主动振动与运动消除系统

欧库睿因主动隔振台：为各型科学仪器实现主动隔振产品概述欧库睿因主动式隔振技术，高精度设备的完美展现！自从高分辨率测量和制造技术达到纳米尺度以来，振动就一直是一个重要问题。有效消除振动干扰是获得精确和可重复测量结果的关键。解决方法是将仪器与振动源隔离开来。典型的振动来源可能是： 建筑物和地面的振动(垂直：5-30 Hz, 水平：0.5-10 Hz) 声学振动(20 Hz) 机动设备和机器(10-500 Hz)主动隔振的基本原理是通过产生反作用力对干扰振动进行主动补偿。精选范例欧库睿因主动隔振系统的工作原理应用设备和承载台面由弹簧支撑。其目的是实现主动隔振所需的浮动状态。承载台面可以向各个方向移动。在工作状态中，桌面上的应用设备与环境振动隔离。振动由极其灵敏的压电式加速度计检测。传感器输出信号由控制电路进行分析和处理，控制电路驱动电动执行器，电动执行器实时产生对抗振动的反作用力。主动隔振在6个自由度内有效。主要特征■ 相比于气浮式隔振台，主动隔振台没有低频共振，即使在低频范围内也有出色的隔振性能。■ 超快的稳定时间：低至0.3秒(普通被动隔振台的稳定时间为30秒至60秒)。■ 主动隔振台带宽0.6/1Hz 至200Hz (远超被动隔振台)。 ■ 6个自由度主动隔振。■ 真正的主动隔振：及时产生反作用力来抵消振动。■ 操作简单-按钮式解决方案。■ 设计紧凑，安装简便。■ 高度的位置稳定性-1Hz 时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。■ 接电即可，无需压缩空气。■ 适用于将高分辨率测量设备与建筑振动隔离。■ 广泛的适用范围：拥有标准化产品和用户定制产品。 VarioBasic 40搭配成像椭偏仪i4 Large搭配3D轮廓仪欧库睿因i4 系列桌面式主动隔振系统i4i4 Mediumi4Large尺寸400x500x90mm500x600x90mm550x700x92mm载重0-120kg0-105kg或40-150kg0-105kg 或40-105kg

Nano系列 小型主动隔振平台产品概述欧库睿因主动式隔振技术，高精度设备的*美展现！自从高分辨率测量和制造技术达到纳米尺度以来，振动就一直是一个重要问题。有效消除振动干扰是获得精确和可重复测量结果的关键。解决方法是将仪器与振动源隔离开来。典型的振动来源可能是： 建筑物和地面的振动(垂直：5-30 Hz, 水平：0.5-10 Hz) 声学振动(20 Hz) 机动设备和机器(10-500 Hz)主动隔振的基本原理是通过产生反作用力对干扰振动进行主动补偿。精选范例欧库睿因主动隔振系统的工作原理应用设备和承载台面由弹簧支撑。其目的是实现主动隔振所需的浮动状态。承载台面可以向各个方向移动。在工作状态中，桌面上的应用设备与环境振动隔离。振动由极其灵敏的压电式加速度计检测。传感器输出信号由控制电路进行分析和处理，控制电路驱动电动执行器，电动执行器实时产生对抗振动的反作用力。主动隔振在6个自由度内有效。主要特征■ 相比于气浮式隔振台，主动隔振台没有低频共振，即使在低频范围内也有出色的隔振性能。■ 超快的稳定时间：低至0.3秒(普通被动隔振台的 稳定时间为30秒至60秒)。 ■ 主动隔振台带宽0.6/1Hz 至200Hz (远超被动隔振台)。■ 6个自由度主动隔振。■ 真正的主动隔振：及时产生反作用力来抵消振动。■ 操作简单-按钮式解决方案。■ 设计紧凑，安装简便。■ 高度的位置稳定性-1Hz时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。■ 接电即可，无需压缩空气。■ 适用于将高分辨率测量设备与建筑振动隔离。■ 广泛的适用范围：拥有标准化产品和用户定制产品。VarioBasic 40搭配成像椭偏仪i4 Large搭配3D轮廓仪Nano系列小型主动隔振平台专为小型和轻型应用而设计Nano 20Nano 30尺寸204x204x69mm300x400x75mm 载重0-8kg5-25kg或10-30kg

TMC 主动振动与运动消除系统光学平台Stage-Base 450 主动振动及运动隔离系统 为了满足放置在振动隔离系统上的半导体设备的极具挑战的要求，TMC继续推进技术进步来开发新的解决方案。Stage-Base&trade 450是新一代的集成音圈技术的主动硬装压电陶瓷振动消除系统。只有TMC可以提供这种带有用于运动平台振动隔离的音圈电机的独特先进低频串行隔振技术。 Stage-Base 450是专门设计用于具有高精度电动x-y平台的先进半导体工具的主要振动隔离系统。这种仪器需要非常高效的振动隔离，同样他们也要求通过快速设置移动平台来减小负载从而极大的提高工具产量。新一代主动控制系统在STACIS iX的基础上，包括TMC的STACIS技术，应用压电陶瓷驱动器和在串行结构中添加刚性的悬架来实现最 da化的振动隔离。这使得地板的隔振频率从0.6Hz开始，并且在响应阶段力时显著减小了初始偏差，这在业内是无与伦比的。由于用于快速设置调节时间来进一步增加生产量的前馈控制音圈电机的加入，使其成为用于运动平台应用的先进的主动振动和运动隔离系统。特点：1、包含独特的STACIS技术2、采用可扩展的压电陶瓷致动器3、负载的位置可重复性在微米范围内4、可安装的框架设计5、6自由度6、可选的音圈电机前馈或反馈7、主动隔振从0.6赫兹开始8、快速的调节时间来响应平台运动9、没有气浮支撑10、通过USB2.0与电脑的图形用户界面GUI连接的高速数字控制器11、简单、鲁棒性强，性价比高应用案例：

