产品介绍 DS300质量流量控制器优势• 控制精度高,精度可达±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。• 响应速度快,响应时间≤ 0.5sec。• 采用基于压力原理的流量传感器技术,使产品具有压力不敏感特性,能够适用较大的气源压力波动。• DS300采用有效的机械加工技术与表面处理技术解决深小孔不能或者很难电抛光(EP)的难题,实现孔径相对较小(孔径1mm)、深径比相对较大(10)的不锈钢小孔、深盲孔以及交叉孔的表面电化学抛光处理,完全符合SEMI标准要求。DS300质量流量控制器技术参数DS300C型号DS300C阀类型常闭流量规格(N2)(0~30,50,100,200,300,500) SCCM(0~1,2,3,5,10) SLM准确度±1% S.P. (≥10% F.S.) ±1% F.S. (<10% F.S.) 线性±0.5% F.S.重复精度±0.2% F.S.响应时间≤ 0.5sec 进口压力240~450KPa 流量规格≤5SLM350~450KPa 流量规格>5SLM出口压力≤1.2KPa 流量规格≤5SLM≤13.3KPa 流量规格>5SLM温度系数零点:≤±0.02% F.S./℃;调节时:≤±0.1% F.S./℃耐压3 MPa漏率1×10-11 Pam3 / sec He密封材料金属密封最大工作压力0.45MPa工作环境温度(10~45)℃输入信号数字:RS485 或 DeviceNet模拟:(0~5)VDC输出信号数字:RS485 或 DeviceNet 模拟:(0~5)VDC零漂在没有零点校正时<0.6%F.S./年电源±8~±16 VDC (双极) 或 +14~+28 VDC (单极)表面化学成分Cr/Fe比例≥2.0;CrO 厚度≥20 (埃)表面粗糙度Ra 5μinch标准接头形式VCR1/4阳接头;1.125″C型密封接头;1.125″W型密封接头;Compression Fittingφ6电源接头形式D型9针阳接头;D型15针阳接头;DeviceNet接头重量1.2Kg全国包邮,价格优惠,含税运, 产品规格不同,型号不同价格就不同,价格根据需求面议
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