高精度电动位移台一维轴线性滑台

仪器简介：卓立汉光研发生产的电移台包括电动平移台，电动旋转台，电控角位台，电控升降台，两维电控平移台，多维电控平移台，电移台控制箱及软件。电移台全称叫电控位移台，因其高精度、快速度、大承载、行程大、自动化而广泛应用于科研、激光应用、全自动计量检测仪器设备、工业自动化等领域；以及实现真空、污染、无菌、辐射等环境下的自动位移控制。技术参数：凯撒-KSA系列高精密电控位移台帕萨-PSA系列精密电控位移台TSA系列电控位移台RAK系列高精密电控旋转台RSA系列精密电控旋转台电控位移台组合应用客户定制系统展示位移台 电控位移台 电移台 电动位移台主要特点：电移台全称叫电控位移台，因其高精度、快速度、大承载、行程大、自动化而广泛应用于科研、激光应用、全自动计量检测仪器设备、工业自动化等领域；以及实现真空、污染、无菌、辐射等环境下的自动位移控制。电控位移系统基本由三部分组成：位移台；驱动电机；控制箱。驱动电机及控制箱主要决定驱动扭矩，分辨率，加减速度，信号处理，使用功能（如扫描，圆弧插补）等性能参数。位移台则是系统的心脏，主要技术指标如位移精度，行程，负载，稳定性，适用环境，外形尺寸均由其决定。运动控制箱 采用多种结构形式，精选优质零部件，涵盖多种精度，多种行程，多种负载，多种外形尺寸。产品适配步进电机和伺服电机（标准品配有步进电机）；可配装光栅尺进行闭环控制，提高精度；可加装防尘罩，适合多种环境。并且，本着服务用户的原则， 我们还在不断的推出更多的新产品，提供更多选择。价格面议。

微型精密电动位移台MD系列MD系列小尺寸精密电动位移台采用高精密交叉滚柱导轨配合小导程进口C5 或C3 级滚珠丝杠直联两项步进电机，具有更高的分辨率和定位精度以及更紧凑的外形。其电机内部集成编码器，让MD 系列产品形成闭环系统，在分辨率和定位精度得到了保证。本系列产品主体材料均采用优质铝合金，通过卓立特有的精密磨削技术及加工中心一次定位铣削工艺保证产品零件的尺寸和形位公差。整体装配采用激光干涉仪和三坐标测量仪实时跟踪，保证最终产品组装精度及运动定位精度。产品注重尺寸小巧，节省空间。MD系列微型精密电动位移台产品特点： 结构小巧、精度高采用小导程滚珠丝杠，适合微步移动采用日本进口2mm交叉滚柱导轨，实现超高直线运动性能采用丝杠直连式一体化电机驱动，免去联轴器引起的丢步，实现高运动精度。MD系列微型精密电动位移台选型表： 型号MDP13-40MDP25-65MDT13-40MDT25-65行程范围（mm）±6.5±12.5±6.5±12.5台面尺寸（mm）40X4065X6540X4065X65主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理导轨交叉滚柱导轨滚珠丝杠直径Φ6mm X导程1mm分辨率（μm/脉冲）Step：2 Half：1Step：5 Half：2.5最大速度（mm/sec）10定位精度（μm）1030重复定位精度（μm）13回程间隙（μm）26静态平行度（μm）30405080运动平行度（μm）15202530俯仰/偏摆 （″）25/2520/2030/3025/25最大静扭矩（Nm）16mN.m80mN.m中心负载（Kg）3535自重（Kg）0.40.60.50.8限位传感器2个原点传感器1个表面处理阳极氧化（符合RoHS）

高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台产品负责人：姓名：李工(Maple)电话：（微信同号）邮箱： 昊量光电推出全新一代高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台，在保证纳米级精度（双向线性可重复性30nm）的前提下可以达到80kG（可选）的中心负载。 10 多年来，ALIO 一直专注于纳米精密运动和可重复性。由 ALIO 引入的 Nano Point Precision™ 6-D 和 True Nano™ 概念现已被 NIST 采用，并被认为是未来运动系统测量和量化的标准方法。 Nano Point Precision 6-D 包括移动工作台的所有 6 个误差自由度：它允许您根据精确点（在 3D 空间中）指示“精度数字”，并用于许多应用，从激光处理到计量。ALIO 生产一系列线性运动控制解决方案，这些解决方案的设计和制造符合可保证其性能的标准。该公司的机械轴承台可以以任何空气轴承台无法复制的精度水平运行。 在用户群体中，ALIO 提供了超精确且具有成本效益的运动控制解决方案，即使对于苛刻的应用也是如此。该公司由一支无与伦比的杰出工程师团队组成，他们痴迷于纳米级运动控制，并尽可能突破感知界限。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 带有交叉滚子轴承的整体式 XY 系统 凭借纳米直线度和纳米平面度，您可以放心，您的精度是 True Nano。该系列位移台还提供中间开口和 50 毫米至 450 毫米的行程。标准的双向可重复性小于 50 纳米，但对于更苛刻的计量和生产需求，可以提供双向可重复性为 10 纳米配置（可选）。 纳米精度由 NIST 可追溯数据保证，而不是由数据表中指示的数字保证。 也可提供不对称版本（不同的 X 和 Y 行程）。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 带有伺服电机 CM的直线工作台 由 ALIO 设计的带有伺服电机的直线工作台是希望在不牺牲 True Nano 精度的情况下限制成本的客户的理想解决方案。带有 CM 伺服电机的工作台仍然具有 ALIO 6-D 精度，但由于力较小，它们适用于所有需要低水平加速度和力的应用。该系列中的板使用集成在其他 ALIO 产品中的相同精密防滑轴承。可提供从 25 毫米到 400 毫米的行程。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 定制化需求 ALIO 真正定制其核心运动控制解决方案的能力使其与替代解决方案提供商区别开来，通过精确匹配 OEM 客户的需求以及推动纳米精密应用的极限，提供显着的附加值。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 详细参数请下载数据单

产品介绍：OMTOOLS 一体式高精度电动位移台OMST系列为解决中小尺寸、高重复使用频率等情况专门设计的高精度不锈钢电动直线位移台。主体材料采用高强度440C不锈钢，表面无电解镀镍处理，刚性好，强度高，外观精美。采用精密滚珠丝杆传动，一体构造的哥特式直线滚珠导轨导向，可实现X/Y轴线方向较高精度的往复直线运动。标配五相东方马达，可提供较高的分辨率和定位精度。具备多种行程范围可选，及一定的水平负载能力，是各种平移应用的理想解决方案。最适合自动对焦、镜头、电子元件的精密位置对齐。 产品特点：■主体材质采用无电解镀镍处理的高强度440C不锈钢，刚性好，强度高，外观精美■一体构造的哥特式直线滚珠导轨结构，使得滑台厚度最小化实现流畅外形和高刚性，具有一定的负载能力和较高的定位精度■标配为五相东方马达，实现自动调整，自动控制■滚珠丝杆传动机构，具有高精度和高传动效率 选型表：型号OMST60100A机械规格 行程(mm)100台面尺寸(mm)60x60传动机构精密滚珠丝杠?8X1导轨（导向机构）一体构造的哥特式直线滚珠导轨主体材料及表面处理440C不锈钢，表面无电解镀镍处理总厚度（mm）30自重（Kg）1.6联轴器（外径-孔径1-孔径2）mm12-5-5精度规格整步分辨率（μm）220细分开环分辨率（μm）0.1最大速度（mm/s）*5单向定位精度（μm）10重复定位精度（μm）±3静态平行度（μm）20运动平行度（μm）15运动直线度（μm）20回程间隙（μm）≤5电气规格电机及步距角（゜）五相28步进电机，步距角0.72电机品牌及型号东方马达工作电流（A）1.2电机扭矩（Nm）0.052驱动器品牌及型号东方马达CVD512BR-K滑台接头DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.2限位传感器（内置）微型光电传感器原点传感器（内置）微型光电传感器传感器电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V； OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）；负载水平负载（Kg）10倒置负载（Kg）6竖直负载（Kg）6

产品说明双轴整体正交设计、精度高、厚度薄，空间利用率大幅提升；高品质滚珠丝杠驱动，满足高精度、高重复频率的使用要求；均采用精密交叉滚柱导轨，运动平稳，承载大；全闭合台面，实现各类安装孔组合，灵活应用于不同工业场合；标配二相步进电机，也可根据实际使用要求换装五相步进电机或伺服电机；垂直使用需换装抱闸电机； 精密整体二维电动平移台EPSF-N系列通过步进电机控制，可实现空间XY两轴位移调整自动化。该系列产品是OMTOOLS为解决工业生产线、自动化加工装备、自动化观测检测设备等场景中需求而开发设计的。采用交叉滚柱导轨，滚珠丝杠传动，整体式结构设计，有效提高正交度和运动精度。全闭式台面，提供丰富多样的安装孔组合，可以满足各类设备和工件等载物需求。主体材料采用高强度铝合金，表面氧化黑处理，耐磨性好，外观精美。