SEM-Base VI是TMC STACIS主动压电振动消除产品系列的新一代产品。SEM- Base VI设计用于承载所有商业扫描电子显微镜（SEMs）、多数聚焦离子来显微 镜（FIB）及小型双尤来设备。SEM-Base VI可以提供升级版的振动隔离性能及更快更强劲的控制器，带有高级图形用户界面（GUI）。SEM-Base VI让越来越多的实验室、工厂可以实现能够满足其关键设备所要求的地面振动水平。SEM-Base VI采用独特串联结构，振动传感器测量的是地面振动，不是负载振动。这样就确保了负载谐振将不会限制平台的振动隔离或者引起不稳定性。振动传感器采用低频惯性速度传感器，在测量亚Hz振动时具有很大的敏感度。加上TMC独特的压电致动技术，SEM-Base VI即使在振动情况已经很好的地面上也可以实现超高水平的振动消除。相比之前的SEM-Base版本，SEM-Base VI的振动隔离能力平均来说增加了6dB，而且采用了TMC新一代控制器DC-2020，采用新式双核处理器，为设备拥有者及研究者提供非常简单易于使用的图形用户界面，可以快速进入系统并实现平和的操作心态。当通过Ethernet连接时，DC-2020在用户的浏览器上即可实现SEM-Base图形用户界面，无需额外安装软件或者应用程序。当然用户也可以通过控制器的菜单驱动液晶屏（LCD）直接进行控制。TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base VI优势:硬式装载技术SEM-Base VI兼容 SEM 内部预装的任何隔振系统，从0.6Hz开始主动强力消减地面低频振动。主动惯性振动消除SEM-Base VI采用高灵敏度的低频惯性速度传感器，即使在安静的地面上也可以达到高水平的振动衰减。串行设计与压电技术独特串行设计加上高强度压电专利技术，SEM-Base VI不但达到了宽至0.6Hz-150Hz的主动带宽，更实现了无与伦比的惯性主动振动消除，2Hz以上的振动衰减可达 90%以上。完全集成式的单平台设计SEM-Base VI设计与制造的集成化，将安装平台的工作简化，简单的定位与设置之后即可正常工作。NOTE：可选SEM-Closure，专门设计用于保护SEM的完整环境解决方案。在SEM- Closure密封隔音室内可兼顾放置 SEM-Base VI与Mag-Net X，保护SEM免除振动、磁场扰动与声波噪音的影响TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base VI特点：STACIS专利技术主动惯性振动清除系统895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)适合绝大多数商业SEM负载能力：408-1134kg (900-2500 lb.)隔振效率1Hz:40-70% 隔振效率经2Hi:90% 隔振效率＞3Hz:90-98%6个主动自由度安装容易，调试简单兼容所有设备内直的振动隔离系统电源：100-240VAC, 50/60Hz, 600W是否需要空气：非气浮系统CE与RoHS认证完全集成式的单平台设计可安装脚轮，轻松便携移动，无需搬运兼容SEM-lift系统SEM-Base VI 性能规格：Active degrees of freedom6Active bandwidth0.6 Hz - 100 HzPassive natural frequency12 Hz nominalEffective active resonant frequency0.5 HzIsolation at 1 Hz40% - 70%Isolation at 2 Hz90%Isolation at ≥3 Hz90-98%Internal noise0.1 nm RMSOperating load rangeStandard capacity: 900 - 2,500 lbs (408 - 1134 kg)High capacity: 2,500 - 3,200 lbs (1134 - 1452 kg)Static lift capacity12,000 lbs (5454 kg)Magnetic field emittedat maximum 4 in.(102 mm)from the platform0.02 μG broadband RMS隔离器设计，尺寸，环境和实用要求Environmental and safetyCE and RoHS compliantActive isolation elementshigh-force piezoelectric actuators that receive signalfrom a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDCPassive isolation elementsingle stiff elastomer (no compressed air supply required)Vibration sensor elementsdownward facing geophone type inertial sensorsthat measure floor vibration below the isolatorand deliver voltage proportional to the velocity of vibration motionActive feedback control loopFloor vibration is measured, processedand attenuated below the springsupporting the isolated surfaceDimensions (WxD)35.25 x 44.25 in.895 x 1124 mmHeight6.3 in. (160 mm) nominal,doesn' t change when SEM-Base is switched offOperating temperature50° - 90° F10° - 32° CStorage temperature-40° - 130° F-40° - 55° CHumidity (operating)30 - 60%System power requirements100, 120, 230, 240 VAC50/60 Hz AC 600 WCE compliantFloor displacement800 μin. (20 μm) below 10 Hz内置控制器规格Processor150/75 MHz dual coreSampling rate10 kHzAnalog outputs16 channelsAnalog inputs16 channelsStatus lightsingle LEDFront panel ports1x serial USB 2.01x serial Micro-USB1x Ethernet RJ-452x BNCUser interfaceFront panel LCD displayCharacter menu on HyperTerminalExtended GUI for Microsoft WindowsEmbedded Ethernet GUI性能曲线：1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)产品尺寸：现场图片：

