白光感温线

EQ-99X激光驱动白光光源 Energetiq公司开发的宽带白光光源，采用激光泵浦的方式维持等离子体放电发光，避免了使用电极所带来的种种缺陷。 EQ-99X激光驱动白光光源特点和优势： 连续激光等离子体放电 超高亮度，覆盖波段范围UV-Vis-NIR (170nm - 2100nm) 无需复合灯源（可替代氘灯/钨灯/氙弧光灯），简化光学系统 优异的空间稳定性，适于重复测量 优异的短时和长期功率稳定性，适于重复测量 超净的结构设计，提升稳定性，增长使用寿命 无电极工作，更低维护成本 应用领域： UV-VIS-NIR光谱 单色仪光源 光器件测试 显微照明 原子吸收光谱 材料表征 环境分析 气相测试 需要长灯源寿命的应用 EQ-99X激光驱动白光光源技术参数： 光谱范围： 170nm -2100nm 大接收角 – 数值孔径 (NA): 高至0.47 典型灯泡寿命 9,000 小时. 自由空间输出接口 灯源尺寸82.3 x 85.7 x 76.2 mm (3.2 x 3.4 x3.0 in) ，重量0.7 kg (1.5 lbs) 电源尺寸107 x 111 x 254 mm (4.2 x 4.4 x 10 in) (excl feet)，重量1.4kg (3 lbs) 谱分布图：

宽带白光光源产品概述激光驱动白光光源是一款高亮度，高稳定、长寿命宽光谱白光光源，采用激光驱动光源技术，使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，从而产生波长范围从170nm到2100nm以上的白光。此外由于等离子体中心位置高度稳定，因此空间稳定性就会很好，在较长距离都有很好的准直性。 Gloria-LDLS-A 激光诱导高亮度白光光源宽带白光光源，采用激光泵浦的方式维持等离子体放电发光，避免了使用电极所带来的种种缺陷。特点和优势■ 超高亮度■ 超宽光谱■ 超长寿命■ 超稳定的紧凑型激光诱导白光光源技术参数■ 光谱输出范围：170-2100nm■ 光谱辐射亮度：40mW/(mm2*sr*nm)@400nm■ 输出方式：自由空间输出■ 数值孔径：0.47■ 功率稳定性：RMS0.3%@30S■ 灯泡寿命（典型值）：10000小时■ 发光点尺寸：97*194um■ 光源尺寸：82*86*76■ 电源尺寸：113*111*209■ 冷却：自然冷却，无需外部辅助■ 充氮：工作在DUV时需要通入氮气光谱分布图

美国Energetiq 公司开发出了跨时代的LDLS-EQ 系列超高亮度白光光源（激光泵浦宽带光源Laser-Driven Light Sources，专利号US7435982）。 LDLS 具有很宽的光谱范围170nm 到2100nm 。寿命可达9000 小时！高稳定性，高亮度，体积小巧！ Energetiq 公司开发的宽带白光光源，采用激光泵浦的方式维持等离子体放电发光，避免了使用电极所带来的种种缺陷。首先通过高压放电点燃灯泡内的氙气，使氙气温度升高电离变成等离子体，连续激光光束经过透镜聚焦进入灯泡，利用激光的能量来维持灯泡内的等离子体，此时高压即可关闭，采用聚焦良好的激光来维持等离子体，可以使紫外光激发稳定而且易于聚焦。 应用◆UV-Vis光谱◆显微镜照明◆环境分析◆材料特性表征◆气相测试◆HPLC高性能液体色谱◆长寿命光源需求LDLS EQ-99型 &mdash &mdash 紧凑型激光驱动宽带光源（LDLS）EQ-99是一种超高亮度，高稳定性的宽带光源，是专为要求苛刻的成像和光谱应用而设计的。 EQ-99提供了优异的空间和功率稳定性，应用于宽光谱可重复的测量。EQ-99是利用专利的激光泵浦宽带光源技术，是超长灯泡寿命要求应用的理想选择。 EQ-99具有自由空间宽带反射耦合连接器，便于用户将100um光斑耦合到其他设备。由于其亮度高，发光面积小的特点，EQ- 99特别适合于窄的光谱仪狭缝，小直径光纤或其他小尺寸光学应用。功能与优点◆连续激光等离子体放电◆全光谱高亮度-UV-Vis-NIR（170nm-2100nm）◆简化光学系统 - 氘灯，卤钨灯，氙灯的完美替代设备◆优异的空间稳定性 - 用于重复测试◆优异的短期和长期稳定性◆无电极操作，寿命更长◆减少消耗品成本◆简化仪器校准 LDLS EQ-99FC EQ-99FC激光驱动宽带光源与EQ-99类似，但是它整合了光学系统，更易于使用光学测试的系统。高性能的椭圆式收集光路确保了超高亮度和功率稳定性，光谱覆盖范围宽，从170nm到2100nm，有效的耦合到小直径光纤中。无电级操作，利用专利的激光泵浦宽带光源技术，EQ-99FC是超长灯泡寿命要求应用的理想选择。功能与优点：●SMA光纤输出，使用更方便●高效，高性能的椭圆收集光路 -UV-Vis-NIR（170nm - 2100nm）●简化光学系统 - 氘灯，卤钨灯，氙灯的完美替代设备●优异的短期和长期稳定性，可重复测量●连续激光等离子体放电●无电极操作，寿命更长●减少消耗品成本●简化仪器校准 LDLS EQ-1500 EQ-1500是一个超高亮度、稳定、宽带的光源，主要用于光谱和成像应用。EQ-1500提供优异的空间和功率稳定性，更适用于重复性测试；并提供等离子的直接成像以便更好的耦合其他设备。利用专利的激光泵浦宽带光源技术，EQ-1500更适合需求超长时间寿命光源照明的应用。EQ-1500具有自由空间宽带反射耦合连接器，便于用户将200um等离子体光斑耦合到其他设备。由于其亮度高，发光面积小的特点，EQ- 1500特别适合于窄的光谱仪狭缝，小直径光纤或其他小尺寸光学应用。 功能与优点●连续激光等离子体放电●超高亮度覆盖整个光谱范围 UV-Vis-NIR（170nm-2100nm）●简化光学系统 - 氘灯，卤钨灯，氙灯的完美替代设备●优异的空间稳定性 - 用于重复测试●优异的短期和长期稳定性- 用于重复测量●无电极操作，寿命更长●减少消耗品成本●简化仪器校准

