规格:货号CS-3200S4测量范围/分辨力X轴100mm/0.05μmZ1轴(检出器)5mm/0.08μm0.5mm/0.008μm0.05mm/0.0008μmZ2轴(立柱)1μm精度(20oC)X轴±(0.8+0.01L)μm(L=测量长度(mm))Z1轴(检出器)±(1.5+|2H|/100)μmH=水平位置上的测量高度(mm)驱动部直线度(X轴)正常使用下0.2μm/100mm当伸出到最大程度0.4μm/100mm测量速度表面粗糙度测量0.02,0.05,0.1,0.2mm/s(4-step)轮廓测量0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0mm/s(7级)驱动速度X轴(水平方向)0to80mm/s外加手动Z2轴(垂直方向)0to20mm/s外加手动上/下移动300mm(电动)倾角范围±45o检出器检出方式差动感应测力0.75mN测针名称标准测针(用于粗糙度/轮廓测量)针尖角度:60o圆锥,针尖半径:2μm,金刚石针尖圆锥型(用于轮廓测量)针尖角度:30o圆锥,针尖半径:25μm,蓝宝石针尖测针上/下运作适用(可在半空停顿) 注:虽然天然石材测量桌的外观各有不同,但材料的稳定性是值得信赖的。
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