LM-10Y全自动振动时效仪企业环境-济南利美机电科技有限公司主要从事振动时效设备、超声冲击设备和应力检测设备的科技研发和生产销售。是一家集技术研发、自主生产、销售安装、服务维护于一体的高新技术企业。产品涉及焊接、铸造、锻压、机加工等多个领域。公司始终坚持"品质创造市场，服务赢得口碑"的经营理念，不断加强市场运作和品牌建设，树立良好的公司形象。长期坚持科技进步增强了公司的发展后劲。公司产品齐全，技术水平先进，可根据广大客户的不同需求，提供针对性的产品。产品服务-优良的产品和完善的售后服务体系是公司发展的必备条件。公司具有设计、研发、生产、销售、售后等多个部门。严格的管理制度、高素质的研发团队、先进的生产工艺和全面的质量监测体系，为客户提供最优质的产品和最完善的服务。并且为国内外客户提关于应力消除和应力检测的解决方案。　　 经营理念- 公司严格贯彻"诚信行天下"的经营宗旨，以优质产品、专业技术、高效服务不断提升公司的市场竞争力。努力打造国内领先品牌！。构件经过焊接、铸造、锻造、机械加工等工艺过程，在其内部产生了残余应力，它极大地影响了构件的尺寸稳定性、刚度、强度、疲劳寿命和机械加工性能，甚至会导致裂纹和应力腐蚀。去应力就是降低残余应力，使构件尺寸的精度稳定。目前时效的方法主要有三种，自然时效、热时效、振动时效。自然时效是最古老的方法，它是把构件置于室外，让其经过气候、温度的反复变化，在反复温度应力作用下，使残余应力松弛、尺寸精度获得稳定。一般认为，经过一年自然时效的工件，残余应力仅下降2～10％，但是却较大地提高了工件的松弛刚度，因而工件的尺寸稳定性很好。但因其时间太长，一般不在实际生产中采用。热时效是传统的时效方法，它是利用热处理当中的退火技术，通常是将工件加热到500～650℃进行较长时间的保温后再缓慢冷却至室温。在热的作用下通过原子扩散及塑性变形使内应力消除。从理论上讲采用热时效时，只要退火温度和时间适宜，应力可以完全消除。但在实际生产中通常认为最好可以消除残余应力的70～80％，与此同时它能造成工件材料表面氧化、硬度及机械性能下降等缺陷。因此，人们一直在研究更好的方法来消除残余应力。振动时效是在上个世纪初期产生并发展起来的消除应力新方法。即工件在激振器所施加的周期性外力作用下产生共振，松弛残余应力，获得尺寸精度稳定性。也就是在机械的作用下，使构件产生局部的塑性变形，从而使残余应力得到释放，以达到降低和调整残余应力的目的。但机械作用使应力消除的程度是有限的，不可能完全消除。因此振动时效往往是把应力降低（主要是降低残余应力峰值）和重新分布作为主要目的。振动消除应力是对构件施加一交变应力，如果交变应力幅与构件上某些点所存在的残余应力之和达到材料的屈服极限时，这些点将产生塑性变形。如果这种循环应力使某些点产生晶格滑移，尽管宏观上没有达到屈服极限，也同样会产生微观的塑性变形，况且这些塑性变形往往是首先发生在残余应力最大点上，因此使这些点受约束的变形得以释放从而降低了残余应力。这就是用振动时效可以消除残余应力的机理。振动时效之所以能够部分地取代热时效，在实际当中被广泛应用，是与该项技术具有的一些明显的优越特征分不开的。1、投资少适用性强。与传统的热时效相比它无需庞大的时效炉，现代工业中的大型铸件与焊接件越来越多也越来越大，如采用热时效消除应力则需建造大型时效炉，不仅造价昂贵、利用率低，而且炉内温度很难均匀，消除应力效果差。采用振动时效可以完全避免这些问题。因此，目前对长达几米至几十米的桥梁、船舶、化工器械的大型焊接件和重达几吨至几十吨的超重型铸件，较多地采用了振动时效。2、生产周期短效率高。热时效往往需要经过数十小时的周期方能完成，而振动时效一般只需数十分钟即可完成。而且，振动时效不受场地限制可减少工件在时效前后的往返运输。如将振动设备安置在机械加工生产线上，不仅使生产安排更加紧凑而且可以消除加工过程中产生的应力。3、使用方便。振动时效设备体积小、重量轻，便于携带，我国目前生产的激振器可振动处理300吨以下的工件，但振动装置本身仅重几十公斤。正是由于振动处理不受场地限制，振动装置又可携至现场，所以这种工艺与热时效相比，使用简便，适应性较强，可安排在任何工序之间也可多次进行。4、节约能源，降低成本，无废渣、废气及辐射等污染。在工件的共振频率下进行时效处理，耗能极小。实践证明，功率为0.25至1马力的机械式激振器可振动150吨以下的工件。其能源消耗仅为热时效的3～5％，成本仅为热时效的8～10％。加之热时效时均需要以煤、油等做为燃料不可必免地要排出大量的废渣、废气等不能够满足越来越高的环保要求。故振动时效已逐渐成为去应力的第一选择。5、机械性能显著提高。经过振动时效处理的工件其残余应力可以被消除20～80％左右，高拉应力区消除的比低应力区大。可提高使用强度和疲劳寿命，而且从根本上防止了金属在热时效过程中产生的翘曲变形、氧化、脱碳及硬度降低等缺陷。还可以提高构件抗变形的能力，稳定构件的精度，提高机械质量。实践证明，振动时效适用于碳素结构钢、低合金钢、不锈钢、铸铁、有色金属（铜、铝、锌及其合金）等材质的铸件、锻件、焊接件及机加工件的应力消除。现在的振动工艺装备如图所示：它是将一个具有偏心重块的电机系统(激振器)用卡具安放在工件上并将工件用胶垫等弹性物体支承，如图所示。通过主机控起动电机并调节其转速，使工件处于共振状态。一般工件经15-30分钟的振动处理即可达到调整残余应力的目的。简介：激振器是工件共振的共振源，激振器的好坏关系到整套设备的使用寿命，我公司的激振器均采用稀土永磁高速直流激振器，这种激振器具有良好的启动性和调速性，控制电路稳定具有较大的转矩，通过PWM脉宽调制技术在0-10000r/min的转速范围内，可轻松将转速精度控制在±1rpm的范围，激振器使用高强度合金材料制造，重量轻，便于搬运操作，激振器的轴承使用了防止跑外圈结构，经久耐用，且安全性更高。激振器内连接导线采用特殊结构，能够在高频率共振工作状态下长期使用。特性：稀土永磁激振器，原装偏心箱，稳速精度±0.5--±1r/min，10-50KN可选，发热量小、持久耐用，使用寿命长等优点。激振器配置参数：（根据您工件的大小选择合适吨位的激振器）型号配置参数 LM-10Y K1 LM-10Y K2 LM-10Y K3LM-10Y K4LM-10Y K5最大激振力（KN）1020304050调速范围（r/min）1000-100001000-80001000-80001000-8000500-6000可处理工件重量（T）0～100～200～500～1000～500电机功率（W）12001200150022003500传感器JZ-10型传感器采用高强度、高灵敏度设计、配有强磁吸附在工件上，测试工件的共振强度，在液晶显示器上用加速度表示出来。传感器一般安装在工件远离激振器的振幅较大（波峰）处。安装加速度传感器有两点需要注意：一是方向性，加速度传感器的安装面要和振动方向垂直，否则检测不到振动；其次安装的位置，传感器要安装在远离激振器且振幅较大处，也就是要安装在共振时的波峰位置，如果安装在振幅较小处即波谷处的话，在找共振点时就会出现漏掉共振频率的可能性。屏蔽线：连接控制器与传感器，为加速度信号传输线，连接处设计精密使用时请小心连接。夹具：把工件牢牢的夹在被时效的工件上，我公司配套的两个夹具采用了弓形螺纹结构，最大开口175MM，材质为铸钢型，装夹方便牢固。橡胶垫：橡胶垫主要起到工件隔振的作用，防止激振器电机作用在工件上面的动应力往大地下面传输，使工件更容易起振。标准配套四个，每个最大承载10吨重量，如现场工件过大可用圆/方木或是废旧轮胎隔震，同样可以达到理想的效果。五芯电缆线：我公司使用的五芯线为专业厂家定做的五芯电缆，有个别厂家使用胶皮管穿线，北方地区由于四季温差较大，尤其是冬天使用时胶皮管很容易被冻得僵硬，无法弯曲，进而造成胶皮管粹化内部电线很快受损，使用寿命大大缩短。而我公司定制的五芯电缆，在相对恶劣的环境下依然可以正常使用不会出现粹化现象，内部电线采用国标2.5平方制作而成，1-2角为电枢输出，3-4-5角为测速信号线。测速装置：测试激振器电机的运行速度r/min，此备件为易损件，损坏的原因是：设备长时间使用造成测速板上污物沉积，发光二极管透不过光导致转速信号故障。配置名称数量备注控制器 一台液晶全自动型激振器 一台永磁激振器传感器 一套橡胶垫四个175mm夹具 两个铸钢型五芯电缆线一根屏蔽线一根电源线一根8mm内六角扳手两把测速装置两套易损件-公司终生免费送碳刷两个 公司终生免费送打印纸两卷热敏打印纸说明书一份合格证一份保修卡一份装箱单 一份A:手动模式B:半自动模式C:全自动模式A、手动运行模式手动运行模式除了对工件的手动时效外，一般还用于对新工件或特殊形状工件的处理，以检查对工件的支撑、激振器位置、传感器位置及激振力大小合适与否；利用手动模式能够随意的控制激振器的升降速的功能，可以迅速的找到工件的频谱分析频率及频谱谐波的大小。B、半自动运行模式在已知工件时效频率的情况下，根据工件的重量任意设置时效时间及时效频率，设备自动进入半自动运行模式。等设备自动运行完毕停止后，按（打印键）可将a—t曲线及数据打印出来，以备长久保存。C、全自动运行模式全自动运行模式可分成四步完成：1: 振前扫频：设备自动寻找工件的共振峰，并把振前a-n过程曲线存储起来，由分析程序确定激振频率，过程和曲线会显示在液晶屏上。2：时效处理：设备自动进行，根据之前设置的加工时间对工件进行时效处理，过程和曲线会显示在液晶屏上并把a-t时效曲线存储起来。3: 振后扫频：设备自动对处理后的工件进行振动扫描，并把振后a-n曲线存储起来，过程和曲线会显示在液晶屏上。4：自动判定工艺结果，打印时效曲线：把扫描分析曲线a-n和时效加工曲线a-t在液晶显示屏上同时显示出来，并自动判定时效结果。按控制面板上的打印机键就会把所有加工程序全部打印出来，供对比、判断和留存。安装及服务质量方针： 以质量求生存，以诚信求发展，造一流产品，送一流服务。努力实现产品的高品质和零缺陷，保证向顾客提供100%的合格产品。质量保证： 保证所提供的振动时效设备符合JB/T5926-2005国家标准和行业标准要求。服务承诺： 1、接到用户来电来函后，在2小时内作出实质性响应，在设备保修期期间出现故障的，省内不迟于24个小时、跨省不超过48小时内到达用户现场连续进行维修，直至故障完全排除，设备完全恢复正常为止。 2、 设备在用户投用前，我公司将派出专业技术人员进行培训指导，直到操作者熟练操作认可为止。 3、 保修期内，我们将定期回访用户，回馈产品使用情况，帮助用户解决使用上、维护上的技术问题。 4、 质保期后所需零部件按优惠价格供应。现场实拍图片（图片均为我公司技术人员实拍，禁止转载用于其它目的）

TMC主动消振系统Stage Base 450TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主动消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能，它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定，以最大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM，可以缩短稳定时间，进一步提高吞吐量，从而为移动平台应用提供最先进的主动振动和运动消除系统。TMC主动消振系统Stage Base 450的优势Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种独特的高级低频消振串行型技术，通过使用音圈电机（VCM），实现了主动移动平台运动消除。Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术，使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了卓越的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内最佳地面隔振，响应于平台力的初始偏转明显更小。TMC主动消振系统Stage Base 450规格●采用独特的STACIS技术●采用高力、加长行程的压电致动器●有效载荷的位置可重复性在微米以内●框架安装设计●6个主动自由度●可选的VCM前馈和/或反馈●始于0.6 Hz的主动隔振●响应平台运动的快速稳定时间●无软空气悬架●通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面（GUI）的高速数字控制器●简单、坚固且经济高效TMC主动消振系统Stage Base 450性能应用照片

TMC STACIS III 主动隔振系统光学平台STACIS ® III 是一种灵活的**主动隔振系统。STACIS 采用的惯性振动传感器、复杂的控制算法和* 进的压电致动器，通过连续测量地板活动，然后膨胀和收缩压电致动器以滤除地板运动来实时消除振动。STACIS 最初设计用于隔离**半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现在是噪声环境中最敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究。STACIS III 包括一个新的和改进的数字控制器，DC-2020。凭借新的双核处理器和以太网以及前后面板的 USB 串行端口，这种新的高级控制系统为用户提供了现代且易于使用的图形用户界面 (GUI)。STACIS 在全球范围内成功安装了数百次，是适用于对振动*敏感的仪器的理想隔振系统。 优点：STACIS 的硬度是空气隔振器的数百倍，不受空气隔振系统的任何限制。没有“软”悬架，而且与主动空气系统不同，STACIS 可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方，两个系统都经过全面优化。*特的串行设计和专有的高压压电技术 可实现从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽活动带宽和真正主动隔振，从 2 Hz 开始可减少 90% 的振动。性能规格主动自由度6个有效带宽0.6 赫兹 - 150 赫兹被动固有频率18 赫兹垂直和水平有效主动谐振频率0.5赫兹1 Hz 时的隔离40% - 70%≥2 Hz 时的隔离≥90%10 磅（4.5 千克）阶跃输入后的稳定时间（10:1 减少）0.3秒内部噪音0.1 纳米均方根每个隔离器的工作负载范围低容量：182-500 千克（400-1100 磅）中容量：410-955 千克（900-2100 磅）高容量：864-2045 千克（1900-4500 磅）刚度（1000 磅/454千克质量，中等容量隔离器）40,000 磅/英寸 (73 x 10 5牛顿/米)从隔离器发出的磁场最大为 4 英寸（102 毫米）0.02 μG 宽带 RMS应用案例：