TLSE1805i-EQ是基于Energetiq 公司的EQ系列宽带白光光源和&ldquo 影像谱王&rdquo 单色仪Omni-&lambda 1805i的可调单色光源；EQ系列宽带白光光源是一种超高亮度，高稳定性的激光驱动宽带光源（LDLS），因其亮度高，发光面积小，所以特别适合于窄的光谱仪狭缝，同时配合采用影像校正设计的&ldquo 影像谱王&rdquo 单色仪（Omni-&lambda 1805i），通过进口离轴抛物面镜组精心调校光学耦合，整体输出光强相比较于常规的氙灯光源可提高数倍，获得极佳的单色光输出效果。特别针对紫外波段（200-400nm），所有反射元件采用紫外增强镀膜，并可通过通氮气，减少紫外的吸收，获得更好的紫外单色光输出。 TLSE1805i-EQ采用全封闭结构，完全一体化设计。根据规格的不同，可以选择EQ99较低功率输出型和EQ1500超强功率输出型 主要规格参数表型号/参数TLSE1805i-EQ99TLSE1805i-EQ1500单色仪型号Omni-&lambda 1805i光谱范围*(nm，推荐)200-1500输出带宽**(nm，推荐)1~10输出带宽可调范围**(nm)0.3-20光栅1#1200g/mm@300nm光栅2#600g/mm@750nm滤光片使用范围(nm)200-1500光源LDLS-EQ99LDLS-EQ1500输出单色光功率 (mW)&ge 1（@1200g/mm光栅，500nm处，带宽5nm）输出光稳定性优于0.5%* 可通过选择不同规格的光栅，变更输出光谱范围** 输出带宽取决于所选光栅的刻线数和狭缝开启的宽度，标准为0.01-3mm连续可调

EQ-77 LDLS™ 激光驱动白光光源 Energetiq公司开发的宽带白光光源，采用激光泵浦的方式维持等离子体放电发光，避免了使用电极所带来的种种缺陷。 EQ-77 LDLS™ 激光驱动白光光源特点和优势： 辐射强度40mW/mm2.sr.nm（波长相关）-最快的测量速度 超低的噪声，优异的空间稳定性-精确的可重复的测量结果 宽波段范围（170-2100nm）的极高亮度光输出 双光束输出，或者单光束输出可选-使用更为灵活 紧凑的水冷灯室设计 超净的结构设计，提升稳定性，增长使用寿命 无电极工作，更低维护成本 电路控制的光输出，降低损耗 应用领域： 半导体检测 UV-VIS-NIR光谱 单色仪光源 光器件测试 PEEM 材料表征 高端成像 薄膜测试 EQ-77 LDLS™ 激光驱动白光光源技术参数： 光谱范围： 170nm -2100nm 大接收角 – 数值孔径 (NA): 高至0.5 典型灯泡寿命 9,000 小时. 灵活的输出接口：单光束或者双光束输出可选 灯源尺寸135.6 x 144.9 x 56 mm ，重量2.7 kg (6.0 lbs) 电源尺寸132.6 x 482.6 x 583.6 mm，重量18.8kg (41.5 lbs) EQ-77 LDLS™ 激光驱动白光光源谱分布图：

RGB光纤耦合白光激光模块-单模/保偏/多模/尾纤激光器RGB光纤耦合白光激光模块单模保偏多模尾纤激光器威创光电推出用于医疗，生命科学，照明等应用的白光光纤耦合激光模块，采用520nm+635nm+450nm的RGB激光器合成白光输出，光斑呈高斯分布，光斑模式非常好，其中光纤可以选择，4um，9um，105um等单模光纤，多模光纤以及保偏光纤，出光功率可以根据客户订制。此外，相应的波长也可以根据客户具体使用情况进行定制化服务。同时威创光电也可以提供520nm+635nm+450nm的RGB光纤耦合白光激光器系统，内置了驱动电路和散热系统，支持240V交流供电，方便客户使用。具体产品型号和主要参数如下：光纤类型产品型号Port-1波长/功率Port-2波长/功率Port-3波长/功率光纤接头光纤芯径TEC制冷单模光纤Triplex-WSLX-445/010m-520/010m-635/010m-4-H-T638nm/10mW520nm/10mW445nm/10mWFC3um√单模光纤Triplex-WSLX-445/015m-520/015m-635/015m-4-H-T638nm/15mW520nm/15mW445nm/15mWFC3um√SMF-28Triplex-WSLX-445/030m-520/030m-635/030m-9-H-T638nm/30mW520nm/30mW445nm/30mWFC9um√多模光纤Triplex-WSLX-445/050m-520/050m-635/050m-M-H-T638nm/50mW520nm/50mW445nm/50mWFC105um√多种波长解决方案可选择多种光纤类型可选择Port-1405nm | 445nm | 488nmBlue Laser单模光纤3umPort-2505nm | 520nm | 525nmGreen Laser保偏光纤3umPort-3638nm | 658nm | 670nm | 685nmRed Laser 多模光纤9um | 50um | 105um | 200um光斑实拍：激光模块：激光系统：功率稳定性曲线：另外，威创光电可以提供的激光产品波长范围: 405nm~1920nm（详见下面波长列表），包含单模激光二极管、多模激光二极管，光纤耦合激光模块、光纤耦合激光器系统、医疗激光模块、RGB白光激光器等，光纤类型：单模光纤、多模光纤、保偏光纤可选，可以根据客户的要求进行特殊定制（波长/功率/封装/光纤类型/光纤芯径等），如有需求 欢迎商洽！