精密电动平移台EPSB系列产品介绍：精密电动平移台EPSB系列产品是OMTOOLS在EPSA系列产品基础上改进而成。产品采用高精密研磨滚珠丝杠、进口精密级自调心滚珠线性导轨和高品质联轴器等部件进行传动，采用大转矩、高稳定性的两相步进电机作为动力源，采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。产品精度高、承载能力强，稳定性好、通用性强、组合方便，适用于各类科研、工业用户的精密光学实验、精密定位和精密加工等领域，如：高精密激光加工、高精密三维扫描测量等，是性价比超高的电移台产品。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■研磨级滚珠丝杠传动，传动效率高、启动力矩小、无颤动和滞后，定位和重复定位精度高；■采用进口精密级自调心滚珠线性导轨，通过轻预压装配工艺，负载能力强，运行直线度、平行度好；运行平行度和直线度≤20μm■采用标准两相步进电机驱动，转矩大、稳定性高；■标准电机配有手轮，实现手自调节一体化；■2个机械限位开关，可实现超程降速和限位保护；■1个光电零位开关，实现零位精密定位和误差校正，防止误差累积；■标准DB9接口，通用性强，也可与我公司两相步进电机控制器兼容；■采用标准安装孔位，便于仪器设备安装及多自由度模组组合；■可选配光栅尺进行闭环控制，闭环分辨率可达1μm； 命名规则：EPSB-50G-系列代码：精密电动平移台行程：50：50mm100：100mm150：150mm200：200mm300：300mm400：400mm可定制特殊规格光栅尺：选配：G代表含光栅尺 选型表：型号EPSB50EPSB100 EPSB150EPSB200EPSB300EPSB400 机械规格台面尺寸(mm)125X124160X160行程(mm)50100150200300400传动机构精密滚珠丝杠?12X4精密滚珠丝杠?16X4导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）55mm66mm自重3.553.854.154.59.410.8联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）25-6-525-10-6.3520细分开环分辨率1μm最大速度（mm/s）20单向定位精度（参考值μm）≤10≤15≤20≤25≤35≤45重复定位精度（参考值μm）≤±5回程间隙（μm）≤5静态平行度（μm）≤40运动直线度（μm）≤20≤25运动平行度（μm） ≤25≤30偏摆（“）≤50≤60俯仰（“）≤50≤60 电气规格电机及步距角（゜）二相42步进电机，步距角1.8二相57步进电机，步距角1.8电机品牌及型号雷赛工作电流（A）2.54.2电机扭矩（Nm）0.61.3光栅尺品牌贵阳新天驱动器品牌及型号雷赛滑台接头&光栅尺接头两个DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙原点传感器（内置）欧姆龙传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）； 负载水平负载20kg30kg倒置负载10kg 15kg竖直负载10kg15kg配合Z轴转接板型号OMLB01BOMLB01BOMLB02BOMLB02BOMLB03BOMLB03B最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。精密电动平移台 高精度电动位移台 电控位移平台

产品说明：OMTOOLS 小型高精度电动位移台OMSC40N系列,该系列为OMSC40系列的升级款。采用宽幅单导轨，具备更好的刚性和精度，使其稳定性更好。采用高精度研磨丝杆，标配二相步进电机，可提供较高的微步能力和定位精度。 产品介绍：■采用研磨小导程滚珠丝杆，配二相步进电机，提供出色的微步能力。■精密宽幅线性滑轨导向，有效保证运动精度以及稳定性。■导轨安装面采用精密磨削工艺，有效的保证导轨精度■内置三个传感器（正负限位及零位），采用高柔线缆模组化，维护更方便。■独特装配工艺要求，保证产品的一致性 产品参数：型号OMSC4020NOMSC4050NOMSC40100N机械规格行程(mm)2050100台面尺寸(mm)40x4040x4040x40导轨（导向机构）精密宽幅滑轨精密宽幅滑轨精密宽幅滑轨主体材料及表面处理6061T66061T66061T6水平负载（KG）333自重（Kg）0.40.60.8精度规格整步分辨率（um）55520细分开环分辨率（um）0.250.250.25最大速度（mm/s）*555单向定位精度（μm）304050重复定位精度（μm）±10±10±10运动平行度（um）303030静态平行度(um)50 5050俯仰（"）505050偏摆（"）505050电气规格电机品牌信浓电机规格二相28步进电机，步距角1.8电机扭矩（N.M）0.0785工作电流（A）1.3驱动器品牌鸣志滑台接头插线端口滑台接头线缆高柔性线缆传感器内置NPN-PCB–1L–2508输出控制3.7输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）； 输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）；

OMLB-B系列组合型转接板产品特点：材质：6061-T4 铝合金精密加工并经黑色阳极氧化处理的高强度铝合金材料，通过减少表面反射最大程度的降低对光学系统的影响。提供红星杨标准电动产品XZ和XYZ的配置。 产品介绍：OMTOOLS组合型转接板适用于电动位移台等产品，常用于垂直安装两个位移台。一个XY轴线性位移台和一个单轴线性位移台通过直角转接板可以组合成一个XYZ轴线性位移台。另外两个单轴线性位移台通过直角转接板也可组装成一个XZ轴线性位移。 选型表：型号主体材质适用的电动产品主体尺寸表面处理OMLB01B6061-T4 铝合金EPSA50、EPSA10075x124x230mm黑色阳极氧化OMLB02B6061-T4 铝合金EPSA150、EPSA20075x124x330mm黑色阳极氧化OMLB03B6061-T4 铝合金EPSA300、EPSA400120x160x500mm黑色阳极氧化

高精度六轴位移台/六足位移台Hybrid Hexapod姓名：谷工(Givin)电话：（微信同号）邮箱：昊量光电推出全新一代高精度六轴位移台/六足位移台Hybrid Hexapod采用了与传统6自由度(6-D)定位设备不同的方法，并以极具竞争力的价格展示了更高的性能。六轴位移台Hybrid Hexapod结合了精密XY单片工作台、三脚架和连续旋转的Theta- Z轴，而不是6个独立的腿(和12个连接接头)，提供卓越的整体性能。这使得传统的六足位移台运动学过时了，在精度、路径性能、速度、刚度和更大的工作范围上都有了数量级的改进，几乎可以无限的XY行程，完全可编程的工具中心点位置。高精度六轴位移台/六足位移台Hybrid Hexapod具有小于100nm的三维6轴点精度重复性，使其成为激光加工、光学检测、光子学、半导体、计量和医疗设备领域以及所有微加工项目的关键任务应用的关键技术。传统的六足位移台无法达到亚微米的精度，因为它们需要精确协调所有六个轴的运动来完成一个运动轮廓，即使这个要求只是一个简单的单轴运动。此外，尽管人们普遍认为六足位移台比串行堆叠的多轴系统表现出良好的刚度，但这实际上只是在垂直的“Z”轴上，在“XY”平面上存在弱点。产品举例：详细参数请下载数据单高精度六轴位移台/六足位移台Hybrid Hexapod迷你六轴位移MINI Hybrid Hexapod是自动镜头对准/粘接到ccd阵列的理想选择。它在构建相机阵列模块、平移式OIS、用于手机相机和无人机等日常产品中的微型相机的望远镜集成镜头方面都很有帮助。任何需要6度自由定位的纳米/弧秒级增量运动和重复性的应用都非常适合该产品，因为产品传感器分辨率的提高推动了对更高精度的需求。大角度六轴位移台Angulares Hybrid Hexapod到目前为止，大角度六轴位移台Angularstm Hybrid Hexapod的60度tip/tilt行程是市面上任何六自由度(6-DOF)定位器所能提供的zui大角度行程范围。它非常适合应用于非球面和自由曲面光学计量，硅光子学封装和探测，激光微加工(非平面基片和锥度控制)，晶圆计量，相机模块对准和装配，传感器/图像稳定测试，以及光学元件和光纤对准。大角度六轴位移台具有精密交叉滚子轴承导轨，光学增量或绝对编码器反馈在所有轴，直线电机和/或伺服滚珠丝杠驱动器，无限可编程的工具中心点位置和坐标偏移，和零后座力。它能够无限XY位移,Z轴位移在使用其它三脚架模式下62mm增加到208mm，连续360度Theta-Z下的60度tip/tilt行程(+/- 30度)， XYZ双向重复性小于+/- 0.6角秒，速度高达100mm/s XY和Z，小于10nm的线性和0.1弧秒的小增量角运动。几种定制化配置：

VP-25X 系列采用紧凑型封装铝制机身，具有 25 mm 行程、出色的 MIM 和位置稳定性。类似于其他系列的线性位移台，VP-25X 还具有循环滚珠轴承、无侧隙滚珠丝杠和线性钢尺。应用包括：光纤对准、生物医学、半导体以及高精度测试和测量。易于进行 XY 和 XYZ 配置灵敏度高，10 nm 最小增量运动厚度薄、结构紧凑且重量轻便捷的手动调节旋钮内置线性编码器，可实现高度可重复且精确的运动即插即用 - ESP 兼容M-VP-25XL电动线性位移台，25mm行程，10 nm MIM，带转速表的直流伺服电机，公制X10 nmM4 and M6M-VP-25XL-XYZR电动XYZ 线性位移台，25mm行程，10 nm MIM，直流伺服电机，转速表，公制XYZ10 nmM3, M4, and M6M-VP-25XL-XYZLXYZ 线性位移台，25mm行程，10 nm MIM，直流伺服电机，转速表，公制XYZ10 nmM3, M4, and M6M-VP-25XA电动线性位移台，25mm行程，100 nm MIM，直流伺服电机，转速表，公制X100 nmM4 and M6M-VP-25XA-XYZR电动XYZ 线性位移台，25mm行程，100 nm MIM, 直流伺服电机，转速表，公制XYZ100 nmM3, M4, and M6M-VP-25XA-XYZLXYZ 线性位移台，25mm行程，100 nm MIM, 直流伺服电机，转速表，公制XYZ100 nmM3, M4, and M6型号VP-25XAVP-25XLVP-25XA-XYZRVP-25XL-XYZR电动轴XXXYZXYZ行程范围25 mm25 mm25 mm25 mm最大速度25 mm/s25 mm/s25 mm/s25 mm/s最小位移增量100 nm10 nm100 nm10 nm中心负载能力60 N60 N35 N35 N轴向负载 (+Cx)40 N40 N40 N40 N逆轴向负载能力 (-Cx)-40 N-40 N-40 N-40 N精度，典型值±0.4 µ m±0.5 µ m±0.4 µ m±0.5 µ m精度，保证值±1.0 µ m±1.0 µ m±1.0 µ m±1.0 µ m双向重复精度，典型值±0.06 µ m±0.05 µ m±0.06 µ m±0.05 µ m双向重复精度，保证值±0.10 µ m±0.07 µ m±0.10 µ m±0.07 µ m俯仰，典型值±22 µ rad±20 µ rad±22 µ rad±20 µ rad俯仰，保证值±50 µ rad±50 µ rad±50 µ rad±50 µ rad俯仰顺应性20 µ rad/Nm20 µ rad/Nm20 µ rad/Nm20 µ rad/Nm偏摆，典型值±17 µ rad±20 µ rad±17 µ rad±20 µ rad偏摆，保证值±50 µ rad±50 µ rad±50 µ rad±50 µ rad偏摆顺应性30 µ rad/Nm30 µ rad/Nm30 µ rad/Nm30 µ rad/Nm电缆长度1.5 m3 m1.5 m3 m螺纹类型 18-32 and 1/4-208-32 and 1/4-204-40, 8-32 and 1/4-204-40, 8-32 and 1/4-20Orientation 2重量1.5 kg1.5 kg5 kg5 kg无侧隙滚珠丝杠VP 包括预装的无侧隙滚珠丝杠，可提供平滑的运动和出色的双向重复性。XYZ 配置VP 平移台可以使用VP-BK(M-VP-BK)支架轻松地叠堆为 XY 配置或 XYZ 配置。VP 平移台可以具有公制或标准孔型。微定位VP-25XL 系列采用线性钢制刻度编码器，确保XPS高级运动控制系统命令控制的定位精度达到 ±1 µ m。手动调节旋钮直流电动机的最大特点是速度快，运动平稳，效率高，功率/重量比高。 这些VP级的精确闭环伺服定位和速度控制是通过内置的线性编码器和转速表实现的。 手动调节旋钮还增加了这些阶段的实用性。