振动时效主要用于降低和均化工件的残余内应力，防止工件变形和开裂。 一般适用于碳素结构钢、低合金钢、不锈钢、铸铁、有色金属（铜、铝、锌及其合金）等材质的铸件、锻件、焊接件及其机加工件 振动时效的优点是：相比热时效节能得多，处理时间很短，也不占场地，而且还可以插在任何工序之间多次处理，应力也很均匀、尺寸稳定性好，工件表面也不会被氧化，适用氛围很广泛设备主要功能： ●真彩大液晶屏动态显示现场时效工艺过程，彻底排除了操作人员的人为因素。 ●自动判定工艺参数合适与否，并给出修订方案，实现人机对话。 ●自动打印工件编号及处理工件时的时间（年月日时分秒），防止出现打印单据的重复和漏时效 ●动态跟踪功能可保证振动处理始终在标准要求的亚共振区进行。 ●采用先进的聘谱分析技术，可获得工件多个共振频率并进行自动优化，实现现场低噪音振动处理。 ●采用脉宽调制技术，具有强大的抗干扰能力。 ●在线打印，全中文显示各曲线标注，使打印曲线更易识别与判断。 ●飞车提示、多重保护功能排除了现场操作的危险性。 ●应用国外先进的控制模式，完全排除了现场干扰。 2、 超级全自动振动时效设备 主要特点： ●普通液晶振动时效的改进型 ●时效现场实现了对工件时效过程的数据传输，提高了消除应力的水平 ●自动汉化打印重叠的a—n和a—t曲线及数据对比 ●自动判定工艺参数合适与否，并给出修订方案，实现人机对话 ●全自动功能最完善，兼具半自动和手动功能 ●动态跟踪功能可保证振动处理始终在标准要求的亚共振区进行 ●采用脉宽调制技术，具有强大的抗干扰能力 ●强大的人机对话功能加上简单的操作方式使操作者更易掌握振动时效工艺 ●飞车提示、多重保护功能排除了现场操作的危险性

利美公司免费送货上门，免费安装调试，免费培训技术人员，技术指导，一年之内免费保修终生维修。 一、产品名称：LM-10Y液晶显示振动时效 二、产品关键标签：振动时效 应力消除设备，时效振动机，焊接应力消除机，时效振动仪，震动时效仪厂家 三、　如何正确选择的振动时效设备? 　　现如今振动时效市场鱼龙混杂，仿造、制假几乎已成为市场主流，那么如何才能选择出品质好的振动时效设备而不受欺骗呢，现在就为大家介绍一下，选择振动时效设备应注意那几点： 　　1、液晶显示屏幕上加速度显示数值与等时效完毕后打印出曲线数值是否相同：在时效过程的时候，看液晶显示屏幕上加速度显示数值是多少，然后等时效完毕后打印出曲线对比，看数值是否相同。如果时效过程中，液晶显示屏上显示加速度有波动，请记录下波动程度和具体情况，等时效完毕后打印出曲线报告，看曲线报告上是否和刚才看到的液晶显示屏上的情况相同。甚至可以时效过程中把传感器从工件上拿掉，放在手上1分钟，看这时候液晶屏幕上是否还有波形显示(正常情况下是没有显示的)，时效完毕后，打印曲线报告，看时效曲线是否有一段时间曲线上是加速度0显示。 　　2、是否有震感，是否都起振：振动时效 消除应力.时效工件的时候，用手摸一下工件，看是否有很强烈的震感，摸一下工件的四周，看是否都有震感，是否都起振，是在振动还是仅仅在晃动微微颤动。适当的时候可以用铁屑或者沙子放在工件上面，看铁屑或者沙子时候有明显的跳动。但在设备现场调试时，也要检查工件是否产生极大噪音。 　　3、.有无人工手动功能：选购时候询问一下除了全自动功能以外还有别的功能没有，有没有人工手动找操作找频率功能，人工手动操作可控制在只选择主振峰峰值的1/3—2/3的频率，而避免扫峰扫到高处。 　　以上有关技术人员提到的几点是在选择振动时效设备是需要特别注意的，这样会更有利于您的选择，振动时效行业也竭力在控制这种仿造现象，争取为消费者创造大的利益。 四、振动时效功能介绍:经过技术人员的不断研发改进，振动时效控制器实现了振动时效过程的全自动化，能自动确定扫频范围，自动选择恰当的时效频率进行时效处理，自动快速和科学的检测振动时效工艺效果。激振器用高强度铝合金材料制造，重量轻，便于搬运操作，激振器的轴承使用了防止跑外圈结构，经久耐用，且安全性更高。测振器连接导线采用特殊结构，能够在高频率共振工作状态下长期使用；夹具采用了T型螺纹结构，装夹方便牢固；打印机采用了前装纸高速打印机，快速方便。A、 工作转速区间可以预先设定； B、 自动在线打印时效的各个阶段、在线识别所有参数，勿需停机后再输出； C、 动态时效多个峰值，自动跟踪固频变化； D、 自动监测识别工作转速区间内所有共振峰（可称谐波也可近似称频谱），并按优化工艺时效； E、 自动处理行标范围内各种材质工件； F、 自动监测并在线打印时效结果； G、 自动完成动态时效、稳幅、定幅、定速等工艺； 五、技术参数 型 号 主要技术参数 LM-10Y K1 LM-10Y K2 LM-10Y K3 LM-10Y K4 LM-10Y K5激振力（KN）515304050调速范围（r/min）1000～100001000～80001000～80001000～8000500～6000可处理工件重量（T）0～20～200～500～1000～500电机功率（W）6001200150022003500加速度测量范围（m/s2）0～199.9USB接口数据传输有无线通信功能可选打印功能可打印a-n、a-t曲线、参数数据、参数对比及时效处理日期 六、振动时效主要配置及详细配置介绍：该设备由一套完整的主控制箱、激振器、传感器、打印系统、弹性胶垫、附属装卡工具及相关连接线组成。设备的每部分均属专用设计尤其各连接线插头都有所区别，连接时按照插头的指示链接一般不会插错，凡需拧紧的部位需拧紧防止振动过程中松动，影响使用效果。

TMC 压电陶瓷主动隔振系统Stage-Base（光学平台）TMC继续在*进技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的*级半导体工具而设计的主要消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能，它们还要求由平台引起的*效载荷运动能够非常快速地稳定，以大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM，可以缩短稳定时间，进一步提高吞吐量，从而为移动平台应用提供先*的主动振动和运动消除系统。优势：Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种*级低频消振串行型技术，通过使用音圈电机（VCM），实现了主动移动平台运动消除。Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术，使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了*越的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内*佳地面隔振，响应于平台力的初始偏转明显更小。规格：采用*特的STACIS® 技术采用高力、加长行程的压电致动器*效载荷的位置可重复性在微米以内框架安装设计6个主动自由度可选的VCM前馈和/或反馈始于0.6 Hz的主动隔振响应平台运动的快速稳定时间无软空气悬架通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面（GUI）的高速数字控制器简单、坚固且经济高效TMC 压电陶瓷主动隔振系统Stage-Base（光学平台）TMC 压电陶瓷主动隔振系统Stage-Base（光学平台）应用案例：

来自日本马自达集团下全资子公司 KURASHIKI ，在这个领域上有着比较丰富的经验。KURASHIKI 通过在发展主动防震系统的同时补充了被动系统，可为灵敏的仪器提供各种消除振动干扰的需求。产品特点优于被动系统模块可扩展不影响精密仪器无低频共振无电磁干扰小尺寸振动恢复时间迅速（10ms）不会升温低功耗无需设置时间无需校准

