四氟化硅传感器是由四方光电自主研发的高性能气体传感器,产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议,适合半导体行业化学沉积设备、原子层沉积设备腔室的清洁终点监测。四氟化硅传感器产品特性使用NDIR技术,多气体监测支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)响应时间快,高灵敏度无耗材模拟/数字通信模块化设计,便于集成四氟化硅传感器技术参数检测原理NDIR检测气体SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2量程1~264ppm(0~200mTorr)重复性±0.5%线性±1%F.S.检测限1ppm热导氢气传感器产品介绍热导氢气传感器ATRS-1010-H2是由四方光电自主研发的一款热传导氢气传感器,基于气体热传导测量的方法,为汽车动力电池热失控和锂电池储能安全监测实现提前快速预警,提高安全性。同时可以对氢气泄漏进行有效监测,并将测量信号通过UART通信传递给主控系统。具有测量准确、响应时间快速、测量量程大、功耗低和寿命长等显著特点。热导氢气传感器产品特性精度高,响应时间快寿命长,可达15年防护等级高,满足IP54要求热导氢气传感器技术参数检测原理热传导技术(TC)检测种类H2检测范围0~4%vol分辨率0.01%vol检测精度±(0.1%vol+10%读数)数据刷新≤1s响应时间T90≤20s输出方式TTL设计寿命15年工作条件-20℃~+60℃;0~99%RH(非凝结)存储条件-40℃~+95℃;0~99%RH(非凝结)工作气压80kPa~120kPa防护等级IP54供电电压4.5V~5.5VDC,额定电压+5VDC平均工作电流≤100mA
留言咨询