OMLB-B系列直角转接板产品特点：材质：6061-T4 铝合金精密加工并经黑色阳极氧化处理的高强度铝合金材料，通过减少表面反射最大程度的降低对光学系统的影响。提供红星杨标准电动产品XZ和XYZ的配置。 产品介绍：OMTOOLS直角转接板适用于电动位移台等产品，常用于垂直安装两个位移台。一个XY轴线性位移台和一个单轴线性位移台通过直角转接板可以组合成一个XYZ轴线性位移台。另外两个单轴线性位移台通过直角转接板也可组装成一个XZ轴线性位移。 选型表：型号主体材质适用的电动产品主体尺寸表面处理OMLB04B6061-T4 铝合金OMSC60系列60x60x120mm黑色阳极氧化OMLB05B6061-T4 铝合金OMSC805080x80x80mm黑色阳极氧化OMLB06B6061-T4 铝合金OMSC10050100x100x100mm黑色阳极氧化OMLB07B6061-T4 铝合金OMSC12580125x125x125mm黑色阳极氧化

精密整体二维电动平移台EPSD系列产品介绍：精密整体二维电动平移台EPSD系列采用二维整体式设计，通过步进电机控制，可实现空间XY两轴位移调整自动化。该系列产品是OMTOOLS为解决工业生产线、自动化加工装备、自动化观测检测设备等场景中对整体式二维平面运动的需求而开发设计的整体式二维电动平移台。该系列产品采用交叉滚柱导轨及直线滑块导轨，滚珠丝杠传动，采用整体式结构设计，有效提高正交度和运动精度。中心设计有通光孔，通光孔也可另配玻璃、荧光板，实现透射、反射、散射等扫描对位观测要求，也可配铝合金盖板等直接装设备和工件等。主体材料采用高强度铝合金，表面氧化黑处理，耐磨性好，外观精美。 产品特点：■双轴整体正交设计、精度高，结构紧凑■进口高品质滚珠丝杠驱动，满足高精度、高重复频率的使用要求■采用精密交叉滚柱导轨配合高精密滑块导轨，运动平稳，承载大■中心设计有通光孔，通光孔也可另配玻璃或铝合金盖板，可灵活应用于不同工业场合■标配二相步进电机，也可根据实际使用要求换装五相步进电机或伺服电机■垂直使用需换装抱闸电机 命名规则:EPSD-20系列代码：精密整体二维电动平移台XY行程：20：20mm×20mm50：50mm×50mm100：100mm×100mm150：150mm×150mm200：200mm×200mm 选型表：型号EPSD20EPSD50 EPSD100EPSD150EPSD200 机械规格台面尺寸(mm) 125x125200x200250x250400x400450x450行程(mm)X轴：20 Y轴：20X轴：50 Y轴：50X轴：100 Y轴：100X轴：150 Y轴：150X轴：200 Y轴：200中心开口尺寸(mm)42X4290X90140x140250x250300x300极限行程时通光尺寸(mm)30x3065x6590x90125x125200x200传动机构研磨丝杆?6X1研磨丝杆?8X2研磨丝杆?8X2研磨丝杆?10x2研磨丝杆?10x2导轨（导向机构）交叉滚柱导轨交叉滚柱导轨+线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）60.58484103103自重 2.58.511.123.927.0 精度规格分辨率（μm）51010101020细分下的分辨率0.250.50.50.50.5最大速度（mm/s）55555单向定位精度（μm）≤20≤25≤30≤50≤50重复定位精度（μm）≤±5≤±5≤±8≤±10≤±10回程间隙（μm）≤5静态平行度（mm）≤0.1运动直线度（μm）≤15≤20≤25≤30≤35运动平行度（μm）≤15≤20≤25≤30≤35偏摆（“）≤30≤50≤50≤60≤65俯仰（“）≤35≤50≤50≤60≤65电气规格电机及步距角（゜）二相28步进电机，步距角1.8二相42步进电机，步距角1.8二相57步进电机，步距角1.8电机品牌及型号信浓雷赛工作电流（A）1.32.54.2电机扭矩（Nm）0.07850.61.3驱动器品牌及型号雷赛滑台接头&光栅尺接头两个DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）NPN-PCB-3L-20S-3308 NPN-PCB-3L-50S-6508NPN-PCB-1L-2508原点传感器（内置）NPN-PCB-3L-20S-3308NPN-PCB-3L-50S-6508NPN-PCB-1L-2508传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）； 负载水平负载10kg20kg20kg30kg30kg倒置负载3kg8kg8kg10kg10kg竖直负载3kg8kg8kg10kg10kg最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。

