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无掩模激光直写光刻系统
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无掩模激光直写光刻系统相关的方案
通过激光直写技术制造光子设备:SEM如何作出贡献
光子设备被广泛应用于自然科学中,用于制造,操作和探测光。在未来,制造先进的光子设备将是一种挑战,并需要灵活性和可调谐性。因为它们需要先进的三维光刻技术, 制造这些设备并非易事。激光直写技术(DLW)是一种有趣的方式,它的目标是运用液态晶体光刻胶作为感光材料。
超弱反射光纤布拉格光栅阵列的飞秒激光逐点直写大规模制备
超弱反射光纤布拉格光栅阵列的飞秒激光逐点直写大规模制备,这里展示了一种使用飞秒激光逐点直写(PbP)技术制造耐高温 UWFBG 阵列的新方法。目前,国内研究者已经实现了、使用飞秒激光加工系统透过光纤涂层直写刻写 PbP,实现了在传统单模光纤 (SMF)中成功制造出峰值反射率低至 ∼ - 45 dB(相当于 ∼0.0032%)的 UWFBG超弱反射光纤光栅。
采用热扫描探针光刻和激光直写相结合的方法快速制备点接触量子点硅基晶体管
1、高分辨和高直写精度 (XY: 高可达10nm, Z: 1nm)以及高直写速度(20mm/s 与EBL媲美);2、实时形貌探测的闭环刻写技术;3、无需标记拼接与套刻;4、避免对基底材料的损害;5、使用和维护成本低,易操作.
MicroWriter ML3无掩膜激光直写光刻机制备分子微纳机电芯片,助力新冠病毒快速检测
由于许多疾病相关生物标志物的浓度超低,所产生的信号往往会被其他高浓度分子所产生的信号所干扰,因此从生物流体中进行超低浓度样品(每100 μ L中有1到10份)的检测一直是医学/生物分析领域的一个难题。近日,复旦大学魏大程教授课题组使用小型台式无掩膜光刻机- MicroWriter ML3制备了基于石墨烯场效应管的分子微纳机电芯片解决了这一难题。所制备的芯片实现了对低浓度离子,生物分子和新冠病毒(每100 μ L中有1到2份)的快速检测。使用该芯片对新冠病毒进行检测时,仅需鼻咽样本即可,无需RNA提取和核酸扩增,四分钟内就可得到检测结果。相关研究论文已在国际知名期刊《Nature Biomedical Engineering》(IF=25.7)上发表。
准分子激光器及离子激光器在FBG刻写方向上的应用
在FBG以及其他布拉格光栅刻写领域,先锋科技可提供深紫外准分子激光器、深紫外连续激光器、深紫外准连续脉冲激光器以及超快直写平台。无论是掩膜干涉刻写、全息刻写、深紫外直写、超快直写,先锋科技都可为您提供性能优越稳定、使用成本优化的激光器
氦质谱检漏仪电子束光刻机检漏
上海伯东客户某光刻机生产商, 生产的电子束光刻机 Electron Beam Lithography System 最大能容纳 300mmφ 的晶圆片和 6英寸的掩模版, 适合纳米压印, 光子器件, 通信设备等多个领域的研发及生产. 经过伯东推荐采购氦质谱检漏仪 ASM 310 用于电子束光刻机腔体检漏.