TMC STACIS 4主动隔振系统光学平台概述STACIS® 4是最xj的主动隔振系统。它装有惯性振动传感器，配合精准的控制算法与先j的压电作动器。STACIS 4可实时侦测地面振动，再凭借压电作动器的收缩或膨胀即刻消除地面振动。全新的STACIS 4建立在我们成熟的STACIS技术基础上，该技术被全球十大半导体制造商中的九家所使用。 起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机，计量仪和检测设备而设计，如今是嘈杂环境中z敏感仪器的行业标准隔振解决方案，包括但不限于故障分析，纳米技术研究，纳米制造，结构生物学和材料研究等应用。 STACIS 4包括最新改进的，低噪声的数字控制器，DC-2020带有双核处理器。这种新的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。 STACIS 4建立在前几代的成功架构上，增加了先*的控制算法和新的专*技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动消除，但特别是10Hz以下的振动，对高分辨率成像和计量来说是最敏感的。当与FloorSense&trade 专*技术相结合时，STACIS 4在2Hz时可减少60 dB的建筑物地面振动，在1Hz时可减少27dB。STACIS 4的优点：STACIS 4相比于气浮支腿更加坚固可靠，且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑，并且与主动的气浮系统不同。STACIS 4可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面，且两个隔振系统相互兼容。独特的串联设计和专有的压电技术所产生0.2 Hz至150 Hz的宽带无与*比的隔离，在2Hz时可减少99.9%的振动。比STACIS III更好的振动控制，与行业标解决方案相比，STACIS 4将2 Hz的振动控制提高了60 dB以上。稳定的串联设计允许使得您安装后即可，无需再次安装调试，不像并行式设计本质上是不稳定的，需要频繁调整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允许两级振动控制设计，可以在STACIS III系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的振动分辨率的要求越来越高，两级设计正变得越来越普遍。STACIS 4的性能相当于在稳定的地面上减少5个VC曲线的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器，从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。TMC STACIS 4主动隔振系统光学平台性能在VC-C (500μin/s, 12.5μm/s RMS)的模拟振动下测试4500磅(2045千克)有效载荷。TMC STACIS 4主动隔振系统光学平台规格主动减振自由度6主动减振频段0.2 Hz - 150 Hz被动固有频率被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz有效主动谐振频率0.35Hz在1 Hz的减振85% - 96%在2 Hz的减振96-99.9%稳定时间（典型）0.2 秒内部噪音＜0.05nm RMS单个隔振器的工作负载范围低负载：400-1100 lb（182-500 kg）中负载：900-2100 lb（410-955 kg）高负载：1900-4500 lb（864-2045 kg）刚度 40,000 lb/in. (73 x 105 N/m)（1000 lb / 454 kg 重量，以中负载的隔振器为例） 磁场强度＜0.02μg 宽频 RMS隔离器尺寸、环境和使用要求 环境与安全通过CE和RoHS认证，设计符合NRTL安全认证标准主动隔振单元压电元件由高压放大器驱动，垂直致动器支撑隔离的有效载荷 被动隔振单元单一各向同性硬挂载弹性体（不需要压缩空气供应）振动传感器检波器式惯性传感器测量地面振动，并向控制系统发送与振动运动速度成正比的信号主动反馈控制回路在弹簧体支撑的隔离表面下方，对地面振动进行测量、处理和衰减隔振器尺寸（宽x深x高）11.75 × 12.5 × 10.8 in.300 × 320 × 275 mm隔振器重量75lb （34 kg）操作温度50°- 90°F10°- 32°C储存温度-40°- 130°F-40°- 55°C 湿度华氏68度（20℃）最大湿度为80%，最大露点：18℃系统电源要求100, 120, 230, 240 VAC50/60 Hz AC 600 WCE认证每个系统的隔振器数量最少3个选项层压式不锈钢平台，框架，增高支架模块，调平装置，防地震模块，卡扣式装配等DC-2020 控制器规格尺寸（宽×深×高）19 × 8.5 × 1.75 in.483 × 216 × 45 mm重量6.3 lb（2.9 kg）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16频道模拟输入16频道状态指示灯单个LED灯前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个Ethernet RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个Ethernet RJ-451个RS-232 DB-9系列，用于 STACIS 2100 隔振器用户界面前面板液晶显示器 终端程序上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式Ethernet GUISTACIS 4界面STACIS4主动压电式解决方案可以通过直观的基于网页的用户界面(Web GUI)，从电脑端的网页浏览器*进行控制 - 不需要额外的软件。通过Web GUI，用户可以查看状态、管理操作和设置、输入诊断指令。网页用户界面增强版TMC为高级用户提供了一个增强版的网页用户界面，称为Web GUI Plus。它包括额外的进阶诊断功能，以及一个内置的示波器，可以监测每个轴向振动的输入和输出。 TMC STACIS 4主动隔振系统光学平台STACIS系列产品参数对比型号STACIS IIISTACIS IIIcSTACIS 4 产品新增地面感应模块，该模块包含直接测量地面振动的传感器，从而在0.5至20Hz范围内产生更多的振动衰减。主动减振自由度666主动减振频段0.6 Hz - 150 Hz0.6 Hz - 150 Hz 0.2 Hz - 150 Hz被动固有频率被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz有效主动谐振频率0.5Hz0.5Hz0.35Hz在1 Hz的减振40% - 70%40% - 70%85% - 96%在2 Hz的减振≥90%≥90%96-99.9%10 lb（4.5 kg）分段输入后的稳定时间（10:1 减少） 0.3s0.3s0.2s内部噪音＜0.1nm RMS＜0.1nm RMS＜0.05nm RMS性能单个隔振器的工作负载范围低负载：400-1100 lb（182-500kg）中负载：900-2100 lb（410-955kg）高负载：1900-4500 lb（864-2045kg）刚度 （1000 lb / 454kg重量，中负载的隔振器）40,000 lb/in. (73 x 105 N/m) 距离隔振器4英寸（102mm）处的磁场释出＜0.02μg 宽频 RMS地面位移要求480 μin. (12 μm) 低于 10 Hz480 μin. (12 μm) 低于10 Hz-从表格中可以明显看出STACIS 4对比其他型号有了显著的突破，在主动减振自由度、主动减振频段、有效主动谐振频率、减振效率、稳定时间有了明显的提升。并且STACIS 4新增地面感应模块，可以更好的隔离振动。

TMC主动隔振平台STACIS III概述STACIS III是一种灵活的*主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和*先进的压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。STACIS*初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现已成为嘈杂环境（包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心）中*敏感仪器的行业标准解决方案。STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的*控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口，为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面（GUI）。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例，是理想的隔振系统，适用于对振动*为敏感的仪器。主动隔振光学平台系统STACIS III的优势STACIS比空气隔振器硬数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在*佳状态下运行。独特的串行设计和专有的高力压电技术，可实现0.6 Hz*150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的*主动隔振性能。主动隔振光学平台系统STACIS III特征●*新改进型DC-2020数字控制器，提供易于使用的图形用户界面●隔振开始于0.6赫兹，1Hz时达到40％*70％的隔离率●频率2赫兹和更高时，垂直和水平隔振率大于90％●降低基础设施的要求和建设成本，即使有较大外界震动设备也可正常运行●有效隔振范围，0.6Hz到150Hz●获得众多用户的广泛认可和肯定●6向自由度硬安装设计，无需空气悬架●强大的控制系统无需定期重新校准●point-of-use设计方案，与客户现有隔振系统无缝兼容●随着外部环境改变，系统自动调节以适应不同外部震动情形●TMC的STACIS技术使用压电执行器主动消振●数字控制器与基于PC的图形用户界面（GUI）●提高客户产品产量、质量、成品率。●符合RoHS标准●*宽的主动隔振带宽，*的低频隔振效果●亚赫兹的主动震动消除，*主要在0.6-6Hz频段内的隔振●可堆叠式设计●主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连●被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚*无需调谐●由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器●负载可达2000kg●市场上*的主动隔振系统性能使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模拟振动来测试4500磅（2045千克）有效载荷规格性能规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 150 Hz被动固有频率18 Hz垂直和水平有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%≥2 Hz时的隔振≥90%10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1）0.3秒内部噪音0.1 nm RMSd每个隔振器的工作负载范围低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）刚度（1000磅 / 454千克质量、中等承重能力隔振器）40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)从距离隔振器*大4英寸（102毫米）处发射的磁场0.02 μG broadband RMSd隔振器设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件*小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动隔振器尺寸（宽 x 深 x 高）11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm隔振器重量75磅（34千克）工作温度50° - 90°F 10° - 32°C储存温度-40° - 130°F-40° - 55°C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移480 μin. (12 μm) below 10 Hzd每个系统的隔振器数量*少3个可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩DC-2020控制器规格尺寸（宽 x 深 x 高）19 x 8.5 x 1.75英寸483 x 216 x 45 mm重量6.3磅（2.9千克）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个以太网RJ-451个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUISTACIS用户及应用领域1、微电子、半导体●晶片检测●显微光刻技术●掩膜校准2、科学研究、纳米技术●SEM、TEM●STEM、SPM3、激光台●生命科学、药物研发4、工业应用●精密加工为什么要选择主动系统？●从1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振●提高质量、生产量●更加细小特色的成像能力●前沿研究●比气动平台更稳定●满足SEM标准地点安装参数的*解决方案●使得新实验室及研究设备的工程造价更低主动系统为何选择STACIS●正中了科研者的的心声，提供了尽可能*的无震环境。●市场上*强劲的低频隔振系统。●目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。●STACIS*发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。如下优势在业内都是*的●STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz●6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB ●从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB) 专业的环境调查1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波2、安装后可提供环境系统体系认证●完善的环境调查服务●开具专业环境报告●提供震动、磁场、声波检测及解决方案●TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 ●40多年的行业经验，业内的*应用照片

