单轴压电扫描台纳米平移台

压电直线纳米位移台 Z轴扫描台,得益于特殊的结构设计，卓聚科技的Z轴扫描台，提供约等于5nm的粗调步进。产品支持真空，低温等应用。Z轴扫描台尺寸参数中间位置外形尺寸（长*宽*高）45.6*44.0*24.6mm样品台面平面度5 μm总重量78g运动参数Z轴行程±1.0mm粗调步进5~200nm细调行程300nm细调步进（理论值）0.005nm闭环运动分辨率2nm负载竖直方向负载10N操作环境闭环（开环）操作温度-20~80（-269~80）℃是否适用真空是/以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的压电直线纳米位移台 Z轴扫描台的介绍，了解更多直接咨询：原文： 随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展，精密定位不仅在实验室用途广泛，工业界的应用也越来越多。该团队在以往研究基础上，发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品，填补了国产空白。一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块，通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移，可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前，在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内，团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台。 安徽泽攸科技有限公司为您提供压电旋转纳米位移台RF-5950A的参数、价格、型号、原理等信息，压电旋转纳米位移台RF-5950A产地为安徽、品牌为泽攸科技，型号为旋转纳米位移台，价格为面议，更多相关信息可来电咨询，公司客服电话7*24小时为您服务

产品描述PK1H100-030U系列X向压电扫描台是采用压电陶瓷驱动的一维并联压电纳米定位扫描台，压电扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链并联导向机构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电扫描台具有很好的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性。压电扫描台内部采用并联式结构设计，结构紧凑，所有促动器作用在同一个移动台面上，可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。具有更轻的质量，更低的惯量和更高的动态性。中空式设计，且中央通孔较大，可更好的适用于显微及扫描系统中。产品特性—X位移：30μm（闭环）—中孔尺寸：50mmx50mm—并联直驱结构设计—超快响应时间、超高动态应用选配功能—可定制转接装置、可定制中心孔径大小—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可选配XY轴运动应用领域—扫描显微镜—超分辨率显微镜—掩模、晶圆定位—干涉测量、测量技术—显微纳米操纵 结构原理 叠堆形式 典型应用PK1H100-030U系列技术参数

产品描述PK2H70-012U为微扫描红外成像超分辨重建专用型产品。微扫描技术包括不同的模式，拍摄同一场景的多张图像，同时每次将图像在检测器平面上移位等于检测器间距的一小部分的距离，然后将场景的采样帧用于形成单个高分辨率帧。压电位移台PK2L70-012U-S使焦平面阵列中的聚焦透镜沿X轴和Y轴移动本系列产品具有超紧凑、超高动态、超高精度等特性，是超高分辨客户应用的理想选则。利用精密并联运动设计通过FEA优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PK1L130-050U/100U位移台可提供很好的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现高精度和快速的闭环响应。本产品具有亚纳米性能。PK2H70-012U压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于0.02％的精度和重复性。PK2H70-012U压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供钛金属材料，具有更高的温度稳定性和定制真空制备版本。产品特性—XY位移：12μm（闭环）—中孔尺寸：?28mm—承载能力：1Kg—紧凑型设计—直接驱动具有更高的动态特性选配功能—可定制转接装置及中心孔径大小—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可定制其他行程版本应用领域—红外微扫描成像—超分辨率显微镜—掩模、晶圆定位—干涉测量、测量技术—显微操纵 结构原理 叠堆形式 典型应用PK2H70-012U系列技术参数

单轴长行程压电纳米位移台基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现数百mm的运动行程。该促动器结构紧凑，具有较高的保持力与长期的稳定性，能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。技术特点：长行程：16mm高分辨率：传感器分辨率为1.2nm超高精度：最小步长2nm运动速度：可达10mm/s高稳定性：保持力可达8N超高真空兼容性；运动模式：支持开环与闭环轻量化、结构紧凑，高可靠性模块化设计，摩擦单元可替换应用领域：扫描电镜（SEM）样品操纵主动光学超分辨成像样品移动大范围电子束直写（EBL）微纳装备及制造集成电路制造与检测高真空样品精度对准及调姿纳米聚焦与扫描显微及纳米CT

