用于中长波红外应用的纳米线栅偏振器
已经使用晶片级铝纳米线栅图案化能力开发了适用于中波红外(MWIR)和长波红外(LWIR)应用的硅上的高对比度线栅偏振器。144nm间距的MWIR偏振器通常从3.5-5.5微米透射优于95%的通过偏振态,同时保持优于37dB的对比度。在7微米和15微米之间,宽带LWIR偏振器通常透射通过状态的55%和90%,并且具有优于40dB的对比度。窄带10.6微偏振器在通过状态下显示出约85%的透射率和45dB的对比度。使用各种FTIR光谱仪进行透射和反射测量,并将其与抗反射涂层晶片上的线栅偏振器(WGP)性能的RCWA建模进行比较。激光损伤阈值(LDT)测试是使用连续波CO2激光器对宽带LWIR产品进行的,并且在阻断状态下显示110kW/cm2的损伤阈值,在通过状态下显示10kW/cm2的损伤阈值。MWIR LDT测试使用具有7ns脉冲的在4微米下操作的OPO,并且显示在阻断状态下LDT为650W/cm2并且在通过状态下优于14kW/cm2。