节流阀

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节流阀相关的厂商

  • 经营范围: 液压元件;液压成套系统;机械设备制造、销售及技术服务;机械设备的租赁及维修;商品及技术的进出口 山东泰丰液压股份有限公司成立于2000年,占地20万平方米。系中国液气密行业重点骨干企业,高新技术企业、国家火炬计划重点高新技术企业、中国机械工业管理示范企业、中国液气密行业技术创新先进单位、泰丰产品荣获国家“2014年度中国机械工业优质品牌”。 公司专业从事高端液压控制技术与元件的研发和生产,拥有已授权各项**技术72项(其中发明**9项),技术水平国内、国际先进。现公司多项产品填补了国内空白,并可替代进口,其中二通插装阀、机械反馈插装式比例节流阀系统、大流量双主动电液比例插装式节流阀等产品被列入了国家重点新产品计划,并多次承担国家、省、市级科技项目,公司研发的超高压大流量比例伺服二通插装阀中标“中国制造2025” 2015年工业转型升级强基工程项目。
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  • 上海剑阀阀门有限公司产品有:球阀,闸阀,蝶阀,截止阀,止回阀,调节阀,电磁阀,安全阀,针型阀,疏水阀,旋塞阀,隔膜阀,鸭嘴阀,放料阀,排气阀,呼吸阀,过滤器,阻火器,节流阀,角座阀,平衡阀,排污阀,排泥阀,切断阀,减压阀,管夹阀,柱塞阀,底阀,视镜,法兰,水力控制阀等。标准:中国GB、机械部JB、化工标准HG、美标API、ANSI、英标BS、德标DIN、日本JIS、JPI等。阀体材质:铜、铸铁、铸钢、碳钢、WCB、WC6、WC9、20#、25#、锻钢、A105、F11、F22、不锈钢、304、304L、316、316L、铬钼钢、低温钢、钛合金钢等。工作压力1.0Mpa-50.0Mpa。工作温度:-196℃-80℃-120℃-180℃-200℃-350℃-425℃-550℃-650℃。连接方式:内螺纹、外螺纹、法兰、焊接、对焊、承插焊、卡套、卡箍。驱动方式:手动、气动、液动、电动。上海剑阀阀门有限公司代理的进口阀门品牌有: 德国诺克阀门(NOOKER),日本北泽阀门(KITZ),日本阀天阀门(VENN),日本日立阀门(HITACHI) 等。广泛应用于化工、石化、石油、造纸、采矿、电力、液化气、食品、制药、给排水、市政、机械设备配套、电子工业,城建等领域。产品畅销全国各地,优质的质量,高效的服务,深得用户的信赖和广泛的赞誉。公司始终以质量为本,一切为满足用户的经营理念,不断引进国外先进的新技术,新工艺、新材料,竭诚为用户提供优质的阀门产品和更加完善的售后服务。您的需要,我们的目标!只要您一个电话,剩下的事交给我们来做。上海剑阀阀门有限公司一贯宗旨:质量是企业的生命线!
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  • 上海凯利科阀门有限公司产品有:球阀,闸阀,蝶阀,截止阀,止回阀,调节阀,电磁阀,安全阀,针型阀,疏水阀,旋塞阀,隔膜阀,鸭嘴阀,放料阀,排气阀,呼吸阀,过滤器,阻火器,节流阀,角座阀,平衡阀,排污阀,排泥阀,切断阀,减压阀,管夹阀,柱塞阀,底阀,视镜,法兰,水力控制阀等。制造标准:中国GB、机械部JB、化工标准HG、美标API、ANSI、英标BS、德标DIN、日本JIS、JPI等。阀体材质:铜、铸铁、铸钢、碳钢、WCB、WC6、WC9、20#、25#、锻钢、A105、F11、F22、不锈钢、304、304L、316、316L、铬钼钢、低温钢、钛合金钢等。工作压力1.0Mpa-50.0Mpa。工作温度:-196℃-80℃-120℃-180℃-200℃-350℃-425℃-550℃-650℃。连接方式:内螺纹、外螺纹、法兰、焊接、对焊、承插焊、卡套、卡箍。驱动方式:手动、气动、液动、电动。进口阀门,不锈钢阀门,高压阀门,气动阀门,电动阀门,高温阀门,陶瓷阀门进口球阀进口闸阀进口蝶阀进口截止阀进口电磁阀进口减压阀进口安全阀进口止回阀进口调节阀进口疏水阀进口针型阀进口放料阀进口排泥阀进口排气阀进口排污阀进口旋塞阀进口柱塞阀进口隔膜阀进口角座阀进口切断阀进口管夹阀进口平衡阀进口呼吸阀进口过滤器进口阻火器进口底阀进口视镜进口水力控制阀进口倒流防止器进口水流指示器进口水锤吸纳器进口水锤消除器