产品描述X轴纳米定位线性位移台是基于压电控制的线性位移台，行程包括12/30/45/60μm及可定制其他行程版本，本系列产品包含X、XY可供用户选择。该压电纳米定位器是我们高速产品线的一部分（可提供大功率控制器，进行高速运动）。二维产品型号为PS2H45-xx。PS1H45系列压电纳米位移台采用高可靠多层低压压电叠堆陶瓷作为驱动元件，利用有限元优化的固态挠性导向系统可确保完美的平移运动。平台采用了无摩擦柔性机构，压电位移台无需维护，无磨损，并具有快速响应和快速稳定的性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿，跟踪，快速步进或连续扫描等。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上，请使用转接板转接。在紧固过程中，应避免过大的弯矩载荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力，这些外力可能会损坏位移台。产品特性—高速运动、直接驱动—设计小巧紧凑PS1H45系列技术参数—闭环控制—可堆叠进行XY运动选配功能—可定制转接工装—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可组维、可定制其他行程应用领域—扫描显微镜、光纤端面检测—干涉仪、测量技术、3D锡膏检测—光子、光纤定位、干涉—纳米光刻、纳米定位、电化学加工 结构原理 高速响应 典型应用PS1H45系列技术参数

产品描述PKWL60-080U是一款超紧凑的亚纳米闭环控制扫描台，显微镜中的物镜对准通常需要一个开放的中心空间（例如，用于光线通过），PKWL60-080U压电扫描台（带有25mm的中心孔）是针对此类应用而开发的，每个轴都经过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑，在XZ运动轴上的运动均可达80μm（闭环）行程，并且由于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。其紧凑的设计使其是许多应用的理想工具，例如：光纤对准、双光子聚合和激光写入应用等。可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞的影响，并且PKWL60-080U定位系统可以配备电容测量系统，PKWL60-080U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。PKWL60-080U系列非常适合从光学研究到OEM系统的各种应用。非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。本系列产品种类包括X、Z、XZ、XY、XYZ轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。产品特性—XZ位移：80μm（闭环）—中孔尺寸：?25mm—承载能力：0.7Kg—高度紧凑型设计—高精度柔性铰链结构导向选配功能—可定制转接装置及中心孔径大小—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可选择XYZ轴版本（80μm）应用领域—扫描显微镜—超分辨率显微镜—掩模、晶圆定位—干涉测量、测量技术—显微操纵 结构原理 叠堆形式 典型应用PKWL60-080U系列技术参数

德国PI六轴六足纳米平移台 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91六轴六足位移台六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小，用于全天候应用的重型精密轴承。绝对编码器绝对编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安全性。六轴六足位移台无刷直流电机(BLDC)无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行，因此能够实现较长的使用寿命。六轴六足位移台应用领域科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。 科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。

产品描述PSVH30-005U为Z向直驱压电平移台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。底部平台固定安装孔可选择M3螺纹孔，便于用户方便安装，订购时需要指出。默认版本的平台固定孔为直径2.2通孔。本系列产品形行程范围为5μm（闭环）。产品特性—单轴运动—运动可达5μm（闭环）—承载0.8kg—Z轴紧凑型设计选配功能—可定制安装、负载固定孔位及转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可提供XZ、XY和XYZ版本 结构原理 位移特性 典型应用PSVH30-005U系列技术参数