高精度显微镜载物台/显微镜平移台Applied Scientific Instrumentation (ASI) 由俄勒冈大学的一群研究人员于 1990 年创立，他们希望开发高性能的科学仪器以改进他们的研究。该公司从开发电动显微镜载物台开始，并迅速扩展到其他产品，例如平移载物台和压电驱动定位器。多年来，ASI 在科学仪器行业建立了创新和质量的声誉。他们开发了多项专有技术，包括用于显微镜物镜的精密电动聚焦控制器 MFC2000 和模块化显微镜载物台系统 MS2000。美国ASI公司MS系列高精度显微镜载物台/位移台，是经过专门设计的三维平台，可用于市面上大部分的正置/倒置的显微镜。采用闭环反馈的伺服电机和滚珠丝杠驱动，可实现高分辨率和高可重复精度。该电动载物台可以搭载Z轴压电陶瓷平台，提供Z轴方向纳米级的定位精度。可以与市面上标准参数的各类相关产品配合，组成自定义系统，支持丰富的配套产品联控。位移台：ASI公司可所提供的高精度伺服电机电动显微镜载物台，使用零间隙微型齿轮直流伺服电机驱动，采用高分辨率编码器加高精度滚珠丝杠的组合，标准丝杠可实现22nm高分辨率和700nm双程可重复精度。可配置压电陶瓷Z轴平台，提供Z方向纳米级的定位精度，行程从150μm-500μm可选。可与手动平移台、压电位移台和步进电机平台等组成混合运动平台。控制器：ASI公司的所有电动位移台都配置有MS-2000-WK 系列多功能的多轴平台控制器，控制器包含一个可以用于控制XY平台移动的拨杆，和一个可以调节压电位移台位置的旋钮。支持数字显示、速度调节、断电自动保存位置、可编程路径、软件限位、TTL内/外同步触发、配合视频采集硬件实现自动对焦，画面拼接等功能，支持zui多四个电动轴的闭环直流伺服控制。 1）适配倒置显微镜匹配市面上的倒置显微镜，主要型号如下：Leica – DMI3000, DMI4000, DMI5000, DMI6000, DMIRB, DMIRBE, DMIRE, DMIRE2Nikon – Diaphot Eclipse TE2000, Eclipse TiOlympus – BX50WI, BX51WI, BX61WI, IX70, IX71, IX81Zeiss – Axiovert 200, Axio Observer产品图片描述方向/行程型号：MS-2000FT普遍适用倒置显微镜的电动载物台；与ASI的所有Z轴平台匹配；超薄设计+平整上表面，方便两侧操作；标准的160×110mm（K形）通孔，适配各类样品/夹具，包括载玻片，皮氏培养皿，多孔板等。X-Y轴 120×75mm详细参数见数据单1型号：MS-2000 与ASI的所有Z轴平台匹配，适配绝大多数倒置显微镜；标准的K型通孔；提供Y轴方向更大的行程，更经济的价格。X-Y轴 120×110mm详细参数见数据单2型号：MS-2500大行程；超薄设计+平整上表面；可以直接放入三个多孔板。X-Y轴250×75mm详细参数见数据单3 型号：PZM-2000 可以配合客户原有/OEM手动平台的z轴压电纳米位移台；标准的K型通孔；提供150；300；500um标准行程，100；200um定制。Z轴150；300；500um详细参数见数据单4型号：PZ-2000 XY电动+Z轴压电；仍具有标准的K型通孔。X-Y轴120×110mmZ轴150；300；500um详细参数见数据单5型号：PZ-2000FTXY电动+Z轴压电；仍具有标准的K型通孔。X-Y轴120×110mmZ轴150；300；500um详细参数见数据单6型号：US-2000专为超分辨显微镜；特殊设计具有高稳定、高分辨率及可重复性，更低温漂；与ASI的所有Z轴对焦平台匹配。X-Y轴 50×50mm 至120×75mmZ轴 150；300；500um详细参数见数据单72）适配正置显微镜匹配市面上的立式显微镜，主要型号如下：Leica – Aristoplan, DM4000, DM4500, DM5000, DM6000, DMLB, DMRB, DMRP, DMRXPNikon – Eclipse 80i, Eclipse 90i, Eclipse 800, Eclipse 1000Olympus – AX70, BX41, BX50, BX51, BX60, BX61Zeiss – AxioImager, Axiolab, Axioplan, Axioplan II, Axiophot I, Axiophot II, Axioskop, Axioskop II, Axioskop FS II产品图片描述方向/行程型号：FPT-2000门式结构，LS-25×2+MS-2000FT；高精度XY电动+Z轴电动，Z轴大行程；可适配绝大多数正置/OEM显微镜。X-Y轴120×75mmZ轴25mm详细参数见数据单8型号：MS-2000（Low Mass版）质量较轻的平台，重量为常规平台的3/4；可更快达到热平衡；标准的K型通孔，可与ASI的所有Z轴平台匹配。 X-Y轴 100×100mm详细参数见数据单10型号：MS-2000S平台尺寸仅为216×226×65.6mm；可适用于各类客户自搭建系统；XY平台中zui经济的价格。 X-Y轴100×100mm详细参数见数据单10型号：MS-4400普遍适用正置显微镜的电动载物台；可适用于：Leica DMR-series, Nikon Eclipse 80i, Olympus BX series, Zeiss Axioplan, Axioskop 2, Axio Imager；标准的K型通孔，可与ASI的所有Z轴平台匹配。X-Y轴100×100mmZ轴12mm or 25mm详细参数见数据单11型号：MS-9500大行程位移平台；可一次放置/扫描八个25×75mm标准玻片。X-Y轴225×125mm详细参数见数据单12 型号：PZMU-2000Z轴压电定位平台，AU-PZMU-2000包括ASI经过验证的压电Z顶板，该顶板安装在独立的外壳中。可安装在任何水平表面，或直接安装在立式显微镜的手动XY平台上。AU-PZMU-2000具有标准K型通孔。Z轴150；300；500um详细参数见数据单13型号：PZU-2000高精度XY电动+Z轴压电 标准K型通孔。X-Y轴120×110mmZ轴150；300；500um详细参数见数据单143）显微镜载物台Z轴压电平移台产品图片描述方向/行程型号：IPZ-3000FT标准K型外尺寸；提供150；300；500um标准行程，100；200um定制；提供各尺寸样品架，用于固定小碗、载玻片、小腔体等。Z轴150；300；500um详细参数见数据单15型号：Z-INSERT适用于任何标准K型框架的大多数的电动载物台；提供了一个127.5×85mm的通孔，可以接受任何具有SBS标准尺寸的微孔板/样品夹，适配Okolab, Tokai Hit, Pecon活细胞培养装置。与以下类型平台兼容：ASI – MS-2000 FTMarzhauzer – SCAN IM 120×80Prior – 绝大多数K型通孔电动台（H117等）Ludl – BioPrecison2Zeiss – 绝大多数K型通孔电动台Nikon – Ti 系列（(需要尼康适配板）Olympus – 绝大多数K型通孔电动台（IX3-SSU等）Leica – Regular 3-plate stageZ轴100；200；300；500um详细参数见数据单16型号：Z-INSERT K-TYPEZ-INSERT的精简版，标准K型外尺寸；83.6x54mm的开口，与大多数拥有K型框架的倒置、正置显微镜兼容。Z轴100；200；300um详细参数见数据单17型号：Z-INSERT-INCZ-INSERT的特殊版本，带有嵌入式的环境腔/气室；可以灵活拆卸腔体盖，适配Okolab, Tokai Hit, Pecon活细胞培养装置。Z轴100；200；300；500um详细参数见数据单18型号：Z-INSERT NIKON是Z-INSERT直接适配NIKON Ti XY电动平台的特殊版本；具有标准的K型通孔。Z轴100；200；300；500um详细参数见数据单194）显微镜载物台物镜扫描台产品图片描述方向/行程F-POM是一款压电驱动的物镜扫描台，可提供500μm行程。Z轴150；300；500um详细参数见数据单20型号：FOCHS.100其采用管状设计的高速定位的物镜扫描台；采用高信噪比硅基Si-HS传感器，闭环反馈，皮米级噪声 安装环可以简单更换，可适配：RMS、M25, M26, M27 和 M32 的物镜。Z轴100um详细参数见数据单21型号：FOC是专用于显微镜精密定位的平台 采用高信噪比硅基Si-HS传感器，闭环反馈，皮米级噪声 安装环可以简单更换，可适配：RMS、M25, M26, M27 和 M32 的物镜。Z轴100；200；300；500um详细参数见数据单225）显微镜载物台大型位移平台除了标准的用于生物学的位移平台外，ASI公司也推出来一些特殊领域使用的大型位移平台，和龙门自动平台，例如：用于工业检测的大型显微镜Nikon L200 / 300系列或Olympus MX51 / 61系列产品图片描述方向/行程M系列是大行程二维位移平台，满足半导体检测及其它需要大型程平台的应用。该平台可提供150mm；200mm；250mm；300mm不同的行程。X-Y轴150×150mm；200×200mm；250×250mm；300×300mm详细参数见数据单23GTS系列龙门位移平台提供三维闭环平台，可提供不同行程，标准品XY方向可提供380mm，Z轴可提供100mm，并可以根据应用选择不同行程的平台。X-Y轴380×380 mmZ轴100mm详细参数见数据单24MS-8000是与大型工业检查显微镜配合使用的。例如Nikon L200 /300系列或Olympus MX51/61系列。平台中空设计允许底光照明，平台可提供玻璃盖板或者其它材质载物台，包含用于检测的镜片真空吸盘。详细参数见数据单256）显微镜载物台精密旋转平台PRS-1000是一款可提供连续旋转的平台，超薄的设计可以使该平台集成到MS-2000系列XY平台上，组成多维运动平台。标准版本具有直径为95mm的通孔，可以使用任何ASI的C大小的插件。该平台也可用于真空应用。详细参数见数据单267）显微镜载物台手动平台MIC-2500是一款为匹配压电扫描平台而设计的手动平台，该平台配置千分尺手动旋钮，可提供25mm的行程，并可安装XYZ三轴压电平移台。详细参数见数据单278）显微镜载物台手动压电混合定位平台（压电平台型号选择与配置请联系工程师）压电平台可以与配套的手动位移平台使用，也可以提供完全的混合集成定位平台用于倒置光学显微镜（蔡司，奥林巴斯，尼康，徕卡），混合定位系统，由手动位移平台和压电平台组成，其中手动位移平台通常适配市面上大部分的光学显微镜，可提供X，Y两个维度的移动，行程可达到25mm，可进行位移粗调，压电平台进行亚纳米分辨率的精确定位与扫描。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。

