倾斜开关

8月12日，北京安洲科技有限公司对中国林业科学研究院的410-Shark机载高光谱、Lidar50机载激光雷达以及AZ3D-2机载倾斜摄影进行了设备验收，在同一地块分别进行了不同传感器的影像数据飞行实验，并进行了高光谱与激光雷达的数据融合处理，实验结果得到了用户的一致好评。410 Shark机载高光谱Lidar 50机载激光雷达AZ 3D-2 机载倾斜摄影410 Shark机载高光谱处理结果ENVI中打开高光谱影像数据高光谱3D Cube归一化植被指数NDVILidar 50机载激光雷达处理结果Lidar 50点云实时预览Lidar 50样区正摄影像图Lidar 50解算完成点云图AZ 3D-2 机载倾斜摄影处理结果角度1 观测角度2 观测NDVI与lidar点云融合结果

美国国家标准与技术研究院 （NIST） 和半导体及相关行业检测和测量系统提供商 KLA Corporation 的研究人员提高了扫描电子显微镜 （SEM） 测量的准确性。SEM用于半导体制造中的过程控制应用，有助于确保高产量生产功能性高性能芯片。SEM使用聚焦电子束对小至1纳米的特征进行成像，使其成为表征半导体器件结构的重要仪器。在芯片制造过程中，高分辨率 SEM 用于许多检测和计量应用，包括检测非常小的缺陷、识别和分类光学检测员发现的缺陷、图案特征的关键尺寸测量、覆盖测量等。这些信息有助于芯片工程师表征和微调其制造工艺。当电子束通过SEM时，它会受到仔细控制。电子束与理想路径的轻微偏差或电子束撞击芯片表面的角度的微小错位都会使生成的 SEM 图像失真并歪曲器件的结构。NIST和KLA通过考虑电子束的这些角度错位，提高了SEM的精度。该联合研究项目测量光束倾斜的精度小于一毫弧度，即百分之五度，这需要在角分辨率和测量验证方面取得进步。为了测量光束倾斜，NIST和KLA创建了电子显微镜的原型标准，并以一种新的方式分析了所得的电子显微照片。原型标准由一系列锥形硅柱组成，称为锥形视锥体，形成对光束倾斜高度敏感的图像。倾斜表现为视锥体顶部边缘和底部边缘图像中心之间的偏移。利用他们在模拟电子-物质相互作用方面的专业知识，研究人员使用模拟来展示亚毫弧度精度的潜力，指导他们正在进行的标准工件的设计和制造。已知位置的锥形视锥体阵列有可能测量 SEM 扫描和成像的区域内光束倾斜的任何变化。这些测量可以进一步校准电子显微镜的放大倍率和畸变。此外，新标准还适用于芯片制造中使用的其他显微镜方法，包括原子力和超分辨率光学显微镜。比较不同显微镜方法结果的能力有助于在不同方法之间可靠且可重复地传输信息，并提高测量模型的准确性。锥形视锥体阵列的模型“电子束倾斜会改变器件特征的表观位置，降低SEM测量的准确性，”NIST研究员兼涵盖这项研究的行业论文的第一作者Andrew C. Madison说。“我们的新标准和分析方法可以检测电子束位移，因为它在整个成像场中变化。“有了这些数据，SEM制造商可以实施校准和校正，以提高图像质量和测量精度，”NIST研究员兼首席研究员Samuel M. Stavis说。“作为半导体检测和计量领域的专家，我们不断探索可以扩展当前测量极限的新技术，”KLA公司高级副总裁兼总经理Yalin Xiong说。“与研究机构的合作在发现有助于推进芯片行业过程控制的创新方面发挥着重要作用。我们与NIST的联合研究旨在提高用于表征芯片制造工艺的基本测量的准确性。

