线方式作了题为“EPMA: Three easy-to-make errors”的线上报告，来自美国俄勒冈大学的John Donovan作了题为“Best Practices in Modern EPMA Microanalysis”的线上报告，来自瑞士伯尔尼大学的Pierre Lanari作了题为“Quantitative compositional mapping by EPMA”的线上报告，来自美国密苏里大学-堪萨斯城分校的赵东高教授来到现场作了题为“Quantitative electron probe microanalysis of strategic uranium mineral resources: analytical procedures and standard reference materials”的报告，来自中国科学院地质与地球物理研究所陈意研究员在现场作了题为“面向月球和行星科学研究的电子探针分析技术”的报告。其他报告的内容包括电子探针技术方法和应用的最新进展，主要涉及超轻元素分析、微量元素分析、变价元素分析、稀土矿物分析、新矿物分析研究、标样研发等。另外还有5个来自显微分析仪器厂商的最新产品和分析技术报告。本次会议采用线下参会+线上直播同时进行的方式，吸引来自全国有关高校、科研院所、显微分析仪器厂商60余人现场参会，同时有累计4000余人通过学术直播平台参与会议。本次会议使得地学界电子探针分析技术平台的影响力进一步扩大，对国内电子探针技术的发展和交流起到了重要的促进作用。 当前，自然资源部和中国地质调查局正在紧锣密鼓的实施新一轮找矿突破战略行动，同时推进构建以星空地海井多维、高分辨率、高精度探测观测监测“三测体系”为突破口的现代化地质调查技术体系，打造国家地质调查科技创新“火车头”。资源所正在深入学习贯彻党的二十大精神，认真落实全国自然资源工作会议和中国地质调查局工作会议部署，以“地质找矿重大突破的引领者，矿产资源安全保障的支撑者”为使命，聚焦铜、铁、钾盐、锂等紧缺战略性矿产，加大制约找矿突破的关键科学问题和“卡脖子”技术难题的攻关，以科技创新引领推动实现找矿新突破。矿产资源研究所的矿物研究室是国内最早引进电子探针仪器并开展相关研究的实验室之一。经过几十年来实验室研究人员和技术人员的不懈努力，在利用电子探针进行基础地质和矿床地质研究、微束分析标准化研究等方面都取得了许多重要的成果。矿物室近年来承担了《系统矿物学》修编、《中国矿物志》研编、国家重点研发计划项目课题、自然科学基金项目、地质调查项目以及白云鄂博找矿勘查等不同类型的项目，地调、科研和横向项目齐头并进，并且都取得了不错的成果。在川西甲基卡、湖南仁里、江西宜丰、冀北窟窿山等稀有金属矿床中，通过详细的矿物学研究示踪成岩成矿过程，并提出了硬岩型锂铍铌钽资源工艺矿物学评价指标体系；在白云鄂博，不但取得了铁和萤石找矿的突破，还发现了新矿物“白鸽矿”；另外，实验室在技术研发方面也一直积极探索，在金红石、石英微量元素分析、铀矿物电子探针测年、铍矿物电子探针分析、稀土矿物电子探针分析等方面都建立了自己的方法。实验室仪器使用效率一直保持国内领先，为所内外的科研和生产提供了重要的支撑作用。本次会议上，我国电子探针领域著名的先驱级人物，也是资源所矿物室的元老周剑雄老师也来到了现场并讲话。周老师对矿物学的热爱和电子探针技术发展的关切激励着我国年轻的电子探针工作者不断努力进取。矿物学是矿产资源研究领域重要的基础学科，电子探针分析技术是支撑矿物学发展的核心关键技术，是矿物学、岩石学、矿床学、地球化学、天体学和其他相关学科领域必不可少的研究工具。随着国家对基础研究和矿产勘查的高度重视，相信矿物学和电子探针分析技术共同进入了前所未有的发展机遇期，相信在新时代基础地质研究和新一轮找矿突破战略行动中，电子探针分析技术也将进一步发挥重要作用。中国地学界电子探针分析技术平台自2019年建立以来，得到众多同行的支持和广大用户的欢迎；2020年平台启动交流会在地学电子探针界引起巨大反响，2022年的技术交流会更是吸引了累计4500余人通过学术直播平台观看会议；而本次会议采用了线下+线上联合的方式，一方面方便现场的充分交流，另一方面也方便了更多人的参与，极大加强了技术人员和科研人员之间的经验交流和信息共享。捷欧路（北京）科贸有限公司、岛津企业管理（中国）有限公司、牛津仪器科技（上海）有限公司、布鲁克（北京）科技有限公司、超微动力科技（香港）有限公司、北京普瑞赛司仪器有限公司、北京金竟科技有限责任公司、北京格微仪器有限公司、北京中科矿研检测技术有限公司等多家厂商和公司代表参加了本次会议。厂商人员和技术、科研人员之间的交流通过本次会议也得到了增强。（供稿：陈振宇、孔维刚）会议合影周剑雄老师致辞陈振宇研究员主持会议开幕式会场情况

扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope，SPM）的发展历史是一段引人注目的科学进步历程，奠定了纳米科学和纳米技术的基础。自20世纪80年代以来，SPM的出现和保存，不仅使科学家能够以原子和分子的精度观察和操控材料，还推动了许多相关领域的研究。以下是SPM发展关键里程碑：1980年代初 - 扫描隧道显微镜（STM）的发明1981年：德国物理学家格尔德宾宁（Gerd Binnig）和海因里希罗雷尔（Heinrich Rohrer）在 IBM 苏黎世研究实验室发明了扫描隧道显微镜（STM）。STM 的发明标志着扫描探针显微镜技术的开端。[1]宾宁罗雷尔世界上第一台扫描隧道显微镜[2]1986年：宾宁和罗雷尔因发明 STM 获得诺贝尔物理学奖。他们的工作证明了 STM 可以以原子级分辨率成像，从而开启了对物质结构的新认识。1989年：IBM科学家展示了一项能够操纵单个原子的技术。他们使用扫描隧道显微镜，将35个单个氙原子排列在镍冷晶体基板上，拼出了公司首字母缩写的三个字母。这是原子首次被精确地定位在平面上。[3]用 35 个氙原子拼写出“IBM”1980年代中期 - 原子力显微镜（AFM）的发展1986年：格尔德宾宁、卡尔文夸特纳（Calvin Quate）和克里斯托弗格贝尔（Christoph Gerber）发明了原子力显微镜（AFM）。AFM 可以在非导电材料上工作，扩展了 SPM 技术的应用范围。[4] AFM 利用探针与样品表面之间的范德华力进行成像，可以在真空、空气和液体环境中操作，因此在材料科学和生物学研究中具有广泛的应用。第一台原子力显微镜原子力显微镜原理图1990年代 - 扫描探针显微镜的扩展与多样化1. 磁力显微镜（MFM）：磁力显微镜（MFM）在20世纪80年代末至90年代初被发明，通过使用带有磁性涂层的探针，测量探针与样品表面磁力相互作用，实现了纳米尺度高分辨率磁畴成像。这一创新使研究人员能够深入了解材料的磁性特性。低温强磁场磁力显微镜在微结构缺陷中的研究2. 静电力显微镜（EFM）：静电力显微镜（EFM）由斯蒂芬库尔普斯（Stephen Kalb）和霍斯特福尔默（Horst F. Hamann）在20世纪80年代末至90年代初发明，通过带电探针测量静电力变化，实现纳米尺度高分辨率电学成像。EFM被广泛应用于研究半导体材料、电荷存储器件和纳米电子学等领域。3. 近场扫描光学显微镜（NSOM 或 SNOM）：近场光学显微镜（NSOM）由埃里克贝茨格（Eric Betzig）和约翰特劳特曼（John Trautman）在20世纪80年代末至90年代初发明。NSOM使用带有亚波长孔径的光纤探针，通过限制光在极小区域内并扫描样品表面，获取高分辨率的光学图像，广泛应用于材料科学、生物学、化学和半导体研究等领域。NSOM的一般原理2000年代至今 - SPM 技术的进一步发展和应用1. 高分辨率和高灵敏度：随着探针技术、控制系统和数据处理技术的发展，SPM 的分辨率和灵敏度不断提高。2. 多功能化探针：开发出具有特定化学、机械、磁性或力学性质的探针，使得 SPM 可以进行更为多样化的表征和操作。3. 多模式成像：结合多种成像模式，可以同时获得样品的多种性质信息。结合多种模式的扫描探针显微镜4.晶圆级成像：随着集成电路规模的急剧增加，需要对大型样品成像。加工在晶圆上的芯片5. 在生物学中的应用：SPM 在生物分子和细胞研究中的应用越来越广泛，可以直接观测生物大分子的结构和动力学过程。