产品描述PK3L60-080U多轴纳米扫描台是基于压电控制的80um行程的位移台，可在XYZ轴上提供纳米分辨率的运动。它非常适用于小型组件的纳米定位，例如反射镜，光纤，激光二极管，微光学器件，传感器或细胞样本。应用包括光学延迟线，干涉仪的路径长度变化，激光光刻，扫描显微镜和膜片钳等。扫描具有高度可靠的多层低压压电（PZT）堆栈，可进行高占空比操作。精密的、有限元优化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦导轨，位移台无需维护，不易磨损，并具有快速响应和快速稳定的性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿，跟踪，快速步进或连续扫描。分辨率仅受控制电路的噪声限制，但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变，其可重复性和稳定性受到影响。可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞和蠕变的影响，并且PK3L60-080U定位系统可以配备电容测量系统，PK3L60-080U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。PK3L60-080U系列非常适合从光学研究到OEM系统的各种应用。非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。本系列产品种类包括X、Z、XZ、XY、XYZ轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。产品特性—XYZ位移：80μm（闭环）—中孔尺寸：?25mm—承载能力：0.6Kg—紧凑型设计—高精度柔性导向选配功能—可定制转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可定制中心孔径大小应用领域—扫描显微镜—超分辨率显微镜—掩模、晶圆定位—干涉测量、测量技术—显微操纵 结构原理 堆叠形式 典型应用PK3L60-080U系列技术参数

压电二维纳米位移台，XYMF-133-100A平移台实现了在XY二维空间上的准确定位，具有分辨率高，行程大（XY轴行程±50mm），带有高精度及高分辨率的位置反馈。操作简单，定位准确，能在真空下使用等优点，可应用于需要纳米精度运动操作及定位的各个领域。压电二维纳米位移台使用压电陶瓷驱动，运动无需润滑，百分百真空兼容，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到亚纳米级。步进和扫描双模式工作，并且在宏观行程范围内同样达到亚纳米分辨率的定位。支持开环闭环控制。 尺寸参数外形尺寸（长*宽*高）133.0*133.0*26.1mm台面平面度10 μm总重量653.8g运动参数X轴±50mmY轴±50mm运动速度上限3mm/s材料机身铝合金/驱动PZT压电陶瓷/驱动机构铍青铜/导线屏蔽线，铜线/运动控制闭环位置传感器分辨率2nm开环运动分辨率0.05nm负载垂直运动方向负载20N沿运动方向负载4N操作环境操作温度0~60℃操作湿度温度达到40℃时，相对湿度95%。（非冷凝）/是否适用真空是其它控制类型开环/闭环/驱动电压上限125V 以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的压电二维纳米位移台 XYMF-133-100A平移台的介绍，了解更多直接咨询：原文： 随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展，精密定位不仅在实验室用途广泛，工业界的应用也越来越多。该团队在以往研究基础上，发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品，填补了国产空白。一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块，通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移，可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前，在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内，团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台。 安徽泽攸科技有限公司为您提供压电旋转纳米位移台RF-5950A的参数、价格、型号、原理等信息，压电旋转纳米位移台RF-5950A产地为安徽、品牌为泽攸科技，型号为旋转纳米位移台，价格为面议，更多相关信息可来电咨询，公司客服电话7*24小时为您服务

压电三轴纳米探针台实现了三维空间上的准确定位，它具有分辨率高，尺寸紧凑，行程大，操作简单，能在真空下使用等优点，可应用于在SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。压电三轴纳米探针台使用压电陶瓷驱动，运动无需润滑，真空兼容，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。三轴纳米探针台由三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。 压电三轴纳米探针台应用案例：通过压电纳米位移台的纳米精度定位，两个探针通过与样品接触，完成在SEM里实现对二维材料的电学测量。同样的,通过压电纳米位移台也可以在更多领域完成高精度实验,例如可应用于纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等。同时产品可以适配市面上绝大多数的SEM，例如：日本电子，日立，FEI,TESCAN等。 压电三轴纳米探针台尺寸参数探针台外形尺寸（长*宽*高）107.0*75.6*43.3mm三轴外形尺寸（长*宽*高）48.6*33.2*38.6mm样品台面平面度10 μm探针台总重量225g运动参数三轴X行程±10mm三轴Y行程±10mm三轴Z行程15.7mm运动分辨率0.05nm以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的压电三轴纳米探针台的介绍，了解更多直接咨询： 原文： 随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展，精密定位不仅在实验室用途广泛，工业界的应用也越来越多。该团队在以往研究基础上，发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品，填补了国产空白。一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块，通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移，可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前，在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内，团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台。安徽泽攸科技有限公司为您提供压电旋转纳米位移台RF-5950A的参数、价格、型号、原理等信息，压电旋转纳米位移台RF-5950A产地为安徽、品牌为泽攸科技，型号为旋转纳米位移台，价格为面议，更多相关信息可来电咨询，公司客服电话7*24小时为您服务