1英寸（25毫米）MTS电动移动平台 Related Products 特性 紧凑的模块化设计高载荷线性导轨平台带有嵌入式限位开关霍尔效应编码的直流伺服电机组合产品包含TDC001 T型立方体驱动器和电源这种紧凑的电动MTS50平台有两套使用连续旋转滚珠轴承承载载物平台的线性导轨。这种机制可提供平滑、低摩擦的运动，从而保证高载重能力 （垂直负载：10磅（4.5千克），水平负载：25磅（12千克））。驱动力来自于直流伺服电机，该电机带有67:1的齿轮减速器和1.0毫米节距的丝杠。电机每转一圈，嵌入式霍尔效应编码器提供512个计数。ParameterValueTravel Range25 mm (1")Bidirectional Repeatability1.6 µ mBacklash6 µ mMax Acceleration4.5 mm/sec2Max Velocity3.0 mm/secVelocity Stability± 0.25 mm/secMax Horizontal Load Capacity12 kg (25 lb)驱动器的编码器每计数一次的线性位移可以由下式给出：512 x 67 = 34304（丝杆每转一圈编码器计数的总次数）。所以，编码器每计数一次，丝杆的线性位移为：1.0毫米/ 34304计数=2.9x10-5毫米（29纳米）。平台上附加的限制开关确保了平台能够在参数范围内运动，并在两个方向上的提供过载保护。该平台附带一根1.6英尺（0.5米）的电缆。也可单独购买8英尺（2.5米）的延长电缆（PAA632）。MTS50-Z8E组合包含平台、常用的T型立方体直流电机控制器（TDC001）和电源（TPS001）。超紧凑型直流驱动器专门被设计用于Thorlabs的直流伺服产品系列。这些新的驱动器是USB接口的，紧凑型，单通道电机驱动器，设计用于直流有刷电机。它们包含嵌入式控制器和驱动电路，可通过PC操作也可单独工作。尽管尺寸很紧凑 （2.5英寸x2英寸x1.6英寸），这些装置包含了完整的运动控能力，包括速度变化的设定，限制开关的处理以及在运动速度和方向上的快速改变。对于涉及到不同驱动装置的更先进操作， 这些驱动器可实现闭环PID参数控制，并且可以调整设置，如丝杠节距和传动比等变量。转接板底板（MTS50A-Z8）可稳定地将平台固定在工作面上。利用MTS50B-Z8间隔板和MTS50C-Z8 角度支架，可将平台组装成右手和左手系配置的XY，XZ和XYZ平台。为了增加灵活性，MTS50-Z82英寸（50毫米）行程的平台可与MTS25-Z8平台组装在一起。MTS50CSA笼式系统转接板是一种通用的、可锁紧的平台，可以将MTS50-Z8移动平台容易地安装到60毫米笼式共轴系统中，增加了笼式共轴系统的灵活性。当该平台装配在笼式共轴系统上时，从平台表面到笼式中心线的距离为23.5毫米。更多信息请见应用选项标签。MTS25-Z8 转接板底板用于紧固安装 间隔板用于XY配置 角度支架用于XYZ装配 笼式共轴系统适配器用于60毫米笼式共轴系统 MTS25A-Z8底板可方便地将平台安装在工作面上。MTS25B-Z8 XY转接板为组装XY平台提供必要的间隔。MTS25C-Z8角度支架允许平台被装配成XY或者XYZ配置。 这三种支架带有定位销，可确保定位的正交度，并提供安装所需的所有硬件。 MTS25CSA笼式共轴系统适配器用于将平台安装到60毫米笼式共轴系统中。光学组件（如固定在平台上的透镜安装座），可以在使用行程为2英寸（25毫米）电动平台精确移动之前，快速地定位在所需位置。1英寸（25毫米）电动移动平台 Related Products 特性20磅（9千克）水平负载，10磅（4.5千克）垂直负载能力模块化设计，允许XYZ三维配置使用Z825B电动直流驱动器PT1-Z8和PT3-Z8系列电动移动平台具有25毫米（0.98英寸）移动范围。该平移台基于PT系列手动平台，但在原先手动操纵的位置上装有Z825B电动直流驱动器。该产品使用硬化钢线性轴承，保证高精度的移动和长的使用寿命。PT系列平移台的模块化设计，允许使用者随着应用需求的发展迅速构造XY或XYZ配置（PT3-Z8）。该快速变化的设计是通过使用高精度对准的柱销实现的，确保了移动平台之间的正交度。PT1-Z8和PT3-Z8系列是通过我们的Z825B驱动器进行驱动的。这些驱动器配有商业化的分档内部限位开关用于超速保护，同时配有电机编码器提供带反馈的亚微米分辨率。内置的67:1星形齿轮头使这些平移台具有高达10磅（4.5千克）的垂直负载，同时保持0.59英寸（15毫米）的包装直径。我们的TDC001单通道T型立方体直流电动伺服控制器是配合Z825电动平台使用的理想选择。下面给出了适合TDC001的电源。注意：如果你使用Z8系列直流伺服电机控制之前购买的TDC001，你可能需要将你的固件升级到1.0.10或更新的版本。 PT1-Z8 and PT3-Z8Travel0.98" (25 mm)*Orthogonality5 mradAngular Deviation250 µ radMotorMotor TypeDC Servo (Z825B)Motor Drive Voltage12 VCurrent (Max Recommended)80 mAResolution (Calculated)29 nmRecommended ControllerTDC001Max LoadVertical Load (Max)10 lbs (4.5 kg)Horizontal Load (Max)20 lbs (9 kg)Bearing TypeBall on Hardened V-Grooves* Z825B驱动器的软件将行程默认设置为0至25.0毫米。上限可以调节至25.4毫米（1英寸），尽管如此，仍未到达限位开关。 PT101 PT101底板可以与英制或公制的平台配合使用。该底座附带两个1/4英寸-20的带帽螺丝，用该螺丝可以将底板连接到英制或公制的PT系列平台上。PT102PT102角度支架允许垂直安装PT系列平台，使其可以搭建左手系或右手系XYZ，XZ和XY配置。注：和这些平台一起发货的Z825B直流伺服电机配备了1.6英寸（0.5米）的 电缆。还有一根8英寸（2.5米）的延长线PAA632 。 电动PT系列平台Zoom ～英制和公制版本～提供单轴和XYZ结构的选择～电动移动速度达到3毫米/秒我们的PT1-Z8和PT3-Z8平台是PT系列线性平台的一部分。PT1-Z8和PT3-Z8的行程为0.98英寸（25毫米），水平负载能力达20磅（9千克）。PT3-Z8和PT3/M-Z8是XYZ配置的平台。这些XYZ配置是由三个PT1-Z8和PT1/M-Z8平台，结合PT101底板转接件和PT102（/M）直角支架构造而成的。这些XYZ配置的最大垂直负载能力为10磅（4.5千克）。这些平台不包含直流电机控制器，但是下面的TCD001T型立方体可供选择，它是我们推荐的用于控制Z8系列驱动器的控制器。PT系列安装转接件Zoom ～搭建XY和XYZ配置的平台～角度支架用于垂直安装PT101和PT102转接板设计用于PT系列移动平台。PT101是一个通用底板，边上的凹槽使其可以安装座光学面包板上。当平台中间的沉头孔被挡住时，这些底板是进行XY或XYZ多轴配置的理想选择。PT102是一个角度支架，允许垂直安装PT系列平台。 在一些XY和所有的XYZ配置中需要用到该角度支架。PT3XYZ配置的平台包含了PT101和PT102转接件。更多关于装配XYZ平台的信息，请参见PT系列手动平台页面中的XYZ装配标签。尽管使用不同的驱动器，装配过程是一样的。 T型立方体直流电机控制器Zoom Z8系列驱动器的理想控制器 通过计算机控制 紧凑的尺寸TDC001是我们T型立方体家族的直流电机控制器中的一员。单通道控制箱顶部有一个控制面板，提供移动或点动按钮使驱动器的丝杆以离散步进移动，同时还有一个速度分压计使丝杆以各种不同速度前进。TDC001可通过USB2.0连接到计算机上，并通过thorlabs公司提供的APT软件控制。我们推荐用该控制器控制Thorlabs的Z8系列直流驱动器。该控制器不包括电源，但是下面列出了三种兼容的电源。 兼容电源ZoomTDC001直流电机控制器的首选电源（即单通道，多通道或基于集线器）取决于您的应用以及您是否已经拥有兼容电源。因此，Thorlabs不会给您购买的TDC001预先配备电源。 TOperation of TDC001 (T-Cube USB DC Servo Driver)Power SupplyStandalone / Single Channel OperationTPS001 Power Supply for a Single T-CubeTPS008 Power Supply for up to 8 T-CubeSystem / Multi-channel OperationTCH002 USB Controller HubTDC001直流电机控制器可以使用TPS001 或TPS008TCH002 电源，或者TCH002 T型立方体集线器和电源来供电。当TPS001和TPS008插入标准插座时，可输出15伏的直流电压。其中TPS001可以给一个T型立方体供电，而TPS008可以给多达8个T型立方体供电。TCH002集线器和电源由集线器和电源两部分组成。其中集线器可以支持多达6个具有标准体积的T型立方体，而电源插入标准插座时，可依次为所有连接到集线器的T型立方体供电。此外，该集线器可通过单根USB连接为任何T型立方体提供USB连通性。

仪器简介：德国OWIS公司的LIMES80系列高精度线性位移台被广泛应用于科研及工业领域，特殊的导轨实现了无空回和高负载能力，预紧球形螺杆确保了高精度和长寿命，铝质材料表面均采用特殊工艺顶级黑色电镀。技术参数：技术参数（无负载，20摄氏度） 步进电机驱动 直流伺服电机驱动 行程 50/70/105/135/210mm 50/70/105/135/210mm 速度/最大 25mm/s 负载/最大 150N 驱动力/最大 60N 螺距 1mm 重复定位精度/双向 2um 位置误差 16um/100mm 偏转角 100urad 俯仰角 150urad 垂直偏差 4um 水平偏差 4um 电机电压/最大 40V 24V 保持电压 3.2V 电机电流/最大 1.8A 3.3A 每转步数 200 2000主要特点：&bull 高强度铝合金材质 &bull 50/70/105/135/210mm行程可选，最长可达210mm &bull 双向重复定位精度优于2um &bull 无空回球形螺杆 &bull 预紧球形轴承 &bull 高精度Hall-effect ，机械，感应限位开关 可选项 &bull 制动刹车 &bull 光栅尺（精度± 3 µ m/m 分辨率0.1 µ m）

仪器简介：德国OWIS公司的LIMES60系列高精度线性位移台被广泛应用于科研及工业领域，特殊的导轨实现了无空回和高负载能力，预紧球形螺杆确保了高精度和长寿命，铝质材料表面均采用特殊工艺顶级黑色电镀。技术参数： 技术参数（无负载，20摄氏度） 步进电机驱动 直流伺服电机驱动 行程 20/40/50/70/105mm 20/40/50/70/105mm 速度/最大 30mm/s 负载/最大 100N 驱动力/最大 50N 30N 螺距 1mm 重复定位精度/双向 2um 位置误差 16um/100mm 偏转角 100urad 俯仰角 150urad 垂直偏差 4um 水平偏差 4um 电机电压/最大 40V 24V 保持电压 2.0V 电机电流/最大 1.8A 1.9A 每转步数 200 2000主要特点：&bull 高强度铝合金材质 &bull 20/40/50/70/105mm行程可选，最长可达105mm &bull 双向重复定位精度优于2um &bull 无空回球形螺杆 &bull 预紧球形轴承 &bull 高精度Hall-effect ，机械，感应限位开关 可选项 &bull 制动刹车 &bull 光栅尺（精度± 3 µ m/m 分辨率0.1 µ m）

仪器简介：德国OWIS公司的LIMES124系列高精度线性位移台被广泛应用于科研及工业领域，特殊的导轨实现了无空回和高负载能力，预紧球形螺杆确保了高精度和长寿命，铝质材料表面均采用特殊工艺顶级黑色电镀。螺杆导轨有金属外壳保护。可以根据需求应用于真空环境（最高10-6mbar）。技术参数： 技术参数（无负载，20摄氏度） 步进电机驱动 直流伺服电机驱动 行程 80/130/230/290mm 80/130/230/290mm 速度/最大 25mm/s 负载/最大 150N 驱动力/最大 60N 螺距 1mm 重复定位精度/双向 2um 位置误差 16um/100mm 偏转角 75urad 俯仰角 75urad 垂直偏差 2um 水平偏差 2um 电机电压/最大 40V 24V 保持电压 3.2V 电机电流/最大 1.8A 3.3A 每转步数 200 2000主要特点：&bull 高强度铝合金材质 &bull 80/130/230/290mm行程可选，最长可达290mm &bull 双向重复定位精度优于2um &bull 无空回球形螺杆 &bull 预紧球形轴承 &bull 高精度Hall-effect ，机械限位开关 &bull 金属保护外壳 可选项 &bull 制动刹车

