边台

近日，北京经开区企业北方华创科技集团股份有限公司（以下简称“北方华创”）正式发布应用于晶边刻蚀（Bevel Etch）工艺的12英寸等离子体刻蚀机Accura BE，实现国产晶边干法刻蚀设备“零”的突破，为我国先进芯片制造量身打造良率提升高效解决方案。　　何谓晶边刻蚀机？在器件制造过程中，由于薄膜沉积、光刻、刻蚀和化学机械抛光等工艺步骤的大幅增长，在晶圆的边缘造成了不可避免的副产物及残留物堆积，这些晶边沉积的副产物及残留物骤增导致的缺陷风险成为产品良率的严重威胁，因此，越来越多逻辑及存储芯片等领域制造商开始重点关注12英寸晶圆的边缘1mm区域，从晶圆的边缘位置着手提高芯片良率。晶边刻蚀机作为业界提升良率的有力保障，其重要性日益凸显。　　“Accura BE作为首台国产12英寸晶边刻蚀设备，其技术性能已达业界主流水平。”北方华创相关负责人表示，Accura BE通过软件系统调度优化与特有传输平台的结合，可助力客户实现较高的产能；通过选择搭配多种刻蚀气体，实现对PR（光刻胶），OX（氧化物），SiN（氮化硅），Carbon（碳），Metal（金属）等多类膜层材料的晶边刻蚀工艺全覆盖；可定制多种尺寸的聚焦环设计组合，实现对等离子体刻蚀区域的精准位置控制，从而为客户提供灵活、全面的良率提升方案；具备软件智能算法，可实施可视化的量化调节，简化维护流程，提高设备生产效率。　　首台！首套！首次！北方华创自2001年创立起就开始组建团队钻研刻蚀技术，从2005年第一台8英寸ICP刻蚀机在客户端上线，到带领国产刻蚀机从零到交付破千，北方华创历经了二十余载自主创新，不断为集成电路装备国产化进程贡献“亦庄智慧”。据了解，基于20余年在刻蚀工艺技术、等离子体控制及多材料刻蚀能力等方面的积累与创新，Accura BE刚发布上市，就已斩获逻辑及存储器领域头部客户多个订单，通过工艺调试，进入量产阶段，其优秀的工艺均匀性、传输稳定性及快速维护的能力赢得行业高度评价。

p style=" text-indent: 2em text-align: justify margin-bottom: 10px " 上周，茅台再次登上了热搜关键词， strong 买茅台也要用上人脸识别 /strong 了。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify margin-bottom: 10px " 8月8日，贵州茅台官方微博发布消息称：8月7日晚间，茅台集团董事长李保芳在市场工作会上说：“要加快人脸识别技术的应用，有效遏制‘黄牛’搅局，将酒卖给真正喝酒的消费者”。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify margin-bottom: 10px " 对消费者来说， strong 买茅台可以通过人脸识别，辨识真假难道全看感觉？ /strong 现今市场中充斥着大量假冒白酒，真瓶假酒的情况也时有发生，到底应该如何分辨呢？ /p p style=" text-align: center margin-bottom: 10px " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 593px height: 443px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201908/uepic/c7ae67d3-e16b-48cc-a90e-3a62483ad262.jpg" title=" 摄图网_500488665_banner (1).jpg" alt=" 摄图网_500488665_banner (1).jpg" width=" 593" height=" 443" / /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify margin-bottom: 10px " strong 科学仪器多维度鉴别真假茅台 /strong /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify margin-bottom: 10px " strong 指纹图谱鉴别 /strong /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify margin-bottom: 10px " 白酒作为一个复杂混合物体系，在白酒品质控制方面，可以通过建立白酒指纹图谱，利用指纹图谱整体性、模糊性，以及图谱所具有的指纹特征，借助其指纹图谱确定白酒的真伪与优劣。目前，运用先进的色谱技术，诸如气相色谱（GC）、高效液相色谱（HPLC）、气质联用（GCMS）等技术对白酒进行了大量的分析工作，获得了许多可靠的数据。但是色谱法也存在着一些致命的缺陷—— strong 色谱法多注重于白酒微观化学成分的研究，而将白酒各种自身成分相互关系割裂开来，因此色谱法不适于白酒的整体评价，可以作为成分分析的参考 /strong 。 strong 红外光谱技术相对于色谱技术有着独特的优势，且目前已证实，采用红外光谱技术可以鉴别真假茅台酒。红外光谱无损快速的特点使其对白酒真伪鉴别成为一个非常有效的方法。 /strong /p p style=" text-align: center margin-bottom: 10px " img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201908/uepic/f792c7c8-0d05-4d51-afd6-2d76f4aa936c.jpg" title=" ee0aaa29-8ed2-4807-8e3e-86c3d8814c05.jpg!w300x300.jpg" alt=" ee0aaa29-8ed2-4807-8e3e-86c3d8814c05.jpg!w300x300.jpg" / /p p style=" text-align: center margin-bottom: 10px " 红外光谱仪 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify margin-bottom: 10px " strong 产地分析鉴别 /strong /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify margin-bottom: 10px " 中国历来就有“一方水土养一方人”的说法，而“一方水土”更能酿出“一方好酒”，足以说明高质量白酒的酿造离不开水质、土壤、气温、气候、微生物等条件俱佳的自然和谐环境。