激光驱动宽带白光光源 Energetiq公司开发的宽带白光光源，采用激光泵浦的方式维持等离子体放电发光，避免了使用电极所带来的种种缺陷。 激光驱动宽带白光光源特点和优势： 连续激光等离子体放电 超高亮度，覆盖波段范围UV-Vis-NIR (170nm - 2100nm) 无需复合灯源（可替代氘灯/钨灯/氙弧光灯），简化光学系统 优异的空间稳定性，适于重复测量 优异的短时和长期功率稳定性，适于重复测量 超净的结构设计，提升稳定性，增长使用寿命 无电极工作，更低维护成本 EQ-99X激光驱动宽带白光光源应用领域： UV-VIS-NIR光谱 单色仪光源 光器件测试 显微照明 原子吸收光谱 材料表征 环境分析 气相测试 需要长灯源寿命的应用 EQ-99X激光驱动宽带白光光源应用技术参数： 光谱范围： 170nm -2100nm 大接收角 – 数值孔径 (NA): 高至0.47 典型灯泡寿命 9,000 小时. 自由空间输出接口 灯源尺寸82.3 x 85.7 x 76.2 mm (3.2 x 3.4 x3.0 in) ，重量0.7 kg (1.5 lbs) 电源尺寸107 x 111 x 254 mm (4.2 x 4.4 x 10 in) (excl feet)，重量1.4kg (3 lbs) 谱分布图：

中图仪器SuperViewW白光干涉仪三维表面形貌测量系统让轮廓测量价格更为实惠。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、台阶高度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、波纹度、面形轮廓、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。SuperViewW白光干涉仪三维表面形貌测量系统采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高。除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，保护仪器，降低人为操作风险。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量；5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。应用领域对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，SuperViewW白光干涉仪三维表面形貌测量系统的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器W系列白光干涉微观三维形貌测量仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。W系列白光干涉微观三维形貌测量仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量；5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。应用领域对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。典型结果表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）自动拼接测量针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器W系列白光干涉微观三维形貌测量仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式手动和电动兼容型Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×600×900㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SuperViewW白光干涉三维形貌测量系统基于白光干涉原理，能以3D非接触方式对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW白光干涉三维形貌测量系统是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能； (4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）白光干涉三维形貌测量系统采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperViewW白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标 型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

白光干涉仪概述Rtec 白光干涉仪在加利福尼亚硅谷制造。已被多个知名实验室、大学和行业使用。UP系列在一个头上组合了4种成像模式。能够在同一测试平台上运行多种测试，只需单击按钮，就能转换成像模式。这种组合可以轻松地对任何表面进行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、弯曲的表面等。每种成像模式都具有各自的优势，并且各项技术彼此互补。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。 3D光学轮廓仪组合l白光干涉仪l旋转盘共聚焦显微镜 l暗视野显微镜l明视野显微镜 主要平台规格 产品规格l标准电动平台150x150mm（可选210x310mm）l标准转塔，电动转塔可选l垂直范围可达100mml倾斜阶段6度lXY平台分辨率0.1uml自动拼接楷模lSigma头 - 仅限白光干涉仪lLambda头 - 白光干涉仪+共焦+暗场+明场 应用 ●粗糙度 ●体积磨损 ●台阶高度 ●薄膜厚度 ●形貌 测试图像示例 DLC涂层球 粗糙涂层表面 圆球磨斑 金刚石 生物膜 微流体通道 聚合物涂层 墨痕 硬币 研磨垫 铝的失效痕迹 划痕 涂层失效痕迹 芯片通道 晶圆以上为双模式三维表面轮廓仪拍出的样品形貌。在同一平台上结合使用多种光学技术，测试仪可以测量几乎任何类型的nm分辨率样品。 该表面轮廓仪配有功能强大的分析软件，符合多种标准。双模式三维表面轮廓仪能够在同一测试平台上运行多种测试，产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测，模式切换可实现自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。

中图仪器SuperViewW国产白光干涉光学轮廓仪系统基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperViewW国产白光干涉光学轮廓仪系统的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能； 4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量；5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。应用领域SuperViewW国产白光干涉光学轮廓仪系统对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式手动和电动兼容型Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×600×900㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