2023年7月11日，中央全面深化改革委员会第二次会议审议通过了《关于高等学校、科研院所薪酬制度改革试点的意见》。　　习近平在主持会议时强调，要把推动高校教师、科研人员薪酬分配制度改革作为统筹推进教育、科技、人才事业发展的重要抓手，逐步建立激发创新活力、知识价值导向、管理规范有效、保障激励兼顾的薪酬制度，进一步激发高等学校、科研院所创新创造活力。　　会议强调，开展高等学校、科研院所薪酬制度改革试点，要根据薪酬管理需要和实际，优化和规范分配制度，树立正确分配导向，坚持人才为本，突出创新优先，坚持薪酬分配要同绩效紧密挂钩，向扎根教学科研一线、承担急难险重任务、作出突出贡献的人员倾斜，向从事基础学科教学和基础前沿研究、承担国家关键核心技术攻关任务、取得重大创新成果的人员倾斜。要加强薪酬管理监督，确保把国家的钱用在人才激励和事业发展最需要的地方。专 家 解 读中国科学院科技战略咨询研究院研究员 宋河发　　7月11日，中央全面深化改革委员会第二次会议审议通过《关于高等学校、科研院所薪酬制度改革试点的意见》(以下简称《意见》)等。会议强调，薪酬分配要向扎根教学科研一线、承担急难险重任务、作出突出贡献的人员倾斜，向从事基础学科教学和基础前沿研究、承担国家关键核心技术攻关任务、取得重大创新成果的人员倾斜。　　事实上，国家早已关注到科研人员薪酬制度改革。我国2011年发布的《关于调整国家科技计划和公益性行业科研专项经费管理办法若干规定》将课题经费分为直接费用和间接费用，首次提出允许提取绩效。2014年是全面深化改革的元年，国务院印发《关于改进加强中央财政科研项目和资金管理的若干意见》，在项目预算调整、劳务费用管理、间接费用管理、结余经费使用等五个方面赋予单位一定的自主权，尤其是要求结合一线科研人员实际贡献公开公正安排绩效支出，体现科研人员价值，充分发挥绩效支出的激励作用。中共中央办公厅、国务院办公厅2016年7月31日印发《关于进一步完善中央财政科研项目资金管理等政策的若干意见》，要求提高间接费用比重，加大绩效激励力度。　　此后，又相继印发《中华人民共和国促进科技成果转化法》《关于实行以增加知识价值为导向分配政策的若干意见》《关于深化项目评审、人才评价、机构评估改革的意见》《关于深化项目评审、人才评价、机构评估改革的意见》《关于完善科技成果评价机制指导意见》《关于完善科技激励机制的意见》等法律和政策，对科技创新人才实行现金、股权、期权、分红等激励措施，坚持科技创新质量、绩效、贡献为核心的评价导向，突出基于贡献的激励，强化对科技领域作出重大贡献者的奖励。　　随着多项制度文件在全国各地落地，身负重大科研项目、有重大成果产出的科研人员的收入进一步得到保障，科研人员尤其是进入长聘体系人员的工资上限不断打破限制，突破“天花板”，创新人才成长得到激励。　　当前，我国基础研究、集成电路等关键核心技术领域还存在短板，急需从0到1的突破。原创性引领性成果的产生的根本在人才，待遇是激励人才、稳定人才的重要抓手。　　此次会议提出青年科研人才、基础研究等关键词，强调让扎根教学科研一线、承担急难险重任务、从事基础学科教学和基础前沿研究、承担国家关键核心技术攻关任务、取得重大创新成果的人员的待遇得到保障。　　当前，我国科研人员收入分配主要有两种形式：一是薪酬工资制度，二是协议工资制度。二元工资制度是应用范围较普遍的制度，中国科学院等科研单位实行三元工资制，主要由基础工资、岗位津贴和科研绩效三部分构成。该分配制度相当一段时间有效激发了科研人员的积极性、提高了科技资源使用效率，但基础研究领域高水平保障制度还不健全，为了获取更高工资，也滋生出了一些现象——科研人员不断申请竞争性科研项目，从更多项目中获得更高绩效，不利于科研人潜心研究，影响了关键核心技术领域突破，多头竞争也存在降低科研经费使用效率的风险。长聘工资制度随着近年来各大高校探索的长聘制产生。　　长聘制借鉴国外大学终身教授制度的基础上建立的教师聘用、使用、管理制度。照此制度，新入职教师在经过一段时间考核后，达到长聘的条件，将获聘终身教职，其工资实行年薪制。年薪制一定程度上保障教育教学、学术研究不受经济因素影响。　　随着我国市场制度不断完善，科研界需要更多元、更高水平的保障。　　值得注意的是，“更高水平”不等于“更高”，科研人员薪酬制度改革应该建好机制，规范化管理，让科研人员心无旁骛从事责任科研、兴趣科研，避免逐利思想在科研界传播。　　具体执行上，要在高等学校、科研院所薪酬制度改革试点中寻求经验，根据薪酬管理需要和实际，优化和规范分配制度，确保把国家的钱用在人才有效激励和事业发展最需要的地方。