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节流阀相关的仪器

  • CelliconTM细胞截留解决方案是超强的灌流解决方案,优化的过程控制,适用于N-1种子培养强化工艺。台式CelliconTM灌流系统设计用于解决您在种子培养灌流方面的难题。该系统包含一个控制器和一个平板式细胞截留过滤器,配备一次性组件,按切向流过滤模式运行。该系统易于操作,可提升灌流过程的效率,并提供实时监控,确保灌流过程可靠并保持一致。通过灌流操作,可提高细胞培养物的密度,从而减轻处理大批量反应器体积产品的负担,同时增加了生产的灵活性。在种子培养过程中采用灌流法,可为一个或多个生物生物反应器注入较大数量的细胞,从而提高工艺效率。优点:- 高通量、低污染- 从实验室规模到生产规模的可预测的线性放大- 可靠、可再现的性能- 低切向流流速,低细胞剪切力- 全面监控、精确控制- 几分钟内即可处理就绪应用:- 单克隆抗体- 重组蛋白了解更多,更多信息,e.g., 技术参数,性能表现等,可参见可页面核心参数 – 样本下载中的资料手册。
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  • 铜质低温截止阀 400-860-5168转1663
    160100系列是#CuSn铜质手动截止阀,标准的样式是加长的阀盖和两端带螺纹的底部。通过一体化的阀座和可重复使用的软密封片来实现完全关断,并通过气泡紧闭实验。标准型号适用于所有的空分气体,为小管径(DN=DN50))管道在各种压力等级下(PN=PN40)流过多种流体的工况提供经济的解决方案。本产品适用于各种工程项目:空气分离装置、化工装置、危险品运输等。特性l 使用不锈钢低温外延(阀盖和阀杆)降低了超低温流动介质与填料之间的热传导。由此确保了使用过程中填料良好的密封性。l 坚固的设计、精心的选择上乘的材质以及高性能的部件都确保了产品良好的适应性。可选项l 根据需求加长;l 金属阀塞或者节流阀塞;l 两端承插焊式或法兰式;l 对焊的管阀件;l 防火结构;l 增强的填料格兰;l 带锁定的手轮;l 带执行器的阀门(故障开位/故障关位)工况要求:from DN8 to DN50 - from PN10 to PN40 - from -200°C to +120°C
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  • 国产大流量氮气发生器AYAN-20L  氮气发生器包括氮氧分离系统、氮气缓冲系统、空气储罐系统、电气控制系统等。在这些系统中,氮氧分离系统是制氮设备的主要部件,由两个交替工作的吸附塔(塔内装碳分子筛)和气动阀、节流阀等组成。根据碳分子筛对空气中主要成分氧气和氮气的吸附速率不同,在液质用氮气发生器加压吸附和降压脱附过程中实现氮氧分离,而加压吸附与降压脱附过程由可编程控制器按程序控制电磁阀,并由电磁阀控制相应的气动阀自动运行。  其主体是两个装满碳分子筛的吸附塔,当洁净压缩空气进入一吸附塔时,O2、CO2和微量H2O被碳分子筛吸附,氮气从出口端输出。当一塔在吸附制氮时,另一塔通过减压使吸附在分子筛中的O2、CO2和H2O从微孔中排出,实现分子筛的生脱附。两塔交替进行吸附和生,连续输出氮气,该系统由吸附塔、塔内装填的碳分子筛、气动阀、消声器、节流阀、压紧气缸、压力表等组成。氮气发生器的制氮纯度会受到以下因素的影响:(1)气体原料的质量  气体是要经压缩后进入空气缓冲罐,那么压缩空气中如含有水汽、油雾,这些都会堵塞分子筛(CMS)的微孔,从而严重影响分离效果及CMS的使用寿命,因此,要想获得高纯度的氮气,空气很关键,并且要经多次净化过滤,滤芯需要定期检查或者更换。