仪器简介：德国OWIS公司的LIMES150系列高精度线性位移台被广泛应用于科研及工业领域，特殊的导轨实现了无空回和高负载能力，预紧球形螺杆确保了高精度和长寿命，铝质材料表面均采用特殊工艺顶级黑色电镀。技术参数：技术参数（无负载，20摄氏度） 步进电机驱动 直流伺服电机驱动 行程 100/200/300mm 100/200/300mm 速度/最大 40mm/s 80mm/s 负载/最大 600N 600N 驱动力/最大 170N 60N 螺距 2mm 2mm 重复定位精度/双向 2um 2um 位置误差 10um/100mm 10um/100mm 偏转角 60urad 60urad 俯仰角 80urad 80urad 垂直偏差 3um/100mm 3um/100mm 水平偏差 3um/100mm 3um/100mm 电机电压/最大 40V 23V 保持电压 4.88V 电机电流/最大 1.4A 2.44A 每转步数 200 5000主要特点：&bull 高强度铝合金材质 &bull 100/300/300mm行程可选，最长可达300mm &bull 双向重复定位精度优于2um &bull 无空回球形螺杆 &bull 预紧球形轴承 &bull 高精度Hall-effect 限位开关 可选项 &bull 机械限位开关 &bull 制动刹车 &bull 光栅尺（精度± 3 µ m/m 分辨率0.1 µ m）

精密电动平移台EPSBF系列产品介绍：精密电动平移台EPSBF系列产品是OMTOOLS在EPSB系列产品基础上改进而成。产品采用高精密研磨滚珠丝杠、进口精密级自调心滚珠线性导轨和高品质联轴器等部件进行传动，采用小步距角、低发热、高平顺性的五相东方马达步进电机作为动力源，采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。产品精度高、承载能力强，稳定性好、振动低，运行平顺性好。在精密光学实验、精密光学加工、光学检测等要求低扰动、超高精度定位应用场景中，是各类科研、工业用户的优选产品。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■研磨级滚珠丝杠传动，传动效率高、启动力矩小、无颤动和滞后，定位和重复定位精度高；■采用进口精密级自调心滚珠线性导轨，通过轻预压装配工艺，负载能力强，运行直线度、平行度好；运行平行度和直线度≤20μm■采用日本进口的五相东方马达步进电机，极大降低振动和噪音，提升运动平顺性■电机配有手轮，实现手自调节一体化；■2个机械限位开关，可实现超程降速和限位保护；■1个光电零位开关，实现零位精密定位和误差校正，防止误差累积；■标准DB9接口，通用性强，也可与我公司两相步进电机控制器兼容；■采用标准安装孔位，便于仪器设备安装及多自由度模组组合；■可选配光栅尺进行闭环控制，闭环分辨率可达0.1μm； 命名规则：EPSB-50FG-系列代码：精密电动平移台行程：50：50mm100：100mm150：150mm200：200mm 300：300mm400：400mm可定制特殊规格电机：东方马达步进电机光栅尺：选配：G代表含光栅尺 选型表：型号EPSB50FEPSB100FEPSB150FEPSB200FEPSB300F台面尺寸(mm) 125X124160X160行程(mm)50100150200300传动机构精密滚珠丝杠?12X4精密滚珠丝杠?16X4导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）55mm66mm自重3.553.854.154.59.4联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）25-6-525-10-8整步分辨率（μm）8μm20细分开环分辨率0.4μm最大速度（mm/s）20单向定位精度（μm）≤10≤15≤20≤25≤35重复定位精度（μm） ≤±3回程间隙（μm）≤5静态平行度（μm）≤40运动直线度（μm）≤20≤25运动平行度（μm）≤25≤30偏摆（“）≤50≤60俯仰（“）≤50≤60电机及步距角（゜）五相42步进电机，步距角0.72五相57步进电机，步距角电机品牌及型号东方马达工作电流（A）1.82.8电机扭矩（Nm）0.370.81驱动器品牌及型号东方马达滑台接头DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙原点传感器（内置）欧姆龙传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）；水平负载20kg30kg倒置负载10kg15kg竖直负载10kg15kg配合Z轴转接板型号OMLB01BOMLB01BOMLB02BOMLB02BOMLB03B最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。精密电动平移台EPSBF五相步进 OMTOOLS高精度位移台

仪器简介：德国OWIS公司的LIMES170系列高精度线形位移台被广泛应用于科研及工业领域，特殊的导轨实现了无空回和高负载能力，预紧球形螺杆确保了高精度和长寿命，铝质材料表面均采用特殊工艺顶级黑色电镀。技术参数：技术参数（无负载，20摄氏度） 步进电机驱动 直流伺服电机驱动 行程 400/600mm 1000/1500mm 400/600mm 1000/1500mm 速度/最大 80mm/s 80mm/s 150mm/s 150mm/s 负载/最大 1500N 1500N 1500N 1500N 驱动力/最大 400N 400N 100N 150N 螺距 5mm 5mm 5mm 5mm 重复定位精度/双向 3um 3um 3um 3um 位置误差 10um/100mm 10um/100mm 10um/100mm 10um/100mm 偏转角 75urad 150urad 75urad 150urad 俯仰角 75urad 150urad 75urad 150urad 垂直偏差 2um/100mm 2um/100mm 2um/100mm 2um/100mm 水平偏差 2um/100mm 2um/100mm 2um/100mm 2um/100mm 电机电压/最大 40V 40V 24V 50V 保持电压 6.2V 2.5V 电机电流/最大 1.4A 3.2A 3.9A 4.9A 每转步数 200 200 10000 10000主要特点：&bull 高强度铝合金材质 &bull 400/600/1000/1500mm行程可选，最长可达1500mm &bull 双向重复定位精度优于3um &bull 无空回球形螺杆 &bull 预紧球形轴承 &bull 高精度Hall-effect 限位开关 可选项 &bull 机械限位开关 &bull 制动刹车 &bull 光栅尺（精度± 3 µ m/m 分辨率0.1 µ m）

一、电动位移台综合介绍电动位移台简称电移台，通常是由电机带动驱动机构进行运动的一种装置。由运动方 式进行划分，可分为电动平移台、电动升降台、电动旋转台、电动摆动台四大类。可单维使 用，也可组维使用，广泛应用于科研及工业市场。电动位移台产品需要和控制器或驱动器配套使用，驱动器决定了电机的输出扭矩、细 分、噪音及振动等参数，控制器决定了电机旋转速度、圈数、方向及加减速等，这两者缺一 不可。一个高精度的电移台系统，通常需要高等级的零件的加工及装配的保证，还需要性能 良好的驱动器和控制器配合使用，飞创义达拥有行业内优秀的电子、机械、软件方面的人 才，无论从机构设计、加工装配工艺、电气控制、软件编程等各个环节来保证系统整体的精 度、稳定性、耐用性等方面来满足用户的需求，为用户提供完整的系统解决方案。下面将从 我司产品的分类开始详细介绍电动位移台系统的主要零件的含义及构成。二、电动平移台1、分类2、UST系列超高精密电动平移台UST系列是飞创义达推出的超高精密电动平移台，该系列产品传动机构采用进口C3级 滚珠丝杠，主体材料采用优质铝合金，底座和导轨安装面经过精密磨削工艺和三次时效处 理，配合进口交叉滚柱导轨、高品质联轴器、三相步进电机等部件，保证该系列产品具有很 高的运动精度和定位精度。该系列产品内置进口光栅尺，配合飞创义达GMC-USB系列控 制器，可实现全闭环反馈控制，闭环分辨率可达0.1μm。该系列产品行程有50mm、100m m、200mm三种，可单独使用，也可组维使用，该系列产品适合超精密激光微加工、超精 密扫描定位、飞秒延迟线等应用。1）特点● 采用进口C3级滚珠丝杠，保证超高精度● 高品质铝合金底座配合精密磨削工艺，保证平移台的精度和稳定性● 内置进口光栅尺，闭环分辨率可达0.1μm● 采用进口交叉滚柱导轨，保证超高运动直线度和平行度，负载大● 标配三相步进电机，声音小且运行平稳2）命名规则3）技术参数二、电动升降台1、分类2、PST-Z系列精密电动升降台PST- Z系列是飞创义达基于PST系列产品基础上，增加直角固定块及失电保护装置， 可实现竖直方向升降的精密电动平移台。除负载能力外，其它各项指标与PST系列相同。 该系列产品常被用于多维系统搭建，精密z轴传动，精密扫描测量等领域。1）特点● 专用直角固定块连接，安装或组合使用很方便● 采用精密级滚珠丝杠，可实现高定位精度● 需要更大负载的情况，还可以换装减速电机或增加配重。●采用精密级线性滑块导轨，负载大、运动平稳● 标配二相步进电机，稳定、可靠● 专用失电保护装置，提高使用安全性2）命名规则3）技术参数三、电动旋转台1、分类：2、PRT系列高精密电动旋转台PRT系列产品是飞创义达推出的高精密电动旋转台，主体材料采用优质合金铝，表面 黑色阳极氧化处理，美观耐用，该系列产品采用精密交叉滚柱轴环，保证了旋转台的刚性 和稳定性，精研蜗轮蜗杆保证了旋转台的精度。该系列产品可水平、竖直、倒置使用，广泛 应用于精密角度测量或扫描等领域。1）特点●采用高等级交叉滚柱轴环，特殊的轴系设计，运动精度高、刚性好、负载较大●采用精研蜗轮蜗杆，精度高，耐磨性好，使用寿命长● 标配二相步进电机，稳定、可靠2）命名规则3）技术参数四、电动摆动台1、分类2、PGT系列精密电动摆动台PGT系列产品是飞创义达推出的精密电动摆动台，主体材料采用优质合金铝，表面黑 色阳极氧化处理，美观耐用，传动机构采用精密蜗轮蜗杆驱动，导向机构采用弧形V型导 轨，该系列产品精度高、刚性好、负载能力较强，适合精密角度调整、多维电动组维应 用。1）特点●采用精研蜗轮蜗杆驱动，定位精度较高●采用弧形V型导轨，有效控制旋转时的空间●尺寸适中，方便同飞创义达其他电移台产品组合使用●调整角度较大，适合于大多数调整领域●标配二相步进电机，带自锁、稳定、可靠2）命名规则3）技术参数五、 TSC系列运动控制器TSC系列运动控制器是飞创义达研发的一款1轴或4轴的点对点位置控制的运动控制 器。产品集成度高、体积较小、重量较轻，非常适合科研或工业客户使用。该控制器内部 集成了PLC、步进电机驱动器、接口电路等部件，控制功能强大，性能也非常稳定。同时 外置触摸屏（选配），客户可选择触摸屏控制，也可以直接通过上位机控制，控制方式便 捷、人性化。软件界面友好，全中文显示，方便学习，能够快速上手。另外，软件中有控 制方案的功能，可以满足客户自动控制的需求，同时提供通讯协议和示例，可以进行二次 开发。1）命名规则2）技术参数3）控制界面六、电动台定制系统展示如有更多型号尺寸需求，请联系我们！