MC方案:实时监控由于环境光暴露引起的光刻胶膜的光谱灵敏度
通常,普通光刻胶的光谱灵敏度范围从DUV到光谱的短波VIS部分。 如果没有合适的黄色/橙色滤光片,人造光和日光都会在几秒钟内使涂有光刻胶层的基材曝光,从而使可重复的光刻工艺变得不可能。 在我们的研究中,研究了在显微镜玻璃上涂覆的?3μ m厚的AZ5214光致抗蚀剂上的标准室内曝光量。
利用MProbe Vis系统进行光刻胶厚度测量
使用MProbe-Vis系统可以轻松测量光刻胶厚度。实际上,任何光刻胶都可以快速可靠地测量:烧结或部分烧结,薄的或厚的。尽管如此,第一次测量可能会令人困惑——光致抗蚀剂的类型和处理条件多种多样。本应用说明试图通过烧结和两个部分烧结的光致抗蚀剂样品来阐明测量过程。使用500nm-1000nm波长范围进行光致抗蚀剂测量,以最小化吸收的影响。
采用千赫兹重频多模激光泵浦光学参量振荡器构成的CH平面激光诱导荧光成像系统性能
采用千赫兹重频多模激光泵浦光学参量振荡器构成的平面激光诱导荧光成像系统对燃烧火焰中的CH自由基的浓度的空间分布进行了测量。测量CH自由基所需的431nm波长处的单脉冲输出能量达到了6mJ。
瑞典百欧林:光刻胶薄膜的溶涨性能研究
采用具有耗散功能的石英晶体微天平(QCM-D)和红外光谱技术研究了不同类型光刻胶薄膜的溶涨性能及其影响因素。
易科泰空陆双基激光雷达系统:重塑城市绿化管理的智慧之钥
易科泰空陆双基LiDAR系统,凭借自主研发的UAS 8旋翼无人机平台与国际尖端LiDAR技术的深度融合,创新性地集成了移动测量吊舱,构建了一套集多功能、多平台于一体的LiDAR解决方案。该系统灵活多变,能够无缝切换于Ecodrone无人机与车载平台之间,同步采集同一区域的低空与地面移动测量数据,实现了空陆联动的全方位覆盖。通过结合高分辨率激光扫描与精准定位技术,该系统能够生成完整、无死角的城市地物三维点云数据,为智慧城市建设、三维建模、精准城市规划及高效绿化管理等领域提供了强有力的数据支持,推动了城市管理的智能化与精细化进程。
红外光谱法分析光刻胶的主成分
光刻胶是微电子制造的核心材料之一,具有极高的技术壁垒,其成分配方工艺对光刻产品的性能具有重大影响。本文探索建立红外光谱定性分析光刻胶主要成分的方法,通过测试烘干光刻胶溶剂前后的红外光谱图,结合标准谱库和官能团分析等手段,可获得光刻胶中主要成分信息。该法具有分析速度快、操作简单、成本低和结果可靠等优势,可作为分析光刻胶成分的手段之一。
应用MALDI-8030检测光刻胶中酚醛树脂的分子量
本文应用基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪(MALDI-TOF)对光刻胶样品进行分析,采用反-2-[3-(4-叔丁基苯基)-2-甲基-2-亚丙烯基]丙二腈(DCTB)基质,在正离子模式下进行数据采集,结果显示,在m/z 1-3600范围内,检测到一系列不同聚合度的质谱峰,相邻质谱峰平均相差约120 Da,与酚醛树脂单体-(C8H8O)n-分子量相符,聚合物质谱分布模式与酚醛树脂理论结构式相符。结果表明MALDI-TOF适用于光刻胶中酚醛树脂的分子量表征和合成情况确认,分析过程具有无需复杂前处理、分析速度快、分析成本低的特点。
氦质谱检漏仪光刻机检漏
上海伯东客户日本某生产半导体用光刻机公司, 光刻机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成光刻机的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求, 为了方便进行快速检漏, 采购伯东 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310.
飞秒激光预处理结合PM技术透过光纤的聚合物涂层直写FBG在LMA光纤和双包层光纤厚包情况下的应用
使用 飞秒激光脉冲和结合PM 技术通过 SMF 的丙烯酸酯聚合物涂层和低 NA 透镜(40 mm 柱面透镜)刻写 FBG 新方法。 只有对丙烯酸酯聚合物涂层进行适当的飞秒预光处理后,才能实现透过聚合物涂层的光纤光栅刻写;最终可以实现透过光纤的丙烯酸酯聚合物涂层写入的高质量 FBG,在 SMF 中的中心布拉格波长约为 1548.5 nm 时、传输损耗为 -30 dB。 最终测量的波长对应变的灵敏度约为 0.8 pm/με,测量的波长对温度的灵敏度约为 10.7 pm/°C,这些数据与去除涂层刻写FBG的灵敏度非常相似 。 实验表明:采用低NA透镜透过聚合物涂层刻写FBG的预光处理的新方法可能为在LMA光纤和用于激光应用的双包层光纤中刻写FBG提供新的生产方法。
使用激光红外成像对源自塑料瓶的微塑料进行快速、大面积直接分析——使用 Agilent 8700 LDIR 激光红外成像系统直接分析 红外反射玻片和镀金滤膜上的颗粒