(2)吸附塔的工作时间  长时间的工作周期也即是阀门的切换时间间隔,有利于节约空气原料,不过纯度也会因周期过长,分子筛会饱和而受到影响。(3)分子筛的性能  分子筛是氮气发生器的核心部件,它的性能好坏对于制得的氮气纯度有很大的关联,同时我们还需要根据实际需要的氮气流量和纯度来计算出分子筛的合适装填量。氮气的主要用途:1、化合物制造:化肥、氨、硝酸等化合物的制造;2、惰性保护:惰性保护介质,速冻食品;3、制冷剂:低温粉碎等的制冷剂、冷却剂;4、电子工业:电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等;5、标准物:用作标准气、校正气、平衡气等。
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节流阀相关的资讯

  • 安东帕密度/黏度检测一体机的新功能——浊点检测
    浊点是润滑油和民用燃料油的低温特性参数之一,通常情况随着温度降低到一定温度,清澈明亮的液体开始分离石蜡晶体,出现浑浊现象。知道浊点温度对于确定润滑油和民用燃料油的使用工况至关重要。润滑油的浊点越低,则其所含的水分或石油蜡越少。浊点如果高于制冷要求的最低蒸发温度,则析出的石蜡会堵塞节流阀,减弱蒸发器的传热效果,甚至会堵塞管式蒸发器的通道。使用流动改善添加剂可以改变低温流动性能,另一种防止凝结或堵塞的方法是加热燃油系统的过滤器和其他部件。目前市场上一般手动、自动方法测试石油产品的浊点仪器是根据标准GB/T6986-2014(ASTM D2500)生产的。而SVM 3001 Cold Properties一体机测试浊点结果的精密度完全符合GB/T6986-2014(ASTM D2500)重复性、再现性的要求。另外,该仪器还可以测定航煤的冰点。安东帕SVM 3001 Cold Properties为柴油、生物柴油和喷气燃料提供快速、可靠的低温性能测量解决方案。优势概览:温度范围从 -60 °C 至 +100 °C一次测试即可获得运动黏度、密度、浊点和冰点参数黏度临界温度(12 cSt 时的温度)ASTM D1655、D2880、D7566、D975、D7467、JIG AFQRJOS,与 ASTM D2386 和 ASTM D2500 的结果相关安东帕SVM 3001 Cold Properties一次进样就能够测量出从喷气燃料、柴油、到润滑油等各种样品的黏度、密度、浊点和冰点。无论是在-20℃下测量,还是在+100℃下测量,耗电量都远低于一般的毛细管水浴。自动进样器实现了进样、测量和清洗的自动化。安东帕SVM 3001 Cold Properties卓越的性能简化操作、提高效能,是石化行业质控和研发的首选。
  • 全新一代干法进样系统DPF-110隆重上市
    DPF-110自动干法进样系统 2016年1月18日,全新一代高度自动化干法进样系统DPF-110隆重上市了,该进样系统可搭配不同型号粒度仪主机,具备软件自动识别,SOP自动化测试功能,包括自动正负压力开关、自动进料、自动测样、自动清洗等。 进样系统作为激光粒度分析仪重要组成部分,对样品的测试结果影响不亚于激光粒度仪的主机。自珠海欧美克成为英国思百吉集团成员之后,就在进样系统的研发方面加大了投入。陆续推出了具有耐腐蚀性能的微量循环进样系统——SCF-126、对高密度或超大粒径颗粒具有良好分散能力的进样系统——SCF-108、高性能的干法进样系统——DPF109、全自动湿法进样系统——SCF-105B等。欧美克先进的各型进样系统很好的满足了不同行业、不同样品的粒度测试需求,赢得了广大用户的好评。 今天针对水泥、制药、涂料等行业对粒度仪干法测样需求,隆重推出了全新一代高度自动化干法进样系统——DPF-110,该型进样器的隆重推出将使激光粒度仪干法测试分析结果更可靠、操作更轻松。DPF-110进样系统主要特点:1)外观设计简洁、流畅,造型美观。2)进样器与主机通信识别,具备软件SOP自动化测试功能,包括自动正负压力开关、自动进料、自动测样、自动清洗。