主动隔振台-主动式隔震台-防振台-Herz-AVI-200XL/LP大型SEM主动隔震台，大型TEM主动隔振台，半导体设备防振台系统，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动式隔振台，IVF实验室防振台。AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： STM AFM 干涉仪摩擦学 轮廓仪高精度计量 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-200XL/L系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):130 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 12kg负载能力:400 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常9W校正力：水平最大4N，垂直最大8N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约3.5μm/N，水平约7μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。主动隔振台-主动式隔震台-防振台

主动式减振台-主动隔震台-隔振台-Herz-AVI-600S/LP广泛应用于日本电子JEOL、日本日立Hitachi、德国Zeiss、美国FEI、捷克泰思肯Tescan、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动式减震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。 适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-600S/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):288 x 396 x 112.5 Hmm 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 23kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI-400系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动防震台-主动式减振台-隔震台-AVI-400产品适用于：原子力显微镜主动防震台、干涉测量主动式减震台、轮廓测量隔振台、3D轮廓仪主动防震台、表面轮廓仪主动式减振台、纳米光子学隔振台 、白光干涉仪隔振台、IVF实验室主动防震台、三维表面形貌分析仪主动式减振台、超景深显微镜隔震台、激光干涉仪主动防震台、光镊应用隔振台、超高速光通信主动防震台、各类大型电镜（TEM\SEM\AFM）AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点：六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年 无低频共振、无空气要求应用范围： 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-400S/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):190 x 396 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 15kg负载能力:800 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常18W校正力：水平最大8N，垂直最大16N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1.7 μm/N，水平约3.4 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI-400系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。主动防震台-主动式减振台-隔震台-AVI-400

主动式防振台-主动减震台-隔振台-Herz-AVI-400XL/LP大型SEM主动隔震台，大型TEM主动防震台，半导体设备主动减震系统，IVF实验室，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动减震台，主动隔振台，主动减震台，主动防震台AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点：六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年 无低频共振、无空气要求应用范围： 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-400XL/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):230 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 24kg负载能力:800 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常18W校正力：水平最大8N，垂直最大16N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1.7 μm/N，水平约3.4 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动式隔震台-主动隔振台-减震台-Herz-AVI-600M/LP 大型SEM主动隔震台，大型TEM主动防震台，半导体设备主动减震系统，IVF实验室，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动减震台，主动隔振台，主动减震台，主动防震台AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年 无低频共振、无空气要求应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-600M/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):288 x 720 x 112.5 Hmm控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 26kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动隔震台-主动式减震台-防振台-Herz提供样机试用和场地测试服务！主动隔震台，主动式减震台，超低频防振台、为各类白光干涉仪主动隔震台，光刻机主动式减震台，轮廓仪防振台，微纳米结构和加工仪器隔振台，半导体设备防震台，激光设备减震台，电子太平减震台广泛应用于日本电子JEOL、日本日立Hitachi、德国Zeiss、美国FEI、捷克泰思肯Tescan、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动式减震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-400M/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):190 x 720 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 20kg负载能力:800 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常18W校正力：水平最大8N，垂直最大16N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1.7 μm/N，水平约3.4 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像：不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。提供样机试用和场地测试服务！主动隔震台，主动式减震台，超低频防振台、为各类白光干涉仪主动隔震台，光刻机主动式减震台，轮廓仪防振台，微纳米结构和加工仪器隔振台，半导体设备防震台，激光设备减震台，电子太平减震台广泛应用于日本电子JEOL、日本日立Hitachi、德国Zeiss、美国FEI、捷克泰思肯Tescan、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动式减震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。

主动式减振台-主动防震台-隔震台-Herz-AVI-200S/LP为各类透射式电子显微镜(TEM)主动防震台、扫描式电子显微镜(SEM)主动防振台、发射式电子显微镜防震台、探针显微镜防振台、扫描隧道显微镜隔振台、原子力显微镜（AFM）减震台、横向力显微镜主动防震台。IVF实验室，白光干涉仪主动减震台，光刻机隔振台，微纳米结构和加工仪器！AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： STM AFM 干涉仪摩擦学 轮廓仪高精度计量 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-200S/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):120 x 396 x 112.5 Hmm,控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 8 kg负载能力:400 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常9W校正力：水平最大4N，垂直最大8N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约3.5μm/N，水平约7μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

HERZ TS系列 主动式隔震系统防震台HERZ 创建一个稳定的测量环境稳定的支架可以进一步提高TS系列减震系统的隔震性能主动式隔震系统可以消除震动振幅在20um内的垂直方向和两个水平方向的震动，如果摆放主动式隔震系统的平台与平面，不是很稳固的话，会衰减隔震系统的性能，或者放大震动的干扰，我们可以提供一个带有高阻尼的稳定的支架，从而进一步提高TS 的减震性能。左边的图可以看到TS-150/LP 配置了 矩阵为 M6-25 mm XY的安装螺纹孔，我们可以根据客户的要求来定制这样的规格，如果客户对表面有安装孔的要求可以与我们联系，但尺寸过于特殊，我们暂时不能定制。技术规格：主动式隔震系统在6个自由度里的XYZ 三轴的主动隔震频率为0.7Hz -100Hz21世纪是纳米技术时代（比如，先进的半导体技术，生物科学，以及MEMS，原子分裂等等的领域），而震动，噪音，电磁干扰，热度，湿度等都会对原子级的测量带来很大的干扰。在纳米技术的领域里，一个好的测量结果，非常的需要一个主动式减震系统，在低频的范围，空气式减震平台是无法达到其要求的。先进的主动隔震系统“TS系列”将会对21世纪纳米技术的研究提供安稳的保障，它会让您彻底摆脱过去的测量模式，从而开启未知的纳米技术之旅。应用：*扫描电子显微镜比如 Mini SEM、AFM*三轴轮廓仪 *显微镜 *白光干涉仪*液体表面张力测量仪 *显微硬度测量仪 *医疗检测设备等TS的使用介绍我们只需两步, TS 便能轻松使用: 打开电源开关按钮 → （自动的高度调节） → 开启隔震功能全过程均为自动进行，无需任何的手动调节，轻松，方便，简洁特点：*TS 隔震性能在0.7-100Hz 范围提供6自由度3轴的主动隔震。*自动高度调节让仪器摆放随心所欲.*水平自动调节功能即使负载重心偏离中心，自动的水平调节功能也可以让心偏回来，继续为仪器提供一个稳定的使用环境。*系统锁止功能，只需要在控制面板轻轻一按便可实现，在搬运时或运输途中进一步对TS，进行保护，避免系统受到意外损害。*LCD显示面板实时显示来自XYZ方向的震动。*同时可以选配遥控器来控制TS系统的隔震和取消隔震功能，如果需要了解此功能详情请与我们联系创建良好的测量环境 隔音箱做分子或原子用电子显微镜扫描研究时，TS主动式减震台能很好的为其提供一个稳定的测量环境，但有时不仅是震动会给研究带来影响，噪音也是一个很大的干扰因素，针对次情况，我们研发出了高性能的隔音箱AEK 系列。右图是TS 与AEK 的完美搭配的案列HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统防震台震台防震台