EQ400激光驱动白光光源 Energetiq公司开发的宽带白光光源，采用激光泵浦的方式维持等离子体放电发光，避免了使用电极所带来的种种缺陷。 EQ400激光驱动白光光源特点和优势： 辐射强度10mW/mm2.sr.nm（波长相关）-最快的测量速度 超低的噪声，优异的空间稳定性-精确的可重复的测量结果 宽波段范围（170-2100nm）的极高亮度光输出 双光束输出，或者单光束输出可选-使用更为灵活 紧凑的水冷灯室设计 超净的结构设计，提升稳定性，增长使用寿命 无电极工作，更低维护成本 电路控制的光输出，降低损耗 应用领域： 半导体检测 UV-VIS-NIR光谱 单色仪光源 光器件测试 PEEM 材料表征 高端成像 薄膜测试 EQ400激光驱动白光光源技术参数： 光谱范围： 170nm -2100nm 大接收角 – 数值孔径 (NA): 高至0.5 典型灯泡寿命 9,000 小时. 灵活的输出接口：单光束或者双光束输出可选 灯源尺寸135.6 x 144.9 x 56 mm ，重量2.7 kg (6.0 lbs) 电源尺寸132.6 x 482.6 x 583.6 mm，重量18.8kg (41.5 lbs) EQ400激光驱动白光光源谱分布图：

EQ-99X激光驱动白光光源LDLS对于生命科学和材料科学的研究人员来说，一个可以提供超高亮度和宽带光谱的光源是必不可少的。以前，为了达到宽光谱的需要，多采用复合光源的方式，将氘灯、氙灯、卤钨等等等集成在一起作为灯组来使用。但是,集成这些灯来实现宽光谱的灯组极大地增加了成本,影响了使用效率。这些传统的使用电极驱动的灯源, 由于高温的烧蚀，灯的寿命很短，需要经常更换灯泡。为了解决灯泡寿命过短的问题，Energetiq 公司创造性地研发了ge命性的采用激光驱动等离子体气体发光的技术， 即激光驱动光源技术(LDLS™ =Laser-Driven Light Source)。这个技术不但解决了灯泡寿命短的问题，还同时大幅提高了气体燃烧温度，从而输出光谱范围拓展到170nm 到2100nm ，辐射亮度和稳定度也极大提升，使LDLS光源成为传统电极驱动灯组光源的完美替代品。EQ-99X激光驱动白光光源是一款紧凑型的超高亮度、高稳定性的宽带光源，专门用于苛刻的成像和光谱应用。EQ-99XFC激光驱动白光光源对高度可重复的光谱测量提供出色的空间稳定性和功率稳定性。EQ-99XFC激光驱动白光光源采用其激光驱动灯泡技术，是需要超长灯泡寿命的应用的理想选择。EQ-99XFC结构与EQ-99X类似，但集成了光学器件已将输出方式改为光纤输出，在需要光纤连接的应用中更为方便。高性能的椭球形收集器，确保超高的亮度和功率稳定性，并在整个光谱范围从190nm到2100nm内得以保持，有效地将光束耦合到小直径光纤。 LDLSTM光源原理示意图 LDLSTM光源与传统卤钨灯亮度对比激光驱动白光光源产品特点：CW激光等离子体放电用于精密耦合的FC光纤输出高效、高性能的椭球形集光器件光纤保护技术，增强深紫外性能亮度高，频谱完整，紫外-可见光-近红外光谱(190-2100nm)很小发光点 约100μm长使用寿命 9000 hrs（10%衰减）极好的空间稳定性，可重复测量极好的短期和长期功率稳定性，可重复测量无需多个灯组，光学系统简化无电极工作灯，使用寿命长，降低耗材成本，所需的重复校准次数少 激光驱动白光光源典型应用：高性能光谱，图像，光纤测试，显微镜照明，过程质量监控，环境、化学、材料分析，缺陷检测，其他需要长寿命灯的应用激光驱动白光光源主要参数：产品型号EQ-99XFC光谱范围190nm-2100nm输出功率~80mW光谱辐亮度~60μW/nm数值孔径0.22NA光源寿命9000hrs输出方式标准FC接口光纤输出*光源重量灯室0.7kg，控制器1.4kg光源尺寸灯室82×86×76mm，控制器113×111×299mm应用范围高性能光谱，图像，光纤测试，显微镜照明，过程质量监控，环境、化学、材料分析，缺陷检测，高性能液体色谱(HPLC)，其他长寿命灯应用*光纤的长度可选1m或2m，芯径可选100um、115um、200um、230um、400um、600um，光纤接头可选FC或SMA。下图为EQ-99XFC LDLS的典型光谱（230um芯径、数值孔径0.22NA、1米长光纤输出）。更多详细参数请下载数据表更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询。