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1740产品描述 LS-1740的尺寸为40 x 17 x 10mm，行程范围为26mm。概观运动行程[mm]26尺寸[mm]40 x 17 x 10重量[g]26力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1770产品描述 LS-1770的尺寸为70 x 17 x 10mm，行程范围为46mm。概观运动行程[mm]46尺寸[mm]70 x 17 x 10重量[g]46力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1760产品描述 LS-1760的尺寸为60 x 17 x 10mm，行程范围为41mm。概观运动行程[mm]41尺寸[mm]60 x 17 x 10重量[g]41力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1720产品描述 LS-1720的尺寸为20 x 17 x 10mm，行程范围为12mm。概观运动行程[mm]12尺寸[mm]20 x 17 x 10重量[g]13力特性推力[N]≤2负载[N]≤10升力[N]≤1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

长行程压电纳米位移台基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现数百mm的运动行程。该促动器结构紧凑，具有较高的保持力与长期的稳定性，能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。 技术特点：超长行程：36mm高分辨率：传感器分辨率为1.2nm超高精度：重复定位精度小于5nm运动速度：可达10mm/s高稳定性：保持力可达8N超高真空兼容性；运动模式：支持开环与闭环轻量化、结构紧凑，高可靠性模块化设计，摩擦单元可替换应用领域：扫描电镜（SEM）样品操纵主动光学超分辨成像样品移动大范围电子束直写（EBL）微纳装备及制造集成电路制造与检测高真空样品精度对准及调姿纳米聚焦与扫描显微及纳米CT

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1780产品描述 LS-1780的尺寸为80 x 17 x 10mm，行程范围为51mm。概观运动行程[mm]51尺寸[mm]80 x 17 x 10重量[g]51力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

产品描述PS2H30-005U系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供的多功能性，可以配置XY或XYZ运动，并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。体积小，外形尺寸仅有30x30x30mm，具有高谐振频率，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。PS2H30-005U系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。产品特性—高速1ms响应，多轴定位—最短的响应时间—亚纳米范围内的高分辨率—高度紧凑的设计带来卓越的性能选配功能—可定制孔位及转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可提供XYZ版本应用领域—原子力显微镜、扫描探针显微镜—测量、计量—光学探针、光学扫描、光束对准—微流体技术 结构原理 位移特性 典型应用PS2H30-005U系列技术参数

产品描述PSWH30-005U系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供多功能性，可以配置XY或XYZ运动，并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。体积小，外形尺寸仅有30x30x33mm，具有高谐振频率，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。PSWH30-005U系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。产品特性—高速1ms响应，多轴定位—最短的响应时间—亚纳米范围内的高分辨率—高度紧凑的设计带来卓越的性能选配功能—可定制孔位及转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可提供XYZ版本应用领域—原子力显微镜、扫描探针显微镜—测量、计量—光学探针、光学扫描、光束对准—微流体技术 结构原理 叠堆形式 典型应用PSWH30-005U系列技术参数

德国PI压电纳米位移台应用领域扫描显微镜测量技术测试程序和质量保证光子光纤定位带电容式传感器，实现亚纳米分辨率电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。自动配置和快速部件更换机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。零间隙柔性铰链导向带来高导向精度柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对振动和冲击不敏感。它们真空兼容，可在很广的温度范围内工作。直接位置测量带来最大精度运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现优异的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