EST 主动式防震系统来自日本马自达集团下全资子公司 KURASHIKI ，有着超过 30年历史的已成为主动隔振系统供应商，且在这个领域上有着相当丰富的经验。于此同时 KURASHIKI 测量技术取得了巨大的进步，一些灵敏度很高的仪器可能是一个自然谐振频率的被动系统，只有主动隔振系统才能消除共振。 KURASHIKI 通过在发展主动防震系统的同时补充了被动系统，主动防震系统可为最灵敏的仪器提供各种消除振动干扰的需求。产品特点优于被动系统模块可扩展不影响精密仪器无低频共振无电磁干扰小尺寸振动恢复时间迅速（10ms）不会升温低功耗无需设置时间无需校准规格参数

主动防振台-主动式减震台-防震台-Herz-AVI-200M/LP德国Zeiss电子显微镜主动防振台，日本电子JEOL电子显微镜主动式减震台，日本日立Hitachi电子显微镜主动减震台，美国FEI电子显微镜主动防震台，荷兰Phenom电子显微镜主动减震台，捷克Tescan泰思肯主动隔振台，IVF实验室产品介绍：AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： STM AFM 干涉仪摩擦学 轮廓仪高精度计量 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-200M/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):130 x 636 x 112.5 Hmm,控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 10kg负载能力:400 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常9W校正力：水平最大4N，垂直最大8N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约3.5μm/N，水平约7μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。 主动防振台-主动式减震台-HERZ

TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP赛默飞世尔定制版SEM主动隔振平台SEM Base LPSEM-Base-LP是我们的标准SEM-Base主动压电振动消除平台的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安装，提供卓越的性能，并且符合人体工程学优化。紧凑的设计便于安装，无需使用扫描电子显微镜（SEM）的内置调平脚以外的任何东西来提升扫描电子显微镜（SEM）柱。而且，一旦安装，扫描电镜的高度以上的地板不会增加。SEM-Base-LP采用了我们独特的STACIS压电技术，具有与我们的行业标准SEM-Base-VI相同的振动消除性能。SEM-Base-LP包括脚轮，专门设计用于与许多赛默飞世尔科技（前身为FEI）工具集成。Example of how SEM-Base LP integrates with the bottom frame of the tool兼容的Thermo Fisher产品型号SEM Base LP与许多Thermo Fisher产品型号兼容，包括●Apreo●Aquilos●Helios Small DualBeam●Nova NanoSEM x50●Quattro S●Scios●Teneo●Verios G4●Verios 460, 460L●Versa 3D如果您的SEM/FIB未列出，请联系我们检查兼容性。TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP的优势硬安装技术–SEM底座与内部SEM振动控制系统兼容，并积极缓解0.6 Hz的低频地板振动。主动惯性振动消除-扫描电镜基地使用高灵敏度，低频惯性速度传感器，以实现高水平的振动衰减，即使在安静的地板。采用压电技术的串行设计–独特的串行设计和专有的高压压电技术可实现从0.6 Hz到150 Hz的宽有源带宽，以及无与伦比的惯性主动消振，从2 Hz开始可降低90%。TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP的性能1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP规格性能主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 100 Hz被动固有频率标称值为12 Hz有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%2 Hz时的隔振90%≥3 Hz时的隔振90 - 98%内部噪音0.1 nm RMSd工作负载范围标准承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克）高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克）磁场发射4英寸（102毫米）处距离平台0.02 μG broadband RMSd设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件最小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和支撑隔离面尺寸（宽 x 深）35.25 x 44.25英寸、895 x 1124毫米高度标称6.3英寸（160毫米），SEM-Base关闭时不会改变工作温度50° - 90°F10° - 32°C储存温度-40° - 130°F-40° - 55°C湿度80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C系统电源要求100、120、230、240 VAC、50/60 Hz AC；600 W，符合CE标准地面位移800 μin. (20 μm) below 10 Hzd内置控制器规格处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB2.0 1个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUI

主动减振台-主动式隔振台-防振台-Herz-TS-300/LP桌面式主动减振台-桌面式主动式隔振台-桌面式主动防振台-隔震台-主动减振台-防震台-显微镜主动式隔振台-干涉仪主动减震台-电子天平主动减振台-轮廓仪主动式隔振台-半导体设备减震台-激光设备主动式隔振台-IVF实验室主动式隔振台-提供样机试用和场地测试服务！TS-300主动隔振台是TS系列产品中最大的型号，是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜。白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！ 超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。 工作原理 TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。 产品亮点： 六个自由度全方位隔振（0.7 Hz - 300 Hz主动隔振，300Hz以上被动隔振） 自动调节负载 即插即用 LCD显示屏实时显示振动情况 系统主动检测输入振动并动态消除，系统内部反馈回路抑制所有机械共振 低频隔振性能优秀，无低频共振、无空气要求 应用范围： SPM ( AFM, STM, NSOM 等 ) 高精度计量 干涉测量 荧光显微镜 高分辨率显微镜摩擦学和纳米技术 轮廓测量 细胞外培植 升级选项：工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等） 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备) 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔） 振动器集成（激励源） 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台） 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰） 提高负重 （TS-140和TS-300负重可提高40kg） 技术参数：型号：TS-300/LP ※可选 TS-300/LP/TP25系统配置：完全整合主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)幅度: 20 um (垂直和水平)高度调节：自动搬运或运输期间锁定：自动锁定功能隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。安装板尺寸：600 (W) x 800 (D) mm 整体尺寸 (大约) 600 (W) x 800 (D)x 121 (H) mm 负载能力(同等 /低重心）：300 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）。系统重量 (大约)：60 kg输入电压：90 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）服务场所：仅用于室内工作高度：高达2,000 m选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm 选项 2 遥控盒选项 3 内置减振功能的高刚性框架 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。主动减振台-主动式隔振台-防振台-Herz-TS-300/LP

TMC主动隔振平台STACIS IIIcSTACIS IIIc是STACIS III*主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。STACIS IIIc非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用，因为标准STACIS III系统的高度会使仪器过高。在三隔离器配置中，隔离器高度小于常规STACIS III高度的60％。在具有3个以上隔离器的系统中，高度将在60％到70％之间，具体取决于有效负载设置。有关详细信息，请参见下面的规格。STACIS IIIc优势与常规STACIS III系统相比，隔离器高度*多降低42％，而性能却没有降低。STACIS比空气隔振器坚固数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在*佳状态下运行。独特的串行设计和专有的高力压电技术 可实现0.6 Hz*150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的*主动隔振性能。性能4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)性能规格规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 150 Hz被动固有频率18 Hz垂直和水平有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%≥2 Hz时的隔振≥90%10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1）0.3秒内部噪音0.1 nm RMSd每个隔振器的工作负载范围低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）刚度（1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器）40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)从距离隔振器*大4英寸（102毫米）处发射的磁场0.02 μG broadband RMSd隔振器设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件*小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动隔振器尺寸（宽x深x高）14.45 x 14.26 x 6.16* in.367 x 362 x 157* mm* Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.隔振器重量53磅（24千克）工作温度50° - 90° F10° - 32° C储存温度-40° - 130° F-40° - 55° C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移480 μin. (12 μm) below 10 Hzd每个系统的隔振器数量*少3个可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩DC-2020控制器规格尺寸（宽 x 深 x 高）19 x 8.5 x 1.75英寸483 x 216 x 45 mm重量6.3磅（2.9千克）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个以太网RJ-451个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUISTACIS用户及应用领域1、微电子、半导体●晶片检测●显微光刻技术●掩膜校准2、科学研究、纳米技术●SEM、TEM●STEM、SPM3、激光台●生命科学、药物研发4、工业应用●精密加工为什么要选择主动系统？●从1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振●提高质量、生产量●更加细小特色的成像能力●前沿研究●比气动平台更稳定●满足SEM标准地点安装参数的*解决方案●使得新实验室及研究设备的工程造价更低主动系统为何选择STACIS●正中了科研者的的心声，提供了尽可能*的无震环境。●市场上*强劲的低频隔振系统。●目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。●STACIS*发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。如下优势在业内都是*的●STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz●6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB ●从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB) 专业的环境调查1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波2、安装后可提供环境系统体系认证●完善的环境调查服务●开具专业环境报告●提供震动、磁场、声波检测及解决方案●TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 ●40多年的行业经验，业内的*应用照片