显微镜白光光源 生命科学涵盖细胞生物学、神经科学、药理学、基因组学、生物医学工程、微生物学、生理学和许多其他学科，光学显微镜技术是所有这些领域研究的核心。荧光显微镜具有对分子和细胞目标进行颜色编码检测以及对活细胞和生物体进行成像的能力，显微镜用灯源包括汞灯、弧灯和金属卤化物光源虽然多年来无处不在，但受到性能不稳定和不断更换灯泡的困扰。今天，它们在很大程度上被各种固态光源所取代，基于此，Lumencor开发固态显微镜光源/显微镜白光光源 技术为研究人员和仪器制造商提供的简单 LED 照明质量提供了突破性的改进。SOLA白光光源 PEKA白光光源 LIDA白光光源Lumencor显微镜白光光源包括激光光源、LED白光光源和多通道LED光源，作为荧光激发光源，每个光源的波长、带通、光功率和工作模式都可以根据应用要求来选择。Lumencor固态光源配备的新颖发光光管是一项突出的技术，Lumencor显微镜白光光源可在500-600nm（绿色/黄色）波长范围内提供高功率宽带输出，解决了LED在这个范围内的性能限制（所谓的 "绿色鸿沟"）。Lumencor显微镜白光光源适用于生物荧光分析如荧光激发、光遗传学、荧光原位杂交、高内涵筛选、内窥镜照明、微流控等照明应用。一、Lumencor显微镜照明光源/荧光激发光源/白光光源分类型号主要特点/主要应用全光谱功率SOLA显微镜和其他生命科学应用的照明光源，替换传统汞灯或卤素灯；主要用于激发DAPI、GFP/FITC、YFP、Cy3、mCherry、Cy5、其他光谱相似的荧光团3 WSOLA FISH显微镜和其他生命科学应用的照明光源，替换传统汞灯或卤素灯；主要用于激发SpectrumGreen™ 、SpectrumRed™ 、其他常用于细胞遗传学实验室分析中荧光原位杂交（FISH）荧光团3.5 WSOLA V-nIRSOLA U-nIR显微镜和其他生命科学应用的照明光源，替换传统汞灯或卤素灯；主要用于激发Cy7、ICG、其他受益于近红外光对组织穿透增强的其他应用4 WPEKA替代钨卤素灯源，无需预热，开启即稳定，色温~6000K不随强度变化而变化85 mWLIDA集成红色、绿色和蓝色固态光源，精密电子元器件设计用于高速同步输出和相机曝光，搭配单色相机产生RGB彩色图像，高灵敏度、高空间分辨率、高速度与色彩保真度，以视频级速率生成彩色图像90 mW二、Lumencor显微镜照明光源/荧光激发光源/白光光源典型光谱范围关于昊量光电昊量光电 您的光电超市！上海昊量光电设备有限公司引 进国 外创 新性光电技术与产品！与来自美国、欧洲、日本等众多光电产品制造大商建立了紧 密的合作关系。代理品牌产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精 密光学元件等，领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国 防及前 沿的细分市场比如为量 子光学、生物显微、物联传感、精 密加工、激光制造等。我们可以为国内前 沿科研与工业领域提 供完 整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务，助力中国智 造与中国创 造!

EQ-77激光驱动白光光源Energetiq公司开发的宽带白光光源，采用激光泵浦的方式维持等离子体放电发光，避免了使用电极所带来的种种缺陷。 EQ-77激光驱动白光光源特点和优势： 辐射强度40mW/mm2.sr.nm（波长相关）-最快的测量速度 超低的噪声，优异的空间稳定性-精确的可重复的测量结果 宽波段范围（170-2100nm）的极高亮度光输出 双光束输出，或者单光束输出可选-使用更为灵活 紧凑的水冷灯室设计 超净的结构设计，提升稳定性，增长使用寿命 无电极工作，更低维护成本 电路控制的光输出，降低损耗 EQ-77激光驱动白光光源应用领域： 半导体检测 UV-VIS-NIR光谱 单色仪光源 光器件测试 PEEM 材料表征 高端成像 薄膜测试 技术参数： 光谱范围： 170nm -2100nm 大接收角 – 数值孔径 (NA): 高至0.5 典型灯泡寿命 9,000 小时. 灵活的输出接口：单光束或者双光束输出可选 灯源尺寸135.6 x 144.9 x 56 mm ，重量2.7 kg (6.0 lbs) 电源尺寸132.6 x 482.6 x 583.6 mm，重量18.8kg (41.5 lbs) 谱分布图：

EQ-99XFC激光驱动白光光源 Energetiq公司开发的宽带白光光源，采用激光泵浦的方式维持等离子体放电发光，避免了使用电极所带来的种种缺陷。 EQ-99XFC激光驱动白光光源特点和优势： FC光纤耦合输出接口，便于使用 高效高性能的光学收集装置 光纤保护专利技术，增强深紫外波段输出，延长光纤寿命 超高亮度，覆盖波段范围UV-Vis-NIR (170nm - 2100nm) 无需复合灯源（可替代氘灯/钨灯/氙弧光灯），简化光学系统 优异的空间稳定性，适于重复测量 优异的短时和长期功率稳定性，适于重复测量 超净的结构设计，提升稳定性，增长使用寿命 无电极工作，更低维护成本 EQ-99XFC激光驱动白光光源应用领域： 高性能光谱测试 高端影像测量 光纤测试 单色仪光源 显微照明 需要长灯源寿命的应用 EQ-99XFC激光驱动白光光源技术参数： 光谱范围： 190nm -2100nm 典型灯泡寿命 9,000 小时. FC光纤耦合输出：NA 0.22 灯源尺寸82.3 x 85.7 x 76.2 mm (3.2 x 3.4 x3.0 in) ，重量0.7 kg (1.5 lbs) 电源尺寸107 x 111 x 254 mm (4.2 x 4.4 x 10 in) (excl feet)，重量1.4kg (3 lbs) 谱分布图：

中图仪器白光干涉粗糙度仪基于白光干涉原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。产品功能(1)白光干涉粗糙度仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能 具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。中图仪器白光干涉粗糙度仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。典型结果表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