未来展望扫描探针显微镜的技术仍在不断发展，新的技术和应用不断涌现。由致真精密仪器研发的多功能原子力显微镜和晶圆级原子力显微镜支持大尺寸样品的表征，并集成集成磁力、压电力、扫描开尔文以及液相等多物性分析功能，具有极低的噪声水平，并具备基于深度学习的智能化数据处理分析。致真精密仪器未来将继续致力于更高分辨率、更快的成像速度和更强的多功能化的SPM设备研究，以满足科学研究和工业应用的需求。致真公司自主研发的多功能原子力显微镜AtomEdge集成AI的智能分析算法 高度及粗糙度、宽度、粒子智能分析参考文献：[1] Binnig, G., & Rohrer, H. (1982). Scanning tunneling microscopy. Surface Science, 126(1-3), 236-244.[2] https://commons.wikimedia.org/wiki/File:First_STM.jpg[3] https://en.wikipedia.org/wiki/IBM_%28atoms%29[4] Binnig, G., Quate, C. F., & Gerber, C. (1986). Atomic force microscope. Physical Review Letters, 56(9), 930-933.本文由致真精密仪器原创，转载请标明出处. 致真精密仪器一直以来致力于实现高端科技仪器和集成电路测试设备的自主可控和国产替代。 致真精密仪器通过工程化和产业化攻关，已经研发了一系列磁学与自旋电子学领域的前沿科研设备，包括“产品包含原子力显微镜、高精度VSM、MOKE等磁学测量设备、各类磁场探针台、磁性芯片测试机等产线级设备、物理气相沉积设备、芯片制造与应用教学训练成套系统等”等，如有需要，我们的产品专家可以提供免费的项目申报辅助、产品调研与报价、采购论证工作。另外，我们可以为各位老师提供免费测试服务，有“磁畴测试”、“SOT磁畴翻转”、“斯格明子观测”、“转角/变场二次谐波”、“ST-FMR测量”、“磁控溅射镀膜”等相关需求的老师，可以随时与我们联系。

经过我司科技人员半年多的技术攻关，成功开发出太阳能电池高性能瞬态光电压/光电流测试系统，适用于钙钛矿结构、量子点结构和有机结构等太阳能电池测试。该系统采用特殊设计的低噪音放大电路确保该测试系统具有极高的灵敏度。同时考虑到材料的弛豫时间与太阳能电池结电容和取样电阻的相关性，采用优化的硬件设计方案确保了信号测量的真实性和完整性，带探针的样品仓夹使得更换样品和电学互联非常方便，基于Labview的测试软件可实时采集数据/图像显示功能。此外，采用外部调制的固体激光器而非昂贵飞秒激光器产生脉冲光（最短脉宽仅7ns）使得该测试具有高性能的前提下成本大大降低。 瞬态光电流/光电压测试系统 光电压测试模块和光电流测试模块 带探针的样品仓夹

2023 年6月2-3日，中国地学界电子探针分析技术平台2023 年度交流会在北京成功举办。本次会议由中国地学界电子探针分析技术平台主办，中国地质科学院矿产资源研究所（以下简称“资源所”）承办，邀请了国内外电子探针分析专家为此次会议发表最新研究成果，内容包括电子探针技术方法的最新进展，及其在地球和行星科学前沿研究中的应用。岛津企业管理（中国）有限公司（以下简称“岛津”）积极参与，并作为首位报告厂商发表报告。交流会在资源所电子探针实验室负责人陈振宇老师的主持下拉开帷幕，随后资源所宋扬副所长致欢迎辞，宋副所长提到电子探针等微区分析技术在国家矿产资源调查及新一轮战略找矿行动中的重要性，并强调科研工作者需要加强实验技术方法开发，任重道远。会议现场岛津分析计测事业部市场部廖鑫博士发表了题为《岛津EPMA产品介绍及地学应用分享》的会议报告。报告中分享了电子探针的基本原理及功能、岛津EPMA产品的技术特点以及在超清元素、微量元素、高分辨率图像分析方面的应用案例。岛津市场部廖鑫博士发表报告《岛津EPMA产品介绍及地学应用分享》会议期间岛津设立的展台展示了在电子探针方面的特色技术及应用解决方案。并与现场学者及同学就学术问题进行了讨论交流。岛津展台全体合影本文内容非商业广告，仅供专业人士参考。