3)分散压力0.5~6Bar高精度无级可调,内置分散压力传感器。4)测样分散状态自动识别,具备遮光比自动限制功能和异常警示功能。5)包括角度、振动频率、带刻度的节流阀等多重可调机构的样品池设计,样品池振动频率由软件控制且连续可调。6)带降噪功能的全封闭进样器设计,隔绝粉体对仪器的污染,维护需求少。7) 料斗最大容积:30mL;进样振动加速度:0~12G无级可调。8) 进样器分散管采用刚玉瓷材料,分散效果好、工作寿命长。9) 专用干法窗口,具有气流保护和石英玻璃介面窗口的双重优点,极大减少了窗口维护及擦拭清洁工作,并提高了窗口玻璃的使用寿命。10) 模块化设计,方便检修和维护。
  • 勤卓科技发布深圳品牌小型高低温试验箱厂家湿热试验箱厂家新品
    一、名称及型号 1.1名称: 高低温试验箱 湿热试验箱 1.2型号: 150T-CK二、机器尺寸2.1.工作室尺寸(mm):500*600*400(宽×高×深)2.1.外形尺寸(mm): 750*1615*1224(宽×高×深)工作室底面距地面的尺寸是700mm(含脚轮高度)三、高低温试验箱 湿热试验箱 设定范围温度范围: -40℃~150℃(可任意设定)(可设置为-20~100℃、-30~120℃等不同温度范围)四、高低温试验箱 湿热试验箱 升降温速度4.1.常温到100℃约25分钟4.2.常温到-40℃约60分钟五、高低温试验箱 湿热试验箱 技术指标5.1.温度指标5.2.解析度:±0.1℃ 5.3.送风循环系统5.4.采多翼离心式风轮及密封型马达,不易失油及束心.5.5.测试体: DNA规格A级SUS304#不锈钢制Pt100 1支.5.6.制冷5.7.工作原理5.8.制冷压缩机为了保证试验箱对降温速率和zui低温度的要求,本试验箱的制冷系统采用法国产泰康(TECUMSEH)全封闭压缩机所组成的制冷系统,该制冷系统具有匹配合理、可靠性高、使用维护方便等优点。制冷系统的设计应用能量调节技术,这种行之有效的处理方式既能保证在制冷机组正常运行的情况下又能对制冷系统的能耗及制冷量进行有效的调节,使制冷系统的运行费用下降到较为经济的状态。六.制冷及配置6.1.制冷系统勤卓品牌试验箱制冷循环均采用逆卡若循环,该循环由两个等温过程和两个绝热过程组成,其过程如下:制冷剂经压缩机绝热压缩到较高的压力,消耗了功使排气温度升高,之后制冷剂经冷凝器等温地和四周介质进行热交换将热量传给四周介质。然后制冷剂经节流阀绝热膨胀做功,这时制冷剂温度降低。zui后制冷剂通过蒸发器等温地从温度较高的物体吸热,使被冷却物体温度降低。此循环周而复始从而达到降温目的。6.2.配置说明1.压缩机: 全密闭式法国泰康机制冷机1组.2.制冷剂:采用对臭氧层破坏系数为零的新型緑色环保制一级冷剂 R404A(U.S.A Genetron)3.冷凝器:风冷式冷凝器 4.蒸发器:鳍片式自动负载容量调整 5.膨胀系统:毛细管容量控制之冷冻系统6.制冷辅助件:电磁阀(日本鹭宫);干燥剂(丹麦Danfoss);截止阀(丹麦Danfoss);高压保护开关(丹麦 Danfoss)等均采用进口零件. 七、高低温试验箱 湿热试验箱 控制系统控制系统:按键式数显温控器PID演算控制。主要电器组件接触器: 日本三凌 热继电器: 日本三凌 继电器: 施耐德电气 总开关: 日本三凌固态继电器: 台湾产 7.3.控制面板电源开关 1只 照明灯开关 3只 控制器 1只 总开关 1只 7.4.安全保护装置压缩机高压保护开关 1组压缩机过热保护开关 1组压缩机过电流保护开关 1组无熔丝超载保护开关 1组拨盘超温温度控制器 1组7.5.本系统符合恒温之可靠度试验规格试验方法 GB/T 2423.1-2001 试验A:低温试验方法 GB/T 2423.2-2001 试验B:高温试验方法八、高低温试验箱 湿热试验箱 配件电源线低阻橡胶电缆线5.5m长1条可调置物架2套九、提供档案 质量保证书 交货时提供一份.使用说明书 交货时提供一份.