主动式防震台-主动减振台-隔振台-TS系列产品特点：IVF实验室使用，系统主动检测输入振动并动态消除 ，六个空间方向的自由隔振 ，系统内部反馈回路抑制所有机械共振，低频隔振性能优秀 ，无低频共振、无空气要求!自动调节负载 ，即插即用 ，LCD显示屏实时显示振动情况，多种面板定制选择。TS-150主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。 工作原理 TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。 产品亮点： 六个自由度全方位隔振 研究级压电传感技术 即插即用系统 LCD实时显示（振动水平，重量分布等） 主动隔振性能突出 集成简便 专注科研，无需安装和维护 应用范围： 原子力显微镜 干涉测量轮廓测量3D轮廓仪表面轮廓仪 纳米光子学 白光干涉仪 三维表面形貌分析仪 超景深显微镜 激光干涉仪 光镊应用 超高速光通信 升级选项：工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等） 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备) 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔） 振动器集成（激励源） 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台） 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰） 技术参数：型号：TS-150/LP ※可选：TS-150/LP/TP25系统配置：完全整合主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)幅度: 20 um (垂直和水平)高度调节：自动搬运或运输期间锁定：自动锁定功能隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）系统重量 (大约)：18 kg输入电压：90 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）服务场所：仅用于室内工作高度：高达2,000 m选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm选项 2 遥控盒选项 3 内置减振功能的高刚性框架 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减震台-主动式隔震台-Herz-AVI-600XL/LP 适用于各类透射式电子显微镜（TEM）、扫描式电子显微镜（SEM）、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道电子显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、光学显微镜、白光干涉仪、光刻机、微纳米结构和加工仪器。超低频减震台、防震台、隔振台、隔振台、主动减震台、主动隔振台、主动隔振系统。固润光电一直致力于客户测试环境的改善服务，为客户提供专业的主动式隔振隔音消磁解决方案。代理日本Herz的AVI/TS系列主动隔振台，代理美国Herzan隔音箱和振动分析仪。我们的技术工程师团队拥有十年以上的客制化主动隔振台隔音设备搭建解决方案! 适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。技术参数：型号：AVI-600XL/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 34kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内隔振效果：性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。 广泛应用于日本电子JEOL主动减震台、日本日立Hitachi主动减震台、德国Zeiss主动式隔震台、美国FEI电镜主动减震台、捷克泰思肯Tescan主动式隔震台、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜主动减震台，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动防震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

TS系列-主动隔震台-主动式防振台-减振台-TS-140+40/LP桌面式主动隔震台-桌面式主动式防振台-桌面式主动防震台-隔震台-隔震台-防震台-显微镜隔震台-干涉仪主动减震台-电子天平减震台-轮廓仪防震台-半导体设备减震台-激光设备防震台-IVF实验室-提供样机试用和场地测试服务！TS-140+40/LP主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。 工作原理 TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。 产品亮点： 六个自由度全方位隔振 研究级压电传感技术 即插即用系统 LCD实时显示（振动水平，重量分布等） 主动隔振性能突出 集成简便 专注科研，无需安装和维护 应用范围： 原子力显微镜 扫描探针显微镜 干涉测量 荧光显微镜 摩擦学和纳米压痕测试 高精度测量 高分辨率显微镜 轮廓测量 试管受精 升级选项： 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等） 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备) 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔） 振动器集成（激励源） 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台） 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰） 技术参数：型号：TS-140+40/LP 系统配置：完全整合主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)幅度: 20 um (垂直和水平)高度调节：自动搬运或运输期间锁定：自动锁定功能隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm负载能力(同等 /低重心）：180 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）系统重量 (大约)：29 kg输入电压：90 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）服务场所：仅用于室内工作高度：高达2,000 m选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm选项 2 遥控盒选项 3 内置减振功能的高刚性框架 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

TMC 主动磁场消除光学平台Mag-NetXMag-NetX设计用于任何带电束仪器，是一种创新的主动控制系统，可补偿磁场波动。通过带数字接口的模拟控制器，Mag-NetX具有更实时的消振和连续监控功能，同时为用户提供了一个简单的内置LCD或基于PC的图形用户界面（GUI）。通过连续监控GUI显示的测量字段，可在不依赖于显微镜图像的情况下进行微调。另外，自动调整使典型SEM应用的启动变得更加简单。亥姆霍兹型配置采用独*式笼，安装在室内墙壁轨道上或直接安装在外壳内部，可根据您的需求和应用配置Mag-NetX。TMC可满足您的扫描和透射显微镜、电子束光刻和离子束仪器在磁场补偿和振动控制方面*苛刻的要求。TMC 主动磁场消除光学平台Mag-NetX优点：带数字接口的模拟控制器 - 亥姆霍兹型线圈的模拟控制可实现更精*的实时消振。数字面板为用户提供简单的LCD读数或基于PC的图形用户界面（GUI）。现场调整的灵活性 - 在启动时针对典型环境和应用进行自动调整，或针对更具挑战性的环境进行可调的现场调整。实时监控 - 通过计算机GUI显示的测量字段进行连续监控，甚至可在不依赖于显微镜图像的情况下进行微调。特点：亥姆霍兹线圈对具有*大的对称性和均匀性连续现场消振和监控有多种交流和直流消振模式100倍现场改进（典型值）动态、100 μs响应精*的现场测量具有连续系统监控和分析的图形用户界面可选的线路频率和谐波的前馈补偿可选的其他输入前馈功能可选的自定义字段创建，同时抑制干扰易于组装的不锈钢笼，也可提供室内壁安装式系统可提供任何尺寸的笼系统壁安装式和外壳安装式配置包括阻燃级电缆性能：系统系统组件3轴正交磁传感器、Mag-NetX控制器、笼内亥姆霍兹线圈对、外壳安装或壁安装式配置主动磁场消除轴X、Y、Z传感器类型磁通门型，噪声 10 pT/基数；Hz @ 1 Hz最大环境直流场（取决于传感器）±70 μT标准可提供高达±250 μT带宽（取决于笼和传感器）直流，1 kHz典型值，最高可达2 kHz动态范围（取决于笼和频率）典型值±10 μT，最高±100 μT典型值40 dB，最大55 dB控制体积与磁场磁通密度50 m3 @10 μT RMS（取决于笼参数）1 m3 @ 50 μT RMS（标准控制器能够通过特殊的笼结构消除地球磁场）10 m3 @ 50 μT RMS（用于通过特殊的笼和外部放大器来消除更大体积的地球磁场）传感器位置的场减少率使用36 x 36 x 52英寸/91 x 91 x 132厘米（长 x 宽 x 高）的典型笼；直流100 Hz时的40 - 50 dB（100x - 300x）典型值100-500 Hz时的26 dB（20x）典型值典型电子显微镜柱体积12 x 12 x 24英寸/30 x 30 x 60厘米中的场减少率使用60 x 60 x 84英寸/152 x 152 x 213厘米（长 x 宽 x 高）的笼X、Y：直流100 Hz时的30 dB（32x）典型值X、Y：100-500 Hz时的20 dB（10x）典型值Z：直流100 Hz时的15 dB（5.2x）典型值Z：100-500 Hz时的10 dB（3x）典型值0 dB @ 1000 Hz控制器尺寸17 x 9 x 1.75英寸/43 x 23 x 4.5厘米操作模式通电后：自动自检/校准，并在1分钟内切换到控制模式。无需用户参与。手动测试/调试模式真正的直流模式（补偿地球磁场）偏置直流模式（忽略地球磁场）跟踪显微镜运动零件引起的直流漂移准直流模式（忽略 100秒波动）取消和创建（同时取消干扰和创建自定义字段）控制工具的类型数字控制增益的模拟反馈，DC - 2 kHz数字反馈数字前馈（取消交流线路电源频率和谐波，而没有反馈的增益稳定性限制）状态LED指示灯绿色=正常；黄色=警告/错误LCD 2x20符号显示显示菜单和状态条形LED指示灯显示XYZ补偿场的实时强度4个方向按钮用于LCD菜单导航USB插槽（在PC上显示为COM端口）用于高级调整/测试的图形用户界面，接受ASCII命令和显示菜单辅助模拟输入端（后DB-37）可以用作前馈或创建自定义字段通行和不通行信号继电器二进制，用作受保护系统的输入端电源要求90-240 VAC，50/60 Hz，最大500 VA。TMC 主动磁场消除光学平台Mag-NetX