三靶大面积溅射系统之高分辨涡轮泵版本,CPU程序全自动控制,触膜屏用户界面,标配有挡板和靶材预清洁程序,既适合贵金属、也适合易氧化金属等多种靶材镀膜。 Q300T T镀膜仪是为薄膜应用而设计的多功能离子溅射镀膜仪,也是钨灯丝和场发射电镜观察之大样品制备的理想镀膜仪。为了确保精细沉积,Q300系列镀膜仪设有旋转样品台和三只相同的磁控靶组件,这也将提高采用低电压溅射的工作效率。该系统之高分辨涡轮泵版本Q300T T镀膜仪标配有挡板,作用是在保持真空条件下使易氧化金属靶材先进行清洁处理,然后再执行镀膜循环。所以,它既适合使用不氧化的贵金属如金(Au)、铂(Pt)等靶材镀膜,也适合易氧化金属如铬(Cr)、铝(Al)、钛(Ti)、锌(Zn)或氧化铟锡(ITO)、铱(Ir)等多种靶材镀膜。 和极其成功的Q150系列溅射仪、蒸镀仪一样,Q300T T型镀膜仪装在一个符合人机工程学设计的、坚固的整体成型机箱中,并且集成有触摸屏控制,对有经验的熟手和第一次使用的用户都适合的简单操作,从而可提供卓越的镀膜质量。 主要特点: &bull Large format chamber.The Q300T T sputter coaters incorporate a 300mm x 127mm work chamber and the sample stage accepts substrates up to 8&rdquo in diameter. An extended height glass chamber is available as an option to enable coating of larger format samples.大腔室。Q300T T型溅射镀膜仪设有尺寸为300mm x 127mm的工作腔室和适用于最大直径达8&rdquo 样品的样品台。可选配加长高腔室,以便于大且高的样品镀膜。 &bull Triple sputter head 三靶大面积溅射 &bull High resolution turbo pumped system高分辨涡轮泵版本;抽速5 m3/hr的涡卷泵或隔膜泵(隔膜泵仅用于Q300T T)可很好地替代普通的前级旋转机械泵,适合于无油或无尘室环境质量要求高的抽真空场合。 &bull Fully automated touch screen control 全自动触摸屏控制 &bull Coater logging option 镀膜仪日志(选项) &bull Customer defined coating protocols 用户自定义镀膜方案 &bull Film thickness monitor option 膜厚监控(选项),可通过腔室内的晶振片装置测量镀膜厚度,也可预设厚度去控制材料沉积在样品上的膜厚度,达到需要的镀膜厚度时,镀膜仪可自动停止镀膜 &bull Vacuum shutdown 真空闭锁功能 &bull Emergency stop switch 紧急停止开关