产品出厂合格证十、高低温试验箱 湿热试验箱 使用环境性能保证环境温度范围:-5℃~+30℃(但zui低可达温度,zui高热负载能力及降温时间除外)十一、可程式高低温试验箱本机使用电源电源:AC3¢5W 380V 50/60Hz ※电压变动充许值:定格电压的±10%zui大负荷容量: 3.5 KVAzui大工作电流: 18 A如需本公司产品说明书和产品目录,我们将免费寄上或登门拜访。欢迎您对本公司的产品及服务提出宝贵的意见和建议!更详细资料请访问我们的网站或来电咨询。公司名称:东莞市勤卓环境测试设备有限公司售后服务:厂家无偿提供安装调试及技术培训等服务。对设备整机免费保修壹年,终身维护。保修期内技术人员免费进行季度保养,以提升设备之使用寿命及对用户进行服务跟进。 创新点:优质钢板,造型美观,新颖 深圳品牌小型高低温试验箱厂家湿热试验箱厂家

节流阀相关的方案

节流阀相关的资料

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  • 石油、天然气钻采行业用节流阀

    节流阀是石油、天然气行业井控装置用于节流管汇中的核心部件,其功能是在实施油气井压力控制技术时,借助它的开启和关闭维持一定的套压,将井底压力变化稳定在一定窄小的范围内。节流阀的节流元件,大多数采用针形阀结构;也有的是筒形橡胶,由气液驱动橡胶筒外壁来改变其内孔大小;还有的是利用两块重叠金属板,靠其相对转动来改变孔口大小。尽管节流阀结构各异,但原理都是通过改变流体通道大小,使钻井液流过节流元件的阻力大小不同,造成的井口回压也不同,通孔越小阻力越大,回压也越大;通孔越大阻力越小,回压也越小,从而达到节流的目的。节流管汇中的节流阀主要分为两大类,固定式节流器和可调式节流阀。可调式节流阀按照阀瓣的结构可分为针形节流阀、筒形节流阀、笼套式节流阀和孔板式节流阀等。其操作方式有手动、气动、电动和液动。节流阀是石油、天然气行业井控装置用于节流管汇中的核心部件,其功能是在实施油气井压力控制技术时,借助它的开启和关闭维持一定的套压,将井底压力变化稳定在一定窄小的范围内。节流阀的节流元件,大多数采用针形阀结构;也有的是筒形橡胶,由气液驱动橡胶筒外壁来改变其内孔大小;还有的是利用两块重叠金属板,靠其相对转动来改变孔口大小。尽管节流阀固定式节流器的流量是固定不变的,可根据需要更换不同尺寸的节流嘴而得到不同的排量,固定式节流器与可调节流阀配合使用,通常先使用可调节流阀,当井涌量大时才用固定式节流器配合。固定式节流器不是一个阀,而是一个整体装置,里 面有一短接或一节管子。它的尺寸在APISpec6A中有描述。这种提供节流嘴的短节是可以更换的,通过改变其尺寸大小可得到所希望的流量。流量的变化是靠更换具有另一孔径的节流嘴来实现的。固定式节流器适用于压力固定的情况,例如采油树。固定式节流器用于油井(采油树)上,有加热式和非加热式两种。加热式节流器由节流阀体、加热套和油嘴构成,如图11-4所示。(1) 针形节流阀针形节流阀用于节流管汇、髙压油气井口装置等。 针形节流阀有手动和液动两类。此处仅简介手动针形节流阀。针形节流阀主要由法兰、阀体、〇形密封圈、盘根盒、压盖、阀杆、手轮、阀座、轴承、压帽、阀针、螺母、键等组成。一对隐入式节流头和阀座,减少禽速流体造成的损害,一个顶盖大螺母,方便维护保养,测试口便于安装压力检测仪表,如图11-5所示。针形节流阀广泛用于井口系统、管汇、测试等目的。(2) 筒形节流阀筒形节流阀其阀芯为筒形,为整体硬质合金;阀座内圈镶硬质合金;阀盖与介质接触端堆焊有硬质合金, 使之具有良好的耐磨性和耐蚀性。在阀的出口通道上嵌有尼龙的耐磨衬套,以保护阀体不受磨损。筒形节流阀靠液压的推动(图11-6)或手轮的转动 (图11-7)来调节阀瓣的开关,具有流体流动性能好、 振动小的特点。筒形阀瓣由前后止动帽、带槽圆螺母等固定在阀杆上,随阀杆的上下移动调节流量,阀瓣和阀座内套均采用YG8制成,具有耐腐蚀、耐冲刷的性能。 阀体与阀盖、阀体与液缸间用0形密封圈、唇形圈密封。用螺栓连接,且连接部位凸出,远离内腔,消除了腐蚀介质对螺栓和螺孔的侵蚀,并减小了螺栓载荷。