因产品酿造地理环境的不同和气候条件的不同而使白酒的风味产生差异性，风格也不具相同，也可以通过原产地来辨别真假酒。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify margin-bottom: 10px " 电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）对酒中矿物质的检测与酿酒用水中的矿物质元素做分析对比，可以验证白酒酿造的原产地。同时，利用气相色谱（GC）、高效液相色谱（HPLC）、氨基酸分析等方法对白酒或酒类产品中的呈香呈味物质的检测及白酒中的氨基酸等成分的分析，可以作为辨别白酒原产地的重要参考，以此鉴别酒品的真假。 /p p style=" text-align: center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 586px height: 440px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201908/uepic/030dbc85-f91a-436c-9e58-1b678b6a9832.jpg" title=" 摄图网_501166136_banner.jpg" alt=" 摄图网_501166136_banner.jpg" width=" 586" height=" 440" / /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify margin-bottom: 10px " 白酒鉴别虽然目前有很多方法，但民众可以使用的却少之又少，还是需要有关部门的大力监管，才能让假酒不再出现在人民的餐桌上。 /p p br/ /p

p style=" text-align: center " strong 我国成功研制出世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备 /strong /p p style=" text-align: center " strong 可加工22纳米芯片 /strong /p p style=" text-align: center " strong img width=" 500" height=" 332" title=" 超分辨光刻装备核心部件纳米定位干涉仪以及精密间隙测量系统.jpg" style=" width: 500px height: 332px " alt=" 超分辨光刻装备核心部件纳米定位干涉仪以及精密间隙测量系统.jpg" src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201811/uepic/630030e2-5fa9-438d-b88b-dcedfe27b36a.jpg" border=" 0" vspace=" 0" / /strong /p p style=" text-align: center " strong ▲超分辨光刻装备核心部件纳米定位干涉仪以及精密间隙测量系统。 /strong /p p 　　军报记者成都11月29日电(吕珍慧、记者邹维荣)国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”29日通过验收，这是我国成功研制出的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备。该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制， span style=" color: rgb(255, 0, 0) " 光刻分辨力达到22纳米，结合多重曝光技术后，可用于制造10纳米级别的芯片。 /span /p p style=" text-align: center " img width=" 500" height=" 331" title=" 超分辨光刻设备核心部件超分辨光刻镜头.jpg" style=" width: 500px height: 331px " alt=" 超分辨光刻设备核心部件超分辨光刻镜头.jpg" src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201811/uepic/1db46f1b-ecd9-405c-b92b-55165c103455.jpg" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong ▲超分辨光刻设备核心部件超分辨光刻镜头。 /strong /p p 　　中科院理化技术研究所许祖彦院士等验收组专家一致表示，该光刻机在365纳米光源波长下，单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米。项目在原理上突破分辨力衍射极限，建立了一条高分辨、大面积的纳米光刻装备研发新路线，绕过了国外相关知识产权壁垒。 /p p style=" text-align: center " img width=" 500" height=" 331" title=" 超分辨光刻设备加工的4英寸光刻样品.jpg" style=" width: 500px height: 331px " alt=" 超分辨光刻设备加工的4英寸光刻样品.jpg" src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201811/uepic/a67133f0-7251-46a3-ba62-6cc159084915.jpg" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong ▲超分辨光刻设备加工的4英寸光刻样品。 /strong /p p style=" text-align: center " img width=" 500" height=" 332" title=" 采用超分辨光刻设备加工的超导纳米线单光子探测器.jpg" style=" width: 500px height: 332px " alt=" 采用超分辨光刻设备加工的超导纳米线单光子探测器.jpg" src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201811/uepic/bfbf977d-f735-4c4a-ada2-968e62a904ea.jpg" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong ▲采用超分辨光刻设备加工的超导纳米线单光子探测器。 /strong /p p 　　光刻机是制造芯片的核心装备，我国在这一领域长期落后。它采用类似照片冲印的技术，把一张巨大的电路设计图缩印到小小的芯片上，光刻精度越高，芯片体积可以越小，性能也可以越高。但由于光波的衍射效应，光刻精度终将面临极限。 /p p style=" text-align: center " img width=" 500" height=" 332" title=" 中科院光电所科研人员展示利用超分辨光刻设备加工的超导纳米线单光子探测器.jpg" style=" width: 500px height: 332px " alt=" 中科院光电所科研人员展示利用超分辨光刻设备加工的超导纳米线单光子探测器.jpg" src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201811/uepic/2b4c7150-dcc7-4844-9278-610ae7a5c3a4.jpg" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong ▲中科院光电所科研人员展示利用超分辨光刻设备加工的超导纳米线单光子探测器。 /strong /p p 　　为突破极限、取得更高的精度，国际上目前采用缩短光波、增加成像系统数值孔径等技术路径来改进光刻机，但也遇到装备成本高、效率低等阻碍。 /p p 　　项目副总师胡松介绍，中科院光电所此次通过验收的表面等离子体超分辨光刻装备，打破了传统路线格局，形成了一条全新的纳米光学光刻技术路线，具有完全自主知识产权，为超材料/超表面、第三代光学器件、广义芯片等变革性领域的跨越式发展提供了制造工具。 /p p style=" text-align: center " img width=" 500" height=" 331" title=" 项目副总设计师胡松研究员介绍超分辨光刻装备研制项目攻关情况.jpg" style=" width: 500px height: 331px " alt=" 项目副总设计师胡松研究员介绍超分辨光刻装备研制项目攻关情况.jpg" src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201811/uepic/8f9b7048-0983-4614-ad32-83bac74326ce.jpg" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong ▲项目副总设计师胡松研究员介绍超分辨光刻装备研制项目攻关情况。 /strong /p p style=" text-align: center " strong img width=" 500" height=" 331" title=" 中科院光电所科研人员操作超分辨光刻设备.jpg" style=" width: 500px height: 331px " alt=" 中科院光电所科研人员操作超分辨光刻设备.jpg" src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201811/uepic/ae8c0ca4-deed-4fe3-8449-59092f2b080b.jpg" border=" 0" vspace=" 0" / /strong /p p style=" text-align: center " strong ▲中科院光电所科研人员操作超分辨光刻设备。 /strong /p p 　　据了解，该光刻机制造的相关器件已在中国航天科技集团公司第八研究院、电子科技大学太赫兹科学技术研究中心、四川大学华西医院、中科院微系统所信息功能材料国家重点实验室等多家科研院所和高校的重大研究任务中取得应用。 /p p style=" text-align: center " img width=" 500" height=" 330" title=" 中科院光电所科研人员操作超分辨光刻设备2.jpg" style=" width: 500px height: 330px " alt=" 中科院光电所科研人员操作超分辨光刻设备2.jpg" src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201811/uepic/0064094a-2a60-4744-9875-2b41b0f467e2.jpg" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong ▲中科院光电所科研人员操作超分辨光刻设备。 /strong /p p & nbsp /p