立式炉

一、立式扩散炉用途 立式扩散炉是我公司根据客户需求个性化专业定制的高温热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，我公司的高温电炉关键部件全部采用进口部件，仿国外先进热处理制造技术，已经被中科院、国内各大院校、国内多家知名厂家选为长期供货商，专业团队设计制造，可根据客户不同需求定制，厂家直接供货。 二、工艺特点：1.工艺曲线的自动运行控制功能2.自动运行中可暂停/继续运行功能3.系统故障的检测与报警功能4.工艺气体的程序控制功能5.可根据用户的特殊要求增减相应的功能我公司可根据客户要求，专业定制各式扩散炉、退火炉、烧结炉、真空焊接炉、CVD炉、加热电炉及加热装置等，欢迎广大客户来电咨询。

1. 产品概述FLOURIS 201系列 8英寸立式炉，高精度温度场控制技术，可实现 1200℃ 内氧化退火工艺。2. 设备用途/原理FLOURIS 201系列 8英寸立式炉，高精度温度场控制技术，可实现 1200℃ 内氧化退火工艺，先进的颗粒控制技术，优良的膜厚均匀性控制技术，图形化操作界面和群组管理系统。3. 设备特点晶圆尺寸 8 英寸，适用材料 硅、碳化硅。适用工艺 高温氧化、退火、常压合金、Polyimide 固化。适用域 科研、化合物半导体、集成电路。

仪器简介：电炉用于各种工矿企业，大专院校，科研单位作元素分析，小型钢件淬火，退火，回火时加热，还可作金属，陶瓷的烧结，溶解，分析等高温加热用 箱体设计新型美观，采用毛面喷塑，炉门内侧和箱体口面板均采用优质不锈钢，确保仪器经久耐用。 三十段带程序微电脑控制，具有强大的编程功能，可控制升温速率，升温，恒温，多波段曲线任意设置，选配软件可连接计算机，监控，记录温度数据，使任何试验的再现性成为可能。 仪器装备触电，漏电保护系统和二级超温自动保护功能，确保使用人员及仪器的安全。技术参数：开启式可编程电炉 介绍 开启式可编程管式炉技术参数 名称 型号 炉膛尺寸 最高温度 功率/电压 适配炉管长度 发热区域 精度 备注 开启式可编程管式炉 30165-10（卧式） ￠50*300 1000℃ 2.5KW/220V &ge 400 200 ± 1℃ 开启式可编程管式炉 30165-10A（立式） ￠50*300 1000℃ 2.5KW/220V &ge 400 200 ± 1℃ 立式支架选配 开启式可编程管式炉 60250-10-4 ￠40*500 1000℃ 2.5KW/220V &ge 700 500 ± 1℃ 开启式可编程管式炉 60250-10-6 ￠60*500 1000℃ 2.5KW/220V &ge 700 500 ± 1℃ 开启式可编程管式炉 60250-10-8 ￠80*500 1000℃ 3KW/220V &ge 700 500 ± 1℃ 开启式可编程管式炉 60250-10-10 ￠100*500 1000℃ 4KW/220V &ge 700 500 ± 1℃ 开启式可编程管式炉 60250-10-4A（立式） ￠40*600 1000℃ 2.5KW/220V &ge 700 500 ± 1℃ 立式支架选配 开启式可编程管式炉 60250-10-6A（立式） ￠60*600 1000℃ 2.5KW/220V &ge 700 500 ± 1℃ 立式支架选配 开启式可编程管式炉 60250-10-8A（立式） ￠80*600 1000℃ 3KW/220V &ge 700 500 ± 1℃ 立式支架选配 开启式可编程管式炉 60250-10-10A（立式） ￠100*600 1000℃ 4KW/220V &ge 700 500 ± 1℃ 立式支架选配 开启式可编程管式炉 60250-12-4 ￠40*600 1200℃ 3KW/220V &ge 700 500 ± 1℃ 开启式可编程管式炉 60250-12-6 ￠60*600 1200℃ 3KW/220V &ge 700 500 ± 1℃ 开启式可编程管式炉 60250-12-8 ￠80*600 1200℃ 5KW/220V &ge 700 500 ± 1℃ 开启式可编程管式炉 60250-12-4A（立式） ￠40*600 1200℃ 3KW/220V &ge 700 500 ± 1℃ 立式支架选配 开启式可编程管式炉 60250-12-6A（立式） ￠60*600 1200℃ 3KW/220V &ge 700 500 ± 1℃ 立式支架选配 开启式可编程管式炉 60250-12-8A（立式） ￠80*600 1200℃ 5KW/220V &ge 700 500 ± 1℃ 立式支架选配主要特点：开启式可编程管式炉采用二个半圆型发热炉胆合二为一，可自由开启，极大便利各种实验操作，本开启式电炉具有节能及可编程序强大功能，精确度可高达± 1℃，其精度可与国外同类产品媲美。