我们使用 Agilent 8700 LDIR 激光红外成像系统对红外反射玻片和镀金滤膜上源自聚对苯二甲酸乙二醇酯 (PET) 瓶的微塑料进行了分析。使用 8700 LDIR 对颗粒进行直接分析的方法适用于对环境样品中的微塑料进行常规检测。该 LDIR 方法采用简单的实验设计,实现了相当高的鉴定准确度。与其他技术相比,该方法不仅可以节省大量时间,而且非专业操作人员也能轻松使用。
LCMS-QTOF用于光刻胶中感光树脂轮廓分析
树脂是光刻胶的主要成分之一,本文采用岛津高效液相色谱—四极杆飞行时间质谱联用系统,建立了光刻胶中酚醛树脂的轮廓分析方法。光刻胶原液经四氢呋喃稀释,C18色谱柱分离,LCMS-QTOF正负离子模式同时采集,LabSolutions Insight Explore软件解析。结果显示,该树脂正离子模式以[M+NH4]+、[M+Na]+为主,负离子为[M-H]-峰,是一种以甲酚或二甲酚为起始,二甲酚或三甲酚为延长单元的聚合物,端聚合度(DP)2-10。该方法灵敏度高,分离度好,适用于光刻胶树脂成分分析。
Agilent 8700 LDIR 激光红外成像系统用于药物多晶型的快速鉴别和分类
同一分子的不同晶型具有不同的物理化学性质(如溶解度、热力学稳定性、生物相容性和疗效),因此,对活性药物成分 (API) 的多晶型表征十分必要。了解多晶型形成的条件和化学性质是保证药物性能一致性和产品质量控制的关键。红外 (IR) 光谱常用于鉴定不同的药物晶型,Agilent 8700 LDIR 激光红外成像系统可快速鉴定和区分固体制剂中的多种晶型。
共聚焦显微镜+光刻胶+形状
共聚焦显微镜和干涉仪是常用的表面形状测量仪器,具有无损,高精度等特点。然而对于基板上的透明薄膜的凹凸形状,对于较薄的膜(1um上下),测量是受到基板反射光的影响,会导致测量失败。如,在测量Si晶圆上的光刻胶的形状时。为解决上述问题,我们推荐反射分光法,测量光刻胶的膜厚,从而得到表面形状信息。
纳米粒子光刻需要高度有序的粒子沉积
考虑使用纳米微球光刻技术的人都会很快注意到制备胶体掩膜的一些问题。乍一看,似乎在固体基底上获得纳米颗粒只是将固体浸入到纳米粒子溶液中。对于某些应用来说,这种做法可能是正确的,但对于纳米微球的光刻技术来说,这几乎是不可能成功的。如果要想形成均匀的单层纳米颗粒,则需要一个可控性更好的制备技术。LB膜沉积技术则是首选的方法。
利用激光二极管进行光输出功率的建模方法
本文提出了一种激光二极管光输出功率的建模方法,包括其对温度的依赖性。本研究使用的设备是一个40W的Monocrom二极管,发射波长为808nm的光,带有一个19个发射器的CS安装激光板条,使用Monocrom的夹紧方法安装。本研究的目的是提出激光二极管器件的Pspice模型,主要关注光学输出功率随温度的变化,并允许其计算机模拟。还要建立一个表征系统,以获得光学模型数学表达式所需的参数值。因此,本文解释了所提出的激光条形二极管光输出功率模型生成方法及其参数值的获取方法、光输出功率测量装置及其校准、所获得的Pspice模型及其仿真,以及能够获得具有短上升时间电流斜率的必要参数的表征系统。最后,给出了评价结果和相关结论。
Agilent 8700 LDIR 激光红外成像系统鉴定和检测药物片剂的盐交换
片剂中的活性药物成分 (API) 需保持其化学形态(酸、碱或盐)以使药物达到预期疗效。由于不合格的包装和/或环境条件,API 常常从酸或碱转化为盐(反之亦然)。这些不期望的转化会严重影响片剂的溶出度、稳定性和生物利用度。Agilent 8700 LDIR 激光红外成像系统可以检测和鉴定片剂中的盐交换,是故障排除和制剂开发研究的一种快速有效的工具。
利用空间无烧孔增益的本质稳定高功率单纵模激光器
激光器的一个基本优势是能够在单个光学模式中产生大量光子,但由于称为空间空穴燃烧的不稳定性机制,这只能在一小部分设备中实现。在这里,我们利用受激散射增益介质的空间无空穴燃烧特性,在普通驻波腔中演示了单纵模(SLM)操作。在不使用额外的模式选择元件的情况下,展示了具有多瓦特电平输出功率和80MHz频率稳定性的连续波金刚石拉曼振荡器。通过考虑斯托克斯功率与增益介质中热引起的光程长度变化的耦合,来解决模式稳定性问题。该结果预示着一种新的方法可以极大地扩展SLM激光源的功率和波长范围,并具有在强度噪声和亚肖洛-汤森线宽中实现亚泊松的潜在优势。
氦质谱检漏仪脉冲激光沉积系统 PLD 检漏
脉冲激光沉积系统 PLD脉冲激光沉积系统 Pulsed laser deposition 是制备高通量多晶薄膜, 外延薄膜和多层异质结构和超晶格结构的物理气相沉积设备, 通常需要保证本底真空度达到 10-8mbar, 同时高真空环境对系统配置的 RHEED 及温控系统等关键设备的寿命也至关重要.