倒置显微镜二维电动平移台EPSJ01产品介绍：倒置显微镜二维电动平移台EPSJ01是手动位移台的嵌入式替代产品，可以在XY方向电动定位显微镜观测样品。位移台固定在光学平台或面包板上，作为自搭建显微镜的一部分，或用于典型的光子学应用中。位移台具有高速扫描功能，且定位准确度高，非常适合在多种显微镜或成像技术应用中手动或自动定位标本和样品。结合稳定的控制系统和相关的操纵杆选项，可以轻松实现细胞级精确的手动定位和控制。此外，位移台还可以与我们的Z轴电压位移台组合，搭建适合激光扫描显微镜的XYZ位移台。 产品特点：可以集成倒置显微镜高质量、高精度的线性导轨高重复性(5μm)和高定位精度(5μm)负载能力较强，超薄结构 选型表：型号EPSJ01机械规格台面尺寸(mm)244x218行程(mm)80x60传动机构精密滚珠丝杠?6X1导轨交叉滚柱导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）58.5自重（kg） 5精度规格整步分辨率（μm）5最大速度（mm/s）5单向定位精度（μm）≤30重复定位精度（μm）≤±5回程间隙（μm）≤5静态平行度（μm）≤50直线度（μm）≤30运动平行度（μm）≤30偏摆（“）≤50俯仰（“）≤50电气规格电机及步距角（゜）2相28步进电机，步距角1.8电机品牌及型号KGG工作电流（A）0.75电机扭矩（Nm）0.052驱动器品牌及型号KGG滑台接头DB25插口滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.2限位传感器（内置）NPN-PCB–1L–1406原点传感器（内置）NPN-PCB–1L–1406传感器电源电压DC5-24V ±10%消耗电流（mA）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出负载电源：DC5-24VOFF电源：0.5mA以下残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）；负载水平负载（kg）2倒置负载（kg）1竖直负载（kg）1最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。

电动双轴平移台产品说明：谱量生产的电动平移台的关键部件如滚珠螺杆、线性轴承导轨、线性滑块导轨、弹性联轴器等均选用进口高品质产品；具有左右限位开关和零位光电开关设置，确保电动平移台安全可靠运行及零位准确一致；标准安装孔位，便于组合多维电控位移台；可配装光栅尺，实现闭环控制。更换运动部件和电机，核心零件经特殊处理后，可应用于真空环境中；也可加装防尘罩，可有效保护螺栓和导轨。特殊规格，接受订做。产品特点：&bull 标配步进电机和标准DB9接口，配合控制器可实现自动控制 &bull 双轴整体式设计，结构紧凑，并且两轴正交精度高 &bull 进口高品质滚珠螺杆驱动，重复定位精度高，驱动力大 &bull 采用交叉滚珠配合精磨V型导轨，运行平稳，精度高，承载大 &bull 中心方孔设计，适合通光，还可装夹载物玻璃 &bull 两端装有零位和限位开关，方便准确定位和保护产品 &bull 底部有标准孔距的螺纹孔和通孔，方便安装固定。产品参数：型号MTS160行程60x60mm螺杆导程4mm分辨率0.0025mm重复定位精度0.005mm（8细分）最大速度20mm/s重复定位精度0.005mm 标配电机步进电机最大速度15mm/s中心负载 10Kg自重5.8KgMTS160型号MTS1100行程100x100mm螺杆导程4mm分辨率0.00125mm重复定位精度0.005mm（8细分）最大速度20mm/s重复定位精度0.005mm标配电机步进电机最大速度15mm/s中心负载20Kg自重13KgMTS1100型号MTS1200行程200x300mm螺杆导程 4mm分辨率0.00125mm重复定位精度0.005mm（8细分） 最大速度20mm/s重复定位精度0.005mm标配电机 步进电机最大速度15mm/s中心负载20Kg 自重22.5KgMTS1200应用领域：应用于科学实验、激光加工、自动检测、自动计量、自动控制等科研、工业自动化领域。

ALIO高精度纳米级高负载电动旋转台产品负责人：姓名：李工(Maple)电话：（微信同号）邮箱：ALIO高精度纳米级高负载电动旋转台产品简介： 昊量光电推出全新一代高精度纳米级高负载电动旋转台，通过集成无框扭矩伺服电机，这些高负载电动旋转台能够处理需要极大质量和加速度的应用，同时保持纳米级精度。ALIO高负载电动旋转台 对材料和零件机械加工的关注保证了这些旋转器的标准重复性高达 0.2 弧秒。 可提供不同型号（从 80 毫米到 300 毫米的可变直径）和电机，以满足任何负载、加速度和工作循环的要求。 10 多年来，ALIO高负载电动旋转台 一直专注于纳米精密运动和可重复性。由 ALIO高负载电动旋转台 引入的 Nano Point Precision™ 6-D 和 True Nano™ 概念现已被 NIST 采用，并被认为是未来运动系统测量和量化的标准方法。 Nano Point Precision 6-D 包括移动工作台的所有 6 个误差自由度：它允许您根据精确点（在 3D 空间中）指示“精度数字”，并用于许多应用，从激光处理到计量。ALIO高负载电动旋转台 生产一系列线性运动控制解决方案，这些解决方案的设计和制造符合可保证其性能的标准。该公司的机械轴承台可以以任何空气轴承台无法复制的精度水平运行。 在用户群体中，ALIO高负载电动旋转台 提供了超精确且具有成本效益的运动控制解决方案，即使对于苛刻的应用也是如此。该公司由一支无与伦比的杰出工程师团队组成，他们痴迷于纳米级运动控制，并尽可能突破感知界限。带有交叉滚子轴承的整体式 XY 系统 ALIO 的机械轴承旋转台采用交叉滚子轴承设计，以提高偏置负载的刚度和旋转精度。与伺服扭矩无框电机集成，这些平台可以处理质量和加速度需求比较苛刻的应用，同时仍保持纳米级精度性能。 使用 ALIO 提供的运动控制器，标准 ALIO 旋转平台具有 0.2 弧秒的可重复性。 也提供真空版本和用于安装主轴的附件。有带角接触轴承的旋转台 这些是市场上紧凑的转台，专门设计有角接触轴承，可将轮廓减小到很小。通过集成无铁芯伺服电机，这些工作台非常适合需要具有纳米精度的小角位移的计量应用。同样对于该产品线，ALIO 保证高达 0.2 弧秒的标准重复性和不同的直径/电动组合，以满足任何负载、加速度和工作循环要求。定制化需求 ALIO 真正定制其核心运动控制解决方案的能力使其与替代解决方案提供商区别开来，通过精确匹配 OEM 客户的需求以及推动纳米精密应用的极限，提供显着的附加值。

直线电机位移台EPSZ系列产品说明：直线电机位移台应用的线性电机为电磁直接驱动器。此类电机省去了动力传动系统中的机械部件，并将驱动力无摩擦地直接传递到运动平台。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。非接触式、超高精度的光学编码器直接测量平台的位置。使用交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。直线电机位移台应用于各种高精度场合。非常适合高精度要求领域:医药行业、激光切割扫描、生物技术、计量、AOI（自动光学检验）、激光打标等。产品介绍：■三相无铁芯线性电机直接驱动 ■精密交叉滚柱导轨，有效保证运动精度和直线性■纳米级分辨率的非接触式线性编码器■独特装配工艺要求，保证产品的一致性 选型表：型号EPSZ50EPSZ100EPSZ150EPSZ200机械规格外形尺寸165X165225X225300X300360X360行程(mm)X轴:50， Y轴50X轴:100，Y轴100X轴:150，Y轴150X轴:200，Y轴200台面尺寸(mm)165X165225X225300X300360X60导轨（导向机构）精密交叉滚柱导轨精密交叉滚柱导轨精密交叉滚柱导轨精密交叉滚柱导轨主体材料及表面处理6061T66061T66061T66061T6负载（KG）551010上轴最大加速度（g）3.52.53.53.5下轴最大加速度(g)1.511.51.5总厚度（mm）80808080自重（Kg）6101620精度规格光栅尺分辨率（μm）0.050.050.050.05最大速度（mm/s）*200200300300重复定位精度（μm）±0.5±0.5±1±1俯仰（"）10101515偏摆（"）10101515电机规格电机三相无铁芯线性电机三相无铁芯线性电机三相无铁芯线性电机三相无铁芯线性电机持续推力/峰值推力（N）17.6/88 17.6/8835.2/17635.2/176电机力常数（N/Arms）11112222 持续电流（Arms）1.81.81.81.8峰值电流(Arms)8888滑台接头两个DB15、两个四芯航空插头、两个五芯航空插头两个DB15、两个四芯航空插头、两个五芯航空插头两个DB15、两个四芯航空插头、两个五芯航空插头两个DB15、两个四芯航空插头、两个五芯航空插头注：精度参数为实验室测得数据

