透射电镜原位电学分析系统——纳米尺度原位电学成像分析解决方案透射电镜原位电学分析系统在先进材料科学、纳米技术开发、半导体器件开发及失效分析中发挥着至关重要的作用,能够为研究纳米尺度材料及器件提供电学性能分析支撑。该系统能够适配所有具备外部扫描控制接口的透射电镜,通过深度集成的硬件及软件协同,能够实现对所有电学信号的放大、获取及分析,每个信号均能够实现自动量化,覆盖µ A/nA/pA等电流范围。该系统主要技术优势・ 采集系统兼容所有带有外部扫描接口的透射电镜(与EDS或EELS类似)・ 所有放大和采集设置均由软件控制・ 信号自动量化并以电流值(µ A, nA, pA)显示硬件设备特点・ 快速放大优化成像・ 宽增益范围,以适应所有技术・ 小型化的固定式电子设备・ 自动信号路由为透射电镜原位电学样品杆设计的低噪声前置电流放大器 主要技术优势:・ 最靠近原始信号的初级放大,能大幅降低信号噪音・ 内置电压偏压和电流补偿・ 自动信号路由,避免放电为透射电镜配备的电学分析放大器 主要技术优势:・ 第二级放大以达到最大范围・ 出厂精确校准的增益和偏移・ 可选锁定配置电学分析成像仪(DISS6) 主要技术优势:・ 集成扫描发生器和图像采集・ 像素分辨率高,扫描速度快 ・ 高位深电学分析模数转换・ 同时输入明场, 高角环形暗场和电学分析信号软件设备特点:DISS6 -控制和采集应用程序 主要技术优势:・ 电学分析放大器控制・ 电学分析, 高角环形暗场和明场图像采集・ 自动定量到µ A…fA・ 电流-电压扫描工具・ 实时图像颜色混合工具・ 标准文件格式DIPS6 -数据处理程序 主要技术参数:・ 完整的图像和元数据查看器・ 自动定量到µ A…fA・ 基于梯度的变色效果・ 用于可视化的信号颜色混合・ 导出定量像素值 应用案例图一. STEM-EBIC技术:・ 非弹性损失诱导了片层中的电子-空穴对・ 内部电场将电子-空穴对分开・ 电流被数字化以获得电子束诱生电流(EBIC) STEM图像图二. 揭示内部电场:・ 分析器件中的接点和触点・ 根据设计验证掺杂分布 ・ 与设备模型和参数相关联图三. 研究每一层结构中的电学性能:・ 定位重组活性增加的位点・ 区分有/没有电学活动的缺陷・ 使用高分辨率技术图四. 基本物理参数测定:・ 少数载流子的扩散长度・ 位错的复合强度图五. FIB/SEM薄片制备:・ 应用标准FIB工作流程进行原位偏压・ 利用扫描电镜中的电学分析视场选择目标・ 在扫描电镜中筛选薄片以观察制备过程中的损伤
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