SuperViewW中图高精度纳米量级白光干涉测量仪以白光干涉技术原理，对各种精密器件表面进行纳米级测量。它通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。SuperViewW中图高精度纳米量级白光干涉测量仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数，针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量； 5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。应用领域SuperViewW中图高精度纳米量级白光干涉测量仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式手动和电动兼容型Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×600×900㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

中图仪器SuperViewW白光干涉非接触式轮廓仪测表面三维形貌粗糙度是利用光学干涉原理研制开发的超精细表面轮廓测量仪器。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。SuperViewW白光干涉非接触式轮廓仪测表面三维形貌粗糙度具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量；5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，SuperViewW白光干涉仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。SuperViewW白光干涉非接触式轮廓仪测表面三维形貌粗糙度可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。应用领域对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

【说明：每款产品因配置不同价格不同，需按照您的测量需求单独配置，具体请联系我们报价】SPA 25 三维形貌仪是德国dataphysics 公司新推出的一款三维表面测量仪器，基于白光干涉原理，最小垂直分辨率可达 0.1nm。【带操纵杆的电动样品台】自动样品台： 软件或操作杆控制自动样品台可精确测量定位，并能实现大面积测量的自动移动和拼接功能，最da测量面积为：300mm*300mm。【SPS 25 表面轮廓软件】软件： MountainsMap Imaging Topography software 强大的测量和分析软件可完成所有表面分析的要求。计算表面结构和表面粗糙度符合不同的工业标准，如：ISO25178，ISO4287，ISO13565，ISO16610 等。应用范围广：由于结合了高的测量分辨率，快的测量速度和强大的分析软件使 SPA25 三维形貌仪具有非常广的应用范围。如大面积样品的3D表面形貌测量，表面缺陷测量，表面结构测量，表面粗糙度测量等。【10x 和 50x 显微镜物镜】显微镜物镜 :SPA 25 使用 Mirau 干涉仪显微镜物镜。这些物镜具有不同的放大倍数，这些放大倍数会影响 XY 尺寸的分辨率。请注意，由于利用了白光干涉测量技术，Z 维度的分辨率与放大倍数无关。

中图仪器SuperViewW纳米级微观三维形貌3D白光干涉仪主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。它能以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW纳米级微观三维形貌3D白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量； 5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。应用领域对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，SuperViewW纳米级微观三维形貌3D白光干涉仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式手动和电动兼容型Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×600×900㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

SuperViewW中图chotest自动三维白光干涉光学轮廓仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量；5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。 8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。SuperViewW中图chotest自动三维白光干涉光学轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。应用领域针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，SuperViewW中图chotest自动三维白光干涉光学轮廓仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

中图仪器SuperViewW白光干涉微观形貌测量仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW白光干涉微观形貌测量仪广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量；5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。 8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。粗糙度测量案例应用领域SuperViewW白光干涉微观形貌测量仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

高亮度白光点光源LS-WL姓名：谷工(Givin)电话：（微信同号）邮箱：可调节激光泵浦输出，用于测量和观测的多种用途的极亮点光源√ 提供 440mw亮度的可调节白光点光源√ 芯径 50μm-1mm 的多模光纤耦合输出√ 支持200Khz的频闪触发模式√ 设计轻巧便携，光源寿命 10000H 昊量光电推出的高亮度白光点光源LS-WL，通过两个激光二极管将光束聚焦于陶瓷磷转换器，得到高亮度的白光输出。激光与转换器集成在一个芯片上，使得设计非常紧凑和稳定。通过内部构造，将光源耦合成直径为 50μm 至 1 mm 的多模光纤输出，使得用户可以接收到具有高亮度的灵活点光源。LS-WL还可以通过触发输入实现高达200 kHz的频闪模式。脉冲宽度和延迟都是可自定义的，非常适合与相机或传感器同步。 两个激光二极管泵送到陶瓷磷转换器，得到远超普通LED光源的亮度核芯直径变化显著影响输出光强，功率可达到500mW软件——简洁而不失功能性 白光泵浦光源LS-WL通过 USB/RS-232 接口运行，并通过简单的 ASCII 代码进行编程，不仅使得界面简洁明了，也让软件可以轻松集成到任何可选择的编程环境中。同时根据不同的使用场景，GUI界面可以实现同时控制数个LS-WL。 Low-Coherence Interferometer?mit fasergekoppelter Breitband-Lichtquelle© Fraunhofer AZOM, C. Taudt et al. Optics Express 28(12) 17320-17333, 2020性能——被证明可靠的强光源 德国的Christopher Taudt教授等人对低一致性干涉仪进行高动态范围特征分析的实验中，LS-WL作为白光点光源在实验中实现了始终保持光强恒定，为实验提供了稳定的高亮度点光源，证明了其光源的亮度以及在长时间使用中的可靠性高亮度白光点光源LS-WL独特优势★ 光强＞440mw同时核芯＜1mm的点光源，亮度达到传统LED的百倍★ 内置微控制仪，可实现达到200Khz的频闪模式★ 光纤耦合输出，利于集成到任何已有的装置中★ 开放的软件界面，轻松集成到任何可选择的编程环境中★ 设备仅重450g，光源使用寿命大于10000H高亮度白光点光源LS-WL应用领域★ 医疗技术与生物技术照明★ 机器视觉照明★ 光学结构的强光源★ 环境勘测与非球面表面折射光源★ 光谱仪/荧光分析中提供强光源★ 探险探测中强光照明高亮度白光点光源LS-WL参数表光学 输出SMA fiber adapter波长范围450 – 700 nm接口RS232 (COM port) via USB (type Mini-B)触发输入TTL, to 200 kHz, SMA connector输出Signal/current monitor or sync interface to additional light sources, SMA connector.Input/output options for functions tailored to customer requirements电源12 V DC, 2.5 A, power consumption approx. 20 W (@100% power)使用寿命 10,000 hours尺寸和重量125 x 110 x 60 mm3, 450 g光源输出Adjustable 1-100%, 440 mW from 600 μm fiber (NA 0.5)温度控制Dual high-performance fans, integrated temperature sensor (readable), automatic power down at a programmable temperature limit (standard configuration: 10 – 30°)