手动节流阀由手轮直接与阀杆连接驱动阀芯工作,为减轻操作力矩,也可以在手轮和阀杆之间增加一个带有伞齿轮结构的省力机构(图11-8)。液动筒形节流阀的阀盖尾部是液缸及活塞,靠液压油推动活塞带动阀杆,再带动阀芯前后推进,使阀芯与阀座之间的流道面积改变达到节流目的。为使操作控制台的人员能知道节流阀的开度,故在阀盖的液缸外端装有阀位变送器。液动筒形节流阀具有如下特点:①它具有较好的耐蚀性,耐冲刷性能;②筒形阀芯和阀座内圈为硬质合金,且能颠倒使用,增长了使用寿命;③较大的阀体腔和筒形阀体结构,较之通常的针形节流阀,它具有较大的流量,采用侧进正出的流向,其筒形阀板周围的导筒减少了节流时的振动,减少了噪声;④阀位变送器能借助气压信号,将节流阀阀芯的实际开关位置输送到控制台上显示出来;⑤操作者通过控制台能远程控制节流阀的开关。 操作手动筒形节流阀时,顺时针旋转手轮,开启度变小并趋于关闭;逆时针旋转手轮,开启度变大,节流阀的开启可以从护罩上的刻度显示出来。在旋转手轮快到行程终点时,不可太快,以免损伤阀杆和限位帽。节流阀只能控制压力和流量用,绝不能作截止用,即阀芯与阀座之间不能起密封作用。(3)笼套式节流阀笼套式节流阀利用带孔的笼套结构来改变流体方向,并利用流体力学原理使流体沿笼套的中心线运动,避免对节流元件的冲损和腐蚀,减少运行噪声。 笼套式节流阀可以提供一个可变的流量,且节流通径有较大的调节范围,但是如果要求流量不变时,该节流阀也能够在某一位置,提供固定的流量,这样可以满足用户的不同的流量需求。笼套式节流阀阀芯组合的内部和节流阀阀杆头部都采用碳化钨材料,耐蚀、耐冲损,具有很长的使用寿命。阀体上设有泄压阀,以方便操作者在打开阀盖前安全地释放腔内的压力。阀盖的密封采用了特殊的结构形式和密封材质,耐高压、密封可靠、寿命长。 笼套式节流阀的节流元件采用碳化钨材料,上下多点固定,节流范围广,噪声低,耐高冲损,环形空间有助于减少阀本体腐蚀。笼套式节流阀多孔多向消除能量,可消除紊流冲损现象,大大延长了安全使用寿命,降低了停产维修率。笼套式节流阀维护方便,而针式节流阀由于结构本身的特点使其具有结构简单、价格低廉的特点,同时节流阀针头易损坏,寿命短,针头破损的碎块冲入管道中存在着潜在的危险。这些情况增加了油气井开采后期的作业成本,而且还造成由于更换节流阀而停井的间接油气产量的损失。笼套式节流阀分为活塞笼套式和套筒笼套式。①活塞笼套式如图11-9所示,利用活塞在笼套位置不同实现节流目的,主要用于高流速、中压降的工况。主要应用于海洋及陆地的井口、管汇、分离器、气举、注气。泥浆循环和地面高压注采气等管汇设备。孔板式节流阀(图11-11)分为手动孔板式节流阀和液动孔板式节流阀。孔板式节流阀具有以下特点:①阀杆与阀体之间采用螺栓相连,具有连接安全可靠等优点。②手动孔板式节流阀采用省力结构,靠手轮的传动来改变节流口径,孔板式节流阀采用四缸连动的液动驱动器来驱动,具有开关灵活,操作方便等优点。③流动孔板式节流阀在驱动器上安装有角位变送器,可在液控箱中能瞬间观察到节流孔的面积。④阀杆密封采用0形圈及其四氟圈的双重密封, 在保证密封性能的情况下,降低了阀门开关力矩。⑤阀板是以轴线为旋转轴的关闭件,既起调节流体节流面积的作用,又起关闭流体的作用。⑥手轮以逆时针方向旋转为幵,顺时针方向旋转为关。⑦孔板式节流阀同其他各种节流阀相比,具有zui长的使用寿命,zui具抗冲损及磨损的能力。⑧孔板式节流阀适用于钻井、压裂、泥浆循环和地面高压注气采气等设备。该阀zui显著的特点是在于当被关闭时,进、出口之间的压力差,能使两块孔板紧紧地压在一起,实现密封切断的功能。尤其是在遇到压力突然升高或因泄漏造成的压力突然降低等紧 急突发事件的情况下,可通过预先设置的高、低压传感器压力信号值,使其自动关闭和切断,因此可避免重大危险事故的发生。节流阀用于调节介质流量和压力。截止型节流阀够在较大范围内调节,也能进行调节,但口径较小,适用于中、小口径,蝶式节流阀适用于大口径。节流阀不宜作为截断阀用,节流阀若是长期用于节流,其密封面必然会被冲蚀,而不能保证密封性。