上海伯东普发涡轮分子泵组脉冲激光沉积系统应用
脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition, PLD),是一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上, 得到沉淀或者薄膜的一种手段. PLD 系统由多个真空腔体组成,整个系统需要超高真空且不能引入任何杂质,对环境的清洁度要求较高,必须配备无油干泵和分子泵抽真空。由于各个辅助腔体体积较小, 因此特别适合使用 pfeiffer Hicube 系列分子泵组. 伯东公司销售维修的 Pfeiffer 分子泵组因其结构紧凑体积小,清洁无油(前级泵配备干泵)、抽速快、极限真空度高达10-11mbar等优点一经上市好评如潮。
液体颗粒计数器在光刻胶颗粒管控中的应用
为了减少光刻胶中的颗粒数量,我们可以采取以下措施:1. 选择质量优良的光刻胶,并在使用前进行严格的的质量检测,确保光刻胶的颗粒数量在允许范围内。2. 确保操作环境清洁,定期进行环境清洁和检测,使用无尘手套等工具,减少环境中的颗粒对光刻胶的污染。3. 采取正确的操作流程,如使用前对光刻胶进行充分搅拌、储存和运输,确保光刻胶的质量稳定。4. 使用滤网、滤芯等过滤设备,对光刻胶进行过滤,进一步减少光刻胶中的颗粒数量。光刻胶中的液体颗粒管控方案,对于提高芯片的质量和性能有着重要的作用。通过选择优质的光刻胶、保持操作环境的清洁、采取正确的操作流程,以及使用过滤设备等措施,可以有效减少光刻胶中的颗粒数量,提高产品的质量和性能。希望这个短视频能帮助大家更好地了解光刻胶中的液体颗粒管控方案。
研究论文集(理论篇)--论文四:棒状和片状颗粒在激光粒度仪中的等效粒径(一)
任何粒度测试设备测得的非球形颗粒的粒径都是等效粒径。棒状和片状颗粒是两种比较典型的非球形颗粒,本文研究这两种颗粒在激光粒度仪中的等效粒径。论文四--立论和计算模型,是本文的第一部分,主要介绍激光粒度测量系统,棒状和片状颗粒光散射问题的近似处理方法,以及相应的数学推导。
激光粒度仪测试乳糖颗粒粒度方法学研究
建立激光衍射法测定乳糖粉体颗粒粒度的方法学。方法:采用丹东百特 Bettersize 2600 激光粒度分析仪,配置全自动干法分散系统,对不同的乳糖粉体粒度测试进行了系统研究;通过测试不同分散压力下药物颗粒的粒径,系统考察分散能量对粒度测量结果的影响。结论:通过比对,最终确认干法分散能够较好地控制风险,数据相关性也更加合理。
激光粒度仪测试中药粉体颗粒粒度方法学研究
建立激光衍射法测定多种中药粉体颗粒粒度的方法学。方法:采用丹东百特 Bettersize2600 激光粒度分析仪,配置全自动干法 & 湿法分散系统,对不同的中药粉体粒度测试进行了系统研究;湿法对浸润和分散等因素进行了考察,而干法通过测试不同分散压力下药物颗粒的粒径,系统考察分散能量对粒度测量结果的影响。结论:通过比对,最终确认干法分散风险更低,数据相关性也更加合理。
易科泰推出 GeoDrone ®激光雷达无人机遥感技术方案—海岸带及水深测量
GeoDrone®激光雷达无人机遥感技术方案基于易科泰自主研发的UAS-8旋翼无人机平台,搭载Navigator测深激光雷达系统,可扩展搭载高光谱及Thermo-RGB红外热成像传感器,实现多源传感器同步观测,提高作业效率。搭载的Navigator雷达采用532nm的绿色激光器,可同时测量陆地及水下地形,一键绘制地形及水床。系统内置集成了高清RGB镜头及高精度惯导系统,可获取精度优于3cm的真彩色点云数据。Nagivator测深激光雷达结构紧凑、操作简便,可轻松测量海岸线、河流或湖泊,提供高效、精准、安全的解决方案。
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