泽攸科技 PicoFemto系列扫描电子显微镜纳米探针台实现了三维空间上的准确定位，具有小尺寸大行程、高定位精度、操作简单、能在真空下使用等优点，使用于在SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作及物性测量。PicoFemto 系列扫描电子显微镜 纳米探针台 基于压电陶瓷驱动技术，运动无需润滑，兼容扫描电镜真空环境，并可在多种温度范围内工作；步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。三轴探针台由XYZ三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。纳米探针台-技术指标（单个三轴探针台）运动指标尺寸参数1. X轴移动行程：±10mm；1. 长/宽/高: 48.6mm/33.2mm/43.6mm2. Y轴移动行程：±10mm；2. 重量：225g3. Z轴移动行程：±10mm；4. 运动速度：0-3mm/s；5. 细调分辨率：0.5nm 纳米探针台-产品选型泽攸科技提供适配Thermofisher/FEI、JEOL、ZEISS、Tescan及ZEPTOOLS等多种扫描电子显微镜型号的纳米探针台，支持定制。 安徽泽攸科技有限公司是纳米探针台生产厂家，关于扫描电镜原位样品台价格请咨询(微信同号)原文：安徽泽攸科技有限公司，是一家具有完全自主知识产权的先进装备制造公司。公司集研发、生产和销售业务于一体，向客户提供原位电镜解决方案、扫描电子显微镜等设备，立志成为具有国际先进水平的电子显微镜及附件制造商。 　　公司有精通机械、光学、超高真空、电子技术、微纳加工技术、软件技术的团队，我们为纳米科学的研究提供的设备。公司团队于20世纪90年代投入电镜及相关附件研发中，现有两个系列核心产品： 　　　 （1）PicoFemto系列原位TEM/SEM测量系统； 　　　 （2）ZEM15台式扫描电子显微镜。 　　　 PicoFemto系列原位TEM/SEM测量系统自问世以来，获得了国内外研究者的高度关注，并且已外销至澳洲、美国、欧洲等地。我们协助用户做出大量研究成果，相关成果发表在Nature及其子刊/JACS/AM/Nano. Lett./Joule/Nano. Energy/APL/Angewandte/Inorg. Chem.等高水平刊物上。 目前在国内使用我公司产品的课题组/实验平台多达八十余个，遍布五十余所大学/研究机构，包括中科院过程所、北京大学、清华大学、浙江大学、中科院硅酸盐研究所、厦门大学、电子科大、苏州大学、西安交通大学、武汉理工大学、上海大学、中科院大连化物所等等。国外用户包括澳洲昆士兰科技大学、英国利物浦大学、美国休斯顿大学、美国莱斯大学等。安徽泽攸科技有限公司为您提供PicoFemto扫描电镜原位高温拉伸台的参数、价格、型号、原理等信息，PicoFemto扫描电镜原位高温拉伸台产地为安徽、品牌为泽攸科技，型号为高温拉伸台，价格为面议，更多相关信息可来电咨询，公司客服电话7*24小时为您服务

技术特点： 超高定位精度 高动态 轴间运动学解耦设计 多运动模式：定位/扫描 兼容超高真空 运动行程：50~200um应用领域： 光学对准 纳米压印 显微成像/操纵 表面检测 半导体加工规格参数：型号NP-ST-XY-100位移方向X，Y传感器类型光栅/激光干涉仪行程（um）100X100闭环分辨率（nm）0.35空载谐振频率（Hz）900最大负载（kg）1材料铝合金尺寸（mm）130X130X20

卓聚科技 什么是压电多轴纳米位移台？压电多轴纳米位移台是多个纳米位移平台组合而成的多轴运动和定位产品，包括2轴，3轴，4轴，5轴等，形式多样，可根据需要定制。 压电多轴纳米位移台适用于物理科学，工业，半导体等领域，多轴纳米位移台，分辨率高，行程大，操作简单，定位准确，能在真空下使用等优点。 点击图片了解压电纳米位移台 随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展，精密定位不仅在实验室用途广泛，工业界的应用也越来越多。卓聚科技在以往研究基础上，发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品，填补了国产空白。 如果您的实验对精密位移要求高，可以联系卓聚科技定制高精密压电纳米位移台，欢迎您咨询。原文： 一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块，通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移，可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前，在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内，团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台。