  • 化学气相沉积CVD工艺中MKS下游排气高速节流阀的国产化替代方案及产品

    化学气相沉积CVD工艺中MKS下游排气高速节流阀的国产化替代方案及产品

    [color=#ff0000]摘要:对标MKS、VAT和CDK等公司的下游排气高速节流阀系列产品,本文介绍了相应的国产化替代方案和产品。基于CVD工艺,技术方案将下游流量调节阀变为了下游压力调节阀,并采用分体结构,将调压阀与PID控制器分离,调压阀具备大口径和高速功能,电子气控驱动调压阀快速动作,PID控制器接收真空计信号和控制气控驱动阀,可实现阀门全开时间小于0.1秒。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] [size=18px][color=#ff0000]一、背景介绍[/color][/size]在各种化学气相沉积CVD工艺中,腔室上游为各种工作气体的进气端,腔室下游布置节流阀和真空泵,使得工作腔室内的工作气压在高温条件下按照设定程序进行控制。为达到较高的工艺质量,在CVD工艺中真空度的控制需达到以下几方面的要求:(1)下游控制方式:因为在CVD工艺过程中的真空度并不高,基本在10~500Torr范围内,在此范围内的低真空控制,采用下游控制方式可以达到较高精度,且控制速度很快。而上游控制方式则很难达到满意的控制效果,上游控制方式一般适用于较高真空度的低压控制。(2)高速调节能力:CVD工艺过程中,除了开始阶段的真空度缓慢调节控制之外,在温度突变过程中要求具备快速调节和恒定真空度的能力,这就要求下游调节阀门的响应速度极快,阀门从全闭到全开的时间至少不能大于1秒。(3)大口径:作为下游控制模式,节流阀安装在工作腔室和真空泵之间,要求具有较大口径以满足真空的快速抽取和控制。(4)易维护:CVD工艺中会有大量微尘抽出排放,尽管使用了过滤装置,但还是会对节流阀产生污染,由此要求节流阀便于拆装清理而不影响使用。目前市场上能满足CVD工艺上述要求且应用较多的节流阀是MKS、VAT和CDK等国外公司的系列下游排气高速节流阀,系列节流阀的全开速度在0.2~1.7秒范围内,口径1.270~2.362英寸,并集成了蝶阀、步进电机和PID控制器。目前MKS的下游节流阀在CVD工艺中应用比较成熟,但存在价格偏高和货期较长的问题。针对此问题,本文提出了相应的替代方案,介绍了相关产品,以期在国产化方面做出尝试。[size=18px][color=#ff0000]二、国产化替代方案[/color][/size]国产化替代方案主要包括以下几方面的内容:[color=#ff0000]2.1 压力调节方式[/color]目前MKS公司的下游节流阀是一种流量调节阀,通过调节蝶阀的开度大小来调节排气流量,与进口流量达到平衡来实现工作腔室内真空度的控制。我们的方案是直接采用压力调节阀,通过调节工作腔室排气口处的气压来实现腔室真空度控制。调压方式同样可以实现真空度的准确控制,特别是在CVD的低真空(高气压)工作区间内,排气量会更少,能节省工作气体的排放。[color=#ff0000]2.2 分体结构[/color]与MKS下游节流阀的集成式结构不同,我们将阀门和PID控制器进行了模块分离。采用分体结构主要出于以下几方面的考虑:(1)采用独立的2通道PID控制器。这种PID控制器具有24位A/D和16位D/A的超高精度,更能保证真空度的控制精度,同时具有40多种信号输入类型,即可用来控制真空度,也可控温等。(2)2通道PID控制器可以连接两个不同量程的电容式真空计,并具有真空计自动切换功能,由此可实现全量程范围内真空度的自动测量和控制。如果只连接一个真空计,另外一个通道可连接温度传感器进行温度控制。(3)很多CVD设备都配备了独立且功能强大的PLC控制系统用来进行真空度、温度和流量等电气参数控制,同时也具备达到一定精度的PID控制功能。分体结构可以使PLC系统直接去控制阀门,避免功能的重复,有利于降低造价。[color=#ff0000]2.3 气控驱动压力调节阀[/color]有别于美国MKS公司下游节流阀所采用的高速步进电机驱动蝶阀,我们的技术方案是电子气控先导阀驱动阀芯位移,由此可带动阀芯实现高速位移和压力调节。