Zeta-388 白光共聚焦Zeta-388支持3D量测和成像功能，并提供整合隔离工作台和晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送系统，可实现全自动测量。该系统采用ZDot&trade 技术，可同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像。Zeta-388具备Multi-Mode（多模式）光学系统、简单易用的软件、低拥有成本，以及SECS / GEM通信，适用于研发及生产环境。产品描述Zeta-388光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。 Zeta-388继承了Zeta-300的功能，并增加了晶圆盒至晶圆盒机械臂，可实现全自动测量。该系统采用获得的ZDot&trade 技术和Multi-Mode (多模式)光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。Zeta-388的配置灵活并易于使用，并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot&trade 测量模式可同时收集高分辨率3D扫描和True Color无限远焦距图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。ZDot或集成宽带反射计都可以对薄膜厚度进行测量。Zeta-388也是一款显微镜，可用于样品检查或自动缺陷检测。Zeta-388通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能，以及晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送，适用于研发及生产环境。主要功能 采用ZDot和Multi-Mode（多模式）光学器件的简单易用的光学轮廓仪，具有广泛的应用 可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜 ZDot：同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像 ZXI：白光干涉测量技术，适用于z向分辨率高的广域测量 ZIC：干涉对比度，适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据 ZSI：剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像 ZFT：使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率 AOI：自动光学检测，并对样品上的缺陷进行量化 生产能力：通过测序和图案识别实现全自动测量 晶圆传送机械臂: 自动加载直径为50mm至200mm的不透明（如硅）和透明（如蓝宝石）样品主要应用 台阶高度：纳米到毫米级别的3D台阶高度 纹理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度 外形：3D翘曲和形状 应力：2D薄膜应力 薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度 缺陷检测：捕获大于1μm的缺陷 缺陷复检：采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

宽带白光光源产品概述激光驱动白光光源是一款高亮度，高稳定、长寿命宽光谱白光光源，采用激光驱动光源技术，使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，从而产生波长范围从170nm到2100nm以上的白光。此外由于等离子体中心位置高度稳定，因此空间稳定性就会很好，在较长距离都有很好的准直性。 Gloria-LDLS-A 激光诱导高亮度白光光源宽带白光光源，采用激光泵浦的方式维持等离子体放电发光，避免了使用电极所带来的种种缺陷。特点和优势■ 超高亮度■ 超宽光谱■ 超长寿命■ 超稳定的紧凑型激光诱导白光光源技术参数■ 光谱输出范围：170-2100nm■ 光谱辐射亮度：40mW/(mm2*sr*nm)@400nm■ 输出方式：自由空间输出■ 数值孔径：0.47■ 功率稳定性：RMS0.3%@30S■ 灯泡寿命（典型值）：10000小时■ 发光点尺寸：97*194um■ 光源尺寸：82*86*76■ 电源尺寸：113*111*209■ 冷却：自然冷却，无需外部辅助■ 充氮：工作在DUV时需要通入氮气光谱分布图

470-700nm激光泵浦白光光源激光泵浦点光源LS-WL，通过两个激光二极管将光束聚焦于陶瓷磷转换器，得到高亮度白光输出。激光与转换器集成在一个芯片上，使其设计非常紧凑和稳定。通过内部构造，将光源耦合到直径为 50μm~1 mm 的多模光纤 输出，使用户可以接收到灵活的高亮度点光源。LS-WL还可以通过触发输入实现高达200 kHz的频闪模式，脉冲宽度和延迟可自定义，非常适合与相机或传感器同步。470-700nm激光泵浦白光光源主要特点：440mw亮度多模光纤耦合输出支持200KHz频闪触发模式设计轻巧便携光源寿命 10000H470-700nm激光泵浦白光光源独特优势光强＞440mw同时核芯＜1mm的点光源，亮度达到传统LED的百倍内置微控制仪，可实现达到200Khz的频闪模式光纤耦合输出，利于集成到任何已有的装置中开放的软件界面，轻松集成到任何可选择的编程环境中设备仅重450g，光源使用寿命大于10000H470-700nm激光泵浦白光光源应用领域医疗技术与生物技术照明机器视觉照明光学结构的强光 源环境勘测与非球面表面折射光源光谱仪 /荧光分析中提供强光源探险探测中强光照明两个激光二极管泵送到陶瓷磷转换器，得到远超普通LED光源的亮度光纤直径变化显著影响输出光强，功率可达到500mW软件——简洁而不失功能性 白光泵浦光源LS-WL通过 USB/RS-232 接口运行，并通过简单的 ASCII 代码进行编程，不仅使得界面简洁明了，也让软件可以轻松集成到任何可选择的编程环境中。同时根据不同的使用场景，GUI界面可以实现同时控制数个LS-WL。性能——被证明可靠的强光源 德国的Christopher Taudt教授等人对低一致性干涉仪 进行高动态范围特征分析的实验中，LS-WL作为白光点光源在实验中实现了始终保持光强恒定，为实验提供了稳定的高亮度点光源，证明了其光源的亮度以及在长时间使用中的可靠性470-700nm激光泵浦白光光源参数表：光学 输出SMA fiber adapter波长范围450 – 700 nm接口RS232 (COM port) via USB (type Mini-B)触发输入TTL, to 200 kHz, SMA connector输出Signal/current monitor or sync interface to additional light sources, SMA connector.Input/output options for functions tailored to customer requirements电源12 V DC, 2.5 A, power consumption approx. 20 W (@100% power)使用寿命 10,000 hours尺寸和重量125 x 110 x 60 mm³ , 450 g光源输出Adjustable 1-100%, 440 mW from 600 µ m fiber (NA 0.5)温度控制Dual high-performance fans, integrated temperature sensor (readable), automatic power down at a programmable temperature limit (standard configuration: 10 – 30°)关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学 、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。