P12系列压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3维并联式平移扫描台，台体中心圆形通孔孔径可选25mm或35mm，满足显微等应用。压 电扫描台可以实现单轴320μm的位移行程，一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选，以满足不同应用的需求。P12.XYZ三维XYZ轴压电扫描台，结构紧凑，外形尺寸60×60×24mm，最大行程可达110μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率，毫秒级的响应时间，台体中心中孔尺寸达Φ25mm，非常适合于显微及扫描中的样品定位。特性 三维XYZ向运动，最大行程110μm/轴 最大承载0.6kg 通孔尺寸：?25mm(?35mm可选 ) 闭环重复定位精度高 响应速度快P12系列压电扫描台采用机构放大设计原理，超小的体 积外形，尺寸仅为60×60×24mm，P12.XYZ可以实现最大110μm/轴的扫描范围，中心通孔可选25mm或35mm，35mm通孔对应台体外形尺寸为70×70×24mm。台体采用FEA有限元分析优化设计，具有零摩擦、超高导向精度、纳米级分辨率等优点。P12系列压电扫描台内置高可靠性表面绝缘压电陶瓷，确保了扫描台的可靠性与稳定性。

产品描述PS3H30-005U系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供多功能性，可以配置XY或XYZ运动，并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。体积小，外形尺寸仅有30x30x42mm，具有高谐振频率，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。PS3H30-005U系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。产品特性—高速1ms响应，多轴定位—超快的响应时间—亚纳米范围内的高分辨率高度紧凑的设计带来卓越的性能选配功能—可定制孔位及转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可提供XYZ版本应用领域—原子力显微镜、扫描探针显微镜—测量、计量—光学探针、光学扫描、光束对准—微流体技术 结构原理 步进图像 典型应用PS3H30-005U系列技术参数

MLS-1730系列 MLS-1730系列产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成，即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。Nators可提供预装配多轴纳米定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。MLS-1730-2D产品描述 MLS-1730-2D所用定位台为LS-1730，运动为21x21mm。概观轴数2所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21XY 负载[N]10靠板安装尺寸[mm]60x60x25 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]30x30x20 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

MLS-1730系列 MLS-1730系列产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成，即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。Nators可提供预装配多轴纳米定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。MLS-1730-3D产品描述 MLS-1730-3D所用定位台为LS-1730，运动为21x21x21mm。概观轴数3所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21x21XY 负载[N]10Z 负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x59 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]30.75x30x54 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1750产品描述 LS-1750的尺寸为50 x 17 x 10mm，行程范围为31mm。概观运动行程[mm]31尺寸[mm]50 x 17 x 10重量[g]32力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

产品描述PS3100-300UA系列为XYZ轴运动纳米位移台。XYZ轴设计为300微米大行程运动双向运动，方便样品移动，可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。由于FEA的优化这款平台提供动态性能和出色的引导精度。 即使在非常紧凑的包装中实现高质量负载，也可以实现这一点。 本系列系列专为大承载动态应用领域设计。压电平台由集成在带有内部杠杆传动装置的壳体中的执行器组成。 压电平台通过四个对角孔固定在基板上。特别注意因平台为XY叠加结构，压电平台的固定孔为最下端的压电平台，切勿锁定上方的运动平台，否则导致柔性机构的损坏。产品特性—XYZ位移300μmx300μmx80μm（闭环）—多种负载安装孔位—大承载设计—XY双向驱动带来更高动态特性选配功能—可定制孔位及转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—4通道驱动控制应用领域—精密加工领域—测量、计量—光学镜片调整与对准—图像处理与扫描 结构原理 堆叠形式 典型应用PS3L100-300UA系列技术参数

LS-1730产品描述 LS-1730的尺寸为30 x 17 x 8.5mm，行程范围为21mm。概观运动行程[mm]21尺寸[mm]30 x 17 x 8.5重量[g]21力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台