针对不同口径采用相应规格阀芯,内部阀芯非常便于拆卸、更换和清理。[size=18px][color=#ff0000]三、国产化相关产品[/color][/size][color=#ff0000]3.1 大口径高速真空压力调节阀[/color]新推出的国产化EVR系列(EyoungVacuum Regulator)真空压力调节阀及其内部结构如图1所示。[align=center][img=,690,348]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206020854523534_9772_3384_3.png!w690x348.jpg[/img][/align][align=center]图1 国产EVR系列真空压力调节阀及其内部结构示意图[/align]EVR系列真空压力调节阀是一种常闭型调压阀门,可直接对气密性容器的真空压力(负压或正压)进行高速调节,调节方式采用顶部气控先导阀,先导阀可采用手动和电子控制形式。EVR系列产品可配各种手动和电子控制形式的先导阀,可形成开环和闭环控制回路。通过外接真空计和真空压力控制器相结合,可构成闭环形式快速高精度可编程真空控制回路。EVR系列真空压力调节阀的技术参数如表1所示。[align=center]表1 EVR系列真空压力调节阀技术参数表[/align][align=center][img=,550,299]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206020928417726_9841_3384_3.png!w690x376.jpg[/img][/align][align=left][color=#ff0000]3.2 两通道24位高精度多功能PID控制器[/color][/align][align=center]对标英国欧陆控制器,国产VPC-2021系列PID控制器是多通道、24位A/D和16位D/A、可编程的通用型PID控制器,如图2所示。VPC-2021系列PID控制器可进行真空度、温度、流量和转速等多种参数的精密控制,功能十分强大,且性价比非常高。[/align][align=center][img=,500,260]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206020929494455_1310_3384_3.png!w650x338.jpg[/img][/align][align=center]图2 VPC-2021系列高精度PID程序控制器[/align]VPC-2021系列控制器主要性能指标如下:(1)精度:24位A/D,16位D/A。(2)最高采样速度:50ms。(3)多种输入参数:47种(热电偶、热电阻、直流电压)输入信号,可连接各种温度和真空度传感器进行测量、显示和控制。(4)多种输出形式:16位模拟信号、2A (250 VAC)继电器 、22V/20mA 固态继电器、 3A/250VAC可控硅。(5)多通道:独立1通道或2通道输出。2通道可实现温度和真空度的同时测控,报警输出通道可用来控制旋转电机。(6)多功能:正向、反向、正反双向控制、加热/制冷控制。(7)PID程序控制:改进型PID算法,支持PV微分和微分先行控制。可存储20组分组PID,支持20条程序曲线(每条50段)。(8)通讯:两线制RS485,标准MODBUSRTU 通讯协议。(9)显示方式:数码馆和IPS TFT真彩液晶。(10)软件:通过软件计算机可实现对控制器的操作和数据采集存储。(11)外形尺寸:96×96×87mm(开孔尺寸92×92mm)。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

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