美国Energetiq 公司开发出了跨时代的LDLS-EQ 系列超高亮度白光光源（激光泵浦宽带光源Laser-Driven Light Sources，专利号US7435982）。 LDLS 具有很宽的光谱范围170nm 到2100nm 。寿命可达9000 小时！高稳定性，高亮度，体积小巧！ Energetiq 公司开发的宽带白光光源，采用激光泵浦的方式维持等离子体放电发光，避免了使用电极所带来的种种缺陷。首先通过高压放电点燃灯泡内的氙气，使氙气温度升高电离变成等离子体，连续激光光束经过透镜聚焦进入灯泡，利用激光的能量来维持灯泡内的等离子体，此时高压即可关闭，采用聚焦良好的激光来维持等离子体，可以使紫外光激发稳定而且易于聚焦。 应用◆UV-Vis光谱◆显微镜照明◆环境分析◆材料特性表征◆气相测试◆HPLC高性能液体色谱◆长寿命光源需求LDLS EQ-99型 &mdash &mdash 紧凑型激光驱动宽带光源（LDLS）EQ-99是一种超高亮度，高稳定性的宽带光源，是专为要求苛刻的成像和光谱应用而设计的。 EQ-99提供了优异的空间和功率稳定性，应用于宽光谱可重复的测量。EQ-99是利用专利的激光泵浦宽带光源技术，是超长灯泡寿命要求应用的理想选择。 EQ-99具有自由空间宽带反射耦合连接器，便于用户将100um光斑耦合到其他设备。由于其亮度高，发光面积小的特点，EQ- 99特别适合于窄的光谱仪狭缝，小直径光纤或其他小尺寸光学应用。功能与优点◆连续激光等离子体放电◆全光谱高亮度-UV-Vis-NIR（170nm-2100nm）◆简化光学系统 - 氘灯，卤钨灯，氙灯的完美替代设备◆优异的空间稳定性 - 用于重复测试◆优异的短期和长期稳定性◆无电极操作，寿命更长◆减少消耗品成本◆简化仪器校准 LDLS EQ-99FC EQ-99FC激光驱动宽带光源与EQ-99类似，但是它整合了光学系统，更易于使用光学测试的系统。高性能的椭圆式收集光路确保了超高亮度和功率稳定性，光谱覆盖范围宽，从170nm到2100nm，有效的耦合到小直径光纤中。无电级操作，利用专利的激光泵浦宽带光源技术，EQ-99FC是超长灯泡寿命要求应用的理想选择。功能与优点：●SMA光纤输出，使用更方便●高效，高性能的椭圆收集光路 -UV-Vis-NIR（170nm - 2100nm）●简化光学系统 - 氘灯，卤钨灯，氙灯的完美替代设备●优异的短期和长期稳定性，可重复测量●连续激光等离子体放电●无电极操作，寿命更长●减少消耗品成本●简化仪器校准 LDLS EQ-1500 EQ-1500是一个超高亮度、稳定、宽带的光源，主要用于光谱和成像应用。EQ-1500提供优异的空间和功率稳定性，更适用于重复性测试；并提供等离子的直接成像以便更好的耦合其他设备。利用专利的激光泵浦宽带光源技术，EQ-1500更适合需求超长时间寿命光源照明的应用。EQ-1500具有自由空间宽带反射耦合连接器，便于用户将200um等离子体光斑耦合到其他设备。由于其亮度高，发光面积小的特点，EQ- 1500特别适合于窄的光谱仪狭缝，小直径光纤或其他小尺寸光学应用。 功能与优点●连续激光等离子体放电●超高亮度覆盖整个光谱范围 UV-Vis-NIR（170nm-2100nm）●简化光学系统 - 氘灯，卤钨灯，氙灯的完美替代设备●优异的空间稳定性 - 用于重复测试●优异的短期和长期稳定性- 用于重复测量●无电极操作，寿命更长●减少消耗品成本●简化仪器校准

中图仪器SuperViewW系列白光干涉仪三维形貌仪是以白光干涉技术为原理的一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。SuperViewW系列白光干涉仪三维形貌仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。产品功能(1)SuperViewW系列白光干涉仪三维形貌仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能； (6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。SuperViewW轮廓测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：产品特点1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。 3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。