技术参数：电动位移台系统包括：线性位移台，XY位移台，升降位移台，旋转位移台，角位台，滤光轮，控制系统(步进电机/直流伺服) 类型： 行程(mm) 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 XY位移台:5.5 10N 0.2mm/s 20um 30um/100mm 2um 2um 精密XY 行程(mm) 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 位移台： 30 150N 40mm/s 2um 30um/100mm 5um 4um 紧凑精密 行程(mm) 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 XY位移台：50-130 40N 10mm/s 15um 15um/100mm 4um 4um 紧凑高精 行程(mm) 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 密XY位移台:50-130 40N 10mm/s 2um 16um/100mm 4um 4mm 精密线性 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 位移台： 100/150N 10mm/s 15um 25um/100mm 5um 8um 高精密线 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 性位移台:100N 30um 2um 16um/100mm 4um 4um 升降 行程(mm) 加速度 负载(N) 重复定位精度 定位误差(um) 横向偏差 位移台:10-30 10mm/s 90/200 3um或6um 60/20 10um 旋转 旋转角 速度 径向负载(N) 轴向负载N 径向跳动 轴向跳动重复定位精度 位移台：无限 Max3600° /s 10-200 10-200 5um 5um Min.0.02° 角向 角范围 负载 速度 重复定位精度 定位误差 旋转轴高 motor电压 位移台:± 20° 7N 0.5° /s 0.2° 0.25° Max.65mm Max.40V 参数 角范围 重复定位精度速度 轴向偏差 gear reduction motor电压 重量 滤光轮:无限 Max.2600° /s 50um 2401:81 2.0V ～0.5Kg 以上所有电动定位系统的驱动均有&ldquo 步进电机&rdquo 和&ldquo 直流伺服电机&rdquo 可供您选择

我们提供各种手动和电动线性位移台，满足大多数线性定位的要求类别描述手动线性位移台线性位移台的设计是为了将运动限制在一个直线上，可以组合成xy、xz或xyz多轴运动配置。Newport将精密的线性调节螺丝、测微头和先进的轴承配置、精密加工的表面结合在一起，为研究人员和OEM供应商提供所需的手动线性位移台。仔细考虑可能导致偏离理想直线运动的因素，这包括位移台材料的刚度、热膨胀、导热性、加工公差、轴承或弯曲设计以及线性促动头的选择。手动垂直位移台Newport的手动垂直位移台将您的实验或应用提升到新的高度。电动线性位移台电动线性平移台是用于工业和科研自动化应用中的高精度定位仪器。来自 Newport 的电动线性平台包括光电行业中任何运动解决方案提供商提供的最广范围或精度的线性定位平台。另外还提供真空兼容以及 全钢结构电动线性位移台。电动垂直位移台电动垂直位移台是 Newport 精密线性位移台系列的一个重要类别，提升了在三维空间中定向对象的能力。纳米定位压电马达线性平移台Picomotor 和 Agilis 纳米定位线性平台采用压电电机驱动，可提供卓越的纳米级精度定位和远程操作。工业运动控制Our Industrial Motion Control products are designed to be complete motion solutions for industrial applications from high precision stages, motion controllers and complete motion systems. OEM’s can start with the standard motion product offering and custom solutions specific to an application are also available. Newport Motion products are well known for their ease-of-use enabling faster setups and reducing time to market. Backed by teams of application, engineering and manufacturing resources, OEM’s are ensured successful product launches and continuing, reliable product delivery.旋转台应用包括半导体晶圆检查或划线、计量、微型机器人、传感器测试、光盘纹理形成、光学器件（例如偏光器和拨片）定位。类别描述手动旋转位移台当您需要精密的手动旋转时，我们提供相应的解决方案。光学旋转调整架旋转调节架可用于安装偏振片和波片，提供沿光轴360°的精确旋转，旋转刻度可显示旋转位置。我们的旋转调节架利用了我们在光学机械设计方面的专业知识，例如精密加工表面、安全固定光学元件以及高级研究员和OEM供应商所需的高旋转精度的精密调整螺丝。手动角位台测角平移台可使物体绕轴线旋转，该物体不受平移台本身阻挡，位于顶部平台中心的上方。类似尺寸的 GON 系列平移台可进行堆叠。在堆叠配置中，旋转轴将彼此相交，并围绕空间中的一个公共点进行正交运动。可通过两个正交轴的公共旋转点堆叠牢固的锁定机构可使旋转角度高达 ?±10?°手动或电动驱动可互换倾斜台倾斜台可实现光学设备的精确倾斜或旋转对准。电动转台Newport 在电动旋转台领域积累了数十年的专门知识。应用包括半导体晶圆检查或划线、计量、微型机器人、传感器测试和光盘纹理形成。电动旋转调节架Newport 提供多种用于 0.5 英寸、1 英寸和 2 英寸直径偏振片或波片的旋转调节架。电动角位台Newport为各种旋转应用提供电动角位台支架。电动万向调节架With a global network of over one-thousand gimbals currently active around the globe, we understand the importance of building and motorizing gimbals for high performance deployment across numerous applications. Our gimbals are used for: target simulation, target tracking, camera calibration, sensor calibration, telescope alignment, weapons testing, and general optical alignment and adjustment. Azimuth, Elevation and Roll assemblies are available with Newport SR, URS, and FCR Series rotation stages. To accommodate various types of loads and positioning requirements, Newport Gimbals are offered in either half-yoke or full-yoke configuration in various sizes.光纤对准耦合位移台挠性光纤对准平移台配件光纤耦合夹具使用光纤耦合夹具和平台能简便高效地将激光束耦合到光纤中。精密/单模光纤耦合器自聚焦透镜光纤耦合器光纤卡盘和夹持器自聚焦透镜支架光纤定位调节架 类别描述光纤对准位移台专为精密多轴光纤对准应用而设计。ULTRAlign&trade 精密光纤对准平移台ULTRAlign 精密光纤倾斜和旋转定位器ULTRAlign&trade 光纤对准配件紧凑型 XYZ 光纤对准挠性平移台 光纤定位调节架有助于轻松定位您需要的光纤。多轴光纤定位器多模 XY 光纤定位器电动 XY 光纤定位器接杆安装单模光纤对准器光纤定位器配件光学设备对准位移台我们为光学器件对准提供专用手动和电动多轴位移台。一体化光学设备对准平移台多轴压电电动对准位移台Vacuum Optical Device Alignment Stages电动 XYZθxθy 倾斜对准位移台光纤电动对准解决方案Newport provides a wide range of motorized stages and controllers to perform alignment and metrology of optical fibers and fiber optic components such as planar waveguides, AWGs and fiber collimators as well as completely automated alignment systems. For many applications including automated single-mode fiber alignments, lasers to fibers or wave-guides to fibers alignment, Newport motion systems can be customized to adapt to increasingly complex assembly and metrology demands with the recent renewed growth and technology advances in the fiber-optics industry.

六轴六足位移台 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91六轴六足位移台六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小，用于全天候应用的重型精密轴承。绝对编码器绝对编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安全性。六轴六足位移台无刷直流电机(BLDC)无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行，因此能够实现较长的使用寿命。六轴六足位移台应用领域科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。 科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。

标准电动平移台EPSA系列产品介绍：标准电动平移台EPSA系列产品采用精密滚珠丝杠、自调心滚珠线性导轨和高品质联轴器等部件进行传动，采用大转矩、低发热、高稳定性的两相步进电机作为动力源，采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。产品系列化程度高、稳定性好、通用性强、组合方便，适用于各类科研、工业用户的精密光学实验、精密定位和精密加工等领域，产品在复杂工业环境下依然能够保持较高的稳定性和一致性，是性价比超高的电动平移台产品。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■精密滚珠丝杠传动，传动效率高、启动力矩小、定位和重复定位精度高；■采用自调心滚珠线性导轨支撑导向，配合轻预压装配工艺，有效消除间隙和提高刚性，负载能力强，运行直线度、平行度好； ■采用标准两相步进电机驱动，转矩大、稳定性高；■标准电机配有手轮，实现手自调节一体化；■2个机械限位开关，可实现超程降速和限位保护；■1个光电零位开关，实现零位精密定位和误差校正，防止误差累积；■标准DB9接口，通用性强，也可与我公司两相步进电机控制器兼容；■采用标准安装孔位，便于仪器设备安装及多自由度模组组合；■可选配光栅尺进行闭环控制，闭环分辨率可达1μm； 命名规则：EPSA50G-系列代码：标准电动平移台行程：50：50mm100：100mm150：150mm200：200mm300：300mm400：400mm可定制特殊规格光栅尺：选配：G代表含光栅尺 选型表：型号EPSA50GEPSA100GEPSA150GEPSA200GEPSA300GEPSA400G 机械规格台面尺寸(mm)125X124160X160行程(mm)50100150200300400传动机构精密滚珠丝杠?12X4精密滚珠丝杠?16X4导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）55mm66mm自重4.04.44.95.310.612.3联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）25-6-525-10-6.35 精度规格闭环分辨率（μm）1μm0.1μm20细分开环分辨率1μm最大速度（mm/s）20重复定位精度（μm）≤±10回程间隙（μm）≤10静态平行度（μm）≤50偏摆（“）≤50≤60俯仰（“）≤50≤60 电气规格电机及步距角（゜）二相42步进电机，步距角1.8二相57步进电机，步距角1.8电机品牌及型号雷赛工作电流（A）2.54.2电机扭矩（Nm）0.61.3光栅尺品牌贵阳新天驱动器品牌及型号雷赛滑台接头&光栅尺接头两个DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙原点传感器（内置）欧姆龙传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）； 负载水平负载20kg30kg倒置负载10kg15kg竖直负载10kg15kg配合Z轴转接板型号OMLB01BOMLB01BOMLB02BOMLB02BOMLB03BOMLB03B最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。XY电动位移台步进/光栅 标准电动平移台 光学滑台

Mshot压电陶瓷电动位移台可结合Nikon，Olympus，Zeiss和Mshot的正置和倒置显微镜 可选不同尺寸的样品载物台 集成的无刷直流直线伺服电机驱动器 线性光学编码器 高质量、高精度的直线轴承 高定位精度（纳米级）