分束器和四分之一波长反射镜的质量控制——多层光学镀膜的多角度 UV-Vis-NIR 测量
光学镀膜和镀膜技术经过多年发展,在设计、生产和表征工艺方面已非常成熟。现在,光学镀膜已非常普及,从研究和空间光学到消费品和工业的应用中都能找到它的身影。光学镀膜应用广泛,包括眼镜、建筑和汽车玻璃、照明和灯光系统、显示器、滤光片、专业反射镜、光纤和通信,以及医用光学。光学镀膜的性能取决于镀膜的规格和基底材料。设计和制造高质量多层光学镀膜不仅需要精确测量最终生产组件,还需要精确测量薄膜层中材料的光学常数。这些测量结果能够用于(有时)非常复杂的多层镀膜的详细设计。在生产结束时和生产过程中的测量结果也可以用于光学镀膜的逆向工程,提供有关设计制造工艺的反馈[1]。逆向工程的主要目的是检测单层参数中的系统误差和随机误差,有助于改善层控制,优化光学镀膜沉积。