产品特点 闭式气浮结构 直驱零齿槽效应 精准回零误差 高速度稳定性 解决气浮轴抱死问题 立式或卧式使用应用领域NOTE系列气浮转台具有高定位、速度稳定性和同步纳米级跳动误差,可立式或卧式使用,出色的跳动误差满足晶圆加工及检测、超精密加工、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。结构特点由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和精密反馈装置组成,径向双气路结构设计,使径向有出色的载荷力,安装结构上可选择立式或卧式使用,且能组合AB气浮轴,达到高正交性及高相交度。无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,适合在各种速度下平滑转动,无气浮抱死问题。精度性能NOTE系列气浮转台的定位精度±0.5arc sec, 重复定位精度≤0.5arc sec, 同步轴向跳动误差10nm,同步径向跳动误差50nm, 摆角误差3μrad, 电动控制和手动转动跳动误差一致,使用寿命10年以上。闭环反馈圆光栅闭环反馈,运用高性能控制系统,分辨率优于0.01arc sec,结构设计上,气浮转台能精准回到零点位置。定制化气浮AB轴满足曲面加工、测试的应用。可定制安装滑环,用于空间模拟装置,MEMS和惯性导航等应用。规格指标型号 Model单位UnitsNOTE-50NOTE-100NOTE-200行程 Travel°360台面直径 Tabletop Diametermm80114148通孔直径 Aperture Diametermm102040补偿后定位精度 Accuracy高精版 Plusarc sec±0.5普通版 Standard±1双向重复定位精度Bi-Dir Repeatability高精版 Plusarc sec≤0.5普通版 Standard≤1轴向跳动误差 (1)Axial Error Motion高精版 Plusnm10普通版 Standard250径向跳动误差 (1)Radial Error Motion高精版 Plusnm50普通版 Standard300摆角误差Tilt Error Motion高精版 Plusμrad3普通版 Standard6电子分辨率 Electronic Resolution (2)arc sec<0.01定位纹波In Position Stability高精版 Plusarc sec定制普通版 Standard0.5最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)rpm300,(≥1000 定制)最大负载Max Load轴向 Axial Dirkg52045径向 Radia Dir31227供气压力 Operating Pressure (4)MPa0.5±0.05空气消耗量 Air ConsumptionSL/min13自重 Total Masskg0.54.513材料 Material/航空7075铝合金(表面氧化处理)注:以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±0.5℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-F,测试点在转动台面上25mm处,测试速度10deg/s,Renishaw激光干涉仪及自带分析方法测量,精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如需非标准测试,请咨询我们。1. 轴向和径向跳动为同步跳动误差,测微仪和标准球测量,计算为最大值-最小值-标准球误差-同心度。2. 电子分辨率取决编码器线数及控制器的细分倍数。3. 空载条件下指标,最大转速取决于负载大小。4. 为保护气浮轴承建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的(过滤至0.25μm或更佳,ISO8573-1),无水(压力露点-20℃,ISO8573-1级别3)及无油(ISO8573-1级别1)。订购信息型号NOTE-100-PLUS-1-3-Y描述气浮转台转动台面直径114mm高精版增量式光栅1Vpp反馈线缆长度3米有压力保护开关名称型号描述气浮转台NOTE气浮转台台面-50-100-200转动台面φ80mm转动台面φ114mm转动台面φ148 mm精度等级-N-PLUS普通版高精版反馈方式-1-T-ABS增量式光栅1Vpp反馈增量式光栅TTL反馈绝对式光栅反馈线缆长度-3-5-DZ长度3米(标配)长度5米定制压力保护开关-Y-N有压力保护开关(标配)无压力保护开关
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